JP3491566B2 - 誘電体バリア放電ランプ - Google Patents
誘電体バリア放電ランプInfo
- Publication number
- JP3491566B2 JP3491566B2 JP19018899A JP19018899A JP3491566B2 JP 3491566 B2 JP3491566 B2 JP 3491566B2 JP 19018899 A JP19018899 A JP 19018899A JP 19018899 A JP19018899 A JP 19018899A JP 3491566 B2 JP3491566 B2 JP 3491566B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid flow
- container material
- discharge
- flow pipe
- dielectric barrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/12—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature
- H01J61/16—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having helium, argon, neon, krypton, or xenon as the principle constituent
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、誘電体バリア放電
を利用してエキシマ光を放出させる誘電体バリア放電ラ
ンプに関する。 【０００２】 【従来の技術】近年、金属、ガラス、その他の材料より
なる被処理体に波長２００ｎｍ以下の真空紫外線を照射
することにより、当該真空紫外線およびこれにより生成
されるオゾンの作用によって被処理体を処理する技術、
例えば被処理体の表面に付着した有機汚染物質を除去す
る洗浄処理技術や、被処理体の表面に酸化膜を形成する
酸化膜形成処理技術が開発され、実用化されるに至って
いる。 【０００３】このような紫外線処理を行うためのランプ
としては、誘電体により構成された放電容器内に、適宜
のエキシマ発光用ガスが充填され、当該放電容器内にお
いて誘電体バリア放電（別名「オゾナイザ放電」あるい
は「無声放電」。電気学会発行改定新版「放電ハンドブ
ック」平成１年６月再版７刷発行第２６３頁参照。）を
発生させることにより、エキシマが生成されてエキシマ
光が放出される誘電体バリア放電ランプが利用されてい
る。 【０００４】かかる誘電体バリア放電ランプを製造する
方法の一例を以下に示す。図７は、従来の誘電体バリア
放電ランプにおける放電容器を形成するための容器材料
の構成の一例を示す説明用断面図である。この図におい
て、４０Ａは誘電体バリア放電ランプの放電容器を形成
するための容器材料であり、誘電体である石英ガラスよ
りなる円筒状の外側管４１と内側管４２とによる二重管
構造を有し、外側管４１および内側管４２の各々の両端
部が円環状の端壁部４３，４４によって接合されて構成
され、外側管４１と内側管４２との間に円筒状の内部空
間Ｒが形成されている。そして、この容器材料４０Ａに
は、１つの排気管４５が一方の端壁部４３に内部空間Ｒ
に連通するよう設けられている。 【０００５】この容器材料４０Ａは、内部空間Ｒに放電
用ガスが充填される前に、例えば図８に示すように、シ
リンジ４６の針４６Ａが排気管４５内に挿通されて、例
えばフッ化アンモニウム水溶液などの洗浄用薬液が容器
材料４０Ａ内に注入されて、容器材料４０Ａの内面の洗
浄が行われる。そして、容器材料４０Ａの内面が洗浄さ
れた後、洗浄用薬液は容器材料４０Ａ内から振り出され
る。 【０００６】その後、洗浄用水により容器材料４０Ａを
濯いで容器材料４０Ａ内に残留する洗浄用薬液を洗い流
すが、この洗浄用水の注入および排出は、上記と同様に
して行われる。 【０００７】内面が洗浄された容器材料４０Ａは乾燥さ
れた後、排気管４５に排気装置が接続されて内部空間Ｒ
内の空気が排出された上で、放電用ガスが内部空間Ｒ内
に充填される。そして、図９に示すように、例えばバー
ナーなどにより排気管４５が焼き切られることによって
内部空間Ｒが封止されて、排気管の残部４７を有する放
電容器４０内に放電用ガスが封入されてなるランプ本体
５０が形成される。 【０００８】そして、ランプ本体５０の外側管４１の外
周面および内側管４２の内周面のそれぞれに、適宜の手
段により一方の電極および他方の電極が設けられること
により、誘電体バリア放電ランプが製造される。 【０００９】しかしながら、上記のような方法によって
誘電体バリア放電ランプを製造する場合には、以下のよ
うな問題がある。容器材料４０Ａに設けられた排気管４
５を介して行われる、容器材料４０Ａ内への洗浄液の注
入作業およびその排出作業を高い作業効率で行うことが
困難であり、その結果、誘電体バリア放電ランプの製造
に長時間を要するという問題がある。 【００１０】また、容器材料４０Ａ内への洗浄液の注入
作業およびその排出作業が困難であるために、容器材料
４０Ａの内面を十分に洗浄することができず、汚れや異
物が容器材料４０Ａ内に残留することがあり、そのた
め、この容器材料４０Ａを用いて製造された場合に、誘
電体バリア放電ランプにおいては、良好な放電が阻害さ
れて発光強度が低下したり、発光ムラが生ずることがあ
る、という問題がある。 【００１１】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
容器材料の内面を容易にかつ十分確実に洗浄することが
でき、その結果、良好な発光特性を有し、しかも製造が
容易である誘電体バリア放電ランプを提供することにあ
る。 【００１２】 【課題を解決するための手段】本発明の誘電体バリア放
電ランプは、外側管と内側管とによる円筒状二重管構造
の放電容器を有し、当該外側管と当該内側管との間に形
成された円筒状の放電空間内に誘電体バリア放電によっ
てエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてなる
誘電体バリア放電ランプであって、放電容器には、各々
放電空間に連通する流体流通管の残部が２つ以上形成さ
れており、当該流体流通管の残部は、放電容器の管軸方
向に離間する一端部および他端部に形成されていること
を特徴とする。 【００１３】 【００１４】 【作用】上記の構成の誘電体バリア放電ランプによれ
ば、その製造においては、放電容器を形成するための容
器材料に流体流通管が２つ以上設けられたものが用いら
れるので、少なくとも１つの流体流通管を洗浄液の注入
あるいは排出用流路として用いながら、他の流体流通管
を容器材料内の空気の流通用流路として確保することが
でき、容器材料内への洗浄液の注入作業およびその排出
作業を容易にかつ確実に行うことができる。その結果、
容器材料の内面の汚れや異物を確実に洗浄して除去する
ことができ、従って、容器材料の内面の汚れや異物に起
因する発光強度の低下や発光ムラの発生を防止すること
ができるので、良好な発光特性を得ることができる。 【００１５】 【発明の実施の形態】以下、本発明の誘電体バリア放電
ランプの実施の形態について説明する。図１は、本発明
の誘電体バリア放電ランプの一例における構成を示す説
明用断面図である。この誘電体バリア放電ランプは、誘
電体よりなる円筒状の外側管１１と、この外側管１１内
にその管軸に沿って配置された、当該外側管１１の内径
より小さい外径を有する誘電体よりなる円筒状の内側管
１２とによる二重管構造を有する密閉型の放電容器１０
により構成されている。この放電容器１０においては、
外側管１１および内側管１２の各々の両端部が端壁部１
３，１４によって接合されることにより、外側管１１と
内側管１２との間に円筒状の放電空間Ｓが形成されてお
り、この放電容器１０内には放電用ガスが封入されてい
る。 【００１６】放電容器１０を構成する誘電体材料として
は、放電容器１０内において放出されるエキシマ光に対
して透過性を有するもの、例えば合成石英ガラスを用い
ることができる。放電容器１０内に封入される放電用ガ
スとしては、波長２００ｎｍ以下のエキシマ光を放出す
るエキシマが生成されるもの、例えばキセノンガス、ア
ルゴンと塩素との混合ガスなどを用いることができる。 【００１７】放電容器１０における外側管１１には、そ
の外周面１５に密接して、例えば金網などの導電性材料
よりなる網状の一方の電極２１が設けられていると共
に、内側管１２には、その内周面１６に密接して、例え
ばアルミニウム板よりなる他方の電極２２が設けられて
いる。この他方の電極２２は、例えば半円筒状のアルミ
ニウム板の２つが、適宜の押圧部材によって内側管１２
の内周面１６に押圧されて構成されている。そして、一
方の電極２１および他方の電極２２は、高周波電源２３
に接続されている。 【００１８】放電容器１０の両端における端壁部１３，
１４の各々には、２つの流体流通管の残部２５，２６が
形成されており、従って流体流通管の残部２５，２６
は、軸方向に離間する状態とされている。 【００１９】上記のような誘電体バリア放電ランプは、
以下のようにして製造される。図２は、図１に示した構
成の誘電体バリア放電ランプの製造において用いられる
容器材料１０Ａを示す説明用断面図である。この容器材
料１０Ａは、図７に示す容器材料４０Ａと同様の基本構
成を有するものであって、一方の端壁部１３に第１の流
体流通管３０が設けられ、他方の端壁部１４に第２の流
体流通管３１が内部空間Ｒを連通するよう設けられてい
る。第１の流体流通管３０および第２の流体流通管３１
は各々管径が異なり、第１の流体流通管３０の管径が、
第２の流体流通管３１の管径より大きいものとされてい
る。 【００２０】図３は、図２に示す容器材料１０Ａにおけ
る一方の端壁部１３と第１の流体流通管３０との接合部
分を拡大して示す説明用断面図である。第１の流体流通
管３０には、一方の端壁部１３との接合個所の近傍に位
置する部分に縮径部分３０Ａが形成されている。この縮
径部分３０Ａは、例えばバーナーにより加熱されて形成
されたものであって、例えば外径が８．０ｍｍ、内径が
６．０ｍｍである流体流通管では、例えば縮径部分３０
Ａの外径は５．０ｍｍ、内径は３．０ｍｍである。第２
の流体流通管３１についても、同様にして縮径部分（図
示せず）が形成されている。 【００２１】このような容器材料１０Ａは、先ず洗浄工
程に付される。この洗浄工程においては、適宜の濃度、
例えば９重量％のフッ化アンモニウム水溶液などを洗浄
液として用いる薬液洗浄処理と、洗浄用水による濯ぎ処
理とが行われる。薬液洗浄処理においては、洗浄用薬液
３２で満たされた薬液槽３３内に、容器材料１０Ａを第
１の流体流通管３０が下になるよう斜めに傾倒させた状
態で徐々に入れていく。このとき、例えば第１の流体流
通管３０より洗浄用薬液が容器材料１０Ａ内に流入する
と同時に、第２の流体流通管３１より容器材料１０Ａ内
の空気が抜けるので、洗浄用薬液３２はきわめて円滑に
容器材料１０Ａ内に充填されていく。そして、図４に示
すように、薬液中に容器材料１０Ａを例えば３０分間浸
漬させて放置しておき、その後、薬液槽３３より取り出
す。この場合には、容器材料１０Ａを例えば第１の流体
流通管３０が下になるよう傾倒させた状態で取り出すこ
とにより、この第１の流体流通管３０より洗浄用薬液３
２が排出されると同時に、第２の流体流通管３１より容
器材料１０Ａ内に空気が流入するので、容器材料１０Ａ
内の洗浄用薬液３２がきわめて円滑に排出される。 【００２２】その後、容器材料１０Ａを、洗浄用水を満
たした洗浄用水槽内に薬液洗浄処理の場合と同様に浸漬
させて容器材料１０Ａの内面を濯いだ後、洗浄槽から取
り出して濯ぎ処理を行う。この洗浄用水による濯ぎ処理
は、例えば３回程度繰り返して行うことが好ましい。 【００２３】洗浄工程終了後、容器材料１０Ａは乾燥処
理工程に付される。乾燥処理工程においては、例えば炉
内温度が８０℃に設定された電気炉内に、容器材料１０
Ａを第１の流体流通管３０が上方に位置するよう配置し
た状態で、約１時間乾燥処理が行われる。 【００２４】次いで、容器材料１０Ａは封止工程に付さ
れる。この封止工程においては、先ず例えばバーナーに
よって小径の第２の流体流通管３１の縮径部分を加熱す
ることにより、当該縮径部分が焼き切られて、例えばド
ーム状の形態を有する流体流通管の残部２６が形成され
る。そして、第２の流体流通管３１が封じられた後、第
１の流体流通管３０に排出装置が接続され、これにより
内部空間Ｒ内の空気の排出作業が行われ、その上で例え
ばキセノンなどの放電用ガスが内部空間Ｒ内に充填され
る。その後、第１の流体流通管３０の縮径部分が例えば
バーナーにより焼き切られることによって、例えばドー
ム状の形態を有する流体流通管の残部２５が形成され
る。この結果、内部空間Ｒが封止されて、図５に示すよ
うな一端部および他端部に２つの流体流通管の残部２
５，２６を有する放電容器１０内に放電用ガスが封入さ
れてなるランプ本体２０が形成される。 【００２５】そして、ランプ本体２０の外側管１１の外
周面および内側管１２の内周面のそれぞれに、一方の電
極２１および他方の電極２２が設けられることにより、
図１に示す構成の誘電体バリア放電ランプが製造され
る。 【００２６】以上において、本発明の誘電体バリア放電
ランプにおける容器材料の寸法例の一例を挙げると、以
下のとおりである。容器材料（１０Ａ）における外側管
（１１）は、全長３００ｍｍ，外径２６．５ｍｍ，内径
２４．５ｍｍ、肉厚１．０ｍｍ、内側管（１２）は、全
長約３０００ｍｍ，外径１６ｍｍ，内径１４ｍｍ、肉厚
１．０ｍｍ、内部空間（Ｒ）の内容積は８０ｃｍ3 であ
る。第１の流体流通管（３０）は、全長約１５０ｍｍ，
外径８．０ｍｍ，内径６．０ｍｍ、肉厚１．０ｍｍ、第
２の流体流通管（３１）は、全長１００ｍｍ，外径６．
０ｍｍ，内径４．０ｍｍ、肉厚１．０ｍｍである。 【００２７】以上の誘電体バリア放電ランプは、放電容
器１０の一端部および他端部に２つの流体流通管の残部
２５，２６が形成されており、従って２つの流体流通管
の残部２５，２６が互いに放電容器１０の管軸方向に離
間する状態で形成されているものである。従って、放電
容器１０の製造においては、容器材料１０Ａとして互い
に管軸方向に離間する位置に２つの流体流通管３０，３
１が設けられた容器材料１０Ａが用いられることによ
り、少なくとも１つの流体流通管を洗浄液の注入あるい
は排出用流路として用いながら、他の流体流通管を容器
材料内の空気の流通用流路として確保することができ、
容器材料内への洗浄液の注入作業およびその排出作業を
きわめて円滑に、十分に高い効率で行うことができる。 【００２８】また、容器材料１０Ａの乾燥作業において
も、上方に位置された第１の流体流通管３０より水蒸気
が流出していくので、容器材料１０Ａ内の空気の循環が
円滑に行われ、その結果、容器材料１０Ａを効率よく乾
燥させることができる。以上のことから、本発明の誘電
体バリア放電ランプは、製造が容易であるので、製造に
要する時間を大幅に短縮することができる。 【００２９】また、容器材料に対して洗浄液の注入作業
およびその排出作業を確実に行うことができるので、容
器材料１０Ａの内面の汚れや異物を確実に洗浄して除去
することができ、その結果、容器材料１０Ａの内面の汚
れや異物に起因する発光強度の低下や発光ムラの発生を
防止することができるので、良好な発光特性を得ること
ができる。 【００３０】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明の誘電体バリア放電ランプは、上記の実施
の形態に限定されず種々の変更を加えることが可能であ
る。例えば、容器材料に設けられる流体流通管の数、管
径および位置は、特に限定されるものではない。 【００３１】 ただし、流体流通管が設けられる位置
は、放電容器の管軸方向に離間する一端部および他端部
の位置である。図６に示すように、第１の流体流通管３
０が一方の端壁部１３の上方位置に設けられる場合に
は、第２の流体流通管３１が設けられる位置は、第１の
流体流通管３０に対して容器材料１０Ａの管軸方向に離
間し、かつ半径方向に離間する第１の流体流通管３０の
対角の位置Ａに設けられていてもよい。また、容器材料
１０Ａの端壁部１３，１４ではなく、外側管１１または
内側管１２に設けられていてもよい。 【００３２】以上においては、容器材料に設けられる流
体流通管の数が２つである場合について説明したが、続
いて容器材料に設けられる流体流通管の数が３つである
場合および流体流通管の数が４つである場合について説
明する。容器材料に設けられる流体流通管の数が３つで
ある場合には、例えば第１の流体流通管は一方の端壁部
に、第２の流体流通管は他方の端壁部に、そして第３の
流体流通管は外側管に設けられる。この場合には、第３
の流体流通管が設けられる位置は、端壁部に近接する位
置であることが好ましい。 【００３３】そして、容器材料に設けられる流体流通管
が４つである場合には、例えば第１の流体流通管は一方
の端壁部に、第２の流体流通管は他方の端壁部に、第３
の流体流通管は外側管に、そして第４の流体流通管は内
側管に設けられる。この場合には、第３の流体流通管お
よび第４の流体流通管は、端壁部に近接する位置である
ことが好ましい。 【００３４】以上のような構成によれば、容器材料内へ
の洗浄液の注入作業およびその排出作業をさらに高い効
率で行うことができる。 【００３５】また、容器材料内に洗浄液を注入する手段
は、いずれか１つの流体流通管に接続チューブを接続し
て、この接続チューブより洗浄液を注入してもよい。こ
の場合においても、第１の流体流通管より容器材料内に
洗浄液を注入すると同時に、第２の流体流通管から容器
材料内の空気が抜けるので、上記のような効果を発揮す
ることができる。 【００３６】 【発明の効果】本発明の誘電体バリア放電ランプによれ
ば、その製造においては、放電容器を形成するための容
器材料の管軸方向に離間する一端部および他端部に流体
流通管が２つ以上設けられたものが用いられるので、少
なくとも１つの流体流通管を洗浄液の注入あるいは排出
用流路として用いながら、他の流体流通管を容器材料内
の空気の流通用流路として確保することができるため、
容器材料内への洗浄液の注入作業およびその排出作業を
容易にかつ確実に行うことができる。その結果、容器材
料内の汚れや異物を確実に洗浄して除去することがで
き、従って、容器材料の内面の汚れや異物に起因する発
光強度の低下や発光ムラの発生を防止することができる
ので、良好な発光特性を得ることができる。
を利用してエキシマ光を放出させる誘電体バリア放電ラ
ンプに関する。 【０００２】 【従来の技術】近年、金属、ガラス、その他の材料より
なる被処理体に波長２００ｎｍ以下の真空紫外線を照射
することにより、当該真空紫外線およびこれにより生成
されるオゾンの作用によって被処理体を処理する技術、
例えば被処理体の表面に付着した有機汚染物質を除去す
る洗浄処理技術や、被処理体の表面に酸化膜を形成する
酸化膜形成処理技術が開発され、実用化されるに至って
いる。 【０００３】このような紫外線処理を行うためのランプ
としては、誘電体により構成された放電容器内に、適宜
のエキシマ発光用ガスが充填され、当該放電容器内にお
いて誘電体バリア放電（別名「オゾナイザ放電」あるい
は「無声放電」。電気学会発行改定新版「放電ハンドブ
ック」平成１年６月再版７刷発行第２６３頁参照。）を
発生させることにより、エキシマが生成されてエキシマ
光が放出される誘電体バリア放電ランプが利用されてい
る。 【０００４】かかる誘電体バリア放電ランプを製造する
方法の一例を以下に示す。図７は、従来の誘電体バリア
放電ランプにおける放電容器を形成するための容器材料
の構成の一例を示す説明用断面図である。この図におい
て、４０Ａは誘電体バリア放電ランプの放電容器を形成
するための容器材料であり、誘電体である石英ガラスよ
りなる円筒状の外側管４１と内側管４２とによる二重管
構造を有し、外側管４１および内側管４２の各々の両端
部が円環状の端壁部４３，４４によって接合されて構成
され、外側管４１と内側管４２との間に円筒状の内部空
間Ｒが形成されている。そして、この容器材料４０Ａに
は、１つの排気管４５が一方の端壁部４３に内部空間Ｒ
に連通するよう設けられている。 【０００５】この容器材料４０Ａは、内部空間Ｒに放電
用ガスが充填される前に、例えば図８に示すように、シ
リンジ４６の針４６Ａが排気管４５内に挿通されて、例
えばフッ化アンモニウム水溶液などの洗浄用薬液が容器
材料４０Ａ内に注入されて、容器材料４０Ａの内面の洗
浄が行われる。そして、容器材料４０Ａの内面が洗浄さ
れた後、洗浄用薬液は容器材料４０Ａ内から振り出され
る。 【０００６】その後、洗浄用水により容器材料４０Ａを
濯いで容器材料４０Ａ内に残留する洗浄用薬液を洗い流
すが、この洗浄用水の注入および排出は、上記と同様に
して行われる。 【０００７】内面が洗浄された容器材料４０Ａは乾燥さ
れた後、排気管４５に排気装置が接続されて内部空間Ｒ
内の空気が排出された上で、放電用ガスが内部空間Ｒ内
に充填される。そして、図９に示すように、例えばバー
ナーなどにより排気管４５が焼き切られることによって
内部空間Ｒが封止されて、排気管の残部４７を有する放
電容器４０内に放電用ガスが封入されてなるランプ本体
５０が形成される。 【０００８】そして、ランプ本体５０の外側管４１の外
周面および内側管４２の内周面のそれぞれに、適宜の手
段により一方の電極および他方の電極が設けられること
により、誘電体バリア放電ランプが製造される。 【０００９】しかしながら、上記のような方法によって
誘電体バリア放電ランプを製造する場合には、以下のよ
うな問題がある。容器材料４０Ａに設けられた排気管４
５を介して行われる、容器材料４０Ａ内への洗浄液の注
入作業およびその排出作業を高い作業効率で行うことが
困難であり、その結果、誘電体バリア放電ランプの製造
に長時間を要するという問題がある。 【００１０】また、容器材料４０Ａ内への洗浄液の注入
作業およびその排出作業が困難であるために、容器材料
４０Ａの内面を十分に洗浄することができず、汚れや異
物が容器材料４０Ａ内に残留することがあり、そのた
め、この容器材料４０Ａを用いて製造された場合に、誘
電体バリア放電ランプにおいては、良好な放電が阻害さ
れて発光強度が低下したり、発光ムラが生ずることがあ
る、という問題がある。 【００１１】 【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
容器材料の内面を容易にかつ十分確実に洗浄することが
でき、その結果、良好な発光特性を有し、しかも製造が
容易である誘電体バリア放電ランプを提供することにあ
る。 【００１２】 【課題を解決するための手段】本発明の誘電体バリア放
電ランプは、外側管と内側管とによる円筒状二重管構造
の放電容器を有し、当該外側管と当該内側管との間に形
成された円筒状の放電空間内に誘電体バリア放電によっ
てエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてなる
誘電体バリア放電ランプであって、放電容器には、各々
放電空間に連通する流体流通管の残部が２つ以上形成さ
れており、当該流体流通管の残部は、放電容器の管軸方
向に離間する一端部および他端部に形成されていること
を特徴とする。 【００１３】 【００１４】 【作用】上記の構成の誘電体バリア放電ランプによれ
ば、その製造においては、放電容器を形成するための容
器材料に流体流通管が２つ以上設けられたものが用いら
れるので、少なくとも１つの流体流通管を洗浄液の注入
あるいは排出用流路として用いながら、他の流体流通管
を容器材料内の空気の流通用流路として確保することが
でき、容器材料内への洗浄液の注入作業およびその排出
作業を容易にかつ確実に行うことができる。その結果、
容器材料の内面の汚れや異物を確実に洗浄して除去する
ことができ、従って、容器材料の内面の汚れや異物に起
因する発光強度の低下や発光ムラの発生を防止すること
ができるので、良好な発光特性を得ることができる。 【００１５】 【発明の実施の形態】以下、本発明の誘電体バリア放電
ランプの実施の形態について説明する。図１は、本発明
の誘電体バリア放電ランプの一例における構成を示す説
明用断面図である。この誘電体バリア放電ランプは、誘
電体よりなる円筒状の外側管１１と、この外側管１１内
にその管軸に沿って配置された、当該外側管１１の内径
より小さい外径を有する誘電体よりなる円筒状の内側管
１２とによる二重管構造を有する密閉型の放電容器１０
により構成されている。この放電容器１０においては、
外側管１１および内側管１２の各々の両端部が端壁部１
３，１４によって接合されることにより、外側管１１と
内側管１２との間に円筒状の放電空間Ｓが形成されてお
り、この放電容器１０内には放電用ガスが封入されてい
る。 【００１６】放電容器１０を構成する誘電体材料として
は、放電容器１０内において放出されるエキシマ光に対
して透過性を有するもの、例えば合成石英ガラスを用い
ることができる。放電容器１０内に封入される放電用ガ
スとしては、波長２００ｎｍ以下のエキシマ光を放出す
るエキシマが生成されるもの、例えばキセノンガス、ア
ルゴンと塩素との混合ガスなどを用いることができる。 【００１７】放電容器１０における外側管１１には、そ
の外周面１５に密接して、例えば金網などの導電性材料
よりなる網状の一方の電極２１が設けられていると共
に、内側管１２には、その内周面１６に密接して、例え
ばアルミニウム板よりなる他方の電極２２が設けられて
いる。この他方の電極２２は、例えば半円筒状のアルミ
ニウム板の２つが、適宜の押圧部材によって内側管１２
の内周面１６に押圧されて構成されている。そして、一
方の電極２１および他方の電極２２は、高周波電源２３
に接続されている。 【００１８】放電容器１０の両端における端壁部１３，
１４の各々には、２つの流体流通管の残部２５，２６が
形成されており、従って流体流通管の残部２５，２６
は、軸方向に離間する状態とされている。 【００１９】上記のような誘電体バリア放電ランプは、
以下のようにして製造される。図２は、図１に示した構
成の誘電体バリア放電ランプの製造において用いられる
容器材料１０Ａを示す説明用断面図である。この容器材
料１０Ａは、図７に示す容器材料４０Ａと同様の基本構
成を有するものであって、一方の端壁部１３に第１の流
体流通管３０が設けられ、他方の端壁部１４に第２の流
体流通管３１が内部空間Ｒを連通するよう設けられてい
る。第１の流体流通管３０および第２の流体流通管３１
は各々管径が異なり、第１の流体流通管３０の管径が、
第２の流体流通管３１の管径より大きいものとされてい
る。 【００２０】図３は、図２に示す容器材料１０Ａにおけ
る一方の端壁部１３と第１の流体流通管３０との接合部
分を拡大して示す説明用断面図である。第１の流体流通
管３０には、一方の端壁部１３との接合個所の近傍に位
置する部分に縮径部分３０Ａが形成されている。この縮
径部分３０Ａは、例えばバーナーにより加熱されて形成
されたものであって、例えば外径が８．０ｍｍ、内径が
６．０ｍｍである流体流通管では、例えば縮径部分３０
Ａの外径は５．０ｍｍ、内径は３．０ｍｍである。第２
の流体流通管３１についても、同様にして縮径部分（図
示せず）が形成されている。 【００２１】このような容器材料１０Ａは、先ず洗浄工
程に付される。この洗浄工程においては、適宜の濃度、
例えば９重量％のフッ化アンモニウム水溶液などを洗浄
液として用いる薬液洗浄処理と、洗浄用水による濯ぎ処
理とが行われる。薬液洗浄処理においては、洗浄用薬液
３２で満たされた薬液槽３３内に、容器材料１０Ａを第
１の流体流通管３０が下になるよう斜めに傾倒させた状
態で徐々に入れていく。このとき、例えば第１の流体流
通管３０より洗浄用薬液が容器材料１０Ａ内に流入する
と同時に、第２の流体流通管３１より容器材料１０Ａ内
の空気が抜けるので、洗浄用薬液３２はきわめて円滑に
容器材料１０Ａ内に充填されていく。そして、図４に示
すように、薬液中に容器材料１０Ａを例えば３０分間浸
漬させて放置しておき、その後、薬液槽３３より取り出
す。この場合には、容器材料１０Ａを例えば第１の流体
流通管３０が下になるよう傾倒させた状態で取り出すこ
とにより、この第１の流体流通管３０より洗浄用薬液３
２が排出されると同時に、第２の流体流通管３１より容
器材料１０Ａ内に空気が流入するので、容器材料１０Ａ
内の洗浄用薬液３２がきわめて円滑に排出される。 【００２２】その後、容器材料１０Ａを、洗浄用水を満
たした洗浄用水槽内に薬液洗浄処理の場合と同様に浸漬
させて容器材料１０Ａの内面を濯いだ後、洗浄槽から取
り出して濯ぎ処理を行う。この洗浄用水による濯ぎ処理
は、例えば３回程度繰り返して行うことが好ましい。 【００２３】洗浄工程終了後、容器材料１０Ａは乾燥処
理工程に付される。乾燥処理工程においては、例えば炉
内温度が８０℃に設定された電気炉内に、容器材料１０
Ａを第１の流体流通管３０が上方に位置するよう配置し
た状態で、約１時間乾燥処理が行われる。 【００２４】次いで、容器材料１０Ａは封止工程に付さ
れる。この封止工程においては、先ず例えばバーナーに
よって小径の第２の流体流通管３１の縮径部分を加熱す
ることにより、当該縮径部分が焼き切られて、例えばド
ーム状の形態を有する流体流通管の残部２６が形成され
る。そして、第２の流体流通管３１が封じられた後、第
１の流体流通管３０に排出装置が接続され、これにより
内部空間Ｒ内の空気の排出作業が行われ、その上で例え
ばキセノンなどの放電用ガスが内部空間Ｒ内に充填され
る。その後、第１の流体流通管３０の縮径部分が例えば
バーナーにより焼き切られることによって、例えばドー
ム状の形態を有する流体流通管の残部２５が形成され
る。この結果、内部空間Ｒが封止されて、図５に示すよ
うな一端部および他端部に２つの流体流通管の残部２
５，２６を有する放電容器１０内に放電用ガスが封入さ
れてなるランプ本体２０が形成される。 【００２５】そして、ランプ本体２０の外側管１１の外
周面および内側管１２の内周面のそれぞれに、一方の電
極２１および他方の電極２２が設けられることにより、
図１に示す構成の誘電体バリア放電ランプが製造され
る。 【００２６】以上において、本発明の誘電体バリア放電
ランプにおける容器材料の寸法例の一例を挙げると、以
下のとおりである。容器材料（１０Ａ）における外側管
（１１）は、全長３００ｍｍ，外径２６．５ｍｍ，内径
２４．５ｍｍ、肉厚１．０ｍｍ、内側管（１２）は、全
長約３０００ｍｍ，外径１６ｍｍ，内径１４ｍｍ、肉厚
１．０ｍｍ、内部空間（Ｒ）の内容積は８０ｃｍ3 であ
る。第１の流体流通管（３０）は、全長約１５０ｍｍ，
外径８．０ｍｍ，内径６．０ｍｍ、肉厚１．０ｍｍ、第
２の流体流通管（３１）は、全長１００ｍｍ，外径６．
０ｍｍ，内径４．０ｍｍ、肉厚１．０ｍｍである。 【００２７】以上の誘電体バリア放電ランプは、放電容
器１０の一端部および他端部に２つの流体流通管の残部
２５，２６が形成されており、従って２つの流体流通管
の残部２５，２６が互いに放電容器１０の管軸方向に離
間する状態で形成されているものである。従って、放電
容器１０の製造においては、容器材料１０Ａとして互い
に管軸方向に離間する位置に２つの流体流通管３０，３
１が設けられた容器材料１０Ａが用いられることによ
り、少なくとも１つの流体流通管を洗浄液の注入あるい
は排出用流路として用いながら、他の流体流通管を容器
材料内の空気の流通用流路として確保することができ、
容器材料内への洗浄液の注入作業およびその排出作業を
きわめて円滑に、十分に高い効率で行うことができる。 【００２８】また、容器材料１０Ａの乾燥作業において
も、上方に位置された第１の流体流通管３０より水蒸気
が流出していくので、容器材料１０Ａ内の空気の循環が
円滑に行われ、その結果、容器材料１０Ａを効率よく乾
燥させることができる。以上のことから、本発明の誘電
体バリア放電ランプは、製造が容易であるので、製造に
要する時間を大幅に短縮することができる。 【００２９】また、容器材料に対して洗浄液の注入作業
およびその排出作業を確実に行うことができるので、容
器材料１０Ａの内面の汚れや異物を確実に洗浄して除去
することができ、その結果、容器材料１０Ａの内面の汚
れや異物に起因する発光強度の低下や発光ムラの発生を
防止することができるので、良好な発光特性を得ること
ができる。 【００３０】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明の誘電体バリア放電ランプは、上記の実施
の形態に限定されず種々の変更を加えることが可能であ
る。例えば、容器材料に設けられる流体流通管の数、管
径および位置は、特に限定されるものではない。 【００３１】 ただし、流体流通管が設けられる位置
は、放電容器の管軸方向に離間する一端部および他端部
の位置である。図６に示すように、第１の流体流通管３
０が一方の端壁部１３の上方位置に設けられる場合に
は、第２の流体流通管３１が設けられる位置は、第１の
流体流通管３０に対して容器材料１０Ａの管軸方向に離
間し、かつ半径方向に離間する第１の流体流通管３０の
対角の位置Ａに設けられていてもよい。また、容器材料
１０Ａの端壁部１３，１４ではなく、外側管１１または
内側管１２に設けられていてもよい。 【００３２】以上においては、容器材料に設けられる流
体流通管の数が２つである場合について説明したが、続
いて容器材料に設けられる流体流通管の数が３つである
場合および流体流通管の数が４つである場合について説
明する。容器材料に設けられる流体流通管の数が３つで
ある場合には、例えば第１の流体流通管は一方の端壁部
に、第２の流体流通管は他方の端壁部に、そして第３の
流体流通管は外側管に設けられる。この場合には、第３
の流体流通管が設けられる位置は、端壁部に近接する位
置であることが好ましい。 【００３３】そして、容器材料に設けられる流体流通管
が４つである場合には、例えば第１の流体流通管は一方
の端壁部に、第２の流体流通管は他方の端壁部に、第３
の流体流通管は外側管に、そして第４の流体流通管は内
側管に設けられる。この場合には、第３の流体流通管お
よび第４の流体流通管は、端壁部に近接する位置である
ことが好ましい。 【００３４】以上のような構成によれば、容器材料内へ
の洗浄液の注入作業およびその排出作業をさらに高い効
率で行うことができる。 【００３５】また、容器材料内に洗浄液を注入する手段
は、いずれか１つの流体流通管に接続チューブを接続し
て、この接続チューブより洗浄液を注入してもよい。こ
の場合においても、第１の流体流通管より容器材料内に
洗浄液を注入すると同時に、第２の流体流通管から容器
材料内の空気が抜けるので、上記のような効果を発揮す
ることができる。 【００３６】 【発明の効果】本発明の誘電体バリア放電ランプによれ
ば、その製造においては、放電容器を形成するための容
器材料の管軸方向に離間する一端部および他端部に流体
流通管が２つ以上設けられたものが用いられるので、少
なくとも１つの流体流通管を洗浄液の注入あるいは排出
用流路として用いながら、他の流体流通管を容器材料内
の空気の流通用流路として確保することができるため、
容器材料内への洗浄液の注入作業およびその排出作業を
容易にかつ確実に行うことができる。その結果、容器材
料内の汚れや異物を確実に洗浄して除去することがで
き、従って、容器材料の内面の汚れや異物に起因する発
光強度の低下や発光ムラの発生を防止することができる
ので、良好な発光特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の誘電体バリア放電ランプの一例におけ
る構成を示す説明用断面図である。 【図２】図１に示す誘電体バリア放電ランプにおける放
電容器を形成するための容器材料の構成の一例を示す説
明用断面図である。 【図３】図２に示す容器材料における一方の端壁部と第
１の流体流通管との接合部分を拡大して示す説明用断面
図である。 【図４】図３に示す容器材料内に洗浄液を注入させる方
法の一例を示す説明図である。 【図５】封止工程を行うことにより得られたランプ本体
を示す説明用断面図である。 【図６】流体流通管の接続例を示す容器材料の説明用断
面図である。 【図７】従来の誘電体バリア放電ランプにおける放電容
器を形成するための容器材料の構成の一例を示す説明用
断面図である。 【図８】図７に示す容器材料内に洗浄液を注入させる方
法の一例を示す説明図である。 【図９】封止工程を行うことにより得られたランプ本体
を示す説明用断面図である。 【符号の説明】 １０ 放電容器 １０Ａ 容器材料 １１ 外側管 １２ 内側管 １３ 一方の端壁部 １４ 他方の端壁部 １５ 外周面 １６ 内周面 ２０ ランプ本体 ２１ 一方の電極 ２２ 他方の電極 ２３ 高周波電源 ２５ 流体流通管の残部 ２６ 流体流通管の残部 ３０ 第１の流体流通管 ３０Ａ 縮径部分 ３１ 第２の流体流通管 ３２ 薬液 ３３ 薬液槽 ４０ 放電容器 ４０Ａ 容器材料 ４１ 外側管 ４２ 内側管 ４３ 一方の端壁部 ４４ 他方の端壁部 ４５ 排気管 ４６ シリンジ ４６Ａ 針 ４７ 排気管の残部 ５０ ランプ本体 Ｓ 放電空間 Ｒ 内部空間
る構成を示す説明用断面図である。 【図２】図１に示す誘電体バリア放電ランプにおける放
電容器を形成するための容器材料の構成の一例を示す説
明用断面図である。 【図３】図２に示す容器材料における一方の端壁部と第
１の流体流通管との接合部分を拡大して示す説明用断面
図である。 【図４】図３に示す容器材料内に洗浄液を注入させる方
法の一例を示す説明図である。 【図５】封止工程を行うことにより得られたランプ本体
を示す説明用断面図である。 【図６】流体流通管の接続例を示す容器材料の説明用断
面図である。 【図７】従来の誘電体バリア放電ランプにおける放電容
器を形成するための容器材料の構成の一例を示す説明用
断面図である。 【図８】図７に示す容器材料内に洗浄液を注入させる方
法の一例を示す説明図である。 【図９】封止工程を行うことにより得られたランプ本体
を示す説明用断面図である。 【符号の説明】 １０ 放電容器 １０Ａ 容器材料 １１ 外側管 １２ 内側管 １３ 一方の端壁部 １４ 他方の端壁部 １５ 外周面 １６ 内周面 ２０ ランプ本体 ２１ 一方の電極 ２２ 他方の電極 ２３ 高周波電源 ２５ 流体流通管の残部 ２６ 流体流通管の残部 ３０ 第１の流体流通管 ３０Ａ 縮径部分 ３１ 第２の流体流通管 ３２ 薬液 ３３ 薬液槽 ４０ 放電容器 ４０Ａ 容器材料 ４１ 外側管 ４２ 内側管 ４３ 一方の端壁部 ４４ 他方の端壁部 ４５ 排気管 ４６ シリンジ ４６Ａ 針 ４７ 排気管の残部 ５０ ランプ本体 Ｓ 放電空間 Ｒ 内部空間
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平３−25826（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−138014（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−199033（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 65/00
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 外側管と内側管とによる円筒状二重管構
造の放電容器を有し、当該外側管と当該内側管との間に
形成された円筒状の放電空間内に誘電体バリア放電によ
ってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてな
る誘電体バリア放電ランプであって、 放電容器には、各々放電空間に連通する流体流通管の残
部が２つ以上形成されており、当該流体流通管の残部
は、放電容器の管軸方向に離間する一端部および他端部
に形成されていることを特徴とする誘電体バリア放電ラ
ンプ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19018899A JP3491566B2 (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 誘電体バリア放電ランプ |
| TW092210001U TW563892U (en) | 1999-07-05 | 2000-06-07 | Medium barrier discharge lamp |
| EP00114203A EP1067582B1 (en) | 1999-07-05 | 2000-07-02 | Dielectric barrier discharge lamp |
| DE60038415T DE60038415T2 (de) | 1999-07-05 | 2000-07-02 | Dielektrisch behinderte Entladungslampe |
| KR10-2000-0038257A KR100535928B1 (ko) | 1999-07-05 | 2000-07-05 | 유전체 배리어 방전램프 |
| US09/610,570 US6525451B1 (en) | 1999-07-05 | 2000-07-05 | Dielectric barrier discharge lamp with tube remnant discharge chamber connection |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19018899A JP3491566B2 (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 誘電体バリア放電ランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001023578A JP2001023578A (ja) | 2001-01-26 |
| JP3491566B2 true JP3491566B2 (ja) | 2004-01-26 |
Family
ID=16253927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19018899A Expired - Lifetime JP3491566B2 (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 誘電体バリア放電ランプ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6525451B1 (ja) |
| EP (1) | EP1067582B1 (ja) |
| JP (1) | JP3491566B2 (ja) |
| KR (1) | KR100535928B1 (ja) |
| DE (1) | DE60038415T2 (ja) |
| TW (1) | TW563892U (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6649824B1 (en) * | 1999-09-22 | 2003-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion device and method of production thereof |
| JP3385259B2 (ja) * | 2000-03-15 | 2003-03-10 | 株式会社エム・ディ・コム | 誘電体バリヤ放電ランプ及びそれを利用したドライ洗浄装置 |
| US6633109B2 (en) * | 2001-01-08 | 2003-10-14 | Ushio America, Inc. | Dielectric barrier discharge-driven (V)UV light source for fluid treatment |
| US6762556B2 (en) * | 2001-02-27 | 2004-07-13 | Winsor Corporation | Open chamber photoluminescent lamp |
| EP1328007A1 (en) | 2001-12-14 | 2003-07-16 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Dielectric barrier discharge lamp with starting aid. |
| EP1329944A3 (en) * | 2001-12-14 | 2009-11-04 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Dielectric barrier discharge lamp with starting aid |
| AU2003258864A1 (en) * | 2002-09-05 | 2004-03-29 | Guang-Sup Cho | Double-tubes fluorescent lamp |
| WO2004107478A2 (en) * | 2003-05-29 | 2004-12-09 | Ushio America, Inc. | Non-oxidizing electrode arrangement for excimer lamps |
| US20050199484A1 (en) * | 2004-02-10 | 2005-09-15 | Franek Olstowski | Ozone generator with dual dielectric barrier discharge and methods for using same |
| WO2006072892A2 (en) * | 2005-01-07 | 2006-07-13 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Segmented dielectric barrier discharge lamp |
| US7495396B2 (en) * | 2005-12-14 | 2009-02-24 | General Electric Company | Dielectric barrier discharge lamp |
| TWI349300B (en) * | 2006-06-29 | 2011-09-21 | Ind Tech Res Inst | Dielectric barrier discharge lamp |
| JP4946773B2 (ja) * | 2007-10-11 | 2012-06-06 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
| JP5332555B2 (ja) | 2008-11-28 | 2013-11-06 | ウシオ電機株式会社 | 二重管型蛍光ランプの製造方法及び二重管型蛍光ランプ |
| CA2746970A1 (en) * | 2008-12-03 | 2010-06-10 | Iwasaki Electric Co., Ltd. | Method of manufacturing a lamp and quartz bulb |
| TWI569301B (zh) | 2010-06-04 | 2017-02-01 | 通路實業集團國際公司 | 感應耦合介電質屏障放電燈 |
| WO2012110074A1 (de) * | 2011-02-14 | 2012-08-23 | Osram Ag | Hochdruckentladungslampe mit halogenhalteriger zündhilfe |
| US9153427B2 (en) | 2012-12-18 | 2015-10-06 | Agilent Technologies, Inc. | Vacuum ultraviolet photon source, ionization apparatus, and related methods |
| JP6921557B2 (ja) * | 2016-03-23 | 2021-08-18 | 株式会社オーク製作所 | 放電ランプおよびその製造方法 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4891555A (en) * | 1985-11-15 | 1990-01-02 | General Electric Company | Metal vapor discharge lamps |
| US4994705A (en) * | 1989-03-27 | 1991-02-19 | Hughes Aircraft Company | Water-cooled, low pressure gas discharge lamp |
| JPH0325826A (ja) * | 1989-06-23 | 1991-02-04 | Nec Corp | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
| DE59105798D1 (de) * | 1991-04-15 | 1995-07-27 | Heraeus Noblelight Gmbh | Bestrahlungseinrichtung. |
| EP0607960B2 (en) * | 1993-01-20 | 2001-05-16 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Dielectric barrier discharge lamp |
| JP3178184B2 (ja) * | 1993-09-08 | 2001-06-18 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリヤ放電ランプ |
| TW348262B (en) * | 1993-09-08 | 1998-12-21 | Ushio Electric Inc | Dielectric barrier discharge lamp |
| JP2775699B2 (ja) * | 1994-09-20 | 1998-07-16 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ |
| JP3025414B2 (ja) * | 1994-09-20 | 2000-03-27 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
| JP3127817B2 (ja) * | 1996-01-12 | 2001-01-29 | ウシオ電機株式会社 | 誘電体バリア放電ランプの製造方法 |
| JP3355976B2 (ja) * | 1997-02-05 | 2002-12-09 | ウシオ電機株式会社 | 放電ランプ点灯装置 |
| US5911613A (en) * | 1998-03-16 | 1999-06-15 | Byrum; Bernard W. | Luminous gas discharge display |
-
1999
- 1999-07-05 JP JP19018899A patent/JP3491566B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-06-07 TW TW092210001U patent/TW563892U/zh unknown
- 2000-07-02 DE DE60038415T patent/DE60038415T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-07-02 EP EP00114203A patent/EP1067582B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-07-05 US US09/610,570 patent/US6525451B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-07-05 KR KR10-2000-0038257A patent/KR100535928B1/ko active IP Right Review Request
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE60038415T2 (de) | 2009-04-23 |
| US6525451B1 (en) | 2003-02-25 |
| EP1067582A2 (en) | 2001-01-10 |
| EP1067582A3 (en) | 2004-08-11 |
| EP1067582B1 (en) | 2008-03-26 |
| KR20010015177A (ko) | 2001-02-26 |
| DE60038415D1 (de) | 2008-05-08 |
| KR100535928B1 (ko) | 2005-12-09 |
| JP2001023578A (ja) | 2001-01-26 |
| TW563892U (en) | 2003-11-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3491566B2 (ja) | 誘電体バリア放電ランプ | |
| JP3580233B2 (ja) | 誘電体バリア放電ランプ装置 | |
| JP4749797B2 (ja) | エキシマランプ | |
| JP2001015472A (ja) | 紫外光照射方法及び装置 | |
| JP2003337432A (ja) | 機能水を使ったレジスト除去方法、およびその装置 | |
| CN1722358A (zh) | 受激准分子灯 | |
| JP3847469B2 (ja) | 流体加熱装置 | |
| JP2000161779A (ja) | 流体加熱装置 | |
| JP4134927B2 (ja) | エキシマランプ | |
| KR20020067426A (ko) | 유전체 배리어 방전 램프를 사용한 기판 처리 장치 | |
| JP3085128B2 (ja) | 光洗浄方法 | |
| KR100368811B1 (ko) | 장치내부 부식방지수단을 구비한 가스 스크러버 | |
| CN1295741C (zh) | 荧光灯及其制造方法 | |
| JP3757790B2 (ja) | 誘電体バリア放電ランプを使った光源装置 | |
| TWI585819B (zh) | 無電極燈管及無電極燈泡的製作流程 | |
| JP2000111155A (ja) | 液体加熱装置 | |
| JPH03108234A (ja) | 管球の製造方法 | |
| JPH08153493A (ja) | 誘電体バリア放電ランプ装置 | |
| JPH1050269A (ja) | 無電極放電ランプ、無電極放電ランプ装置、無電極放電ランプ点灯装置及び流体処理装置 | |
| JPH1015550A (ja) | 流体処理装置 | |
| JPH0835724A (ja) | 気体加熱装置 | |
| JP2001283785A (ja) | 誘電体バリヤ放電ランプおよび誘電体バリヤ放電ランプ装置 | |
| JP2001283784A (ja) | 誘電体バリア放電ランプ装置 | |
| JPH10106506A (ja) | 無電極放電ランプ装置、無電極放電ランプ点灯装置及び流体処理装置 | |
| JP2000053405A (ja) | オゾン発生装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031014 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3491566 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071114 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081114 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081114 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101114 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131114 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |