KR100535928B1 - 유전체 배리어 방전램프 - Google Patents

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KR100535928B1
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Abstract

본 발명은 용기재료의 내면을 용이하고, 또 충분히 확실하게 세정할 수 있어, 그 결과 양호한 발광특성을 가지며, 또 제조가 용이한 유전체 배리어 방전램프를 제공하고자 하는 것이다.
유전체 배리어 방전램프는 외측관과 내측관이 되는 원통 형상 이중관 구조의 방전용기를 가지고, 상기 외측관과 상기 내측관의 사이에 형성된 원통 형상의 방전공간 내에 유전체 배리어 방전에 의해 엑시머 분자를 형성하는 방전용 가스가 충전되어 이루어진 유전체 배리어 방전 램프에서, 방전용기에는 각각 방전공간에 이어져 통하는 유체 유통관의 잔부(殘部)가 2개 이상 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 상기에서는, 2개 이상의 유체 유통관의 잔부는 방전용기의 일 단부 및 타 단부에 형성되어 있는 것이 바람직하다.

Description

유전체 배리어 방전램프{Dielectric barrier discharge lamp}
본 발명은 유전체 배리어 방전을 이용하여 엑시머 광을 방출시키는 유전체 배리어 방전램프에 관한 것이다.
최근, 금속, 유리 그 외의 재료로 이루어진 피처리체에 파장 200㎚ 이하의 진공 자외선을 조사함으로써, 상기 진공 자외선 및 이것에 의해 생성되는 오존의 작용으로 피처리체를 처리하는 기술, 예컨대 피처리체의 표면에 부착한 유기 오염물물질을 제거하는 세정처리기술이나, 피처리체의 표면에 산화막을 형성하는 산화막 형성처리기술이 개발되어, 실용화되기에 이르렀다.
이러한 자외선 처리를 행하기 위한 램프로는, 유전체에 의해 구성된 방전용기 내에, 적당한 엑시머 발광용 가스가 충전되고, 상기 방전용기 내에서 유전체 배리어 방전(별명 「오조나이저(ozoniser) 방전」 또는 「무성(無聲) 방전」. 일본국 전기학회 발행 개정신판 「방전 핸드북」평성 1년 6월 재판 7쇄 발행 제 263 페이지 참조.)을 발생시킴으로써, 엑시머가 생성되어 엑시머 광이 방출되는 유전체 배리어 방전램프가 이용되고 있다.
이러한 유전체 배리어 방전램프를 제조하는 방법의 일례를 이하에 나타낸다.
도 7은 종래의 유전체 배리어 방전램프의 방전용기를 형성하기 위한 용기재료의 구성의 일례를 도시한 설명용 단면도이다. 이 도면에서, 40A는 유전체 배리어 방전램프의 방전용기를 형성하기 위한 용기재료이고, 유전체인 석영 유리로 이루어진 원통 형상의 외측관(41)과 내측관(42)에 의한 이중관 구조를 가지고, 외측관(41) 및 내측관(42) 각각의 양단부는 둥근 고리 형상의 단벽부(43, 44)에 의해 접합되어 구성되고, 외측관(41)과 내측관(42)의 사이에 원통 형상의 내부 공간(R)이 형성되어 있다. 그리고, 이 용기재료(40A)에는 1개의 배기관(45)이 한 쪽 단벽부(43)에 내부공간(R)과 이어져 통하도록 설치되어 있다.
이 용기재료(40A)는 내부공간(R)에 방전용 가스가 충전되기 전에, 예컨대 도 8에 도시한 바와 같이, 주사기(46)의 바늘(46A)이 배기관(45) 내에 삽입 통과되어, 예컨대 플루오르화 암모늄 수용액 등의 세정용 약액이 용기재료(40A) 내에 주입되어, 용기재료(40A) 내면의 세정이 행해진다.
그리고, 용기재료(40A)의 내면이 세정된 후, 세정용 약액은 용기재료(40A) 내로부터 흔들어 나오게 된다.
그 후, 세정용수에 의해 용기재료(40A)를 세척하여 용기재료(40A) 내에 잔류하는 세정용 약액을 씻어 내지만, 이 세정용수의 주입 및 배출은 상기와 같은 방법으로 하여 행해진다.
내면이 세정된 용기재료(40A)는 건조된 후, 배기관(45)에 배기장치가 접속되어 내부공간(R) 내의 공기가 배출된 후, 방전용 가스가 내부공간(R) 내에 충전된다. 그리고, 도 9에 도시한 바와 같이, 예컨대 버너 등에 의해 배기관(45)이 달구어져 끊어지므로서 내부공간(R)이 밀봉되어, 배기관의 잔부(47)를 가지는 방전용기(40) 내에 방전용 가스가 봉입되어 이루어진 램프 본체(50)가 형성된다.
그리고, 램프 본체(50)의 외측관(41)의 외주면 및 내측관(42)의 내주면 각각에 적당한 수단에 의해 한 쪽 전극 및 다른 쪽 전극이 설치됨에 따라, 유전체 배리어 방전램프가 제조된다.
그러나, 상기와 같은 방법에 의해 유전체 배리어 방전램프를 제조하는 경우에는, 이하와 같은 문제가 있다.
용기재료(40A)에 설치된 배기관(45)을 통해 행해진 용기재료(40A) 내로의 세정액의 주입작업 및 그 배출작업을 높은 작업효율로 행하는 것이 곤란하고, 그 결과 유전체 배리어 방전램프의 제조에 장시간을 필요로 하는 문제가 있다.
또, 용기재료(40A) 내로의 세정액의 주입작업 및 그 배출작업이 곤란하기 때문에, 용기재료(40A)의 내면을 충분히 세정할 수 없어, 오염물이나 이물질이 용기재료(40A) 내에 잔류하는 경우가 있고, 이 때문에 이 용기재료(40A)를 이용하여 제조된 경우에, 유전체 배리어 방전램프에서는 양호한 방전이 저해되어 발광강도가 저하하거나, 발광 얼룩이 발생하는 경우가 있는 문제가 있다.
본 발명은 이상과 같은 사정에 기초하여 이루어진 것으로, 그 목적은 용기재료의 내면을 용이하고 또 충분히 확실하게 세정할 수 있고, 그 결과 양호한 발광특성을 가지고, 또 제조가 용이한 유전체 배리어 방전램프를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 유전체 배리어 방전램프는 외측관과 내측관에 의한 원통 형상 이중관 구조의 방전용기를 가지고, 상기 외측관과 상기 내측관 사이에 형성된 원통 형상의 방전 공간 내에 유전체 배리어 방전에 의해 엑시머 분자를 형성하는 방전용 가스가 충전되어 이루어진 유전체 배리어 방전램프에 있어서,
방전용기에는, 각각 방전공간에 이어져 통하는 2개 이상의 유체 유통관의 잔부가 서로 이간(離間)하는 위치에 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 유전체 배리어 방전램프에서는, 2개 이상의 유체 유통관의 잔부는 방전용기의 일 단부 및 타 단부에 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 구성의 유전체 배리어 방전램프에 의하면, 그 제조에서는 방전용기를 형성하기 위한 용기재료에 유체 유통관이 2개 이상 설치된 것이 이용되므로, 적어도 1개의 유체 유통관을 세정액의 주입 또는 배출용 유로(流路)로서 이용하면서, 다른 유체 유통관을 용기재료 내의 공기의 유통용 유로로서 확보할 수 있어, 용기재료 내로의 세정액의 주입작업 및 그 배출작업을 용이하고 확실히 행할 수 있다.
그 결과, 용기재료 내면의 오염물이나 이물질을 확실하게 세정하여 제거할 수 있고, 따라서 용기재료의 내면의 오염물이나 이물질에 기인하는 발광강도의 저하나 발광 얼룩의 발생을 방지할 수 있으므로, 양호한 발광특성을 얻을 수 있다.
이하, 본 발명의 유전체 배리어 방전램프의 실시형태에 대해서 설명한다.
도 1은 본 발명의 유전체 배리어 방전램프의 일례의 구성을 도시한 설명용 단면도이다. 이 유전체 배리어 방전램프는, 유전체로 이루어진 원통 형상의 외측관(11)과, 이 외측관(11) 내에 그 관축을 따라 배치된 상기 외측관(11)의 내경보다 작은 외경을 가지는 유전체로 이루어진 원통 형상의 내측관(12)에 의한 이중관 구조를 가지는 밀폐형 방전용기(10)로 구성되어 있다. 이 방전용기(10)에서는 외측관(11) 및 내측관(12) 각각의 양단부가 단벽부(13, 14)에 의해 접합되므로서, 외측관(11)과 내측관(12) 사이에 원통 형상의 방전공간(S)이 형성되어 있고, 이 방전용기(10) 내에는 방전용 가스가 봉입되어 있다.
방전용기(10)를 구성하는 유전체 재료로서는 방전용기(10) 내에서 방출된 엑시머 광에 대해 투과성을 가지는 것, 예컨대 합성 석영 유리를 이용할 수 있다.
방전용기(10) 내에 봉입된 방전용 가스로서는, 파장 200㎚ 이하의 엑시머 광을 방출하는 엑시머가 생성되는 것, 예컨대 크세논 가스, 아르곤과 염소와의 혼합가스 등을 이용할 수 있다.
방전용기(10)의 외측관(11)에는 그 외주면(15)에 밀접하여, 예컨대 금속 망(網) 등의 도전성 재료로 이루어진 망 형상의 한 쪽 전극(21)이 설치되는 동시에, 내측관(12)에는 그 내주면(16)에 밀접하여, 예컨대 알루미늄 판으로 이루어진 다른 쪽 전극(22)이 설치되어 있다. 이 다른 쪽 전극(22)은, 예컨대 반원통 형상의 알루미늄 판 2개가 적당한 압출 부재에 의해 내측관(12)의 내주면(16)에 가압 구성되어 있다. 그리고, 한쪽 전극(21) 및 다른 쪽 전극(22)은 고주파 전원(23)에 접속되어 있다.
방전용기(10) 양단의 단벽부(13, 14) 각각에는 2개의 유체 유통관의 잔부(25, 26)가 형성되어 있고, 따라서 유체 유통관의 잔부(25, 26)는 축방향으로 이간하는 상태로 되어 있다.
상기와 같은 유전체 배리어 방전램프는 이하와 같은 방법으로 제조된다.
도 2는 도 1에 도시한 구성의 유전체 배리어 방전램프의 제조에서 이용되는 용기재료(10A)를 도시한 설명용 단면도이다. 이 용기재료(10A)는 도 7에 도시한 용기재료(40A)와 같은 기본구성을 가지는 것으로, 한 쪽 단벽부(13)에 제1 유체 유통관(30)이 설치되고, 다른 쪽 단벽부(14)에 제2 유체 유통관(31)이 내부공간(R)과 이어져 통하도록 설치되어 있다.
제1 유체 유통관(30) 및 제2 유체 유통관(31)은 각각 관 직경이 다르며, 제1 유체 유통관(30)의 관 직경은, 제2 유체 유통관(31)의 관 직경보다 큰 것으로 되어 있다.
도 3은 도 2에 도시한 용기재료(10A)의 한 쪽 단벽부(13)와 제1 유체 유통관(30)의 접합부분을 확대하여 도시한 설명용 단면도이다.
제1 유체 유통관(30)에는 한 쪽 단벽부(13)와의 접합 지점의 근방에 위치하는 부분에 넥킹 부분(30A)이 형성되어 있다. 이 넥킹 부분(30A)은, 예컨대 버너에 의해 가열되어 형성된 것으로, 예컨대 외경이 8.0㎜, 내경이 6.0㎜인 유체 유통관에서는, 예컨대 넥킹 부분(30A)의 외경은 5.0㎜, 내경은 3.0㎜이다.
제2 유체 유통관(31)에 대해서도 같은 방법으로 하여 넥킹 부분(도시하지 않음)이 형성되어 있다.
이러한 용기재료(10A)는 먼저 세정공정에 가해진다. 이 세정공정에서는 적당한 농도, 예컨대 9중량%의 플루오르화 암모늄 수용액 등을 세정액으로 이용하는 약액 세정처리와, 세정용수에 의한 헹굼처리가 행해진다.
약액 세정처리에서는 세정용 약액(32)으로 채워진 약액조(33) 내에 용기재료(10A)를 제1 유체 유통관(30)이 아래가 되도록 비스듬히 기울인 상태로 서서히 넣는다. 이 때, 예컨대 제1 유체 유통관(30)으로부터 세정용 약액이 용기재료(10A) 내로 유입되는 동시에, 제2 유체 유통관(31)으로부터 용기재료(10A) 내의 공기가 빠져 나오므로, 세정용 약액(32)은 매우 원활하게 용기재료(10A) 내에 충전되어 간다. 그리고, 도 4에 도시한 바와 같이, 약액중에 용기재료(10A)를, 예컨대 30분간 침적시켜 방치해 두고, 그 후, 약액조(33)로부터 꺼낸다. 이 경우에는, 용기재료(10A)를, 예컨대 제1 유체 유통관(30)이 아래가 되도록 기울인 상태로 꺼냄으로써, 이 제1 유체 유통관(30)으로부터 세정용 약액(32)이 배출되는 동시에, 제2 유체 유통관(31)으로부터 용기재료(10A) 내에 공기가 유입되므로, 용기재료(10A) 내의 세정용 약액(32)이 매우 원활하게 배출된다.
그 후, 용기재료(10A)를, 세정용수로 채운 세정용 수조 내에 약액 세정처리의 경우와 같은 방법으로 침적시켜 용기재료(10A)의 내면을 세척한 후, 세정조로부터 꺼내어 헹굼처리를 한다. 이 세정용수에 의한 헹굼처리는, 예컨대 3회 정도 반복하여 행하는 것이 바람직하다.
세정공정 종료 후, 용기 재료(10A)는 건조처리공정에 가해진다. 건조처리공정에서는, 예컨대 로(爐) 내의 온도가 80℃로 설정된 전기로 내에, 용기재료(10A)를 제1 유체 유통관(30)이 윗쪽에 위치하도록 배치한 상태에서, 약 1시간 건조처리가 행해진다.
이어서, 용기재료(10A)는 밀봉공정에 가해진다. 이 밀봉공정에서는, 먼저 예컨대 버너에 의해 소직경의 제2 유체 유통관(31)의 넥킹 부분을 가열함으로써, 상기 넥킹 부분이 달구어져 끊어지며, 예컨대 돔 형상의 형태를 가지는 유체 유통관의 잔부(26)가 형성된다.
그리고, 제2 유체 유통관(31)이 봉해진 후, 제1 유체 유통관(30)에 배출장치가 접속되고, 이에 따라 내부공간(R) 내의 공기의 배출작업이 행해지고, 그 후 예컨대 크세논 등의 방전용 가스가 내부공간(R) 내에 충전된다. 그 후, 제1 유체 유통관(30)의 넥킹 부분이, 예컨대 버너에 의해 달구어져 끊어지므로서, 예를 들면 돔 형상의 형태를 가지는 유체 유통관의 잔부(25)가 형성된다.
그 결과, 내부공간(R)이 밀봉되어, 도 5에 도시한 바와 같은 일 단부 및 타 단부에 2개의 유체 유통관의 잔부(25, 26)를 가지는 방전용기(10) 내에 방전용 가스가 봉입되어 이루어진 램프 본체(20)가 형성된다.
그리고, 램프 본체(20)의 외측관(11)의 외주면 및 내측관(12)의 내주면 각각에, 한 쪽 전극(21) 및 다른 쪽 전극(22)이 설치됨으로써, 도 1에 도시한 구성의 유전체 배리어 방전램프가 제조된다.
이상에서, 본 발명의 유전체 배리어 방전램프의 용기재료의 칫수예의 일례를 들면, 이하와 같다.
용기재료(10A)의 외측관(11)은 전체 길이가 300㎜이고, 외경이 26.5㎜이고, 내경이 24.5㎜이고, 두께가 1.0㎜이고, 내측관(12)은 전체 길이가 약 300㎜이고, 외경이 16㎜이고, 내경이 14㎜이고, 두께가 1.0㎜이며, 내부 공간(R)의 내용적은 80㎤이다.
제1 유체 유통관(30)은 전체 길이가 약 150㎜, 외경이 8.0㎜이고, 내경이 6.0㎜이고, 두께가 1.0㎜이고, 제2 유체 유통관(31)은 전체 길이가 100㎜이고, 외경이 6.0㎜이고. 내경이 4.0㎜이며, 두께가 1.0㎜이다.
이상의 유전체 배리어 방전램프는 방전용기(10)의 일 단부 및 타 단부에 2개의 유체 유통관의 잔부(25, 26)가 형성되어 있고, 따라서 2개의 유체 유통관의 잔부(25, 26)가 서로 방전용기(10)의 관축 방향에 이간하는 상태로 형성되어 있는 것이다. 따라서, 방전용기(10)의 제조에서는, 용기재료(10A)에서 서로 관축 방향으로 이간하는 위치에 2개의 유체 유통관(30, 31)이 설치된 용기재료(10A)가 이용되므로서, 적어도 1개의 유체 유통관을 세정액의 주입 또는 배출용 유로로서 이용하면서 다른 유체 유통관을 용기재료 내의 공기의 유통용 유로로서 확보할 수 있어, 용기재료 내로의 세정액의 주입작업 및 그 배출작업을 매우 원활하고, 충분히 높은 효율로 행할 수 있다.
또, 용기재료(10A)의 건조작업에서도, 윗쪽에 위치된 제1 유체 유통관(30)으로부터 수증기가 유출되어 가므로, 용기재료(10A) 내의 공기의 순환이 원활하게 행해지고, 그 결과, 용기재료(10A)를 효율좋게 건조시킬 수 있다.
이상으로부터 본 발명의 유전체 배리어 방전램프는 제조가 용이하므로, 제조에 필요로 하는 시간을 대폭 단축할 수 있다.
또, 용기재료에 대해서 세정액의 주입작업 및 그 배출작업을 확실히 행할 수 있으므로, 용기재료(10A) 내면의 오염물이나 이물질을 확실히 세정하여 제거할 수 있고, 그 결과, 용기재료(10A)의 내면의 오염물이나 이물질에 기인하는 발광강도의 저하나 발광 얼룩의 발생을 방지할 수 있으므로, 양호한 발광특성을 얻을 수 있다.
이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명의 유전체 배리어 방전램프는 상기 실시의 형태에 한정되지 않고, 여러 종류의 변경을 더할 수도 있다.
예컨대, 용기재료에 설치된 유체 유통관의 수, 관 직경 및 위치는 특별히 한정되는 것은 아니다.
구체적으로는, 예컨대 유체 유통관이 설치된 위치는, 서로 어느 정도 이간한 위치인 것이 바람직하다. 도 6에 도시한 바와 같이, 제1 유체 유통관(30)이 한 쪽 단벽부(13)의 윗쪽 위치에 설치된 경우에는, 제2 유체 유통관(31)이 설치된 위치는 제1 유체 유통관(30)에 대해 용기재료(10A)의 관축 방향으로 이간하고, 또 반경 방향으로 이간하는 제1 유체 유통관(30)의 대각(對角)의 위치(A)에 설치되어도 좋고, 또는 제1 유체 유통관(30)에 대해 내측관(12)을 끼운 반경 방향으로 이간하는 한 쪽 단벽부(13)의 위치(B)에 설치되어도 좋다.
또, 용기재료(10A)의 단벽부(13, 14)가 아니라, 외측관(11) 또는 내측관(12)에 설치되어도 좋다.
이상에서는, 용기재료에 설치된 유체 유통관의 수가 2개인 경우에 대해서 설명했지만, 이어서 용기재료에 설치된 유체 유통관의 수가 3개인 경우 및 유체 유통관의 수가 4개인 경우에 대해서 설명한다.
용기재료에 설치된 유체 유통관의 수가 3개인 경우에는, 예컨대 제1 유체 유통관은 한 쪽 단벽부에, 제2 유체 유통관은 다른 쪽 단벽부에, 그리고, 제3 유체 유통관은 외측관에 설치된다. 이 경우에는, 제3 유체 유통관이 설치되는 위치는 단벽부에 근접하는 위치인 것이 바람직하다.
그리고, 용기재료에 설치된 유체 유통관이 4개인 경우에는, 예컨대 제1 유체 유통관은 한 쪽 단벽부에, 제2 유체 유통관은 다른 쪽 단벽부에, 제3 유체 유통관은 외측관에, 그리고 제4 유체 유통관은 내측관에 설치된다. 이 경우에는, 제3 유체 유통관 및 제4 유체 유통관은, 단벽부에 근접하는 위치인 것이 바람직하다.
이상과 같은 구성에 의하면, 용기 재료 내로의 세정액의 주입작업 및 그 배출작업을 보다 높은 효율로 행할 수 있다.
또, 용기재료 내에 세정액을 주입하는 수단은, 어느 하나의 유체 유통관에 접속 튜브를 접속하여, 그 접속 튜브로부터 세정액을 주입해도 좋다. 이 경우에서도, 제1 유체 유통관으로부터 용기 재료 내에 세정액을 주입하는 동시에, 제2 유체 유통관으로부터 용기재료 내의 공기가 빠져 나오므로, 상기와 같은 효과를 발휘할 수 있다.
본 발명의 유전체 배리어 방전램프에 의하면, 그 제조에서는 방전용기를 형성하기 위한 용기재료에 유체 유통관이 2개 이상 설치된 것이 이용되므로, 적어도 하나의 유체 유통관을 세정액의 주입 또는 배출용 유로로서 이용하면서, 다른 유체 유통관을 용기재료 내의 공기의 유통용 유로로서 확보할 수 있기 때문에, 용기재료 내로의 세정액의 주입작업 및 그 배출작업을 용이하게 또 확실하게 행할 수 있다.
그 결과, 용기재료 내의 오염물이나 이물질을 확실하게 세정하여 제거할 수 있고, 따라서 용기재료 내면의 오염물이나 이물질에 기인한 발광강도의 저하나 발광얼룩의 발생을 방지할 수 있으므로, 양호한 발광특성을 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 유전체 배리어 방전램프의 일례의 구성을 도시한 설명용 단면도,
도 2는 도 1에 도시한 유전체 배리어 방전램프의 방전용기를 형성하기 위한 용기재료의 구성의 일례를 도시한 설명용 단면도,
도 3은 도 2에 도시한 용기재료의 한 쪽 단벽부와 제1 유체 유통관과의 접합부분을 확대하여 도시한 설명용 단면도,
도 4는 도 3에 도시한 용기재료 내에 세정액을 주입시키는 방법의 일례를 도시한 설명도,
도 5는 밀봉공정을 행함으로써 얻어지는 램프 본체를 도시한 설명용 단면도,
도 6은 유체 유통관의 접속례를 도시한 용기재료의 설명용 단면도,
도 7은 종래의 유전체 배리어 방전램프의 방전용기를 형성하기 위한 용기재료의 구성의 일례를 도시한 설명용 단면도,
도 8은 도 7에 도시한 용기재료 내에 세정액을 주입시키는 방법의 일례를 도시한 설명도,
도 9는 밀봉공정을 행함으로써 얻어진 램프 본체를 도시한 설명용 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 방전용기 10A : 용기 재료
11 : 외측관 12 : 내측관
13 : 한 쪽 단벽부 14 : 다른 쪽 단벽부
15 : 외주면 16 : 내주면
20 : 램프 본체 21 : 한 쪽 전극
22 : 다른 쪽 전극 23 : 고주파 전원
25 : 유체 유통관의 잔부 26 :유체 유통관의 잔부
30 : 제1 유체 유통관 30A : 축소직경 부분
31: 제2 유체 유통관 32 : 약액
33 : 약액조 40 : 방전용기
40A : 용기재료 41 : 외측관
42 : 내측관 43 : 한 쪽 단벽부
44 : 다른 쪽 단벽부 45 : 배기관
46 : 주사기 46A : 바늘
47 : 배기관의 잔부 50 : 램프 본체
S : 방전 공간 R : 내부 공간

Claims (2)

  1. 외측관과 내측관에 의한 원통 형상 이중관 구조의 방전용기를 가지고, 상기 외측관과 상기 내측관의 사이에 형성된 원통 형상의 방전공간 내에 유전체 배리어 방전에 의해 엑시머 분자를 형성하는 방전용 가스가 충전되어 이루어진 유전체 배리어 방전램프로서,
    방전용기에는, 각각 방전공간에 이어져 통하는 유체 유통관의 잔부(殘部)가 2개 이상 형성되어 있고, 상기 유체 유통관의 잔부는, 방전용기의 관축방향으로 이간하는 일단부 및 타단부에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전램프.
  2. 삭제
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