JPH08153493A - 誘電体バリア放電ランプ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】隣接する円筒状誘電体バリア放電ランプ間の直
下の放射照度が充分に高く、かつ、点灯時間の経過に連
れて照度分布が不均一にならない高効率、高信頼の誘電
体バリア放電ランプ装置を提供する。 【構成】外形が概略円筒状である光透過性の放電容器
と、放電容器の外面の一部の全周に設けた金属網状電極
と、金属網状電極の内側に放電容器と概略同軸に設けた
内側電極と、放電容器内に充填され、誘電体バリア放電
によってエキシマ分子を形成する放電用ガスからなる円
筒状誘電体バリア放電ランプ１ａ〜１ｃと、複数本の前
記ランプを並行に配置して収納し、エキシマ分子から放
出されるエキシマ光を取り出す光取り出し窓２０を有す
るランプハウスと、誘電体バリア放電を行うための電源
を備えた誘電体バリア放電ランプ装置において、隣接し
た前記ランプの間に概略Ｖ字型の光反射板１１，１３を
設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、光化学反応用
の紫外線光源装置の一種で、誘電体バリア放電によって
エキシマ分子を形成し、該エキシマ分子から放射される
光を利用するいわゆる誘電体バリア放電ランプを使用し
た誘電体バリア放電ランプ装置、例えば、シリコンウエ
ハの乾式洗浄装置等の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例え
ば、日本国公開特許公報平４−３０１３５７号があり、
そこには、放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガ
スを充填し、誘電体バリア放電（別名オゾナイザ放電あ
るいは無声放電。電気学会発行改定新版「放電ハンドブ
ック」平成１年６月再版７刷発行第２６３ページ参照）
によってエキシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子か
ら放射される光を利用するランプ、すなわち誘電体バリ
ア放電ランプについて記載されており、該放電容器は円
筒状であり、該放電容器の少なくとも一部は該誘電体バ
リア放電の誘電体を兼ねており、該誘電体は光透過性で
あり、該誘電体の少なくとも一部に金属網状電極が設け
られた円筒状誘電体バリア放電ランプが記載されてい
る。また、複数本の該円筒状誘電体バリア放電ランプを
並行に並べた誘電体バリア放電ランプ装置についても記
載されている。

【０００３】以下、円筒状誘電体バリア放電ランプの概
略図である図５を使用して、一般的な誘電体バリア放電
の概要について説明する。放電容器１は誘電体であるガ
ラス製で、内側管２、外側管３を同軸に配置して中空円
筒状にしたものである。外側管３の外面には光通過性の
誘電体バリア放電用の外側電極４が、内側管２の外面に
はアルミニウムの蒸着によって形成した光反射膜を兼ね
た誘電体バリア放電用の内側電極５がそれぞれ設けられ
ている。また放電容器１の一端には、ゲッタ７を収納す
るゲッタ室６が設けられている。ゲッタ７は放電空間８
における不純ガス（例えばＨ₂ Ｏ等）を除去し、放電を
安定にする機能を持つ。電極４に対面した外側管３の内
表面と電極５に対面した内側管２の内表面の間には放電
空間８が形成される。放電空間８に、誘電体バリア放電
によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、
交流電源１０によって電極４，５に電圧を印加すると、
放電空間８に誘電体バリア放電が安定に発生し、エキシ
マ光が放出される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のような円筒状誘
電体バリア放電ランプは、従来の低圧グロー放電ランプ
やアーク放電ランプには無い種々の特長を有しているた
め有用である。特に、放電容器を概略円筒状にし、該放
電容器の内側に該放電容器と概略同軸に内側電極を設け
た構造にすると、市販のガラス管、セラミックス管等を
流用する事が出来、かつ、構造も簡単になるので製作が
容易になり、従って安価に円筒状誘電体バリア放電ラン
プを提供できるという利点が生じる。従って、複数本の
該円筒状誘電体バリア放電ランプを並列に並べて実質的
な平面光源を形成した誘電体バリア放電ランプ装置は、
平面光源を安価に得られるという利点がある。

【０００５】しかし、本発明者等は、従来の金属網電極
を使用した円筒状誘電体バリア放電ランプを使用した誘
電体バリア放電ランプ装置には、以下のような欠点があ
ることを実験的に発見した。すなわち、金属網電極を使
用した円筒状誘電体バリア放電ランプを複数本並列に並
べた誘電体バリア放電ランプ装置においては、隣接する
誘電体バリア放電ランプの中間部における該光取り出し
窓面上の放射照度が、一本の該誘電体バリア放電ランプ
の配光分布の測定結果を隣接するランプについて重ね合
わせて得られる予想値よりも著しく低いことが判った。
さらに、点灯時間が経過するに従って、該放電容器用ガ
ラスの透過率の劣化などが原因となって、放射照度は低
下するが、この放射照度の低下の割合は、該円筒状誘電
体バリア放電ランプの直下（正面）に比較し、隣接する
誘電体バリア放電ランプの中間部の直下（正面）におい
て著しかった。すなわち、点灯時間が経過するに従って
放射照度分布が不均一になると言う不利点が生じた。エ
キシマ光の中心波長が２００ｎｍ以下の誘電体バリア放
電ランプを使用した誘電体バリア放電ランプ装置におい
ては特に上記の欠点が大きかった。

【０００６】上記の原因は以下のようであると思われ
る。すなわち、円筒状誘電体バリア放電ランプを並行に
並べると、誘電体バリア放電ランプから放出されたエキ
シマ光の一部が、隣接した円筒状誘電体バリア放電ラン
プの金属網電極に吸収されるのが第一の原因である。上
記した欠点は、該金属網電極の反射率を改善することに
よってある程度改善できたが、反射されたエキシマ光の
一部は該金属網電極で多重反射を行ったり、該放電容器
であるガラスを多数回透過することなどによって、大幅
な解消は不可能であった。

【０００７】第二の原因は以下のようであると思われ
る。点灯時間が経過するに従って、該金属網電極の表面
は酸化したり汚染が発生する。また該金属網電極の網目
には埃が溜まる。これらの汚染によって放電容器の実質
的な透過率が低下し光出力が低下する。該円筒状誘電体
バリア放電ランプの直下の放射照度は該光出力の低下に
ほぼ比例して低下するのに対して、隣接する誘電体バリ
ア放電ランプの中間部の直下においては、隣接する誘電
体バリア放電ランプからの反射光の寄与が大きいので、
放電容器の実質的な透過率の低下よりも著しく放射照度
が低下するものと思われる。

【０００８】上記した欠点は、金属網電極を備えた円筒
型誘電体バリア放電ランプを並列に並べた誘電体バリア
放電ランプ装置に特有の現象である。

【０００９】本発明は、以上のような事情に基づいて成
されたものであって、その課題は、少なくとも外形が概
略円筒状である光透過性の放電容器と、該放電容器の外
面の少なくとも一部の全周に設けた金属網状電極と、該
金属網状電極の内側に該放電容器と概略同軸に設けた内
側電極と、該放電容器内に充填され、誘電体バリア放電
によってエキシマ分子を形成する放電用ガスからなる円
筒状誘電体バリア放電ランプと、複数本の該円筒状誘電
体バリア放電ランプを並行に配置して収納し、該エキシ
マ分子から放出されるエキシマ光を取り出す光取り出し
窓を有するランプハウスと、誘電体バリア放電を行うた
めの電源を備えた誘電体バリア放電ランプ装置におい
て、隣接する該円筒状誘電体バリア放電ランプ間の直下
の放射照度が充分に高く、かつ、点灯時間の経過に連れ
て照度分布が不均一にならない高効率、高信頼の誘電体
バリア放電ランプ装置を提供することである。

【００１０】

【問題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１の発明は、少なくとも外形が概略
円筒状である光透過性の放電容器と、該放電容器の外面
の少なくとも一部の全周に設けた金属網状電極と、該金
属網状電極の内側に該放電容器と概略同軸に設けた内側
電極と、該放電容器内に充填され、誘電体バリア放電に
よってエキシマ分子を形成する放電用ガスからなる円筒
状誘電体バリア放電ランプと、複数本の該円筒状誘電体
バリア放電ランプを並行に配置して収納し、該エキシマ
分子から放出されるエキシマ光を取り出す光取り出し窓
を有するランプハウスと、誘電体バリア放電を行うため
の電源を備えた誘電体バリア放電ランプ装置において、
隣接した該円筒状誘電体バリア放電ランプの間に概略Ｖ
字型の光反射板を設けた構成したものである。

【００１１】本発明の請求項２の発明は、本発明の請求
項１の発明において、隣接した該円筒状誘電体バリア放
電ランプの中心軸間の距離Ｘを該円筒状誘電体バリア放
電ランプの直径Ｄの３．５倍以下に構成したものであ
る。

【００１２】本発明の請求項３の発明は、請求項１また
は請求項２のいずれかの発明において、該光取り出し窓
に対面した隣接した該円筒状誘電体バリア放電ランプの
円周の共通の接線を基準にした範囲Ｌを、該接線と該円
筒状誘電体バリア放電ランプの管軸の両者に直角で、該
光取り出し窓から遠ざかる方向に、該円筒状誘電体バリ
ア放電ランプの直径の２５％の長さの範囲としたとき、
該Ｖ字型光反射板の頂点がＬの範囲内に存在するように
構成したものである。

【００１３】

【作用】本発明の請求項１の発明においては、少なくと
も外形が概略円筒状である光透過性の放電容器と、該放
電容器の外面の少なくとも一部の全周に設けた金属網状
電極と、該金属網状電極の内側に該放電容器と概略同軸
に設けた内側電極と、該放電容器内に充填され、誘電体
バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガス
からなる円筒状誘電体バリア放電ランプと、複数本の該
円筒状誘電体バリア放電ランプを並行に配置して収納
し、該エキシマ分子から放出されるエキシマ光を取り出
す光取り出し窓を有するランプハウスと、誘電体バリア
放電を行うための電源を備えた誘電体バリア放電ランプ
装置において、隣接した該円筒状誘電体バリア放電ラン
プの間に概略Ｖ字型の光反射板を設けた構成にしたの
で、該円筒状誘電体バリア放電ランプから放出され、隣
接する誘電体バリア放電ランプに向かうエキシマ光は、
該概略Ｖ字型の光反射板で反射されて該光取り出し窓に
向かうので、隣接する誘電体バリア放電ランプに直接入
射して該金属網電極に吸収される事がなくなり、その結
果、隣接する誘電体バリア放電ランプ間の直下の放射照
度が充分に高くなり、高効率の誘電体バリア放電ランプ
装置が得られる。

【００１４】本発明の請求項２の発明においては、請求
項１の発明において、隣接した該円筒状誘電体バリア放
電ランプの中心軸間の距離Ｘを該円筒状誘電体バリア放
電ランプの直径Ｄの３．５倍以下に構成したので、該光
取り出し窓に入射するエキシマ光の量が増大し、請求項
１の効果に加えて、高放射照度の誘電体バリア放電ラン
プ装置が得られる。該概略Ｖ字型の光反射板を設けない
場合には、隣接した該円筒状誘電体バリア放電ランプの
中心軸間の距離Ｘを該円筒状誘電体バリア放電ランプの
直径Ｄの３．５倍以下に構成すると、隣接する誘電体バ
リア放電ランプの金属網電極によるエキシマ光の吸収が
著しく大きくなり、その結果、光取り出し効率の低下
や、点灯時間の経過に連れての放射照度分布の不均一の
拡大が発生するという欠点が著しく大きくなる。なお、
この発明における該円筒型誘電体バリア放電ランプの外
径Ｄとは、放電容器に装着した状態で測定された網状電
極の厚みも含めた外径である。たとえば、直径ｄｍｍの
素線を交差させた円筒状網を直径Ｚｍｍの放電容器に装
着した場合、該導電性網状電極の厚みも含めたランプの
外径Ｄは、素線の「網を作る時のよりによる重なり」の
関係でｄの４倍とＺの和になる。

【００１５】本発明の請求項３の発明においては、請求
項１または請求項２のいずれかの発明において、該光取
り出し窓に対面した隣接した該円筒状誘電体バリア放電
ランプの円周の該光取り出し窓に対面した共通の接線を
基準にした範囲Ｌを、該接線と該円筒状誘電体バリア放
電ランプの管軸の両者に直角で、該光取り出し窓から遠
ざかる方向に、該円筒状誘電体バリア放電ランプの直径
の２５％の長さとしたとき、該Ｖ字型光反射板の頂点が
Ｌの範囲内に存在するように構成したので、請求項１ま
たは請求項２のいずれかの発明の作用がより顕著に発揮
される。なお、該Ｖ字型光反射板の頂点が該接線よりも
該光取り出し窓側に延長されて存在しても、誘電体バリ
ア放電ランプから放出されたエキシマ光が隣接した該円
筒状誘電体バリア放電ランプに入射するのを防ぐ効果は
大きくならず、むしろ、エキシマ光の取り出し効率が低
下するという欠点が生じた。また、該Ｖ字型光反射板の
頂点が該範囲Ｌよりも該光取り出し窓から遠ざかった位
置に存在する場合には、誘電体バリア放電ランプから放
出されたエキシマ光が隣接した該円筒状誘電体バリア放
電ランプに入射するのを防ぐ効果が充分では無く、光取
り出し効率の改善の効果が少なくなった。

【００１６】

【実施例】本発明の第一の実施例である誘電体バリア放
電ランプ装置の概略図を図１に示す。図１は、円筒状誘
電体バリア放電ランプの管軸方向から見た断面を示した
説明図である。本実施例における円筒状誘電体バリア放
電ランプ１ａ，１ｂ，１ｃは図５のランプの構成と同一
であり、放電容器１は全長約２５０ｍｍの合成石英ガラ
ス製で、外径１６ｍｍ、肉厚１ｍｍの内側管２、外径約
２６．５ｍｍ、肉厚１ｍｍの外側管３を同軸に配置して
中空円筒状にしたものである。外側管３は誘電体バリア
放電の誘電体バリアと光取り出し窓部材を兼用してお
り、その外面に光を透過する金属網からなる外側電極４
が設けられている。金属網の管軸方向の長さは、２００
ｍｍである。網状電極４は、直径０．１５ｍｍのモネル
線を軸方向に伸縮性のあるシームレスに編んだ円筒状網
で、該円筒状金属網のなかに放電容器１を挿入し、ラン
プの軸方向に引っ張ることによって外側管３の外側に密
接された網状電極４が形成される。従って、該円筒型誘
電体バリア放電ランプの外径Ｄは、約２７．１ｍｍにな
る。また、内側管２の外面にはアルミニウムの蒸着によ
って形成した光反射膜を兼ねた誘電体バリア放電用の内
側電極５が設けられている。放電容器１の一端には、放
電容器１の管壁を延長してゲッタ収容室６を設ける。こ
のゲッタ収容室６にバリウム合金からなるバリウムゲッ
タ７を収納し、バリウムゲッタ７を高周波加熱してゲッ
タ収容室内にバリウムの薄膜を形成した。そして放電空
間８には放電用ガスとして３０ｋＰａのキセノンガスを
充填した。

【００１７】上記した円筒状誘電体バリア放電ランプ１
ａ，１ｂ，１ｃをランプハウス２１内に収納した。ラン
プの冷却と光反射板を兼ねた冷却ブロック２２と、開口
部の大きさが１７０ｍｍ×１７０ｍｍである合成石英ガ
ラスからなる矩形状光取り出し窓２０と、側板２３によ
って気密なランプハウス２１が形成されている。冷却ブ
ロック２２に冷却用流体の通路２８，２９が設けられて
いる。該円筒状誘電体バリア放電ランプ１ａと１ｂ、１
ｂと１ｃの中心軸間の距離Ｘは６０ｍｍである。したが
って、隣接した該円筒状誘電体バリア放電ランプの中心
軸間の距離Ｘと該円筒状誘電体バリア放電ランプの外径
Ｄの比は、約２．２である。

【００１８】円筒状誘電体バリア放電ランプ１ａと１
ｂ、１ｂと１ｃの間に、アルミニウム板を折り曲げて構
成した長さ１７０ｍｍであるＶ字型の光反射板１１，１
３を設けた。Ｖ字型の光反射板１１，１３の頂点１２，
１４は、該光取り出し窓２０に対面した該円筒状誘電体
バリア放電ランプ１ａ，１ｂ，１ｃの円周の共通の接線
ＰＱＲ上に位置している。該円筒状誘電体バリア放電ラ
ンプ１ａ，１ｂ，１ｃと矩形状光取り出し窓２０の間の
空間２６は、不活性ガス導入口２４から注入した窒素ガ
スで充満されている。２５はガス排出口である。該矩形
状光取り出し窓２０の周囲には、開口部の大きさが１７
０ｍｍ×１７０ｍｍで、高さが１５ｍｍである中空角柱
状のアルミニウム板からなる光反射板２７を設けた。

【００１９】該円筒状誘電体バリア放電ランプ１ａ，１
ｂ，１ｃを、一個の電源１０に並列に接続した。電源の
出力を、周波数は約１３ｋＨｚ、最大値、最小値間電圧
で表したランプへの印加電圧は約１２ｋＶにしたとこ
ろ、該誘電体バリア放電ランプ１ａ，１ｂ，１ｃは、そ
れぞれ約５０Ｗで点灯し、キセノンのエキシマ分子から
放射された波長１７２ｎｍに最大値を有する波長１６０
ｎｍから波長１８０ｎｍの範囲の真空紫外線が放出され
た。該真空紫外線のうち隣接した誘電体バリア放電ラン
プに向かう部分は、Ｖ字型の光反射板１１，１３に反射
されて、光取り出し窓２０に方向転換され、光取り出し
窓２０から放出される。すなわち、真空紫外線の取り出
し効率が増大した。この場合、前記したとおり、該円筒
状誘電体バリア放電ランプ１ａ，１ｂ，１ｃと光取り出
し窓２０の間の空間２６が窒素ガスで充満されているの
で、該真空紫外線は該空間２６で吸収されない。従っ
て、矩形状光取り出し窓２０からは、該円筒状誘電体バ
リア放電ランプ１ａ，１ｂ，１ｃから放出された該真空
紫外線の合計が放出され、従って、該矩形状光取り出し
窓２０は実質的に矩形状の真空紫外線光源となる。

【００２０】１５０ｍｍ×１５０ｍｍのガラスを、空気
中において、上記した誘電体バリア放電ランプ装置の光
取り出し窓２０と約３ｍｍ離して設置し、該誘電体バリ
ア放電ランプ装置で真空紫外線を照射したところ、均一
な放射照度が得られ、その結果、被処理物であるガラス
以外の物質への該真空紫外線の照射が少ない状態で、ガ
ラス上の有機汚染物を均一に酸化除去することが出来
た。

【００２１】本発明の第二の実施例を図２に示す。この
実施例における円筒状誘電体バリア放電ランプ１ａ，１
ｂ，１ｃ、光取り出し窓２０の構成は、本発明の第一の
実施例と同一であり、該円筒状誘電体バリア放電ランプ
１ａと１ｂ、１ｂと１ｃの中心軸間の距離Ｘは６０ｍｍ
である。したがって、隣接した該円筒状誘電体バリア放
電ランプの中心軸間の距離Ｘと該円筒状誘電体バリア放
電ランプの直径Ｄの比は約２．２である。Ｖ字型の光反
射板３１，３３は、ランプハウス２１の壁の一部を兼ね
ており、一枚のアルミニウム板を折り曲げて構成したも
のである。また、Ｖ字型の光反射板３１，３３の頂点３
２，３４の位置Ｙは共通接線ＰＱＲから５ｍｍ上であ
り、該Ｖ字型光反射板の頂点の存在が許容される範囲で
あるＬ内に存在している。なお、この実施例におけるＬ
は６．７７ｍｍである。この実施例は、第一の実施例の
利点に加えて、構造が簡単で、軽量であり、かつ、安価
に製造できるという利点が生じる。

【００２２】本発明の第三の実施例は、第一の実施例に
おいて、Ｖ字型の光反射板の代わりに、Ｖ字の先端を少
し平たんにした図３に示した台形上の光反射板を使用し
たものである。この実施例においては、第一の実施例の
利点に加えて、光反射板の加工が簡単であるという利点
が生じる。

【００２３】本発明の第四の実施例は、第一の実施例に
おいて、Ｖ字型の光反射板の代わりに、Ｖ字の先端近傍
にまるみをもたせた図４に示した砲弾形の光反射板を使
用したものである。この実施例においては、第一の実施
例の利点に加えて、放射照度をより均一に出来るという
利点が生じる。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
次の効果を得ることが出来る。本発明の請求項１の発明
においては、少なくとも外形が概略円筒状である光透過
性の放電容器と、該放電容器の外面の少なくとも一部の
全周に設けた金属網状電極と、該金属網状電極の内側に
該放電容器と概略同軸に設けた内側電極と、該放電容器
内に充填され、誘電体バリア放電によってエキシマ分子
を形成する放電用ガスからなる円筒状誘電体バリア放電
ランプと、複数本の該円筒状誘電体バリア放電ランプを
並行に配置して収納し、該エキシマ分子から放出される
エキシマ光を取り出す光取り出し窓を有するランプハウ
スと、誘電体バリア放電を行うための電源を備えた誘電
体バリア放電ランプ装置において、隣接した該円筒状誘
電体バリア放電ランプの間に概略Ｖ字型の光反射板を設
けた構成にしたので、光取り出し効率が高く、かつ、均
一な照射面を得られる誘電体バリア放電ランプ装置を提
供できる。

【００２５】本発明の請求項２の発明においては、本発
明の請求項１の発明において、隣接した該円筒状誘電体
バリア放電ランプの中心軸間の距離Ｘを該円筒状誘電体
バリア放電ランプの直径Ｄの３．５倍以下に構成したの
で、本発明の請求項１の発明の利点に加えて、高い放射
照度が得られる誘電体バリア放電ランプ装置を提供でき
る。

【００２６】本発明の請求項３の発明においては、請求
項１あるいは請求項２の発明において、該光取り出し窓
に対面した隣接した該円筒状誘電体バリア放電ランプの
円周の共通の接線を基準にした範囲Ｌを、該接線と該円
筒状誘電体バリア放電ランプの管軸の両者に直角で、該
光取り出し窓から遠ざかる方向に、該円筒状誘電体バリ
ア放電ランプの直径の２５％の長さの範囲としたとき、
該Ｖ字型光反射板の頂点がＬの範囲内に存在するように
構成したので、請求項１あるいは請求項２の発明の利点
がより一層発揮できる誘電体バリア放電ランプ装置を提
供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の実施例
の説明図である。

【図２】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の他の実
施例の説明図である。

【図３】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の他の実
施例の要部の説明図である。

【図４】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の他の実
施例の要部の説明図である。

【図５】円筒型誘電体バリア放電ランプの説明図であ
る。

【符号の説明】

１ 放電容器 １ａ，１ｂ，１ｃ 誘電体バリア放電ランプ ２ 内側管 ３ 外側管 ４ 網状電極 ５ 内側電極 ６ ゲッタ収容室 ７ ゲッタ １１，１３ Ｖ字型光反射板 １２，１４ Ｖ字型光反射板の頂点 ２０ 光取り出し窓 ２１ ランプハウス ２２ 冷却ブロック ２７ 光反射板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 五十嵐 龍志 兵庫県姫路市別所町佐土1194番地 ウシオ 電機株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外形が概略円筒状である光透過性の放電
   容器と、該放電容器の外面の少なくとも一部の全周に設
   けた金属網状電極と、該金属網状電極の内側に該放電容
   器と概略同軸に設けた内側電極と、該放電容器内に充填
   され、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成す
   る放電用ガスからなる円筒状誘電体バリア放電ランプ
   と、複数本の該円筒状誘電体バリア放電ランプを並行に
   配置して収納し、該エキシマ分子から放出されるエキシ
   マ光を取り出す光取り出し窓を有するランプハウスと、
   誘電体バリア放電を行うための電源を備えた誘電体バリ
   ア放電ランプ装置において、 隣接した該円筒状誘電体バリア放電ランプの間に概略Ｖ
   字型の光反射板を設けた構成にした事を特徴とする誘電
   体バリア放電ランプ装置。
2. 【請求項２】 隣接した該円筒状誘電体バリア放電ラン
   プの中心軸間の距離Ｘを該円筒状誘電体バリア放電ラン
   プの直径Ｄの３．５倍以下に構成した事を特徴とする請
   求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
3. 【請求項３】 該光取り出し窓に対面した隣接した該円
   筒状誘電体バリア放電ランプの円周の共通の接線を基準
   にした範囲Ｌを、該接線と該円筒状誘電体バリア放電ラ
   ンプの管軸の両者に直角で、該光取り出し窓から遠ざか
   る方向に、該円筒状誘電体バリア放電ランプの直径の２
   ５％の長さの範囲としたとき、該Ｖ字型光反射板の頂点
   がＬの範囲内に存在するように構成したことを特徴とす
   る請求項１または請求項２のいずれかに記載の誘電体バ
   リア放電ランプ装置。