TWI488217B - Excimer lamp - Google Patents

Description

準分子燈

本發明係關於於放電容器內形成反射膜的準分子燈，尤其，關於於該反射膜形成光監視用之採光口的準分子燈者。

先前，作為準分子燈，公知有於除了放電容器之內面的光放射面的部分，形成由反射紫外光之氧化矽主體的微粒子所成的反射膜者。於此種燈中，於放電容器之光放射面的外表面，為了達成取出光之本來的功能，例如使用將金膠塗佈成格子狀之網目狀的透光性電極。

另一方面，作為形成於對向於前述光放射面之不取出光的非光射出面之外表面的外部電極，功能上不需要有透光性，但是，大多狀況中，根據製造工程的簡素化及在該放電容器內產生之放電的穩定性等的觀點，與前述光放射面相同，直接使用透光性電極來進行。

然而，於各種紫外光照射裝置之準分子燈中，根據被要求紫外光的穩定放射，進行監視其紫外光的光量，為此，於反射膜的一部分形成採光口，監視從該採光口取出之紫外光。

此種技術係例如可從日本特開2010-225343號公報等得知。

於圖7、圖8及圖9揭示此先前技術。圖7係準分子 燈的俯視圖，圖8係圖7的A-A剖面圖，圖9係圖7的B-B剖面圖。於圖中，準分子燈20具有由石英玻璃等所成的放電容器21。以金膠等形成為網目狀之一對透光性外部電極22、23對向形成於該放電容器21的外表面。然後，於放電容器21的內表面，除了光放射面之外，形成反射膜24。

於此反射膜24的一部分形成採光口25，於其上方配置光監視器26，監視從放電容器21放射之紫外光。

再者，於此先前例中，於前述外部電極22、23的端部形成有平塗狀電極27，於放電容器21內形成有作為始動輔助電極的導電體28。

然而，於該先前技術中，因為形成於反射膜24之採光口25的輪廓線25a形成為與網目狀之透光性電極23的素線23a直線連續地重疊，在對外部電極22、23之間施加電壓時，如圖10所示，在放電容器21內部，電場容易集中於形成採光口25之輪廓線25a的反射膜24之邊緣部份24a，放電X易於集中於該邊緣部分24a。

為此，在外部電極22、23之間的放電成為不穩定的狀態，利用光監視器檢測從採光口25取出之紫外光的光量時，檢測之訊號值會產生數個峰值而變成雜訊，有無法進行穩定之紫外光的監視之問題。

又，因放電集中在反射膜24的邊緣部分24a而採光口25的中央附近難以產生放電，即使產生放電也變成明顯衰弱的放電。為此，有從採光口25取出之紫外光的光 束量減少，低估利用光監視器檢測之光量的問題。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2010-225343號公報

本發明係有鑑於以上先前技術的問題點所發明者，於放電容器的外表面，設置一對網目狀的透光性外部電極，於前述放電容器的內表面則形成反射膜，並且於該反射膜形成光監視用之採光口的準分子燈中，提供形成前述採光口之輪廓線的反射膜之邊緣部份中不讓放電集中，在放電容器內維持穩定的放電，不使來自採光口之紫外光的光束量減少之構造。

有鑑於前述先前技術的問題點，在本發明中，特徵為形成於設置在放電容器內之反射膜的光監視器用之採光口的輪廓線，與設置於放電容器之外表面的網目狀之透光性電極的素線不會直線重疊。

藉由採用此種構造，放電不會集中於形成採光口之輪廓線的反射膜之邊緣部，在採光口整面產生一樣的放電， 來自採光口之紫外光的光束量不會減少，可達成正常的光監視者。

圖1係揭示本發明之準分子燈的第1實施例的俯視圖，圖2係其B-B剖面圖，圖3係圖2的A部放大圖。

於圖中，於準分子燈1之放電容器2的外表面，設置有將金膠塗佈成格子狀之網目狀的透光性電極3、4。然後，於該放電容器2的內表面，除了光放射面2a之外，形成反射膜5。然後，於該反射膜5之與前述光射出面2a相反側的非光射出面2b之一端，形成有光監視器用的採光口6。

此採光口6如圖示般，作為反射膜5的端部開放之形狀亦可，不開放而作為獨立開口亦可。

然後，尤其從圖3可知，前述採光口6的輪廓線6a係以與網目狀之透光性電極4的素線4a不會直線連續地重疊之方式錯開。

對於為了實現採光口6的輪廓線6a與外部電極4的素線4a不直線連續地重疊來說，如圖4所示，採光口6之輪廓線6a的形狀作為非直線式，例如半圓形狀等亦可，或如圖5所示，以外部電極4的素線4a與放電容器2的軸線存在有角度之方式構成亦可。

再者，於前述實施例中，已塗式於外部電極3、4的端部設置平塗狀的電極7，於相當於其端部之放電容器2 的內面，形成始動輔助電極8者，但是，不一定需要設置該等。

為了證實本發明的效果而進行實驗。

<本發明的燈>

作為本發明的燈，使用如圖1所示之發光長為1540mm，於放電空間內封入0.05MPa的氙氣，採光口6為略矩形狀，且其輪廓線6a與外部電極4的素線4a不直線重疊者。

<比較例的燈>

作為比較例的燈，如圖7所示，準備採光口25的輪廓線25a與外部電極23的素線23a直線重疊之構造者。

將該等燈，以點燈頻率為50KHz，輸入電力為300W的條件來點燈。然後，於圖6揭示測定各燈之紫外光的光量之結果。於圖中，縱軸係表示紫外光之光量的訊號值，橫軸為時間。

於比較例的燈中，光監視器之測定值較低，而且，時間上產生數個峰值，放電不穩定，此係放電集中於反射膜的邊緣部所致。

相對於此，在本發明的燈中，表示光量的訊號值穩定地不會降低。

如上所述，於本發明中，因為使形成於設置在放電容器內面之反射膜的採光口之輪廓線與網目狀之外部電極的 素線不直線連續地重疊，故放電不會集中於形成採光口之反射膜的邊緣部分，可實現在放電容器內穩定的放電，並且可發揮即使在採光口整面也產生均勻的放電，可進行正確之紫外光的監視之效果。

再者，於前述實施例的說明中，放電容器2作為角型管形狀來進行說明，但是並不限定於此，當然也可採用圓型管形狀等之各種形狀。

1‧‧‧準分子燈

2，21‧‧‧放電容器

2a‧‧‧光射出面

2b‧‧‧非光射出面

3‧‧‧透光性外部電極(光射出面側)

4‧‧‧透光性外部電極(非光射出面側)

4a，23a‧‧‧素線

5，24‧‧‧反射膜

6，25‧‧‧採光口

6a，25a‧‧‧輪廓線

7，27‧‧‧平塗狀電極

8‧‧‧始動輔助電極

22，23‧‧‧透光性外部電極

24a‧‧‧邊緣部分

26‧‧‧光監視器

28‧‧‧導電體

[圖1]揭示本發明第1實施例的準分子燈之構造的俯視圖。

[圖2]圖1的B-B剖面圖。

[圖3]圖2的A部放大圖。

[圖4]本發明的第2實施例。

[圖5]本發明的第3實施例。

[圖6]揭示本發明效果的圖表。

[圖7]先前技術的俯視圖。

[圖8]圖7的A-A剖面圖。

[圖9]圖7的B-B剖面圖。

[圖10]圖9的A部放大圖。

1‧‧‧準分子燈

2‧‧‧放電容器

4‧‧‧透光性外部電極(非光射出面側)

5‧‧‧反射膜

6‧‧‧採光口

6a‧‧‧輪廓線

7‧‧‧平塗狀電極

8‧‧‧始動輔助電極

Claims (1)

1. 一種準分子燈，係於放電容器的外表面，設置一對網目狀的透光性外部電極，於前述放電容器的內表面則形成反射膜，並且於該反射膜形成光監視器用之採光口的準分子燈，其特徵為：前述採光口的輪廓線以與前述網目狀之外部電極的素線不會直線重疊之方式形成。