JPH0835724A - 気体加熱装置 - Google Patents
気体加熱装置Info
- Publication number
- JPH0835724A JPH0835724A JP19015894A JP19015894A JPH0835724A JP H0835724 A JPH0835724 A JP H0835724A JP 19015894 A JP19015894 A JP 19015894A JP 19015894 A JP19015894 A JP 19015894A JP H0835724 A JPH0835724 A JP H0835724A
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- Japan
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- gas
- quartz tube
- heater
- halogen heater
- transparent quartz
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Abstract
(57)【要約】
【目的】気体を加熱することによって異物が発生するこ
となく、クリーンルーム内でも良好に使うことができる
気体加熱装置を提供するとを目的とする。 【構成】ハロゲンヒータ1と、このハロゲンヒータ1に
直接溶接され、かつ、その内部に気体加熱用の空間を有
するように、ハロゲンヒータの発光部を取り囲んで構成
され、さらに加熱すべき気体の導入口3、及び噴出口4
を有する透明石英管2より構成されることを特徴とす
る。また、二次熱源として黒色塗装5を施すこともでき
る。
となく、クリーンルーム内でも良好に使うことができる
気体加熱装置を提供するとを目的とする。 【構成】ハロゲンヒータ1と、このハロゲンヒータ1に
直接溶接され、かつ、その内部に気体加熱用の空間を有
するように、ハロゲンヒータの発光部を取り囲んで構成
され、さらに加熱すべき気体の導入口3、及び噴出口4
を有する透明石英管2より構成されることを特徴とす
る。また、二次熱源として黒色塗装5を施すこともでき
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は気体の加熱装置に関す
る。特に、クリーンルームにおける気体の加熱装置に関
する。
る。特に、クリーンルームにおける気体の加熱装置に関
する。
【0002】
【従来技術】従来、空気、窒素ガス等の気体を加熱する
装置としては、ステンレス鋼を外皮とするシーズヒータ
(埋め込み型の電気抵抗ヒータ)を、同じくステンレス
鋼の円筒容器に内蔵して、この容器内に導入された気体
が、シーズヒータの外皮に強制対流で直接接触すること
により、熱伝達で加熱するものがある。そして、熱放散
の効率を高めるために、シーズヒータ外皮を酸化処理や
耐熱塗装を行って黒色化している。
装置としては、ステンレス鋼を外皮とするシーズヒータ
(埋め込み型の電気抵抗ヒータ)を、同じくステンレス
鋼の円筒容器に内蔵して、この容器内に導入された気体
が、シーズヒータの外皮に強制対流で直接接触すること
により、熱伝達で加熱するものがある。そして、熱放散
の効率を高めるために、シーズヒータ外皮を酸化処理や
耐熱塗装を行って黒色化している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の気体加
熱装置は、例えば、クラス100程度のクリーンルーム
の中で使用すると、シーズヒータの外皮に施した酸化膜
や塗装に剥がれを生じて、この剥がれがクリーンルーム
内に混入してしまうという問題を生じる。すなわち、従
来の加熱装置は、粒子や埃が多少存在しても支障のない
空間で使う分には問題はないが、前述の如く、クリーン
ルーム等で使う場合には問題がある。
熱装置は、例えば、クラス100程度のクリーンルーム
の中で使用すると、シーズヒータの外皮に施した酸化膜
や塗装に剥がれを生じて、この剥がれがクリーンルーム
内に混入してしまうという問題を生じる。すなわち、従
来の加熱装置は、粒子や埃が多少存在しても支障のない
空間で使う分には問題はないが、前述の如く、クリーン
ルーム等で使う場合には問題がある。
【0004】
【課題を解決するための手段】この発明にかかる気体加
熱装置は、ハロゲンヒータと、このハロゲンヒータに直
接溶接され、かつ、その内部に気体加熱用の空間を有す
るように、ハロゲンヒータの発光部を取り囲んで構成さ
れ、さらに加熱すべき気体の導入口及び噴出口を有する
透明石英管とより構成されることを特徴とする。そし
て、さらに透明石英管の外側の外表面に、耐熱性黒色塗
料を焼き付けることができる。
熱装置は、ハロゲンヒータと、このハロゲンヒータに直
接溶接され、かつ、その内部に気体加熱用の空間を有す
るように、ハロゲンヒータの発光部を取り囲んで構成さ
れ、さらに加熱すべき気体の導入口及び噴出口を有する
透明石英管とより構成されることを特徴とする。そし
て、さらに透明石英管の外側の外表面に、耐熱性黒色塗
料を焼き付けることができる。
【0005】
【作用】ハロゲンヒータから放射されるエネルギーは、
その石英管外表面を通過する気体を加熱するとともに、
気体が通過する流路とは隔離して形成された耐熱性黒色
塗料をも加熱する。そして、この黒色塗料に吸収された
エネルギーは、再放出することによって二次熱源として
機能する。つまり、気体が通過する流路には、熱や流体
圧力によって剥がれような物は存在しないので、クリー
ンルームでも良好に使うことができる。
その石英管外表面を通過する気体を加熱するとともに、
気体が通過する流路とは隔離して形成された耐熱性黒色
塗料をも加熱する。そして、この黒色塗料に吸収された
エネルギーは、再放出することによって二次熱源として
機能する。つまり、気体が通過する流路には、熱や流体
圧力によって剥がれような物は存在しないので、クリー
ンルームでも良好に使うことができる。
【0006】
【実施例】図1は、請求項1に係る発明の実施例を示
す。ハロゲンヒータ1の発光部をほとんど取り囲むよう
に、透明石英管2が設けられ、この透明石英管2は直接
ハロゲンヒータ1に溶接される。透明石英管2には、外
部より加熱の対象とする気体の導入口3と、加熱を終了
した気体の噴出口4が構成される。このような構造によ
り、導入口3より透明石英管2の中に導入された気体
は、透明石英管2の中で滞留するとともに、ここでハロ
ゲンヒーターからの放射熱を受けて加熱される。ハロゲ
ンヒータ1は、近赤外光にピークをもち、可視光から近
赤外光まで連続した放射ができるので、内部にタングス
テンフィラメントを熱源とする封止型ヒータである。一
例をあげれば、投入電力の85%以上を赤外線に変換し
て放射するハロゲンランプよりなり、例えば、定格電圧
200V、消費電力2KW、有効発光長280mm、管径
10mmのものが適用される。また、クリーンルーム内で
は、水蒸気を除去するが必要があり、このため水蒸気除
去用に当該加熱装置に除湿器や乾燥装置を設けることが
多い。つまり、加熱装置に導入される空気は、通常の大
気より水分の割合の少ない乾燥空気であり、乾燥空気を
加熱するためには遠赤外光に放射域を持つ必要はそれほ
どなく、可視光から近赤外光までの放射域を持つもので
あればよい。透明石英管2は、ハロゲンヒータ1を中心
軸にする略円筒形状のものであり、加熱対象の気体を溜
める内部空間の内容積は約200cm3 である。
す。ハロゲンヒータ1の発光部をほとんど取り囲むよう
に、透明石英管2が設けられ、この透明石英管2は直接
ハロゲンヒータ1に溶接される。透明石英管2には、外
部より加熱の対象とする気体の導入口3と、加熱を終了
した気体の噴出口4が構成される。このような構造によ
り、導入口3より透明石英管2の中に導入された気体
は、透明石英管2の中で滞留するとともに、ここでハロ
ゲンヒーターからの放射熱を受けて加熱される。ハロゲ
ンヒータ1は、近赤外光にピークをもち、可視光から近
赤外光まで連続した放射ができるので、内部にタングス
テンフィラメントを熱源とする封止型ヒータである。一
例をあげれば、投入電力の85%以上を赤外線に変換し
て放射するハロゲンランプよりなり、例えば、定格電圧
200V、消費電力2KW、有効発光長280mm、管径
10mmのものが適用される。また、クリーンルーム内で
は、水蒸気を除去するが必要があり、このため水蒸気除
去用に当該加熱装置に除湿器や乾燥装置を設けることが
多い。つまり、加熱装置に導入される空気は、通常の大
気より水分の割合の少ない乾燥空気であり、乾燥空気を
加熱するためには遠赤外光に放射域を持つ必要はそれほ
どなく、可視光から近赤外光までの放射域を持つもので
あればよい。透明石英管2は、ハロゲンヒータ1を中心
軸にする略円筒形状のものであり、加熱対象の気体を溜
める内部空間の内容積は約200cm3 である。
【0007】図2は、ハロゲンヒータ1と透明石英管2
を溶接して、一体物を作る方法を示す図である。ハロゲ
ンヒータ1は、もともと図に示すような、石英製ガラス
管の両端に円盤状の突起6を2つ有するもので、ハロゲ
ンガス等の気体を封入して封止して、リード線取付等の
加工作業を施してランプとして仕上げた後に、当該円盤
状突起6に対して透明石英管2を溶接する。円盤状突起
6は、例えば、幅約1mm、外径約25mmの大きさであ
る。透明石英管2は、ハロゲンヒータ1の発光部をほぼ
全域にわたって囲み込むような形状が好ましい。
を溶接して、一体物を作る方法を示す図である。ハロゲ
ンヒータ1は、もともと図に示すような、石英製ガラス
管の両端に円盤状の突起6を2つ有するもので、ハロゲ
ンガス等の気体を封入して封止して、リード線取付等の
加工作業を施してランプとして仕上げた後に、当該円盤
状突起6に対して透明石英管2を溶接する。円盤状突起
6は、例えば、幅約1mm、外径約25mmの大きさであ
る。透明石英管2は、ハロゲンヒータ1の発光部をほぼ
全域にわたって囲み込むような形状が好ましい。
【0008】上記説明は、ハロゲンヒータ1からの直接
の放射熱により、気体を加熱するものであるが、さら
に、加熱効率を上げるためには、透明石英管2の外表面
に耐熱性黒色塗料5を形成することができる。この黒色
塗料5は、加熱される気体と直接に接触しないと場所で
あって、かつ、ハロゲンヒータ1からの放射熱を良好に
受けることができる位置に焼き付けて形成される。二次
熱源は、十分に気体を加熱することができるように可能
な限り広い領域に形成することが好ましい。黒色塗料5
は二次熱源となり、吸収したエネルギーを内部空間に対
して再放射するとともに透明石英管2自体をも加熱す
る。
の放射熱により、気体を加熱するものであるが、さら
に、加熱効率を上げるためには、透明石英管2の外表面
に耐熱性黒色塗料5を形成することができる。この黒色
塗料5は、加熱される気体と直接に接触しないと場所で
あって、かつ、ハロゲンヒータ1からの放射熱を良好に
受けることができる位置に焼き付けて形成される。二次
熱源は、十分に気体を加熱することができるように可能
な限り広い領域に形成することが好ましい。黒色塗料5
は二次熱源となり、吸収したエネルギーを内部空間に対
して再放射するとともに透明石英管2自体をも加熱す
る。
【0009】このように、加熱される気体は、ハロゲン
ヒータの外表面を通過するだけであるので、従来のシー
ズヒータ方式のように外皮に施した物体が剥がれ落ちて
気体中に混在するということはありえない。また、加熱
効率を高めるために、二次熱源として黒色塗料を形成す
るが、これも気体の流路とは隔離されて形成されるので
同様の問題は生じることはない。すなわち、異物の存在
が許されないクリーンルームにおいても、当該加熱装置
を何ら問題もなく使うことができる。
ヒータの外表面を通過するだけであるので、従来のシー
ズヒータ方式のように外皮に施した物体が剥がれ落ちて
気体中に混在するということはありえない。また、加熱
効率を高めるために、二次熱源として黒色塗料を形成す
るが、これも気体の流路とは隔離されて形成されるので
同様の問題は生じることはない。すなわち、異物の存在
が許されないクリーンルームにおいても、当該加熱装置
を何ら問題もなく使うことができる。
【0010】図3には、ヒータ1が透明石英管2と一体
に形成された構造の加熱装置であって、図1で示したも
のと異なるものを紹介する。ハロゲンヒータ1の周囲に
は透明石英管2があり、その両端は、Oリングを介して
容器外壁30に接触される。透明石英管2の外表面には
気体導入口3が開口として形成され、容器外壁30に設
けられた気体導入口31から案内壁32にしたがって導
かれた気体が導入される。気体導入口31にはコネクタ
を備えており、パイプ等が接続しやすいようになってい
る。透明石英管2の他端には気体排出口4が設けられ、
気体溜まり40の中に加熱した気体を溜めるように送り
込む。容器外壁30は、例えば、ステンレスよりなる。
容器外壁40のうち上壁と下壁には水冷管41が容器全
体を巻き付けるように備えられている。また、接触面積
を多くとるために、図のように山型に接触させている。
容器外壁30には、気体溜まり40に溜まった気体を排
出するための空気出口42を設けている。この空気出口
42もコネクタを備えパイプ等が接続されるようになっ
ている。ハロゲンヒータ1は、1本に限らず、複数本設
定することもできる。
に形成された構造の加熱装置であって、図1で示したも
のと異なるものを紹介する。ハロゲンヒータ1の周囲に
は透明石英管2があり、その両端は、Oリングを介して
容器外壁30に接触される。透明石英管2の外表面には
気体導入口3が開口として形成され、容器外壁30に設
けられた気体導入口31から案内壁32にしたがって導
かれた気体が導入される。気体導入口31にはコネクタ
を備えており、パイプ等が接続しやすいようになってい
る。透明石英管2の他端には気体排出口4が設けられ、
気体溜まり40の中に加熱した気体を溜めるように送り
込む。容器外壁30は、例えば、ステンレスよりなる。
容器外壁40のうち上壁と下壁には水冷管41が容器全
体を巻き付けるように備えられている。また、接触面積
を多くとるために、図のように山型に接触させている。
容器外壁30には、気体溜まり40に溜まった気体を排
出するための空気出口42を設けている。この空気出口
42もコネクタを備えパイプ等が接続されるようになっ
ている。ハロゲンヒータ1は、1本に限らず、複数本設
定することもできる。
【0011】
【発明の効果】ハロゲンヒータから放射されるエネルギ
ーは、その石英管外表面を通過する気体を加熱するとと
もに、気体が通過する流路とは隔離して形成された耐熱
性黒色塗料をも加熱する。そして、この黒色塗料に吸収
されたエネルギーは、再放出することによって二次熱源
として機能する。つまり、気体が通過する流路には、熱
や流体圧力によって剥がれような物は存在しないので、
クリーンルームでも良好に使うことができる。
ーは、その石英管外表面を通過する気体を加熱するとと
もに、気体が通過する流路とは隔離して形成された耐熱
性黒色塗料をも加熱する。そして、この黒色塗料に吸収
されたエネルギーは、再放出することによって二次熱源
として機能する。つまり、気体が通過する流路には、熱
や流体圧力によって剥がれような物は存在しないので、
クリーンルームでも良好に使うことができる。
【図1】この発明の気体加熱装置を示す。
【図2】この発明の気体加熱装置を製造する方法を説明
するための図を示す。
するための図を示す。
【図3】この発明の気体加熱装置を示す。
1 ハロゲンヒータ 2 透明石英管 3 気体導入口 4 気体噴出口 5 黒色塗装 10 ヒータホルダ 20 気体導入路 22 気体溜まり
Claims (2)
- 【請求項1】ハロゲンヒータと、 このハロゲンヒータに直接溶接され、かつ、その内部に
気体加熱用の空間を有するように、ハロゲンヒータの発
光部を取り囲んで構成され、さらに加熱すべき気体の導
入口及び噴出口を有する透明石英管と、 より構成される気体加熱装置。 - 【請求項2】透明石英管の外側の外表面には耐熱性黒色
塗料が焼き付けられていることを特徴とする請求項1記
載の気体加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19015894A JPH0835724A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 気体加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19015894A JPH0835724A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 気体加熱装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0835724A true JPH0835724A (ja) | 1996-02-06 |
Family
ID=16253396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19015894A Pending JPH0835724A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 気体加熱装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0835724A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012105414A1 (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-09 | Jnc株式会社 | ガス過熱器および過熱器連結体 |
US8983280B2 (en) | 2010-04-30 | 2015-03-17 | Ngk Insulators, Ltd. | Coated film drying furnace |
-
1994
- 1994-07-21 JP JP19015894A patent/JPH0835724A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8983280B2 (en) | 2010-04-30 | 2015-03-17 | Ngk Insulators, Ltd. | Coated film drying furnace |
WO2012105414A1 (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-09 | Jnc株式会社 | ガス過熱器および過熱器連結体 |
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