CN101393839B - 准分子灯及准分子灯的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种准分子灯的制造方法及能够高水准地维持发光管的紫外光透过率的准分子灯，上述准分子灯的制造方法能够使准分子灯不会因发光管构成材料附着于发光管内表面而降低发光管的紫外光透过率。本发明的准分子灯，在填充有放电用气体的由电解质构成的发光管的外表面，夹着发光管的管壁而相对地设置有一对外部电极，其特征在于，在发光管的内部，包括气体导入部和凸缘部的密封部件的凸缘部的外周边缘在整个圆周方向上焊着而固定到发光管的管壁，从而形成由密封部件和发光管的管壁隔开的气密空间，气体导入部的一端被密封而另一端开口，且一端向发光管的管轴方向的外端延伸，凸缘部与气体导入部连续而向气体导入部的直径方向扩展。

Description

准分子灯及准分子灯的制造方法

技术领域

本发明涉及一种准分子灯及准分子灯的制造方法，上述准分子灯用于通过在被处理体的表面照射紫外线，氧化除去附着于被处理体表面的有机化合物而清洁被处理体，此外通过在被处理体的表面照射紫外线，改变被处理体表面的性质。

背景技术

目前，在半导体集成电路的制造、液晶显示器的制造等中的清洁工序的一部分，使用利用了紫外线照射的清洁方法。以往，该方法以主要对波长186nm和254nm具有光谱的低压水银灯作为光源的方法为主流。

最近，代替低压水银灯，作为更有效的方法，利用使用准分子灯的清洁或改性方法，上述准分子灯封入有可放射波长更短的光的氙等。准分子灯对例如封入有氙气的发光管施加数kV的高压而引起阻挡放电，由在发光管内生成的等离子体使氙分子受激，并利用从该状态回到基态的过程中放出的光。在将氙气用作放电气体的准分子灯中，放射波长172nm的真空紫外线。

在上述准分子灯中，在发光管的内部形成有气密空间，以使由电介质材料构成的发光管内部填充的放电用气体不会向发光管外漏出。例如，在专利文献1中公开了具有如下放电管的准分子灯，将具有气体导入孔的玻璃块熔融接合到放电管的两端面，并且在向放电管内填充放电用气体之后密封玻璃块上形成的气体导入孔，从而在内部形成气密空间。以下，根据图9说明该专利文献1公开的准分子灯的大致结构。

放电管9在合成石英制扁平长方筒的放电管主体91的两端部熔融接合玻璃块93。在放电管主体91的下方外表面，蒸镀形成有格子状的第1电极92A，在上方外表面形成有实心的第2电极92B。玻璃块93对熔融石英进行切削加工而得，整体上为在前后方向上长的实心长方体形状，前后方向的厚度为放电管主体91的侧壁91D的厚度的至少两倍以上。在玻璃块93上设有气体导入孔93A，前后贯通该玻璃块93而连通放电管9的内部与放电管9的外部。

在上述准分子灯中，经由气体导入孔93A向放电管91内部填充放电用气体之后，气体导入孔93A的入口由熔融的密封玻璃93B密封，从而在放电管9的内部形成气密空间。

然而，在制造上述专利文献1记载的准分子灯时存在如下困难。如图10(A)所示，在上述专利文献1中记载的准分子灯中，放电管主体91和玻璃块93在将放电管主体91的端面与玻璃块93的前端面抵接的状态下，用燃烧器等的加热单元使两者的边界部分熔融，从而焊着放电管主体91和玻璃块93。

可是，放电管主体91与玻璃块93相比热容量相对较小，与玻璃块93相比较容易熔融，因而如图10(B)所示在其端面与玻璃块93的前端面之间会产生间隙。并且，若在放电管主体91与玻璃块93之间产生间隙，则燃烧器的火苗从放电管主体91的端面与玻璃块93的前端面之间的间隙侵入，从而在放电管主体91的内表面附着放电管主体91的构成材料即二氧化硅(SiO₂)粒子。

如上所述，若在放电管9的内表面附着有二氧化硅粒子，则二氧化硅粒子变成白斑而吸收从放电管9内生成的等离子体放射的紫外光，因而放电管9的紫外光透过率下降，从而存在无法将足够强度的紫外光照射到被处理体的问题。

此外，虽然可以在工作之后清洁附着于放电管9内表面的二氧化硅粒子，但是从玻璃块93上设置的细径的导入孔93A向放电管9内导入清洁用液体的作业十分繁杂，因而工作之后清洁放电管9的内表面并不现实。

专利文献1：日本专利特开2005-322510号

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种准分子灯的制造方法及能够高水准地维持发光管的紫外光透过率的准分子灯，上述准分子灯的制造方法能够使准分子灯不会因发光管构成材料附着于发光管内表面而降低发光管的紫外光透过率。

为了解决上述课题，本发明的一种准分子灯的制造方法的特征在于，至少包括以下工序：

(1)形成密封部件，该密封部件包括用于导入放电用气体的气体导入部、和与气体导入部连续而向气体导入部的直径方向扩展的凸缘部；

(2)在发光管的内部配置上述密封部件，并且将密封部件的外周边缘焊着到发光管的管壁；以及

(3)经由上述气体导入部向上述发光管的内部导入放电气体，并且密封气体导入管的一端而在发光管的内部形成气密空间。

进而，本发明的一种准分子灯，在填充有放电用气体的由电介质构成的发光管的外表面，夹着发光管的管壁而相对地设置有一对外部电极，其特征在于，

在上述发光管的内部，包括气体导入部和凸缘部的密封部件的凸缘部的外周边缘在整个圆周方向上焊着而固定到发光管的管壁，从而形成由密封部件和发光管的管壁隔开的气密空间，上述气体导入部的一端被密封而另一端开口，上述凸缘部与气体导入部连续而向气体导入部的直径方向扩展。

进而，本发明的准分子灯的特征在于，在上述发光管的内表面形成有紫外线反射膜，该紫外线反射膜由至少含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成。

进而，本发明的准分子灯的特征在于，在上述气体导入部的内表面形成有保护膜，该保护膜由具有与上述紫外线反射膜相同组成的材料构成。

进而，本发明的准分子灯的特征在于，在上述气体导入部的内部配置有吸气剂，用于捕捉残留在上述发光管内的氧气。

进而，本发明的准分子灯的特征在于，上述凸缘部与上述气密空间接触的表面倾斜为，发光管的管轴方向的厚度随着从发光管的管壁向发光管的管轴靠近而逐渐减小。

根据本发明的准分子灯的制造方法，将具有气体导入部的密封部件配置于发光管的内部，并且使凸缘部的外周边缘焊着到发光管的管壁，因而在进行焊着密封部件与发光管的作业时，由于燃烧器的火苗不会直接碰到发光管的管轴方向的外端面，因此从发光管的管轴方向的外端面蒸发的发光管构成物质不会附着于发光管的内表面。因此，从发光管内生成的等离子体放射的紫外光不会被发光管构成物质吸收，对被处理体照射的紫外光的强度不会降低。

此外，根据本发明的准分子灯，与气体导入部一体形成的具有凸缘部的密封部件，其凸缘部的外周边缘在整个圆周方向上焊着而固定到发光管的管壁，因此在发光管的内部能够容易地形成由发光管的管壁和凸缘部隔开的密闭空间，能够在发光管内填充放电用气体而不使其泄漏，上述气体导入部向发光管的管轴方向延伸且发光管的管轴方向的外端面侧的端部密封，上述凸缘部向气体导入部的直径方向扩展。

此外，在上述发光管的内表面，形成有由至少含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成的紫外线散射反射膜，从而能够由该紫外线散射反射膜切实地反射发光管内产生的紫外线并向发光管外放射，并且能够减小因透过发光管而衰减的程度，因而紫外线的放射效率提高。

进而，在上述气体导入部的内表面，形成有由具有与上述紫外线反射膜相同组成的材料构成的保护膜，从而能够避免对气体导入部直接照射紫外线，降低蓄积在气体导入部的紫外线失真，因而气体导入部不会因过度的紫外线失真蓄积在气体导入部而损伤。

进而，在上述气体导入部的内部配置有吸气剂，用于捕捉残留在上述发光管内的氧气，从而能够使残留在发光管内的氧气量非常少。所以，例如放电气体为氙(Xe)气时，在发光管内仅放射Xe的准分子光，不会在发光管内放射XeO的准分子光，因此波长172nm的紫外光的放射强度不会下降。

进而，上述凸缘部与上述气密空间接触的表面倾斜为，发光管的管轴方向的厚度随着从发光管的管壁向发光管的管轴靠近而逐渐减小，从而在凸缘部上与气密空间接触的表面上形成的上述紫外线散射反射膜的厚度不会过大，能够使紫外线散射反射膜的厚度均匀。从而，在凸缘部与气密空间接触的表面，能够无需剥离地切实地形成紫外线散射反射膜。

附图说明

图1是表示本发明的准分子灯的大致结构的透视图。

图2是向与管轴方向和管轴正交的方向切断图1所示准分子灯的剖视图。

图3是表示密封部件的结构的透视图。

图4是表示本发明的准分子灯的制造方法的剖视图。

图5是放大表示本发明的准分子灯的其他实施方式的主要部分的剖视图。

图6是放大表示本发明的准分子灯的其他实施方式的主要部分的剖视图。

图7是放大表示本发明的准分子灯的其他实施方式的主要部分的剖视图。

图8是放大表示本发明的准分子灯的其他实施方式的主要部分的剖视图。

图9是表示现有准分子灯的大致结构的剖视图。

图10是用于对预计在制造现有准分子灯的过程中产生的问题进行说明的示意图。

具体实施方式

图1是表示本发明的准分子灯结构的大致情况的透视图。图2表示由包含管轴的平面切断图1所示准分子灯的剖面(图2(A))、和由与该平面正交的平面切断的剖面(图2(B))。

准分子灯10具有如下结构：将密封部件焊着到扁平的方筒状发光管的两端部附近的内表面，从而在发光管内部形成气密空间S，在气密空间S的内部填充有用于生成准分子放电的放电气体，用于在发光管1内产生准分子放电的一对外部电极2A、2B夹着发光管1内的气密空间而相对配置。

在发光管1内，作为放电气体填充例如氙气等稀有气体、将氯气等卤素气体与稀有气体混合的物质，可以根据气体的种类发出不同波长的准分子光。通常以10～100kPa左右的压力填充放电气体。

发光管1由合成石英玻璃构成，具有扁平形状，在纸面上位于上方侧的用于设置外部电极的上方侧壁面11、和在纸面上位于下方侧的用于设置外部电极的下方侧壁面12隔着预定间隔平行延伸，并且在纸面上位于左方侧的左方侧壁面13和在纸面上位于右方侧的右方侧壁面14隔着预定间隔平行延伸。

上述发光管1的数值例如下：管轴方向的全长为904mm，发光长度(配设有电极的区域的管轴方向全长)为790mm，左右宽度方向的全长为43mm，上下高度方向的全长为15mm。

上方侧壁面11的宽度方向(与管轴正交的方向)的各端部分别经由弯曲面连续到左方侧壁面13及右方侧壁面14，下方侧壁面12的宽度方向的各端部分别经由弯曲面连续到左方侧壁面13及右方侧壁面14。即，发光管是在四角具有圆角的方筒形状。并且，在本发明的发光管中，上方侧壁面11及下方侧壁面12比左方侧壁面13及右方侧壁面14宽，上方侧壁面11或下方侧壁面12的任一个为放出发光管1内产生的紫外线的光出射面。

如图3(B)所示，对发光管1进行密封的密封部件3在焊着到发光管之前的阶段，一体地形成前端侧具有气体导入用开口且延伸为筒状的气体导入部31、和与气体导入部31的基端侧连接而向气体导入部的直径方向扩展的凸缘部32，气体导入部31的基端侧的开口33位于凸缘部32的中央。上述密封部件3为了与发光管1牢固焊着，由与构成发光管1的材料相同的材料构成，例如由合成石英玻璃构成。

例如图3(A)所示，密封部件3在成为凸缘部的玻璃板32′中央处形成的开口33′的周边，焊着成为气体导入部的圆筒状玻璃管31′的基端部而形成，上述开口33′具有与发光管内周面的形状合适的外周边缘的形状。此外，虽然未图示，但是也可以由燃烧器等加热单元使成为气体导入部的圆筒状玻璃管的基端部熔融，将玻璃管的基端侧向直径方向扩展而形成凸缘部。

根据图4所示步骤进行上述密封部件与发光管内周面的焊着、及放电气体向发光管内的导入。

(a)

将各密封部件3如下配置：在成为发光管的发光管构成部件1′的内部，各密封部件3的气体导入部31的前端超过发光管构成部件1′的各外端面而向发光管构成部件的外方伸出，并且气体导入部31的中心轴与发光管构成部件1′的管轴一致。

(b)

由燃烧器等加热单元对与各密封部件3的凸缘部32的外周边缘对应的发光管构成部件1′的各外表面区域进行加热，将各凸缘部32的外周边缘与发光管构成部件1′的内壁面焊着，由此形成焊着部W。

(c)

从任一密封部件3的气体导入部31前端侧的开口34，将氙气导入到发光管构成部件1′内部。

(d)

由燃烧器等加热单元加热熔融各密封部件3的气体导入部31的前端部，由此闭塞各气体导入部前端侧的开口，从而形成闭塞部35。

根据上述制造方法，在进行上述(b)的工作时，在发光管1与密封部件3的凸缘部32之间不会产生间隙，也不用担心加热单元的火苗烧到凸缘部32的外周边缘。从而，可削除现有技术的如下不良情况：火苗进入到发光管的外端面与玻璃块之间产生的间隙，火苗烧到发光管的外端面，从而从发光管的外端面蒸发并飞散的二氧化硅附着于发光管内表面。

如图2(A)所示，在根据上述步骤制作的发光管内部，形成有由以下几部分气密地隔绝的气密空间S：发光管1的各壁面11～14、向与发光管的各壁面11～14垂直的方向延伸的凸缘部32、及配置在与发光管1的管轴相同的轴上而在前端侧具有闭塞部35的气体导入部31。

此外，根据上述说明，在发光管两端附近的内周面焊着有各密封部件的凸缘部，但是在使用一端密封的结构的发光管时，可以仅在具有开口的发光管另一端侧的内周面焊着密封部件的凸缘部。

此外，在通过焊着发光管与密封部件而形成的焊着部W，凸缘部形成在距发光管管轴方向的外端面30mm左右的位置，优选形成在距发光管的外端面20mm以上的位置。

焊着部W与其他位置相比向内方侧凹陷，因此当将该焊着部W固定到用于支撑准分子灯的固定器具时，无法高精度地配置准分子灯。所以，为了将准分子灯固定到固定器具，需要将与气体导入部31相对的上方侧壁面11A、11B以及下方侧壁面12A、12B固定到固定器具，但是若11A、11B以及12A、12B的全长过短，则不仅无法高精度地支撑准分子灯，而且发光管会在11A、11B以及12A、12B处破损。

然而，通过将焊着部W形成在距发光管外端面20mm以上的位置，可以不损坏准分子灯的发光管，可以高精度地配置准分子灯。

在图1、图2所示的准分子灯中，在成为光出射面的上方侧壁面11设有网状外部电极2A，以使在发光管1内产生的紫外线能够透过，并且在下方侧壁面12设有网状外部电极2B，即一对外部电极2A、2B夹着气密空间S、上方侧壁面11及下方侧壁面12而相对。

外部电极2A与外部电极2B在发光管1的管轴方向及宽度方向的全长分别相同，不会超过密封部件3的凸缘部32与发光管1的内周面的焊着部W。

外部电极2A通过在上方侧壁面11的外表面例如蒸镀金(Au)等金属而形成，外部电极2B通过在下方侧壁面12的外表面例如蒸镀金(Au)等金属而形成。

在与光出射面相对的下方侧壁面12与气密空间S接触的表面，在其整个区域形成有紫外线散射反射膜4，该紫外线散射反射膜4由至少含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子构成。紫外线散射反射膜4具有凹凸的光散射面，从而将入射到紫外线散射反射膜的紫外线向作为光出射面的上方侧壁面11的方向反射。

如图2(B)所示，紫外线散射反射膜4优选除了作为光出射面的上方侧壁面11与气密空间S接触的表面以外，形成在下方侧壁面12、左方侧壁面13及右方侧壁面14与气密空间S接触的整个表面。在发光管1的内表面，超过与薄膜状外部电极2B的宽度方向的两端部对应的区域而在左方侧壁面13及右方侧壁面14上也形成有紫外线散射反射膜4，从而不必担心由于电场集中于紫外线散射反射膜4的端部而在发光管1的内部产生异常放电。

紫外线散射反射膜4可以是仅由二氧化硅粒子形成具凹凸的散射面的结构，也可以是由二氧化硅粒子和其他紫外线散射粒子形成具有凹凸的散射面的结构。作为二氧化硅粒子以外的其他紫外线散射粒子，例如使用氧化铝、氟化镁、氟化钙、氟化锂、氧化镁等。在由二氧化硅粒子和其他散射粒子形成紫外线散射反射膜时，优选二氧化硅粒子的含有比例在30重量％以上。

如上所述，上述紫外线散射反射膜4在将密封部件3的凸缘部32焊着到发光管构成部件1′的内表面之前的阶段，形成在发光管构成部件的内表面。以下，对称为流下法(flow down)的方法进行说明。

将使紫外线散射粒子溶解到乙酸丁酯而得的溶液流入到发光管构成部件，以填充发光管构成部件的下方侧壁面、左方侧壁面及右方侧壁面的一部分，从而使其附着于发光管构成部件的内表面。在该状态下，对发光管构成部件的内表面上附着的含有紫外线散射粒子的溶液进行干燥、煅烧。

为了避免在发光管1的内部产生的紫外线穿过发光管的下方侧壁面12从而降低穿过上方侧壁面11而向发光管外方放出的紫外线的输出，优选紫外线散射反射膜4形成在发光管1的内壁面。这是由于在发光管1的外表面形成有紫外线散射反射膜4的情况下，与在发光管的内壁面形成有紫外线散射反射膜4的情况相比，发光管内产生的紫外线多余地二次穿过位于光出射面相反侧的下方侧壁面12，从而在发光管1的壁面吸收的紫外线的比例更大。

但是，若忽略由发光管1的下方侧壁面12吸收的紫外线，则也可将紫外线散射反射膜4形成在发光管1的外表面，在该情形下，在下方侧壁面12的外表面上形成的紫外线散射反射膜4上形成薄膜状外部电极2B。

根据上述本发明的准分子灯10，通过使密封部件3的凸缘部32的外周边缘焊着在发光管1的内壁面而在发光管1的内部形成气密空间S，因而作为发光管的构成物质的二氧化硅不会附着到发光管1的内壁面，不必担心发光管1的紫外线透射率下降，从而能够将在发光管1的内部产生的紫外线很好地向发光管1的外方放射。

并且，在本发明的准分子灯10中，通过使凸缘部32的外周边缘部焊着到发光管1的内壁面而在发光管1的内部形成气密空间S，并且气体导入部31的内径与发光管1的内径相比较小，从而可获得如下效果。

如上所述，密封部件3的气体导入部31经由前端侧的开口34在发光管1内封入放电气体后进行加热熔融从而在前端侧形成闭塞部35，但是该闭塞部35在紫外线下处于脆弱状态。并且，在发光管1内部产生的紫外线的输出不会由准分子发光自我吸收，因此如上所述，在管轴方向的全长接近1m的长尺寸发光管中，与向上下高度方向放射的紫外线强度相比，向管轴方向放射的紫外线强度非常强。

然而，根据本发明，由于气体导入部31的内径小于发光管1的内径，因而在发光管1内部产生的紫外线中入射至气体导入部31内的紫外线的比例减少，由此向在紫外线下处于脆弱状态的闭塞部35放射的紫外线的放射量减少，因此不会产生气体导入部31的闭塞部35因蓄积紫外线失真而损伤的不良情况。

为了切实地获得上述效果，在将发光管1的内径设为H，将气体导入部的内径设为G时，优选满足0.1H<G<0.8H的关系。通过使气体导入部的内径G在该范围内，可避免气体导入部31的闭塞部35因蓄积紫外线失真而损坏。

以下，对本发明的准分子灯的其他实施方式进行说明。图5至图8是将本发明的准分子灯的其他实施方式的主要部分放大表示的剖视图。另外，对于图5至图8所示的方式的说明，在与图1至图4相同的部分标以相同的标号而省略说明。

图5所示的准分子灯50，除了发光管1的内壁面以外，还在气体导入部31的内壁面、凸缘部32与气密空间S接触的表面、及该表面的周边形成有由二氧化硅粒子构成的紫外线保护膜51。紫外线保护膜51由与紫外线散射反射膜4相同的物质构成。上述紫外线保护膜51是在上述(c)工序之后经由气体导入部31前端侧的开34流入用于形成紫外线保护膜的溶液而形成。另外，紫外线保护膜也可以在将密封部件3焊着到发光管的内壁之前预先形成。

如上所述，在密封部件3的气体导入部31的内表面形成有紫外线保护膜51，并且构成紫外线保护膜51的二氧化硅的折射率比构成气体导入部31的石英玻璃的折射率大，从而可以获得如下效果。即，在发光管1的上方侧壁面11及下方侧壁面12的内部传导并根据纤维效应而向发光管的管轴方向传播的光，在气体导入部31与紫外线保护膜51的边界面不会向气体导入部31侧全部反射，而是由紫外线保护膜51吸收，因此根据光纤效应向闭塞部35传播的光量减少。从而，在闭塞部35蓄积的紫外线失真的总量减少，因而可防止闭塞部35破损。

图6所示的准分子灯60从图5所示的准分子灯改良而得，气体导入部61包括：轴方向部61A，沿着管轴延伸且基端侧与凸缘部62连续；垂直方向部61B，从轴方向部61A弯曲而向与管轴正交的方向延伸；以及轴方向部61C，从垂直方向部61B弯曲而向轴方向延伸，且在位于前端侧的轴方向部61C的前端侧形成有闭塞部61D。

即，若以图3所示结构为参考，对图6的准分子灯使用的密封部件6进行说明，则包括：成为凸缘部的玻璃板，在从中心部稍微偏离的位置具有开口；和成为导入部的筒状玻璃管，具有从垂直方向部的两端弯曲而向与垂直方向部正交的方向延伸的一对轴方向部，且在玻璃板的开口边缘焊着玻璃管基端侧的轴方向部而构成。

在图6所示的准分子灯60中，在一对轴方向部61A、61C的内表面和垂直方向部61B的内表面的整个区域、凸缘部62与气密空间S接触的表面、及该表面的周边，形成有由二氧化硅粒子构成的紫外线保护膜51。根据该图6所示的准分子灯60，朝向管轴方向的强度高的紫外线入射到气体导入部61中位于前端侧的轴方向部61C的比例进一步减少，因而在前端侧的轴方向部61C处形成的闭塞部61D上蓄积的紫外线失真的总量进一步减少，因此不必担心气体导入部61损伤。

图7所示的准分子灯70具有密封部件7的凸缘部72与气密空间S接触的表面72A形成为锥形的结构。即，在以包含管轴的平面切断图7所示准分子灯70的剖面中，凸缘部72的管轴方向厚度随着从外周边缘部向管轴靠近而逐渐减小，与放电空间接触的表面72A倾斜为锥形。

在凸缘部72与气密空间S接触的表面周边和气体导入部71的内表面，形成有由二氧化硅粒子构成的紫外线保护膜51，用于吸收发光管内的气密空间中向管轴方向放射的高强度的紫外线。如上所述，通过使凸缘部72与气密空间S接触的表面72A倾斜为锥形，从而和如上述所述的凸缘部与气密空间S接触的表面正交于发光管壁面的结构(例如图5所示的结构)相比，可使在凸缘部72与气密空间S接触的表面72A上形成的紫外线保护膜51的厚度均匀。从而，在凸缘部72与气密空间S接触的表面，紫外线保护膜51的厚度不会过厚，可无需剥离地切实地形成紫外线保护膜51。

在图8所示的准分子灯80中，气体导入部81具有用于容纳吸气剂83的吸气室81B，上述吸气剂83用于捕捉氧气。即，气体导入部81包括：轴方向部81A，位于基端侧而与凸缘部82连续；吸气室81B，与轴方向部81A的前端侧连续而内径大于轴方向部81A；以及轴方向部81C，与吸气室81B的前端侧连续而内径小于吸气室81B，并且通过闭塞位于吸气室81B前端侧的轴方向部81C的前端侧而形成闭塞部81D。

在吸气室81B内配置有吸气剂83，用于吸收发光管1的气密空间S内残留的氧气。吸气剂83例如由Ba(钡)等物质构成。如上所述，在图8所示的准分子灯80中，通过在气体导入部81中设置的吸气室81B内配置有吸气剂83，由吸气剂83切实地吸收点亮时从发光管1的内壁面11～14向气密空间S内放出的氧气，因而可防止发光效率下降。

并且，设置在气体导入部81的吸气室81B，未配置在形成准分子放电的区域X、即发光管1内的气密空间S中由外部电极2A与外部电极2B相夹的区域，因此不会由吸气室81B遮挡从发光管1内产生的准分子放电放射的紫外线，从而向发光管1的外方放射的紫外线强度不会降低。

本发明的准分子灯并不限于上述实施方式，也可以进行各种变更。例如发光管可以是没有圆角的方筒状或圆筒状，电极的形状也可以根据需要适当变更。

Claims (3)

1.一种准分子灯，在填充有放电用气体的由电介质构成的发光管的外表面，夹着发光管的管壁而相对地设置有一对外部电极，其特征在于，

在上述发光管的内部配置有密封部件，该密封部件具有发光管的管轴方向的外端面侧的端部被密封的气体导入部；以及向一体形成的气体导入部的直径方向扩展的凸缘部，

密封部件的凸缘部相比发光管的外端面位于内侧，凸缘部的外周边缘在整个圆周方向上焊着而固定到发光管的内壁，

形成由密封部件和发光管的管壁隔开的气密空间，

在气体导入部的内表面形成有保护膜，该保护膜由含有二氧化硅粒子的紫外线散射粒子形成。

2.如权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，

在上述气体导入部的内部配置有吸气剂，用于捕捉残留在上述发光管内的氧气。

3.如权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，

上述凸缘部与上述气密空间接触的表面倾斜为，发光管的管轴方向的厚度随着从发光管的管壁向发光管的管轴靠近而逐渐减小。

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