JP2001319510A - 誘電体バリア放電ランプ装置 - Google Patents
誘電体バリア放電ランプ装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 誘電体バリア放電ランプの側面および先端面
の全てから紫外線が放射され、この紫外線を高率良く反
射鏡によって捕捉し被処理物に集光することができる誘
電体バリア放電ランプ装置を提供することにある。 【解決手段】 誘電体バリア放電ランプＣと、反射鏡Ｄ
とよりなる誘電体バリア放電ランプ装置において、誘電
体バリア放電ランプＣは、放電容器１の側面３ａ及び先
端面３ｂが光取り出し部となっており、誘電体バリア放
電ランプの一端側に給電部材８が共に配置されており、
誘電体バリア放電ランプの給電部材８が設けられた一端
側が、反射鏡Ｄの頂部開口Ｄ１に挿通され、他端側が反
射鏡Ｄの前方開口Ｄ２に向けられているとともに、反射
鏡Ｄの光軸に沿って放電容器１が配置され、反射鏡Ｄ
は、反射鏡Ｄの光軸が伸びる方向に複数の反射面（ｄ
１、ｄ２）が連続して設けられていることを特徴とす
る。
の全てから紫外線が放射され、この紫外線を高率良く反
射鏡によって捕捉し被処理物に集光することができる誘
電体バリア放電ランプ装置を提供することにある。 【解決手段】 誘電体バリア放電ランプＣと、反射鏡Ｄ
とよりなる誘電体バリア放電ランプ装置において、誘電
体バリア放電ランプＣは、放電容器１の側面３ａ及び先
端面３ｂが光取り出し部となっており、誘電体バリア放
電ランプの一端側に給電部材８が共に配置されており、
誘電体バリア放電ランプの給電部材８が設けられた一端
側が、反射鏡Ｄの頂部開口Ｄ１に挿通され、他端側が反
射鏡Ｄの前方開口Ｄ２に向けられているとともに、反射
鏡Ｄの光軸に沿って放電容器１が配置され、反射鏡Ｄ
は、反射鏡Ｄの光軸が伸びる方向に複数の反射面（ｄ
１、ｄ２）が連続して設けられていることを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、例えば、塗料の硬
化、表面洗浄、殺菌等に使用される真空紫外線光源の改
良に係り、特に、誘電体バリア放電によってエキシマ分
子を形成し、前記エキシマ分子から放射される光を利用
するいわゆる誘電体バリア放電ランプを使用した誘電体
バリア放電ランプ装置の改良に関する。
化、表面洗浄、殺菌等に使用される真空紫外線光源の改
良に係り、特に、誘電体バリア放電によってエキシマ分
子を形成し、前記エキシマ分子から放射される光を利用
するいわゆる誘電体バリア放電ランプを使用した誘電体
バリア放電ランプ装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】誘電体バリア放電ランプは、図１に示す
ように、誘電体バリア放電ランプＡの放電容器１は、合
成石英ガラス製であり、放電容器１は内側管２と外側管
３とが同軸に配置されていて、両管の間に両端が閉じら
れた中空円筒状の放電空間６が形成されている。放電空
間６には、放電用ガスとしキセノンガスが封入されてい
る。
ように、誘電体バリア放電ランプＡの放電容器１は、合
成石英ガラス製であり、放電容器１は内側管２と外側管
３とが同軸に配置されていて、両管の間に両端が閉じら
れた中空円筒状の放電空間６が形成されている。放電空
間６には、放電用ガスとしキセノンガスが封入されてい
る。
【０００３】外側管３は、誘電体バリア放電のための誘
電体と光取り出し部を兼用している。その外面には光が
通過する導電性網からなる外側電極５が設けられてい
る。内側管２の外面には、光の反射板と誘電体バリア放
電の電極を兼ねた内側電極４が設けられている。そし
て、内側電極４と外側電極５に電源から電圧が印可され
て、紫外線が放出されるものである。
電体と光取り出し部を兼用している。その外面には光が
通過する導電性網からなる外側電極５が設けられてい
る。内側管２の外面には、光の反射板と誘電体バリア放
電の電極を兼ねた内側電極４が設けられている。そし
て、内側電極４と外側電極５に電源から電圧が印可され
て、紫外線が放出されるものである。
【０００４】このような誘電体バリア放電ランプＡは、
放電容器１の外側管３の側面３ａから放射される紫外線
を用いて被処理物を処理するものであり、このように外
側管３の側面３ａ全体を光取り出し窓部とすることによ
り、被処理物における紫外線が照射される紫外線照射領
域が広くなり、被処理物を広範囲で処理することができ
るものである。言い換えれば、このような誘電体バリア
放電ランプＡは、処理面積が大きな被処理物を処理する
ことに適したものである。
放電容器１の外側管３の側面３ａから放射される紫外線
を用いて被処理物を処理するものであり、このように外
側管３の側面３ａ全体を光取り出し窓部とすることによ
り、被処理物における紫外線が照射される紫外線照射領
域が広くなり、被処理物を広範囲で処理することができ
るものである。言い換えれば、このような誘電体バリア
放電ランプＡは、処理面積が大きな被処理物を処理する
ことに適したものである。
【０００５】しかしながら、このような誘電体バリア放
電ランプＡは、光取り出し部である外側管３の側面３ａ
の面積が大きく、側面３ａ全体から紫外線が拡散するよ
うに放射されるので、被処理物上の紫外線放射強度を大
きくすることができなかった。また、外側管３の外方に
樋状の反射鏡を設けたとしても、根本的に光取り出し部
の面積が大きいので十分に大きな紫外線放射強度を得る
ことができなかった。
電ランプＡは、光取り出し部である外側管３の側面３ａ
の面積が大きく、側面３ａ全体から紫外線が拡散するよ
うに放射されるので、被処理物上の紫外線放射強度を大
きくすることができなかった。また、外側管３の外方に
樋状の反射鏡を設けたとしても、根本的に光取り出し部
の面積が大きいので十分に大きな紫外線放射強度を得る
ことができなかった。
【０００６】一方、このような問題を解決するために、
図２に示すような誘電体バリア放電ランプが知られてい
る。誘電体バリア放電ランプＢは、図１に示す誘電体バ
リア放電ランプＡとほぼ同じ形状であり、特徴的な構造
は、外側管３の側面３ａの外面に光を反射し誘電体バリ
ア放電の電極を兼ねたアルミニウムを蒸着したアルミニ
ウム製の外側電極５が設けられている。なお、図１と同
じ符号は同じ部分を示すため説明は省略する。
図２に示すような誘電体バリア放電ランプが知られてい
る。誘電体バリア放電ランプＢは、図１に示す誘電体バ
リア放電ランプＡとほぼ同じ形状であり、特徴的な構造
は、外側管３の側面３ａの外面に光を反射し誘電体バリ
ア放電の電極を兼ねたアルミニウムを蒸着したアルミニ
ウム製の外側電極５が設けられている。なお、図１と同
じ符号は同じ部分を示すため説明は省略する。
【０００７】このような誘電体バリア放電ランプＢは、
放電容器１の外側管３の側面３ａから紫外線が放射され
ず、放電空間６内で反射し、外側管３の先端面３ｂから
のみから集中して紫外線が照射されるので、被処理物上
の紫外線放射強度を十分に大きくすることができるもの
であった。しかしながら、このような誘電体バリア放電
ランプＢでは、光取り出し部である外側管３の先端面３
ｂの面積が小さく、先端面３ｂから被処理物までの距離
を離すと紫外線がその間の空間で吸収されてしまうの
で、先端面３ｂと被処理物までの距離を短くしなければ
ならず、先端面３ｂから放射された紫外線が拡散するま
えに被処理物に到達してしまうので、被処理物における
紫外線が照射される紫外線照射領域が極端に狭くなって
しまう問題があった。つまり、このような誘電体バリア
放電ランプでは、紫外線照射領域を任意に設定すること
ができなかった。
放電容器１の外側管３の側面３ａから紫外線が放射され
ず、放電空間６内で反射し、外側管３の先端面３ｂから
のみから集中して紫外線が照射されるので、被処理物上
の紫外線放射強度を十分に大きくすることができるもの
であった。しかしながら、このような誘電体バリア放電
ランプＢでは、光取り出し部である外側管３の先端面３
ｂの面積が小さく、先端面３ｂから被処理物までの距離
を離すと紫外線がその間の空間で吸収されてしまうの
で、先端面３ｂと被処理物までの距離を短くしなければ
ならず、先端面３ｂから放射された紫外線が拡散するま
えに被処理物に到達してしまうので、被処理物における
紫外線が照射される紫外線照射領域が極端に狭くなって
しまう問題があった。つまり、このような誘電体バリア
放電ランプでは、紫外線照射領域を任意に設定すること
ができなかった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
誘電体バリア放電ランプの側面および先端面の全てから
紫外線が放射され、この紫外線を高率良く反射鏡によっ
て捕捉し被処理物に集光することができるので、被処理
物における紫外線照射領域を反射鏡の形状によって任意
に設定することができるとともに紫外線放射強度を高く
できる誘電体バリア放電ランプ装置を提供することにあ
る。
な事情に基づいてなされたものであって、その目的は、
誘電体バリア放電ランプの側面および先端面の全てから
紫外線が放射され、この紫外線を高率良く反射鏡によっ
て捕捉し被処理物に集光することができるので、被処理
物における紫外線照射領域を反射鏡の形状によって任意
に設定することができるとともに紫外線放射強度を高く
できる誘電体バリア放電ランプ装置を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置は、
誘電体バリア放電ランプと、該誘電体バリア放電ランプ
を取り囲む反射鏡とよりなる誘電体バリア放電ランプ装
置において、前記誘電体バリア放電ランプは、放電容器
の外形が円柱状であって、放電容器の側面及び先端面が
光取り出し部となっており、当該誘電体バリア放電ラン
プの一端側に、一方の電極に電気的に接続された給電部
材と、他方の電極に電気的に接続された給電部材が共に
配置されており、当該誘電体バリア放電ランプのそれぞ
れの給電部材が設けられた一端側が、反射鏡の頂部に設
けられた頂部開口に挿通され、他端側が反射鏡の前方開
口に向けられているとともに、反射鏡の光軸に沿って放
電容器が配置され、前記反射鏡は、反射鏡の光軸が伸び
る方向に複数の反射面が連続して設けられていることを
特徴とする。
に、請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置は、
誘電体バリア放電ランプと、該誘電体バリア放電ランプ
を取り囲む反射鏡とよりなる誘電体バリア放電ランプ装
置において、前記誘電体バリア放電ランプは、放電容器
の外形が円柱状であって、放電容器の側面及び先端面が
光取り出し部となっており、当該誘電体バリア放電ラン
プの一端側に、一方の電極に電気的に接続された給電部
材と、他方の電極に電気的に接続された給電部材が共に
配置されており、当該誘電体バリア放電ランプのそれぞ
れの給電部材が設けられた一端側が、反射鏡の頂部に設
けられた頂部開口に挿通され、他端側が反射鏡の前方開
口に向けられているとともに、反射鏡の光軸に沿って放
電容器が配置され、前記反射鏡は、反射鏡の光軸が伸び
る方向に複数の反射面が連続して設けられていることを
特徴とする。
【００１０】請求項２に記載の誘電体バリア放電ランプ
装置は、請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置
であって、特に、前記反射鏡は、反射鏡の光軸に沿って
複数の焦点が位置するように複数の曲面状の反射面が光
軸が伸びる方向に連続して形成され、前記反射鏡の反射
面は、この反射面によって反射される紫外線が、頂部開
口側の反射面から前方開口側の反射面に向かうにつれて
反射鏡の光軸より遠ざかる位置に反射されるように形成
されていることを特徴とする。
装置は、請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置
であって、特に、前記反射鏡は、反射鏡の光軸に沿って
複数の焦点が位置するように複数の曲面状の反射面が光
軸が伸びる方向に連続して形成され、前記反射鏡の反射
面は、この反射面によって反射される紫外線が、頂部開
口側の反射面から前方開口側の反射面に向かうにつれて
反射鏡の光軸より遠ざかる位置に反射されるように形成
されていることを特徴とする。
【００１１】請求項３に記載の誘電体バリア放電ランプ
装置は、請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置
であって、特に、前記反射鏡は、複数の直線状の反射面
が光軸が伸びる方向に連続して形成され、前記反射鏡の
反射面は、この反射面によって反射される紫外線が、頂
部開口側の反射面から前方開口側の反射面に向かうにつ
れて反射鏡の光軸より遠ざかる位置に反射されるように
形成されていることを特徴とする。
装置は、請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置
であって、特に、前記反射鏡は、複数の直線状の反射面
が光軸が伸びる方向に連続して形成され、前記反射鏡の
反射面は、この反射面によって反射される紫外線が、頂
部開口側の反射面から前方開口側の反射面に向かうにつ
れて反射鏡の光軸より遠ざかる位置に反射されるように
形成されていることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の誘電体バリア放電ランプ
装置は、誘電体バリア放電ランプＣとそれを取り囲むよ
うに形成された反射鏡Ｄとからなる。誘電体バリア放電
ランプＣの放電容器１は、全長約３００ｍｍの合成石英
ガラス製である。放電容器１は、外径が１６ｍｍ、肉厚
１ｍｍの内側管２と、内径が２４．５ｍｍ、肉厚１ｍｍ
の外側管３とが同軸に配置されていて、両管の間に両端
が閉じられた中空円筒状の放電空間６が形成されて、放
電容器１の外形がほぼ円柱状なっている。放電空間６に
は、放電用ガスとし２５０ｔｏｒｒのキセノンガスが封
入されている。
装置は、誘電体バリア放電ランプＣとそれを取り囲むよ
うに形成された反射鏡Ｄとからなる。誘電体バリア放電
ランプＣの放電容器１は、全長約３００ｍｍの合成石英
ガラス製である。放電容器１は、外径が１６ｍｍ、肉厚
１ｍｍの内側管２と、内径が２４．５ｍｍ、肉厚１ｍｍ
の外側管３とが同軸に配置されていて、両管の間に両端
が閉じられた中空円筒状の放電空間６が形成されて、放
電容器１の外形がほぼ円柱状なっている。放電空間６に
は、放電用ガスとし２５０ｔｏｒｒのキセノンガスが封
入されている。
【００１３】外側管３は、誘電体バリア放電のための誘
電体と光取り出し部を兼用している。そして、外側管３
の側面３ａと先端面３ｂにかけて光が通過する導電性網
からなる電極である外側電極５が設けられている。内側
管２の外面には、光の反射板と誘電体バリア放電の電極
を兼ねた他方の電極である内側電極４が設けられてい
る。そして、この誘電体バリア放電ランプＣの一端側に
のみ、一方の外側電極５と電気的に接続しグランドに接
続された給電部材７１と、他方の内側電極４に電気的に
接続しマイナスハイボルトを印可する給電部材７２とを
有する口金８が設けられている。そして、内側電極４と
外側電極５に電源から電圧が印可されて、紫外線が放出
されるものである。この誘電体バリア放電ランプＣは、
外側管３の側面３ａと先端面３ｂから紫外線が放射され
るものである。
電体と光取り出し部を兼用している。そして、外側管３
の側面３ａと先端面３ｂにかけて光が通過する導電性網
からなる電極である外側電極５が設けられている。内側
管２の外面には、光の反射板と誘電体バリア放電の電極
を兼ねた他方の電極である内側電極４が設けられてい
る。そして、この誘電体バリア放電ランプＣの一端側に
のみ、一方の外側電極５と電気的に接続しグランドに接
続された給電部材７１と、他方の内側電極４に電気的に
接続しマイナスハイボルトを印可する給電部材７２とを
有する口金８が設けられている。そして、内側電極４と
外側電極５に電源から電圧が印可されて、紫外線が放出
されるものである。この誘電体バリア放電ランプＣは、
外側管３の側面３ａと先端面３ｂから紫外線が放射され
るものである。
【００１４】この誘電体バリア放電ランプＣは、それぞ
れの給電部材７１、７２が集約されている口金８側の一
端側が反射鏡Ｄの頂部開口Ｄ１に挿通され、不図示の固
定部材で固定され、他端側が前方開口Ｄ２に向けられて
いるとともに、反射鏡Ｄの光軸Ｘに沿って放電容器１が
配置されている。
れの給電部材７１、７２が集約されている口金８側の一
端側が反射鏡Ｄの頂部開口Ｄ１に挿通され、不図示の固
定部材で固定され、他端側が前方開口Ｄ２に向けられて
いるとともに、反射鏡Ｄの光軸Ｘに沿って放電容器１が
配置されている。
【００１５】反射鏡Ｄは、アルミニウム製であり反射鏡
の光軸Ｘが伸びる方向に複数の反射面、この例において
は２つの反射面ｄ１、ｄ２を有しており、この反射面は
連続して形成されている。
の光軸Ｘが伸びる方向に複数の反射面、この例において
は２つの反射面ｄ１、ｄ２を有しており、この反射面は
連続して形成されている。
【００１６】具体的に、反射鏡Ｄを説明すると、図３に
示すように、反射鏡Ｄの反射面ｄ１の焦点Ｐ１と、反射
面ｄ２の焦点Ｐ２は、共に反射鏡Ｄの光軸Ｘ上に位置し
ており、それそれの反射面ｄ１、ｄ２は個別に光軸Ｘ上
の異なる位置に焦点を有する連続した曲面状の反射面で
ある。
示すように、反射鏡Ｄの反射面ｄ１の焦点Ｐ１と、反射
面ｄ２の焦点Ｐ２は、共に反射鏡Ｄの光軸Ｘ上に位置し
ており、それそれの反射面ｄ１、ｄ２は個別に光軸Ｘ上
の異なる位置に焦点を有する連続した曲面状の反射面で
ある。
【００１７】そして、それそれの反射面ｄ１、ｄ２は、
頂部開口Ｄ１側の反射面ｄ１から反射された紫外線が、
光軸Ｘの近傍の位置に反射され、前方開口Ｄ２側の反射
面ｄ２から反射された紫外線が、反射面ｄ１から反射さ
れた紫外線より光軸Ｘ対して遠ざかる位置に反射される
ものである。光軸Ｘ上には、外側管３の先端面３ｂから
放射された紫外線が直接照射される。
頂部開口Ｄ１側の反射面ｄ１から反射された紫外線が、
光軸Ｘの近傍の位置に反射され、前方開口Ｄ２側の反射
面ｄ２から反射された紫外線が、反射面ｄ１から反射さ
れた紫外線より光軸Ｘ対して遠ざかる位置に反射される
ものである。光軸Ｘ上には、外側管３の先端面３ｂから
放射された紫外線が直接照射される。
【００１８】従って、被処理物における紫外線照射領域
を所定の形状、この実施例においては円状にでき、この
紫外線照射領域にほぼ均一に紫外線を照射することがで
きるとともに、誘電体バリア放電ランプの放電容器を構
成する外側管３の側面３ａおよび先端面３ｂの全てから
紫外線が放射され、この紫外線を高率良く反射鏡によっ
て捕捉し被処理物に集光することができるので、この紫
外線照射領域の紫外線放射強度を高くすることができ
る。
を所定の形状、この実施例においては円状にでき、この
紫外線照射領域にほぼ均一に紫外線を照射することがで
きるとともに、誘電体バリア放電ランプの放電容器を構
成する外側管３の側面３ａおよび先端面３ｂの全てから
紫外線が放射され、この紫外線を高率良く反射鏡によっ
て捕捉し被処理物に集光することができるので、この紫
外線照射領域の紫外線放射強度を高くすることができ
る。
【００１９】なお、複数の反射面を形成する理由は、放
電容器の外形が円柱状であり光源が点光源ではなく一定
の大きさをもっているので、反射面が１つからなる場
合、例えば反射面が１つの放物面では、反射面の焦点か
らずれた位置においても光源が存在することになり、反
射面から反射される紫外線を制御することができないか
らである。
電容器の外形が円柱状であり光源が点光源ではなく一定
の大きさをもっているので、反射面が１つからなる場
合、例えば反射面が１つの放物面では、反射面の焦点か
らずれた位置においても光源が存在することになり、反
射面から反射される紫外線を制御することができないか
らである。
【００２０】図４は、本発明の誘電体バリア放電ランプ
装置の他の実施例の説明図である。この誘電体バリア放
電ランプ装置は、図３と同様の誘電体バリア放電ランプ
Ｃを用いており、反射鏡Ｄ’の形状のみが異なり、反射
鏡Ｄ’について詳細に説明する。
装置の他の実施例の説明図である。この誘電体バリア放
電ランプ装置は、図３と同様の誘電体バリア放電ランプ
Ｃを用いており、反射鏡Ｄ’の形状のみが異なり、反射
鏡Ｄ’について詳細に説明する。
【００２１】反射鏡Ｄ’は、アルミニウム製であり反射
鏡の光軸Ｘが伸びる方向に複数の反射面、この例におい
ては２つの反射面ｄ’１、ｄ’２を有しており、この反
射面は連続して形成されている。
鏡の光軸Ｘが伸びる方向に複数の反射面、この例におい
ては２つの反射面ｄ’１、ｄ’２を有しており、この反
射面は連続して形成されている。
【００２２】具体的に、反射鏡Ｄ’を説明すると、図４
に示すように、反射鏡Ｄ’の反射面ｄ’１とｄ’２は、
反射面が直線状になっており、光軸Ｘに対しての開き角
度が異なっている。それそれの反射面ｄ’１、ｄ’２
は、頂部開口Ｄ１側の反射面ｄ’１から反射された紫外
線が、光軸Ｘの近傍の位置に反射され、前方開口Ｄ２側
の反射面ｄ’２から反射された紫外線が、反射面ｄ’１
から反射された紫外線より光軸Ｘ対して遠ざかる位置に
反射されるものである。光軸Ｘ上には、外側管３の先端
面３ｂから放射された紫外線が直接照射される。
に示すように、反射鏡Ｄ’の反射面ｄ’１とｄ’２は、
反射面が直線状になっており、光軸Ｘに対しての開き角
度が異なっている。それそれの反射面ｄ’１、ｄ’２
は、頂部開口Ｄ１側の反射面ｄ’１から反射された紫外
線が、光軸Ｘの近傍の位置に反射され、前方開口Ｄ２側
の反射面ｄ’２から反射された紫外線が、反射面ｄ’１
から反射された紫外線より光軸Ｘ対して遠ざかる位置に
反射されるものである。光軸Ｘ上には、外側管３の先端
面３ｂから放射された紫外線が直接照射される。
【００２３】従って、製造がしやすく簡単な構造の反射
鏡でも、被処理物における紫外線照射領域を所定の形
状、この実施例においては円状にでき、この紫外線照射
領域にほぼ均一に紫外線を照射することができるととも
に、誘電体バリア放電ランプの放電容器を構成する外側
管３の側面３ａおよび先端面３ｂの全てから紫外線が放
射され、この紫外線を高率良く反射鏡によって捕捉し被
処理物に集光することができるので、この紫外線照射領
域の紫外線放射強度を高くすることができる。
鏡でも、被処理物における紫外線照射領域を所定の形
状、この実施例においては円状にでき、この紫外線照射
領域にほぼ均一に紫外線を照射することができるととも
に、誘電体バリア放電ランプの放電容器を構成する外側
管３の側面３ａおよび先端面３ｂの全てから紫外線が放
射され、この紫外線を高率良く反射鏡によって捕捉し被
処理物に集光することができるので、この紫外線照射領
域の紫外線放射強度を高くすることができる。
【００２４】なお、被処理物の大きさに応じて、図３、
図４に示す誘電体バリア放電ランプ装置を複数組合せて
用いても良く、その場合は、反射鏡の反射面を適宜最適
な形状にすることは言うまでもない。
図４に示す誘電体バリア放電ランプ装置を複数組合せて
用いても良く、その場合は、反射鏡の反射面を適宜最適
な形状にすることは言うまでもない。
【００２５】さらに、誘電体バリア放電ランプは、上述
したように、内側管と外側管の２重管構造になっている
が、外形形状が細長い放電容器の外側に一方の透光性の
電極を配置し、放電空間内にそのまま他方の電極を配置
して、放電容器の管のみが誘電体として働くランプであ
っても良い。
したように、内側管と外側管の２重管構造になっている
が、外形形状が細長い放電容器の外側に一方の透光性の
電極を配置し、放電空間内にそのまま他方の電極を配置
して、放電容器の管のみが誘電体として働くランプであ
っても良い。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の誘電体バ
リア放電ランプ装置によれば、誘電体バリア放電ランプ
の側面及び先端面の全てから放射される紫外線を高率良
く反射鏡によって捕捉し被処理物に集光することができ
るので、被処理物における紫外線照射領域を所定の形状
にできるとともに、この紫外線照射領域にほぼ均一に紫
外線を照射することができ、この紫外線照射領域の紫外
線放射強度を高くすることができる。
リア放電ランプ装置によれば、誘電体バリア放電ランプ
の側面及び先端面の全てから放射される紫外線を高率良
く反射鏡によって捕捉し被処理物に集光することができ
るので、被処理物における紫外線照射領域を所定の形状
にできるとともに、この紫外線照射領域にほぼ均一に紫
外線を照射することができ、この紫外線照射領域の紫外
線放射強度を高くすることができる。
【図１】従来の誘電体バリア放電ランプ装置に利用され
る誘電体バリア放電ランプの説明図である。
る誘電体バリア放電ランプの説明図である。
【図２】従来の誘電体バリア放電ランプ装置に利用され
る誘電体バリア放電ランプの説明図である。
る誘電体バリア放電ランプの説明図である。
【図３】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の説明図
である。
である。
【図４】本発明の誘電体バリア放電ランプ装置の説明図
である。
である。
１ 放電容器 ２ 内側管 ３ 外側管 ４ 内側電極 ５ 外側電極 ６ 放電空間 ７１ 給電部材 ７２ 給電部材 ８ 口金 Ｃ 誘電体バリア放電ランプ Ｄ 反射鏡
Claims (3)
- 【請求項１】 誘電体バリア放電ランプと、該誘電体バ
リア放電ランプを取り囲む反射鏡とよりなる誘電体バリ
ア放電ランプ装置において、 前記誘電体バリア放電ランプは、放電容器の外形が円柱
状であって、放電容器の側面及び先端面が光取り出し部
となっており、 当該誘電体バリア放電ランプの一端側に、一方の電極に
電気的に接続された給電部材と、他方の電極に電気的に
接続された給電部材が共に配置されており、 当該誘電体バリア放電ランプのそれぞれの給電部材が設
けられた一端側が、反射鏡の頂部に設けられた頂部開口
に挿通され、他端側が反射鏡の前方開口に向けられてい
るとともに、反射鏡の光軸に沿って放電容器が配置さ
れ、 前記反射鏡は、反射鏡の光軸が伸びる方向に複数の反射
面が連続して設けられていることを特徴とする誘電体バ
リア放電ランプ装置。 - 【請求項２】前記反射鏡は、反射鏡の光軸に沿って複数
の焦点が位置するように複数の曲面状の反射面が光軸が
伸びる方向に連続して形成され、 前記反射鏡の反射面は、この反射面によって反射される
紫外線が、頂部開口側の反射面から前方開口側の反射面
に向かうにつれて反射鏡の光軸より遠ざかる位置に反射
されるように形成されていることを特徴とする誘電体バ
リア放電ランプ装置。 - 【請求項３】前記反射鏡は、複数の直線状の反射面が光
軸が伸びる方向に連続して形成され、 前記反射鏡の反射面は、この反射面によって反射される
紫外線が、頂部開口側の反射面から前方開口側の反射面
に向かうにつれて反射鏡の光軸より遠ざかる位置に反射
されるように形成されていることを特徴とする誘電体バ
リア放電ランプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000137969A JP2001319510A (ja) | 2000-05-11 | 2000-05-11 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000137969A JP2001319510A (ja) | 2000-05-11 | 2000-05-11 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001319510A true JP2001319510A (ja) | 2001-11-16 |
Family
ID=18645654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000137969A Pending JP2001319510A (ja) | 2000-05-11 | 2000-05-11 | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001319510A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005129531A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | General Electric Co <Ge> | 誘電体バリア放電ランプ |
| JP2005193088A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Japan Storage Battery Co Ltd | エキシマランプ照射装置 |
| EP1643538A2 (de) * | 2004-09-29 | 2006-04-05 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Dielektrisch behinderte Entladungslampe mit elektrischer Abschirmung |
| US7573201B2 (en) | 2004-09-29 | 2009-08-11 | Osram Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | Dielectric barrier discharge lamp having pluggable electrodes |
| EP4233918A3 (en) * | 2022-02-25 | 2023-11-15 | USHIO Denki Kabushiki Kaisha | Inactivation device for bacteria and/or viruses |
-
2000
- 2000-05-11 JP JP2000137969A patent/JP2001319510A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005129531A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | General Electric Co <Ge> | 誘電体バリア放電ランプ |
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| EP1643538A2 (de) * | 2004-09-29 | 2006-04-05 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Dielektrisch behinderte Entladungslampe mit elektrischer Abschirmung |
| EP1643538A3 (de) * | 2004-09-29 | 2008-02-13 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Dielektrisch behinderte Entladungslampe mit elektrischer Abschirmung |
| US7573201B2 (en) | 2004-09-29 | 2009-08-11 | Osram Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung | Dielectric barrier discharge lamp having pluggable electrodes |
| EP4233918A3 (en) * | 2022-02-25 | 2023-11-15 | USHIO Denki Kabushiki Kaisha | Inactivation device for bacteria and/or viruses |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070109 |
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