JP7393735B2 - フィラメントランプ - Google Patents
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Description
光に対して透過性を示す筒状の発光管と、
前記発光管内において、前記発光管の管軸方向に沿って延伸するフィラメントと、
前記発光管の前記管軸方向に延伸し、前記発光管の前記管軸方向と直交する平面で切断したときの断面形状が、前記発光管の内壁面の周方向に関し、第一端部と第二端部とを有するように形成された反射膜とを備え、
前記反射膜は、前記発光管の前記周方向に関し、前記第一端部と前記第二端部における膜厚が、前記第一端部と前記第二端部の間に位置する中央部における膜厚よりも薄いことを特徴とする。
前記反射膜は、前記第一端部及び前記第二端部における膜厚が実質的に0であってもよい。
前記反射膜は、前記中央部から前記第一端部及び前記第二端部それぞれに向かって膜厚が徐々に薄くなるように形成されていても構わない。
前記反射膜は、前記発光管の前記管軸方向に関し、前記発光管の一端部から他端部にわたって形成されているものとすることができる。
前記反射膜は、前記管軸方向に見たときに、前記発光管の内壁面の周方向に関し、管軸を中心として90°以上270°以下の範囲にわたって形成されていても構わない。
前記発光管は、前記管軸方向と直交する面で切断した時の断面が円形状、又は楕円形状を呈するものであっても構わない。
前記反射膜は、前記管軸方向に見たときに、前記発光管の内壁面の周方向に関し、管軸を中心として90°以上270°以下の範囲にわたって形成されていても構わない。
前記反射膜は、シリカを主たる成分とする粒子が凝集されて形成されており、前記粒子のうち、シリカ粒子の平均粒径が0.5μm以上1.5μm以下であっても構わない。
図1は、フィラメントランプ1の第一実施形態の構成を模式的に示す図面である。図2は、図1のフィラメントランプ1をX方向に見たときの断面図である。図1及び図2に示すように、フィラメントランプ1は、アルゴン(Ar)等の不活性ガスやハロゲンガスが封入される発光管10と、発光管10の内壁面10b上に形成された反射膜11と、フィラメント13と、フィラメント13を発光管10内で支持するサポーター14を備える。以下説明においては、発光管10の管軸方向をX方向とし、フィラメントランプ1とワークWが対向する方向をZ方向、X方向とZ方向に直交する方向をY方向として説明する。
以下、別実施形態につき説明する。
10 : 発光管
10a : 管軸
10b : 内壁面
11 : 反射膜
11a : 第一端部
11b : 第二端部
13 : フィラメント
14 : サポーター
15 : 給電部
80 : マスキングテープ
81 : ノズル
90 : 保護部
100 : フィラメントランプ
101 : 発光管
101a : 管軸
101b : 内壁面
102 : 反射膜
102a : 端部
103 : フィラメント
104 : サポーター
L : 反射膜用塗布液
W : ワーク
Claims (7)
- 光に対して透過性を示す筒状の発光管と、
前記発光管内において、前記発光管の管軸方向に沿って延伸するフィラメントと、
前記発光管の前記管軸方向に延伸し、前記発光管の前記管軸方向と直交する平面で切断したときの断面形状が、前記発光管の内壁面の周方向に関し、第一端部と第二端部とを有するように形成された反射膜とを備え、
前記反射膜は、前記発光管の前記周方向に関し、前記第一端部と前記第二端部における膜厚が、前記第一端部と前記第二端部の間に位置する中央部における膜厚よりも薄く、かつ、シリカを主たる成分とする粒子が凝集されて形成されており、前記粒子のうち、シリカ粒子の平均粒径が0.5μm以上1.5μm以下であることを特徴とするフィラメントランプ。 - 前記反射膜は、前記第一端部及び前記第二端部における膜厚が実質的に0であることを特徴とする請求項1に記載のフィラメントランプ。
- 前記反射膜は、前記中央部から前記第一端部及び前記第二端部それぞれに向かって膜厚が徐々に薄くなるように形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のフィラメントランプ。
- 前記反射膜は、前記発光管の前記管軸方向に関し、前記発光管の一端部から他端部にわたって形成されていることを特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のフィラメントランプ。
- 前記発光管の前記内壁面には、前記発光管の管軸方向に関し、前記反射膜の少なくとも一方の端部に、前記反射膜と当接するように保護部が形成されていることを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載のフィラメントランプ。
- 前記発光管は、前記管軸方向と直交する面で切断した時の断面が円形状、又は楕円形状を呈することを特徴とする請求項1~5のいずれか一項に記載のフィラメントランプ。
- 前記反射膜は、前記管軸方向に見たときに、前記発光管の内壁面の周方向に関し、管軸を中心として90°以上270°以下の範囲にわたって形成されていることを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載のフィラメントランプ。
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US20090316268A1 (en) | 2006-12-22 | 2009-12-24 | Waltraud Werdecker | Quartz glass component with reflector layer and method for producing the same |
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