JP4457768B2 - エキシマランプ - Google Patents
エキシマランプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4457768B2 JP4457768B2 JP2004177152A JP2004177152A JP4457768B2 JP 4457768 B2 JP4457768 B2 JP 4457768B2 JP 2004177152 A JP2004177152 A JP 2004177152A JP 2004177152 A JP2004177152 A JP 2004177152A JP 4457768 B2 JP4457768 B2 JP 4457768B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- thickness
- inner tube
- outer tube
- excimer lamp
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 11
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 78
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 50
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 26
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 6
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 3
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N methane;hydrate Chemical compound C.O VUZPPFZMUPKLLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006552 photochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/046—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
- H01J61/33—Special shape of cross-section, e.g. for producing cool spot
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/30—Vessels; Containers
- H01J61/34—Double-wall vessels or containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/245—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases specially adapted for gas discharge tubes or lamps
- H01J9/247—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases specially adapted for gas discharge tubes or lamps specially adapted for gas-discharge lamps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Description
このような長尺のエキシマランプにおいては、エキシマランプ全体の機械的強度および外側管と内側管との接合強度の観点から、外側管の肉厚が大きく、内側管の肉厚が外側管の肉厚に比して小さい構成とすることが必要とされる。内側管の肉厚の大きさを小さくする理由について具体的に説明すると、エキシマランプを十分な機械的強度を有するものとするために、外側管および内側管の両方を肉厚が大きいものとした場合には、内側管が外側管との接合部分のみによって支持される構造とされているので、その自重によって接合部の強度が低下してしまうからである。
また、このような場合に限られず、外側管の肉厚の大きさと内側管の肉厚の大きさが異なる状態で放電容器を構成することが必要とされる場合も少なくない。例えば短尺のものの場合には、内側管の肉厚の大きさが大きく、外側管の肉厚の大きさが内側管の肉厚より小さい構成とされる。この理由は、外側管の肉厚の大きさを小さくすることにより、光透過率が高くなり、高い光出力を得ることができるからである。
しかしながら、上述したように、外側管と内側管との肉厚差が大きいものを溶融接合する場合には、薄肉のものが過度に溶融されるので、接合すること自体が困難となる場合がある。
外側管および内側管は、管軸方向における中央領域部分の肉厚が互いに異なるものであって、厚肉であるものの肉厚が、薄肉であるものの肉厚の大きさの1.5倍以上であり、 前記外側管と前記内側管との接合部分に係る外側管の肉厚と内側管の肉厚とが略同等の大きさであることを特徴とする。
前記外側管と前記内側管は、各々管軸方向に均一な大きさの肉厚であって、当該肉厚が互いに異なるものであって、厚肉であるものの肉厚が、薄肉であるものの肉厚の大きさの1.5倍以上であり、
外側管と接合部材との接合部分に係る外側管の肉厚と接合部材の肉厚とが略同等の大きさであり、かつ、接合部材と内側管との接合部分に係る接合部材の肉厚と内側管の肉厚とが略同等の大きさであることを特徴とする。
<第1実施形態>
図1は、本発明のエキシマランプの一例における構成の概略を示す説明用断面図である。
このエキシマランプ10は、例えば石英ガラスよりなり、管軸方向において均一な大きさの肉厚を有する円筒状の外側管12と、この外側管12内においてその管軸に沿って配置された、当該外側管12の内径より小さい外径を有する例えば石英ガラスよりなる円筒状の内側管13とを有し、外側管12と内側管13とが両端部において溶融接合されてなる二重管構造の放電容器11を備えている。
放電容器11を構成する内側管13は、両端部が径方向外方に拡がって伸びるよう湾曲されて形成された屈曲部分13Aを有するものであり、当該内側管13の屈曲部分13Aが外側管12と接合されることにより当該屈曲部分13Aにより端壁14が構成され、これにより、外側管12の内周面と内側管13の外周面との間に、気密に閉塞された環状の放電空間Sが形成されている。
放電空間S内には、外部電極15と内部電極16との間で生ずるエキシマ放電によってエキシマ分子を形成する、例えばキセノンガスなどの放電用ガスが充填されている。
また、薄肉のものの肉厚の大きさ(この実施例においては内側管13の肉厚の大きさt2)は、例えば0.5〜1.0mmとされている。
なお、以下においては、特に言及する場合を除いて「肉厚」とは、エキシマランプ10の中央領域部分における肉厚をいう。
式(1) |t1−t3|≦0.2×t1
式(2) |t1−t3|≦0.2×t3
すなわち、図2に示すように、予め、両端部を外端が径方向外方に拡がって延びるようラッパ状に加工して屈曲部分13Aを形成しておいた、内側管13を構成する円筒状の内側管構成用素管20を、当該内側管構成用素管20の外径より大きい内径を有する、外側管12を構成する円筒状の外側管構成用素管21の内部に挿入して同軸上に配置し、管軸方向外方側から例えばバーナーなどの加熱手段25によって加熱することにより、外側管構成用素管21の内周面21Aと内側管構成用素管20の屈曲部分13Aの先端面20Aとを溶着させ、これにより、外側管12と内側管13との間に管状の放電空間Sが形成された二重管構造の放電容器11が得られる。ここに、内側管構成用素管20は、例えば中央領域部分における肉厚の大きさがt2であり、当該中央領域部分に続く屈曲部分13Aが外端に向かうに従って肉厚が大きくなり接合部分に係る外端部の肉厚の大きさがt3であるものである。
外側管構成用素管21および内側管構成用素管20を加熱溶融するに際しては、加熱手段25によって加熱される加熱部分Hにおける熱容量の大きさの均一化を図る観点から、加熱部分Hにおける内側管構成用素管20の長さLが、外側管構成用素管21の肉厚の大きさt1の100%以上の大きさとされていることが好ましい。これにより、外側管構成用素管21と内側管構成用素管20とを、均一な加熱状態が得られた状態において、溶融接合することができる。
特に、本発明は、外側管および内側管のうちの薄肉のものの肉厚の大きさが0.5〜1.0mmであって、厚肉であるものの肉厚の大きさが薄肉であるものの肉厚の大きさの1.5倍以上である構成のもの、例えばエキシマランプ10の全長が1000mm以上である構成のものなどにおいて、極めて有用であり、エキシマランプ10全体に十分に高い機械的強度を確保しながら、外側管および内側管の接合部を十分に高い信頼性を有するものとすることができる。
本発明の第2実施形態に係るエキシマランプは、外側管と内側管とが両端部において別個の接合部材により接合されて放電容器が構成されてなるものであり、その他の基本的な構成は図1に示すものと同様のものである。
具体的には、この第2実施形態に係るエキシマランプにおける放電容器は、図3に示すように、各々、管軸方向に均一な大きさの肉厚である外側管構成用素管31および内側管構成用素管30が、両端部において、例えば外側管構成用素管31および内側管構成用素管30と同じ材質例えば石英ガラスよりなる接合部材35により接合されてなる二重管構造のものである。この実施例においては、外側管構成用素管31の肉厚の大きさt1が内側管構成用素管30の肉厚の大きさt2より大きい状態(t1≧1.5×t2)とされている。
すなわち、屈曲部分36の端部における肉厚と外側管構成用素管31の肉厚との肉厚差|t1−t4|が、外側管構成用素管31の肉厚の大きさt1または屈曲部分36の端部における肉厚の大きさt4の大きさの20%以下の大きさとされていると共に、直管状部分37の端部における肉厚と内側管構成用素管30の肉厚との肉厚差|t2−t5|が、内側管構成用素管30の肉厚の大きさt2または直管状部分37の端部における肉厚の大きさt5の大きさの20%以下の大きさとされている。
外側管構成用素管31と接合部材35とを接合するに際しては、加熱部分H1における熱容量の大きさの均一化を図る観点から、外側管構成用素管31と接合部材35との加熱部分H1における接合部材の長さL1が、外側管構成用素管31の肉厚の大きさt1の100%以上の大きさとされていることが好ましい。
また、接合部材35と内側管構成用素管30とを接合するに際しては、加熱部分H2における熱容量の大きさの均一化を図る観点から、内側管構成用素管30と接合部材35との加熱部分H2における接合部材35の長さL2Aおよび加熱部分H2における内側管構成用素管30の長さL2Bが同じ大きさであることが好ましい。加熱部分H2における接合部材35の長さL2Aおよび加熱部分H2における内側管構成用素管30の長さL2Bは特に制限されるものではないが、例えば内側管構成用素管30の肉厚の大きさt2の100%以上の大きさとされている。
これにより、外側管構成用素管31と接合部材35、および、接合部材35と内側管構成用素管30を、均一な加熱状態が得られた状態において、溶融接合することができる。
また、接合部材45と内側管構成用素管40とを接合するに際しては、加熱部分H2における熱容量の大きさの均一化を図る観点から、内側管構成用素管40と接合部材45との加熱部分H2における接合部材45の長さL4Aおよび加熱部分H2における内側管構成用素管40の長さL4Bが同じ大きさであることが好ましい。加熱部分H2における接合部材45の長さL4Aおよび加熱部分H2における内側管構成用素管40の長さL4Bは特に制限されるものではないが、例えば内側管構成用素管40の肉厚の大きさt2の100%以上の大きさとされている。
これにより、外側管構成用素管41と接合部材45、および、接合部材45と内側管構成用素管40を、均一な加熱状態が得られた状態において、溶融接合することができる。
例えば、第1実施形態に係るエキシマランプにおいては、外側管構成用素管として、その両端部が径方向内方に伸びるよう加工された屈曲部分を有するものであって、屈曲部分の先端部における肉厚が内側管構成用素管の肉厚と略同等の大きさのものを用い、内側管構成用素管として、管軸方向に均一な大きさの肉厚を有する直管状のものを用い、外側管構成用素管および内側管構成用素管が溶融接合されて放電容器が形成された構成のものであってもよい。
また、第2実施形態に係るエキシマランプにおいては、接合部材は、外側管および内側管の材質と同じものである必要はなく、例えば合成石英ガラス、溶融石英ガラス、耐紫外線性を有するガラス材料などよりなるものを用いることができる。
このような構成のものにおいては、図5に示すように、隔壁は、例えばガラスよりなる円板状の隔壁構成部材60が内側管の一部を構成する接合部材55の直管状部分57の外周面に溶着されることにより形成されるが、加熱部分における隔壁構成部材60の肉厚の大きさt6が接合部材55の直管状部分57における肉厚の大きさt5と略同等の大きさとされていることが好ましい。すなわち、接合部材55の直管状部分57における肉厚と隔壁構成部材60の肉厚との肉厚差|t5−t6|が、接合部材55の直管状部分57における肉厚の大きさt5または隔壁構成部材60の肉厚の大きさt6の20%以下の大きさとされていることが好ましい。これにより、加熱部分における接合部材55の熱容量と隔壁構成部材60の熱容量とが略同等の大きさとなって接合部材55と隔壁構成部材60とを、均一な加熱状態が得られた状態において、溶融接合することができる。
また、隔壁構成部材60の端面位置と接合部材55における直管状部分57の端面位置との離間距離の大きさdは、例えば内側管構成用素管40の肉厚の大きさt2の100%以上の大きさであることが好ましい。これにより、接合部材55と内側管構成用素管50とを溶着するに際して、加熱部分における隔壁構成部材60の熱容量の大きさが実質的に無関係となり、接合部材55と内側管構成用素管40との接合部に安定した強固な接合状態を得ることができる。
また、接合部材55における、外側管構成用素管41と接合される屈曲部分56の外端部の肉厚の大きさt4は、外側管構成用素管41の肉厚の大きさt1と略同等の大きさとされている。
具体的に説明すると、この接合部材65は、外側管構成用素管41の内径に適合する大きさの外径寸法を有し、内側管構成用素管40の外径に適合する大きさの直径を有する内側管構成用素管嵌合用孔66が中央部に形成されている。
この接合部材65は、外側管構成用素管41と溶融接合される外周縁部分67の肉厚の大きさt7が外側管構成用素管41の肉厚の大きさt1と略同等の大きさとされ、かつ、内側管構成用素管40と溶融接合される内周縁部分(内側管構成用素管嵌合用孔の開口縁部分)68の肉厚の大きさt8が内側管構成用素管40の肉厚の大きさt2と略同等の大きさとされている。すなわち、外側管構成用素管41の肉厚と外周縁部分67の肉厚との肉厚差|t1−t7|が、外側管構成用素管41の肉厚の大きさt1または外周縁部分67の肉厚の大きさt7の20%以下の大きさとされていると共に、内側管構成用素管40の肉厚と内周縁部分68の肉厚との肉厚差|t2−t8|が、内側管構成用素管40の肉厚の大きさt2または内周縁部分68の肉厚の大きさt8の20%以下の大きさとされている。
接合部材65における外周縁部分67の大きさ(径方向長さ)は、接合部材65と外側管構成用素管41との接合部分における熱容量の大きさの均一化を図る観点から、外側管構成用素管41の肉厚の大きさt1の100%以上の大きさとされていることが好ましく、また、接合部材65における内周縁部分68の大きさ(径方向長さ)は、接合部材65と内側管構成用素管40との接合部分における熱容量の大きさの均一化を図る観点から、内側管構成用素管40の肉厚の大きさt2の100%以上の大きさとされていることが好ましい。
図2に示されているように、全長が1000mm、外径が40mm、肉厚(t1)が2.5mm(t1=2.5×t2)である石英ガラスよりなる外側管構成用素管と、屈曲部分を含めた全長が1020mm、直管状部分の外径が20mm、直管状部分の肉厚(t2)が1.0mm、屈曲部分の端部における肉厚(t3)が2.2mm(t1−t3=0.12×t1)である石英ガラスよりなる内側管構成用素管とを用意し、外側管構成用素管と内側管素管とを両端部において溶着することにより、外側管の肉厚が内側管の肉厚より大きい二重管構造の放電容器を作製した。この放電容器の全長は1000mmである。
外側管構成用素管と内側管構成用素管とを接合するに際しての加熱処理条件は、加熱手段として酸水素バーナーを用い、加熱温度を2000℃、加熱時間を10分間とし、また、加熱部分における内側管構成用素管の径方向長さ(L)を4mm(1.6×t1)とした。
そして、図1に示す構成に従って、外部電極および内部電極を配設すると共に放電空間内に放電用ガスを充填することにより本発明に係るエキシマランプを製造した。
外部電極は、ステンレス鋼よりなる無端状の金網よりなる網状のものを用いた。
内部電極は、アルミニウム板を断面が略C字形状の樋状に加工したものを用いた。
放電用ガスとしては、キセノンガスを用い、26kPaの圧力で封入した。
外側管構成用素管として、全長が200mm、外径が15mm、肉厚(t1)が0.7mmであるものを用い、内側管構成用素管として、屈曲部分を含めた全長が210mm、直管状部分(中央領域部分)の外径が6mm、直管状部分の肉厚(t2)が1.5mm(t2=2.1×t1)、屈曲部分の端部における肉厚(t3)が0.8mm(t3−t1=0.14×t1)であるものを用いたこと以外は、実施例1と同様にして、外側管の肉厚が内側管の肉厚より小さい二重管構造の放電容器を作製し、図1に示す構成に従って、外部電極および内部電極を配設すると共に放電空間内に放電用ガスを充填することにより本発明に係るエキシマランプを製造した。このエキシマランプにおける放電容器の全長は200mmである。
図3に示されているように、全長が1000mm、外径が40mm、肉厚(t1)が2.5mm(t1=2.5×t2)である石英ガラスよりなる外側管構成用素管と、全長が900mm、外径が20mm、肉厚(t2)が1mmである石英ガラスよりなる内側管構成用素管と、屈曲部分を含めた全長が60mm、直管状部分の外径が20mm、屈曲部分の端部における肉厚(t4)が2.2mm(t1−t4=0.12×t1)、直管状部分の肉厚(t5)が1mm(t2=t5)である石英ガラスよりなる短円筒状の接合部材とを用意し、外側管構成用素管と内側管素管とを両端部において接合部材により溶着することにより、外側管の肉厚が内側管の肉厚より大きい二重管構造の放電容器を作製したこと以外は、実施例1と同様にして本発明に係るエキシマランプを製造した。このエキシマランプにおける放電容器の全長は1000mmである。
外側管構成用素管と接合部材とを溶着するに際しての加熱処理条件は、上記実施例1と同様(加熱温度を2000℃、加熱時間を10分間、加熱部分における接合部材の径方向の長さ(L1)が4mm(1.6×t1))であり、内側管構成用素管と接合部材とを溶着するに際しての加熱処理条件は、加熱温度を2000℃、加熱時間を5分間とし、加熱部分における接合部材の管軸方向の長さ(L2A)および内側管構成用素管の長さ(L2B)を3mm(3×t2)とした。
外側管構成用素管として、全長が200mm、外径が15mm、肉厚(t1)が0.7mmであるものを用い、内側管構成用素管として、全長が180mm、外径が6mm、肉厚(t2)が1.5mm(t2=2.1×t1)であるものを用い、接合部材として、屈曲部分を含めた全長が15mm、直管状部分の外径が6mm、屈曲部分の端部における肉厚(t4)が0.8mm(t4−t1=0.14×t1)、直管状部分の肉厚(t5)が1.5mm(t2=t5)であるものを用いたこと以外は、実施例3と同様にして、外側管の肉厚が内側管の肉厚より小さい二重管構造の放電容器を作製し、図1に示す構成に従って、外部電極および内部電極を配設すると共に放電空間内に放電用ガスを充填することにより本発明に係るエキシマランプを製造した。このエキシマランプにおける放電容器の全長は、200mmである。
上記実施例1において、図7に示されているように、内側管構成用素管(201)として、屈曲部分(202)の端部における肉厚の大きさ(t2)が1mm(t1−t2=0.6×t1,t1−t2=1.5×t2)であり、肉厚の大きさが全体的に均一であるものを用いたこと以外は、実施例1と同様にして比較用のエキシマランプを製造した。
得られた比較用のエキシマランプにおける外側管と内側管の接合部について実施例1と同様の評価を行ったところ、このエキシマランプにおける接合部は、1.5kg・m程度までのモーメントに耐えうる接合強度しか有さないものであることが確認された。
上記実施例3において、図8に示されているように、接合部材(35A)として、屈曲部分(38)の肉厚の大きさ(t5)が1mm(t1−t5=0.6×t1,t1−t5=1.5×t2,t2=t5)であり、肉厚の大きさが全体的に均一であるものを用いたこと以外は、実施例3と同様にして比較用のエキシマランプを製造した。
得られた比較用のエキシマランプにおける外側管と内側管の接合部について実施例1と同様の評価を行ったところ、このエキシマランプにおける接合部は、1.5kg・m程度までのモーメントに耐えうる接合強度しか有さないものであることが確認された。
一方、比較例1および比較例2のエキシマランプにおいては、放電容器における外側管と内側管との接合部において、安定した強固の接合状態を得ることができないことが確認された。
11 放電容器
12 外側管
13 内側管
13A 屈曲部分
14 端壁
15 一方の電極(外部電極)
16 他方の電極(内部電極)
20 内側管構成用素管
20A 先端面
21 外側管構成用素管
21A 内周面
25 加熱手段
H 加熱部分
201 内側管構成用素管
202 屈曲部分
30 内側管構成用素管
30A 外端面
31 外側管構成用素管
31A 内周面
35 接合部材
35A 接合部材
36 屈曲部分
36A 先端面
37 直管状部分
37A 先端面
38 屈曲部分
H1、H2 加熱部分
40 内側管構成用素管
40A 外端面
41 外側管構成用素管
41A 内周面
45 接合部材
46 屈曲部分
46A 先端面
47 直管状部分
47A 先端面
55 接合部材
56 屈曲部分
57 直管状部分
60 隔壁構成部材
65 接合部材
66 内側管構成用素管嵌合用孔
67 外周縁部分
68 内周縁部分
70、71 素管
70A 内周面
72 屈曲部分
72A 先端面
75 加熱手段
Claims (2)
- 各々、ガラスよりなる外側管と内側管とが同軸上に配置され、両端部において溶融されて接合された二重管構造をなす放電容器を備え、外側管の外表面に一方の電極が設けられると共に内側管の内表面に他方の電極が設けられ、当該外側管と当該内側管の間に形成される放電空間内にエキシマ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてなるエキシマランプにおいて、
外側管および内側管は、管軸方向における中央領域部分の肉厚が互いに異なるものであって、厚肉であるものの肉厚が、薄肉であるものの肉厚の大きさの1.5倍以上であり、 前記外側管と前記内側管との接合部分に係る外側管の肉厚と内側管の肉厚とが略同等の大きさであることを特徴とするエキシマランプ。 - 各々、ガラスよりなる外側管と内側管とが同軸上に配置され、両端部においてガラスよりなる接合部材により溶融されて接合された二重管構造をなす放電容器を備え、外側管の外表面に一方の電極が設けられると共に内側管の内表面に他方の電極が設けられ、当該外側管と当該内側管の間に形成される放電空間内にエキシマ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填されてなるエキシマランプにおいて、
前記外側管と前記内側管は、各々管軸方向に均一な大きさの肉厚であって、当該肉厚が互いに異なるものであって、厚肉であるものの肉厚が、薄肉であるものの肉厚の大きさの1.5倍以上であり、
外側管と接合部材との接合部分に係る外側管の肉厚と接合部材の肉厚とが略同等の大きさであり、かつ、接合部材と内側管との接合部分に係る接合部材の肉厚と内側管の肉厚とが略同等の大きさであることを特徴とするエキシマランプ。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004177152A JP4457768B2 (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | エキシマランプ |
TW094109482A TW200540905A (en) | 2004-06-15 | 2005-03-25 | Exciting warrant molecule lamp |
KR1020050033213A KR100833433B1 (ko) | 2004-06-15 | 2005-04-21 | 엑시머 램프 |
CNB2005100781312A CN100561661C (zh) | 2004-06-15 | 2005-06-13 | 受激准分子灯 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004177152A JP4457768B2 (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | エキシマランプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006004666A JP2006004666A (ja) | 2006-01-05 |
JP4457768B2 true JP4457768B2 (ja) | 2010-04-28 |
Family
ID=35772890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004177152A Expired - Lifetime JP4457768B2 (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | エキシマランプ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4457768B2 (ja) |
KR (1) | KR100833433B1 (ja) |
CN (1) | CN100561661C (ja) |
TW (1) | TW200540905A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4998827B2 (ja) * | 2008-01-31 | 2012-08-15 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP5057071B2 (ja) * | 2008-01-31 | 2012-10-24 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP4998832B2 (ja) * | 2008-03-19 | 2012-08-15 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
JP5266972B2 (ja) * | 2008-08-29 | 2013-08-21 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3975826B2 (ja) * | 2002-05-16 | 2007-09-12 | ウシオ電機株式会社 | ランプ容器 |
-
2004
- 2004-06-15 JP JP2004177152A patent/JP4457768B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-03-25 TW TW094109482A patent/TW200540905A/zh unknown
- 2005-04-21 KR KR1020050033213A patent/KR100833433B1/ko active IP Right Grant
- 2005-06-13 CN CNB2005100781312A patent/CN100561661C/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100833433B1 (ko) | 2008-05-29 |
CN100561661C (zh) | 2009-11-18 |
TWI329335B (ja) | 2010-08-21 |
KR20060047352A (ko) | 2006-05-18 |
TW200540905A (en) | 2005-12-16 |
JP2006004666A (ja) | 2006-01-05 |
CN1722358A (zh) | 2006-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20050087731A (ko) | 고압 방전 램프 | |
JP4013923B2 (ja) | エキシマランプ | |
JP4457768B2 (ja) | エキシマランプ | |
TWI328247B (ja) | ||
JP4662471B2 (ja) | ショートアーク型放電ランプの封止部構造とその製造方法 | |
JP4929961B2 (ja) | 高圧水銀ランプ | |
JP2004178894A (ja) | ショートアーク型放電ランプ | |
JP4461707B2 (ja) | エキシマランプ | |
TWI445046B (zh) | 電介質障壁放電燈 | |
JP5186823B2 (ja) | 高圧放電ランプ及び高圧放電ランプを用いた光照射装置 | |
JP4730212B2 (ja) | エキシマランプ | |
US6876151B2 (en) | Discharge lamp and lamp unit | |
JP3975826B2 (ja) | ランプ容器 | |
JPH05151936A (ja) | 冷陰極放電灯およびその封止方法 | |
JP2019036423A (ja) | 放電ランプ、放電ランプ用電極および放電ランプ用電極の製造方法 | |
JP7315433B2 (ja) | 放電ランプおよび放電ランプの製造方法 | |
JP4893532B2 (ja) | 放電ランプおよびその製造方法 | |
JP5967561B2 (ja) | 電極リード棒の固定構造及びその固定方法 | |
JP3938010B2 (ja) | エキシマランプ装置 | |
JP5160290B2 (ja) | 超高圧水銀放電灯 | |
US20120319558A1 (en) | Electrode for discharge lamp and method for manufacturing same | |
JP2009252423A (ja) | 高圧放電ランプ及びこれを備えた光照射装置 | |
US20080070467A1 (en) | Method for Manufacturing Hot Cathode Fluorescent Lamp | |
JPH0725559U (ja) | 放電ランプ | |
JP4665766B2 (ja) | エキシマランプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070306 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090423 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091020 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100119 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4457768 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130219 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130219 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140219 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |