JP2015201300A - エキシマランプ - Google Patents

Abstract

【課題】 ランプ点灯時に強い電磁界が形成された場合にも、当該電磁界の漏れを防止することができるヘッドオン型のエキシマランプの提供。
【解決手段】 エキシマランプは、外周壁部と内周壁部とを有し、当該外周壁部と内周壁部との間に放電空間が形成された、誘電体よりなる二重管構造の放電容器を有し、外周壁部の一端には、その開口を気密に塞ぐよう光取出し窓が設けられ、内周壁部の一端に、その開口を気密に塞ぐよう内側封止壁部が形成されると共に、外周壁部および内周壁部の各々の他端部が外側封止壁部によって気密に接合され、外周壁部の外周面上に低圧側電極が設けられると共に、内周壁部の内周面上に高圧側電極が設けられ、放電容器内に放電用ガスが充填されてなり、光取出し窓の外周面に、低圧側電極と電気的に接続された金属メッシュよりなる電磁シールドが設けられていることを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ヘッドオン型のエキシマランプに関する。

光化学反応装置、半導体製造装置、液晶製造装置などの紫外線光源として使用されるエキシマランプは、誘電体バリア放電によってエキシマを形成し、このエキシマから放射される光を用いるものである。

例えば特許文献１には、扁平管構造のエキシマランプが開示されている。このエキシマランプにおいては、放電容器の下面に沿って設けられた光透過性の外部電極を介して光が取り出されて被照射物に一括照射またはスキャン照射される。
エキシマランプにおいては、被照射物に紫外線を照射するプロセスの処理時間を短縮させる観点から、高照度化を図ることが要求される。このために、エキシマランプと被照射物との間隔を小さくすることが行われている。

扁平管構造のエキシマランプにおいては、放電容器の上面に沿って設けられた外部電極に高電圧が印加されることが多い。しかしながら、隅部に湾曲部を有する放電容器を備えた扁平管構造のエキシマランプにおいては、エキシマランプと被照射物との間隔が小さくなるよう設置されることによって、高電圧とされる外部電極（高圧側電極）の端部と被照射物との距離が近くなる結果、当該高圧側電極から被照射物に対して、瞬間的な放電が発生し、当該被照射物における素子が破壊されることがある。

このような直接的な放電による被照射物における素子の破損の問題を解決するために、例えば特許文献２には、高圧側電極と、放電容器の下面に沿って設けられた光透過性の外部電極（接地電極）との間の沿面放電距離が、高圧側電極と被照射物との間の最短放電距離よりも小さいエキシマランプが開示されている。
このようなエキシマランプにおいては、エキシマランプから被照射物までの距離が近い場合であっても、高圧側電極と被照射物との間の放電よりも、高圧側電極と接地電極との間の沿面放電が優先して発生するので、不所望の放電が高圧側電極と被照射物との間に発生することが抑制される。

一方、例えば大電力を投入することができて高照度化を図ることができると共に大面積に照射することができることから、一端に光取出し窓が設けられたヘッドオン型のエキシマランプが提案されている（例えば、特許文献３参照。）。
図６は、従来のヘッドオン型のエキシマランプの構成の一例を示す断面図である。このエキシマランプは、合成石英ガラスなどの誘電体よりなる二重管構造の放電容器１を有し、放電容器１内にエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてなる。
具体的に説明すると、放電容器１は、円管状の外周壁部２と、この外周壁部２内にその管軸に沿って配置された、当該外周壁部２の内径より小さい外径の円管状の内周壁部３とを有する。外周壁部２は、その全長が内周壁部３の全長より大きいものとされている。また、外周壁部２は、その一端部（図６において左端部）が内周壁部３の一端部（図６において左端部）より外方に突出するよう配置されている。
外周壁部２の一端（図６において左端）には、その開口を気密に塞ぐよう円板状の光取出し窓５が設けられている。内周壁部３の一端（図６において左端）には、その開口を気密に塞ぐよう内側封止壁部４が形成されている。外周壁部２および内周壁部３の各々の他端部は外側封止壁部６によって気密に接合されている。
放電容器１における外周壁部２の外周面には、円筒状の低圧側電極（外側電極）７が当該外周壁部２の外周面に密接して配置されている。また、放電容器１における内周壁部３の内周面には、両端が開放された円筒状の高圧側電極（内側電極）８が当該内周壁部３の内周面に密接して配置されている。そして、低圧側電極７がアースに接続されると共に高圧側電極８が給電装置９の高圧側に接続されている。
このようなヘッドオン型のエキシマランプにおいては、高圧側電極８が内周壁部３の内周面に配置されているため、上記のような高圧側電極から被照射物への放電は生じず、直接的な放電による被照射物における素子の破損の問題は生じない。

しかしながら、このようなエキシマランプにおいては、高圧側電極８に印加される高電圧に起因して、ランプ点灯時に当該エキシマランプの周囲に電磁界が形成され、これが被照射物にまで及ぶことによって、被照射物に電気的なダメージが与えられるおそれがある。具体的には、被照射物が大型の基板であったり、配線が長い物であったりした場合に、ランプ点灯時に形成される電磁界によって被照射物における配線間に電位差が生じ、この電位差のために被照射物の素子において静電破壊（ＥＳＤ）が生じることがある。そして、エキシマランプの高出力化が促進されるに従って、より強い電磁界が形成されるために、静電破壊のダメージが大きくなる。
なお、例えば特許文献２に開示された扁平管構造のエキシマランプにおいては、放電容器の下面に沿って設けられた接地電極によって電磁界の漏れが防止される。

特開２０１２−００４１４４号公報 特開２００９−１１７１６１号公報 特開平７−２２０６８９号公報

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、ランプ点灯時に強い電磁界が形成された場合にも、当該電磁界の漏れを防止することができるヘッドオン型のエキシマランプを提供することにある。

本発明のエキシマランプは、円管状の外周壁部と、この外周壁部内にその管軸に沿って配置された、当該外周壁部の内径より小さい外径の円管状の内周壁部とを有し、当該外周壁部と内周壁部との間に放電空間が形成された、誘電体よりなる二重管構造の放電容器を有し、
前記外周壁部は、その一端部が内周壁部の一端部より外方に突出するよう配置され、当該外周壁部の一端には、その開口を気密に塞ぐよう光取出し窓が設けられ、
前記内周壁部の一端に、その開口を気密に塞ぐよう内側封止壁部が形成されると共に、前記外周壁部および内周壁部の各々の他端部が外側封止壁部によって気密に接合され、
前記外周壁部の外周面上の少なくとも一部に低圧側電極が設けられると共に、前記内周壁部の内周面上の少なくとも一部に高圧側電極が設けられ、
前記放電容器内にエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてなるエキシマランプにおいて、
前記光取出し窓の外周面に、前記低圧側電極と電気的に接続された金属メッシュよりなる電磁シールドが設けられていることを特徴とする。

本発明のエキシマランプにおいては、前記高圧側電極が、その一部が前記光取出し窓に対向する内周壁部の内側封止壁部の内面に設けられていることが好ましい。

本発明のエキシマランプにおいては、前記光取出し窓が球面状の外周面を有すると共に前記内周壁部の内側封止壁部が球面状の内周面を有し、当該光取出し窓とこれに対向する内側封止壁部との離間距離が均一であることが好ましい。

本発明のエキシマランプにおいては、光取出し窓の外周面に低圧側電極と電気的に接続された金属メッシュよりなる電磁シールドが設けられている。従って、ランプ点灯時に当該エキシマランプの周囲に強い電磁界が形成された場合にも、光放射方向への当該電磁界の漏れを防止することができる。その結果、電磁界に感受性を有する被照射物に光を照射する場合に、当該被照射物における静電破壊の発生を有効に防止することができる。

また、高圧側電極が光取出し窓に対向する内周壁部の内側封止壁部の内面に伸びるよう形成されたエキシマランプにおいては、誘電体バリア放電が、電磁シールドと、光取出し窓に対向する内周壁部の内側封止壁部の内面に伸びた高圧側電極との間においても生じる。従って、当該エキシマランプから放射される光が円形のものとなるので、より高い照度の光を放射させることができる。

また、光取出し窓が球面状の外周面を有するエキシマランプにおいては、光放射方向に垂直な方向へ放射する光の成分を増大させて放電容器の光放射方向への正射影よりも広い範囲に光が照射することができる。従って、複数のエキシマランプを面状に並べた光源において、ランプ同士の離間距離を大きくしても、ランプを緻密に並べた場合の放電容器の光放射方向への正射影の隙間にも光を照射することができるので、被照射物における照度の高い均一性が得られる。

本発明の第１の実施の形態のエキシマランプの構成の一例を示す断面図である。 本発明の第２の実施の形態のエキシマランプの構成の一例を示す断面図である。 本発明の第３の実施の形態のエキシマランプの構成の一例を示す断面図である。 本発明の第４の実施の形態のエキシマランプの構成の一例を示す断面図である。 本発明の第５の実施の形態のエキシマランプの構成の一例を示す断面図である。 従来のヘッドオン型のエキシマランプの構成の一例を示す断面図である。

＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の第１の実施の形態のエキシマランプの構成の一例を示す断面図である。
このエキシマランプは、誘電体よりなる二重管構造の放電容器１１を有する。具体的に説明すると、放電容器１１は、円管状の外周壁部１２と、この外周壁部１２内にその管軸に沿って配置された、当該外周壁部１２の内径より小さい外径の円管状の内周壁部１３とを有する。図示の例では、外周壁部１２は、その全長が内周壁部１３の全長より大きいものとされている。また、外周壁部１２は、その一端部（図１において左端部）が内周壁部１３の一端部（図１において左端部）より外方に突出するよう配置されている。
外周壁部１２の一端（図１において左端）には、その開口を気密に塞ぐよう円板状の光取出し窓１５が設けられている。内周壁部１３の一端（図１において左端）には、その開口を気密に塞ぐよう内側封止壁部１４が形成されている。外周壁部１２および内周壁部１３の各々の他端部は外側封止壁部１６によって気密に接合されている。
外周壁部１２と内周壁部１３との間には、円筒状の放電空間Ｓが形成されている。放電空間Ｓの厚み（外周壁部１２の内周面と内周壁部１３の外周面との距離）は、例えば４〜２０ｍｍである。
放電容器１１を構成する誘電体材料としては、例えば合成石英ガラスを用いることができる。また、光取出し窓１５を構成する材料としても、合成石英ガラスを用いることができる。

放電容器１１の寸法の一例を挙げると、外周壁部１２は、外径が４６ｍｍ、肉厚が３ｍｍ、全長が１２０ｍｍであり、内周壁部１３は、外径が１６ｍｍ、肉厚が１ｍｍ、全長が１０７ｍｍであり、光取出し窓１５は、直径が４６ｍｍ、厚さが２ｍｍである。

放電容器１１における外周壁部１２の外周面および内周壁部１３の外周面には、例えばシリカが主成分とされた光反射膜１９が設けられている。

放電容器１１における外周壁部１２の外周面には、円筒状の低圧側電極（外側電極）１７が当該外周壁部１２の外周面に密接して配置されている。また、放電容器１１における内周壁部１３の内周面には、両端が開放された円筒状の高圧側電極（内側電極）１８が当該内周壁部１３の内周面に密接して配置されている。そして、低圧側電極１７がアースに接続されると共に高圧側電極１８が給電装置２５の高圧側に接続されている。
低圧側電極１７および高圧側電極１８としては、例えばアルミニウムなどの金属材料を蒸着によって形成したものを用いることができる。

そして、本発明においては、光取出し窓１５の外周面に金属メッシュよりなる電磁シールド２０が設けられており、この電磁シールド２０は、低圧側電極１７と電気的に接続されている。

電磁シールド２０を構成する金属メッシュは、例えばφ０．１ｍｍであるモネル製のワイヤーを編んだものとすることができる。
また、電磁シールドを構成する金属メッシュは、例えば金、銀、銅などの金属粉末と低融点ガラス粉末と有機バインダーからなる金属ペーストをスクリーン印刷し、焼成して固着させたものであってもよい。スクリーン印刷の版を立体形状に対応させるのは困難なことから、光取出し窓１５の外周面と外周壁部１２の外周面の所望の領域とに分割してそれぞれスクリーン印刷を行い、これらの隙間を微細な筆によって形成した接続部によって埋めることにより接続すればよい。または、予め光取出し窓１５の外周面と外周壁部１２の外周面の展開図状に、平面的にスクリーン印刷したものを、光取出し窓１５の外周面と外周壁部１２の外周面に張りつけてもよい。このような電磁シールドは、合成石英ガラスへの密着性が極めて高いので、後述の実施の形態におけるエキシマランプのように電磁シールドと内側封止壁部との間で誘電体バリア放電を生じさせる場合に、放電を安定的に形成することができる。
さらに、電磁シールドを構成する金属メッシュは、蒸着によって形成されたものであってもよい。具体的には、放電容器１１の光取出し窓１５の外周面と外周壁部１２の外周面の所望の領域にレジストを塗布した後、マスクを利用して当該レジストに紫外線を照射し、紫外線が照射された部分を現像することによってレジストを部分的に除去する。この状態において放電容器１１を蒸着装置に入れ、アルミニウムやクロムなどの金属を蒸着し、その後、有機溶剤によって残りのレジストを除去することにより、当該残りのレジスト上に蒸着した金属ごと剥離する。これにより、立体形状に対応して電磁シールドを形成することができる。このような電磁シールドは、放電容器１１への密着性が極めて高いので、後述の実施の形態におけるエキシマランプのように電磁シールドと内側封止壁部との間で誘電体バリア放電を生じさせる場合に、放電を安定的に形成することができる。

放電容器１１内における放電空間Ｓには、放電用ガスが封入されている。放電用ガスとしては、キセノンガス、アルゴンと塩素との混合ガスなどを用いることができる。放電用ガスの封入圧は、放電空間Ｓの厚みによって異なるが、例えば０．０１〜０．５ＭＰａである。

上記のエキシマランプにおいては、低圧側電極１７および高圧側電極１８の間に約数十ｋＨｚの高周波電圧が印加されると、放電容器１１の放電空間Ｓ内における、互いに対向する低圧側電極１７と高圧側電極１８との間において誘電体バリア放電が生じる。その結果、放電空間Ｓ内にエキシマが生成され、これにより、エキシマ光（中心波長：１７２ｎｍ）が光取出し窓１５を介して放射される。

このようなエキシマランプにおいては、光取出し窓１５の外周面に低圧側電極１７と電気的に接続された金属メッシュよりなる電磁シールド２０が設けられている。従って、ランプ点灯時に当該エキシマランプの周囲に強い電磁界が形成された場合にも、光放射方向への当該電磁界の漏れを防止することができる。その結果、電磁界に感受性を有する被照射物に光を照射する場合に、当該被照射物における静電破壊の発生を有効に防止することができる。

＜第２の実施の形態＞
本発明の第２の実施の形態に係るエキシマランプは、図２に示されるように、高圧側電極１８Ａが、光取出し窓１５に対向する内周壁部１３の内側封止壁部１４の内面に伸びるよう形成されたものである。具体的には、内周壁部１３の内周面に密接して配置された、両端が開放された円筒状の電極部材１８Ａ１と、光取出し窓１５に対向する内周壁部１３の内側封止壁部１４の内面に密接して配置された板状の電極部材１８Ａ２とが一体となって高圧側電極１８Ａを構成している。
上記の構成以外は第１の実施の形態に係るエキシマランプと同様の構成を有する。

このエキシマランプにおいて、低圧側電極１７および高圧側電極１８Ａの間に約数十ｋＨｚの高周波電圧が印加されると、放電容器１１の放電空間Ｓ内において誘電体バリア放電が生じる。具体的には、低圧側電極１７とこれと対向する高圧側電極１８Ａを構成する電極部材１８Ａ１との間、および、電磁シールド２０とこれと対向する高圧側電極１８Ａを構成する電極部材１８Ａ２との間において、誘電体バリア放電が生じる。その結果、放電空間Ｓ内にエキシマが生成され、これにより、エキシマ光（中心波長：１７２ｎｍ）が光取出し窓１５を介して放射される。

このような第２の実施の形態に係るエキシマランプによれば、上記の第１の実施の形態に係るエキシマランプと同様の効果を得ることができる。
さらに、このエキシマランプにおいては、誘電体バリア放電が、低圧側電極１７と高圧側電極１８Ａを構成する電極部材１８Ａ１との間に加えて、電磁シールド２０と高圧側電極１８Ａを構成する電極部材１８Ａ２との間においても生じる。このために、当該エキシマランプから放射される光が円形のものとなるので、第１の実施の形態に係るエキシマランプと比較して高い照度の光を放射することができる。なお、第１の実施の形態に係るエキシマランプから放射される光は、ドーナツ状の光である。

＜第３の実施の形態＞
本発明の第３の実施の形態に係るエキシマランプは、図３に示されるように、球面状の外周面を有する光取出し窓１５Ａと、球面状の内周面を有する内側封止壁部１４Ａとを有し、当該光取出し窓１５Ａと内側封止壁部１４Ａとの離間距離が均一である放電容器１１Ａを有するものである。なお、図３においてＪは外周壁部１２と光取出し窓１５Ａとの接合部である。
光取出し窓１５Ａは、ｒ＝３０の球面状の外周面を有する。また、内側封止壁部１４Ａは、ｒ＝１８の球面状の内周面を有する。
放電空間Ｓにおける光取出し窓１５Ａと内側封止壁部１４Ａとの離間距離は、例えば１０ｍｍとされる。
上記の構成以外は第２の実施の形態に係るエキシマランプと同様の構成を有する。

このような第３の実施の形態に係るエキシマランプによれば、上記の第２の実施の形態に係るエキシマランプと同様の効果を得ることができる。
さらに、このエキシマランプにおいては、光取出し窓１５Ａが球面状の外周面を有する形状であることによって光放射方向に垂直な方向へ放射する光の成分を増大させて放電容器１１Ａの光放射方向への正射影よりも広い範囲に光が照射することができる。従って、複数のエキシマランプを面状に並べた光源において、ランプ同士の離間距離を大きくしても、ランプを緻密に並べた場合の放電容器１１Ａの光放射方向への正射影の隙間にも光を照射することができるので、被照射物における照度の高い均一性が得られる。

＜第４の実施の形態＞
本発明の第４の実施の形態に係るエキシマランプは、図４に示されるように、電磁シールド２０Ａが、外周壁部１２と光取出し窓１５Ａとの接合部Ｊと対向しない状態で設けられている。
上記の構成以外は第３の実施の形態に係るエキシマランプと同様の構成を有する。

このような第４の実施の形態に係るエキシマランプによれば、上記の第３の実施の形態に係るエキシマランプと同様の効果を得ることができる。
さらに、電磁シールド２０Ａが設けられていない接合部Ｊ付近において誘電体バリア放電の発生が抑制されるので、当該接合部Ｊに照射される紫外線の量が低く抑制される。従って、接合部Ｊの内部に残留応力が発生していても、当該接合部Ｊ付近の破損が生じにくく、その結果、当該エキシマランプを長寿命のものとすることができる。
なお、接合部Ｊ付近に電磁シールド２０Ａが設けられていないことによって、僅かに電磁界の漏れが生じると考えられるが、光放射方向に広がる傘状に平たい電磁界に変化するため、電磁シールドを全く設けない場合と比較して被照射物における静電破壊の発生は極めて小さくなる。

＜第５の実施の形態＞
本発明の第５の実施の形態に係るエキシマランプは、図５に示されるように、光取出し窓１５Ｂが外周壁部１２と一体的に形成されたものであり、かつ、光取出し窓１５Ｂと対向する内側封止壁部１４Ｂが内周壁部１３と一体的に形成された放電容器１１Ｂを有するものである。具体的には、放電容器１１Ｂが、試験管状の有底円筒体１２Ｘ内に、当該有底円筒体１２Ｘの内径より小さい外径の試験管状の有底円筒体１３Ｘが、外側の有底円筒体１２Ｘの管軸に沿って配置された構成を有するものとされている。
光取出し窓１５Ｂは、ｒ＝２３の球面状の外周面を有する。また、内側封止壁部１４Ｂは、ｒ＝１３の球面状の内周面を有する。
上記の構成以外は第３の実施の形態に係るエキシマランプと同様の構成を有する。

このような第５の実施の形態に係るエキシマランプによれば、上記の第３の実施の形態に係るエキシマランプと同様の効果を得ることができる。
さらに、第３の実施の形態に係るエキシマランプのような接合部を有さないので、残留応力が発生することがない。また、応力が集中することが抑制される。さらに、放電容器の作製時に十分にアニールを行うことができるために、加工歪みを底部付近から胴部に逃がすことができる。これらのことから、紫外線による歪みが発生しても、放電容器の破損が生じにくく、その結果、当該エキシマランプを長寿命のものとすることができる。

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。
例えば、上記のエキシマランプにおいては、光取出し窓から内側封止壁部までの距離が、放電距離（外周壁部と内周壁部との距離）と同一の大きさであるものとして説明したが、これに限定されるものではない。具体的には、第２の実施の形態〜第５の実施の形態に係るエキシマランプにおいては、光取出し窓から内側封止壁部までの距離を放電距離よりも大きくまたは小さく設計することによって、照度や円形放射領域の分布を適宜に変更することができる。

＜実施例１＞
図１に示される形状のエキシマランプ〔１〕を作製した。具体的には以下の通りである。
・外周壁部；材料：合成石英ガラス、外径：４６ｍｍ、肉厚：３ｍｍ、全長：１２０ｍｍ
・内周壁部；材料：合成石英ガラス、外径：１６ｍｍ、肉厚：１ｍｍ、全長：１０７ｍｍ
・外周壁部の内周面と内周壁部の外周面との距離；１０ｍｍ
・光取出し窓；材料：合成石英ガラス、直径：４６ｍｍ、厚さ：２ｍｍ
・光反射膜；材料：シリカ
・低圧側電極および高圧側電極；材料：アルミニウム
・電磁シールド；φ０．１ｍｍであるモネル製のワイヤーを編んだ金属メッシュ
・放電用ガス；キセノンガス（６００Ｔｏｒｒ）

＜比較例１＞
図６に示される形状のエキシマランプ〔２〕を作製した。具体的には、電磁シールドを設けなかったこと以外は上記エキシマランプ〔１〕と同様の構成のものである。

以上のエキシマランプ〔１〕、〔２〕について、電磁界ダメージテストを行った。
電磁界ダメージテストは、エキシマランプの光取出し窓の直下に、１５ｍｍ離間させて被照射物であるステンレス板（縦１００ｍｍ×横１００ｍｍ×厚さ０．５ｍｍ）を配置した。
そして、給電装置から電極に８０ｋＨｚの高周波電圧を印加し、エキシマランプを発光させた状態において、ステンレス板とアースとの電位差を、ステンレス板に接続したオシロスコープによって測定した。

電磁界ダメージテストを行った結果、比較例に係るエキシマランプ〔２〕においては、ステンレス板とアースとの間に５ｋＶの電位差が発生していたのに対して、本発明の実施例に係るエキシマランプ〔１〕においてはステンレス板とアースとの間に電位差は生じなかった。

１ 放電容器
２ 外周壁部
３ 内周壁部
４ 内側封止壁部
５ 光取出し窓
６ 外側封止壁部
７ 低圧側電極（外側電極）
８ 高圧側電極（内側電極）
９ 給電装置
１１、１１Ａ、１１Ｂ 放電容器
１２ 外周壁部
１２Ｘ 有底円筒体
１３ 内周壁部
１３Ｘ 有底円筒体
１４、１４Ａ、１４Ｂ 内側封止壁部
１５、１５Ａ、１５Ｂ 光取出し窓
１６ 外側封止壁部
１７ 低圧側電極（外側電極）
１８、１８Ａ 高圧側電極（内側電極）
１８Ａ１、１８Ａ２ 電極部材
１９ 光反射膜
２０、２０Ａ 電磁シールド
２５ 給電装置
Ｊ 接合部
Ｓ 放電空間

Claims (3)

1. 円管状の外周壁部と、この外周壁部内にその管軸に沿って配置された、当該外周壁部の内径より小さい外径の円管状の内周壁部とを有し、当該外周壁部と内周壁部との間に放電空間が形成された、誘電体よりなる二重管構造の放電容器を有し、
   前記外周壁部は、その一端部が内周壁部の一端部より外方に突出するよう配置され、当該外周壁部の一端には、その開口を気密に塞ぐよう光取出し窓が設けられ、
   前記内周壁部の一端に、その開口を気密に塞ぐよう内側封止壁部が形成されると共に、前記外周壁部および内周壁部の各々の他端部が外側封止壁部によって気密に接合され、
   前記外周壁部の外周面上の少なくとも一部に低圧側電極が設けられると共に、前記内周壁部の内周面上の少なくとも一部に高圧側電極が設けられ、
   前記放電容器内にエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてなるエキシマランプにおいて、
   前記光取出し窓の外周面に、前記低圧側電極と電気的に接続された金属メッシュよりなる電磁シールドが設けられていることを特徴とするエキシマランプ。
2. 前記高圧側電極が、その一部が前記光取出し窓に対向する内周壁部の内側封止壁部の内面に位置するよう設けられていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
3. 前記光取出し窓が球面状の外周面を有すると共に前記内周壁部の内側封止壁部が球面状の内周面を有し、当該光取出し窓とこれに対向する内側封止壁部との離間距離が均一であることを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。
   
   
   
   

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