CN101409204B

CN101409204B - 准分子灯

Info

Publication number: CN101409204B
Application number: CN2008101701501A
Authority: CN
Inventors: 沟尻贵文; 松泽聪司; 藤泽繁树; 森本幸裕
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2007-10-11
Filing date: 2008-10-13
Publication date: 2012-02-29
Anticipated expiration: 2028-10-13
Also published as: JP2009093986A; US20090096377A1; CN101409204A; TW200917321A; KR101175387B1; EP2048693B1; TWI416583B; EP2048693A3; JP4946773B2; EP2048693A2; KR20090037295A; US7714511B2

Abstract

本发明提供一种能以高效率放射紫外线、而且能以高均匀性照射紫外线照射对象体的紫外线照射对象面并且不会产生紫外线反射膜的剥落的准分子灯。本发明的准分子灯，一种准分子灯，包括二氧化硅玻璃制的放电容器，在由上壁板、下壁板、侧壁板及端壁板围绕而成的内部空间中，封入有通过电介质壁垒放电形成准分子分子的放电用气体，并将形成于该放电容器的上壁板的外表面上的一个电极、及形成于下壁板的外表面上的另一个电极相对地配置，其中，在上述放电容器的内表面上、至少在侧壁板内表面区域，形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子构成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜以30重量％以上的比率含有二氧化硅粒子。

Description

准分子灯

技术领域

本发明涉及一种放射紫外线的准分子灯，更具体地说，涉及在放电容器的面向放电空间的内表面上形成有紫外线反射膜的准分子灯。

背景技术

以往，准分子灯例如在半导体装置的制造工序及液晶基板制造工序等中，用作清洗处理、去灰处理及成膜等通过照射紫外线进行的表面处理的紫外线照射源。

在此种准分子灯中，提出了作为用于以高效率放射紫外线的手段，而在放电容器的面向放电空间的内表面上设置紫外线反射膜的技术(例如参照专利文献1)。

在紫外线反射膜设于放电容器的内表面上的构成的这种准分子灯中，通过放电容器的内表面一部分的未形成紫外线反射膜的区域，形成用于使在该放电容器内的放电空间中产生的紫外线朝外部出射的光出射窗。

根据此种准分子灯，通过将在放电容器内产生而朝光出射窗方向以外的方向的紫外线反射于紫外线反射膜，可与朝光出射窗的方向直接放射的紫外线一起，从光出射窗出射，因此能以高效率放射紫外线。

形成于准分子灯上的紫外线反射膜，通过具有高紫外线反射率的紫外线散射粒子形成，具有层积有该紫外线散射粒子的构成。

作为构成紫外线反射膜的紫外线散射粒子，使用二氧化硅粒子、氧化铝粒子、氟化镁粒子、氟化钙粒子、氟化锂粒子、氧化镁粒子等。

在此种紫外线散射粒子的层积体、即紫外线反射膜中，入射紫外线时，通过该紫外线在多个紫外线散射粒子的表面折射及反射，而朝与入射方向不同的方向漫反射。

另一个面，在准分子灯等放射紫外线的灯中，作为放电容器，广泛地使用二氧化硅玻璃制的放电容器。

如图10及图11所示，准分子灯的某种，具备两端被封闭、而在内部形成有放电空间S的大约直管状的二氧化硅玻璃制的放电容器20，在将该放电容器20的封入有放电用气体的放电空间S围绕的上壁板21、下壁板23、侧壁板25及端壁板26中的相对的上壁板21及下壁板23的各自的外表面21A、23A上，相对配置有一个电极11及另一个电极12。在该准分子灯中，在形成有一个电极11的上壁板21的内表面21B上形成紫外线反射膜50，此外通过该放电容器20的内表面中未形成紫外线反射膜50的区域(具体为下壁板23的内表面23B及侧壁板25的内表面25A)，形成用于使在放电空间S中产生的紫外线朝外部出射的光出射窗。

在图10中，28是片状管，29是凸缘部。

此种准分子灯，通过将高频电压施加在一个电极11与另一个电极12之间，使得放电容器20及紫外线反射膜50作为电介质发挥功能，在放电空间S中，在紫外线反射膜50及与该紫外线反射膜50相对的下壁板23的面向放电空间S的表面上(具体为紫外线反射膜50的表面51及下壁板23的内表面23B)产生放电起点，从而产生电介质壁垒放电，通过该电介质壁垒放电形成有由来于放电用气体的准分子分子，使紫外线从由放电容器20的下壁板23及侧壁板25构成的光出射窗出射。

但是，如图12所示，在点灯状态的准分子灯中，从紫外线反射膜50的端部55产生异常放电a，在产生该异常放电时，准分子灯整体的放电能量的消耗平衡崩溃，从而存在紫外线照射对象体的紫外线照射对象面产生照度不均、无法均匀地照射紫外线照射对象面的问题。

即，在准分子灯，在未产生异常放电a时，在放电空间S中大约均匀地以同一放电强度产生无数柱状的放电(以下也称为“柱状放电”)b，但在产生异常放电a时，该异常放电a会消耗放电能量，因此在该异常放电a的产生部分的周边部，柱状放电b的放电强度变小。因此，在异常放电a的产生部分，紫外线的放射强度降低，结果，在紫外线照射对象体的紫外线照射对象面中，与异常放电a的产生部分对应的区域的照度比其它区域低。

在图12的例子中，异常放电a产生于准分子灯的紫外线反射膜50的一个端部(右侧端部)55，所以，在该准分子灯中，位于一个端部55的部分的放射强度比其它部分小。

此外，在准分子灯中，因产生该异常放电a，还有在紫外线反射膜50的端部55产生剥落的问题。

专利文献1：日本专利第3580233号公报

发明内容

本发明鉴于上述问题，其目的是在于提供一种准分子灯，其能以高效率放射紫外线，而且能以高均匀性照射紫外线照射对象体的紫外线照射对象面，并且不会产生紫外线反射膜的剥落。

本发明的准分子灯，包括二氧化硅玻璃制的放电容器，该放电容器由上壁板及与该上壁板相对的下壁板、与该上壁板及下壁板连接的一对侧壁板、以及分别与该上壁板、下壁板及一对侧壁板连接的一对端壁板形成，在由上壁板、下壁板、侧壁板及端壁板围绕而成的内部空间中，封入有通过电介质壁垒放电形成准分子分子的放电用气体，并将形成于该放电容器的上壁板的外表面上的一个电极、及形成于下壁板的外表面上的另一个电极相对地配置，上述准分子灯的特征在于，在上述放电容器的内表面上、至少在侧壁板内表面区域，形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子构成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜以30重量％以上的比率含有二氧化硅粒子。

在本发明的准分子灯中，优选的是，紫外线反射膜被形成在放电容器的内表面中的以下区域上：包含侧壁板内表面区域，从上壁板的外表面上的与一个电极的端部所处的部分对应的电极端部对应位置、至下壁板的外表面上的与另一个电极的端部所处的部分对应的电极端部对应位置之间的区域。

在本发明的准分子灯中，优选的是，紫外线反射膜还形成在端壁板内表面区域上。

根据本发明的准分子灯，在放电容器的内表面形成有紫外线反射膜，因此在放电容器内产生而朝光出射窗的方向以外的方向所放射的一部分的紫外线，被该紫外线反射膜反射，从而可与朝光出射窗的方向直接放射的紫外线一起，从光出射窗出射，而且使该紫外线反射膜具有特定的组成，且通过形成于放电容器的内表面的至少侧壁板内表面区域上，可防止产生异常放电。在放电容器内能以同一放电强度大约均匀地产生无数柱状的放电，因此可防止因产生异常放电导致紫外线照射对象体的紫外线照射对象面的照射不均匀，并防止产生紫外线反射膜的端部的剥落，因此能以高效率放射紫外线，而且能以高均匀性照射紫外线照射对象体的紫外线照射对象面，并且可防止产生紫外线反射膜的剥落。

附图说明

图1是表示本发明的准分子灯的构成的一例的说明用立体图。

图2是表示图1的准分子灯的A-A截面的说明图。

图3是表示图1的准分子灯的B-B截面的说明图。

图4是表示本发明的准分子灯的构成的其它例子的说明图。

图5是表示本发明的准分子灯的构成的另一例子的说明图。

图6是表示本发明的准分子灯的构成的又一例子的说明图。

图7是表示本发明的准分子灯的构成的又一例子的说明图。

图8是表示本发明的准分子灯的构成的又一例子的说明图。

图9是表示本发明的准分子灯的构成的又一例子的说明图。

图10是表示现有的准分子灯的构成的一例的说明用截面图。

图11是表示图10的准分子灯的A-A截面的说明图。

图12是表示图10的准分子灯的点灯状态的说明图。

具体实施方式

以下详细说明本发明的准分子灯。

图1是表示本发明的准分子灯的构成的一例的说明用立体图，图2是表示图1的准分子灯的A-A截面的说明图，图3是表示图1的准分子灯的B-B截面的说明图。

该准分子灯，具有两端被封闭、且在内部形成放电空间S的大约直管状的二氧化硅玻璃制的放电容器20。

该放电容器20包括：上壁板21及与该上壁板21相对的下壁板22、与该上壁板21及下壁板23相连的一对侧壁板25、以及以将由上述上壁板21、下壁板23及一对侧壁板25形成的四方筒状体的两端封闭的方式设置的一对端壁板26，在由上述上壁板21、下壁板23、侧壁板25及端壁板26围绕而成的大约四方柱状的内部空间所形成的放电空间S中，封入有通过电介质壁垒放电形成准分子分子的、例如氙气体等放电用气体。

在图1的例子中，放电容器20具有片状管28及凸缘部29，此外在放电空间S中作为放电用气体封入有40kPa的氙气体。

在该放电容器20中，密接于上壁板21的外表面21A，设有例如由金属网等导电性材料构成的网状的一个电极11，并且密接于下壁板23的外表面23A，设有例如由金属网等的导电性材料构成的网状的另一个电极12，该一个电极11及另一个电极12被相对配置。

该一个电极11与另一个电极12，通过蒸镀例如金(Au)等金属而形成，此外与适当的高频电源(未图示)连接。

在该准分子灯中的放电容器20的内表面上，至少在侧壁板内表面区域，形成有例如厚度10～1000μm的紫外线反射膜30，此外通过该放电容器20内表面中未形成紫外线反射膜30的区域，形成用于将在放电空间S中产生的紫外线朝外部出射的光出射窗。

在此，“侧壁板内表面区域”，表示构成放电容器20的侧壁板25的面向放电空间S的内表面25A。侧壁板25是指以从平板状的上壁板21的边端部22连接平板状下壁板23的边端部24的方式配设于它们之间的区域上的、放电容器20的构成壁板。

紫外线反射膜30不需要形成于侧壁板25的内表面25A全面，根据准分子灯的设计条件而形成于该内表面25A的一部分上即可，若其一部分形成于侧壁板25的内表面25A上，则也可以形成于放电容器20的其它构成壁板(具体为上壁板21、下壁板23及端壁板26)的内表面。

在该图的例子中，紫外线反射膜30被形成为，在放电容器20的上壁板21的内表面21B及侧壁板25的内表面25A的上壁板侧部分(图2的上侧部分)延伸，即在从一个(图2的右方)侧壁板25的上壁板侧部分包括上壁板21的内表面21B，一直至另一个(图2的左方)侧壁板25的上壁板侧部分为止的区域上延伸。此外，通过该放电容器20的内表面未形成紫外线反射膜30的区域，具体为通过下壁板23及侧壁板25的下壁板侧部分(图2的下侧部分)，形成光出射窗。

该紫外线反射膜30由二氧化硅粒子与氧化铝粒子形成，并层积这些二氧化硅粒子及氧化铝粒子(以下将其统称为“特定的紫外线散射粒子”)而成。

根据紫外线反射膜30，入射的紫外线在多个特定的紫外线散射粒子的表面被折射及反射，从而朝与入射方向不同的方向漫反射。

在紫外线反射膜30中，二氧化硅粒子的含有比率优选为30重量％以上，更优选为30～99重量％，特别优选为40～99重量％，另一方面，氧化铝粒子的含有比率优选是1～70重量％，更优选为5～70重量％，特别优选为10～70重量％。

在紫外线反射膜中二氧化硅粒子的含有比率为不足30重量％时，无法在紫外线反射膜得到相对于放电容器的充分的粘合性，此外，由下述的实验例可知，所得的紫外线反射膜会产生剥落。

构成紫外线反射膜30的二氧化硅粒子可以是玻璃状态、或结晶状态，但优选为玻璃状态。

二氧化硅粒子的粒径优选为2～8μm，其中心粒径优选为4μm。

该二氧化硅粒子具有高紫外线反射率，并且由与放电容器20同种材料构成，与放电容器20及氧化铝粒子分别具有高粘结性。因此，在紫外线反射膜30中，因该二氧化硅粒子而得到相对于放电容器20的高粘结性。

构成紫外线反射膜30的氧化铝粒子，由于氧化铝具有容易结晶化、而难以成为玻璃状态的特性，因此通常为结晶状态。

氧化铝粒子的粒径优选为2～6μm，其中心粒径优选为4μm。

该氧化铝粒子的折射率比二氧化硅粒子大，因此具有高反射率的特性，因此在将具有此种特性的氧化铝粒子与二氧化硅粒子一起作成构成材料的紫外线反射膜30中，可得到优异的紫外线反射能力。

在此，对二氧化硅粒子及氧化铝粒子的粒径及中心粒径加以说明。

在本说明书中，“粒径”是指在显微镜的画像上计测粒子的大小与个数，基于此使用测定粒度分布的显微镜画像形成法来测定，而用一定方向的两条平行线夹着电子显微镜的放大投影图像上的任意粒子时的间隔、即费雷特(Feret)直径。

在测定该粒径之际，包含在紫外线反射膜的制造工序中二氧化硅粒子熔融后成为固体的情形，将相当于初始材料的粒子的球状部分的部分作为粒子。进而，粒子之间重叠，无法确认其边界的一部分，而在无法由两条平行线夹着粒子时，将用其直角方向的两条平行线夹着粒子的间隔作为费雷特直径。

此外“中心粒径”是指，例如使用日本日立公司所制的电场放射型扫描显微镜“S4100”，在加速电压10～20kV的条件(倍率在粒径0.3μm时为例如2万倍)下测定100个以上的粒子的粒径，得到该粒径的测定值的度数分布，而该度数最大的区分的中心值为“中心粒径”。作为该中心粒径的中心值，例如将所测定的粒径的最大值与最小值之间分成15个区分，将多个粒径的测定值分类成15个区分的任一个，并将属于各个区分的粒径的个数作为该区分的度数，是指该15个区分中的度数最大的区分的中心值。

此种紫外线反射膜30例如通过流下法形成，具体的说，通过混合适当的溶剂和二氧化硅粒子及氧化铝粒子而得到反射膜形成用溶液，通过将该反射膜形成用溶液流进用于形成放电容器20的放电容器形成管的内表面中应形成紫外线反射膜30的区域，而形成薄膜，通过干燥及烧成该薄膜，就可形成上述紫外线反射膜30。在该方法中，通过调整溶剂的粘度，就可调整所得到的紫外线反射膜30的厚度，具体为，要减小厚度时则减小溶剂的粘度，要增加厚度时则增大溶剂的粘度。

具有以上构成的准分子灯，利用高频电源将控制成适当大小的高频电压施加于一个电极11与另一个电极12之间，从而使放电容器20及紫外线反射膜30作为电介质发挥功能，在放电空间S中，在紫外线反射膜30及与该紫外线反射膜30相对的下壁板23的面向放电空间S的表面(具体为紫外线反射膜30的表面31及下壁板23的内表面23B)上产生放电起点，从而产生电介质壁垒放电，通过该电介质壁垒放电形成有由来于放电用气体的准分子分子，并从由放电容器20的下壁板23及侧壁板25的下壁板侧部分构成的光出射窗出射紫外线。

在该准分子灯中，在放电容器20的内表面形成有紫外线反射膜30，因此通过将在放电空间S产生并朝光出射窗的方向以外的方向、即朝紫外线反射膜30的方向放射的紫外线，被该紫外线反射膜30反射，而可与朝光出射窗的方向直接放射的紫外线一起从光出射窗出射。

将该紫外线反射膜30形成为，以特定比率含有二氧化硅粒子与氧化铝粒子，且不仅放电容器20的内表面的上壁板内表面区域(上壁板21的内表面21B)，而且延伸至与该上壁板内表面区域连续的侧壁板内表面区域(侧壁板25的内表面25A)，而使其端部35位于该侧壁板内表面区域，从而可以防止产生异常放电，在放电空间S以同一放电强度大约均匀地产生无数柱状放电。其结果，可防止因产生异常放电而导致紫外线照射对象体的紫外线照射对象面的照射不均匀，并防止产生紫外线反射膜30的端部35的剥落。

因此，根据本发明的放电容器，通过紫外线反射膜30的作用，也可将朝光出射窗的方向以外放射的紫外线的一部分从光出射窗出射，因此能以高效率放射紫外线，而且防止产生异常放电，因此，能以高均匀性照射紫外线照射对象体的紫外线照射对象面，并且可防止产生紫外线反射膜30的端部35剥落。

本发明的准分子灯中防止产生异常放电的理由被推测如下。

如图10及图11所示，在紫外线反射膜50仅形成于上壁板21的内表面21B(上壁板内表面区域)时，存在以紫外线反射膜50的端部55为起点朝侧壁板25产生异常放电的情形，这成为电荷集中在位于一个电极11正下方的紫外线反射膜50的端部55的原因之一。进而，若该异常放电为沿面放电的一种，则成为玻璃内面(放电容器20的内表面)为镜面状态的原因之一。

然而，在本发明的准分子灯中，紫外线反射膜30不仅在上壁板21的内表面21B形成，也形成在侧壁板25的内表面25A(侧壁板内表面区域)上，其端部35并不位于一个电极11的正下方，因此该端部25上的电荷集中得到缓和，结果，成为难以产生异常放电的状态，进而在紫外线反射膜30的表面上，因其构成粒子而形成凹凸，使得沿面距离变长，从而成为难以产生异常放电的状态。

以下，对本发明的准分子灯加以具体说明，但本发明是并不限于以上例子，可进行各种变更。

例如，构成准分子灯的放电容器，可以是通过上壁板、下壁板、侧壁板及端壁板围绕成放电空间，可以如图4所示，侧壁板45并不是与其它构成壁板(具体为上壁板41、下壁板43及端壁板46)同样的平板状，而是由其截面形状为曲面状的弯曲板构成。该准分子灯中，除了代替放电容器20，而具备具有由弯曲板构成的侧壁板45的放电容器40以外，具有与图1的准分子灯同样构成。

即，在该准分子灯中，与图1的准分子灯同样地，在上壁板41的外表面41A及下壁板43的外表面43A分别设有一个电极11及另一个电极12。此外，在放电容器40的内表面，在从一个(图4的右方)侧壁板45的内表面45A的上壁板侧部分(图4的上侧部分)包含上壁板41的内表面41B，一直到另一个(第4个的左方)侧壁板45的内表面45A的上壁板侧部分的区域上延伸的方式，形成紫外线反射膜30。

在该放电容器40中，侧壁板45是以从平板状上壁板41的边端部42与平板状下壁板43的边端部44连接的方式，配设于其间的区域的、放电容器40的构成壁板。

此外，紫外线反射膜形成在放电容器的内表面的至少侧壁板内表面区域即可，也可以如图5至图9所示形成在各种区域。在该图5至图9所示的任一准分子灯中，也可得到与图1的准分子灯同样的作用效果。

图5的例子的准分子灯，包括具有由弯曲板构成的侧壁板45的放电容器40，除了紫外线反射膜30形成在下述区域以外，具有与图4的准分子灯同样的构成。

在该准分子灯中，紫外线反射膜30被形成为，在放电容器40的内表面上，在从下壁板43的内表面43B的一个(图5的右方)侧壁板侧部分(图5的右侧部分)包含侧壁板45的内表面45A及上壁板41的内表面41B，一直到该下壁板43的内表面43B的另一个(图5的左方)侧壁板侧部分(图5的左侧部分)为止的区域上延伸。在该准分子灯中，通过放电容器40的内表面中下壁板23的未形成紫外线反射膜30的区域，形成光出射窗。

在此种构成的准分子灯中，在放电容器40中的、因未形成电极11，12而不会产生柱状放电从而与其它部分相比成为低温的部分(具体为侧壁板45的部分c)，容易通过照射紫外线而产生紫外线应变，但通过紫外线反射膜30的作用，紫外线不会照射在该部分c，因此可以防止在放电容器40的部分c产生紫外线应变，结果，可抑制因紫外线应变导致的放电容器40的破损。

即，即使在与放电空间S中的准分子灯管轴垂直的方向(图5的左右方向)上产生的紫外线累计地被放射于朝向侧壁板45的部分c的方向时，由于在该部分c的面向放电空间S的表面上形成有紫外线反射膜30，因此朝部分c的方向的方向所放射的紫外线会被紫外线反射膜30反射，而不会照射在该部分c上。

图6的例子的准分子灯，是在图5的准分子灯中，除了代替放电容器40而包括具有平板状侧壁板25的放电容器20以外，具有与该图5的准分子灯同样的构成。

在该准分子灯中，紫外线反射膜30被形成为，在放电容器20的内表面上，在从下壁板23的内表面23B的一个(图6的右方)侧壁板侧部分(图6的右侧部分)包含侧壁板25的内表面25A及上壁板21的内表面21B，一直到该下壁板23的内表面23B的另一个(图6的左方)侧壁板侧部分(图6的左侧部分)为止的区域上延伸。

图7的例子的准分子灯包括具有由弯曲板构成的侧壁板45的放电容器40，除了紫外线反射膜30形成于下述的区域以外，具有与图4的准分子灯同样的构成。

在该准分子灯中，紫外线反射膜30分别形成在放电容器40的内表面中从上壁板41的外表面41A上的与一个电极11的端部所处的部分对应的电极端部对应位置d、到下壁板43的外表面43A上的与另一个电极12的端部所处的部分对应的电极端部对应位置e为止的区间的2个区域上。

具体的说，一个紫外线反射膜30被形成为，在从上壁板41的内表面41B的一个(图7的右方)侧壁板侧部分(图7的右侧部分)包含侧壁板45的内表面45A，一直到下壁板43的内表面43B的一个侧壁侧部分(图7的右侧部分)为止的区域上延伸。此外，另一个紫外线反射膜30被形成为，在从上壁板41的内表面41B的另一个(图7的左方)侧壁板侧部分(图7的左侧部分)包含侧壁板45的内表面45A，一直到下壁板43的内表面43B的另一个侧壁侧部分(图7的左侧部分)为止的区域上延伸。在该准分子灯中，在放电容器40的内表面上，分别通过上壁板41及下壁板43各自的未形成该紫外线反射膜30的2个区域，独自地形成光出射窗。

另外，在包括具有平板状侧壁板的放电容器的准分子灯中，也可以与图7的准分子灯同样地，在从上壁板的外表面上的与一个电极的端部所处的部分对应的电极端部对应位置、到下壁板的外表面上的与另一个电极的端部所处的部分对应的电极端部对应位置之间的2个区域上，分别形成紫外线反射膜。

图8的例子的准分子灯，包括具有由弯曲板构成的侧壁板45的放电容器40，除了紫外线反射膜30形成于下述的区域以外，具有与图4的准分子灯同样的构成。

在该准分子灯中，紫外线反射膜30分别形成在放电容器40的内表面中、在与该放电容器40的准分子灯管轴垂直的方向的截面上位于连接一个电极11的端部与另一个电极12的端部的直线N的外方(图8的右方及左方)的2个区域上。

具体为，一个紫外线反射膜30被形成为，在从上壁板41的内表面41B与一个(图8的右方)直线N的交点N1包含侧壁板45的内表面45A，一直到下壁板43的内表面43B与一个直线N的交点N2为止的区域上延伸。此外，另一个紫外线反射膜30被形成为，在从上壁板41的内表面41B与另一个(图8的左方)直线N的交点N1包含侧壁板45的内表面45A，一直到下壁板43的内表面43B与另一个直线N的交点N2为止的区域上延伸。在该准分子灯，分别通过上壁板41及下壁板43的未形成紫外线反射膜30的2个区域，独自地形成光出射窗。

另外，在包括具有平板状侧壁板的放电容器的准分子灯中，也可以与图8的准分子灯同样地，在放电容器的内表面中与该放电容器的准分子灯管轴垂直的方向的截面上、在位于连接一个电极的端部与另一个电极的端部的直线的外方的2个区域上，分别形成紫外线反射膜。

图9的例子的准分子灯，包括具有平板状侧壁板25的放电容器20，紫外线反射膜30还形成在放电容器20的内表面的端壁板内表面区域(端壁板26的内表面26A)上。

具体为，该准分子灯，除了紫外线反射膜30形成于侧壁板25的内表面25A的全面、端壁板26的内表面26A及下壁板23的内表面23B的端壁板26侧的两个端部以外，具有与图1的准分子灯同样的构成。

在此种构成的准分子灯中，放电容器20中的、因未形成有电极11，12而不会产生柱状放电从而与其它部分相比成为低温的部分(具体为端壁板45的部分f)，容易通过照射紫外线而产生紫外线应变，但通过紫外线反射膜30的作用，紫外线不会照射在该部分f，因此可防止在放电容器20的部分f产生紫外线变形，结果，可抑制因紫外线应变导致的放电容器20的破损。

即，在与放电空间S的准分子灯管轴垂直的方向(图9的左右方向)上产生的紫外线累计性地放射向端壁板26的部分f的方向时，在该部分f的面向放电空间S的表面上形成有紫外线反射膜30，因此朝部分f的方向放射的紫外线被紫外线反射膜30反射，而不会照射在该部分f。

以下说明用于确认本发明的作用效果的实验例。

(实验例1)

按照图1的构成，分别制作10支具有下述表1所示的组成的、包括由中心粒径4μm的二氧化硅粒子及中心粒径4μm的氧化铝粒子构成的厚度22μm的紫外线反射膜的6种准分子灯。

所制作的准分子灯包括全长904mm、由两个侧端板构成的宽度方向的长度为43mm、由上壁板与下壁板构成的高度方向的长度为15mm、厚度2.5mm的二氧化硅玻璃制的放电容器，设有通过蒸镀金(Au)而形成的网状电极，在放电容器内封入有40kPa的氙气体。

将所得到的各该准分子灯，以5kV的交流高电压进行点灯之后，以目视来确认有无紫外线反射膜的剥落，将所有10支灯未产生紫外线反射膜的剥落时评价为“○”，将10支灯中的一部分灯产生紫外线反射膜的剥落时评价为“△”，将所有10支灯产生紫外线反射膜的剥落时评价为“×”。将结果表示于表1。

[表1]

由以上的结果可以确认，通过不仅将紫外线反射膜形成在上壁板的内表面，也形成在侧壁板的内表面，且使紫外线反射膜中的二氧化硅粒子的含有比率为30重量％以上，就可防止产生异常放电，从而可防止产生紫外线反射膜的剥落。

此外，通过使二氧化硅粒子的含有比率为40重量％以上，即使二氧化硅粒子的体积比率为54％以上，紫外线反射膜可得到相对于放电容器的优异的粘合性。

Claims

1.一种准分子灯，包括二氧化硅玻璃制的放电容器，该放电容器由上壁板及与该上壁板相对的下壁板、与该上壁板及下壁板连接的一对侧壁板、以及分别与该上壁板、下壁板及一对侧壁板连接的一对端壁板形成，在由上壁板、下壁板、侧壁板及端壁板围绕而成的内部空间中，封入有通过电介质壁垒放电形成准分子分子的放电用气体，并将形成于该放电容器的上壁板的外表面上的一个电极、及形成于下壁板的外表面上的另一个电极相对地配置，上述准分子灯的特征在于，

在上述放电容器的内表面上、至少在侧壁板内表面区域，形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子构成的紫外线反射膜，

该紫外线反射膜以30重量％以上的比率含有二氧化硅粒子。

2.如权利要求1所述的准分子灯，其中，

紫外线反射膜被形成在放电容器的内表面中的以下区域上：包含侧壁板内表面区域，从上壁板的外表面上的与一个电极的端部所处的部分对应的电极端部对应位置、至下壁板的外表面上的与另一个电极的端部所处的部分对应的电极端部对应位置之间的区域。

3.如权利要求1或2所述的准分子灯，其中，紫外线反射膜还形成在端壁板内表面区域上。