JP2021157902A - エキシマランプ、光照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
紫外光に対して透過性を有する長尺状の発光管と、
前記発光管の径方向に離間して設けられた一対の電極と、
前記発光管の内壁面に形成された反射膜とを備え、
前記反射膜は、
光照射対象領域に向けて光を出射する光出射面と対向する第一反射領域と、
前記光出射面とは異なる位置に設けられた採光部と対向する第二反射領域とを備えることを特徴とする。
前記採光部は、前記発光管の管軸方向に関し、前記発光管の前記光出射面側における有効発光領域とは異なる位置に形成されていても構わない。
前記採光部は、前記光出射面とは反対側に形成されていても構わない。
前記反射膜は、前記第一反射領域を構成する第一反射膜と、前記第二反射領域を構成し、前記第一反射膜と離間した位置に形成された第二反射膜からなるものであっても構わない。
前記第二反射膜は、前記発光管の管軸方向に関し、前記第一反射膜よりも前記発光管の端部側に形成されていても構わない。
上記エキシマランプと、
受光部を有し、前記受光部に入射した光を検知する光量センサとを備え、
前記光量センサは、前記受光部の受光可能領域が前記採光部に含まれるように配置されていることを特徴とする。
以下、別実施形態につき説明する。
2 : エキシマランプ
3 : 光量センサ
3a : 受光部
3s : 受光可能領域
4 : 搬送機構
10 : 発光管
10a : 外壁面
10b : 内壁面
10c : 発光空間
11 : 電極
11h : 光取り出し部
12 : 光出射面
13 : 採光部
14 : 反射膜
14a : 第一反射膜
14b : 第二反射膜
14p : 第一反射領域
14q : 第二反射領域
70 : マスキングテープ
71 : 懸濁液
100 : エキシマランプ
101 : 発光管
101a : 外壁面
102 : 電極
103 : 反射膜
104 : 光出射面
105 : 採光部
G1 : 発光ガス
L1 : 紫外光
W1 : 照射対象物
Claims (6)
- 紫外光に対して透過性を有する長尺状の発光管と、
前記発光管の径方向に離間して設けられた一対の電極と、
前記発光管の内壁面に形成された反射膜とを備え、
前記反射膜は、
光照射対象領域に向けて光を出射する光出射面と対向する第一反射領域と、
前記光出射面とは異なる位置に設けられた採光部と対向する第二反射領域とを備えることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記採光部は、前記発光管の管軸方向に関し、前記発光管の前記光出射面側における有効発光領域とは異なる位置に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記採光部は、前記光出射面とは反対側に形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のエキシマランプ。
- 前記反射膜は、前記第一反射領域を構成する第一反射膜と、前記第二反射領域を構成し、前記第一反射膜と離間した位置に形成された第二反射膜からなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のエキシマランプ。
- 前記第二反射膜は、前記発光管の管軸方向に関し、前記第一反射膜よりも前記発光管の端部側に形成されていることを特徴とする請求項4に記載のエキシマランプ。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載のエキシマランプと、
受光部を有し、前記受光部に入射した光を検知する光量センサとを備え、
前記光量センサは、前記受光部の受光可能領域が前記採光部に含まれるように配置されていることを特徴とする光照射装置。
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