CN1722358A - 受激准分子灯 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种受激准分子灯，是由外侧管和内侧管构成的双层管构造，在外侧管和内侧管的接合部可以得到充分高的可靠性，在搬运或者安装等时可以可靠地防止灯的破损。本发明的受激准分子灯，具有分别将玻璃构成的外侧管和内侧管配置在同轴上，并在两端部进行焊接的双层管构造的放电容器，在外侧管的外表面设置一方的电极，并在内侧管的内表面设置另一方的电极，在该外侧管和该内侧管之间形成的放电空间内填充通过受激准分子放电形成受激准分子的放电用气体，外侧管和内侧管，在管轴方向上的中央区域部分的壁厚相互不同，其特征在于，在接合部分上的外侧管的壁厚和内侧管的壁厚为大致相同的大小。

Description

受激准分子灯

技术领域

本发明涉及一种受激准分子灯，更具体而言，涉及一种将圆筒状外侧管和圆筒状内侧管配置在同轴上的双重管构造的受激准分子灯。

背景技术

如今，例如在液晶显示面板的玻璃基板的应用紫外线照射的清洗工序中，或者在光化学反应的紫外线照射工序等中，利用对被处理体照射波长200nm以下的真空紫外线的方法，作为照射真空紫外线的装置，使用具有受激准分子灯作为光源的装置，该受激准分子灯通过受激准分子放电形成受激准分子，利用从该受激准分子放射出的光。

例如参照图1进行说明，某种具有受激准分子灯的装置构成如下：具有双层管构造的放电容器(11)，该放电容器具有例如由石英玻璃构成的筒状的外侧管(12)、和在此外侧管(12)内沿其管轴配置，且具有比该外侧管(12)的内径小的外径的例如由石英玻璃构成的圆筒状的内侧管(13)，  外侧管(12)和内侧管(13)在两端部焊接，在外侧管(12)和内侧管(13)之间形成放电空间(S)，例如由金属丝网等导电材料构成的网状的一方的电极(15)密接设置于外侧管(12)的外周面，并且例如由铝板构成的另一方的电极(16)密接设置于内侧管(13)的内周面，在放电空间(S)内，填充例如氙气等通过受激准分子放电而形成受激准分子的放电用气体(例如参照专利文献1以及专利文献2)。

这种受激准分子灯的放电容器，例如可以如下得到。也就是如图9所示，分别预备壁厚大小大致相同，外径的大小不同的两根圆筒状的原料管70、71，使构成内侧管的一方的原料管71的两端部向其径方向外侧弯曲，形成弯曲部分72，从管轴方向外侧通过适当的加热装置75对两根原料管70、71的两端部进行加热而使之熔融，使构成外侧管的另一方的原料管70的内周面70A与构成内侧管的一方的原料管71的弯曲部分72的前端面72A接合，由此，得到在外侧管的内周面和内侧管的外周面之间具有封闭状态的环状放电空间的放电容器。在此，使构成外侧管的另一方的原料管70的壁厚大小t1和构成内侧管的一方的原料管71的壁厚大小t2例如为相同的大小。

近年来，例如用作液晶显示面板的玻璃基板的清洗装置的光源的受激准分子灯，伴随玻璃基板的大型化而加长，以能够得到大面积的发光区域，例如要求全长在800mm以上。

在这种较长的受激准分子灯中，从受激准分子灯整体的机械强度以及外侧管和内侧管的接合强度的观点出发，需要构成为使外侧管的壁厚较大，使内侧管的壁厚与外侧管的壁厚相比较小。使内侧管的壁厚大小较小的理由具体说明如下：为了使受激准分子灯具有充分的机械强度，如果使外侧管和内侧管两者的壁厚都大，则成为内侧管只被与外侧管的接合部分支撑的构造，其自重会导致接合部的强度降低。

此外，不限于这样的情形，需要在外侧管的壁厚大小和内侧管的壁厚大小不同的状态下构成放电容器的情况也不少。例如在较短的受激准分子灯中，构成为使内侧管的壁厚大小较大，使外侧管的壁厚大小比内侧管的壁厚较小。其理由为，通过使外侧管的壁厚大小变小，可以提高光透射率，可以得到大的光输出。

然而，在对壁厚大小相互不同的外侧管和内侧管进行接合时，由于接合部的加热部分上的外侧管和内侧管的热容量大小不同，因而不能对两者进行均匀的加热，容易产生不能得到充分的接合强度，或者在接合部发生变形、歪斜等问题，在对受激准分子灯进行搬运或者安装时，或者在点灯初期时，存在由于接合部构造上的问题而导致放电容器破损的问题。

另一方面，如果要对受激准分子灯整体确保充分的机械强度，优选使外侧管和内侧管薄壁化。其理由是可以抑制电效率降低。

然而，如上所述，对外侧管和内侧管的壁厚差较大的结构进行焊接时，由于薄壁会过度熔化，因而可能接合本身就很困难。

在构成放电容器的外侧管和内侧管中较厚一方的壁厚大小为较薄一方壁厚大小的例如1.5倍以上时，上述问题显著发生。

专利文献1：特许第3252676号公报

专利文献2：特许第2951139号公报

发明内容

本发明是根据上述情况而做出的，其目的在于提供一种受激准分子灯，是中央区域部分壁厚相互不同的外侧管和内侧管所构成的双层管构造的受激准分子灯，可以构成为使外侧管和内侧管的接合部具有较高可靠性的结构，可以可靠地防止灯在搬运或者安装时、或者点灯初期时的破损。

本发明的受激准分子灯，具有分别在同轴上配置由玻璃构成的外侧管和内侧管，并在两端部进行焊接的双层管构造的放电容器，在外侧管的外表面设置一方的电极，并在内侧管的内表面设置另一方的电极，在该外侧管和该内侧管之间形成的放电空间内填充通过受激准分子放电形成受激准分子的放电用气体，其特征在于，外侧管和内侧管，在管轴方向上的中央区域部分的壁厚相互不同，在接合部分上的外侧管的壁厚和内侧管的壁厚为大致相同的大小。

在本发明的受激准分子灯中，外侧管和内侧管在两端部通过玻璃构成的接合部件而接合，优选外侧管和接合部件的接合部分上的外侧管的壁厚和接合部件的壁厚为大致相同的大小，而且优选接合部件和内侧管的接合部分上的接合部件的壁厚和内侧管的壁厚为大致相同的大小。

此外，在本发明的受激准分子灯中，优选构成如下：外侧管和内侧管中较厚的一方的中央区域部分的壁厚大小，为较薄一方的中央区域部分的壁厚大小的1.5倍以上。

此外，优选构成如下：外侧管和内侧管中较薄一方的中央区域部分的壁厚大小为0.5～1.0mm。

根据本发明的受激准分子灯，在两端部对外侧管和内侧管加热而进行焊接时，由于使加热部分的外侧管和内侧管的壁厚为大致相同的大小，因而该加热部分的外侧管和内侧管的热容量的大小变得大致相等，可以对外侧管和内侧管均匀地进行加热，因而可以可靠地防止变形、歪斜的发生，可以得到稳定而强固的接合状态，其结果，可以构成使外侧管和内侧管的接合部具有充分高的可靠性的结构，从而可以防止在受激准分子灯的搬运或者安装时、或者点灯初期时放电容器的破损。

此外，根据本发明的受激准分子灯，在通过接合部件对外侧管和内侧管进行接合而构成的结构中，由于使外侧管和接合部件的接合部分上的外侧管和接合部件的壁厚为大致相同的大小，并使接合部件和内侧管的接合部分上的接合部件和内侧管的壁厚为大致相同的大小，加热部分上的两个部件的热容量的大小变得大致相等，可以均匀地对该两个部件进行加热，因而可以可靠地防止变形、歪斜的发生，可以得到稳定而强固的接合状态，其结果，可以构成使外侧管和内侧管的接合部具有充分高的可靠性的结构，从而可以防止在受激准分子灯的搬运或者安装时、或者点灯初期时放电容器的破损。

附图说明

图1是表示本发明的受激准分子灯的一例的构成的概略的说明用剖视图。

图2是表示制造本发明的受激准分子灯的放电容器时的外侧管构成用部件和内侧管构成用部件的接合方法的一例的说明图。

图3是表示制造本发明的受激准分子灯的放电容器时的外侧管构成用部件和内侧管构成用部件的接合方法的另一例的说明图。

图4是表示制造本发明的受激准分子灯的放电容器时的外侧管构成用部件和内侧管构成用部件的接合方法的另一例的说明图。

图5是表示制造本发明的受激准分子灯的放电容器时的外侧管构成用部件和内侧管构成用部件的接合方法的另一例的说明图。

图6是表示制造本发明的受激准分子灯的放电容器时的外侧管构成用部件和内侧管构成用部件的接合方法的另一例的说明图。

图7是表示制造比较例1的受激准分子灯的放电容器时的外侧管构成用部件和内侧管构成用部件的接合方法的说明图。

图8是表示制造比较例2的受激准分子灯的放电容器时的外侧管构成用部件和内侧管构成用部件的接合方法的说明图。

图9是表示制造以往的受激准分子灯的放电容器时的外侧管构成用部件和内侧管构成用部件的接合方法的一例的说明图。

具体实施方式

以下参照附图对本发明进行详细的说明。

第一实施方式

图1是表示本发明的受激准分子灯的一例的构成概略的说明用剖视图。

该受激准分子灯10具有放电容器11，该放电容器11具有如下形成的双层管构造：具有例如由石英玻璃构成且在管轴方向上具有均匀大小的壁厚的圆筒状的外侧管12、和在此外侧管12内沿其管轴配置，且具有比该外侧管12的内径小的外径的例如由石英玻璃构成的圆筒状的内侧管13，外侧管12和内侧管13在两端部焊接。

构成放电容器11的内侧管13，具有两端部向径方向外侧扩张延伸而弯曲形成的弯曲部分13A，通过使该内侧管13的弯曲部分13A与外侧管12接合，而由该弯曲部分13A构成端壁14，由此，在外侧管12的内周面和内侧管13的外周面之间形成气密性闭塞的环状的放电空间S。

在构成放电容器11的外侧管12上，与其外周面密接而设置例如由金属丝网等导电材料构成的网状的一方的电极(以下称为“外部电极”)15，在内侧管13上，与其内周面密接而设置另一方的电极(以下称为“内部电极”)16，该另一方的电极16例如由铝构成，呈管状或者截面呈一部分具有缺口的大致C字状(槽状)。而且外部电极15与内部电极16与例如由高频电源构成的电源装置(未图示)连接。

在放电空间S内部填充例如氙气等放电用气体，其通过在外部电极15和内部电极16之间产生的受激准分子放电而形成受激准分子。

在此受激准分子灯10中，使构成受激准分子发光区域的中央区域部分的外侧管12的壁厚和内侧管13的壁厚为相互不同的大小，并使较厚一方的壁厚为较薄一方的壁厚的1.5倍以上的大小，其中，该受激准分子发光区域可以有效地利用从受激准分子灯10放射的受激准分子光。在此实施例中，使外侧管12的壁厚大小t1为比内侧管13的壁厚大小t2大(t1≥1.5×t2)(参照图2)。

此外，使较薄的一方的壁厚大小(在此实施例中为内侧管13的壁厚大小t2)例如为0.5～1.0mm。

以下，除了特殊说明，所谓“壁厚”都是指受激准分子灯10的中央区域部分的壁厚。

使外侧管12和内侧管13的接合部分上的外侧管12的壁厚和内侧管13的壁厚为大致相同的大小。具体地参照图2进行说明，使外侧管12的端部的壁厚大小为t1，内侧管13的弯曲部分的端部的壁厚大小为t3，则为满足下式(1)和式(2)中任意一方的状态。

式(1)    |t1-t3|≤0.2×t1

式(2)    |t1-t3|≤0.2×t3

上述构成的受激准分子灯10例如可以如下而制造。

也就是如图2所示，将构成内侧管13的圆筒状的内侧管构成用原料管20插入构成外侧管12的圆筒状的外侧管构成用原料管21的内部，并同轴配置，其中，内侧管构成用原料管20预先使外端向径方向外侧扩张延伸地将两端部加工成喇叭状，形成弯曲部分13A；外侧管构成用原料管21具有比该内侧管构成用原料管20的外径大的内径，通过从管轴方向外侧例如使用燃烧器等加热装置25进行加热，使外侧管构成用原料管21的内周面21A和内侧管构成用原料管20的弯曲部分13A的前端面20A焊接，由此得到在外侧管12和内侧管13之间形成有管状的放电空间S的双层管构造的放电容器11。在此，内侧管构成用原料管20，例如中央区域部分的壁厚大小为t2，与该中央区域部分接续的弯曲部分13A随着向外端而壁厚变大，接合部分上的外端部的壁厚大小为t3。

在对外侧管构成用原料管21以及内侧管构成用原料管20进行加热熔化时，从达到被加热装置25加热的加热部分H的热容量大小的均匀化的观点出发，优选加热部分H的内侧管构成用原料管20的长度L为外侧管构成用原料管21的壁厚大小t1的100％以上的大小。由此，可以在得到均匀的加热状态的状态下，对外侧管构成用原料管21和内侧管构成用原料管20进行焊接。

向如上述得到的放电容器11的放电空间S内封入适当的放电用气体，并将外部电极15和内部电极16配置在规定的位置，从而得到如图1所示的受激准分子灯10。

根据上述构成的受激准分子灯10，由于在两端部对外侧管12和内侧管13进行加热焊接时，使被加热装置25加热的加热部分H上的外侧管构成用原料管21的壁厚t1和内侧管构成用原料管20的弯曲部分13A的壁厚大小t3为大致相同的大小，因而该加热部分H上的外侧管构成用原料管21以及内侧管构成用原料管20的热容量大小为大致相等的状态，可以进行均匀的熔融加热，因而可以可靠地抑制变形、歪斜的发生，可以得到稳定而强固的接合状态，其结果，可以构成使外侧管12和内侧管13的接合部具有充分高的可靠性的结构，从而可以防止在受激准分子灯10的搬运或者安装时、或者点灯初期时放电容器11的破损。

以上，对具有外侧管的壁厚大小比内侧管的壁厚大小大的放电容器的结构进行了说明，但具有内侧管的壁厚大小比外侧管的壁厚大小大的发电容器的结构也可以得到同样的效果。

特别是本发明对于如下构成的结构极为有用：外侧管和内侧管中较薄一方的壁厚大小为0.5～1.0mm，较厚一方的壁厚大小为较薄一方的壁厚大小的1.5倍以上，例如受激准分子灯10的全长在1000mm以上等，可以对受激准分子灯10整体确保充分高的机械强度，同时可以使外侧管和内侧管的接合部具有充分高的可靠性。

第二实施方式

本发明的第二实施方式的受激准分子灯，在两端部通过另外的接合部件对外侧管和内侧管进行接合，构成放电容器，其他的基本构成与图1所示的结构相同。

具体地，该第二实施方式的受激准分子灯的放电容器，如图3所示，是如下构成的双层管构造：使用例如与外侧管构成用原料管31和内侧管构成用原料管30相同的材质例如石英玻璃所构成的接合部件35，分别在两端部对在管轴方向上具有均匀大小的壁厚的外侧管构成用原料管31和内侧管构成用原料管30进行接合。此实施例为外侧管构成用原料管31的壁厚大小t1比内侧管构成用原料管30的壁厚大小t2大的状态(t1≥1.5×t2)。

接合部件35，是具有一端部向径方向外侧扩张延伸而弯曲的弯曲部分36、和通过阶部与该弯曲部分36连接的直管状部分37的大致短圆筒状的结构，与外侧管构成用原料管31接合而构成端壁的弯曲部分36的端部的壁厚大小t4为与外侧管构成用原料管31的壁厚大小t1大致相同的大小，而且与内侧管构成用原料管30接合的直管状部分37的端部的壁厚大小t5与内侧管构成用原料管30的壁厚大小t2为大致相同的大小。

也就是使弯曲部分36的端部的壁厚和外侧管构成用原料管31的壁厚的壁厚差|t1-t4|为外侧管构成用原料管31的壁厚大小t1或者弯曲部分36的端部壁厚大小t4的20％以下的大小，并且使直管状部分37的端部的壁厚和内侧管构成用原料管30的壁厚的壁厚差|t2-t5|为内侧管构成用原料管30的壁厚大小t2或者直管状部分37的端部的壁厚大小t5的20％以下的大小。

这种构成的受激准分子灯，与制造图1所示的受激准分子灯时相同，从管轴方向外侧，例如使用燃烧器等进行加热，使直管状的外侧管构成用原料管31的内周面31A与接合部件35的弯曲部分36的前端面36A焊接，同时例如使用燃烧器等从径方向内侧进行加热，使内侧管构成用原料管30的外端面30A与接合部件35的直管状部分37的前端面37A焊接，由此，得到在外侧管和内侧管之间形成管状的放电空间的双层管构造的放电容器。

在对外侧管构成用原料管31和接合部件35进行接合时，从达到加热部分H1的热容量大小均匀化的观点出发，优选外侧管构成用原料管31和接合部件35的加热部分H1上的接合部件长度L1为外侧管构成用原料管31的壁厚大小t1的100％以上的大小。

此外，对接合部件35和内侧管构成用原料管30进行接合时，从达到加热部分H2的热容量的大小均匀化的观点出发，优选内侧管构成用原料管30和接合部件35的加热部分H2上的接合部件35的长度L2A以及加热部分H2上的内侧管构成用原料管30的长度L2B为相同的大小。对加热部分H2上的接合部件35的长度L2A以及加热部分H2上的内侧管构成用原料管30的长度L2B没有特别的限定，例如为内侧管构成用原料管30的壁厚大小t2的100％以上的大小。

由此，可以在得到均匀的加热状态的状态下，对外侧管构成用原料管31和接合部件35，以及接合部件35和内侧管构成用原料管30进行焊接。

以上，对具有外侧管的壁厚大小比内侧管的壁厚大小大的构成的放电容器的结构进行了说明，但在使外侧管的壁厚大小t1比内侧管的壁厚大小t2小的情况下(t1×1.5≤t2)也是同样。也就是如图4所示，作为接合部件45使用如下构成：使与外侧管构成用原料管41接合而构成端壁的弯曲部分46的端部的壁厚大小t4为与外侧管构成用原料管41的壁厚大小t1大致相同的大小，并使与内侧管构成用原料管40接合的直管状部分47的端部的壁厚大小t5为与内侧管构成用原料管40的壁厚大小t2大致相同的大小，使外侧管构成用原料管41的内周而41A与接合部件45的弯曲部分46的前端面46A焊接的同时，使内侧管构成用原料管40的外端面40A与接合部件45的直管状部分47的前端面47A焊接，由此，得到在外侧管和内侧管之间形成管状放电空间的双层管构造的放电容器。

在对外侧管构成用原料管41和接合部件45进行接合时，从达到加热部分H1的热容量大小均匀化的观点出发，优选外侧管构成用原料管41和接合部件45的加热部分H1上的接合部件45的长度L3为加热部分H1上的外侧管构成用原料管41的壁厚大小t1的100％以上的大小。

此外，对接合部件45和内侧管构成用原料管40进行接合时，从达到加热部分H2的热容量大小均匀化的观点出发，优选内侧管构成用原料管40和接合部件45的加热部分H2上的接合部件45的长度L4A以及加热部分H2上的内侧管构成用原料管40的长度L4B为相同的大小。对加热部分H2上的接合部件45的长度L4A以及加热部分H2上的内侧管构成用原料管40的长度L4B没有特别的限定，例如为内侧管构成用原料管40的壁厚大小t2的100％以上的大小。

由此，可以在得到均匀的加热状态的状态下，对外侧管构成用原料管41和接合部件45，以及接合部件45和内侧管构成用原料管40进行焊接。

如上所述，在两端部通过另外的接合部件对外侧管和内侧管进行接合，而构成放电容器的本发明的受激准分子灯，与外侧管和内侧管直接焊接而成的第一实施方式的受激准分子灯相同，由于使外侧管构成用原料管31(41)和接合部件35(45)的加热部分H1上的外侧管构成用原料管31(41)和接合部件35(45)的壁厚大小为大致相同的大小，并使接合部件35(45)和内侧管构成用原料管30(40)的加热部分H2上的接合部件35(45)和内侧管构成用原料管30(40)的壁厚为大致相同的大小，因而加热部分H1、H2上的两个部件的热容量大小大致相等，可以对该两个部件进行均匀的加热，因而可以可靠地防止变形、歪斜发生，可以得到稳定而强固的接合状态，其结果，可以构成使外侧管和内侧管的接合部具有充分高的可靠性的结构，从而可以防止在受激准分子灯10的搬运或者安装时、或者点灯初期时放电容器11的破损。

以上对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述的实施方式，可以加以种种的变更。

例如，在第一实施方式的受激准分子灯中，可以是如下的结构：作为外侧管构成用原料管，可以是具有其两端部向径方向内侧延伸而加工的弯曲部分的结构，可以使用弯曲部分的前端部的壁厚为与内侧管构成用原料管的壁厚大致相同大小的结构，作为内侧管构成用原料管，可以使用在管轴方向上具有均匀大小的壁厚的直管状的结构，外侧管构成用原料管以及内侧管构成用原料管进行焊接而形成放电容器。

此外，在第二实施方式的受激准分子灯中，接合部件不必是与外侧管以及内侧管相同的材质，例如可以使用合成石英玻璃、熔融石英玻璃、具有抗紫外线性能的玻璃材料等构成的部件。

而且，本发明的受激准分子灯可以为如下的构成：在放电容器内的一端侧，沿内侧管的周方向的全周延伸而形成从该放电容器的内侧管的外周面向径方向外侧突出的隔壁，由此，在隔壁和放电容器的端壁之间形成与放电空间连通并用于吸附例如氧气、氢气、一氧化碳、水等杂质气体的吸气剂收容用辅助空间。

在这种结构中，如图5所示，通过将例如玻璃构成的圆板状的隔壁构成部件60焊接在构成内侧管的一部分的接合部件55的直管状部分57的外周面上而形成隔壁，优选加热部分上的隔壁构成部件60的壁厚大小t6为与接合部件55的直管状部分57的壁厚大小t5大致相同的大小。也就是优选接合部件55的直管状部分57的壁厚和隔壁构成部件60的壁厚的壁厚差|t5-t6|为接合部件55的直管状部分57的壁厚大小t5或者隔壁构成部件60的壁厚大小t6的20％以下的大小。由此，加热部分的接合部件55的热容量与隔壁构成部件60的热容量为大致相同的大小，可以在得到均匀的加热状态的状态下，对接合部件55和隔壁构成部件60进行焊接。

此外，隔壁构成部件60的端面位置和接合部件55的直管状部分57的端面位置之间的间隔距离大小d，优选例如为内侧管构成用原料管40的壁厚大小t2的100％以上的大小。由此，在对接合部件55和内侧管构成用原料管50进行焊接时，加热部分上的隔壁构成部件60的热容量的大小实质上变得没有关系，可以在接合部件55和内侧管构成用原料管40的接合部得到稳定且强固的接合状态。

此外，使接合部件55上的与外侧管构成用原料管41接合的弯曲部分56的外端部的壁厚大小t4为与外侧管构成用原料管41的壁厚大小t1大致相同的大小。

此外，在第二实施方式的受激准分子灯中，如图6所示，可以使用圆板状的部件作为接合部件。

具体地进行说明，该接合部件65，具有与外侧管构成用原料管41的内径相适合的大小的外径尺寸，在中央部形成内侧管构成用原料管嵌合孔66，该嵌合孔66具有与内侧管构成用原料管40的外径相适合的大小的直径。

该接合部件65，其与外侧管构成用原料管41焊接的外周缘部分67的壁厚大小t7为与外侧管构成用原料管41的壁厚大小t1大致相同的大小，而且与内侧管构成用原料管40焊接的内周缘部分(内侧管构成用原料管嵌合孔的开口边缘部分)68的壁厚大小t8为与内侧管构成用原料管40的壁厚大小t2大致相同的大小。也就是使外侧管构成用原料管41的壁厚和外周缘部分67的壁厚的壁厚差|t1-t7|为外侧管构成用原料管41的壁厚大小t1或者外周缘部分67的壁厚大小t7的20％以下的大小，并且使内侧管构成用原料管40的壁厚和内周缘部分68的壁厚的壁厚差|t2-t8|为内侧管构成用原料管40的壁厚大小t2或者内周缘部分68的壁厚大小t8的20％以下的大小。

接合部件65的外周缘部分67的大小(径方向长度)，从达到接合部件65和外侧管构成用原料管41接合部分的热容量大小均匀化的观点出发，优选为外侧管构成用原料管41的壁厚大小t1的100％以上的大小，此外，接合部件65的内周缘部分68的大小(径方向长度)，从达到接合部件65和内侧管构成用原料管40接合部分的热容量大小均匀化的观点出发，优选为内侧管构成用原料管40的壁厚大小t2的100％以上的大小

实施例

以下，对本发明的受激准分子灯的实施例进行具体的说明，但本发明并不受其限制。

实施例1

如图2所示，预备全长1000mm、外径40mm、壁厚(t1)2.5mm(t1＝2.5×t2)的石英玻璃构成的外侧管构成用原料管、和包括弯曲部分的全长为1020mm、直管状部分的外径为20mm、直管状部分的壁厚(t2)为1.0mm、且弯曲部分的端部的壁厚(t3)为2.2mm(t1-t3＝0.12×t1)的石英玻璃构成的内侧管构成用原料管，通过在两端部对外侧管构成用原料管和内侧管构成用原料管进行焊接，制成外侧管的壁厚比内侧管的壁厚大的双层管构造的放电容器。该放电容器的全长为1000mm。

对外侧管构成用原料管和内侧管构成用原料管进行接合时的加热处理条件如下：使用氢氧燃烧器作为加热装置，使加热温度为2000℃，加热时间为10分钟，此外，使加热部分的内侧管构成用原料管的径方向长度(L)为4mm(1.6×t1)。

根据图1所示的构成，通过配置外部电极和内部电极，并在放电空间内填充放电用气体，制得本发明的受激准分子灯。

外部电极使用由不锈钢制的环状金属丝网构成的网状部件。

内部电极使用将铝板加工成截面大致呈C字形的槽状的部件。

使用氙气作为放电用气体，在26kPa的压力下封入。

对这样得到的受激准分子灯进行静负荷破坏试验，对外侧管和内侧管的接合部的接合强度进行评价，结果确认了该受激准分子灯的接合部具有最大可耐受3kg·m的力矩的接合强度，具有充分高的可靠性。例如在安装受激准分子灯时，作用于受激准分子灯的接合部的力矩大小通常为2kg·m左右。

实施例2

作为外侧管构成用原料管，使用全长200mm、外径15mm、壁厚(t1)0.7mm的部件，作为内侧管构成用原料管，使用包括弯曲部分的全长为210mm、直管状部分(中央区域部分)的外径为6mm、直管状部分的壁厚(t2)为1.5mm(t2＝2.1×t1)、且弯曲部分的端部的壁厚(t3)为0.8mm(t3-t1＝0.14×t1)的部件，其余与实施例1相同，制成外侧管的壁厚比内侧管的壁厚小的双层管构造的放电容器，根据图1所示的构成，通过配置外部电极和内部电极，并在放电空间内填充放电用气体，制成本发明的受激准分子灯。该受激准分子灯的放电容器的全长为200mm。

对得到的受激准分子灯的外侧管和内侧管的接合部进行与实施例1相同的评价，结果确认了该受激准分子灯的接合部具有最大可耐受2.5kg·m的力矩的接合强度，具有充分高的可靠性。

实施例3

如图3所示，预备全长1000mm、外径40mm、壁厚(t1)2.5mm(t1＝2.5×t2)的石英玻璃构成的外侧管构成用原料管；全长900mm、外径20mm、壁厚(t2)1mm的石英玻璃构成的内侧管构成用原料管；和包括弯曲部分的全长为60mm、直管状部分的外径为20mm、弯曲部分的端部的壁厚(t4)为2.2mm(t1-t4＝0.12×t1)、直管状部分的壁厚(t5)为1mm(t2＝t5)的石英玻璃构成的短圆筒状的接合部件，通过在两端部使用接合部件对外侧管构成用原料管和内侧管构成用原料管进行焊接，制成外侧管的壁厚比内侧管的壁厚大的双层管构造的放电容器，除此以外与实施例1相同，从而制得本发明的受激准分子灯。该受激准分子灯的放电容器的全长为1000mm。

对外侧管构成用原料管和接合部件进行焊接时的加热处理条件与上述实施例1相同(加热温度为2000℃，加热时间为10分钟，加热部分的接合部件的径方向长度(L1)为4mm(1.6×t1))，对内侧管构成用原料管和接合部件进行焊接时的加热处理条件如下：使加热温度为2000℃，加热时间为5分钟，加热部分上的接合部件的管轴方向的长度(L2A)以及内侧管构成用原料管的长度(L2B)为3mm(3×t2)。

对得到的受激准分子灯的外侧管和内侧管的接合部进行与实施例1相同的评价，结果确认了该受激准分子灯的接合部具有最大可耐受3kg·m的力矩的接合强度，具有充分高的可靠性。

实施例4

作为外侧管构成用原料管，使用全长200mm、外径15mm、壁厚(t1)0.7mm的部件，作为内侧管构成用原料管，使用全长为180mm、外径为6mm、壁厚(t2)为1.5mm(t2＝2.1×t1)的部件，作为接合部件，使用包括弯曲部分的全长为15mm，直管状部分的外径为6mm、弯曲部分的端部的壁厚(t4)为0.8mm(t4-t1＝0.14×t1)、直管状部分的壁厚(t5)为1.5mm(t2＝t5)的部件，其余与实施例3相同，制成外侧管的壁厚比内侧管的壁厚小的双层管构造的放电容器。根据图1所示的构成，通过配置外部电极和内部电极，并在放电空间内填充放电用气体，制成本发明的受激准分子灯。该受激准分子灯的放电容器的全长为200mm。

对得到的受激准分子灯的外侧管和内侧管的接合部进行与实施例1相同的评价，结果确认了该受激准分子灯的接合部具有最大可耐受2.5kg·m的力矩的接合强度，具有充分高的可靠性。

比较例1

在上述实施例1中，如图7所示，作为内侧管构成用原料管(201)，使用弯曲部分(202)的端部的壁厚大小(t2)为1mm(t1-t2＝0.6×t1，t1-t2＝1.5×t2)，且壁厚大小整体均匀的部件，其余与实施例1相同而制造用于比较的受激准分子灯。

对得到的用于比较的受激准分子灯的外侧管和内侧管的接合部进行与实施例1相同的评价，结果确认了该受激准分子灯的接合部只具有可耐受至1.5kg·m左右的力矩的接合强度。

比较例2

在上述实施例3中，如图8所示，作为接合部件(35A)，使用弯曲部分(38)的壁厚大小(t5)为1mm(t1-t5＝0.6×t1，t1-t5＝1.5×t2，t2＝t5)，且壁厚大小整体均匀的部件，其余与实施例3相同而制造用于比较的受激准分子灯。

对得到的用于比较的受激准分子灯的外侧管和内侧管的接合部进行与实施例1相同的评价，结果确认了该受激准分子灯的接合部只具有可耐受至1.5kg·m左右的力矩的接合强度。

如上所述，对于本发明的实施例1～实施例4的受激准分子灯，确认了放电容器的外侧管和内侧管的接合部具有充分高的可靠性，认为可以可靠地防止受激准分子灯的搬运或者安装时放电容器从该接合部破损。

另一方面，  对于比较例1和比较例2的受激准分子灯，确认了不能在放电容器的外侧管和内侧管的接合部得到稳定且强固的接合状态。

Claims (2)

1.一种受激准分子灯，具有分别将玻璃构成的外侧管和内侧管配置在同轴上，并在两端部进行焊接的双层管构造的放电容器，在外侧管的外表面设置一方的电极，并在内侧管的内表面设置另一方的电极，在该外侧管和该内侧管之间形成的放电空间内填充通过受激准分子放电形成受激准分子的放电用气体，其特征在于，外侧管和内侧管，在管轴方向上的中央区域部分的壁厚相互不同，在接合部分上的外侧管的壁厚与内侧管的壁厚为大致相同的大小。

2.如权利要求1所述的受激准分子灯，其特征在于，外侧管和内侧管在两端部通过玻璃构成的接合部件而接合，外侧管和接合部件的接合部分上的外侧管的壁厚与接合部件的壁厚为大致相同的大小，而且接合部件和内侧管的接合部分上的接合部件的壁厚与内侧管的壁厚为大致相同的大小。

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