JP7384090B2 - エキシマランプ、光照射装置 - Google Patents
エキシマランプ、光照射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7384090B2 JP7384090B2 JP2020055316A JP2020055316A JP7384090B2 JP 7384090 B2 JP7384090 B2 JP 7384090B2 JP 2020055316 A JP2020055316 A JP 2020055316A JP 2020055316 A JP2020055316 A JP 2020055316A JP 7384090 B2 JP7384090 B2 JP 7384090B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- reflective film
- excimer lamp
- arc tube
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 11
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 9
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 8
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004887 air purification Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/025—Associated optical elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
- H01J61/35—Vessels; Containers provided with coatings on the walls thereof; Selection of materials for the coatings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/12—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature
- H01J61/16—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having helium, argon, neon, krypton, or xenon as the principle constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
紫外光に対して透過性を有する長尺状の発光管と、
前記発光管の径方向に離間して設けられた一対の電極と、
前記発光管の内壁面に形成された反射膜とを備え、
前記反射膜は、
光照射対象領域に向けて光を出射する光出射面と対向する第一反射領域と、
前記光出射面とは異なる位置に設けられた採光部と対向する第二反射領域とを備えることを特徴とする。
前記採光部は、前記発光管の管軸方向に関し、前記発光管の前記光出射面側における有効発光領域とは異なる位置に形成されていても構わない。
前記採光部は、前記光出射面とは反対側に形成されていても構わない。
前記反射膜は、前記第一反射領域を構成する第一反射膜と、前記第二反射領域を構成し、前記第一反射膜と離間した位置に形成された第二反射膜からなるものであっても構わない。
前記第二反射膜は、前記発光管の管軸方向に関し、前記第一反射膜よりも前記発光管の端部側に形成されていても構わない。
上記エキシマランプと、
受光部を有し、前記受光部に入射した光を検知する光量センサとを備え、
前記光量センサは、前記受光部の受光可能領域が前記採光部に含まれるように配置されていることを特徴とする。
以下、別実施形態につき説明する。
2 : エキシマランプ
3 : 光量センサ
3a : 受光部
3s : 受光可能領域
4 : 搬送機構
10 : 発光管
10a : 外壁面
10b : 内壁面
10c : 発光空間
11 : 電極
11h : 光取り出し部
12 : 光出射面
13 : 採光部
14 : 反射膜
14a : 第一反射膜
14b : 第二反射膜
14p : 第一反射領域
14q : 第二反射領域
70 : マスキングテープ
71 : 懸濁液
100 : エキシマランプ
101 : 発光管
101a : 外壁面
102 : 電極
103 : 反射膜
104 : 光出射面
105 : 採光部
G1 : 発光ガス
L1 : 紫外光
W1 : 照射対象物
Claims (6)
- 紫外光に対して透過性を有する長尺状の発光管と、
前記発光管の径方向に離間して設けられた一対の電極と、
前記発光管の内壁面に形成された反射膜とを備え、
前記反射膜は、
光照射対象領域に向けて光を出射する光出射面と対向する第一反射領域と、
前記発光管の周方向に関して前記光出射面とは異なる位置に設けられた採光部と対向する第二反射領域とを備えることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記採光部は、前記発光管の管軸方向に関し、前記発光管の前記光出射面側における有効発光領域とは異なる位置に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記採光部は、前記光出射面とは前記発光管の管軸に対して反対側に形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のエキシマランプ。
- 前記反射膜は、前記第一反射領域を構成する第一反射膜と、前記第二反射領域を構成し、前記第一反射膜と離間した位置に形成された第二反射膜からなることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のエキシマランプ。
- 前記第二反射膜は、前記発光管の管軸方向に関し、前記第一反射膜よりも前記発光管の端部側に形成されていることを特徴とする請求項4に記載のエキシマランプ。
- 請求項1~5のいずれか一項に記載のエキシマランプと、
受光部を有し、前記受光部に入射した光を検知する光量センサとを備え、
前記光量センサは、前記受光部の受光可能領域が前記採光部に含まれるように配置されていることを特徴とする光照射装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020055316A JP7384090B2 (ja) | 2020-03-26 | 2020-03-26 | エキシマランプ、光照射装置 |
EP21159519.4A EP3886142A3 (en) | 2020-03-26 | 2021-02-26 | Excimer lamp and light irradiation device including the same |
KR1020210037144A KR20210120865A (ko) | 2020-03-26 | 2021-03-23 | 엑시머 램프 및 광조사 장치 |
CN202110320341.7A CN113451107A (zh) | 2020-03-26 | 2021-03-25 | 准分子灯、光照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020055316A JP7384090B2 (ja) | 2020-03-26 | 2020-03-26 | エキシマランプ、光照射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021157902A JP2021157902A (ja) | 2021-10-07 |
JP7384090B2 true JP7384090B2 (ja) | 2023-11-21 |
Family
ID=74844679
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020055316A Active JP7384090B2 (ja) | 2020-03-26 | 2020-03-26 | エキシマランプ、光照射装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3886142A3 (ja) |
JP (1) | JP7384090B2 (ja) |
KR (1) | KR20210120865A (ja) |
CN (1) | CN113451107A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012011341A (ja) | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Ushio Inc | 光照射装置 |
JP2014006997A (ja) | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Ushio Inc | ロングアーク型放電ランプ |
JP2015056303A (ja) | 2013-09-12 | 2015-03-23 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4857939B2 (ja) | 2006-06-19 | 2012-01-18 | ウシオ電機株式会社 | 放電ランプ |
JP4946773B2 (ja) * | 2007-10-11 | 2012-06-06 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP5303905B2 (ja) * | 2007-11-06 | 2013-10-02 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP5266972B2 (ja) * | 2008-08-29 | 2013-08-21 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP5201042B2 (ja) | 2009-03-23 | 2013-06-05 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP2013098015A (ja) * | 2011-11-01 | 2013-05-20 | Ushio Inc | 紫外線照射装置 |
-
2020
- 2020-03-26 JP JP2020055316A patent/JP7384090B2/ja active Active
-
2021
- 2021-02-26 EP EP21159519.4A patent/EP3886142A3/en active Pending
- 2021-03-23 KR KR1020210037144A patent/KR20210120865A/ko unknown
- 2021-03-25 CN CN202110320341.7A patent/CN113451107A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012011341A (ja) | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Ushio Inc | 光照射装置 |
JP2014006997A (ja) | 2012-06-22 | 2014-01-16 | Ushio Inc | ロングアーク型放電ランプ |
JP2015056303A (ja) | 2013-09-12 | 2015-03-23 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3886142A2 (en) | 2021-09-29 |
KR20210120865A (ko) | 2021-10-07 |
CN113451107A (zh) | 2021-09-28 |
JP2021157902A (ja) | 2021-10-07 |
EP3886142A3 (en) | 2022-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7187138B2 (en) | Excimer lamp apparatus | |
JP5201042B2 (ja) | エキシマランプ | |
CN101937829B (zh) | 紫外线灯及紫外线照射装置 | |
CN101393839B (zh) | 准分子灯及准分子灯的制造方法 | |
JP7384090B2 (ja) | エキシマランプ、光照射装置 | |
TWI641020B (zh) | 放電燈 | |
JP4311266B2 (ja) | エキシマランプおよび紫外線照射装置 | |
CN102047382B (zh) | 外部电极型放电灯和使用该放电灯的紫外线照射装置 | |
JP3692987B2 (ja) | 誘電体バリア放電ランプ装置 | |
US6734444B2 (en) | Substrate treatment device using a dielectric barrier discharge lamp | |
JP2006242733A (ja) | 蛍光体の発光特性評価法 | |
JP2002298790A (ja) | エキシマ照明装置 | |
JP5510792B2 (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP5708857B2 (ja) | 紫外線ランプ及び紫外線照射装置 | |
KR100792224B1 (ko) | 내부에 반사용 알루미늄이 코팅된 전등 및 그 제조방법 | |
JP2016192343A (ja) | 光源装置 | |
JP3148736B2 (ja) | 放電ランプ、放電ランプの製造方法及びそれを用いた装置 | |
JP5648277B2 (ja) | エキシマランプ装置 | |
JP2009080078A (ja) | 光量モニタとそれを用いた光源装置 | |
JP4470833B2 (ja) | 光源装置 | |
JPH08233650A (ja) | 真空紫外光検出器 | |
JP2021158057A (ja) | エキシマランプ、光照射装置 | |
JPH08152406A (ja) | 蛍光分析装置 | |
JP2001126665A (ja) | 誘電体バリア放電ランプ | |
RU2083022C1 (ru) | Источник ультрафиолетового излучения |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220915 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230606 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230802 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231010 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231023 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7384090 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |