JP2021158057A - エキシマランプ、光照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 放電スパークの発生が抑制され、信頼性が向上されたエキシマランプを提供する。【解決手段】 紫外光に対して透過性を有する長尺状の発光管と、前記発光管の外壁面に設けられた網目状の第一電極と、前記発光管の前記外壁面に、前記発光管を介し対向するように設けられた網目状の第二電極と、前記発光管の前記第一電極と同じ側の内壁面に形成された反射膜とを備え、前記第一電極の一部には、前記第一電極の網目よりも広い範囲にわたってベタ状に形成されたベタ状電極が設けられている。【選択図】 図２Ｂ

Description

本発明は、エキシマランプ、及びエキシマランプを備えた光照射装置に関する。

従来、半導体や液晶パネルの製造や、空気清浄用のオゾンの生成に、紫外光が用いられている。紫外光を出射する光源としては、例えば、下記特許文献１に記載されているようなエキシマランプが利用されている。そして、下記特許文献１には、発光管から放射される紫外光を、効率よく照射対象物に照射するために、発光管の内壁面に反射膜を形成したエキシマランプが開示されている。

特開２０１０−０８０３５１号公報

近年、半導体や液晶パネルの製造等に用いる産業用の光照射装置として、エキシマランプの高出力化が求められている。そこで、本発明者らは、上記特許文献１に記載の光照射装置に基づいて、エキシマランプの高出力化を検討したところ、以下のような課題が存在することを見出した。以下、図を参照しながら説明する。

図６Ａは、従来のエキシマランプ１００の構成をＹ方向に見たときの模式的な図面である。図６Ｂは、図６Ａのエキシマランプ１００をＸ方向に見たときの模式的な図面である。図６Ａ及び図６Ｂに示すように、発光管１０１と、発光管１０１の外壁面１０１ａに対向するように設けられた一対の電極１０２と、発光管１０１の内壁面１０１ｂに設けられた反射膜１０３とを備える。

以下の説明においては、図６Ａに示すように、エキシマランプ１００の発光管１０１が延伸する方向（管軸方向）をＺ方向、電極１０２が対向する方向をＸ方向、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とする。そして、方向を表現する際に、正負の向きを区別する場合には、「＋Ｚ方向」、「−Ｚ方向」のように、正負の符号を付して記載され、正負の向きを区別せずに方向を表現する場合には、単に「Ｚ方向」と記載される。

発光管１０１は、紫外光に対して透過性を有する材料（例えば、シリカガラス）で構成されており、内側には発光ガスＧ１が封入された発光空間１０１ｃが形成されている。電極１０２は、図６Ｂに示すように、発光管１０１から放射された紫外光が発光管１０１の外側に取り出されるように網目状に形成されている。なお、図６Ｂには、＋Ｘ側の電極１０２のみが図示されているが、−Ｘ側の電極１０２は、＋Ｘ側の電極１０２と同じ形状である。

エキシマランプ１００は、一対の電極１０２間に電圧を印加することで、発光空間１０１ｃ内で紫外光が発生し、電極１０２の網目から外側に向かって紫外光を出射する。出射する紫外光の波長に応じて発光空間１０１ｃ内に封入される発光ガスＧ１の種類や組み合わせが選択される。

半導体や液晶パネルの製造等に用いられるような２００ｎｍ以下の紫外光は、発光管１０１の材料であるシリカガラスが有するＳｉとＯの結合を切断することができる。したがって、エキシマランプ１００を点灯させていると、発光空間１０１ｃから放射される紫外光によって、発光管１０１を構成するシリカガラスの結合が次々と切断されＳｉとＯの結合角が変わる。それにより、歪が生じ、内壁面１０１ｂには、Ｚ方向のそれぞれの端部側に向かって引っ張るように応力が発生する。

発光管１０１の光出射面１０４側（−Ｘ側）の管壁は、エキシマランプ１００を点灯させていると、常に発光空間１０１ｃから放射される紫外光に晒される。そして、紫外光が届きやすい内壁面１０１ｂ側ほど上述した構造の変化が起こるため、内壁面１０１ｂ側には、Ｚ方向のそれぞれの端部側に向かって引っ張るように応力がかかり、バランスを取るように外壁面１０１ａにはＺ方向の中央部側に向かって圧縮するように応力がかかる。これにより、＋Ｘ側に向かって凸となるように変形する。

一方で、発光管１０１の光出射面１０４とは反対側（＋Ｘ側）の管壁は、発光管１０１から放射される紫外光が、内壁面１０１ｂに形成された反射膜１０３によって光出射面１０４側に向かうように反射されるため、ほとんど紫外光には曝されない。そのため、＋Ｘ側の管壁は、−Ｘ側の管壁に対して、変形はしない。

図７は、紫外光によって変形したエキシマランプ１００をＹ方向に見たときの図面である。発光管１０１は、発光空間１０１ｃから放射される紫外光によって、上述したような変形が生じ、図７に示すように、−Ｘ側壁面の変形に伴って全体が＋Ｘ側に向かって凸となるように変形する。発光管１０１が変形してしまうと、位置によって光出射面１０４と照射領域との距離に差異が生じ、照射ムラができてしまう。なお、図７のエキシマランプ１００は、変化がわかりやすいように、実際よりも変形が大きく表現されている。

図８は、エキシマランプ１００を装着した従来の光照射装置３００の構成を示す模式的な斜視図である。上記特許文献１に記載の従来の光照射装置３００は、図８に示すように、発光管１０１の変形を抑制するために、照射対象物Ｗ１と反対側に支持体３０１が設けられている。

エキシマランプ１００は、照射対象物Ｗ１や装置周辺で作業する作業者に対して放電が発生しないように、照射対象物Ｗ１とは反対側（＋Ｘ側）の電極に高電圧が印加される。また、エキシマランプ１００の電極１０２は、網目状に構成されているため、導電部分の面積が小さく電界が集中してしまう。そのため、図８に示すように、支持体３０１の先端部が高電圧側（＋Ｘ側）の電極１０２に近接、又は接触すると、支持体３０１周辺において、強い電界が発生してしまう。

電界強度が電極１０２と支持体３０１との間で放電を発生させるために必要な閾値を超えると、支持体３０１と電極１０２との間において放電スパークが発生する。特に、上述したような高出力化の要望に応えるべく、電極１０２に印加する電圧を大きくしていくと、電界強度がより高くなり、放電スパークがより発生しやすくなってしまう。

電極１０２と支持体３０１との間で放電スパークが頻繁に発生すると、放電による熱が発生し、支持体３０１周辺の電極１０２が溶融や蒸発し、損傷してしまう。放電スパークによって電極１０２が損傷し、部分的な断線等が生じてしまうと、照射対象物Ｗ１に対して紫外光の照射ムラが発生してしまう。したがって、従来のエキシマランプ１００を搭載した光照射装置３００では、そのまま電極１０２に印加する電圧を一定値以上まで大きくすると、放電スパークによって電極１０２の損傷が激しくなり信頼性の問題が発生するという課題があった。

ここで、電界集中を抑制して電界強度を低下させるために、＋Ｘ側の電極１０２を全体にわたってベタ状に形成することが考えられる。しかしながら、電極１０２を全体にわたってベタ状に形成すると、発光管１０１で発生する放電の頻度が高くなり、放電容器の光出射面側の壁面温度が高くなる。発光管１０１の壁面温度が高くなると、紫外光に対する透過率が低下してしまうため、照度の低下やワークへの輻射熱が大きくなるといった問題がある。

また、支持体３０１が近接、又は接触する部分に、電極１０２を形成しないという構成も考えられる。しかし、当該構成の場合は、電極１０２が形成されていない部分だけ紫外光が放射されず、照射対象物Ｗ１に対して照射される光の照度分布の均一性が低下してしまうため採用し得ない。

さらに、支持体３０１の先端を絶縁体で形成することも考えられるが、エキシマランプ１００に形成された反射膜１０３は、僅かながらにも、発光空間１０１ｃから放射される紫外光を透過してしまう。したがって、支持体３０１も、エキシマランプ１００から出射される紫外光に曝されてしまうため、紫外光が照射されることで、すぐに劣化してしまうような部材は、信頼性の点で問題となる。つまり、絶縁体として用いられるゴム等を設けることが難しく、比誘電率の低いセラミック等の比較的紫外光による影響が少ない材料を用いることになる。

本発明は、上記課題に鑑み、放電スパークの発生が抑制され、信頼性が向上されたエキシマランプを提供することを目的とする。

本発明のエキシマランプは、
紫外光に対して透過性を有する長尺状の発光管と、
前記発光管の外壁面に設けられた網目状の第一電極と、
前記発光管の前記外壁面に、前記発光管を介し対向するように設けられた網目状の第二電極と、
前記発光管の前記第一電極と同じ側の内壁面に形成された反射膜とを備え、
前記第一電極の一部には、前記第一電極の網目よりも広い範囲にわたってベタ状に形成されたベタ状電極が設けられていることを特徴とする。

上記構成とすることで、網目状に形成された電極よりも広範囲に広がるように形成されたベタ状電極によって、支持体の先端部との間の電界集中が緩和されて電界強度が低下する。そのため、放電スパークの発生が抑制され、エキシマランプの信頼性を高めることができる。また、上記構成は、ベタ状電極を第一電極の一部に構成されるものであって、全体にわたっては構成されないため、照度の低下やワークへの輻射熱が大きくなるといった問題は発生しない。

なお、ベタ状電極は、網目状の電極に、金属板や導電性のシールを貼り付けて構成されていても構わない。

上記エキシマランプにおいて、
前記ベタ状電極は、前記発光管の管軸方向に関して、前記発光管の中央を跨ぐように設けられていても構わない。

上述したように、発光管は光出射面とは反対側に向かって凸となるように変形する。したがって、発光管は、管軸方向における中央が最も変位する。

上記構成とすることで、発光管の変形を抑制するための支持体を、最も変形しやすい発光管の管軸方向における中央部に配置することができる。そして、支持体と近接、又は接触する部分において、放電スパークが発生することを抑制することができる。

上記エキシマランプにおいて、
前記第一電極と前記ベタ状電極は、同じ材料によって一体的に形成されていても構わない。

上記エキシマランプにおいて、
前記ベタ状電極は、前記ベタ状電極の主面と直交する方向から見たときの形状が、円形状、楕円形状、長円形状、又は角丸四角形状であっても構わない。

上記構成とすることで、ベタ状電極に角部等の尖った部分が形成されないため、コロナ放電の発生が抑制される。

上記エキシマランプにおいて、
前記発光管は、前記発光管の管軸方向と直交する面で切断した時の断面形状が矩形状であっても構わない。

さらに、上記エキシマランプは、
前記第一電極が設けられた前記外壁面の前記管軸方向とは直交する方向において、前記ベタ状電極の長さが前記発光管の長さの半分以下であっても構わない。

発光管の外壁面の管軸方向とは直交する方向の全域にベタ状電極を形成してしまうと照度が著しく低下してしまう。そこで、上記構成とすることで、照度の悪化を抑制しつつ、放電スパークの発生を抑制することができる。

本発明の光照射装置は、
上記エキシマランプと、
前記ベタ状電極に近づくように突出し、先端部が前記ベタ状電極と近接、又は接触するように配置された支持体とを備えることを特徴とする。

上記光照射装置において、
前記支持体の前記先端部は、前記ベタ状電極と接触した状態で、前記発光管の管軸方向に移動可能となるようにローラが設けられていても構わない。

上記構成とすることで、発光管の変形を抑制しつつ、放電スパークの発生を抑制することができる。また、支持体は、紫外光によって発光管がローラに接触するまで変形し、さらに、紫外光が照射されて発光管が変形しようとした場合に、発光管の表面、及び第一電極と擦れることなく管軸方向に変位することができる。したがって、発光管の表面が傷つくことや、第一電極が剥離してしまうことを防止することができる。

本発明によれば、放電スパークの発生が抑制され、信頼性が向上されたエキシマランプが実現される。

光照射装置の一実施形態を模式的に示す斜視図である。 図１Ａの光照射装置の側面図である。 図１Ａの光照射装置とは異なる一実施形態を模式的に示す側面図である。 エキシマランプの一実施形態をＹ方向に見たときの模式的な図面である。 図２Ａのエキシマランプを＋Ｘ側から見たときの模式的な図面である。 図２Ａのエキシマランプを−Ｘ側から見たときの模式的な図面である。 図２Ｂのベタ状電極周辺の拡大図面である。 ベタ状電極が複数形成されたエキシマランプを＋Ｘ側から見たときの模式的な図面である。 図２ＡのエキシマランプをＺ方向に見たときの模式的な図面である。 図１Ｂの光照射装置の支持体周辺の拡大図である。 エキシマランプの別実施形態を＋Ｘ側から見たときの模式的な図面である。 従来のエキシマランプの構成をＹ方向に見たときの模式的な図面である。 図６ＡのエキシマランプをＸ方向に見たときの模式的な図面である。 紫外光によって変形したエキシマランプをＹ方向に見たときの図面である。 エキシマランプを装着した従来の光照射装置の構成を示す模式的な斜視図である。

以下、本発明のエキシマランプ及び光照射装置について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図面は、いずれも模式的に図示されたものであり、図面上の寸法比や個数は、実際の寸法比や個数と必ずしも一致していない。

図１Ａは、光照射装置１の一実施形態を模式的に示す斜視図であり、図１Ｂは、図１Ａの光照射装置１の側面図である。図１Ａ及び図１Ｂに示すように、本実施形態の光照射装置１は、エキシマランプ２と、支持体３と、照射対象物Ｗ１を載置する搬送機構４とを備える。図１Ｃは、図１Ａの光照射装置１とは異なる一実施形態を模式的に示す側面図である。

まず、エキシマランプ２の構成について説明する。図２Ａは、エキシマランプ２の一実施形態をＹ方向に見たときの模式的な図面である。図２Ｂは、図２Ａのエキシマランプ２を＋Ｘ側から見たときの模式的な図面であり、図２Ｃは、図２Ａのエキシマランプ２を−Ｘ側から見たときの模式的な図面である。図２Ａ〜図２Ｃに示すように、エキシマランプ２は、発光管１０と、第一電極１１と、第一電極１１と対向するように形成された第二電極１２と、反射膜１３とを備える。

以下の説明においては、図２Ａに示すように、エキシマランプ２が延伸する方向（管軸方向）をＺ方向、第一電極１１と第二電極１２とが対向する方向をＸ方向、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とする。そして、方向を表現する際に、正負の向きを区別する場合には、「＋Ｚ方向」、「−Ｚ方向」のように、正負の符号を付して記載され、正負の向きを区別せずに方向を表現する場合には、単に「Ｚ方向」と記載される。

発光管１０は、紫外光に対して透過性を有する材料（例えば、シリカガラス）で形成されており、図２Ａに示すように、長尺状で内側に発光ガスＧ１が封入される発光空間１０ｃが設けられている。発光空間１０ｃ内で発生した紫外光は、発光管１０の壁面を通して光出射面１４から出射される。

図３は、図２Ａのエキシマランプ２をＺ方向に見たときの断面図である。図３に示すように、本実施形態の発光管１０は、ＸＹ平面で切断したときの断面が、矩形状を呈するように形成されているが、発光管１０の断面形状は、円形状や楕円形状等でもよく、六角形や八角形等の他の多角形状であっても構わない。

図２Ｄは、図２Ｂのベタ状電極１１ａ周辺の拡大図面である。図２Ｂに示すように、第一電極１１は、発光管１０の外壁面１０ａに網目状に形成されている。また、図２Ｂ及び図２Ｄに示すように、第一電極１１の一部において、発光管１０の中央Ｃ１を跨ぐように、網目よりも広範囲にわたってベタ状電極１１ａが形成されている。

また、ベタ状電極１１ａは、図２Ｄに示すように、主面と直交する方向、すなわち、＋Ｘ側から見たときの形状が角丸四角形状であって、Ｙ方向における長さＹ１が、発光管１０のＹ方向における長さＹ２の半分以下となるように形成されている。

第二電極１２は、図２Ｃが示すように、発光管１０の外壁面１０ａに網目状に形成されており、発光管１０の発光空間１０ｃ内で発生した紫外光が、網目を通過して発光管１０の外側に出射される。つまり、発光管１０の第二電極１２が形成されている側の壁面が光出射面１４となる。

本実施形態において、第一電極１１とベタ状電極１１ａは、発光管１０の外壁面上にスクリーン印刷によって一体的に形成されているが、例えば、第一電極１１がスクリーン印刷によって形成され、ベタ状電極１１ａは、形成されている第一電極１１に対して、金属板や導電性シートを貼り付けて形成されていても構わない。

また、本実施形態は、第一電極１１と第二電極１２は、同じ材料で、いずれも導電性の金属ペーストをスクリーン印刷によって印刷し、焼成させることで形成されているが、第一電極１１と第二電極１２は、異なる材料で、異なる方法によって形成されていてもよく、例えば、第一電極１１だけを金属板で形成しても構わない。なお、それぞれの電極（１１，１２）及びベタ状電極１１ａの材料は、例えば、金や銀、白金等を採用し得る。

図２Ｅは、ベタ状電極１１ａが複数形成されたエキシマランプ２を＋Ｘ側から見たときの模式的な図面である。図２Ｅに示すように、ベタ状電極１１ａは、一つのエキシマランプ２に複数形成されていても構わない。

反射膜１３は、発光管１０の第一電極１１と同じ側の内壁面１０ｂに形成されており、発光空間１０ｃ内で発生し、第一電極１１側（＋Ｘ側）に向かって進行する紫外光を、光出射面１４側である第二電極１２側（−Ｘ側）に向かうように反射する。

反射膜１３の構成材料は、例えば、粒子状のシリカ（ＳｉＯ₂）、アルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）等が含まれる懸濁液等を塗布し、焼成することで形成されたものを採用し得る。

なお、図２Ａ及び図３に示すように、本実施形態の第一電極１１、第二電極１２及び反射膜１３は、Ｙ方向及びＺ方向において同じ長さで形成されているが、それぞれ異なる長さで形成されていても構わない。

上記構成のエキシマランプ２は、図１Ｂに示すように、第二電極１２が照射対象物Ｗ１側に向くように、光照射装置１に装着される。

光照射装置１の支持体３は、第一電極１１に設けられたベタ状電極１１ａに近づくように突出するように構成されている。図４は、図１Ｂの光照射装置１の支持体３周辺の拡大図である。図４に示すように、支持体３は、先端部にローラ３ａが設けられており、ローラ３ａがベタ状電極１１ａと近接するように配置されている。なお、ここでいう近接とは、ローラ３ａとベタ状電極１１ａの離間距離が２ｍｍ以下の範囲をいう。

上記構成とすることで、支持体３とベタ状電極１１ａとの間で発生する電界は、支持体３と導電部分が狭い第一電極１１との間の電界よりも広範囲に分散される。つまり、電界集中が緩和されるため、電極（１１，１２）間に同じ電圧が印加されている場合、支持体３とベタ状電極１１ａとの間の電界強度は、支持体３と第一電極１１との間の電界強度よりも低くなる。したがって、光照射装置１は、放電スパークの発生が発生しにくくなり、信頼性が向上される。

また、上述したように、支持体３は、紫外光によって発光管１０がローラ３ａに接触するまで変形し、さらに、紫外光が照射されて発光管１０が変形しようとした場合に、発光管１０の表面、及び第一電極１１と擦れることなくＺ方向に変位することができる。そのため、発光管１０の外壁面１０ａが傷つくことや、第一電極１１が剥離してしまうことを防止することができる。

本実施形態のエキシマランプ２において、ベタ状電極１１ａは、発光管１０のＺ方向における中央Ｃ１を跨がない構成でもよく、発光管１０のＺ方向における端部側に形成されていても構わないが、発光管１０の端部から少なくとも７０ｍｍ以上離れていることが好ましい。エキシマランプ２の大きさや、印加電圧によって多少異なるが、端部に近づき過ぎると、局所的に発光管１０の壁面温度が低い箇所が存在する場合があり、当該箇所にベタ状電極１１ａを形成すると、異常放電が起きやすくなってしまう。

また、本実施形態のベタ状電極１１ａは、＋Ｘ側から見たときの形状が角丸四角形状を呈しているが、円形状、楕円形状、又は長円形状であっても構わない。

さらに、本実施形態のベタ状電極１１ａは、Ｙ方向における長さが、発光管１０のＹ方向における長さの半分以下となるように形成されているが、発光管１０のＹ方向における長さの半分以上の長さにわたって形成されていても構わない。

本実施形態の光照射装置１において、支持体３の先端部に設けられたローラ３ａは、エキシマランプ２のベタ状電極１１ａと近接するように配置されているが、接触するように配置されていても構わない。また、支持体３は、ローラ３ａを備えない構成であっても構わない。

本実施形態の光照射装置１において、支持体３は、一つの光照射装置１において、複数の支持体３が設けられていてもよく、図１Ｃに示すように、ローラ３ａが設けられた先端部が二股、又は三股以上になっていても構わない。これらの構成を採用する場合、エキシマランプ２の壁面（第一電極１１）は、発光管１０が歪むことでローラ３ａと複数箇所で接触することになる。そこで、例えば、第一電極１１は、接触箇所全部が含まれるように広範囲にわたってベタ状電極１１ａが形成されていてもよく、図２Ｅに示すように、複数のベタ状電極１１ａが形成されていても構わない。

［別実施形態］
以下、別実施形態につき説明する。

〈１〉 図５は、エキシマランプ２の別実施形態を＋Ｘ側から見たときの模式的な図面である。図５に示すように、ベタ状電極１１ａは、第一電極１１の網目を埋めるようにして形成されていても構わない。

〈２〉 支持体３の先端部は、Ｚ方向だけでなく、ＹＺ平面のいずれの方向にも変位可能となるように、ローラ３ａの代わりにボール部材を備えていても構わない。上記構成とすることで、支持体３と発光管１０の外壁面１０ａ、又は第一電極１１がＺ方向以外の方向に擦れた場合でも、傷や剥離を防止することができる。

〈３〉 上述した光照射装置１及びエキシマランプ２が備える構成は、あくまで一例であり、本発明は、図示された各構成に限定されない。

１ ： 光照射装置
２ ： エキシマランプ
３ ： 支持体
３ａ ： ローラ
４ ： 搬送機構
１０ ： 発光管
１０ａ ： 外壁面
１０ｂ ： 内壁面
１０ｃ ： 発光空間
１１ ： 第一電極
１１ａ ： ベタ状電極
１２ ： 第二電極
１３ ： 反射膜
１４ ： 光出射面
１００ ： エキシマランプ
１０１ ： 発光管
１０１ａ ： 外壁面
１０１ｂ ： 内壁面
１０１ｃ ： 発光空間
１０２ ： 電極
１０３ ： 反射膜
１０４ ： 光出射面
３００ ： 光照射装置
３０１ ： 支持体
Ｃ１ ： 中央
Ｇ１ ： 発光ガス
Ｗ１ ： 照射対象物

Claims (8)

1. 紫外光に対して透過性を有する長尺状の発光管と、
   前記発光管の外壁面に設けられた網目状の第一電極と、
   前記発光管の前記外壁面に、前記発光管を介し対向するように設けられた網目状の第二電極と、
   前記発光管の前記第一電極と同じ側の内壁面に形成された反射膜とを備え、
   前記第一電極の一部には、前記第一電極の網目よりも広い範囲にわたってベタ状に形成されたベタ状電極が設けられていることを特徴とするエキシマランプ。
2. 前記ベタ状電極は、前記発光管の管軸方向に関して、前記発光管の中央を跨ぐように設けられていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
3. 前記第一電極と前記ベタ状電極は、同じ材料によって一体的に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のエキシマランプ。
4. 前記ベタ状電極は、前記ベタ状電極の主面と直交する方向から見たときの形状が、円形状、楕円形状、長円形状、又は角丸四角形状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のエキシマランプ。
5. 前記発光管は、前記発光管の管軸方向と直交する面で切断した時の断面形状が矩形状であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のエキシマランプ。
6. 前記第一電極が設けられた前記外壁面の前記管軸方向とは直交する方向において、前記ベタ状電極の長さが前記発光管の長さの半分以下であることを特徴とする請求項５に記載のエキシマランプ。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載のエキシマランプと、
   前記ベタ状電極に近づくように突出し、先端部が前記ベタ状電極と近接、又は接触するように配置された支持体とを備えることを特徴とする光照射装置。
8. 前記支持体の前記先端部は、前記ベタ状電極と接触した状態で、前記発光管の管軸方向に移動可能となるようにローラが設けられていることを特徴とする請求項７に記載の光照射装置。
   

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