KR20050087731A - 고압 방전 램프 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 대형 숏 아크형 방전 램프에 있어서, 상기 램프의 점등중 등에 시일부에서 발생하는 응력을 억제하여, 상기 시일부가 파단 등을 하지 않고, 가지관부의 꺾어짐 등의 불량이 일어나지 않는 숏 아크형 방전 램프를 제공하는 것에 있다. 본 발명의 숏 아크형 방전 램프는, 내부 리드봉, 관형상체, 금속체, 금속박부, 폐색체, 제2 금속체, 외부 리드봉으로 이루어지는 마운트부가 형성되어 있는 숏 아크형 방전 램프에 있어서, 상기 마운트부의 외경보다 큰 내경을 가지는 밀봉용 유리체로 상기 금속 박부를 봉착한 시일체가, 상기 가지관부 내에 배치되고, 상기 가지관부와 상기 시일체가 용착되어 있는 것을 특징으로 한다.

Description

고압 방전 램프{HIGH PRESSURE DISCHARGE LAMP}

본 발명은 숏 아크형 방전 램프에 관한 것이다. 특히, 반도체나 액정 기판의 노광용 등에 사용되는 자외선을 방사하는 대형 고입력 램프로서, 방전 공간과 외부를 가로막는 밀봉부의 구조에 특징을 가지는 숏 아크형 방전 램프에 관한 것이다.

종래부터, 반도체나 액정 기판의 노광용에 이용되는 숏 아크형 방전 램프의 점등 시에는, 높은 점등 압력을 유지하면서 방전 공간 내와 상기 램프 외부의 기밀성을 확보할 목적으로, 몰리브덴 등의 금속박을 유리와 봉착시켜 시일하는 방법이 이용되고 있다. 도 5에 금속박을 이용하여 시일한, 소위 박 시일 타입의 숏 아크형 방전 램프에 대해서 도시한다. 상기 숏 아크형 방전 램프(51)는, 벌브부(52)와, 상기 벌브부(52)의 양 단으로부터 돌출되는 가지관부(53)로 이루어져 있다. 또한, 상기 벌브부(52)의 내부에는 양극(54)과 음극(55)이 대향 배치되어 있다. 또한, 상기 벌브부(52)는 방전 공간을 형성하여 상기 벌브부(52)의 내부에 희 가스로서 예를 들면 크세논 가스가 1기압 정도 봉입되고, 발광 물질로서 수은이 예를 들면 1㎎/㎣ 내지 10㎎/㎣ 정도 봉입되어 있다. 상기 양극(54), 상기 음극(55)은, 내부 리드봉(56a 또는 56b)의 일단과 접속되어 있다. 상기 양극(54)측의 상기 내부 리드봉(56a)의 타단은 석영 유리로 이루어지는 관형상체(57)에 삽입되어 와셔형상의 금속체(58)와 전기적으로 접속하여, 마운트부(64)의 일부를 구성하고 있다.

상기 마운트부(64)는, 상기 내부 리드봉(56a), 상기 내부 리드봉(56a)을 지지하는 관형상체(57), 상기 내부 리드봉(56a)에 전기적으로 접속된 금속체(58), 상기 금속체(58)에 연접한 금속박부(59), 상기 금속박부(59)가 외주면 상에 배치된 폐색체(60), 상기 폐색체(60)의 반 방전 공간측의 단부에 배치되어 상기 금속박부(59)에 전기적으로 접속하는 제2 금속체(61), 상기 제2 금속체(61)에 접속되어 외부로부터 급전가능하게 하는 외부 리드봉(63), 상기 외부 리드봉(63)을 지지하는 제2 관형상체(62)로 이루어져 있다. 상기 마운트부(64)는, 상기 가지관부(53)에 삽입되고, 상기 마운트부(64)중에 배치된 상기 금속박부(59)를 통해 상기 가지관부(53)와 봉착되어 있다. 또한, 상기 마운트부(64)의 둘레방향에서 상기 금속박부(59)끼리의 간극 부분(60a)에서는, 상기 폐색체(60)와 상기 가지관부(53)가 각각의 계면에서 용융함으로써 봉착되어 있다. 이와 같이 금속박을 이용하여 밀봉하는 기술은 예를 들면 일본국 특허 3379438호에 기재되어 있다. 한편, 도 5에 도시한 상기 양극(54)측의 상기 가지관부(53)와, 상기 음극(55)측의 상기 가지관부(53)는 동일한 구성이므로, 여기서는 상기 음극(55)측의 설명은 생략한다.

그런데, 도 5에 도시한 것과 같은 숏 아크형 방전 램프(51)에 대해서 시장에서는, 반도체 처리 시의 스루풋을 올리는 것이나, 액정 기판이나 컬러 필터를 대상으로 한 대면적 조사 시의 처리 능력을 향상시키는 것이 요구된다. 이들 요망에 대해, 상기 숏 아크형 방전 램프(51)에의 투입 전력을 지금까지 이상으로 높게 함으로써 대응하는 것이 현 상황이다.

그러나, 투입 전력이 더욱 고입력화됨에 따라, 벌브부(52)나 가지관부(53)가 대형화될 뿐만 아니라, 상기 양극(54), 상기 음극(55) 자신의 대형화에 의해 전극부의 중량이 매우 무겁게 되어, 제조 시의 취급이 어렵다는 문제가 발생했다. 구체적인 예로는, 입력 전력 12KW이고, 상기 벌브부(52)의 크기는 외경 120㎜, 길이 160㎜ 정도, 상기 양극(54)으로는 외경 30㎜, 길이 60㎜, 무게 약 1Kg 정도의 것이 필요해진다. 또한, 고입력화에 의해 점등 시의 램프 전류는 대전류화되어, 상기 마운트부(64)의 폐색체(60)의 외주 방향에 배치된 금속박의 매수를 늘려 높은 전류에 대응할 필요가 있다. 이러한 마운트부(64)를 시일하는 경우, 상술의 중량이 무거운 전극 등 때문에 시일 후의 금속박부(59)에 구김이 형성되거나 박 자신이 파단되기도 하는 문제가 발생했다. 또한, 상기 램프의 점등 중에는 상기 벌브부(52) 내의 압력이 매우 높아지는데, 상기 전극의 대형화에 따라, 벌브부(52)와 가지관부(53)와의 사이에 응력이 집중한다. 이 경우에, 상기 금속박부(59)의 구김 등과도 겹쳐져, 가지관부(53)가 꺾어지는 불량이 발생한다는 문제가 생겼다. 또한, 높은 전류에 대응하기 위해서 금속박의 매수를 증가시키면 상기 폐색체(60)의 외주 방향에 배치되는 금속박 사이의 간극이 매우 작아져 제조 시의 취급이 더욱 곤란해진다는 문제가 생겼다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 대형 숏 아크형 방전 램프, 특히 입력 전력이 10KW 이상인 숏 아크형 방전 램프에 있어서, 박 시일부가 파단 등이 되지 않고, 또한, 방전 공간과 외부와의 기밀(氣密)을 충분히 확보하는 시일부 구조를 제공하는데 있다. 또한, 램프 점등 시에 벌브부와 가지관부와의 사이에 발생하는 응력을 억제하여 가지관부의 꺾어짐 등의 불량이 일어나지 않는 숏 아크형 방전 램프를 제공하는 것에 있다. 또한, 입력 전력이 10KW 이상인 대형 숏 아크형 방전 램프라도 제조 시의 취급이 용이한 숏 아크형 방전 램프를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 숏 아크형 방전 램프는, 방전 공간을 형성하는 벌브부와, 상기 벌브부의 양단으로 돌출하는 가지관부를 가지고, 상기 벌브부 내에는 한쌍의 전극이 대향 배치되어 있고, 상기 가지관부에는, 상기 전극에 연접하는 내부 리드봉, 상기 내부 리드봉을 지지하는 관형상체, 상기 내부 리드봉에 전기적으로 접속된 금속체, 상기 금속체에 연접한 금속박부, 상기 금속박부가 외주면상에 배치된 폐색체, 상기 폐색체의 단부측에 배치되어 상기 금속박부에 전기적으로 접속된 제2 금속체, 상기 제2 금속체에 접속되어 외부로부터 급전가능하게 하는 외부 리드봉을 구비하는 마운트부가 설치되어 있는 숏 아크형 방전 램프로서, 상기 마운트부의 외경보다 큰 내경을 가지는 밀봉용 유리체로 상기 금속박부를 봉착한 시일체가, 상기 가지관부 내에 배치되고, 상기 가지관부와 상기 시일체가 용착되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 시일체의 내부 리드봉측에 배치된 상기 내부 리드봉을 지지하는 상기 관형상체의 단부로부터 상기 시일체의 외표면에 설치된 상기 밀봉용 유리체의 방전 공간측의 단부까지의 거리를 a, 상기 밀봉용 유리체의 직경 방향의 유리 두께를 b, 상기 가지관부를 구성하는 유리관의 직경 방향의 유리 두께를 d로 한 경우에, a/b>2, 또한, b/d<1로 되는 관계를 만족하는 것을 특징으로 한다.

<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>

본 발명의 숏 아크형 방전 램프는, 벌브부의 양단으로 돌출하는 가지관부의 내부에, 마운트부의 외주를 석영 유리로 덮은 시일체를 용착한 것이다. 또한, 마운트부를 밀봉용 유리체로 시일함으로써 제작한 상기 시일체에 전극 등을 접합하고, 이를 상기 가지관부에 삽입하고, 석영 유리로 덮인 상기 시일체의 외주면과, 유리체로 구성된 상기 가지관부의 관 내벽을 용착한 것이다. 또한, 상기 시일체의 두께와 상기 가지관부의 두께, 또한 상기 시일체의 단부의 길이에 따라서 내응력성이 높은 구조로 한 숏 아크형 방전 램프이다. 이하의 실시예에 구체적 구성을 도시한다.

<실시예 1>

본 발명의 제1 실시예로서 도 1에 시일부의 확대도의 개략 단면도를 도시한다. 본 발명의 숏 아크형 방전 램프(1)는 벌브부(2)로부터 돌출하는 가지관부(3)로 이루어져 있다. 또한, 내부 리드봉(6)는 관형상체(7)를 관통하여 배치되어 있고, 상기 리드봉(6)의 단부(6a)측에는 금속체(8)가 배치되어 상기 리드봉(6)과 용접되어 있다. 상기 금속체(8)에는 금속박(9)이 접속되어 있고, 상기 금속박(9)은 폐색체(10)의 외주에 배치되어 있다. 또한, 도 1에서 금속박(9)은 모식적으로 기재하고 있는데, 실제의 두께 치수는 예를 들면 20㎛ 정도이다. 상기 금속박(9)의 타단측에는 제2 금속체(11)가 배치되어 상기 금속박(9)과 접속되어 있다. 또한, 상기 제2 금속체(11)에는 외부 리드봉(13)이 접속되어 있다. 또한, 상기 외부 리드봉(13)은 석영 유리로 이루어지는 제2 관형상체(12)를 관통하여 배치되어 있다. 또한, 상기 내부 리드봉(6), 상기 관형상체(7), 상기 금속체(8), 상기 금속박(9), 상기 폐색체(10), 제2 금속체(11), 제2 관형상체(12), 외부 리드봉(13)으로 마운트부(14)가 구성되어 있다. 상기 마운트부(14)의 외주에는 밀봉용 유리체(15)가 배치되어 상기 금속박(9)의 부분과 시일되어 시일체(16)를 형성하고 있다. 상기 시일체(16)가 상기 가지관부(3)에 삽입되어 상기 가지관부(3)의 관 내벽과 상기 시일체(16)의 외주면이 용착되어 있다. 또한, 도 1에서는 밀봉용 유리체(15)의 형상이 대략 원통형인 경우를 도시했는데, 상기 밀봉용 유리체(15)의 내경측 단부에 외경측으로 넓어지는 테이퍼를 형성하는 등의 형상이어도 된다.

또한, 상기 가지관부(3)를 구성하는 유리체의 두께를 d, 상기 밀봉용 유리체(15)의 두께를 b, 상기 시일체(16)의 상기 벌브(2)측의 단부로부터 상기 관형상체(7)의 상기 벌브(2)측의 단부까지의 거리를 a로 한다. 이 경우, 상기 시일체(16)의 상기 벌브(2)측의 단과 상기 가지관부(3)측의 단부에 상기 숏 아크형 방전 램프(1)의 점등 중 가장 응력이 집중하는 점 c가 존재한다. 상기 응력이 집중하는 점 c에서의 상기 a, b, c의 각 값과의 관계를 도 2 및 도 3에 도시한다.

도 2는 응력 해석 시뮬레이션으로 구한 것으로, 벌브(2)의 내압으로서 3MPa의 압력 조건으로 계산한 결과이다. 세로축에는, 점 c에서 상기 숏 아크형 방전 램프(1)의 점등 중에 발생하는 응력, 가로축에는 상기 시일체(16)의 상기 벌브(2)측의 단부로부터 상기 관형상체(7)의 상기 벌브(2)측의 단부까지의 거리 a를 상기 밀봉용 유리체(15)의 두께 b로 나눈 값 a/b, 구체적으로는, 어떤 두께 b일 때에 a의 길이를 어느정도 길게 하는지를 나타내고 있다. 또한, 각 a/b에서의 점 c의 응력은, 상기 시일체(16)의 상기 벌브(2)측의 단부로부터 상기 관형상체(7)의 상기 벌브(2)측의 단부까지의 거리 a=0, 즉 상기 시일체(16)의 상기 벌브(2)측의 단부와 상기 관형상체(7)의 상기 벌브(2)측의 단부가 동일면에 있을 때의 점 c에서 발생하는 응력을 100으로 한 경우의 응력으로 규격화했다. 도 2에 의하면, b의 값을 1.5, 2 및 3으로 한 경우의 a/b의 각 값에서 발생하는 응력을 표시하고 있다. 각 b의 전체에 있어서, a/b>2에서는 각 b의 값에서 거의 안정된 응력으로 되어 있고, 모든 값이 a/b=0인 경우보다 작아져 있다. 즉, a/b>2의 범위이면 점 c의 응력을 저하시킬 수 있다. 또한, 의사적인 확인 실험으로서, 시뮬레이션에서 이용한 것과 동일 형상의 숏 아크형 방전 램프를 제작하고, 내압 시험을 행했다. 결과로는, a/b=0에 상당하는 램프보다, a/b>2에 상당하는 램프쪽이 높은 압력까지 파괴되지 않아, 점 c에의 응력 집중이 a/b>2로 되는 조건에서는 적은 것으로 생각된다.

다음에 도시하는 도 3도, 응력 해석 시뮬레이션에 의한 계산 결과로, 벌브(2)의 내압으로서 3MPa의 압력 조건으로 계산한 것이다. 상기 도 3에서는, 세로축에 상기 밀봉용 유리체(15)의 두께 b와 상기 가지관부(3)를 구성하는 유리체의 두께 d를 동일하게 한 경우에 점 c에서 발생하는 응력을 100으로서 규격화한 응력을 표시하고, 가로축은 b/d의 값을 표시하고 있다. 도 3에 의하면, b/d=1인 경우, 즉 b와 d의 두께가 동일한 경우보다 상기 밀봉용 유리체(15)의 두께 b가 두꺼워지면 발생하는 응력도 높아지는 경향을 나타낸다. 반대로, b/d<1인 경우에 발생하는 응력은 b/d=1인 경우보다 낮아지는 경향을 나타낸다. 또한, 도 2의 경우와 마찬가지로 의사적인 확인 실험으로서, 시뮬레이션에서 이용한 것과 동일한 형상의 숏 아크형 방전 램프를 제작하여, 내압 시험을 행했다. 결과로는, b/d=1에 상당하는 램프보다, b/d<1에 상당하는 램프쪽이 높은 압력까지 파괴되지 않아, 점 c에의 응력 집중이 b/d<1로 되는 조건에서는 적은 것으로 생각된다.

상기 도 2 및 상기 도 3에 도시한 경향에서, a/b>2, 또한, b/d<1인 경우에는, 특히 응력이 집중하는 점 c에 발생하는 응력을 저감시킬 수 있다는 이점이 있다. 구체적으로는, 상기 시일체(16)의 상기 벌브(2)측의 단부로부터 상기 관형상체(7)의 상기 벌브(2)측의 단부까지의 거리(a)를 8㎜, 밀봉용 유리체(15)의 두께(b)를 2㎜, 상기 가지관부(3)를 구성하는 유리체의 두께(d)를 3.5㎜로 했다. 이 경우, a/b의 값은 4, b/d의 값은 0.57로 된다. 가지관부(3)의 직경은 Ф32㎜, 길이 65㎜이다.

상기의 구성을 가지는 실시예로는, 예를 들면 입력 전력 12kW, 양극의 크기는 길이 60㎜, 외경 30㎜, 무게 약 1Kg, 벌브부의 직경 120㎜, 벌브의 길이 160㎜, 벌브부에 봉입되는 희 가스로서 Xe를 1기압, 상기 벌브부 내에 봉입되는 수은량은 8㎎/㎣인 숏 아크형 방전 램프를 제작, 점등했는데, 가지관부의 꺾어짐 등의 문제는 발생하지 않았다. 또한, 입력 전력이 10kW 이상인 숏 아크 방전 램프에서는, 상기 구성에 의해 응력의 발생이 억제되어 가지관의 꺾어짐 등의 문제를 해소할 수 있다. 이는, 점등 시의 벌브부 내의 압력이, 희 가스나 수은량에 의해, 커지는 경우라도 동일하다. 예를 들면, 반도체 노광용이나 액정 기판의 처리용에 이용되는 숏 아크 방전 램프에서는, 상기 벌브부에 봉입되는 희 가스의 압력은 0.1기압 내지 5기압, 상기 벌브부 내에 봉입되는 수은량은 1㎎/㎣ 내지 10㎎/㎣인 것이 있고, 이들에 있어서 동일한 효과를 기대할 수 있다.

다음에, 본 발명의 구성을 가지는 숏 아크 방전 램프를 제작하기 위한 시일 공정의 일례를 도 4에 도시한다. 도 4의 a)부터 g)까지의 각 공정에 의해 본 발명의 시일부가 구성되어 있다. a)는 마운트부의 구성을 도시하는 도면이다. 내부 리드봉(6)에는 석영 유리로 이루어지는 관형상체(7)가 끼워져 있다. 또한, 상기 내부 리드봉(6)에 용접된 와셔형상의 금속체(8)에는 금속박(9)이 접속된다. 상기 내부 리드봉(6)의 일단은 석영 유리로 이루어지는 폐색체(10)의 일단에 삽입되어 있다. 상기 폐색체(10)의 타단에는 외부 리드봉(13)이 삽입되어 있다. 상기 외부 리드봉(13)에는 제2 금속체(11)가 용접되어 있고, 상기 제2 금속체에 상기 금속박(9)의 타단이 접속되어 있다. 상기 금속박(9)은 상기 폐색체(10)의 외주면에 등간격으로 배치되어 있다. 또한, 상기 외부 리드봉(13)에는 제2 관형상체(12)가 삽입되어 있다. b)에서는 a)에서 조합한 마운트부(14)가 밀봉용 유리체(15)내에 삽입된다. c)에서는, 상기 밀봉용 유리체(15)를 가열함으로써 상기 마운트부(14)의 상기 금속박(9)이 박 시일된다. 이에 따라, 상기 내부 리드봉(6)과 외부 리드봉(13)이 기밀을 유지한 상태에서 통전 가능해진다. d)에서는, 상기 밀봉용 유리체(15)의 양단을 절단한다. 이 공정에서 상기 폐색체(10)와 상기 밀봉용 유리체의 단부까지의 거리인 a의 치수가 규정된다. 이에 따라 시일체(16)가 구성된다. e)의 공정에서는, 상기 시일체(16)로부터 돌출되는 상기 내부 리드봉(6)의 선단에 전극으로서, 양극(44), 또는 음극(45)을 접속한다. f)에서는, e)에서 제작된 전극 부착 시일체(16)를 벌브부(2)로부터 돌출되는 가지관부(3)에 삽입한다. g)에서는, 상기 가지관부(3)를 가열함으로써 삽입한 상기 시일체(16)의 외주면과 상기 가지관부의 관 내벽이 용착된다. 상기 공정에 의해 본 발명의 시일이 구성된다.

본 발명의 숏 아크형 방전 램프에 의하면, 상기 마운트부의 외경보다 큰 내경을 가지는 밀봉용 유리체로 상기 금속박부를 봉착한 시일체가, 상기 가지관부 내에 배치되고, 상기 가지관부와 상기 시일체가 용착된 구조를 가진다. 상기 구조에 의하면, 제조 시 등에 상기 금속박에 구김이 생기거나, 상기 금속박부에 큰 응력이 걸려 상기 금속박이 파단되는 문제를 해소할 수 있다. 또한, 상기 금속박을 밀봉용 유리체에 사전에 봉착함으로써 상기 금속박부의 기밀성을 확보할 수 있다. 또한, 상기 시일체를 가지관부에 봉착함으로써 전극부가 대형으로 되고, 중량이 매우 무겁게 되어도 용이하게 봉착부를 형성할 수 있는 효과를 가진다.

또한, 상술의 구성에 추가하여, 상기 시일체의 내부 리드봉측에 배치된 상기 내부 리드봉을 지지하는 상기 관형상체의 단부와 상기 시일체의 외표면에 형성된 상기 밀봉용 유리체의 방전 공간측의 단부까지의 거리를 a, 상기 밀봉용 유리체의 직경 방향의 유리 두께를 b, 상기 가지관부를 구성하는 유리관의 직경 방향의 유리 두께를 d로 한 경우에, a/b>2, 또한 b/d<1로 되는 관계를 만족함으로써, 상기 시일부에 발생하는 응력을 작게 억제하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 상기 숏 아크형 방전 램프가 입력 전력 10kW 이상인 대형으로 되어도, 전극의 중량 때문에 상기 가지관부에서 꺾이는 등의 파손이 억제된다. 또한, 점등 시에 벌브부 내의 압력이 높아도, 가지관부의 꺾어짐 등의 문제가 일어나지 않는 효과를 갖는다.

도 1은 본 발명의 숏 아크형 방전 램프의 시일부의 구성을 도시하는 개략 단면도,

도 2는 본 발명의 효과를 도시하는 도면,

도 3은 본 발명의 효과를 도시하는 도면,

도 4는 본 발명의 숏 아크형 방전 램프의 제조 공정을 도시하는 개념도,

도 5는 종래의 숏 아크형 방전 램프의 구조를 도시하는 개념도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 숏 아크형 방전 램프 2 : 벌브부

3 : 가지관부 6 : 내부 리드봉

6a : 단부 7 : 관형상체

8 : 금속체 9: 금속박

10 : 폐색체 11 : 제2 금속체

12 : 제2 관형상체 13 : 외부 리드봉

14 : 마운트부 15 : 밀봉용 유리체

16 : 시일체 44 : 양극

45 : 음극 51 : 숏 아크형 방전 램프

52 : 벌브부 53 : 가지관부

54 : 양극 55 : 음극

56a : 내부 리드봉 56b : 내부 리드봉

57 : 관형상체 58 : 금속체

59 : 금속박부 60 : 폐색체

60a : 간극부 61 : 금속체

62 : 관형상체 63 : 외부 리드봉

64 : 마운트부

Claims (2)

1. 방전 공간을 형성하는 벌브부와, 상기 벌브부의 양 단으로 돌출하는 가지관부를 가지고, 상기 벌브부 내에는 한쌍의 전극이 대향 배치되어 있고, 상기 가지관부에는, 상기 전극에 연접하는 내부 리드봉, 상기 내부 리드봉을 지지하는 관형상체, 상기 내부 리드봉에 전기적으로 접속된 금속체, 상기 금속체에 연접한 금속박부, 상기 금속박부가 외주면상에 배치된 폐색체, 상기 폐색체의 단부측에 배치되어 상기 금속박부에 전기적으로 접속된 제2 금속체, 상기 제2 금속체에 접속되어 외부로부터 급전 가능하게 하는 외부 리드봉을 구비하는 마운트부가 설치되어 있는 숏 아크형 방전 램프로서,

   상기 마운트부의 외경보다 큰 내경을 가지는 밀봉용 유리체로 상기 금속박부를 봉착한 시일체가, 상기 가지관부 내에 배치되고, 상기 가지관부와 상기 시일체가 용착되어 있는 것을 특징으로 하는 숏 아크형 방전 램프.
2. 제 1항에 있어서, 상기 시일체의 내부 리드봉측에 배치된 상기 내부 리드봉을 지지하는 상기 관형상체의 단부로부터 상기 시일체의 외표면에 설치된 상기 밀봉용 유리체의 방전 공간측의 단부까지의 거리를 a, 상기 밀봉용 유리체의 직경 방향의 유리 두께를 b, 상기 가지관부를 구성하는 유리관의 직경 방향의 유리 두께를 d로 한 경우에,

   a/b>2, 또한, b/d<1로

   되는 관계를 만족하는 것을 특징으로 하는 숏 아크형 방전 램프.