JP4749797B2 - エキシマランプ - Google Patents
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2 外管
3 放電空間
4 内管内側
5 紫外線吸収物質
6 溶剤
Claims (4)
- 石英ガラスの外管に石英ガラスの内管を同軸状に挿入して構成され、光出射窓を有する放電容器を備え、前記内管と前記外管の間を、高周波グロー放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間とするエキシマランプにおいて、前記内管の放電空間側表面上は紫外線吸収物質が除去され、前記内管の放電空間側表面より内部には、紫外線吸収物質が高い濃度で拡散された紫外線吸収部が形成されていることを特徴とするエキシマランプ。
- 前記紫外線吸収物質は、TiとCeとZrのうちのいずれか1種以上の物質からなることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 電極を形成した石英ガラスの内管を石英ガラスの外管に同軸状に挿入して放電容器を構成し、前記放電容器の一部に光出射窓を形成し、前記内管と前記外管の間に、高周波グロー放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスを充填して封じて放電空間を形成するエキシマランプの製造方法において、前記内管に電極を形成する前に、前記内管の外側円筒面に、紫外線吸収物質を分散させた懸濁液を塗布し、前記懸濁液を乾燥させた後、900℃以上でかつ前記内管の軟化点以下の温度で熱処理を行って、前記紫外線吸収物質を前記内管の外側円筒面から石英ガラス内に拡散させ、フッ酸洗浄を行って前記内管の放電空間側表面上は前記紫外線吸収物質の膜を除去することにより、前記内管の放電空間側表面より内部に、前記紫外線吸収物質が高い濃度で拡散された紫外線吸収部を形成することを特徴とするエキシマランプの製法。
- 前記紫外線吸収物質は、TiとCeとZrのうちのいずれか1種以上の物質からなることを特徴とする請求項3に記載のエキシマランプの製法。
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