TWI417933B - Method for manufacturing excimer lamp and excimer lamp - Google Patents

Description

準分子燈及準分子燈的製造方法

本發明是關於藉由在被處理體的表面照射紫外線，氧化除去附著於被處理體的表面的有機化合物而洗淨被處理體，又，藉由在被處理體的表面照射紫外線，為了改質被處理體的表面所使用的準分子燈及準分子燈的製造方法。

現在，在製造半導體積體電路或製造液晶顯示器等的洗淨工程的一部分，利用紫外線照射的洗淨方法。在習知中，該方法，是主要對波長186nm與254nm具有光譜的低壓水銀燈作為光源者成為主流。

在最近，作為更有效率的方法來代替低壓水銀燈，使用封入可放射更短波長的光的氙等的準分子燈的洗淨或改質方法被利用。準分子燈是例如對封入氙氣體的發光管施加數kV的高電壓而產生障壁放電，藉由被生成於發光管內的電漿俾將氙氣分子作為準分子，而利用從該狀態回到基底狀態的過程所放出的光者。在將氙氣體使用於放電氣體的準分子燈中，放射著波長172nm的真空紫外線。

在該準分子燈中，填充於介質材料所成的發光管內部的放電用氣體不會漏出至發光管外的方式在發光管內部形成有氣密空間。例如，在專利文獻1，揭示著藉由將具有氣體導入孔的玻璃塊熔融於放電管的兩端面，而且在將放電用氣體填充至放電管內之後封閉被形成於玻璃塊的氣體 導入孔，具備在內部形成有氣密空間的放電管的準分子燈。以下，依據第9圖，來說明被揭示於同文獻的準分子燈的構成。

放電管9是在合成石英製的扁平長方筒的放電管本體91的兩端部，熔融接合玻璃93者。在放電管本體91的下外面，蒸鍍形成有格子狀的第1電極92A，而在上外面，形成有全面狀的第2電極92B。玻璃塊93是切削加工熔融石英者，整體上被作成朝前後方向長的中實的長方體形狀，前後方向的厚度作成放電管本體91的側壁91D的厚度的至少兩倍以上。在玻璃塊93，前後地貫通它，而設有連通放電管9的內部與放電管9的外部的氣體導入孔93A。

在此種準分子燈中，經氣體導入孔93A而在放電管91內部填充放電用氣體之後，氣體導入孔93A的入口藉由熔融的封閉玻璃93B被封閉，在放電管9的內部形成有氣密空間。

然而，欲製造表示於此種專利文獻1的準分子燈，可能有如以下所示的困難性者。如第10(A)圖所示地，表示於同文獻的準分子燈中，放電管本體91與玻璃塊93是在放電管本體91的端面面對面玻璃塊93的前端面的狀態下，藉由加熱器等的加熱手段熔融兩者的境界部分，就可作成熔融放電管本體91與玻璃塊93者。

可是，放電管本體91是相對性地熱容量比玻璃塊93還小，而比玻璃塊93相比較容易熔融之故，因而如第10 (B)圖所示地，在其端面與玻璃塊93的前端面之間會產生間隙的問題。又，若在放電管本體91與玻璃塊93之間產生間隙，則藉由燃燒器的火炎從放電管本體91的端面與玻璃塊體93的前端面之間的間隙侵入，而在放電管本體91的內面，有附著放電管本體91的構成材料的二氧化矽(SiO₂ )的粒子之虞。

如此，若在放電管9的內面附著有二氧化矽(SiO₂ )粒子，則二氧化矽粒子是變成白濁而吸收從被生成於放電管9內的電漿所放射的紫外光之故，因而會降低放電管9的紫外光透射率，而有無法將充分強度的紫外光照射在被處理體的問題。

又，事後地洗淨附著於放電管9內面的二氧化矽粒子並不是不可能，惟將洗淨用液從設於玻璃塊93的細徑的導入孔93A導入至放電管9內的作業極煩雜之故，因而事後地進行洗淨放電管9的內面並不實際。

專利文獻1：日本特開2005－322510號

由以上，本發明是提供藉由發光管構成材料附著於發光管內面不會有降低發光管的紫外光透射率之虞而可製造準分子燈的方法，以及可將發光管的紫外光透射率維持在高水準的準分子燈，作為目的。

為了解決上述課題，本發明的準分子燈的製造方法，是至少具備以下的工程，作為特徵。

(1)形成由用於導入放電用氣體的氣體導入部，及連續於氣體導入部而朝氣體導入部的徑方向擴展的凸緣部所成的封閉構件的工程，(2)在發光管的內部配置上述封閉構件，而且將封閉構件的外周緣焊著於發光管的管壁的工程，(3)將放電氣體經上述氣體導入部導入於上述發光管的內部，而且封閉氣體導入管的一端而在發光管的內部形成氣密空間的工程。

又，本發明的準分子燈，是在填充有介質所成的放電用氣體的發光管的外表面，隔著發光管的管壁相對向設有一對外部電極的準分子燈，其特徵為：在上述發光管的內部，一端被封閉而另一端開口的氣體導入部與連續於氣體導入部而朝氣體導入部的徑方向擴展的凸緣部所成的封閉構件，凸緣部的外周緣朝周方向全面地焊著於發光管的管壁而被固定，形成有藉由封閉構件與發光管的管壁所隔開的氣密空間。

又，在上述發光管的內面，形成有藉由至少包括二氧化矽粒子的紫外線散射粒子所形成的紫外線散射反射膜，為其特徵者。

又，在上述氣體導入部的內面，形成有與上述紫外線反射膜同一組成的材料所成的保護膜，為其特徵者。

又，在上述氣體導入部的內部，配置有用於捕捉殘留於上述發光管內的氧氣的吸氣器，為其特徵者。

又，上述凸緣部是接觸於上述氣密空間的一面，傾斜 成從發光管管壁愈接近發光管的管軸愈使得發光管的管軸方向的厚度逐漸變小，為其特徵者。

依照本發明的準分子燈的製造方法，將具有氣體導入部的封閉構件配置於發光管的內部，而且將凸緣部的外周緣焊著於發光管的管壁之故，因而在焊著封鎖構件與發光管的作業之際，燃燒器的火炎不會直接碰到發光管的管軸方向的外端面，因此，從發光管的管軸方向的外端面所蒸發的發光管構成物質不會附著於發光管的內面。因此，從生成於發光管內的電漿所放射的紫外光，不會被吸收在發光管構成物質，對於被處理體所照射的紫外光的強度不會有降低之虞。

又，依照本發明的準分子燈，與朝發光管的管軸方向延伸而且發光管的管軸方向的外端面側的端部被封閉的氣體導入部的一體地形成的具有朝氣體導入部的徑方向擴展的凸緣部的封閉構件，焊著於凸緣部的外周緣朝周方向全面地發光管的管壁而被固定之故，因而在發光管的內部可容易地形成藉由發光管的管壁與凸緣部所隔開的氣密空間，而在發光管內不會漏洩放電用氣體地可加以填充。

又，藉由在上述發光管的內面，形成有藉由至少包括二氧化矽粒子的紫外線散射粒子所形成的紫外線散射反射膜，可將在發光管內所發生的紫外線藉由該紫外線散射反射膜確實地反射而可放射至發光管外，而且藉由透射發光管可減小被衰減的程度之故，因而期待可提昇紫外線的放射效率者。

又，藉由在上述氣體導入部的內面，形成有與上述紫外線反射膜同一組成的材料所成的保護膜，可避免對於氣體導入部直接地被照射著紫外線，可減低被蓄積於氣體導入部的紫外線失真之故，因而沒有起因於過度的紫外線失真被蓄積於氣體導入部而損傷氣體導入部之虞。

又，藉由在上述氣體導入部的內部，配置有用於捕捉殘留於上述發光管內的氧氣的吸氣器，可將殘留於發光管內的氧氣量作成極少者。所以，例如放電氣體為氙(Xe)氣體的情形，成為在發光管內僅放射Xe的準分子光，而不會在發光管內放射XeO的準分子光之故，而不會有降低波長172nm的紫外光的放射強度之虞。

還有，上述凸緣部是接觸於上述氣密空間的一面，傾斜成從發光管管壁愈接近發光管的管軸愈使得發光管的管軸方向的厚度逐漸變小，藉由此，被形成於接觸於凸緣部的氣密空間的一面的上述紫外線散射反射膜的厚度不會過度變大，而可將紫外線散射反射膜的厚度作成均勻。因此，在接觸於凸緣部的氣密空間之一面，不會有剝離紫外線散射反射膜而可確實地形成紫外線散射反射膜。

第1圖是表示本發明的準分子燈的構成的概略立體圖。第2圖表示藉由包括管軸的平面來切剖圖示於第1圖的準分子燈的斷面圖[第2(A)圖]，及藉由對於該平面正交的平面所切剖的斷面[第2(B)圖]。

準分子燈10是具有在扁平的方筒狀發光管的兩端部近旁的內表面，藉由封閉構件被焊著而在發光管內部形成有氣密空間S，在氣密空間S的內部填充有用於生成準分子放電的放電氣體，而用以將準分子放電產生在發光管1內的一對外部電極2A，2B相夾發光管1內的氣密空間相對向地所配置的構成。

在發光管1內，例如氙氣體等的稀有氣體，或在稀有氣體混合氯氣體等的鹵素氣體者填充作為放電氣體，而藉由氣體的種類可發不相同的波長的準分子光。放電氣體是一段以10至100kPa左右的壓力被填充。

發光管1是具有合成石英玻璃所成的扁平形狀者，在紙面中位於上方側的設置外部電極所用的上方側壁面11，及在紙面中位於下方側的設置外部電極所用的下方側壁面12，具有所定間隔平行地延伸，而且在紙面中位於左方側的左方側壁面13與在紙面中位於右方側的右方側壁面14，具有所定間隔平行地延伸的構成。

表示此種發光管1的數值例，則管軸方向的全長為904mm，發光長度(電極所配設的領域的管軸方向全長度)為790mm，左右的寬度方向的全長度為43mm，而上下的高度方向的全長度為15mm。

上方側壁面11的寬度方向(對於管軸正交的方向)的各端部，是分別經由彎曲面連續於左方側壁面13及右方側壁面14，而下方側壁面12的寬度方向的各端部，是分別經由彎曲面連續於左方側壁面13及右方側壁面14。 亦即，發光管是具有在四角具有圓味的方筒形狀。又，在本發明的發光管中，上方側壁面11及下方側壁面12者對於左方側壁面13及右方側壁面14成為寬廣，上方側壁面11或是下方側壁面12的任一方。成為放出發生於發光管1內的紫外線的光出射面。

封閉發光管1的封閉構件3是在焊著於發光管之前的階段中，如第3(B)圖所示地，一體地形成將氣體導入用的開口具有於前端側而筒狀地延伸的氣體導入部31，及連續於氣體導入部31的基端側而朝氣體導入部的徑方向擴展的凸緣部32，氣體導入部31的基端側的開口33具有位於凸緣部32的中央的構成。此種封閉構件3是為了確實地焊著於發光管1而與構成發光管1的材料同一材料所成者之故，因而藉由例如合成石英玻璃所形成。

如第3(A)圖所示地，封閉構件3是對於形成於具有適合於成為凸緣部的發光管內周面的形狀的外周緣的形狀的玻璃管32'中央的開口33'的周邊，藉由焊著成為氣體導入部的圓筒狀玻璃管31'的基端部所形成。又，未圖示，惟藉由燃燒器等的加熱手段進行熔融成為氣體導入部的圓筒狀玻璃管的基端部，而利用將玻璃管的基端側朝徑方向擴展來形成凸緣部的構成也可以。

此種封閉構件與發光管的內周的焊著，及放電氣體對發光管內的導入，是依據表示於第4圖的順序所進行。

(a) 在成為發光管的發光管構成構件1'的內部，各封閉構件3的氣體導入部31的前端超過發光管構成構件1'的各外端面而朝發光管構成構件的外方延伸，而且氣體導入部31的中心軸一致於發光管構成構件1'的管軸般地配置各封閉構件3。

(b) 藉由燃燒器等的加熱手段來加熱對應於各封閉構件3的凸緣部32的外周緣的發光管構成構件1'的各外表面領域，將各凸緣部32的外周緣焊著於發光管構成構件1'的內壁面，藉由此，形成焊著部W。

(c) 由任一封閉構件3的氣體導入部31前端側的開口34，將氙氣體導入至發光管構成構件1'。

(d) 藉由燃燒器等的加熱手段加熱熔融各封閉構件3的氣體導入部31的前端部，藉由此，進行閉塞各氣體導入部前端側的開口以形成閉塞部35。

依照此種製造方法，在上述(b)的作業之際，間隙不會產生在發光管1與封閉構件3的凸緣部32之間，也不會有加熱手段的火炎嘗到凸緣部32的外周緣之顧慮，因此，可解除如習知地，起因於火炎進入到產生於發光管 的外端面與玻璃塊之間的間隙，使得火炎嘗到發光管的外端面而從發光管的外端面蒸發之同時飛散的二氧化矽附著於發光管內面的不方便。

如第2(A)圖所示地，在依據上述順序所製作的發光管內部，形成有藉由發光管1的各壁面11~14，及對於發光管的各壁面11~14朝垂直方向延伸的凸緣部32，及對於發光管1的管軸配置在同軸上，而在前端側具有閉塞部35的氣體導入部31被氣密地隔開的氣密空間S。

又，依照上述說明，在發光管兩端近旁的內周面焊著各封閉構件的凸緣部，惟在使用一端被封閉的構成的發光管時，則僅在具有開口的發光管另一端側的內周面焊著封閉構件的凸緣部也可以。

又，以焊著發光管與封閉構件所形成的焊著部W，是凸緣部形成在距發光管的管軸方向的外端面約30mm的位置，較佳為形成在距發光管的外端面20mm以上的位置較佳。

焊著部W是比其他部位還朝內方側凹陷，因此當將該焊著部W固定於用以支撐準分子燈的固定器具，則無法精度優異地配置準分子燈。所以，為了將準分子燈固定於固定器具，對於固定器具，成為必須固定與氣體導入部31相對向的上方側壁面11A、11B以及下方側壁面12A、12B，惟若11A、11B以及12A、12B的全長過短時，則不但無法精度優異地支撐準分子燈，而且在11A、11B以及12A、12B中，有發光管破損之虞。

然而，藉由將焊著部W形成在距發光管外端面20mm以上的位置，則準分子燈的發光管不會破損地，精度優異地可配置準分子燈。

在表示於第1圖，第2圖的準分子燈，在成為光出射面的上方側壁面11能透射在發光管1內所發生的紫外線的方式沒有網狀外部電極2A，而且在下方側壁面12設有網狀外部電極2B，亦即一對外部電極2A、2B相夾著氣密空間S，上方側壁面11及下方側壁面12相對向。

外部電極2A與外部電極2B，是發光管1的管軸方向及寬度方向的全長度為都相同，惟形成不會超過封閉構件3的凸緣部32與發光管1的內周面的焊著部W。

外部電極2A，是藉由例如蒸鍍金(Au)等的金屬形成於上方側壁面11的表面，而外部電極2B，是藉由例如蒸鍍金(Au)等的金屬形成於下方側壁面12的表面。

在接觸於相對向於光出射面的下方側壁面12的氣密空間S的表面，其全領域全面形成有至少包括二氧化矽粒子所成的紫外線散射反射膜4。紫外線散射反射膜4是藉由具有凹凸的光散射面，而朝光出射面的上方側壁面11的方向反射被入射於紫外線散射反射膜的紫外線。

如第2(B)圖所示地，紫外線散射反射膜4是除了接觸於光出射面的上方側壁面11的氣密空間S的表面以外，形成於接觸於下方側壁面12，左方側壁面13及右方側壁面14的氣密空間S的所有表面較佳。在發光管1的內表面，超越對應於薄膜狀外部電極2B的寬度方向的兩 端部的領域，藉由在左方側壁面13，及右方側壁面14也形成紫外線散射反射膜4，不會有起因於電場集中於紫外線散射反射膜4的端部而在發光管1的內部發生異常放電的顧慮。

紫外線散射反射膜4是僅藉由二氧化矽粒子形成具凹凸的散射面的構成，或是藉由二氧化矽與其他紫外線散射粒子形成具凹凸的散射面的構成也可以。作為二氧化矽粒子以外的其他的紫外線散射粒子，使用例如氧化鋁，氟化鎂，氟化鈣，氟化鋰，氧化鎂等。在藉由二氧化矽粒子與其他散射粒子形成紫外線散射反射膜時，則二氧化矽粒子的含有比率為30重量%以上較佳。

如上所述地，此種紫外線散射反射膜4是在發光管構成構件1'的內面焊著準分子燈3的凸緣部32的前階段中，形成於發光管構成構件的內面。以下，針對於被稱為流下法的方法加以說明。

藉由將在乙酸丁酯溶解紫外線散射粒子所得的溶液，流進發光管構成構件成為裝滿發光管構成構件的下方側壁面，與左方側壁面及右方側壁面的一部分，而附著於發光管構成構件的內表面。在該狀態下，將包括附著發光管構成構件的內表面的紫外線散射粒子的溶液予以乾燥，燒成。

紫外線散射反射膜4是藉由發生於發光管1內部的紫外線通過發光管的下方側壁面12，為了避免通過上方側壁面11而朝發光管外方所放出的紫外線的輸出降低的情形 ，形成於發光管1的內壁面較佳·在發光管1的外表面形成紫外線散射反射膜4的情形，與將紫外線散射反射膜4形成於發光管的內壁面的情形相比較，發生於發光管內的紫外線成為格外地通過兩次位於光出射面相反側的下方側壁面12，而被吸收於發光管1的壁面的紫外線的比率會較大。

但是，若可忽略藉由發光管1的下方側壁面12所吸收的紫外線，則也可將紫外線散射反射膜4形成在發光管1的外表面，在該情形下，在形成於下方側壁面12的外表面的紫外線散射反射膜4上形成薄膜狀外部電極2B。

依照如上的本發明的準分子燈10，藉由將封閉構件3的凸緣部32的外周緣焊著於發光管1的內壁面，而在發光管1的內部形成氣密空間S之故，因而在發光管1的內壁面不會附著有發光管的構成物質的二氧化矽。不會有降低發光管1的紫外線透射率之顧慮，藉由此，可將發生於發光管1內部的紫外線良好地放射到發光管1的外方。

而且，在本發明的準分子燈10中，藉由將凸緣部32的外周緣部焊著於發光管1的內壁面而在發光管1的內部形成氣密空間S，使得氣體導入部31的內徑比發光管1的內徑還小，而可期待如下的效果。

如上述地，封閉構件3的氣體導入部31是藉由將放電氣體經前端側的開口34被封入在發光管1內之後被加熱熔融，而在前端側形成有閉塞部35，惟該閉塞部35是對於紫外線成為脆弱狀態。又，發生於發光管1內部的紫 外線的輸出，是在準分子發光沒有自我吸收，因此如上述地，在管軸方向的全長度接近1m的長狀發光管中，朝管軸方向所放射的紫外線強度成為比朝上下的高度方向所放射的紫外線強度，還極強者。

然而，依照本發明，氣體導入部31的內徑比發光管1的內徑還小之故，因而發生於發光管1內部的紫外線中入射至氣體導入部31內的紫外線的比率變少，藉由此，朝對於紫外線處於脆弱狀態的閉塞部35所放射的紫外線的放射量變少，因此不會產生藉由紫外線失真所蓄積而損傷氣體導入部31的閉塞部35的不方便。

為了更確實地期待此種效果，將發光管1的內徑作為H，而將氣體導入部的內徑作為G時，則以滿足0.1H<G<0.8H的關係較佳。藉由將氣體導入部的內徑G作成該範圍內，就可避免藉由蓄積紫外線失真損及氣體導入部31的閉塞部35的情形。

以下，針對於本發明的準分子燈的其他實施形態加以說明。第5圖至第8圖是表示擴大本發明的準分子燈的其他實施形態的主要部分的斷面圖。又，有關於表示於第5圖至第8圖的形態的說明，藉由在與第1圖至第4圖共通的部分附於同一符號而省略說明。

表示於第5圖的準分子燈50，是除了發光管1的內壁面以外，還在氣體導入部31的內壁面，及接觸於凸緣部32的氣密空間S的一面，及該面的周邊形成有二氧化矽粒子所成的紫外線保護膜51。紫外線保護膜51是藉由與 紫外線散射反射膜4同一的物質所構成。此種紫外線保護膜51是在上述的(c)的工程之後，藉由將用於形成紫外線保護膜的溶液經氣體導入部31前端側的開口34流進所形成。又，紫外線保護膜是在將封閉構件3焊著於發光管的內壁之前也可事先地形成。

如此地，在封閉構件3的氣體導入部31的內面形成有紫外線保護膜51，藉由構成紫外線保護膜51的二氧化矽的折射率比構成氣體導入部31的石英玻璃的折射率還大，而可期待如下的效果。亦即，傳在發光管1的上方側壁面11及下方側壁面12的內部藉由纖維效果而朝發光管的管軸方向傳播的光，在氣體導入部31與紫外線保護膜51之境界面不會朝氣體導入部31側全反射而為了藉由紫外線保護膜51被吸收，成為藉由纖維效果朝閉塞部35所傳播的光的量變少者。因此，被蓄積在閉塞部35的紫外線失真的總量被減低之故，因而可防止閉塞部35破損的情形。

表示於第6圖的準分子燈60是改良表示於第5圖的準分子燈者，氣體導入部61是由沿著管軸延伸而且基端側連續於凸緣部62的軸方向部61A，及從軸方向部61A屈曲而朝對管軸正交的方向延伸的垂直方向部61B，及從垂直方向部61B屈曲而朝管軸方向延伸的軸方向部6lC所構成，而在位於前端側的軸方向部61C的前端側形成有閉塞部61D的構成。

亦即，被使用於第6圖的準分子燈的封閉構件6，是 參考表示於第3圖的構成加以說明，則由在成為凸緣部的中心部稍遠的位置具有開口的玻璃板，及從成為氣體導入部的兩端屈曲而朝對於垂直方向部正交的方向延伸的具有一對軸方向部的筒狀玻璃管所構成，而對於玻璃板的開口緣藉由焊著玻璃管基端側的軸方向部所構成。

在表示於第6圖的準分子燈60中，在一對軸方向部61A，61C的內面，與垂直方向部61B內面的全領域，接觸於凸緣部62的氣密空間S的一面，及該面的周邊，形成有二氧化矽粒子所構成的紫外線保護膜51。依照表示於同圖的準分子燈60，朝管軸方向的高強度的紫外線，入射於氣體導入部61中位於前端側的軸方向部61C的比率成為更少之故，因而被蓄積於被形成在前端側的軸方向部6lC的閉塞部61D的紫外線失真的總量成為更少，因此不會有傷及氣體導入部61之顧慮。

表示於第7圖的準分子燈70，是接觸於封閉構件7的凸緣部72的氣密空間S的一面72A具有推拔狀地形成的構成。亦即，在以包括管軸的平面切剖表示於同圖的準分子燈70的斷面中。凸緣部72是從外周緣部愈朝管軸，管軸方向的厚度逐漸地變小的方式，接觸於放電空間的一面72A具有推拔狀地傾斜的構成。

在接觸於凸緣部72的氣密空間S的一面的周邊及氣體導入部71的內面，形成有用於吸收在發光管內的氣密空間朝管軸方向所放射的高強度的紫外線的二氧化矽粒子所成的紫外線保護膜51。如此地，藉由將接觸於凸緣部 72的氣密空間S的一面72A作成推拔狀地傾斜，與如上述地接觸於凸緣部的氣密空間S的一面對於發光管的壁面正交的構成(例如表示於第5圖的構成)相比較，可將形成於接觸於凸緣部72的氣密空間S的一面72A的紫外線保護膜51的厚度作成均勻。因此，在接觸於凸緣部72的氣密空間S的一面，紫外線保護膜51的厚度不會過度地變厚，又不會剝離紫外線保護膜51而可確實地形成。

表示於第8圖的準分子燈80是具有用於收容氣體導入部81捕捉氧氣所用的吸氣器83的吸氣器室81B的構成。亦即，氣體導入部81是由位於基端側而連續於凸緣部82的軸方向部81A，及連續於軸方向部81A的前端側而內徑形成比軸方向81A還大的吸氣器室81B，及連續於吸氣器室81B的前端側面內徑形成比吸氣器室81B還小的軸方向部81C所形成，而具有藉由位於吸氣器室81B前端側的軸方向部81C的前端側被閉塞形成有閉塞部81D的構成。

在吸氣器室81B內，配置有用於吸收殘留於發光管1的氣密空間S內的氧氣所用的吸氣器83。吸氣器83是例如鋇(Ba)等物質所成者。如此地，在表示於第8圖的準分子燈中，藉由在設於氣體導入部81的吸氣器室81B內配置有吸氣器83，在點燈時從發光管1的內壁面11~14朝氣密空間S內所放出的氧氣藉由吸氣器83確實地被吸收之故，因而可防止降低發光效率。

而且，設於氣體導入部81的吸氣器室81B，是未配 置於形有準分子放電的領域X，亦即，未配置於在發光管1內的氣密空間S中藉由外部電極2A與外部電極2B相夾的領域，而從發生在發光管1內的準分子放電所放射的紫外線不會藉由吸氣器室81B遮住，因此，不會有朝發光管1的外方所放射的紫外線的強度降低之虞。

本發明的準分子燈，是並不一定限定於如上述的實施形態者，也可施加各種變更。也可使用例如發光管是未具有圓味的方筒狀者，或是圓筒狀者，而電極的形狀也可視需要可適當地變更。

1‧‧‧發光管

11‧‧‧上方側壁面

12‧‧‧下方側壁面

13‧‧‧左方側壁面

14‧‧‧右方側壁面

2A、2B‧‧‧外部電極

3‧‧‧封閉構件

31‧‧‧氣體導入部

32‧‧‧凸緣部

33、34‧‧‧開口

35‧‧‧閉塞部

4‧‧‧紫外線散射反射膜

W‧‧‧焊著部

第1圖是表示本發明的準分子燈的構成的概略立體圖。

第2(A)圖及第2(B)圖是表示朝對於管軸方向與管軸正交的方向切剖圖示於第1圖的準分子燈的斷面圖。

第3(A)圖及第3(B)圖是表示封閉構件的構成的立體圖。

第4(a)圖至第4(d)圖是表示本發明的準分子燈的製造方法的斷面圖。

第5圖是擴大表示本發明的準分子燈的其他實施形態的主要部分的斷面圖。

第6圖是擴大表示本發明的準分子燈的其他實施形態的主要部分的斷面圖。

第7圖是擴大表示本發明的準分子燈的其他實施形態 的主要部分的斷面圖。

第8圖是擴大表示本發明的準分子燈的其他實施形態的主要部分的斷面圖。

第9圖是表示習知的準分子燈的構成的概略斷面圖。

第10(A)圖及第10(B)圖是表示針對於在製造習知的準分子燈的過程中所發生的情形被預料的問題加以說明所用的概念圖。

1‧‧‧發光管

2A‧‧‧外部電極

3‧‧‧封閉構件

10‧‧‧準分子燈

11‧‧‧上方側壁面

12‧‧‧下方側壁面

13‧‧‧左方側壁面

14‧‧‧右方側壁面

31‧‧‧氣體導入部

32‧‧‧凸緣部

Claims (6)

1. 一種準分子燈的製造方法，其特徵為：至少具備以下的工程：(1)形成由用於導入放電用氣體的氣體導入部，及連續於氣體導入部而朝氣體導入部的徑方向擴展的凸緣部所成的封閉構件的工程，(2)在由石英玻璃構成之發光管的內部且相距外端面20mm以上的位置配置上述封閉構件，而且將凸緣部的外周緣焊著於發光管的管壁的工程，(3)將放電氣體經上述氣體導入部導入於上述發光管的內部，而且封閉氣體導入管的一端而在發光管的內部形成氣密空間的工程。
2. 一種準分子燈，是在填充有介質所成的放電用氣體的由石英玻璃構成之發光管的外表面，隔著發光管的管壁相對向設有一對外部電極的準分子燈，其特徵為：在上述發光管的內部，與朝發光管的管軸方向延伸而且發光管的管軸方向的外端面側的端部被封閉的氣體導入部一體地形成的具有朝氣體導入部的徑方向擴展的凸緣部的封閉構件，在發光管的內部且相距外端面20mm以上的位置，凸緣部的外周緣朝周方向全面地焊著於發光管的管壁而被固定，形成有藉由封閉構件與發光管的管壁所隔開的氣密空間。
3. 如申請專利範圍第2項所述的準分子燈，其中，在上述發光管的內面，形成有藉由至少包括二氧化矽粒子的 紫外線散射粒子所形成的紫外線反射膜。
4. 如申請專利範圍第3項所述的準分子燈，其中，在上述氣體導入部的內面，形成有與上述紫外線反射膜同一組成的材料所成的保護膜。
5. 如申請專利範圍第2項所述的準分子燈，其中，在上述氣體導入部的內部，配置有用於捕捉殘留於上述發光管內的氧氣的吸氣器。
6. 如申請專利範圍第2項所述的準分子燈，其中，上述凸緣部是接觸於上述氣密空間的一面，傾斜成從發光管管壁愈接近發光管的管軸愈使得發光管的管軸方向的厚度逐漸變小。