JPH11240155A - ノズル板の接合面に保護層を配置したインクジェットヘッドとその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、ノズル板を接合する面（ノズル接
合面）及びその近傍の部材を保護しつつ製造時間を短縮
するインクジェットヘッド及びその製造方法を提案する
ことを目的とする。 【解決手段】 ノズル板と圧電素子の間に保護層を設け
て、ノズル接合面を形成する際には、保護層のみを研磨
して圧電素子を研磨による損傷から保護する。また、完
成後は、保護層により圧電素子へのインク漏れも防止す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一般に、微少量の
流体をノズル板に設けられたノズル孔から吐出制御する
流体ポンプに係り、特に、流体を収納し、かつ、吐出す
る部屋にノズル板を接着することによって製造される流
体ポンプに関する。本発明の流体ポンプは、単体のプリ
ンタの他、プリント機能を有する複写機やファクシミ
リ、コンピュータシステムあるいはワードプロセッサ若
しくはこれらの複合機などに広く利用されるインクジェ
ットプリンタのヘッド（インクジェットヘッド）に、特
に好適である。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットヘッドの中には、構造的
に、インクが吐出されるノズル孔が形成されたノズル板
を、インクを収納する部屋に接着して製造されるものが
ある。例えば、圧電素子を使用するものはエネルギー効
率が優れているなどの理由から近年ますます注目されて
きているが、この種のインクジェットヘッドは、ノズル
板を圧力室に接着し、圧電素子の変形を利用して圧力室
内の圧力を高めて、これによりインクを噴射すものであ
る。

【０００３】上記のインクジェットヘッドは、典型的に
は、圧力室を有する圧力室板と、薄板と、圧電素子とか
らなる三層体にノズル板を接合することによって構成さ
れる。圧力室は、圧力室板上に形成された凹状の溝と薄
板とにより形成される。圧力室に対抗する薄板上には圧
電素子が配置される。圧電素子は内部電極と外部電極を
有し、外部電極から内部電極に電圧が印加されると、す
なわち、圧電素子が充電されると、薄板を介して圧力室
を加圧するように変形し、電圧が除去されれば、すなわ
ち放電により、元の状態に復帰する。薄膜は圧電素子の
変形を圧力室に伝達する。従って、外部電極から内部電
極へ電圧が印加されると圧電素子は変形して薄膜を介し
て圧力室を加圧し、これにより圧力室からインクがノズ
ル孔より吐出されることになる。近年では、ノズル孔の
隣接ピッチを狭めて高解像度画像を形成するために、積
層構造を有し、かつ、溝により複数の部分に分割された
圧電素子を採用する場合が増えている。

【０００４】一方、高精細度画像を実現するためには、
ノズル孔の隣接ピッチを狭めるだけではなく、インクを
ノズル孔から精度良く所定方向に噴射する必要がある。
また、ノズル板を上記三層体にしっかりと固定する必要
もある。しかし、三層体をノズル板が接合される面であ
るノズル接合面において整列するように接着、形成する
ことは困難である。そこで、ノズル板を三層体に接合す
る際には、三層体の端部を研磨して、平滑なノズル接合
面を形成しなければならなかった。

【０００５】この研磨工程により圧電素子の外部電極の
一部は削られるため、再度蒸着がなされてノズル接合面
に形成される。その後、接着剤が塗布されて、ノズル板
が、ノズル孔が圧力室に整列するように、ノズル接合面
に接着されて、インクジェットヘッドが完成する。イン
クジェットヘッドが完成した後に、インクが圧力室に充
填される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このように、流体を収
納する部屋にノズル板を接着する流体ポンプを製造する
場合にはノズル接合面を研磨して平滑にする必要があ
る。しかし、従来の製造方法は、研磨工程により、ノズ
ル接合面及びその近傍にある部材が機械的又は電気的に
破壊されたり、若しくは、研削により再形成を余儀なく
されるという課題を有していた。

【０００７】例えば、先のインクジェットヘッドでは、
圧電素子は、一般に強度が低く、特に、積層構造を使用
する圧電素子は、ノズル接合面の研磨により剥離、割
れ、欠けを被りやすかった。また、研磨による圧電素子
の破壊を最小限のものにする必要から研磨速度を遅く設
定する必要があり、製造時間の短縮化を妨げていた。更
に、圧電素子の外部電極は、圧電素子を特性（歩留り）
検査して検査に合格したもののみを薄板に接着する必要
があるために、研磨前に形成しておかなければならない
が、研磨によって削除されてしまうため、研磨後にこれ
を再形成しなければならないという不便もあった。

【０００８】一方、流体を収納する部屋にノズル板を接
着する流体ポンプにおいては、ノズル板の接着不良や、
ノズル接合面に塗布される接着剤のひびや亀裂によって
ノズル接合面からインクが漏れるという課題もあった。
例えば、先のインクジェットヘッドでは、圧力室にイン
クを充填する際などに、ノズル接合面からインクが圧電
素子の内部に侵入しやすかったために、内部電極は短絡
しやすかった。これは、圧電素子が溝で分割されている
場合には、特に顕著であった。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題に鑑
み、ノズル接合面付近の部材を保護しつつ製造時間を短
縮する流体ポンプ及びその製造方法を提供することを目
的とする。上記目的を達成するために、本発明のインク
ジェットヘッドは、インクを収納する圧力室を形成する
圧力室板と、前記圧力室板の前記圧力室を加圧すること
ができる圧電素子と、前記圧電素子に接続され、少なく
ともノズル接合面の一部を形成すると共に少なくとも前
記圧電素子を前記ノズル接合面から離間させる保護層
と、当該圧電素子が前記圧力室を加圧した時に当該圧力
室内の前記インクを噴射するノズル孔を有して前記ノズ
ル接合面に接合されるノズル板とを備えることを特徴と
する。

【００１０】また、本発明のインクジェットヘッドは、
インクを収納する圧力室を形成すると共に当該圧力室を
加圧することができる圧電素子と、前記圧電素子に接続
され、少なくともノズル接合面の一部を形成すると共に
前記圧電素子を前記ノズル接合面から離間させる保護層
と、当該圧電素子が前記圧力室を加圧した時に当該圧力
室内の前記インクを噴射するノズル孔を有して前記ノズ
ル接合面に接合されるノズル板とを有することを特徴と
する。

【００１１】また、本発明のインクジェットヘッドは、
インクを収納する圧力室を形成すると共に当該圧力室を
加圧することができ、第１及び第２の内部電極を有する
圧電素子と、前記圧電素子に接続されて前記第２の内部
電極を前記第１の内部電極に対して遮蔽すると共に、少
なくともノズル接合面の一部を形成する保護層と、前記
第１及び第２の内部電極が通電されてそれらの間に電位
差が生じることによって前記圧電素子が前記圧力室を加
圧した時に当該圧力室内の前記インクが噴射されるノズ
ル孔を有して前記ノズル接合面に接合されるノズル板と
を有することを特徴とする。

【００１２】また、本発明のインクジェットヘッドは、
インクを収納する圧力室を形成すると共に少なくともノ
ズル接合面の一部を形成する圧力室板と、前記ノズル接
合面から離間して配置され、前記圧力室板の前記圧力室
を加圧することができる圧電素子と、当該圧電素子が前
記圧力室を加圧した時に当該圧力室内の前記インクを噴
射するノズル孔を有して前記ノズル接合面に接合される
ノズル板とを有することを特徴とする。

【００１３】また、本発明のインクジェットヘッドの製
造方法は、インクを収納する圧力室を形成する圧力室板
と、薄膜と、当該薄膜を介して前記圧力室板の前記圧力
室を加圧することができる圧電素子とを接着する工程
と、少なくとも当該圧電素子の上に保護層を形成する工
程と、当該保護層を研磨して少なくとも当該保護層上に
ノズル接合面を形成する工程と、前記圧電素子が前記圧
力室を加圧した時に当該圧力室内の前記インクを噴射す
るノズル孔を有するノズル板を前記ノズル接合面に接合
する工程とを有することを特徴とする。

【００１４】また、本発明の流体ポンプは、流体を収納
する第１の部材と、当該第１の部材に接続されて当該第
１の部材に収納された流体を排出する第２の部材と、当
該第２の部材に接続されて、少なくともノズル接合面の
一部を形成すると共に少なくとも前記第２の部材を前記
ノズル接合面から離間する保護層と、前記第２の部材に
より排出された流体を噴射するノズル孔を有して前記ノ
ズル接合面に接合されるノズル板とを備えることを特徴
とする。

【００１５】このように、本発明のインクジェットは、
圧電素子を保護層によりノズル接合面から離間させるの
でインク漏れなどの被害を受けにくくなる。また、かか
るインクジェットの製造方法においては、保護層は、圧
電素子が研磨されて破壊されるのを防止する。

【００１６】

【実施例】以下、図１乃至図７を参照して、本発明の第
１実施例のインクジェットヘッド１００とその製造方法
を説明する。図1は完成したインクジェットヘッド１０
０の分解斜視図であり、図２は図１に示すインクジェッ
トヘッド１００の部分拡大側面図である。図１から分か
るように、本発明のインクジェットヘッド１００は、圧
力室板１０と、圧電素子２０と、ノズル板３０と、樹脂
フィルム４０と、保護層５０とを有する。

【００１７】図７に示すように、圧力室板１０と樹脂フ
ィルム４０と保護層５０は、ノズル板３０の面３０ａが
接合される面であるノズル接合面６０において整列して
いる。換言すれば、圧力室板１０の前面１０ａと樹脂フ
ィルム４０の前面４０ａと保護層５０の前面５０ａは、
平滑なノズル接合面６０を構成している。圧力室板１０
は、略直方体の形状を有するガラス板に、所望の数（図
1では便宜上４つ）の圧力室１２とインク導入路１４、
並びに、共通インク室１６を有する。

【００１８】圧力室１２は、インクを供給されてこれを
収納すると共に内部圧力が高まるとインクを開口１２ａ
に連通されたノズル孔３２から噴射する。内部圧力は、
後述するように、直下の圧電体ブロック２１が変形に伴
って変化する。圧力室１２は、圧力室板１０上に形成さ
れた凹状の溝と弾性変形可能な樹脂フィルム４０により
略直方体の空間として形成されている。

【００１９】共通インク室１６は、各圧力室１２にイン
ク導入路１４を介してインクを供給する。共通インク室
１６は、圧力室１２の急激な内部圧力変動を吸収するよ
うに底面は樹脂フィルム４０で画定されており、圧力室
板１０の側面１０ｂにおいて図示しないインク供給装置
に接続されている。共通インク室１６は、圧力室１２が
収縮加圧されてインクを吐出した後、復帰する際に、イ
ンク導入路１４を介して、圧力室１２に必要量のインク
を供給する。

【００２０】樹脂フィルム４０は、圧力室１２、共通イ
ンク室１６、インク導入路１４の一面を構成し、後述の
圧電体ブロック２１の変形を圧力室１２に伝達すると共
に圧力室１２内のインクが圧電素子２０の溝２３に侵入
するのを防止する機能を果たす。樹脂フィルム４０の厚
さは例えば１６ミクロン程度である。樹脂フィルム４０
は圧力室１２の一面を形成する部材であるが、弾性変形
の可能な金属薄膜により構成されてもよい。

【００２１】圧電素子２０は、積層構造を有して、前面
２０ａから後面２０ｂに延びる平行な溝２３によって分
割された複数（図１では便宜上４つ）の圧電体ブロック
２１を有する。各圧電体ブロック２１の積層内には内部
電極２２、２４が設けられ、内部電極２２は外部電極２
６と、内部電極２４は外部電極２８と接続されている。
なお、図１は、作図の便宜上、一の外部電極２８のみを
示す。また、図１及び図２以外の図面においては、作図
の便宜上、内部電極２２、２４は省略されている。

【００２２】図２に示すように、内部電極２２と２４と
がＡ方向に重なっている部分が活性部２５であり、この
活性部２５において、各圧電体ブロック２１は変形す
る。活性部２５の長さは圧力室１２に加えられるべき圧
力に応じて調節される。活性部２５はノズル接合面６０
から所定距離だけ離間されているために、それが変形し
てもノズル接合面６０における圧電素子２０と保護層５
０とが接着していることには影響を与えない。

【００２３】外部電極２６は、圧電素子２０の前面２０
ａの全面に蒸着された電極層であり、全ての圧電体ブロ
ック２１に共通する外部電極である。外部電極２６はア
ースされている。これに対して、外部電極２８は、圧電
素子２０の後面２０ｂの上にあるが、後面２０ｂの全面
に蒸着されてはおらず、各圧電体ブロック２１に対応し
た位置にのみ個別的に設けられた電極層である。外部電
極２８は、通電されなければ電位はゼロであるが、通電
されれば正の電圧を内部電極２４に印可することができ
る。

【００２４】かかる構造より、圧電素子２０の各圧電体
ブロック２１は、外部電極２８に電圧が印可されないと
内部電極２２、２４の電位が共にゼロのため変形しな
い。しかし、外部電極２８から電圧が印可されると、各
圧電体ブロック２１は他の圧電体ブロック２１とは独立
して、図1のＡ方向（縦方向）に変形可能ある。換言す
れば、Ａ方向が圧電体ブロック２１の分極方向になる。
外部電極２８からの通電が停止すると、すなわち、圧電
素子２０に充電された電荷が放電されることにより、対
応する圧電体ブロック２１は元の状態に復帰する。

【００２５】保護層５０は、５０ミクロン程度の厚さを
有する略長方体状の熱硬化型エポキシ系接着材であり、
圧電素子２０（外部電極２６）の前面２０ａと面５０ｂ
で接続されている。但し、保護層５０の材質はこれに限
定されるものではない。なお、実際のインクジェットヘ
ッド１００では、保護層５０は厳密に直方体形状ではな
く、保護層５０と圧電素子２０との接続は、図１及び図
２に示すように、外部電極２６と面５０ｂにより明確に
なされているものではない。即ち、熱硬化前に保護層５
０はその一部が圧電素子２０の溝２３より内部に侵入し
ている。従って、保護層５０の材質は、内部電極２２、
２４を短絡させないように絶縁物であることが望まし
い。

【００２６】後述するように、保護層５０には様々な効
果があるが、図２に示す構造から導かれる効果としては
以下のものがある。まず、保護層５０は圧電素子２０を
ノズル接合面６０から５０ミクロン程度離間させてい
る。圧力室１２からインクが漏れて圧電素子２０に侵入
する場合、インクは、主として、ノズル接合面６０を通
って圧電素子２０に侵入する。しかし、保護層５０は、
ノズル接合面に配置されていた圧電素子をノズル接合面
６０から離間することにより、インクが圧電素子２０に
侵入して内部電極２２、２４が短絡することを防止して
いる。この効果は圧電素子の配置に起因するため、従来
のインクジェットヘッドであっても、圧電素子をノズル
接合面から離間して配置すれば同様の効果を得ることが
できる。

【００２７】続いて、保護層５０は溝２３を遮蔽してい
る。インクが漏れて圧電素子２０に侵入する場合、イン
クは、主として、圧力室１２の開口１２ａからノズル接
合面６０を伝って圧電素子２０の溝２３よりその内部に
侵入する。しかし、保護層５０はノズル接合面６０に対
して（即ち、ノズル接合面６０から見て）溝２３を遮蔽
することにより、インクが圧電素子２０の前面２０ａ付
近から溝２３に侵入して内部電極２２及び２４が短絡す
ることを防止している。

【００２８】更に、保護層５０は、圧電素子２０に接着
されることにより、圧電素子２０の強度を高めている。
即ち、圧電素子２０は積層構造を有して、各圧電体ブロ
ック２１は、本来、剥離、割れ、欠けなどの破壊を被り
やすい。保護層５０が５０ミクロンという厚さで圧電素
子２０（外部電極２６）の前面２０ａに接着されること
により、圧電素子２０の強度を高め、耐久性を向上させ
ている。

【００２９】このように保護層５０を補強部材ととらえ
れば、圧電素子２０の強度を向上させるために、保護層
５０を圧電素子２０のその他の面、例えば、後面２０ｂ
にも設けることができる。その場合、外部電極２８があ
る部分とない部分の前面に設けられてもよいし、どちら
か選択的に設けられてもよい。また、保護層５０は、そ
の前面５０ａの全面においてノズル板３０と接着するの
で、圧電素子２０をノズル板３０に直接接着している従
来のインクジェットヘッドに比べて、溝２３が接着面積
を減少させないなどの安定した接着を提供できる。

【００３０】次に、図５を参照して、本発明のインクジ
ェットヘッド１００の製造方法について説明する。ま
ず、ガラス板を加工して圧力室１２などを作り、圧力室
板１０を形成する（ステップ１０１）。次に、圧電素子
２０を形成する（ステップ１０２）。このステップ１０
２はステップ１０１に先立って行われてもよいし、平行
して行われてもよい。

【００３１】本実施例の圧電素子２０は、まず、複数枚
のグリーンシート２７を用意する。各グリーンシート２
７はセラミックの粉末などの溶剤にまぜて混練してペー
スト状にし、ドクターブレードにより５０ミクロン程度
に薄膜形成する。グリーンシートのうち、３枚のグリー
ンシートの片方の表面には、それぞれ内部電極２２のパ
ターンが印刷・形成され、３枚のグリーンシートの片方
の表面には、それぞれ内部電極２４が印刷・形成され、
残りには何も内部電極は形成されない。内部電極２２と
２４の印刷は、銀とパラジウムの合金を粉状にしたもの
に溶剤をまぜてペースト状にしたものを塗布して、パタ
ーン形成することによりなされる。

【００３２】次に、内部電極２２が形成された３枚と内
部電極２４が形成された３枚を交互に張り合わせ、残り
の６枚もその後張り合わせる。これにより、図２に示す
ような圧電素子２０の積層構造を形成する。圧電素子２
０のうち内部電極２２、２４を含まない下のグリーンシ
ートは基盤部となる。さて、これらのグリーンシートを
積層した状態で焼成する。続いて、ダイヤモンドカッタ
ーによって前面２０ａから後面２０ｂに少なくとも最初
の６枚のグリーンシートを部分的に切断する。これによ
って、溝２３によって分割された複数の圧電体ブロック
２１を形成する。最後に、前面２０ａと後面２０ｂに外
部電極２６、２８をそれぞれ蒸着により形成する。な
お、焼成前に溝２３を形成しておくことも可能である。

【００３３】完成した圧電素子２０は、外部電極２６、
２８に電圧を印可することによって特性検査がなされ、
動作不良のものは排除される。次に、ノズル板３０をス
テンレスなどの金属により形成する(ステップ１０３)。
各ノズル孔３２は、ピンを使用したパンチなどにより、
好ましくは、ノズル板３０の前面３０ｂから後面３０ａ
に向かって広がる円錐状（断面的にテーパ状）に加工す
る。圧力室板１０とノズル板３０を一体的に構成せずに
圧力室板１０にノズル板３０を接着する理由の一つは、
かかる円錐状のノズル孔３２を得るためである。本実施
例では、後面３０ａにおけるノズル孔３２の大きさは８
０ミクロン程度、前面３０ｂにおけるノズル孔３２の大
きさは２５〜３５ミクロン程度としている。なお、この
ステップ１０３はステップ１０１、ステップ１０２に先
立って行われてもよいし、平行して行われてもよい。

【００３４】次に、図３に示すように、動作が確認され
た圧電素子２０から５００ミクロン程度ノズル板３０に
向かって突出するように樹脂フィルム４０を配置して両
者を接着する（ステップ１０４）。このように配置する
理由は、将来、圧電素子２０を保護するように、保護層
５０を塗布するための段差２９を形成するためである。

【００３５】次に、図４に示すように、圧力室板１０
を、樹脂フィルム４０から３００ミクロン程度ノズル板
３０に向かって引っ込むように、かつ、圧電素子２０か
らノズル板３０に向かって２００ミクロン程度突出する
ように、圧電素子２０に対抗する側に、配置して接着す
る（ステップ１０５）。圧力室板１０が樹脂フィルム４
０に接着される前には、各圧電体ブロック２１と圧力室
１２が対応するように位置合わせが行われる。 本実施
例では、圧電素子２０と樹脂フィルム４０の接着を樹脂
フィルム４０と圧力室板１０の接着よりも先行させてい
る。しかし、本発明が、ステップ１０５をステップ１０
４に先行させた場合を含むことは明らかである。

【００３６】本実施例では、圧力室板１０を樹脂フィル
ム４０よりもノズル板３０に向かって引っ込むように配
置される。これは、後述するように、この後に保護層５
０を段差２９に塗布する時に、保護層５０が開口１２ａ
から圧力室１２の内部に侵入して圧力室１２の開口１２
ａを塞ぐのを極力防ぐためである。もっとも本発明は、
保護層５０を塗布する前に、樹脂フィルム４０から突出
した圧力室板１０（特に、樹脂フィルム４０に対抗する
面）に適当なマスクを配置することによって保護層５０
が圧力室１２の内部に侵入することを防止できるため、
この場合には、圧力室板１０が樹脂フィルム４０よりも
ノズル板３０に向かって突出していても問題はない。

【００３７】圧力室板１０は圧電素子２０からノズル板
３０に向かって突出するように配置される。これは、後
述する研磨工程において、圧電素子２０が研磨されるこ
とを防止するためである。図４に示す圧力室板１０と樹
脂フィルム４０と圧電素子２０からなる三層体を作る時
は、Ａ方向を重力の方向に向けることによって、その作
成が容易となる。図４では、樹脂フィルム４０は、三層
体中で突出した状態になっているために、圧力室板１０
に向かって重力の作用で曲がることが予想されるが、圧
力室板１０樹脂フィルム４０の表面張力を利用すること
により図４に示す三層構造を保つことができる。なお、
重力の方向は必ずしもＡ方向に一致する必要はないこと
はいうまでもない。

【００３８】その後、図６に示すように、保護層５０を
樹脂フィルム４０と圧電素子２０との段差２９に形成す
る（ステップ１０６）。本実施例では、保護層５０に熱
硬化型エポキシ系接着剤を使用しているため、保護層５
０は塗布された後に熱硬化される。保護層５０は粘性が
比較的低いので段差２９に塗布される際に、圧電素子２
０の溝２３からその内部に一部侵入する。そして、熱硬
化されると、保護層５０は、溝２３を一部封止した状態
で硬化する。なお、ステップ１０６とステップ１０５を
交換して、先に保護層５０を塗布した後に、圧力室板１
０を接着することも可能である。

【００３９】なお、本実施例では、保護層５０は圧電素
子２０（外部電極２６）の前面２０ａに亘って塗布され
るが、必要があれば、部分的に塗布されてもよい。次い
で、圧力室板１０と樹脂フィルム４０と保護層５０の端
部が研磨されて平滑なノズル接合面６０を形成する（ス
テップ１０７）。図７は研磨後のノズル接合面６０を示
している。この研磨工程は、ノズル板３０のノズル３２
を精度良く圧力室１２に連通するように、かつ、ノズル
板３０をしっかりと圧力室板１０などに固定するために
必要な工程である。研磨は、保護層５０の厚さが５０ミ
クロン程度は残るように、即ち、圧力室板１０であれば
１５０ミクロン程度切削されるようにして行われる。

【００４０】この研磨工程においては、圧電素子２０は
保護層５０に保護されて研磨による影響を受けない。従
って、研磨工程を経ても圧電素子２０が剥離、割れ、欠
けを被ることはない。また、外部電極２６が削除される
こともない。更に、圧力室板１０はガラスからなるので
比較的強度が高く、研磨速度を高く設定できるため、本
発明の製造方法によれば、従来の製造方法に比べて、研
磨時間が約５分の１に短縮されている。

【００４１】研磨が終了すると、接着剤が３乃至４ミク
ロン程度ノズル接合面６０に塗布され（ステップ１０
８）、ノズル板３０が、ノズル孔３２が圧力室１２に対
応するように、ノズル接合面６０に接着される（ステッ
プ１０９）。本発明のインクジェットヘッドの製造方法
によれば、塗布された保護層５０は製造工程中、いくつ
かの効果を発揮している。

【００４２】まず、保護層５０は、ステップ１０７の研
磨工程において、積層構造を有して特に剥離などしやす
い圧電素子２０が研磨されることを防止することによっ
て、圧電素子２０が破壊されることを防止している。次
に、保護層５０は、研磨速度を比較的強度が高い圧力室
板１０に合わせて設定することを可能にするため、従来
の製造方法に比べて、研磨加工の時間を短縮している。

【００４３】また、保護層５０は、ステップ１０６にお
いて、圧電素子２０の溝２３に２０乃至３０ミクロン程
度侵入してこれを封止し、インクが圧力室１２から図７
に示すノズル接合面６０を介して圧電素子２０に侵入し
て、内部電極２２及び２４が短絡することを防止してい
る。かかる保護層５０の封止機能を重視すれば、保護層
５にエポキシ系充填剤や、アクリル樹脂、若しくは、ポ
リエチレン樹脂などを使用してもよい。また、これらの
封止部材（絶縁部材）を圧電素子２０の形成時に溝２３
に所望の量だけ予め充填することにより、封止機能を更
に強化してもよい。

【００４４】更に、保護層５０は、ステップ１０７にお
いて、外部電極２６を研磨から保護することによって、
外部電極２６を再度形成する手間を省いている。保護層
５０がない従来の製造方法では、この外部電極は圧電素
子２０を事前に特性検査するためには必要不可欠である
が、研磨により削られてしまうため、改めて作り直す必
要があった。本発明による保護層５０は、この外部電極
の再形成工程を省略しているため、製造時間の更なる短
縮を実現している。

【００４５】このようにしてインクジェットヘッド１０
０が完成すると、その後、圧力室１２にインクが充填さ
れる。インクの充填は、共通インク室１６から圧力室１
２に向かってインクを加圧することによって行うか、ノ
ズル板３０に図示しないキャップを取り付けて、そのキ
ャップを利用してノズル孔３２に負圧を加えて、インク
室１６から圧力室１２にインクを移動させることによっ
て行ってもよい。いずれの方法によるにしろ、保護層５
０は、インクの充填時に、インクがノズル接合面６０か
ら圧電素子２０の溝２３に侵入することを防止する。

【００４６】完成したインクジェットヘッド１００にお
いては、外部電極２８は、それぞれ独立して、圧電体ブ
ロック２１の内部電極２４に電圧を印加するために、各
圧電体ブロック２１がそれぞれ独立に図１のＡ方向に変
位して樹脂フィルム４０をＡ方向に撓ませ、対応する圧
力室１２を加圧する。かかる加圧により、インクが、圧
力室１２から対応するノズル孔３２を介して射出され
る。外部電極２８からの通電が停止すれば、樹脂フィル
ム４０と圧電体ブロック２１は放電により元の状態に復
帰する。この時、圧力室１２の内部圧力が下がるので、
共通インク室１６からインク導入路１４を介して圧力室
１２にインクが補給される。

【００４７】なお、本実施例では、圧電素子２０はＡ方
向へ縦変形するものを用いたが、横変形するものを用い
てもよい。以下、添付図面を参照して、本発明の第２実
施例のインクジェットヘッド２００とその製造方法を説
明する。図８は完成したインクジェットヘッド２００の
分解斜視図である。図８において、図１と同一の部材に
は同一の参照番号が付してあり、重複説明は省略してあ
る。但し、図８に示す圧力室板１０と樹脂フィルム４０
は、後述する研磨工程（ステップ２０３）において研磨
されていないために、図１に示す圧力室板１０と樹脂フ
ィルム４とは寸法において異なるもののそれ以外では同
一であるために同一の参照番号が付されている。

【００４８】インクジェットヘッド２００は、圧力室板
１０と樹脂フィルム４０と圧電素子２０とからなる三層
体と、三層体の前面に形成された保護層１５０と、保護
層１５０の前面１５０ａに取り付けられたノズル板３０
を有する。三層体の積層構造はインクジェットヘッド１
００と同様であるが、圧力室板１０の前面１０ａと樹脂
フィルム４０の前面４０ａと圧電素子２０（外部電極２
６）の前面２０ａは必ずしも整列しておらず、段差を有
してもよい。これに対して、従来のインクジェットヘッ
ドでは、研磨工程によりこの段差は全て取り除かれて平
滑にされ、インクジェットヘッド１００では圧力室板１
０と樹脂フィルム４０の段差はステップ１０７の研磨工
程において取り除かれる。

【００４９】保護層１５０は保護層５０と同様の材質
（例えば、熱硬化型エポキシ系接着材）により構成さ
れ、ノズル接合面として機能する前面１５０ａと、三層
体に接合される後面１５０ｂと、圧力室１２にそれぞれ
対応する開口１５０ｃを有する。保護層１５０の厚さは
三層体の面１０ａと面４０ａと面２０ａの段差をどのく
らいのオーダーで許容するかに依存する。

【００５０】ノズル接合面１５０ａは平滑で、これにノ
ズル板３０が取り付けられる。なお、保護層５０と同様
に、実際のインクジェットヘッド２００では、保護層１
５０と三層体（特に、圧電素子２０）との接続は、外部
電極２６と面１５０ｂにより明確になされているもので
はなく、保護層１５０の一部は圧電素子２０の溝２３よ
り内部に侵入するものである。保護層１５０の開口１５
０ｃは、圧力室１２の開口１２ａと略同一の大きさと形
状を有する。従って、保護層１５０は圧力室１２からノ
ズル孔３２へインクが噴射されるのを妨げることはな
い。

【００５１】このように、本実施例のインクジェットヘ
ッド２００によれば、保護層１５０の面１５０ａのみが
平滑なノズル接合面を提供する。従って、三層体の面１
０ａと面４０ａと面２０ａの全部又は一部の生じうる段
差を平滑にする必要はない。次に、図９を参照して、本
発明のインクジェットヘッド２００の製造方法について
説明する。

【００５２】まず、圧力室板１０を形成する工程（ステ
ップ１０１）と、圧電素子２０を形成する工程（ステッ
プ１０２）と、ノズル板３０を形成する工程（ステップ
１０３）は、図５のそれらと同様であるので、説明を省
略する。続いて、圧力室板１０と樹脂フィルム４０と圧
電素子２０とを、面１０ａと面４０ａと面２０ａとによ
って形成される段差が所定のオーダー以下（例えば１０
０ミクロン以内）になるように接着して三層体を形成す
る（ステップ２０１）。これらの段差が所定のオーダー
以下であれば、三層体のうちいずれの部材が突出したり
引っ込んでいたりするかは問題ではない。また、圧力室
板１０と樹脂フィルム４０と圧電素子２０の接着の順番
は問わない。但し、各圧電体ブロック２１と圧力室１２
は対応するように接着されなければならない。

【００５３】次に、圧力室１２の開口１２ａに対応した
部分が閉口しているマスクを形成して、このマスクを介
して保護層１５０を三層体の面１０ａと面４０ａと面２
０ａの上に塗布する（ステップ２０２）。かかるマスク
形成は、周知のマスクパターン技術をもちいることで容
易に形成される。三層体の段差のオーダーが１００ミク
ロンであれば、保護層を２００ミクロンから３００ミク
ロン程度の厚さだけ塗布してもよい。

【００５４】その後、保護層１５０の前面は研磨され
て、平滑なノズル接合面１５０ａとされ（ステップ２０
３）、面１５０ａに接着剤が塗布されて（ステップ２０
４）、ノズル板３０がノズル接合面１５０に接着される
（ステップ２０５）。このように、インクジェットヘッ
ド２００の製造方法においては、圧力室板１０と樹脂フ
ィルム４０と圧電素子２０をノズル板３０に向かう方向
において細かく位置合わせすることは不要であるため、
製造時間の短縮化を図ることができる。即ち、インクジ
ェットヘッド１００では、図３及び図４に示すように、
圧力室板１０と樹脂フィルム４０と圧電素子２０とを所
定の位置関係において接続する必要があったが、保護層
１５０はこれら３つの部材によって生じる段差を吸収す
るので、これら３つの部材が所定のオーダー以内で整列
してさえいれば、どのような段差を有しているかは問題
にならない。従って、三層体の端部が、圧力室板１０と
圧電素子２０が樹脂フィルム４０よりも断面的に突出し
て凹状となっていたり、樹脂フィルム４０がこれらより
も断面的に突出して凸状となっていたりしても問題はな
い。

【００５５】完成したインクジェットヘッド２００にイ
ンクを充填する方法は、インクジェットヘッド１００の
それと同様であり、また、インクジェットヘッド２００
の動作もインクジェットヘッド１００のそれと同様であ
るため、説明は省略する。本発明は、このように圧力室
１２を外部に設置された圧電体ブロック２１により加圧
するインクジェットヘッドに限定されるものではなく、
ノズル板を接着するタイプであればその他のインクジェ
ットヘッド、例えば、圧力室を含む圧電素子を有するイ
ンクジェットヘッドに適用できることは言うまでもな
い。

【００５６】以下、図１０乃至図１６を参照して、この
ような圧力室を含む圧電素子を有するインクジェットヘ
ッドについて説明する。図１０は、本発明のインクジェ
ットヘッド３００の全体構成図である。図１０に示すよ
うにインクジェットヘッド３００は、上蓋２１０と、圧
電素子２２０と、ノズル板２３０と、インク供給金具２
４０と、保護層２５０、フレキシブルプリント板２６０
とを有する。なお、保護層２５０は、後述する圧電素子
２２０の垂直溝２２６に配置され、垂直溝２２６の数だ
け（図１０においては７個）設けらていれるが、便宜
上、図１０はこのうちの１個を抜き出して多少拡大して
図示している。上蓋２１０は、圧電素子２２０の上面２
２０ｃに取り付けられて、圧電素子２２０の水平溝２２
４に対応する部分に水平溝２１２と、インク供給金具２
４０の側に折り曲げ部２１４を有する。また、その前面
２１０ａはノズル板２３０の一部が取り付けられるノズ
ル接合面２７０の一部を構成する。

【００５７】図１３に示すように、上蓋２１０は、水平
溝２１２において、その厚さが薄くなっている。これ
は、図１５に示す圧電体ブロック２２１の圧力室２２２
の壁を構成する部分２２１ａが、後述するように、変形
する際に、この圧電体ブロック２２１に隣接するが変位
はしない他の圧電体ブロック２２１の部分２２１ａの歪
みを吸収するためのものである。折り曲げ部２１４は、
図１２に示すように、圧電素子２２０の後面２２０ｂに
接続されている。

【００５８】圧電素子２２０は、複数の圧電体ブロック
２２１を有し、各圧電体ブロック２２１は圧力室２２２
を有する。また、隣接する圧電体ブロック２２１は、水
平溝２２４と垂直溝２２６により分割されている。圧力
室２２２と水平溝２２４は圧電素子２２０の前面２２０
ａから後面２２０ｂに向かって平行に延びている。前面
２２０ａは、保護層２５０の前面２５０ａと共に、後述
するように、ノズル板２３０が取り付けられるノズル接
合面２７０を構成している。

【００５９】図１０に示すように、垂直溝２２６は、圧
電素子２２０の前面２２０ａの側において、水平溝２２
４に接続されている。垂直溝２２６には、後述するよう
に、保護層２５０が配置される。圧力室２２２は、図１
４に示すように、圧電素子２２０の後面２２０ｂの側に
おいて、垂直溝２２８と接続されている。図１１に示す
ように、垂直溝２２８の長さｌは圧力室２２２に対する
絞りを構成することになり、適切な絞り効果を得るよう
に、垂直溝２２８の断面、幅及び深さと長さｌが決定さ
れる。

【００６０】各圧力室２２２の内面とこれに対応する垂
直溝２２８の上には負極としての内部電極２２３が形成
されており、それぞれ、図１１及び図１５に示すよう
に、圧電素子２２０の下面２２０ｄの後面２２０ｂに近
い領域において、個別に設けられた外部電極２２７に接
続されている。従って、各外部電極２２７は、個別的
に、対応する圧電体ブロック２２１に負の電圧を印可す
ることができる。

【００６１】また、各水平溝２２４とこれに対応する垂
直溝２２６の面上には正極としての内部電極２２５が形
成されており、全ての内部電極２２５は、図１２及び図
１５に示すように、共通の外部電極２２９に接続されて
いる。更に、図１１及び図１２に示すように、外部電極
２２７と２２９は、それぞれ、圧電素子２２０の後面２
２０ｂ側及び前面２２０ａ側から引き出されてフレキシ
ブルプリント板２６０の所定の導体パターンに接続され
ている。従って、フレキシブルプリント板２６０を介し
て外部電極２２７に電圧を印可することにより所望の圧
電体ブロック２２１を動作させることできる。

【００６２】内部電極２２３と２２５は、まず、圧電素
子２２０の全表面を溝部分も含めてめっきして金属層を
形成した後、前面２２０ａ、後面２２０ｂ、上面２２０
ｃを切削して金属層を除去して、エッチングによりパタ
ーン形成されるものである。ノズル板２３０は、圧力室
２２２に対応したノズル孔２３２を有して、上蓋２１０
の前面２１０ａと各圧電体ブロック２２１の前面２２０
ａと保護層２５０の前面２５０ａとから構成されるノズ
ル接合面２７０に接合される。ノズル孔２３２はノズル
板２３０の前面２３０ａから後面２３０ｂに向かって断
面的にテーパ状を有することが好ましい。

【００６３】インク供給金具２４０は、圧電素子２２０
の後面２２０ｂに接合され、共通インク室２４２を有す
る。共通インク室２４２は、図１１に示すように、圧電
素子２２０の垂直溝２２８及び圧力室２２２に接続され
ると共に、インクを供給されるインク供給路２４４に接
続されている。保護層２５０は、圧電素子２２０の凹状
の垂直溝２２６に配置され、垂直溝２２６の数だけ（図
１０においては７個）設けらていれる。保護層２５０
は、垂直溝２２６の上に形成された内部電極２２５を覆
うことにより、圧力室２２２から漏れ出たインクがこの
内部電極２２５と圧力室２２２の内面に形成された内部
電極２２３とが圧電体ブロック２２１の前面２２０ａを
介して短絡することを防止している。上述のように、保
護層２５０の前面２５０ａは、上蓋２１０の前面２１０
ａと圧電素子２２０の前面２２０ａと共に、ノズル接合
面２７０を形成する。

【００６４】保護層２５０を形成するには、図１０に示
す圧電素子２２０を形成した後に、上蓋２１０と圧電素
子２２０を接着する前又は後に、その前面２２０ａを覆
うようにしてマスクをかぶせてシリコンゴム系の接着剤
などを塗布することにより形成される。マスクは、垂直
溝２２６に対応する部分のみが開口するものを用いれば
よい。本実施例では、保護層２５０は粘性の強いシリコ
ンゴム系の接着材を用いて水平溝２２５の内部奥深くに
は侵入しないようにしている。これは、水平溝２２５に
保護層２５０が充填されれば、各圧電体ブロック２２１
の円滑な変形を妨げる畏れがあるからである。なお、保
護層２５０は、シリコンゴム系の接着材に限定されず、
その他の粘性の高い絶縁性接着材を使用できることは言
うまでもない。

【００６５】このようなインクジェットヘッド３００の
動作においては、まず、フレキシブルプリント板２６０
により所望の圧電体ブロック２２１に対応する外部電極
２２７に電圧が印可される。すると、図１５に示す圧電
体ブロック２２１の圧力室２２２の壁を構成する部分２
２１ａの両側で電圧差が生じ、各部分２２１ａは、圧力
室２２２が収縮する方向に変形する。これにより圧力室
２２２が加圧されて、内部のインクが対応するノズル孔
２３２から射出される。この際、圧力室２２２の内部に
生じた圧力波は、前方のノズル孔２３２に向かうと共に
後方にも伝搬するが、後方に進行する圧力波は上蓋２１
０の折り曲げ部２１４に反射されて、前方に戻る。

【００６６】流体であるインクは微少量といえども質量
を有し、ノズル孔２３２から噴射することができる速度
となるまでインクを加速するのに所定の時間を必要とす
る。しかし、圧力室２２２は垂直溝２２８により方向が
直角に曲げられると共に断面が絞られるため、圧力室２
２２の内部圧力は、噴射に必要な圧力になるまで十分維
持される。

【００６７】この結果、垂直溝２２８が圧力室２２２内
の圧力損失を減少させている状態で、ノズル孔２３２か
らは圧力室２２２内のインクが十分な噴射速度で吐出さ
れる。外部電極２２７からの電圧の印可が停止すると、
圧電体ブロック２２１はもとの状態に復帰し、その際、
負圧になった圧力室２２２には、垂直溝２２８を介し
て、共通インク室２４２からインクが補充される。この
場合において、垂直溝２２８の断面積を余り小さくしな
くても、その直角に折り曲げられた形状により、垂直溝
２２８は必要な絞り効果を与えることができるので、共
通インク室２４２から圧力室２２２へのインクの吸入に
ついて流路抵抗を小さく維持することができる。

【００６８】このようなインク流路を形成することで、
上蓋２１０、ノズル板２３０、インク供給金具２４０等
の各部品の加工を容易で、これらの部品を圧電素子２２
０に結合して精度良いインクジェットヘッドを構成する
ことができるだけでなく、インクの噴射速度を上昇させ
て印字品質を向上させることができる。保護層２５０に
は様々な変形例が考えられる。即ち、上述の実施例では
ノズル接合面を上蓋２１０と保護層２５０と圧電体ブロ
ック２２１の３つの部材により構成していたが、ノズル
接合面を上蓋２１０と保護層との２つで形成することも
可能である。この場合には、保護層２５０は、図１６に
示す保護層２８０又は保護層２９０と置換できる。

【００６９】図１６に示す保護層２８０は、各圧電体ブ
ロック２２１と同一の断面形状を有して各圧電体ブロッ
ク２２１の前面２２０ａに形成されるものである。この
場合、各保護層２８０の前面２８０ａと上蓋２１０の前
面２１０ａによりノズル接合面を構成することになる。
保護層２８０を形成する場合にも、図１０に示す圧電素
子２２０を形成した後に、例えば、圧電素子２２０と上
蓋２１０を接着した後に、各圧電体ブロック２２１の前
面２２０ａのみが開口しているマスクをかぶせてシリコ
ンゴム系の接着剤などを塗布することにより形成され
る。この場合、例えば、上蓋２１０が図３に示す樹脂フ
ィルム４０に相当して圧電素子２２０が図３に示す圧電
素子２０に相当するように、上蓋２１０が圧電素子２２
０からノズル板２３０に向かって突出するように配置さ
れて接着される。保護層は上蓋２１０と圧電素子２２０
とによって形成された段差に上述したマスクを利用して
形成されることになる。その後、研磨がなされて平滑な
ノズル接合面が形成される。

【００７０】保護層２８０は、保護層２５０とは異なる
機能を有する。即ち、圧電素子２２０は上蓋２１０が取
り付けられた後に研磨されるが、保護層２８０は、圧電
素子２２０の前面に取り付けられて、圧電素子２２０が
研磨されることを防ぎ、比較的強度の弱い圧電素子２２
０が研磨により破壊することを防止するものである。図
１７に示す保護層２９０は、保護層２５０と保護層２８
０とを合わせた形状を有して、各圧電体ブロック２２１
と垂直溝２２６を覆うものである。即ち、保護層２９０
の部分２９２は各圧電素子２２１の前面２２０ａの上
に、部分２９４はその圧電素子２１に隣接する垂直溝２
２６に形成される。この場合、各保護層２９０の前面２
９０ａが上蓋２１０の前面２１０ａと共にノズル接合面
を構成することになる。

【００７１】保護層２９０を形成する場合にも、図１０
に示す圧電素子２２０を形成した後に、例えば、上蓋２
１０と圧電素子２２０を接着した後に、圧力室２２２と
水平溝２２４が閉口しているマスクをかぶせてシリコン
ゴム系の接着剤などを塗布することにより形成される。
保護層２８０を形成する場合と同様に、上蓋２１０が圧
電素子２２０からノズル板２３０に向かって突出するよ
うに配置されて接着されるた後、保護層は上蓋２１０と
圧電素子２２０とによって形成された段差に上述したマ
スクを利用して形成されることになる。その後、研磨が
なされて平滑なノズル接合面が形成される。

【００７２】保護層２９０は、保護層２５０と保護層２
８０の機能を併せ持つ。従って、保護層２９０は、圧電
素子２２０が研磨により破壊することを防止すると共
に、内部電極２２３と２２５との間の短絡を防止する。
なお、保護層２５０を形成する際に、保護層２９０を形
成する方法と同様の方法を用いて、研磨の範囲を深くし
て、圧電体ブロック２２１上の保護層は研磨により除去
して垂直溝２２６内の保護層のみが残るようにすること
によって保護層２５０を形成してもよい。

【００７３】更に、保護層２５０の別の変形例として、
ノズル接合面を保護層のみで構成する場合が考えられ
る。この場合には、保護層は、圧電素子２２０の上だけ
でなく、上蓋２１０の前面２１０ａの上にも形成され
る。上述のように、圧電素子２２０の上においては、図
１０、図１６又は図１７に示すパターンあるいはこのパ
ターンの一部が考えられるので、これに上蓋２１０の前
面２１０ａの部分を組み合わせればよい。また、かかる
保護層を形成するマスクパターン形成は周知の方法を用
いればよい。

【００７４】本発明は、圧電素子を利用するいわゆるピ
エゾ型のインクジェットヘッドに限定されるものではな
く、ノズル板が取り付けられるタイプのインクジェット
ヘッドに広く適用できる。本発明は、更に広く、ノズル
接合面を研磨する必要がある流体ポンプやノズル接合面
における流体漏れを防止する必要がある流体ポンプにも
広く適用できることはいうまでもない。

【００７５】以上、本発明の実施例を説明したが、本発
明はこれに限定されず、その要旨の範囲内で様々な変形
及び変更が可能である。

【００７６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
圧電素子は保護層のおかげでインク漏れによる短絡など
の被害を受けにくくなり、安定な動作を有する信頼性の
高いインクジェットヘッドを提供することができる。ま
た、かかるインクジェットヘッドの製造においては、保
護層が圧電素子を研磨による破壊から保護すると共に製
造時間の短縮を可能にするため、安全で迅速かつコスト
ダウンに資するインクジェットヘッドの製造方法を提供
することができる。

【００７７】更に、本発明は、圧電素子を使用するイン
クジェットヘッドに限定されず、広く、流体を収納する
部屋にノズル板を接着する流体ポンプに適用できる。そ
して、かかる流体ポンプは、保護層のおかげで、研磨工
程を経てもノズル接合面及びその近傍の部材が機械的又
は電気的に破壊されず、若しくは、再形成が不要とな
り、更には、流体漏れによる被害が最小限になるように
構成されている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例のインクジェットヘッドの
分解斜視図である。

【図２】図１に示すインクジェットヘッドの部分拡大側
面図である。

【図３】図１に示すインクジェットヘッドの製造方法を
説明する側面図である。

【図４】図１に示すインクジェットヘッドの製造方法を
説明する側面図である。

【図５】図１に示すインクジェットヘッドの製造方法を
示すフローチャートである。

【図６】図１に示すインクジェットヘッドの製造方法を
説明する側面図である。

【図７】図１に示すインクジェットヘッドの製造方法を
説明する側面図である。

【図８】本発明の第２実施例のインクジェットヘッドの
分解斜視図である。

【図９】図８に示すインクジェットヘッドの製造方法を
示すフローチャートである。

【図１０】本発明の第３実施例のインクジェットヘッド
の分解斜視図である。

【図１１】図１０に示すインクジェットヘッドの線Ａ−
Ａにおける断面図である。

【図１２】図１０に示すインクジェットヘッドの線Ｂ−
Ｂにおける断面図である。

【図１３】図１０に示すインクジェットヘッドの線Ｃ−
Ｃにおける断面図である。

【図１４】図１０に示すインクジェットヘッドをインク
供給路の側からみた部分斜視図である。

【図１５】図１０に示すインクジェットヘッドの電極の
構成を示す断面図である。

【図１６】図１０に示すインクジェットヘッドに適用で
きる保護層の別の例を示す一部斜視図である。

【図１７】図１０に示すインクジェットヘッドに適用で
きる保護層の更に別の例を示す一部斜視図である。

【符号の説明】

１０ 圧力室板 ２０ 圧電素子 ３０ ノズル板 ４０ 樹脂フィルム ５０ 保護層 ６０ ノズル接合面 １００ インクジェットヘッド １５０ 保護層 １５０ａ ノズル接合面 ２００ インクジェットヘッド ２５０ 保護層 ２７０ ノズル接合面 ２８０ 保護層 ２９０ 保護層 ３００ インクジェットヘッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三瓶 浩一 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 曽根田 弘光 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】インクを収納する圧力室を形成する圧力室
   板と、 前記圧力室板の前記圧力室を加圧することができる圧電
   素子と、 前記圧電素子に接続され、少なくともノズル接合面の一
   部を形成すると共に少なくとも前記圧電素子を前記ノズ
   ル接合面から離間させる保護層と、 当該圧電素子が前記圧力室を加圧した時に当該圧力室内
   の前記インクを噴射するノズル孔を有して前記ノズル接
   合面に接合されるノズル板とを有することを特徴とする
   インクジェットヘッド。
2. 【請求項２】前記保護層は有機樹脂からなることを特徴
   とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】前記圧電素子は、通電されることにより前
   記圧力室を加圧することができる外部電極を更に有し、
   当該外部電極を介して前記保護層に接続されることを特
   徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
4. 【請求項４】前記保護層は、前記圧電素子に加えて、前
   記圧力室板も前記ノズル接合面から離間させることを特
   徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
5. 【請求項５】インクを収納する圧力室を形成すると共に
   当該圧力室を加圧することができる圧電素子と、 前記圧電素子に接続され、少なくともノズル接合面の一
   部を形成すると共に前記圧電素子を前記ノズル接合面か
   ら離間させる保護層と、 当該圧電素子が前記圧力室を加圧した時に当該圧力室内
   の前記インクを噴射するノズル孔を有して前記ノズル接
   合面に接合されるノズル板とを有することを特徴とする
   インクジェットヘッド。
6. 【請求項６】インクを収納する圧力室を形成すると共に
   当該圧力室を加圧することができ、第１及び第２の内部
   電極を有する圧電素子と、 前記圧電素子に接続されて前記第２の内部電極を前記第
   １の内部電極に対して遮蔽すると共に、少なくともノズ
   ル接合面の一部を形成する保護層と、 前記第１及び第２の内部電極が通電されてそれらの間に
   電位差が生じることによって前記圧電素子が前記圧力室
   を加圧した時に当該圧力室内の前記インクが噴射される
   ノズル孔を有して前記ノズル接合面に接合されるノズル
   板とを有することを特徴とするインクジェットヘッド。
7. 【請求項７】インクを収納する圧力室を形成すると共に
   ノズル接合面の少なくとも一部を形成する圧力室板と、 前記ノズル接合面から離間して配置され、前記圧力室板
   の前記圧力室を加圧することができる圧電素子と、 当該圧電素子が前記圧力室を加圧した時に当該圧力室内
   の前記インクを噴射するノズル孔を有して前記ノズル接
   合面に接合されるノズル板とを有することを特徴とする
   インクジェットヘッド。
8. 【請求項８】前記圧力室板は前記圧力室を複数形成し、 前記圧電素子は複数の溝で分割されて前記圧力室に対応
   した複数の圧電体ブロックを有し、 前記インクジェットヘッドは、前記ノズル接合面に対し
   て前記圧電素子の前記溝を遮蔽する遮蔽部材を更に有す
   ることを特徴とする請求項７記載のインクジェットヘッ
   ド。
9. 【請求項９】前記圧力室板は圧力室を複数形成し、 前記圧電素子は複数の溝で分割された複数の圧電体ブロ
   ックを有し、各圧電体ブロックはそれぞれ内部電極を有
   して当該内部電極が通電されることにより前記圧力室の
   いずれか一つを独立して加圧することができ、 前記インクジェットヘッドは、前記圧電素子の前記溝を
   封止し、前記圧電体ブロックの前記内部電極が短絡する
   のを防止する封止部材を更に有することを特徴とする請
   求項７記載のインクジェットヘッド。
10. 【請求項１０】前記インクジェットヘッドは、前記圧電
    素子の強度を補強する補強部材を更に有することを特徴
    とする請求項７記載のインクジェットヘッド。
11. 【請求項１１】インクを収納する圧力室を形成する圧力
    室板と、薄膜と、当該薄膜を介して前記圧力室板の前記
    圧力室を加圧することができる圧電素子とを接着する工
    程と、 少なくとも当該圧電素子の上に保護層を形成
    する工程と、 当該保護層を研磨して少なくとも当該保護層上にノズル
    接合面を形成する工程と、 前記圧電素子が前記圧力室を加圧した時に当該圧力室内
    の前記インクを噴射するノズル孔を有するノズル板を前
    記ノズル接合面に接合する工程とを有することを特徴と
    するインクジェットヘッドの製造方法。
12. 【請求項１２】前記圧力室板と前記薄膜と前記圧電素子
    を接着する工程は、前記薄膜を前記圧電素子から突出す
    るように配置して段差を形成した状態で接着する工程を
    有し、 前記保護層を形成する工程は、前記薄膜と前
    記圧電素子との段差に前記保護層を形成する工程を有す
    ることを特徴とする請求項１１記載のインクジェットヘ
    ッドの製造方法。
13. 【請求項１３】前記圧力室板と前記薄膜と前記圧電素子
    を接着する工程は、 前記薄膜を前記圧電素子から突出するように配置して段
    差を形成して接着する工程と、 前記圧力室板を前記圧電素子よりは突出するが前記薄膜
    よりは引っ込むように配置して接着する工程とを有する
    ことを特徴とする請求項１１記載のインクジェットヘッ
    ドの製造方法。
14. 【請求項１４】前記保護層を形成する工程は、 前記圧力室板と前記薄膜と前記圧電素子の上に、前記圧
    力室板の前記圧力室に相当する個所が閉口しているマス
    クを配置する工程と、 当該マスクを介して、前記保護層を前記圧力室と前記薄
    膜と前記圧電素子の上に形成する工程とを有することを
    特徴とする請求項１１記載のインクジェットヘッドの製
    造方法。
15. 【請求項１５】流体を収納する第１の部材と、 当該第１の部材に接続されて当該第１の部材に収納され
    た流体を排出する第２の部材と、 当該第２の部材に接続されて、少なくともノズル接合面
    の一部を形成すると共に少なくとも前記第２の部材を前
    記ノズル接合面から離間する保護層と、 前記第２の部材により排出された流体を噴射するノズル
    孔を有して前記ノズル接合面に接合されるノズル板とを
    備えることを特徴とする流体ポンプ。