JP2014186987A - 紫外線ランプ及び照射装置 - Google Patents

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Akihiko Tauchi
亮彦 田内
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Abstract

【課題】高照度で高信頼性の紫外線ランプ及び照射装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、発光管と、蛍光体層と、を含む紫外線ランプが提供される。前記発光管は、内部に放電空間が設けられるように両端が封止され、前記放電空間の両端に設けられた一対の電極と、前記放電空間に封入された水銀と、を有し、前記水銀の励起による第1の紫外光を放射する。前記蛍光体層は、前記放電空間の外側に設けられ、前記第1の紫外光の照射により、前記第1の紫外光よりも波長の長い第2の紫外光を放出する。
【選択図】図1

Description

本発明の実施形態は、紫外線ランプ及び照射装置に関する。
例えば、蛍光体を用いて波長を変換した光を放出する紫外線ランプは、電子機器の製造工程に用いられる。蛍光体を用いる紫外線ランプにおいて、照度を高め、信頼性を向上することが求められる。
特開2011−44421号公報
本発明の実施形態は、高照度で高信頼性の紫外線ランプ及び照射装置を提供する。
本発明の実施形態によれば、発光管と、蛍光体層と、を含む紫外線ランプが提供される。前記発光管は、内部に放電空間が設けられるように両端が封止され、前記放電空間の両端に設けられた一対の電極と、前記放電空間に封入された水銀と、を有し、前記水銀の励起による第1の紫外光を放射する。前記蛍光体層は、前記放電空間の外側に設けられ、前記第1の紫外光の照射により、前記第1の紫外光よりも波長の長い第2の紫外光を放出する。
本発明の実施形態によれば、高照度で高信頼性の紫外線ランプ及び照射装置を提供できる。
図1(a)〜図1(c)は、第1の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。 第1の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式的断面図である。 第1の実施形態に係る別の紫外線ランプを例示する模式的断面図である。 第1の実施形態に係る別の紫外線ランプを例示する模式的断面図である。 第2の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式的断面図である。 第3の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。 第4の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。 図8(a)及び図8(b)は、第5の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。 第6の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。 第7の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。 第8の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。 第9の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1の実施形態)
図1(a)〜図1(c)は、第1の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。図1(a)は、紫外線ランプ110を例示している。図1(b)は、図1(a)の一部Bを拡大して例示している。図1(c)は、本実施形態に係る紫外線ランプ150の一部を例示している。また、図2は、図1のA1−A2線断面図である。
図1(a)〜図1(c)及び図2に表したように、本実施形態に係る紫外線ランプ110は、発光管10と、蛍光体層20と、を含む。
本実施形態では、発光管10として、熱陰極放電ランプを用いた実施形態を例示している。
この例では、発光管10は、バルブ11を含む。バルブ11の内部に、放電空間12が設けられる。放電空間12には、例えば、水銀(図示しない)や希ガス(図示しない)が封入される。水銀の封入量は、例えば、0.1〜100mgである。希ガスの圧力は、例えば、0.132〜13.2kPa(0.1〜10torr)である。
この例では、バルブ11は、直管である。バルブ11は、一端に設けられた封止部13aと、他端に設けられた封止部13bと、を有する。封止部13aには、第1電極14aが、その一部分が埋設して設けられ、封止部13bには、第2電極14bが、その一部分が埋設して設けられている。
封止部13a、13bには、バルブ11と同一の材料が用いられる。
第1電極14aは、例えば、フィラメント15a、リード線16a、16a、金属箔17a、17a、及び、内部リード線18a、18aを含む。フィラメント15aは、例えば、コイルを三重巻にした、いわゆるトリプルコイルである。フィラメント15aには、例えば、タングステンが用いられる。また、電子放射性をよくするために、フィラメント15aのコイルの隙間には、エミッタ(図示しない)が塗布されている。エミッタには、例えば、カルシウム、バリウム、ジルコニウム及びストロンチウムの少なくともいずれかの炭酸塩などが用いられる。
リード線16a、16aは、一端でフィラメント15を保持して接続され、他端が金属箔17aと接続される。リード線16a、16aには、例えば、モリブデン棒が用いられる。
金属箔17a、17aは、封止部13aに埋設され、封止部13aが封止されることにより、バルブ11の内部を気密に保つ。金属箔17a、17aの一端には、リード線16a、16aが接続され、金属箔17a、17aの他端には、内部リード線18a、18aが接続される。金属箔17a、17により、バルブ11の内部と外部との電気的接続を得る。金属箔17a、17aの線膨張係数は、例えば、バルブ11の線膨張係数と実質的に等しい。
金属箔17a,17aには、例えば、モリブデンが用いられる。
内部リード線18a、18aには、例えば、導電性の金属が用いられる。内部リード線18a、18aには、例えば、モリブデンが用いられる。
第2電極14bには、第1電極14aと同様の構成が適用される。第2電極14bは、フィラメント15b、リード線16b、16b、金属箔17b、17b、内部リード線18b、18bを含む。
発光管10としては、例えば、熱陰極ランプが用いられる。熱陰極ランプにおいては、上記のように、発光管10には、フィラメント15aを有する第1電極14aと、フィラメント15bを有する第2電極14bと、が設けられる。第1電極14aの一部及び第2電極14bの一部は、放電空間12内に設けられる。放電空間12は、金属をさらに含む。具体的には、Zn、Pb、Au、Sn、Bi及びInの少なくとも1つを含む。
このように、発光管10は、放電空間12を含み、水銀輝線を含む第1の紫外光を放出する。第1の紫外光は、253.7nmの水銀輝線を含む。
蛍光体層20は、放電空間12の外側に設けられる。この例では、放電空間12と蛍光体層20との間に、バルブ11の壁部が設けられることで、放電空間12と蛍光体層20とは、互いに離隔される。この例では、蛍光体層20と、バルブ11と、の間に、更に空間30が設けられる。空間30には不活性ガス(例えば窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス)が充填されている。
この例では、バルブ11の周りに、外管21が設けられている。外管21の内壁に、蛍光体層20が設けられている。蛍光体層20は、発光管10の少なくとも一部を覆う。外管21には、例えば、石英が用いられる。
蛍光体層20には、発光管10から放射された第1の紫外光が照射される。すなわち、蛍光体層20は、253.7nmの水銀輝線の少なくとも一部を吸収する。蛍光体層20は、第1の紫外光とは異なる第2の紫外光を放出する。第2の紫外光の波長は、第1の紫外光の波長よりも長い。第2の紫外光の波長(ピーク波長)は、例えば、280nm以上400nm以下である。すなわち、第2の紫外光は、例えば、紫外線である。この例では、第2の紫外光は、外管21を通過して、外部に放出される。この例では、紫外線の透過率が高い石英を外管21に用いることで、外管21における、紫外線の吸収が抑制でき、第2の紫外光の照度は高い。なお、第2の紫外光は、第1の紫外光のように単一波長の紫外光である必要はなく、例えば、360nmにピークを有する、280〜400nmのブロードな分光分布を有していてもよい。
図1(c)は、本実施形態に係るバルブ11と、外管21との接続様式、および外管21の封止を例示している。
図1(c)に表したように、紫外線ランプ110においては、外管21は、ピンチシール構造を有している。外管21は、側面部21cと、端部21dと、を有している。端部21dは、外管21の封止部(封着部)である。端部21dにおいては、バルブ11の内部リード線18a、18aの端(金属箔17aと接続されていない側の端)と、外部金属箔22、22と、外部リード線31a、31aと、が設けられている。
外部金属箔22、22は、端部21dに埋設され、封止されることにより、外管21の内部を気密に保つ。また、外部金属箔22、22により、外管21の内部と外部との電気的接続を得る。外部金属箔22、22には、例えば、モリブデンが用いられる。
外部リード線31a、31aは、外管21内に設けられたバルブ11に、紫外線ランプ110の外部から電力を供給する。外部リード線31a、31aの一端は、外部金属箔22、22と接続される。外部リード線31a、31aの他端は、外管21の外側に露出している。外部リード線31a、31aには、例えば、モリブデンが用いられる。
このように、本実施形態に係る紫外線ランプ110は、2重管構造を有する。2重管構造においては、内管となる発光管10の外側に外管21が設けられる。発光管10の放電空間以外の位置に、蛍光体層20が設けられる。そして、バルブ11の周囲は、例えば、窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガスで密閉される。
ここで、一般照明に用いられる蛍光ランプと同じように、発光管の放電空間内に蛍光体層を設ける参考例と比較する。本実施形態の紫外線ランプと、参考例の紫外線ランプとを1[A]で点灯したときにおいては、蛍光体層の特性が劣化し易いことが分かった。その理由は、本実施形態と参考例との適切な電流値が異なるためである。参考例の適切な電流値は0.8[A]程度である。一方、本実施形態の適切な電流値は1〜4[A]である。電流値が上昇すれば、放電空間の温度が上昇するため例えば、加えられる温度により蛍光体劣化する。また、放電空間の温度が上昇するため、励起状態の水銀または希ガス元素が蛍光体へより衝突しやすくなり蛍光体が劣化し、蛍光体における変換効率が低下する。また、例えば、蛍光体に水銀が付着しやすくなり、蛍光体における変換効率が低下する。また、例えば、電流値が増大することで、蛍光体に253.7nmの光が照射されることでも、蛍光体が劣化する場合がある。これらの要因により、参考例においては、照度が低下し、照度の維持が困難である。
本実施形態においては、発光管10の放電空間12と、蛍光体層20と、を離間させる。これにより、蛍光体層20における劣化が抑制でき、照度の維持率が高い。本実施形態によれば、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。
紫外線ランプは、例えば、液晶パネルの製造工程において用いられる。製造工程中の硬化工程において、紫外線ランプから出射する光(例えば紫外線)が、加工体に照射される。この光の照度は、例えば1mJ以上10,000mJ以下であり、光の波長(例えば、ピーク波長)は、例えば、300nm以上400nm以下である。このような紫外線を、液晶パネルに含まれる部材となる材料、例えば紫外線硬化樹脂や重合開始剤に照射して、材料を硬化させたり、分子を重合させることで、液晶パネルが製造される。
このような紫外線を出射する紫外線ランプとして、一般照明用途の熱陰極蛍光ランプに用いられる、バルブ内面に塗布される蛍光体を、280nm以上400nm以下の波長範囲で発光する蛍光体(UV蛍光体)に変更する構成がある。しかしながら、この構成においては、蛍光体が一般照明用の蛍光体に比べて劣化し易いことが、発明者の検討により判明した。
本実施形態に係る紫外線ランプ110によれば、このような用途に使用可能な、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。
さらに、一般照明用途の熱陰極蛍光ランプにおいては、ランプの管の材料として、例えば、ソーダ石灰ガラスまたは軟質ガラスが用いられる。これらの材料における300nmの波長の光に対する透過率は低い。このため、一般照明用途の熱陰極蛍光ランプに用いられる蛍光体をUV蛍光体に変更する構成においては、得られる紫外線の照度が低い。照度が低いと、例えば、上記の製造工程において硬化のための時間が長くなり、生産性が低い。
本実施形態に係る紫外線ランプ110においては、外管21として紫外線に対する透過率が高い材料(例えば石英)を用いることで、高い照度が得られる。これにより、製造工程における生産性は高い。
図3は、第1の実施形態に係る別の紫外線ランプを例示する模式的断面図である。
図3に表したように、本実施形態に係る別の紫外線ランプ111においては、蛍光体層20は、発光管10のバルブ11の外表面に設けられている。そして、蛍光体層20と外管21との間に、空間30が設けられ、空間30に不活性ガス(例えば窒素ガス、ヘリウムガス、アルゴンガス)が充填されている。それ以外は、紫外線ランプ110と同様とすることができるので説明を省略する。紫外線ランプ111においても、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。
図4は、第1の実施形態に係る別の紫外線ランプを例示する模式的断面図である。
図4に表したように、本実施形態に係る別の紫外線ランプ112においては、外管21の内側面の第1部分21a上に蛍光体層20が設けられ、外管21の内側面の第2部分21b上に反射層40が設けられる。例えば、反射層40における、第1の紫外光及び第2の紫外光の少なくともいずれかの光に対する反射率は、外管21における、第1紫外光及び第2の紫外光の少なくともいずれかのその光に対する反射率よりも高い。反射層40には、例えば、酸化珪素または酸化アルミニウムを用いることができる。
第1部分21aの面積は、第2部分21bの面積に実質的に等しく設定できる。また、第1部分21aの面積は、第2部分21bの面積の0.7倍以上1.5倍以下でも良い。第1部分21aの面積が、第2部分21bの面積の0.7倍よりも小さくなると、反射層40により反射され、蛍光体層20に照射される反射光が少なくなり、反射層40を設ける効果が少なくなるためである。一方、第1部分21aの面積が、第2部分21bの面積の1.5倍よりも大きくなると、反射層40により反射される反射光のうち、蛍光体層20に照射される光量が少なくなり、反射層40を設ける効果が少なくなるためである。よって、第1部分21aの面積は、第2部分21bの面積に実質的に等しく設定できるばかりでなく、第1部分21aの面積が、第2部分21bの0.7倍以上1.5倍以下でも良い。
紫外線ランプ112においても、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。また、紫外線ランプ112においては、必要な方向に選択的に第2の紫外光を放出できる。これにより、更に高い効率が得られる。
上記の紫外線ランプ110、111及び112において、発光管10のバルブ11の外径は、例えば、5mm以上25mm以下である。外管21の外径は、例えば、9mm以上40mm以下である。
(第2の実施形態)
図5は、第2の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式的断面図である。
図5に表したように、本実施形態に係る紫外線ランプ120において、蛍光体層20は、平面部分を有する。この例では、外管21の一部に平面部分が設けられ、外管21の形状に沿って、蛍光体層20も平面部分を有する。
外管21を外管21の延在方向に対して垂直な平面で切断したときの、外管21の断面形状は、例えば、多角形(四角形を含む)である。このように、外管21の形状(蛍光体層20の形状)は、任意である。
このように、外管21の断面形状を多角形とすることにより、外管21の断面形状を円形とするときに比べて、紫外線ランプ同士をより隙間なく緻密に配置することが可能となる。
本実施形態においても、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。紫外線ランプ120の構成を、紫外線ランプ110、111及び112に適用しても良い。
(第3の実施形態)
図6は、第3の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。
図6に表したように、本実施形態に係る紫外線ランプ130においては、発光管10のバルブ11は、U字状である。すなわち、バルブ11は、第1部分11aと、第2部分11bと、第3部分11cと、を含む。第1部分11a及び第2部分11bは、第1方向に沿って延在する。第2部分11bは、第1方向に対して交差(この例では直交)する第2方向に沿って、第1部分11aと並ぶ。第3部分11cは、第1部分11aの一端と、第2部分11bの一端と、を接続する。この例では、第1部分11aの他端に、第1電極14aが設けられる、第2部分11bの他端に、第2電極14bが設けられる。
第3部分11cは、バルブ11の折り曲げ部となる。このように、実施形態において、バルブ11に折り曲げ部が設けられても良い。折り曲げ部の数は、1でも良く、2以上でも良い。例えば、バルブ11は、S字形状や、W字形状を有しても良い。このように、バルブ11に折り曲げ部を設けることにより、複数灯の紫外線ランプを用いなくても、より広範囲に紫外線を照射することが可能となる。
本実施形態においても、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。
本実施形態に係る構成は、第1及び第2の実施形態に係る紫外線ランプ及びその変形に適用しても良い。
(第4の実施形態)
図7は、第4の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。
図7に表したように、本実施形態に係る紫外線ランプ140においては、複数の発光管10が設けられる。複数の発光管10のそれぞれが、1つの方向に延在する形状を有している場合、複数の発光管10のそれぞれにおける延在方向は、例えば、互いに平行に設定できる。複数の発光管10の少なくとも2つにおける延在方向が、互いに交差しても良い。このように、複数の発光管10を設けることにより、紫外線ランプに用いられる発光管の光量が小さくても、発光管10を複数用いることで、紫外線ランプとしての光量を増大することが可能となる。
本実施形態においても、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。
本実施形態に係る構成は、第1〜第3の実施形態に係る紫外線ランプ及びその変形に適用しても良い。
(第5の実施形態)
図8(a)及び図8(b)は、第5の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。
図8(a)は、本実施形態に係る紫外線ランプ150の一部を例示している。
図8(a)に表したように、紫外線ランプ150においては、外管21の端部21dは、いわゆるステム構造を有している。
このように、外管21の端部21dがステム構造を有することにより、紫外線ランプの組み立てがより簡略化でき、紫外線ランプの製造を容易にすることが可能となる。
本実施形態においても、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。
本実施形態に係る構成は、第1〜第4の実施形態に係る紫外線ランプ及びその変形に適用しても良い。
図8(b)に示すように、紫外線ランプ155は、外管21の一端から給電される、いわゆる片側給電の紫外線ランプであってもよい。この場合、バルブ11の一端と接続される内部リード線18a、18aに加えて、内部リード線18c、18cが設けられる。内部リード線18c、18cは、バルブ11の他端に設けられた第2電極14bと接続される給電配線19、19と、給電配線19、19と、接続される。
このように、片側給電の構造を採用することにより、紫外線ランプに電力を供給する際に、紫外線ランプの一方に電力供給手段をまとめることができ、紫外線ランプ長手方向のスペースを短くすることが可能となる。
本実施形態においても、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。
(第6の実施形態)
図9は、第6の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。
図9は、本実施形態に係る紫外線ランプ160の一部を例示している。
本実施形態では、発光管10として、冷陰極放電ランプを用いた実施形態を例示している。
図9に表したように、紫外線ランプ160においては、第1電極14aは、リード線16aと、カップ51(カップ電極)と、を含む。カップ51は、例えば、有底開口状を有する。カップ51には、例えば、モリブデンが用いられる。同様に、第2電極14b(図1参照)が設けられ、第2電極14bも、リード線(リード線16aと同様)と、カップ(カップ51と同様)と、を含む。
このように、発光管10として冷陰極放電ランプを用いることにより、熱陰極放電ランプを用いるときに比べて、より長寿命の紫外線ランプを得ることが可能となる。
本実施形態においても、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。
本実施形態に係る構成は、第1〜第5の実施形態に係る紫外線ランプ及びその変形に適用しても良い。
(第7の実施形態)
図10は、第7の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。
図10は、本実施形態に係る紫外線ランプ170の一部を例示している。
本実施形態では、バルブ11として、高圧放電ランプを用いた実施形態を例示している。
図10に表したように、紫外線ランプ170においては、第1電極14aは、金属箔17aと、内部リード線18aと、電極52aと、コイル53aと、を含む。電極52aには、例えば、タングステンが用いられる。電極52aは、例えば、内部にエミッタを含有していてもよい。コイル53aには、例えば、タングステンが用いられる。紫外線ランプ170は、高圧放電ランプである。例えば、放電空間12は、ハロゲン化物を含む。ハロゲン化物は、例えば、よう素及び臭素の少なくともいずれかを含む。紫外線ランプ170は、例えば、メタルハライドランプである。
このように、発光管10として高圧放電ランプを用いることにより、熱陰極放電ランプを用いるときに比べて、より大光量の紫外線ランプを得ることが可能となる。
本実施形態においても、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。
本実施形態に係る構成は、第1〜第5の実施形態に係る紫外線ランプ及びその変形に適用しても良い。
(第8の実施形態)
図11は、第8の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。
図11に表したように、本実施形態に係る紫外線ランプ180においては、蛍光体層20は、ガラス板25の上に設けられている。ガラス板25には、例えば、石英ガラス板が用いられる。蛍光体層20で放出された第2の紫外光は、例えば、ガラス板25を介して、被照射体(被加工物)に照射される。
このように、蛍光体層20をガラス板25の上に設けることにより、発光管10から、更に離れて蛍光体層20が配置されることとなり、蛍光体層の劣化を抑制した紫外線ランプを得ることが可能となる。
本実施形態においても、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。
なお、ガラス板25は、平面状でも良く、曲面状でも良い。
(第9の実施形態)
図12は、第9の実施形態に係る紫外線ランプを例示する模式図である。
図12に表したように、本実施形態に係る紫外線ランプ181においては、筐体26が設けられる。筐体26には、例えば、石英が用いられる。この例では、筐体26の内側面に蛍光体層20が設けられる。筐体26中には、不活性ガス(例えば窒素ガス)が充填されても良い。
このように、蛍光体層20を筐体26の内部に設けることにより、発光管10から、更に蛍光体層20が離れ、更に不活性ガスにより、蛍光体層の劣化を抑制した紫外線ランプを得ることが可能となる。
本実施形態においても、高照度で高信頼性の紫外線ランプが提供できる。
なお、筐体26のうちの、蛍光体層20が設けられる部分は、平面状でも良く、曲面状でも良い。
第8及び第9の実施形態に係る紫外線ランプは、照射装置に利用できる。例えば、図11及び図12に例示したように、実施形態に係る照射装置280及び281は、発光管10と、蛍光体層20と、を含む。
発光管10は、内部に放電空間が設けられるように、両端が封止される。発光管10は、一対の電極と、水銀と、を有す。一対の電極は、放電空間12に対向して、発光管10の両端に設けられる。水銀は、放電空間12に封入される。発光管10は、第1の紫外光を放射する。蛍光体層20は、放電空間12の外側に設けられる。蛍光体層20には、第1の紫外光が照射される。蛍光体層20は、第1の紫外光よりも波長が長い第2の紫外光を放出する。
例えば、発光管10は、水銀を含む放電空間12を含み、253.7nmの水銀輝線を含む第1の紫外光を放射する。蛍光体層20は、放電空間12から離間して設けられる。蛍光体層20には、第1の紫外光が照射される。蛍光体層20は、253.7nmの第1波長の水銀輝線の少なくとも一部を吸収する。蛍光体層20は、第1の紫外光とは異なる第2の紫外光を放出する。蛍光体層20は、例えば、ガラス板25の上に設けられる。蛍光体層20は、例えば、筐体26の面(内側の面)上に設けられる。筐体26中には、不活性ガス(例えば窒素ガス)が充填されても良い。実施形態に係る照射装置180及び281によれば、高照度で高信頼性の照射装置が提供できる。
実施形態によれば、高照度で高信頼性の紫外線ランプ及び照射装置が提供できる。
なお、本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、紫外線ランプ及び照射装置に含まれる発光管、水銀含有部、管部、電極、蛍光体層、導電層、コバール導電層、ガラス板、筐体及び反射層などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述した紫外線ランプ及び照射装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての紫外線ランプ及び照射装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10…発光管、 11…バルブ、 11a、11b、11c…第1、第2、第3部分、 12…放電空間、 13a、13b…封止部、 14a…第1電極、 14b…第2電極、 15a、15b…フィラメント、 16a…リード線、 17a…金属箔、 18a…内部リード線、 18c…内部リード線、 19…給電配線、 20…蛍光体層、 21…外管、 21a…第1部分、 21b…第2部分、 21c…側面部、 21d…端部、 22…外部金属箔、 23…コバール導電層、 24…封着部、 25…ガラス板、 26…筐体、 30…空間、 31a…外部リード線、 40…反射層、 51…カップ、 52a…電極、 53a…コイル、 110、111、112、120、130、140、150、155、160、170、180、181…紫外線ランプ、 280、281…照射装置

Claims (6)

  1. 内部に放電空間が設けられるように両端が封止され、前記放電空間の両端に設けられた一対の電極と、前記放電空間に封入された水銀と、を有し、前記水銀の励起による第1の紫外光を放射する発光管と;
    前記放電空間の外側に設けられ、前記第1の紫外光の照射により、前記第1の紫外光よりも波長の長い第2の紫外光を放出する蛍光体層と;
    を備えた紫外線ランプ。
  2. 前記蛍光体層は、前記発光管の少なくとも一部を覆う請求項1記載の紫外線ランプ。
  3. 前記発光管は、熱陰極ランプであり;
    前記電極は、フィラメントを有する第1の電極と、フィラメントを有する第2の電極と、
    を有し、
    前記放電空間は、金属をさらに含む請求項1または2記載の紫外線ランプ。
  4. 前記発光管は、冷陰極放電ランプであり、
    前記電極は、カップ電極を有する第1の電極と、カップ電極を有する第2の電極と;
    を有する請求項1または2記載の紫外線ランプ。
  5. 前記発光管は、高圧放電ランプであり、
    前記放電空間は、ハロゲン化物をさらに含む請求項1または2記載の紫外線ランプ。
  6. 内部に放電空間が設けられるように両端が封止され、前記放電空間に対向して両端に設けられた一対の電極と、前記放電空間に封入された水銀と、を有し、第1の紫外光を放射する発光管と;
    前記放電空間の外側に設けられ、前記第1の紫外光が照射され、前記第1の紫外光よりも波長が長い第2の紫外光を放出する蛍光体層と;
    を備えた照射装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP7405397B2 (ja) 2019-10-30 2023-12-26 ニッカ株式会社 紫外線硬化樹脂用硬化装置

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