TWI416583B

TWI416583B - Excimer lamp

Info

Publication number: TWI416583B
Application number: TW097129518A
Authority: TW
Inventors: Takafumi Mizojiri; Satoshi Matsuzawa; Shigeki Fujisawa; Yukihiro Morimoto
Original assignee: Ushio Electric Inc
Priority date: 2007-10-11
Filing date: 2008-08-04
Publication date: 2013-11-21
Also published as: US7714511B2; JP2009093986A; EP2048693A3; US20090096377A1; JP4946773B2; EP2048693B1; CN101409204B; CN101409204A; KR101175387B1; TW200917321A; KR20090037295A; EP2048693A2

Description

準分子燈

本發明是關於放射紫外線的準分子燈，更具體地關於在面臨放電容器的放電空間的內表面形成有紫外線反射膜所成的準分子燈。

習知，準分子燈是例如在半導體裝置的製程及液晶基板製程等，使用作為藉由照射洗淨處理，去灰處理及成膜等的紫外線所進行的表面處理的紫外線照射源。

在此種準分子燈中，提案著作為以高效率放射紫外線所用的手段，在面臨放電容器的放電空間的內表面設置紫外線反射膜的技術(例如，參照專利文獻1)。

在紫外線反射膜設於此種放電容器的內表面所成的構成的準分子燈中，形成有藉由放電容器的內表面一部分的未形成有紫外線反射膜的領域，將在該放電容器內的放電空間所發生的紫外線朝外部出射所用的光出射窗。

於是，依照此種準分子燈，藉由將在放電容器內發生而朝光出射窗方向以外的方向的紫外線反射於紫外線反射膜，而與朝光出射窗的方向直接放射的紫外線一起，可從光出射窗出射之故，因而以高效率可放射紫外線。

形成於準分子燈的紫外線反射膜，是藉由具有高紫外線反射率的紫外線散射粒子所形成者，具有積層有該紫外線散射粒子的構成。

作為構成紫外線反射膜的紫外線散射粒子，使用著二氧化矽粒子、氧化鋁粒子、氟化鎂粒子、氟化鈣粒子、氟化鋰粒子、氧化鎂粒子等。

在此種紫外線散射粒子的積層體的紫外線反射膜，當紫外線被入射，則藉由該紫外線折射及反射在複數紫外線散射粒子的表面，成為朝與入射方向不相同方向被散射反射。

一方面，在放射準分子燈等的紫外線的燈，作為放電容器，廣泛地使用著二氧化矽玻璃製者。

如第10圖及第11圖所示地，準分子燈的某種類者，具備兩端被封閉，而在內部形成有放電空間S的大約直管狀的二氧化矽玻璃製的放電容器20，而在圍繞封入有該放電容器20的放電用氣體的放電空間S所上壁板21，下壁板23，側壁板25及端壁板26中的相對向的上壁板21及下壁板23的各該外表面21A，23A，具有相對向配置有一方電極11及另一方電極12所成的構成。在該準分子燈，紫外線反射膜50形成於形成有一方電極11的上壁板21的內表面21B，又，形成有藉由未形成有該放電容器20的內表面的紫外線反射膜50的領域(具體為，下壁板23的內表面23B及側壁板25的內表面25A)，將發生在放電空間S的紫外線朝外部出射所用的光出射窗。

在第10圖中，28是片狀管，29是凸緣部。

此種準分子燈是藉由高頻電壓被施加於一方電極11與另一方電極12之間，使得放電容器20及紫外線反射膜 50功能作為介質，而在放電空間S，放電起點發生在紫外線反射膜50及面臨相對向於該紫外線反射膜50的下壁板23的放電空間S的表面(具體為，紫外線反射膜50的表面51及下壁板23的內表面23B)，藉由此，發生介質障壁放電，藉由該介質障壁放電形成有由來於放電用氣體的準分子分子，而成為紫外線從放電容器20的下壁板23及側壁板25所成的光出射窗出射的情形。

然而，如第12圖所示地，在點燈狀態的準分子燈中，有異常放電a從紫外線反射膜50的端部55發生的情形，在發生該異常放電時，含有準分子燈整體的放電能量的消耗平衡崩潰，而在紫外線照射對象體的紫外線照射對象面發生照度不均勻，有無法均勻地照射紫外線照射對象面的問題。

亦即，在準分子燈，在未發生異常放電a時，大約均勻地無數柱狀放電(以下，也稱為「柱狀放電」)b以同一放電強度發生在放電空間S，惟發生異常放電a時，成為在該異常放電a會消耗放電能量之故，因而在該異常放電a的發生部分的周邊部，柱狀放電b的放電強度變小。因此，在異常放電a的發生部分，使得紫外線的放射強度降低，結果，在紫外線照射對象體的紫外線照射對象面，對應於異常放電a的發生部分的領域的照度比其他領域降低。

在第12圖的例子中，異常放電a發生於準分子燈的紫外線反射膜50的一方端部(右側端部)55，所以，在該準分子燈中，位於一方端部55的部分的放射強度，成為比其他部分還小。

又，在準分子燈中，起因於發生該異常放電a，也有在紫外線反射膜50的端部55產生剝落的問題。

專利文獻1：日本專利第3580233號公報

本發明是依據以上的事情而創作者，其目的是在於提供以高效率可放射紫外線，而且以高均勻性可照射紫外線照射對象體的紫外線照射對象面，而且不會產生紫外線反射膜的剝落的準分子燈。

本發明的準分子燈，是由上壁板與相對向於該上壁板的下壁板，及連結於該上壁板與下壁板的一對側壁板，及分別連結於此些上壁板，下壁板與一對側壁板的一對端壁板所形成，具備在被圍繞於上壁板，下壁板，側壁板及端壁板所成的內部空間，封入有藉由介質障壁放電形成準分子分子的放電用氣體所成的二氧化矽玻璃製的放電容器，相對向配置有形成於該放電容器的上壁板外表面的一方電極，及形成於下壁板的外表面的另一方電極所成的準分子燈，其特徵為：在上述放電容器的內表面，二氧化矽粒子與氧化鋁粒子所成的紫外線反射膜形成於至少側壁板內表面領域，該紫外線反射膜為以30重量%以上的比率含有二氧化矽粒子。

本發明的準分子燈，紫外線反射膜為在放電容器的內表面，形成在從對應於包含側壁板內表面領域的上壁板外表面上的一方電極的端部所位置的部分的電極端部對應位置，至對應於下壁板外表面上的另一方電極的端部所位置的部分的電極端部對應位置之間的領域。

本發明的準分子燈，其中，紫外線反射膜為在端壁板內表面領域也形成。

依照本發明的準分子燈，在放電容器的內表面形成有紫外線反射膜之故，因而將在放電容器內發生而朝光出射窗的方向以外的方向所放射的一部分的紫外線，反射在該紫外線反射膜，藉由此，與朝光出射窗的方向直接所放射的紫外線一起，可從光出射窗出射，而且將該紫外線反射膜作成具有特定組成者，且藉由形成於放電容器的內表面的至少側壁板內表面領域，防止發生異常放電。以同一放電強度大約均勻地可發生無數柱狀的放電之故，因而可防止起因於發生異常放電的紫外線照射對象體的紫外線照射對象面的照射不均勻，及發生紫外線反射膜的端部的剝落，因此以高效率可放射紫外線，而且以高均勻性可照射紫外線照射對象體的紫外線照射對象面，同時可防止發生紫外線反射膜的剝落。

以下，針對於本發明的準分子燈詳細地加以說明。

第1圖是表示本發明的準分子燈的構成的一例子的說明用立體圖，第2圖是表示第1圖的準分子燈的A－A斷面的說明圖，第3圖是表示第1圖的準分子燈的B－B斷面的說明圖。

該準分子燈是兩端被封閉，而在內部具備形成放電空間S的大約直管狀的二氧化矽玻璃製的放電容器20所成者。

該放電容器20是由上壁板21與相對向於該上壁板21的下壁板22，及被連結於上壁板21與下壁板23的一對側壁板25，及將此些上壁板21，下壁板23與一對側壁板25所形成的四方筒狀體的兩端設定成封閉的一對端壁板26所構成，而在被圍繞於此些的上壁板21，下壁板23，側壁板25與端壁板26所成的大約四方柱狀的內部空間所形成的放電空間S，被封入有藉由介質障壁放電形成準分子分子的例如氙氣體等的放電用氣體。

在該圖的例子中，放電容器20是具有片狀管28及凸緣部29，又，在放電空間S，作為放電用氣體封入有40kPa的氙氣體。

在該放電容器20，密接於上壁板21的外表面21A，設有例如金屬網等的導電性材料所成的網狀的一方電極(以下，也稱為一方電極)11，而且密接於下壁板23的外表面23A，設有例如金屬網等的導電性材料所成的網狀的另一方電極(以下，也稱為「另一方電極」)12，而相對向配置有此些一方電極11，及另一方電極12。

該一方電極11與另一方電極12，是藉由蒸鍍例如金 (Au)等的金屬所形成者，又被連接於適當的高頻電源(未圖示)。

又，在該準分子燈的放電容器20的內表面，至少在側壁板內表面領域，形成有例如厚度10~1000μm的紫外線反射膜30，又，藉由未形成有該放電容器20內表面的紫外線反射膜30的領域，形成有將在放電空間S所發生的紫外線朝外部出射所用的光出射窗。

在此，「側壁板內表面領域」，是表示面臨構成放電容器20的側壁板25的放電空間S的內表面25A。又側壁板25是指從平板狀的上壁板21的邊端部22連結與平板狀下壁板23的邊端部24的方式被配設於此些之間的領域的放電容器20的構成壁板。

紫外線反射膜30並不需要形成於側壁板25的內表面25A全面，對應於準分子燈的設計條件而形成於該內表面25A的一部分就可以，或者是其一部分形成於側壁板25的內表面25A，則形成於放電容器20的其他構成壁板(具體為上壁板21，下壁板23及端壁板26)的內表面也可以。

在該圖的例子，紫外線反射膜30是形成於放電容器20的上壁板21的內表面21B及側壁板25的內表面25A的上壁板側部分(第2圖的上側部分)，亦即，形成於從一方(第2圖的右方)的側壁板25的上壁板側部分包括上壁板21的內表面21B，一直延伸至另一方(第2圖的左方)的側壁板25的上壁板側部分為止的領域。又，在該放電容器20的內表面未形成有紫外線反射膜30的領域，具體為藉由下壁板23及側壁板25的下壁板側部分(第2圖的下側部分)，形成有光出射窗。

該紫外線反射膜30是由二氧化矽粒子與氧化鋁粒子所形成，積層有此些的二氧化矽粒子及氧化鋁粒子(以下，將此些曲線稱為「特定的紫外線散射粒子」)者。

依照紫外線反射膜30，被入射的紫外線是在複數特定的紫外線散射粒子的表面被折射及反射，藉由此，成為朝與入射方向不相同的方向散射反射的情形。

在紫外線反射膜30，二氧化矽粒子的含有比率是作為30重量%以上，更佳為30~99重量%，最佳為40~99重量%，一方面，氧化鋁粒子的含有比率是1~70重量%較佳，更佳為5~70重量%，最佳為10~70重量%。

在紫外線反射膜的二氧化矽粒子的含有比率為不足30重量%時，則無法在紫外線反射膜得到對於放電容器的充分的黏合性，又，由下述的實驗例也可明瞭，成為在所得的紫外線反射膜會發生剝落。

構成紫外線反射膜30的二氧化矽粒子是玻璃狀態者，或是結晶狀態者也可以，惟以玻璃狀態者較佳。

二氧化矽粒子是其粒徑為2~8μm較佳，又，其中心粒徑為4μm較佳。

該二氧化矽粒子是具有高紫外線反射率，而且與放電容器20同種材料所成者，與放電容器20及氧化鋁粒子的各個具有高接著性者。因此，在紫外線反射膜30，由來於該二氧化矽粒子而成為對於放電容器20可得到高接著性。

構成紫外線反射膜30的氧化鋁粒子是氧化鋁具有容易結晶化，而不容易成為玻璃狀態的特性之故，因而通常為結晶狀態者。

氧化鋁粒子是其粒徑為2~6μm較佳，又，其中心粒徑為4μm較佳。

該氧化鋁粒子是折射率比二氧化矽粒子還大，因此具有備有高反射率的特性之故，因而在將具有此種特性的氧化鋁粒子與二氧化矽粒子一起作成構成材料的紫外線反射膜30，成為可得到優異的紫外線反射能。

在此，針對於二氧化矽粒子及氧化鋁粒子的粒徑及中心粒徑加以說明。

在本專利說明書中，「粒徑」是指在顯微鏡的畫像上來計測粒子的大小與個數，依據此使用測定粒度分布的顯微鏡畫像形成法來測定，而以一定方向的兩條平行線相夾依電子顯微鏡的擴大投影像上的任意粒子時的間隔的弗雷特(Feret)直徑。

在測定該粒徑之際，包含在紫外線反射膜的製程中熔解二氧化矽粒子而成為固體的情形，將相當於出發材料的粒子的球狀部分的部分作為粒子。又，粒子彼此間重疊，而無法確認其境界的一部分，而在無法藉由兩條平行線來相夾粒子時，則將以其直角方向的兩條平行線相夾粒子的間隔作為弗雷特直徑。

又「中心粒徑」是指，例如使用日本日立公司所製的電場放射型掃描顯微鏡「S4100」，以加速電壓10~20KV的條件(放大率為粒徑0.3μm時，為例如2萬倍)進行測定100個以上的粒子的粒徑，得到該粒徑的測定值的度數分布，而該度數成為最大的區分的中心值。作為該中心粒徑的中心值，是例如將所測定的粒徑的最大值與最小值之間分成15個區分，將複數粒徑的測定值分類成15個區分的任一區分，並將屬於各個區分的粒徑個數作為該區分的度數，而將此些的15個區分中的度數成為最大的區分的中心值。

此種紫外線反射膜30是例如藉由流下法，具體為藉由混合適當的溶劑，及二氧化矽粒子及氧化鋁粒子而得到反射膜形成用溶液，而藉由將該反射膜形成用溶液流進須形成用於形成放電容器20的放電容器形成管的內表面的紫外線反射膜30的領域以形成薄膜，之後藉由乾燥及燒成該薄膜，就可形成。在該手法中，調整溶劑的黏度，就可調整所得到的紫外線反射膜30的厚度，具體為，欲減小厚度時，則減小溶劑的黏度，又欲增加厚度時，則增大溶劑的黏度。

具有如以上的構成的準分子燈，是被控制成適當大小的高頻電壓藉由高頻電源被施加於一方電極11與另一方電極12之間，使得放電容器20及紫外線反射膜30功能作為介質，而在放電空間S，放電起點發生在紫外線反射膜30及面臨相對向於該紫外線反射膜30的下壁板23的放電空間S的表面(具體為，紫外線反射膜30的表面31及下壁板23的內表面23B)，藉由此，發生介質障壁放電，藉由該介質障壁放電形成有由來於放電用氣體的準分子分子，而成為紫外線從放電容器20的下壁板23及側壁板25所成的光出射窗出射的情形。

於是，在該準分子燈中，在放電容器20的內表面形成有紫外線反射膜30之故，因而藉由將在放電空間S發生，朝光出射窗的方向以外的方向而朝紫外線反射膜30的方向所放射的紫外線，反射在該紫外線反射膜30，與朝光出射窗的方向直接所放射的紫外線一起，可從光出射窗出射。

而且將該紫外線反射膜30作成以特定比率含有二氧化矽粒子與氧化鋁粒子者，且不僅放電容器20的內表面的上壁板內表面領域(上壁板21的內表面21B)，甚至於延伸至連續於該上壁板內表面領域的側壁板內表面領域(側壁板25的內表面25A)，藉由其端部35形成在於該側壁板內表面領域，防止發生異常放電，在放電空間S以同一放電強度大約均勻地可發生無數柱狀放電。可防止起因於發生異常放電的紫外線照射對象體的紫外線照射對象面的照射不均勻，及發生紫外線反射膜30的端部35的剝落。

因此，依照本發明的放電容器，藉由紫外線反射膜30的作用，也可將朝光出射窗的方向以外所放射的紫外線的一部分從光出射窗出射之故，因而以高效率可放射紫外線，而且防止發生異常放電，因此，以高均勻性可照射紫外線照射對象體的紫外線照射對象面，同時可防止發生紫外線反射膜30的端部35剝落的情形。

在此，針對於本發明的準分子燈被防止發生異常放電的理由，是被推測成如下。

也如第10圖及第11圖所示地，在紫外線反射膜50僅形成於上壁板21的內表面21B(上壁板內表面領域)時，以紫外線反射膜50的端部55作為起點，有朝側壁板25發生異常放電情形，此為可能為電荷集中在位於一方電極11正下方的紫外線反射膜50的端部55成為原因之一。又，該異常放電為沿面放電的一種，則可能為玻璃內面(放電容器20的內表面)為鏡面狀態也成為原因之一。

然而，在本發明的準分子燈中，紫外線反射膜30不僅在上壁板21的內表面21B，而也形成在側壁板25的內表面25A(側壁板內表面領域)全面，而該端部35未位於一方電極11的正下方之故，因而該端部25的電荷集中被緩和，結果，異常放電本體作成不容易發生的狀態，又在紫外線反射膜30的表面，形成有由來於該構成粒子的凹凸，使得沿面距離變長，也可能為異常放電本體作成不容易發生的狀態。

以下，針對於本發明的準分子燈加以具體地說明，惟本發明是並不被限定於以上的例子者，可加上各種變更。

例如，構成準分子燈的放電容器，是藉由上壁板，下壁板，側壁板及端壁板來圍繞著放電空間者就可以，惟如第4圖所示地，側壁板45並不是與其他構成壁板(具體為上壁板41，下壁板43及端壁板46)同樣的平板狀，而其斷面形狀為曲面狀彎曲板所成的構成者也可以。該準分子燈是代替放電容器20，除了具備備有彎曲板所成的側壁板45的放電容器40以外，是具有與第1圖的準分子燈同樣構成者。

亦即，在該準分子燈與第1圖的準分子燈同樣地，在上壁板41的外表面41A及下壁板43的外表面43A分別設有一方電極11及另一方電極12。又，在放電容器40的內表面，從一方(第4圖的右方)的側壁板45的內表面45A的上壁板側部分(第4圖的上側部分)包含上壁板41的內表面41B，一直到另一方(第4個的左方)的側壁板45的內表面45A的上壁板側部分的領域延伸的方式，形成有紫外線反射膜30。

在該放電容器40中，側壁板45是從平板狀上壁板41的邊端部42與平板狀下壁板43的邊端部44相連結的方式，配設於其間的領域的放電容器40的構成壁板。

又，紫外線反射膜是形成在放電容器的內表面的至少側壁板內表面領域就可以，如第5圖至第9圖所示地，也可形成在各種領域。在表示於該第5圖至第9圖的任一準分子燈，也可得到與第1圖的準分子燈同樣的作用效果。

第5圖的例子的準分子燈，是具備備有彎曲板所成的側壁板45的放電容器40，除了紫外線反射膜30形成在下述領域以外，具有與第4圖的準分子燈同樣的構成者。

在該準分子燈中，紫外線反射膜30是在放電容器40的內表面，從下壁板43的內表面43B的一方(第5圖的右方)的側壁板側部分(第5圖的右側部分)包含側壁板45的內表面45A及上壁板41的內表面41B，一直到該下壁板43的內表面43B的另一方(第5圖的左方)的側壁板側部分(第5圖的左側部分)為止的領域全面延伸的方式所形成。在該準分子燈，藉由放電容器40的內表面的未形成有下側板23的紫外線反射膜30的領域，形成有光出射窗。

在此種構成的準分子燈中，在放電容器40，未形成有電極11,12，起因於未產生有柱狀放電而與其他部分相比較，在成為低溫的部分(具體為側壁板45的部分c)，藉由紫外線被照射而容易產生紫外線失真，惟藉由紫外線反射膜30的作用，紫外線不會照射在該部分c之故，因而在放電容器40的部分c被防止發生紫外線失真，結果，可抑制發生起因於紫外線失真的放電容器40的破損。

亦即，即使垂直於放電空間S的準分子燈的管軸的方向(第5圖的左右方向)所發生的紫外線累計地被放射於朝側壁板45的部分c的方向時，則在面臨該部分c的放電空間S的表面，也形成有紫外線反射膜30之故，因而朝部分c的方向的方向所放射的紫外線是被反射在紫外線反射膜30，而不會照射在該部分c。

第6圖的例子的準分子燈，是在第5圖的準分子燈中，代替放電容器40，除了具備有平板狀側壁板25的放電容器20以外，是具有與該第5圖的準分子燈同樣的構成者。

在該準分子燈中，紫外線反射膜30是在放電容器20的內表面，從下壁板23的內表面23B的一方(第6圖的右方)的側壁板側部分(第6圖的右側部分)包含側壁板25的內表面25A及上壁板21的內表面21B，一直到該下壁板23的內表面23B的另一方(第6圖的左方)的側壁板側部分(第6圖的左側部分)為止的領域全面延伸的方式所形成。

第7圖的例子的準分子燈是具備備有彎曲板所成的側壁板45的放電容器40，除了紫外線反射膜30形成於下述的領域以外，是具有與第4圖的準分子燈同樣的構成者。

在該準分子燈中，紫外線反射膜30是分別形成在放電容器40的內表面，從對應於上壁板41的外表面41A上的一方電極11的端部所位置的部分的電極端部對應位置d，一直到對應於下壁板43的外表面43A上的另一方電極12的端部所位置的部分的電極端部對應位置e為止之間的2個領域。

具體為，一方的紫外線反射膜30是從上壁板41的內表面41B的一方(第7圖的右方)的側壁板側部分(第7圖的右側部分)包含側壁板45的內表面45A，一直到下壁板43的內表面43B的一方的側壁側部分(第7圖的右側部分)為止的領域全面延伸的方式所形成。又，另一方的紫外線反射膜30是從上壁板41的內表面41B的另一方(第7圖的左方)的側壁板側部分(第7圖的左側部分)包含側壁板45的內表面45A，一直到下壁板43的內表面43B的另一方的側壁側部分(第7圖的左側部分)為止的領域全面延伸的方式所形成。在該準分子燈，在放電容器40的內表面中，藉由未形成有上壁板41及下壁板43的各該紫外線反射膜30的各該2個領域，個別地形成有光出射窗。

又，在具備備有平板狀側壁板的放電容器的準分子燈，也與第7圖的準分子燈同樣地，在從對應於上壁板的外表面上的一方電極的端部所位置的部分的電極端部對應位置，一直到對應於下壁板的外表面上的另一方電極的位置的部分的電極端部對應位置之間的2個領域分別地可形成紫外線反射膜。

第8圖的例子的準分子燈是具備備有彎曲板所成的側壁板45的放電容器40，除了紫外線反射膜30形成於下述的領域以外，是具有與第4圖的準分子燈同樣的構成者。

在該準分子燈中，紫外線反射膜30是分別形成在放電容器40的內表面，在垂直於該放電容器40的準分子燈的管軸的方向的斷面中，位於比連結一方電極11的端部與另一方電極12的端部的直線N還位於外方(第8圖的右方及左方)的2個領域。

具體為，一方的紫外線反射膜30是從與上壁板41的內表面41B的一方(第8圖的右方)的直線N的交點N1包含側壁板45的內表面45A，一直到與下壁板43的內表面43B的一方的直線N的交點N2為止領域全面延伸的方式所形成。又，另一方的紫外線反射膜30是從與上壁板41的內表面41B的另一方(第8圖的左方)的直線N的交點Nl包含側壁板45的內表面45A，一直到與下壁板43的內表面43B的另一方的直線N的交點N2為止領域全面延伸的方式所形成。在該準分子燈，是藉由未形成有上壁板41及下壁板43的各紫外線反射膜30的各該2個領域，個別地形成有光出射窗。

又，在具備備有平板狀側壁板的放電容器的準分子燈，也與第8圖的準分子燈同樣地，在垂直於放電容器的內表面的該放電容器的準分子燈的管軸的方向的斷面中，在比連結一方電極的端部與另一方電極的端部的直線還位於外方的各該2個領域可形成紫外線反射膜。

第9圖的例子的準分子燈，是具備備有平板狀側壁板25的放電容器20，紫外線反射膜30是具有也形成在放電容器20的內表面的端壁板內表面領域(端壁板26的內表面26A)所成的構成者。

具體為，該準分子燈是紫外線反射膜30除了也形成於側壁板25的內表面25A的全面，端壁板26的內表面26A及下壁板23的內表面23B的端壁板26側的雙方端以外，是具有與第1圖的準分子燈同樣的構成者。

在此種構成的準分子燈中，未形成有放電容器20的電極11,12，起因於不會產生有柱狀放電而比其他部分成為低溫的部分(具體為，端壁板45的部分f)，藉由照射著紫外線，成為容易產生紫外線變形，惟藉由紫外線反射膜30的作用，紫外線不會照射在該部分f之故，因而在放電容器20的部分f可防止發生紫外線變形，結果，可抑制發生起因於紫外線變形的放電容器20的破損。

亦即，在垂直於放電空間S的準分子燈的管軸的方向(第9圖的左右方向)所發生的紫外線累計性地放射朝端壁板26的部分f的方向時，在面臨該部分f的放電空間S的表面，形成有紫外線反射膜30之故，因而朝部分f的方向所放射的紫外線是被反射在紫外線反射膜30，而不會照射在該部分f。

以下，針對於用於確認本發明的作用效果的實驗例加以說明。

(實驗例1)

依照第1圖的構成，分別製作10支具備由具有表示於下述表1的組成的中心粒徑4μm的二氧化矽粒子，及中心粒徑4μm的氧化鋁粒子所成的厚度22μm的紫外線反射膜的6種類的準分子燈。

所製作的準分子燈是具備全長904mm，以雙方的側端板所構成的寬度方向的長度為43mm，以上壁板與下壁板所構成的高度方向的長度為15mm、厚度2.5mm的二氧化矽玻璃製的放電容器，設有藉由蒸鍍金(Au)所形成的網狀電極，而在放電容器內使用封入有40kPa的氙氣體所成者。

將所得到的各該準分子燈，以5kV的交流高電壓進行點燈之後，以目視來確認有無紫外線反射膜的剝落，將所有10支燈未發生紫外線反射膜的剝落時評價為「○」，而將10支燈中的一部分燈發生紫外線反射膜的剝落時評價為「△」，又將所有10支燈發生紫外線反射膜的剝落時評價為「×」。將結果表示於表1。

由以上的結果，藉由不僅將紫外線反射膜形成上壁板的內表面，也形成在側壁板的內表面全面，且將紫外線反射膜的二氧化矽粒子的含有比率作成30重量%以上，就可防止發生異常放電，藉由此，確認可防止發生紫外線反射膜的剝落。

又，藉由將二氧化矽粒子的含有比率作成40重量%以上，亦即將二氧化矽粒子的體積比率作成54重量%以上，確認了在紫外線反射膜可得到對於放電容器的優異的黏合性的情形。

11,12‧‧‧電極

20‧‧‧放電容器

21‧‧‧上壁板

21A‧‧‧外表面

21B‧‧‧內表面

22‧‧‧邊端部

23‧‧‧下壁板

23A‧‧‧外表面

23B‧‧‧內表面

24‧‧‧邊端部

25‧‧‧側壁板

25A‧‧‧內表面

26‧‧‧端壁板

26A‧‧‧內表面

28‧‧‧片狀管

29‧‧‧凹緣部

30‧‧‧紫外線反射膜

31‧‧‧表面

35‧‧‧端部

40‧‧‧放電容器

41‧‧‧上壁板

41A‧‧‧外表面

41B‧‧‧內表面

42‧‧‧邊端部

43‧‧‧下壁板

43A‧‧‧外表面

43B‧‧‧內表面

44‧‧‧邊端部

45‧‧‧側壁板

45A‧‧‧內表面

50‧‧‧紫外線反射膜

51‧‧‧表面

55‧‧‧端部

第1圖是表示本發明的準分子燈的構成的一例的說明用立體圖。

第2圖是表示第1圖的準分子燈的A－A斷面的說明圖。

第3圖是表示第1圖的準分子燈的B－B斷面的說明圖。

第4圖是表示本發明的準分子燈的構成的其他例子的說明圖。

第5圖是表示本發明的準分子燈的構成的另一例子的說明圖。

第6圖是表示本發明的準分子燈的構成的又一例子的說明圖。

第7圖是表示本發明的準分子燈的構成的又一例子的說明圖。

第8圖是表示本發明的準分子燈的構成的又一例子的說明圖。

第9圖是表示本發明的準分子燈的構成的又一例子的說明圖。

第10圖是表示習知的準分子燈的構成的一例子的說明用斷面圖。

第11圖是表示第10圖的準分子燈的A－A斷面的說明圖。

第12圖是表示第10圖的準分子燈的點燈狀態的說明圖。