JP2000296615A - インクジェットヘッド及びその製造方法並びにインクジェットヘッドを有する記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、従来よりも高品質な印字を簡単な
構造で安価に実現することができるインクジェットヘッ
ド及びかかるインクジェットヘッドを有する記録装置を
提供することである。 【解決手段】 圧力室とインク室とを有する圧力室板に
おいて、圧力室とインク室との間に切り込みをいれた
り、その間を複数の部分に分割する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一般に、電子写真
方式の記録装置に係り、特に、インクジェットプリンタ
に使用されるヘッド（インクジェットヘッド）に関す
る。本発明のインクジェットヘッドは、ピエゾ型やバブ
ル型のインクジェットプリンタに好適であり、単体のプ
リンタの他、印刷機能を有する複写機やファクシミリ、
コンピュータシステムあるいはワードプロセッサ若しく
はこれらの複合機などに広く適用することができる。

【従来の技術】インクジェットヘッドの中で、例えば、
圧電素子を使用するピエゾ型インクジェットヘッドはエ
ネルギー効率が優れているなどの理由から近年ますます
注目されてきている。この種のインクジェットヘッド
は、典型的に、圧力室板と、薄膜と、圧電素子とからな
る三層体にノズル板を接合することによって構成され
る。圧力室板には、ガラス等の剛性部材などに溝を設け
ることによって、複数の圧力室と、これに対応する共通
インク室と、一のインク供給路が形成される。各圧力室
は対応するインク供給路によって共通インク室に接続さ
れて、共通インク室からインクを受け取ると共に圧電素
子の変形を利用して内部圧力を高めてこれによりインク
をノズルから噴出する。

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のインク
ジェットヘッドにおいては圧力室とインク供給路が一体
であったため、圧電素子が駆動された際の圧力室内の振
動が圧力室板を介して又は直接にインク供給路や共通イ
ンク室に伝搬して供給されるインクを振動させ、その後
のインクの飛翔（液滴の量や速度など）が不安定になっ
ていた。その結果、従来のインクジェットヘッドは印字
品質が劣化するという問題を有していた。

【課題を解決するための手段】そこで、このような従来
の課題を解決する新規かつ有用なインクジェットヘッド
及びかかるインクジェットヘッドを有する記録装置を提
供することを本発明の概括的な目的とする。本発明のよ
り特定的かつ例示的な目的は、従来よりも高品質な印字
を簡単な構造で安価に実現することができるインクジェ
ットヘッド及びその製造方法並びにかかるインクジェッ
トヘッドを有する記録装置を提供することである。上記
目的を達成するために、本発明の第１の側面のインクジ
ェットヘッドは、インクを収納する圧力室と当該圧力室
にインクを供給するインク室を画定し、前記圧力室と前
記インク室との間であって前記インクが前記インク室か
ら前記圧力室に供給される経路の外側に切り込みを有す
る圧力室板と、前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当
該圧力室内の前記インクを噴射することができる圧力印
加部材とを有する。かかるインクジェットは、圧力室が
加圧された際の圧力室の振動及び／又は変形が圧力室板
を介してインク室へ伝搬することを切り込みが防止・低
減する。また、本発明の第２の側面のインクジェットに
おいては、前記圧力室板はインクを収納する圧力室と当
該圧力室にインクを供給するインク室を画定するととも
に複数の要素に分割されている圧力室板に置換されても
よい。かかるインクジェットは、圧力室が加圧された際
の圧力室の振動及び／又は変形が圧力室板を介してイン
ク室へ伝搬することを分割された界面で防止・低減す
る。また、本発明の記録装置は、いずれかの上述したイ
ンクジェットヘッド、当該インクジェットヘッドを駆動
する駆動装置とを有する。かかる記録装置も上述したイ
ンクジェットヘッドの作用を有する。本発明のインクジ
ェットヘッドの製造方法は、インクを収納する圧力室と
当該圧力室にインクを供給するインク室を画定するとと
もに複数の要素に分割されている圧力室板の前記複数の
要素の一部の要素と、薄膜と、当該薄膜を介して前記圧
力室を加圧することができる圧電素子とを接着する工程
と、少なくとも前記一部の要素と前記薄膜を研磨してノ
ズル接合面を形成する工程と、前記圧電素子が前記圧力
室を加圧した時に当該圧力室内の前記インクを噴射する
ノズル孔を有するノズル板を前記ノズル接合面に接合す
る工程と、前記圧力室板の残りの要素を前記一部の要素
に接着する工程とを有する。かかる製造方法によって製
造されたインクジェットも上述した作用を有する。本発
明のインクジェットヘッドはピエゾ型やバブル型インク
ジェットヘッドとして使用することができ、従って、圧
力印加部材は、ピエゾ型に一般に使用される圧電素子で
もよいし、バブル型に一般に使用されるヒータでもよ
い。本発明の他の目的と更なる特徴は、以下、添付図面
を参照して説明される実施例において明らかになるであ
ろう。

【発明の実施の形態】以下、図１乃至図５を参照して、
本発明の第１実施例のインクジェットヘッド１００とそ
の製造方法を説明する。ここで、図１は完成したインク
ジェットヘッド１００の分解斜視図であり、図２は、図
１に示すインクジェットヘッド１００の圧力室板１０の
構造を説明するための断面図である。図３は、図２に示
す圧力室板１０の構造の代替例を説明するための断面図
である。図４は、図３に示す圧力室板を使用したインク
ジェットヘッドと従来のインクジェットヘッドとの特性
の違いを模式的に説明するためのグラフである。また、
図５は図１に示すインクジェットヘッド１００の部分拡
大側面図である。図１から分かるように、本発明のイン
クジェットヘッド１００は、圧力室板１０と、圧電素子
２０と、ノズル板３０と、樹脂フィルム４０と、保護層
５０とを有する。図５に示すように、圧力室板１０と樹
脂フィルム４０と保護層５０は、ノズル板３０の面３０
ａが接合される面であるノズル接合面６０において整列
している。換言すれば、圧力室板１０の前面１０ａと樹
脂フィルム４０の前面４０ａと保護層５０の前面５０ａ
は、平滑なノズル接合面６０を構成している。圧力室板
１０は、略直方体の形状を有するガラス板に、所望の数
（図1では便宜上４つ）の圧力室１２とインク導入路１
４、並びに、共通インク室１６を有する。しかし、より
詳細には、図２に示すように、圧力室板１０は、要素１
０ｃと要素１０ｄとに分割され、面１０ｅにおいて両者
は弾性接着剤７２によって接着され封止されている。ま
た、圧力室板１０は、樹脂フィルム４０に弾性接着剤７
４によって接着及び封止されている。要素１０ｃと要素
１０ｄは、共に、ガラス板などの高剛性材料から構成さ
れている。要素１０ｃは樹脂フィルム４０と共に圧力室
１２とインク導入路１４を画定し、要素１０ｄは樹脂フ
ィルム４０と共に共通インク室１６を画定している。な
お、選択的に、要素１０ｃは樹脂フィルム４０と共に圧
力室１２を画定し、とインク導入路１４を画定し、要素
１０ｄは樹脂フィルム４０と共にインク導入路１４と共
通インク室１６を画定してもよい。要素１０ｃを高剛性
材料としたのは、後述するように、圧力室１２の圧力を
所望の大きさまで高めてインクをノズル孔３２から噴射
するためである。但し、かかる条件が満足される限り、
要素１０ｃの材質は問わない。弾性接着剤７２及び７４
は、例えば、東芝シリコン社製ＴＳＥ３９９１ゴム硬度
１５°又は１９°、東芝シリコン社製ＴＳＥ３９７５ゴ
ム硬度２０°、信越シリコン社製ＫＥ４４１ゴム硬度２
０°等のシリコン接着剤を使用することができる。弾性
接着剤７２は、要素１０ｃと要素１０ｄとの間の振動及
び／又は変形を吸収する機能を有する。また、弾性接着
剤７４は、要素１０ｄと要素樹脂フィルム４０との間の
振動及び／又は変形を吸収する機能を有する。弾性接着
剤７２及び７４は、例えば、１００μ程度の厚さと１７
ＭＰａ程度の接着強さを有している。接着剤７２及び７
４にＧＰａのオーダーの接着強さを有する接着剤を使用
すると、後述するように、圧力室１２から共通インク室
１６へ振動や変形が伝達してしまう可能性があるので、
本実施例のように、ＭＰａのオーダーの接着強さを有す
る接着剤を接着剤７２及び７４に使用することが好まし
い。従来は、圧力室板１０は、要素１０ｃと要素１０ｄ
とに分割されていない一体構造であった。このため、隣
接した圧力室１２（即ち、複数のノズル（ピン））から
同時にインクを飛翔させた場合は単ノズル（ピン）から
インクを飛翔させる場合に比べてインク液滴の速度や粒
子量が減るという問題があった。なお、単ピンによるイ
ンクの単独飛翔と複数ピンによる同時飛翔の特性が相違
するという現象は「クロストーク」と呼ばれている。よ
り具体的には、複数のピン（本実施例では圧電体ブロッ
ク２１に相当）を同時に駆動した場合の振動や変形が圧
力室１２から共通インク室１６に伝搬してまた圧力室１
２に帰還するなどして、各ノズルからのインク液滴の速
度や粒子量が（例えば、−１５乃至−２０％程度）減少
していた。また、本発明者等は、圧力室１２からインク
供給路１４を介して共通インク室１６に至る経路より
も、圧力室１２の上部から圧力室板１０を介して共通イ
ンク室１６に至る経路の方が振動等の伝搬に与える影響
が大きいことを発見した。この結果、単ノズルで印刷し
たときよりも複数のずるで印刷したときの方が印刷の色
が薄いなど印字品質（特に、印字色の濃さ）の劣化を招
いていた。しかし、本実施例では、圧力室板１０は弾性
接着剤７２を介して要素１０ｃと要素１０ｄとに分割さ
れているので、複数のピン各圧力室１２で発生した振動
や変形が共通インク室１６に伝搬せず、クロストークが
（例えば、−５％乃至０％程度に）減少した。このよう
に、本発明のインクジェットヘッド１００は、従来より
も高い印字品質を提供することが可能にしている。な
お、弾性接着剤７２だけでもある程度クロストークは減
少することが期待できるが、弾性接着剤７４があればさ
らにクロストークを減少することができるので好まし
い。本実施例では、圧力室板１０を２つの部材に分割し
たために、圧力室１２の上部から圧力室板１０を介して
共通インク室１６に至る経路が面１０ｅで分断されてい
ることが理解される。しかし、圧力室板１０を完全に２
つ又はそれ以上に分断しなくて、従来よりも圧力室１２
の変形や振動の伝搬を抑制する方法は幾つかある。例え
ば、面１０ａから面１０ｅにおいて内部に切り込み又は
溝を入れて、面１０ｅの面積を減少させるなどである。
この場合には、かかる切り込みには接着剤などが充填さ
れないほうが好ましい。もちろん切り込みの位置は面１
０ｅに限定されるものではないし、切り込みの数も一つ
に限定されない。例えば、圧力室板１０は、切り込み７
６を図３に示すようにその上部に有する圧力室板１０Ａ
に置換されてもよい。図３において、切り込み７６の横
幅は、例えば、０乃至１７０μｍ程度であり、切り込み
７６の底部から直下のインク供給路１６までの距離は、
例えば、３００μｍ程度である。切り込み７６は圧力室
板１０に外部から設けられている。換言すれば、切り込
み７６は、圧力室１２と共通インク室１６との間であっ
てインクが共通インク室１６から圧力室１２に供給され
る経路上には存在しない。従って、切り込み７６はイン
ク供給路１４に接続されていない。これにより、インク
の噴射後に圧力室１２の圧力の減少により次の噴射に使
用されるインクが共通インク室１６から供給される。ま
た、切り込み７６からインクが漏れることはない。図４
に、図３に示す圧力室板１０Ａを有するインクジェット
ヘッド１００Ａと、従来の圧力室板を有するインクジェ
ットヘッドについて、駆動されるピンによるクロストー
クの違いを模式的に示したグラフである。同グラフよ
り、本発明のインクジェットヘッド１００Ａのクロスト
ークが減少していることが理解される。このように、本
発明の弾性接着剤７２及び７４や切り込み７６は、後述
するように圧電素子２０が圧力室１２を加圧した際の振
動及び／又は変形が共通インク室１６に伝達するのを防
止する緩衝部材として機能する。本発明の緩衝部材は、
必ずしも共通インク室１６の長手方向に沿った圧力室板
１０の幅方向に亘って設けられる必要はない。即ち、所
定の圧力室１２（例えば、１つ毎や４つ毎など）と共通
インク室の間に設けるなどである。また、本発明の緩衝
部材は、その他、圧力室板１０に接触して圧力室１２の
振動を吸収する振動吸収部材として構成されてもよい。
共通インク室１６の内壁にかかる振動吸収部材を設けた
り、変形を防止する異なる剛性を有する部材を配置して
もよい。圧力室１２は、インクを供給されてこれを収納
すると共に内部圧力が高まるとインクを開口１２ａに連
通されたノズル孔３２から噴射する。内部圧力は、後述
するように、直下の圧電体ブロック２１が変形に伴って
変化する。圧力室１２は、圧力室板１０上に形成された
凹状の溝と弾性変形可能な樹脂フィルム４０により略直
方体の空間として形成されている。共通インク室１６
は、各圧力室１２にインク導入路１４を介してインクを
供給する。共通インク室１６は、圧力室１２の急激な内
部圧力変動を吸収するように底面は樹脂フィルム４０で
画定されており、圧力室板１０の側面１０ｂにおいて図
示しないインク供給装置に接続されている。共通インク
室１６は、圧力室１２が収縮加圧されてインクを吐出し
た後、復帰する際に、インク導入路１４を介して、圧力
室１２に必要量のインクを供給する。樹脂フィルム４０
は、圧力室１２、共通インク室１６、インク導入路１４
の一面を構成し、後述の圧電体ブロック２１の変形を圧
力室１２に伝達すると共に圧力室１２内のインクが圧電
素子２０の溝２３に侵入するのを防止する機能を果た
す。樹脂フィルム４０は、例えば、１６μ程度の厚さを
有し、ＧＰａ程度の接着強さを有している。樹脂フィル
ム４０は圧力室１２の一面を形成する部材であるが、弾
性変形の可能な金属薄膜により構成されてもよい。圧電
素子２０は、積層構造を有して、前面２０ａから後面２
０ｂに延びる平行な溝２３によって分割された複数（図
１では便宜上４つ）の圧電体ブロック２１を有する。各
圧電体ブロック２１の積層内には内部電極２２、２４が
設けられ、内部電極２２は外部電極２６と、内部電極２
４は外部電極２８と接続されている。なお、図１は、作
図の便宜上、一の外部電極２８のみを示す。また、図１
及び図５以外の図面においては、作図の便宜上、内部電
極２２、２４は省略されている。図５に示すように、内
部電極２２と２４とがＡ方向に重なっている部分が活性
部２５であり、この活性部２５において、各圧電体ブロ
ック２１は変形する。活性部２５の長さは圧力室１２に
加えられるべき圧力に応じて調節される。活性部２５は
ノズル接合面６０から所定距離だけ離間されているため
に、それが変形してもノズル接合面６０における圧電素
子２０と保護層５０とが接着していることには影響を与
えない。外部電極２６は、圧電素子２０の前面２０ａの
全面に蒸着された電極層であり、全ての圧電体ブロック
２１に共通する外部電極である。外部電極２６はアース
されている。これに対して、外部電極２８は、圧電素子
２０の後面２０ｂの上にあるが、後面２０ｂの全面に蒸
着されてはおらず、各圧電体ブロック２１に対応した位
置にのみ個別的に設けられた電極層である。外部電極２
８は、通電されなければ電位はゼロであるが、通電され
れば正の電圧を内部電極２４に印加することができる。
かかる構造より、圧電素子２０の各圧電体ブロック２１
は、外部電極２８に電圧が印加されないと内部電極２
２、２４の電位が共にゼロのため変形しない。しかし、
外部電極２８から電圧が印可されると、各圧電体ブロッ
ク２１は他の圧電体ブロック２１とは独立して、図1の
Ａ方向（縦方向）に変形可能である。換言すれば、Ａ方
向が圧電体ブロック２１の分極方向になる。外部電極２
８からの通電が停止すると、すなわち、圧電素子２０に
充電された電荷が放電されることにより、対応する圧電
体ブロック２１は元の状態に復帰する。本実施例の圧電
素子２０は、まず、複数枚のグリーンシート２７を用意
する。各グリーンシート２７はセラミックの粉末などの
溶剤にまぜて混練してペースト状にし、ドクターブレー
ドにより５０ミクロン程度に薄膜形成する。グリーンシ
ートのうち、３枚のグリーンシートの片方の表面には、
それぞれ内部電極２２のパターンが印刷・形成され、３
枚のグリーンシートの片方の表面には、それぞれ内部電
極２４が印刷・形成され、残りには何も内部電極は形成
されない。内部電極２２と２４の印刷は、銀とパラジウ
ムの合金を粉状にしたものに溶剤をまぜてペースト状に
したものを塗布して、パターン形成することによりなさ
れる。次に、内部電極２２が形成された３枚と内部電極
２４が形成された３枚を交互に張り合わせ、残りの６枚
もその後張り合わせる。これにより、図５に示すような
圧電素子２０の積層構造を形成する。圧電素子２０のう
ち内部電極２２、２４を含まない下のグリーンシートは
基盤部となる。さて、これらのグリーンシートを積層し
た状態で焼成する。続いて、ダイヤモンドカッターによ
って前面２０ａから後面２０ｂに少なくとも最初の６枚
のグリーンシートを部分的に切断する。これによって、
溝２３によって分割された複数の圧電体ブロック２１を
形成する。最後に、前面２０ａと後面２０ｂに外部電極
２６、２８をそれぞれ蒸着により形成する。なお、焼成
前に溝２３を形成しておくことも可能である。完成した
圧電素子２０は、外部電極２６、２８に電圧を印可する
ことによって特性検査がなされ、動作不良のものは排除
される。図１に示すインクジェットヘッド１００は保護
層５０を更に有している。保護層５０は後述するように
有用な効果を有するが、保護層５０を設けるかどうかは
選択的である。保護層５０は、５０ミクロン程度の厚さ
を有する略長方体状の熱硬化型エポキシ系接着材であ
り、圧電素子２０（外部電極２６）の前面２０ａと面５
０ｂで接続されている。但し、保護層５０の材質はこれ
に限定されるものではない。例えば、エポキシ系充填剤
や、アクリル樹脂、若しくは、ポリエチレン樹脂などを
保護層５０に使用することもできる。なお、実際のイン
クジェットヘッド１００では、保護層５０は厳密に直方
体形状ではなく、保護層５０と圧電素子２０との接続
は、図１及び図５に示すように、外部電極２６と面５０
ｂにより明確になされているものではない。即ち、熱硬
化前に保護層５０はその一部が圧電素子２０の溝２３よ
り内部に侵入している。従って、保護層５０の材質は、
内部電極２２、２４を短絡させないように絶縁物である
ことが望ましい。本実施例では、保護層５０は圧電素子
２０（外部電極２６）の前面２０ａに亘って塗布される
が、必要があれば、部分的に塗布されてもよい。保護層
５０は圧電素子２０をノズル接合面６０から５０ミクロ
ン程度離間させている。圧力室１２からインクが漏れて
圧電素子２０に侵入する場合、インクは、主として、ノ
ズル接合面６０を通って圧電素子２０に侵入する。しか
し、保護層５０は、ノズル接合面に配置されていた圧電
素子をノズル接合面６０から離間することにより、イン
クが圧電素子２０に侵入して内部電極２２、２４が短絡
することを防止している。また、保護層５０は溝２３を
遮蔽している。インクが漏れて圧電素子２０に侵入する
場合、インクは、主として、圧力室１２の開口１２ａか
らノズル接合面６０を伝って圧電素子２０の溝２３より
その内部に侵入する。しかし、保護層５０はノズル接合
面６０に対して（即ち、ノズル接合面６０から見て）溝
２３を遮蔽することにより、インクが圧電素子２０の前
面２０ａ付近から溝２３に侵入して内部電極２２及び２
４が短絡することを防止している。その他、保護層５０
は、インクジェットヘッドの製造段階におけるノズル接
合面２０ａの形成のための研磨工程において、圧電素子
２０を研磨による破壊から保護するという効果も有す
る。その結果、研磨工程を経ても圧電素子２０が剥離、
割れ、欠けを被ることはない。また、外部電極２６が削
除されることもない。更に、圧力室板１０はガラスから
なるので比較的強度が高く、研磨速度を高く設定できる
ため、従来の製造方法に比べて、研磨時間が約５分の１
に短縮されている。ノズル板３０はステンレスなどの金
属により形成する。各ノズル孔３２は、ピンを使用した
パンチなどにより、好ましくは、ノズル板３０の前面３
０ｂから後面３０ａに向かって広がる円錐状（断面的に
テーパ状）に加工する。圧力室板１０とノズル板３０を
一体的に構成せずに圧力室板１０にノズル板３０を接着
する理由の一つは、かかる円錐状のノズル孔３２を得る
ためである。本実施例では、後面３０ａにおけるノズル
孔３２の大きさは８０ミクロン程度、前面３０ｂにおけ
るノズル孔３２の大きさは２５〜３５ミクロン程度とし
ている。なお、インクジェットヘッド１００と異なり、
ノズル孔が例えば図１に示す圧力室板１０の上部に形成
されているインクジェットヘッドにも本発明は適用する
ことができる。インクジェットヘッド１００において
は、外部電極２８は、それぞれ独立して、圧電体ブロッ
ク２１の内部電極２４に電圧を印加するために、各圧電
体ブロック２１がそれぞれ独立に図１のＡ方向に変位し
て樹脂フィルム４０をＡ方向に撓ませ、対応する圧力室
１２を加圧する。かかる加圧により、インクが、圧力室
１２から対応するノズル孔３２を介して射出される。外
部電極２８からの通電が停止すれば、樹脂フィルム４０
と圧電体ブロック２１は放電により元の状態に復帰す
る。この時、圧力室１２の内部圧力が下がるので、共通
インク室１６からインク導入路１４を介して圧力室１２
にインクが補給される。なお、本実施例では、圧電素子
２０はＡ方向へ縦変形するものを用いたが、横変形する
ものを用いてもよい。また、本発明は、圧電素子を利用
するいわゆるピエゾ型のインクジェットヘッドに限定さ
れるものではなく、バブル型のインクジェットヘッドに
も適用することができる。次に、図７乃至図１０を参照
して図２に示すインクジェットヘッド１００の例示的な
製造方法、特に、組立方法について説明する。ここで、
図７は図２に示すインクジェットヘッド１００の例示的
な製造方法を説明するためのフローチャートである。ま
た、図８乃至図１２はそれぞれ図７のステップを説明す
るための断面図であるが、各図における各構成要素の大
きさは説明及び作図の便宜上多少誇張されている。ま
ず、上述したように圧力室板１０を構成する要素１０ｃ
及び要素１０ｄを別々に形成する（ステップ１００
２）。また、圧電素子２０とノズル板３０も上述したよ
うに形成する（ステップ１００４及び１００６）。これ
らのステップ１００２乃至１００６の時間的先後は問わ
ない。次に、図８に示すように、動作が確認された圧電
素子２０から５００ミクロン程度ノズル板３０に向かっ
て突出するように樹脂フィルム４０を配置して両者を接
着する（ステップ１００８）。このように配置する理由
は、将来、圧電素子２０を保護するように、保護層５０
を塗布するための段差２９を形成するためである。接着
剤には、例えば、ウレタン系接着剤、アクリル系接着
剤、レジストフィルムなどが使用される。次に、図９に
示すように、圧力室板１０の要素１０ｃを、樹脂フィル
ム４０から３００ミクロン程度ノズル板３０に向かって
引っ込むように、かつ、圧電素子２０からノズル板３０
に向かって２００ミクロン程度突出するように、圧電素
子２０に対抗する側に、配置して接着する（ステップ１
０１０）。要素１０ｃが樹脂フィルム４０に接着される
前には、各圧電体ブロック２１と圧力室１２が対応する
ように位置合わせが行われる。ここで、要素１０ｃの代
わりに、要素１０ｃと要素１０ｄを接着することによっ
て構成される圧力室板１０を配置することも考えられる
が、ステップ１０１０は後述する理由によりかかる方法
よりも優れている。なお、接着剤には、例えば、ウレタ
ン系接着剤、アクリル系接着剤、レジストフィルムなど
が使用される。本実施例では、圧電素子２０と樹脂フィ
ルム４０の接着を樹脂フィルム４０と要素１０ｃの接着
よりも先行させている。しかし、本発明が、ステップ１
０１０をステップ１００８に先行させた場合を含むこと
は明らかである。本実施例では、圧力室板１０を樹脂フ
ィルム４０よりもノズル板３０に向かって引っ込むよう
に配置される。これは、後述するように、この後に保護
層５０を段差２９に塗布する時に、保護層５０が開口１
２ａから要素１０ｃの内部に侵入して圧力室１２の開口
１２ａを塞ぐのを極力防ぐためである。もっとも本発明
は、保護層５０を塗布する前に、樹脂フィルム４０から
突出した圧力室板１０（特に、樹脂フィルム４０に対抗
する面）に適当なマスクを配置することによって保護層
５０が圧力室１２の内部に侵入することを防止できるた
め、この場合には、要素１０ｃが樹脂フィルム４０より
もノズル板３０に向かって突出していても問題はない。
また、要素１０ｃは圧電素子２０からノズル板３０に向
かって突出するように配置される。これは、後述するス
テップ１０１４の研磨工程において、圧電素子２０が研
磨されることを防止するためである。図９に示す要素１
０ｃと樹脂フィルム４０と圧電素子２０からなる三層体
を作る時は、Ａ方向を重力の方向に向けることによっ
て、その作成が容易となる。図９では、樹脂フィルム４
０は、三層体中で突出した状態になっているために、要
素１０ｃに向かって重力の作用で曲がることが予想され
るが、樹脂フィルム４０の表面張力を利用することによ
り図９に示す三層構造を保つことができる。なお、重力
の方向は必ずしもＡ方向に一致する必要はないことはい
うまでもない。その後、図１０に示すように、将来の保
護層５０を構成する材料を樹脂フィルム４０と圧電素子
２０との段差２９に塗布する（ステップ１０１２）。本
実施例では、保護層５０に熱硬化型エポキシ系接着剤を
使用しているため、保護層５０は塗布された後に熱硬化
される。保護層５０は粘性が比較的低いので段差２９に
塗布される際に、圧電素子２０の溝２３からその内部に
一部侵入する。そして、熱硬化されると、保護層５０は
溝２３を一部封止した状態で硬化する。なお、ステップ
１０１２とステップ１０１０を交換して、先に保護層５
０を塗布した後に要素１０ｃを接着することも可能であ
る。なお、本実施例では、保護層５０は圧電素子２０
（外部電極２６）の前面２０ａに亘って塗布されるが、
必要があれば、部分的に塗布されてもよい。次いで、要
素１０ｃと樹脂フィルム４０と保護層５０の端部が研磨
されて平滑なノズル接合面６０を形成する（ステップ１
０１４）。図１１は研磨後のノズル接合面６０を示して
いる。この研磨工程は、ノズル板３０のノズル３２を精
度良く圧力室１２に連通するように、かつ、ノズル板３
０をしっかりと要素１０ｃなどに固定するために必要な
工程である。研磨は、保護層５０の厚さが５０ミクロン
程度は残るように、即ち、要素１０ｃが１５０ミクロン
程度切削されるようにして行われる。この研磨工程にお
いては、圧電素子２０は保護層５０に保護されて研磨に
よる影響を受けない。従って、研磨工程を経ても圧電素
子２０が剥離、割れ、欠けを被ることはない。また、外
部電極２６が削除されることもない。更に、要素１０ｃ
はガラスからなるので比較的強度が高く、研磨速度を高
く設定できるため、本実施例の製造方法によれば、従来
の製造方法に比べて、研磨時間が約５分の１に短縮され
ている。さて、上述したようにステップ１０１０におい
て、要素１０ｃの代わりに、要素１０ｃと要素１０ｄを
接着することによって構成される圧力室板１０を配置す
ることも考えられる。この場合は、要素１０ｃに弾性接
着剤７２で接着された要素１０ｄが研磨されることにな
る。しかし、要素１０ｃと１０ｄの間の弾性接着剤７２
が欠けたり、弾性接着剤７２の弾性力により研磨中に要
素１０ｃ及び／又は１０ｄが振動してノズル接合面６０
が平滑でなくなったりする。一方、例えば、要素１０ｄ
が要素１０ｃよりもノズル板３０側に突出した状態で要
素１０ｃと接着されている場合などを避けるために平滑
なノズル接合面６０を形成するためには研磨工程は不可
欠である。このため、要素１０ｃと１０ｄを研磨が不要
で平滑面を形成できるように接着することができる場合
以外は要素１０ｃのみをステップ１０１０で接着するこ
とが好ましい。なお、要素１０ｃと１０ｄとが平滑面を
形成することができる場合にはステップ１０１４では樹
脂フィルム４０と保護層５０だけが研磨されて要素１０
ｃ及び１０ｄと共にノズル接合面６０を形成することに
なるであろう。研磨が終了すると、図１２に示すよう
に、ノズル接合面６０に３乃至４ミクロン程度接着剤を
塗布してノズル板３０をノズル孔３２が圧力室１２に対
応するようにして接着する（ステップ１０１６）。接着
剤には、例えば、ウレタン系接着剤、アクリル系接着
剤、レジストフィルムなどが使用される。要素１０ｃの
ノズル接合面６０を形成する面はノズル板３０を固定す
るのに十分な面積が選択される。次に、要素１０ｄの位
置合わせがなされ（ステップ１０１８）、その後に弾性
接着剤７２により要素１０ｄは要素１０ｃに接着される
（ステップ１０２０）。なお、弾性接着剤７２の塗布は
ステップ１０１８との先後を問わない。また、ステップ
１０２０において、要素１０ｄは樹脂フィルム４０に弾
性接着剤７４を介して接着される。このように本実施例
の製造方法は、好ましく、要素１０ｄの位置合わせをし
てから要素１０ｄを要素１０ｃに接着している。本発明
は広義にはステップ１０１８を省略する実施例もカバー
しているが、かかる実施例では要素１０ｄと１０ｃは共
通インク室１６を画定するために要素１０ｄの位置ずれ
は共通インク室１６からのインク漏れを招くおそれがあ
る。かかる実施例では、例えば、要素１０ｃ上の面１０
ｅに弾性接着剤７２を塗布し、要素１０ｄを黙視的に上
部から要素１０ｃにかぶせる場合などが該当する。これ
に対して本実施例は要素１０ｄの位置合わせをした後に
接着しているので共通インク室１６からのインク漏れを
防止することができる。本実施例では、例えば、弾性接
着剤７２を予め要素１０ｃの上面１０ｅに均一に塗布し
ておき、図１２に示すように前面Ｂ１と後面Ｂ２とを当
業界で既知の適当な手段で固定することによって要素１
０ｄの位置合わせを行って（この場合はＢ方向のみであ
るが）、その後、要素１０ｄを図１２の矢印方向に挿入
することによって要素１０ｄを要素１０ｃに接着するこ
とができる。ここで、面Ｂ１とＢ２との距離は要素１０
ｄの長さにほぼ対応している。本実施例では、要素１０
ｄとノズル板３０とを直接接着することは必ずしも必要
なことではない。上述したように、要素１０ｃのノズル
接合面６０を形成する面はノズル板３０を固定するのに
十分な面積が選択されているからであり、また、要素１
０ｄは面１０ｅで要素１０ｃに接着されるので安定して
いるからである。もっとも、本発明は要素１０ｄとノズ
ル板３０とが接着されることを妨げるものではない。図
１２に示すように、要素１０ｄがノズル板３０よりも突
出する場合にはノズル板３０側に接着剤を塗布すること
が好ましい。特に、適当に位置合わせがなされている場
合には要素１０ｄはノズル接合面６０の一部を構成する
かその極近傍に配置されるので、ノズル板３０に接着し
てもノズル板３０に望ましくない応力が要素１０ｄから
印加されることはない。例えば、要素１０ｄが位置合わ
せがなされずに図１２の面Ｂ２を越えて右方向に配置さ
れれば、要素１０ｄはノズル板３０から離間することに
なる。この状態でノズル板３０を要素１０ｄに接着すれ
ばノズル板３０の上部に右方向の応力が加わることにな
りノズル板３０が所定の剛性を有することからかかる応
力はノズル板３０が外れる原因になり得るからである。
次に、図１３乃至図１５を参照して、上述のステップ１
０１８の位置合わせ方法とステップ１０２０の接着方法
に代替的な方法について説明する。上述の方法では、要
素１０ｃの上面１０ｅに弾性接着剤７２を適当な方法で
（例えば、ハケやスプレーによる手作業や機械による自
動処理によって）塗布した後に要素１０ｄを接着してい
る。本発明者等は、かかる方法では弾性接着剤７２の塗
布量の管理が困難であり、上面１０ｅの全面に亘って均
一に塗布することは困難であること、そして、要素１０
ｄを接着する際に空気が不可避的に混入してしまうこと
を発見した。接着剤７２の塗布にムラがあったり空気が
面１０ｅに混入すればその後の印字動作の際に、接着剤
７２が共通インク室１６側に漏れてインク導入路１４を
一部又は全部塞いだり、空気が共通インク室１６及び／
又は圧力室１２に漏れて圧力室１２の圧力を変動させた
りする。インク導入路１４が接着剤７２により一部又は
全部塞がれればノズル板３０から噴射されるインク量が
変化して（あるいはインクが噴射されず）印字品質が低
下する（例えば、印刷が薄いなど）。また、インクの代
わりに空気が圧力室１２に部分的に充填された状態で圧
力室１２に圧縮されても噴射されるインクの量が変化す
るために印字品質が低下する。そこで、以下に説明する
実施例の方法は、接着剤７２を面１０ｅにムラなく均一
に塗ると共に塗布量の管理が容易で、これにより高品位
印刷を実現することを例示的目的としている。上記目的
を達成するために、本発明者等は要素１０ｄ又は要素１
０ｃどちらか一方に弾性接着剤７２を流し込むための貫
通穴１８Ａを設置し、流入した接着剤７２で面１０ｅを
封止し、要素１０ｄと要素１０ｃとを接着すること考案
した。図１３乃至図１５はかかる貫通穴１８Ａの設置方
法の実施例である。本実施例では、貫通穴１８Ａは圧力
室板１０を構成する要素１０ｄに設置されており、図１
３は貫通穴１８Ａの設置された要素１０ｄの概略上面図
である。図１３のように、角型の貫通穴１８Ａは図１２
の面Ｂ１に接し、同間隔に整列している。また、貫通穴
１８Ａは要素１０ｄの上面に対し垂直で、形状は角柱で
ある。かかる貫通穴１８Ａは所望の数（ここでは便宜上
６つ）の設置が可能であり、また、形や大きさ等も変化
させることも可能である。この貫通穴１８Ａに弾性接着
剤７２を注入すると、接着剤７２は図１３の矢印に示す
ように毛管作用を利用して要素１０ｄと要素１０ｃとの
隙間を接着封止していく。この時、接着剤７２は要素１
０ｃと共通インク室１６との境界面ａ１まで流入するこ
とが望ましい。図１４は図１３の貫通穴１８Ａが設置さ
れた要素１０ｄを有するインクジェットヘッド１００Ａ
の概略斜視図である。図１４のように、貫通穴１８Ａは
要素１０ｄのノズル板３０との接着面（図１２の面Ｂ
１）で、共通インク室１６に対して対面側に設置されて
いる。よって、本実施例の要素１０ｄは貫通穴１８Ａの
存在によってノズル板３０に接触しない部分が存在する
が、上述のように要素１０ｃとノズル板３０との接着面
積が十分であるために安定である。本実施例では、要素
１０ｄは貫通穴１８Ａの有無に関わらず、図７のフロー
チャートに沿って組み立てられ、ステップ１０１８及び
１０２０の間に貫通穴１８Ａヘ弾性接着剤７２を注入す
る工程が必要となる。かかる工程を図１５を参照してよ
り詳細に説明する。ここで、図１５は図１４のインクジ
ェットヘッド１００ＡをＣ−Ｃ線に沿って切断したとき
の概略断面図である。貫通穴１８Ａはノズル板３０に接
しており、かかる貫通穴１８Ａから接着剤７２を注入
し、要素１０ｃと要素１０ｄの隙間を接着しながら封止
する。この時、要素１０ｃと要素１０ｄからなる空間の
容積に対して少なくとも同量の接着剤７２が必要であ
る。また、一般的に接着剤は固化すると体積が減少する
ために使用する接着剤の性質を考慮する必要もある。図
１６乃至図１８は貫通穴１８Ａの設置方法の代替的実施
例に関する。上述のインクジェットヘッド１００Ａの弾
性接着剤７２の注入工程では、接着剤７２は上部から流
し込むため、ノズル板３０の上部にこぼれるなど流入が
困難である。また、要素１０ｃと要素１０ｄの隙間を完
全に封止するためには、接着剤７２は要素１０ｃと共通
インク室１６との境界面ａ１まで流れ込まなくてはいけ
ないが、共通インク室１６の境界面までの流入距離が長
いために接着剤７２が途中で固まってしまったり、共通
インク室１６内に入り込む。また、接着剤７２は図１３
に示すように貫通穴１８Ａの形状が矩形上であるために
上下左右に均等には毛管作用により伝搬しない。図１６
乃至図１８に示すインクジェットヘッド１００Ｂはイン
クジェットヘッド１００Ａを改良することによってかか
る問題を解決している。本実施例においては貫通穴１８
Ｂが要素１０ｄに設置されている。図１６は貫通穴１８
Ｂが設置された要素１０ｄの概略上面図である。貫通穴
１８Ｂは円柱形状を有し、６つの貫通穴１８は互いに平
行かつ等間隔で整列している。また、かかる貫通穴１８
Ｂは貫通穴１８と要素１０ｃのほぼ中間に位置し、要素
１０ｄの上面に対し垂直に貫通している。図１６に矢印
で示すように、貫通穴１８Ｂから流入した接着剤７２
は、要素１０ｃと要素１０ｄの隙間を毛管作用によって
円状に接着封止する。図１７は、かかるインクジェット
ヘッド１００Ｂの概略斜視図である。貫通穴１８Ｂは面
Ｂ１と面ａ１との中心線上に整列している。本実施例の
要素１０ｄを有するインクジェットヘッドの製造工程も
図７のフローチャートに沿って組み立てられ、ステップ
１０１８の後で、貫通穴１８Ｂに弾性接着剤７２を注入
し、要素１０ｃと要素１０ｄを接着し、その隙間を封止
する（ステップ１０２０）。接着剤７２の注入の工程に
関しては、より詳しくを図１８によって説明する。図１
８は図１７のインクジェットヘッド１００ＢをＤ−Ｄ線
に沿って切断したときの概略断面図である。図１８のよ
うに、貫通穴１８Ｂの設置は接着剤の封止したい部分、
即ちノズル板接着面３０ａ（図１２の面Ｂ１）から共通
インク室との境界面ａ１までの中間に相当する位置に設
置されている。かかる貫通穴１８Ｂから注入された接着
剤７２は毛管作用によって、要素１０ｃと要素１０ｄと
の隙間を充填していくが、貫通穴１８Ｂが円状で、上記
のような位置にあるため接着剤７２は貫通穴１８を中心
に等間隔で要素間の空間を流れていくことになる。よっ
て、貫通穴１８Ｂから注入された接着剤７２は、例えば
図１８では左右に、同じ速さで流入することが可能で、
充填する時間も短いため（上記実施例に対して）、注入
途中で接着剤が固化しムラができることを防止できる。
また、接着剤７２の量も要素間の空間の容積から算出す
ることによって制御可能である。そのため、封止ムラに
よって混入した空気やインク室１６への漏れた接着剤７
２がインク導入路１４を一部又は全部塞いだり、インク
室１６内の圧力を変化させてしまったりしてノズル孔３
２から噴出するインク量が変化する問題を解消すること
ができ、これにより、本実施例のインクジェットヘッド
１００Ｂは印字品質の低下を防止している。上述の貫通
穴１８Ａ及びＢの設置方法についての実施例と異なり、
貫通穴１８Ａ及びＢは要素１０ｃに配置されてもよい。
しかし、要素１０ｃに貫通穴１８Ａ及びＢ（以下、総括
的に「１８」とする）を設置する場合、インクジェット
ヘッド１００Ａ及び１００Ｂ（以下、総括的に「１０
０」とする）の製造工程は図７のフローチャートとは異
なる。図７のフローチャートでは、要素１０ｃはノズル
板３０が接着される前の工程で樹脂フィルム４０と接着
（ステップ１０１０）しており、ステップ１０１０にお
いて貫通穴１８の下方面は塞がれてしまうことになり、
要素１０ｄとの接着に貫通穴１８を使用することはでき
ない。このため、貫通穴１８を使用して要素１０ｃと要
素１０ｄを接着封止するためには、ステップ１０１０に
おいて要素１０ｃの代わりに、要素１０ｃと要素１０ｄ
を接着して構成される圧力室板１０を配置する方法が考
えられる。しかし、この場合は上述のように、接着層が
研磨（ステップ１０１４）によって損傷し、ノズル接着
面６０が平滑でなくなるため、ノズル板３０との正確な
接着が達成できず印字能力の低下を招く。このため、貫
通穴１８を要素１０ｃに設置する場合は、要素１０ｃと
要素１０ｄを研磨せず、平滑化することができることが
必要である。上述のように、圧力室板１０が複数の要素
に分割されていて、且つそれら要素間が弾性接着剤７２
で接着封止されていることは、圧力室１２で発生した振
動や変形が共通インク室１６に伝搬することを防止・低
減することができる。よって、上記実施例では圧力室板
１０は２つの要素で分割されているが、分割された要素
が多いほど圧力の伝搬が防止・低減される作用を増加す
ることができる。特に、上記記載のように要素間の接着
が容易であれば、また、製造工程において有効である。
よって、本発明のインクジェットヘッド１００は、従来
よりも高い印字品質を提供することを可能にしている。
次に、図６を参照して、本発明のインクジェットヘッド
１００を備えたインクジェットプリンタ２００について
説明する。なお、各図において、同一の参照番号を付し
た部材は同一部材を表すものとし、重複説明は省略す
る。図６には、本発明のインクジェットヘッド１００が
適用されるカラーインクジェットプリンタ（記録装置）
２００の実施形態が概略的に示されている。記録装置２
００のハウジング２１０内にはプラテン２１２が回転自
在に設けられている。記録動作中、プラテン２１２は駆
動モータ２１４によって間欠的に回転駆動させられ、こ
れにより記録紙Ｐが所定の送りピッチで矢印Ｗ方向に間
欠的に送られる。また、記録装置のハウジング２１０内
にはプラテン２１２に対して平行にその上方側に案内ロ
ッド２１６が設けられており、この案内ロッド２１６上
にはキャリッジ２１８が摺動自在に取り付けられてい
る。キャリッジ２１８は無端駆動ベルト２２０に取り付
けられており、無端駆動ベルト２２０は駆動モータ２２
２によって駆動され、これによりキャリッジ２１８はプ
ラテン２１２に沿って往復運動（走査）させられる。キ
ャリッジ２１８には黒色用の記録ヘッド２２４及びカラ
ー用の記録ヘッド２２６が搭載されている。カラー用の
記録ヘッド２２６は３つの部分から構成され得る。黒色
用の記録ヘッド２２４には黒色インク用タンク２２８が
着脱自在に装着され、カラー用の記録ヘッド２２６には
カラーインク用タンク２３０、２３２及び２３４が着脱
自在に装着される。かかる記録ヘッド２２４及び２２６
に本発明のインクジェットヘッド１００が適用される。
黒色インク用タンク２２８にはもちろん黒色インクが収
容され、カラーインク用タンク２３０、２３２及び２３
４にはそれぞれイエローインク、シアンインク及びマゼ
ンタインクが収容される。キャリッジ２１８がプラテン
２１２に沿って往復運動される間、黒色用の記録ヘッド
２２４及びカラー用の記録ヘッド２２６がワードプロセ
ッサ、パーソナルコンピュータ等から得られる画像デー
タに基づいて駆動され、これにより記録紙Ｐ上に所定の
文字、画像などが記録される。記録動作停止時には、キ
ャリッジ２１８はホームポジションに戻され、このホー
ムポジションにはノズル保守機構（バックアップユニッ
ト）２３６が設けられている。ノズル保守機構２３６に
は可動吸引キャップ（図示せず）と、この可動吸引キャ
ップに接続された吸引ポンプ（図示せず）が設けられて
いる。記録ヘッド２２４及び２２６がホームポジション
に位置付けされると、各記録ヘッドのノズル板に吸引キ
ャップが吸着され、吸引ポンプを駆動することにより、
ノズル板のノズルが吸引される。このようにして、ノズ
ルの目詰まりが未然に防止される。以上、本発明の実施
例を説明したが、本発明はこれに限定されず、その要旨
の範囲内で様々な変形及び変更が可能である。以上の説
明に関して更に以下の項を開示する。本発明の例示的一
態様としてのインクジェットヘッドは、インクを収納す
る圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画
定し、前記圧力室と前記インク室との間であって前記イ
ンクが前記インク室から前記圧力室に供給される経路の
外側に切り込みを有する圧力室板と、前記圧力室板の前
記圧力室を加圧して当該圧力室内の前記インクを噴射す
ることができる圧力印加部材とを有する。前記圧力印加
部材は圧電素子よりなり、前記インクジェットヘッド
は、前記圧電素子と前記圧力室板の間に配置された薄膜
と、当該薄膜と前記圧力室板とを接続する弾性部材とを
更に有し、前記圧電素子は当該薄膜を介して前記圧力室
を加圧することができる。本発明の別な例示的一態様と
してのインクジェットヘッドは、インクを収納する圧力
室と当該圧力室にインクを供給するインク室を画定する
とともに複数の要素に分割されている圧力室板と、前記
圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前記イ
ンクを噴射することができる圧力印加部材とを有する。
前記圧力室板の前記要素は、前記圧力室を画定する第１
の要素と、前記インク室とを画定する第２の要素とを有
し、前記圧力室板は、前記第１の要素と及び前記第２の
要素とを接続する弾性部材を更に有することができる。
前記弾性部材は、シリコン接着剤でもよい。前記圧力印
加部材は圧電素子よりなり、前記インクジェットヘッド
は、前記圧電素子と前記圧力室板の間に配置された薄膜
と、当該薄膜と前記圧力室板とを接続する弾性部材とを
更に有し、前記圧電素子は当該薄膜を介して前記圧力室
を加圧することができる。前記弾性部材は、シリコン接
着剤でもよい。前記弾性部材は、前記インク室に関して
前記圧力室に対向する位置において前記薄膜と前記圧力
室板とを接続することができる。前記複数の要素は貫通
孔を有する要素を含むことができる。前記第１及び第２
の要素のいずれか一方は前記弾性部材を導入するための
貫通孔を有することができる。前記第２の要素は、前記
圧力室のほぼ中央上に前記弾性部材を導入するための貫
通孔を有することができる。本発明の例示的一態様とし
ての記録装置は、インクジェットヘッドと、当該インク
ジェットヘッドを駆動する駆動装置とを有し、前記イン
クジェットヘッドは、インクを収納する圧力室と当該圧
力室にインクを供給するインク室を画定し、前記圧力室
と前記インク室との間に切り込みを有する圧力室板と、
前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前
記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有す
る。本発明の別の例示的一態様としての記録装置は、イ
ンクジェットヘッドと、当該インクジェットヘッドを駆
動する駆動装置とを有し、前記インクジェットヘッド
は、インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供
給するインク室を画定するとともに複数の要素に分割さ
れている圧力室板と、前記圧力室板の前記圧力室を加圧
して当該圧力室内の前記インクを噴射することができる
圧力印加部材とを有する。前記複数の要素は貫通孔を有
する要素を含むことができる。前記圧力室板の前記要素
は、前記圧力室を画定する第1の要素と、前記インク室
とを画定する第２の要素とを有し、前記圧力室板は、前
記第１の要素と及び前記第２の要素とを接続する弾性部
材を更に有し、前記第１及び第２の要素のいずれか一方
は前記弾性部材を導入する貫通孔を有することができ
る。前記圧力室板の前記要素は、前記圧力室を画定する
第1の要素と、前記インク室とを画定する第２の要素と
を有し、前記圧力室板は、前記１の要素と及び前記第２
の要素とを接続する弾性部材を更に有し、前記第２の要
素は前記圧力室のほぼ中央上に前記弾性部材を導入する
貫通孔を有することができる。本発明の例示的一態様と
してのインクジェットヘッドの製造方法は、インクを収
納する圧力室と当該圧力室にインクを供給するインク室
を画定するとともに複数の要素に分割されている圧力室
板の前記複数の要素の一部の要素と、薄膜と、当該薄膜
を介して前記圧力室を加圧することができる圧電素子と
を接着する工程と、少なくとも前記一部の要素と前記薄
膜を研磨してノズル接合面を形成する工程と、前記圧電
素子が前記圧力室を加圧した時に当該圧力室内の前記イ
ンクを噴射するノズル孔を有するノズル板を前記ノズル
接合面に接合する工程と、前記圧力室板の残りの要素を
前記一部の要素に接着する工程とを有する。前記複数の
要素は貫通孔を有する要素を含み、前記残りの要素を前
記一部の要素に接着する工程は、前記残りの要素の少な
くとも一の要素を前記一部の要素に対して位置合わせす
る工程と、前記貫通孔に弾性接着剤を導入する工程とを
有することができる。前記残りの要素を前記一部の要素
に接着する工程は、前記残りの要素の少なくとも一の要
素を前記一部の要素に対して位置合わせする工程と、弾
性接着剤を毛管作用により前記要素間に導入する工程と
を有することができる。

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
圧力室が加圧された場合にインク室に伝達する圧力室の
振動や変形が減少するので、インク液滴の量や速度が変
化して画質が劣化することが防止できる。特に、複数の
圧力室を有する圧力室板においてはクロストークを防止
することができる。また、単に圧力室板に切り込みを入
れたり切断したりするだけであるので安価且つ簡易に本
発明は上記の効果を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施例のインクジェットヘッド
の分解斜視図である。

【図２】 図１に示すインクジェットヘッド１００の圧
力室１０の構造を説明するための断面図である。

【図３】 図２に示す圧力室板１０の構造の代替例を説
明するための断面図である。

【図４】 図３に示す圧力室板を使用したインクジェッ
トヘッドと従来のインクジェットヘッドとの特性の違い
を模式的に説明するためのグラフである。

【図５】 図１に示すインクジェットヘッドの部分拡大
側面図である。

【図６】 図１に示すインクジェットヘッドを適用した
インクジェットプリンタの概観斜視図である。

【図７】 図７は図２に示すインクジェットヘッドの例
示的な製造方法を説明するためのフローチャートであ
る。

【図８】 図７のフローチャートの一ステップを説明す
るための断面図である。

【図９】 図７のフローチャートの別の一ステップを説
明するための断面図である。

【図１０】 図７のフローチャートの別の一ステップを
説明するための断面図である。

【図１１】 図７のフローチャートの別の一ステップを
説明するための断面図である。

【図１２】 図７のフローチャートの別の一ステップを
説明するための断面図である。

【図１３】 図２に示すインクジェットヘッドの圧力室
板の要素１０ｄの例示的な概略上面図である。

【図１４】 図１３に示す要素１０ｄを有するインクジ
ェットヘッドの概略斜視図である。

【図１５】 図１４のＣ−Ｃ線に沿った概略断面図であ
る。

【図１６】 図２に示すインクジェットヘッドの圧力室
板の要素１０ｄの別の例示的な概略上面図である。

【図１７】 図１６に示す要素１０ｄを有するインクジ
ェットヘッドの概略斜視図である。

【図１８】 図１７のＤ−Ｄ線に沿った概略断面図であ
る。

【符号の説明】

１０ 圧力室板 １０ｃ 要素 １０ｄ 要素 ２０ 圧電素子 ３０ ノズル板 ４０ 樹脂フィルム ５０ 保護層 ６０ ノズル接合面 ７２ 弾性接着剤 ７４ 弾性接着剤 ７６ 切り込み １００ インクジェットヘッド ２００ インクジェットプリンタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三瓶 浩一 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 曽根田 弘光 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 宮木 明彦 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 岩石 晃 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 小野 正裕 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 川村 匠 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 赤星 知幸 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF09 AF23 AF40 AF42 AF93 AG12 AG57 AP02 AP13 AP25 BA03 BA14

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを収納する圧力室と当該圧力室に
   インクを供給するインク室を画定し、前記圧力室と前記
   インク室との間であって前記インクが前記インク室から
   前記圧力室に供給される経路の外側に切り込みを有する
   圧力室板と、 前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前
   記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有す
   るインクジェットヘッド。
2. 【請求項２】 インクを収納する圧力室と当該圧力室に
   インクを供給するインク室を画定するとともに複数の要
   素に分割されている圧力室板と、 前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前
   記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有す
   るインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】 インクジェットヘッドと、 当該インクジェットヘッドを駆動する駆動装置とを有す
   る記録装置であって、 前記インクジェットヘッドは、 インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給す
   るインク室を画定し、前記圧力室と前記インク室との間
   に切り込みを有する圧力室板と、 前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前
   記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有す
   る記録装置。
4. 【請求項４】 インクジェットヘッドと、 当該インクジェットヘッドを駆動する駆動装置とを有す
   る記録装置であって、 前記インクジェットヘッドは、 インクを収納する圧力室と当該圧力室にインクを供給す
   るインク室を画定するとともに複数の要素に分割されて
   いる圧力室板と、 前記圧力室板の前記圧力室を加圧して当該圧力室内の前
   記インクを噴射することができる圧力印加部材とを有す
   る記録装置。
5. 【請求項５】 インクを収納する圧力室と当該圧力室に
   インクを供給するインク室を画定するとともに複数の要
   素に分割されている圧力室板の前記複数の要素の一部の
   要素と、薄膜と、当該薄膜を介して前記圧力室を加圧す
   ることができる圧電素子とを接着する工程と、 少なくとも前記一部の要素と前記薄膜を研磨してノズル
   接合面を形成する工程と、 前記圧電素子が前記圧力室を加圧した時に当該圧力室内
   の前記インクを噴射するノズル孔を有するノズル板を前
   記ノズル接合面に接合する工程と、 前記圧力室板の残りの要素を前記一部の要素に接着する
   工程とを有するインクジェットヘッドの製造方法。