CN101324713A - 液晶面板检查方法以及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种液晶面板检查方法以及装置。在使用摄像装置检查液晶面板缺陷时，可用简单的装置区分附着于液晶面板表面上的灰尘的影像与液晶面板缺陷的影像。将在一对透明基板之间夹设有液晶层的液晶面板(14)配置于第1检查部(10)中，从液晶面板(14)的一侧照射照明光，从另一侧拍摄第1图像。将液晶面板(14)从第1检查部(10)输送到第2检查部(12)。此时，使液晶面板(14)在输送途中的至少一处相对于水平面倾斜。将液晶面板(14)配置于第2检查部(12)中，对倾斜液晶面板(14)吹气体以吹走灰尘。用第2检查部(12)获取液晶面板(14)的第2图像。对第1图像的黑暗画面中的亮点的位置与第2图像中的亮点的位置进行比较，从而区分出液晶面板的缺陷与灰尘。

Description

液晶面板检查方法以及装置
技术领域
本发明涉及采用后照光(back light)照射液晶面板且使用摄像装置观察液晶面板内部的缺陷这种类型的液晶面板检查方法以及装置。
背景技术
现在，已公知有采用后照光照射液晶面板且使用摄像装置观察液晶面板内部的灰尘等缺陷这种类型的液晶面板检查装置。在这样的检查装置中，问题在于，会将附着于液晶面板表面上的灰尘误认为是液晶面板的内部缺陷，从而将合格品的液晶面板判定为次品。已知在如下的专利文献1以及专利文献2中，公开了在对液晶面板的零件进行检查时防止上述误认的技术。
专利文献1：日本特开平10-246705号公报
专利文献2：日本特开平10-176995号公报
专利文献1涉及一种液晶面板的滤色器的检查方法，可区分滤色器本身的缺陷与附着于滤色器表面上的灰尘。在该检查方法中，在滤色器的一侧配置照明装置，使用该照明装置照射滤色器的一侧，并使用CCD摄像机从滤色器的另一侧拍摄透射光的图像。依据该摄影图像，可获取滤色器的突起缺陷和黑色缺陷的位置信息(即，可获得明亮图像中阴影的位置)。若发现那样的缺陷，则将空气的吹喷口拿到存在该缺陷的位置，喷出压缩空气(吹气，air blow)。由此，可将未牢固附着于滤色器上的异物吹走。经吹气后，再次拍摄图像。对吹气前后的图像间实施差分处理，按适当的阀值进行二值化处理时，可分辨出因吹走而消失了的异物。由此，可解决连能简单去除的异物也判定为次品的问题。
专利文献2涉及一种液晶面板的透明玻璃基板的检查方法，利用该方法可区分玻璃基板本身的缺陷与附着于玻璃基板表面上的灰尘。该检查方法使用了4种检查部，使玻璃基板依次通过4种检查部。在各检查部中，在玻璃基板的一侧配置有照明装置，在其另一侧配置有摄像装置。第1检查部和第4的检查部采用直接透射法来拍摄透射图像，第2检查部和第3检查部采用间接透射法来拍摄透射图像。在第3检查部与第4的检查部之间配置有离子式除尘器，当玻璃基板通过该除尘器时，附着于玻璃基板表背面上的尘埃便会被除去。与本发明申请有关的部分是，对第1检查部的拍摄图像与第4的检查部的拍摄图像进行比较。在第1检查部的图像中，除了玻璃基板的“表伤”、“背伤”和“气泡”以外，还有附着于玻璃基板表面上的“尘埃”都显现为暗影信息。在第4检查部的图像中，由于已对尘埃进行了除尘，因此，只显现出了玻璃基板的“表伤”、“背伤”和“气泡”。因此，通过比较第1检查部的图像与第4的检查部的图像，可正确识别玻璃基板的“表伤”、“背伤”和“气泡”的位置及状态。在该专利文献2中，在除去表面的灰尘时，使用了除尘器而不是吹空气。利用空气吹走尘埃时，尘埃还有可能再次附着于液晶玻璃上。
上述两项的公知技术是涉及对构成液晶面板的零件(滤色器或玻璃基板)进行检查的检查方法。与此相对，已知在如下的专利文献3中，公开了一种可对夹设液晶的状态下的液晶面板区分其内部缺陷与表面灰尘的检查方法。
专利文献3：日本特开2007-86563号公报
在该专利文献3中，揭示了一种对未设有偏振片的状态下的液晶面板，使用设置于检查装置上的一对偏振片夹着液晶面板来检查液晶面板的检查方法。该检查装置通过对使用后照光照明时的透射图像与采用倾斜照明来照明时的透射图像进行比较，可区分液晶面板的内部灰尘与外部灰尘。
在上述专利文献1和专利文献2中，可对滤色器或玻璃基板区分其自身缺陷与附着于其表面上的灰尘。但是，将这样的技术应用到在一对透明基板之间夹设液晶的液晶面板、即未设有偏振片的状态下的液晶面板的检查时，会产生如下问题。专利文献1和专利文献2均是以明亮画面上的暗影信息的形式来检测附着于滤色器或玻璃基板的表面上的灰尘。但是，与暗画面(黑暗画面)上的亮点信息相比，明亮画面上的暗影信息不易确认。
而且，在专利文献1中，当在图像上发现缺陷时，将空气吹喷口拿到该缺陷的位置，对准缺陷的位置集中吹压缩空气。由此，将附着于表面上的灰尘吹走。因此，在专利文献1中，需要将空气吹喷口拿到缺陷位置的技术方法。另一方面，在专利文献2中，使用离子式除尘器来除去附着于表面上的灰尘。根据专利文献2，采用气流式除尘方法可能会使尘埃再次附着。要实施该专利文献2的技术，需要离子式除尘器。
在上述专利文献3中，为了区分液晶面板的内部灰尘与外部灰尘，除了后照光以外还需要倾斜照明。因此，期望构造更简单的检查装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种液晶面板检查方法以及装置。在使用摄像装置检查液晶面板的缺陷时，可采用简单的装置，且以黑暗画面中的亮点信息的形式来确认灰尘的影像，从而可区分附着于液晶面板表面上的灰尘的影像与液晶面板缺陷的影像的。
本发明的液晶面板检查方法包括如下(a)到(e)项的阶段：(a)第1图像获取阶段，在该阶段中，将在一对透明基板之间夹设有液晶层的、未设有偏振片的状态下的液晶面板配置于第1检查部中，从液晶面板的一侧隔着第1照明侧偏振片来照射照明光，从液晶面板的另一侧隔着第1摄像侧偏振片来拍摄液晶面板的第1图像，从而获取黑暗画面中的亮点的位置；(b)输送阶段，在该阶段中，将液晶面板从上述第1检查部输送至第2检查部；(c)气体喷吹阶段，在该阶段中，将液晶面板配置于上述第2检查部中，向液晶面板表面吹气体；(d)第2图像获取阶段，在该阶段中，隔着第2照明侧偏振片从配置于上述第2检查部中的液晶面板的一侧照射照明光，隔着第2摄像侧偏振片从液晶面板的另一侧拍摄液晶面板的第2图像，从而获取黑暗画面中的亮点的位置；(e)判定阶段，在该阶段中，对上述第1图像中亮点的位置与上述第2图像中亮点的位置进行比较，当存在两个图像中的亮点位置相同那样的亮点时判定为液晶面板存在缺陷。
在第1检查部与第2检查部之间的输送中途，附着于液晶面板表面上的灰尘可能因伴随输送而产生的振动等的影响而掉落。并且，通过在第2检查部中对液晶面板表面吹气体，附着于液晶面板表面上的灰尘可能掉落。因此，通过对第1图像与第2图像进行比较，可识别出黑暗画面中出现的亮点是由灰尘引起的亮点还是由液晶面板的缺陷引起的亮点。即，对于两个图像中的亮点位置不相同那样的亮点，判定为是由灰尘引起的亮点；而两个图像中的亮点位置相同时，则判定为是液晶面板存在缺陷。通过使用这样的检查方法，可防止将合格品误认为次品。此外，若在气体喷吹阶段中使液晶面板倾斜，将提高灰尘掉落的概率。而且，如果发现误认率只是稍微有点增加，则也可省去气体喷吹阶段。
在输送阶段中，也可使液晶面板在输送路径的至少一处相对于水平面倾斜。这样，将提高附着于液晶面板表面上的灰尘因受到伴随输送而产生的振动等的影响而掉落的可能性。
另外，本发明的液晶面板检查装置用于对在一对透明基板之间夹设有液晶层的、未设有偏振片的状态下的液晶面板进行检查，其中，该检查装置包括如下(a)到(e)项的装置：(a)第1检查部，其具有载置液晶面板的第1检查台、配置于液晶面板一侧的第1照明装置、配置于液晶面板与上述第1照明装置之间的第1照明侧偏振片、配置于液晶面板的另一侧的第1摄像装置、配置于液晶面板与上述第1摄像装置之间的第1摄像侧偏振片、从由上述第1摄像装置拍摄的第1图像中识别黑暗画面中亮点的位置的第1位置识别装置；(b)第2检查部，其具有载置液晶面板的第2检查台、配置于液晶面板一侧的第2照明装置、配置于液晶面板与上述第2照明装置之间的第2照明侧偏振片、配置于液晶面板的另一侧的第2摄像装置、配置于液晶面板与上述第2摄像装置之间的第2摄像侧偏振片、从由上述第2摄像装置拍摄的第2图像中识别黑暗画面中亮点的位置的第2位置识别装置；(c)输送装置，其将液晶面板从上述第1检查部输送到上述第2检查部；(d)气体吹喷装置，其向配置于上述第2检查部中的液晶面板表面吹气体；(e)判定装置，其对上述第1图像中的亮点位置与上述第2图像中的亮点位置进行比较，当存在两个图像中的亮点位置相同那样的亮点时判定为液晶面板存在缺陷。
在该液晶面板检查装置中，也与检查方法的发明同样，可发挥如下的作用：(1)若在气体喷吹阶段中使液晶面板倾斜，将提高灰尘掉落的概率；(2)若发现误认率只是稍微增加，则可省去气体喷吹阶段；(3)可使液晶面板在输送路径的至少一处相对于水平面倾斜。
本发明具有如下的效果：(1)在两个图像的获取阶段之间夹着输送阶段来获取两个图像并对它们进行比较，只使用这样简单的方法即可区分附着于液晶面板表面上的灰尘的影像与液晶面板内部的缺陷；(2)由于是观测黑暗画面中的亮点，因此，与观测明亮画面中的黑暗信息相比，容易确认缺陷信息或灰尘信息；(3)若在第2检查部中向液晶面板表面吹气体，将提高灰尘掉落的可能性；(4)若使液晶面板在输送路径的至少一处相对于水平面倾斜，可提高灰尘在输送途中掉落的可能性。
附图说明
图1是表示本发明的液晶面板检查装置的一实施例的整体像概略的立体图。
图2是表示第1检查部的概略的正面剖视图。
图3是表示第2检查部的概略的侧面剖视图。
图4是设置了空气吹喷装置的状态下的第2检查部的主要部分的立体图。
图5是从侧面观察第2检查部中的空气吹喷装置时的侧视图。
图6是空气吹喷机构的立体图。
图7是图像实例。
图8是另一图像实例。
图9是表示本发明的液晶面板检查方法程序的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施例进行详细说明。图1表示本发明的液晶面板检查装置的一实施例的整体图像概略的立体图。该检查装置用于对在一对透明玻璃基板之间夹设有液晶层的液晶面板的缺陷进行检查。检查对象的液晶面板未设有偏振片。该检查装置具有第1检查部10、第2检查部12以及设于上述两个检查部之间的输送系统。以下，对该检查装置中的液晶面板14的动作进行说明。在第1检查部10中，通过输送动作16将使用第1摄像装置32拍摄了第1图像后的液晶面板14输送到第1回转台18。借助第1回转台18使液晶面板14在水平面内转动90度后，通过输送动作20转移到机器人输送部(未图示)。机器人输送部用于在输送系统与收纳盒23之间转移液晶面板14。通过机器人输送部的输送动作22将液晶面板14输送到第2回转台24。转移到第2回转台24上的液晶面板14，通过辊式输送机(未图示)的输送动作26以及沿着与该输送动作26垂直的方向的输送动作28，而移到倾斜装置(以符号29表示其倾斜动作)的部位。借助倾斜装置使液晶面板14相对于水平面倾斜。通过输送动作30将处于倾斜姿势的液晶面板14输送到第2检查部12中。在第2检查部12中，使用第2摄像装置34拍摄液晶面板14的第2图像。
图2是表示第1检查部的概略的正面剖视图。该第1检查部具有第1检查台36，该第1检查台36上可载置液晶面板14。在液晶面板14的下方配置有第1照明装置38。液晶面板14与第1照明装置38之间配置有第1扩散板40和第1照明侧偏振片42。第1照明侧偏振片42位于第1扩散板40的上方。在液晶面板14的上方配置有第1摄像装置32。在液晶面板14与第1摄像装置32之间配置有第1摄像侧偏振片44。在该实施例中，采用由两个偏振片42、44夹着液晶面板14的结构，在未对液晶面板施加电压的状态(非点亮状态)下，变成了黑暗画面的状态。该“黑暗画面的状态”是指，来自背面侧的照明装置的光被用两个偏振片夹着液晶面板的结构遮断，而在摄像装置中显现了黑暗画面的状态。为变成为这样黑暗画面的状态，对液晶面板的液晶层与两个偏振片之间设定了规定的光学关系。当使液晶面板为非点亮状态，使用第1照明装置38从下方对液晶面板14进行照明，使用第1摄像装置32拍摄液晶面板14时，液晶面板的缺陷或附着于液晶面板上的灰尘在其黑暗的画面上显现为亮点。若液晶面板不存在缺陷，且在其表面上没有灰尘附着，则在画面上不出现亮点。
由图像处理部46按规定的阀值对第1摄像装置32的输出进行二值化处理，记录有无亮点以及亮点的位置。第1图像处理部46的处理结果可由第1显示部48进行显示。
图3是表示第2检查部概略的侧面剖视图。该第2检查部具有第2检查台50，该第2检查台50上可载置液晶面板14。使第2检查台50的液晶面板放置面52倾斜并与水平面成角度θ。角度θ例如大约为70度。该第2检查部除了可使液晶面板为非点亮状态来进行缺陷检查外，还可使液晶面板为点亮状态来进行像质检查。第2检查台50呈倾斜状态，因此，操作者容易对液晶面板进行目测。该第2检查部还具有用于对液晶面板施加电压以进行画质检查的探针装置66。
在液晶面板14的右侧下方配置有第2照明装置54。在液晶面板14与第2照明装置54之间配置有第2扩散板56和第2照明侧偏振片58。第2照明侧偏振片58位于第2扩散板56的上方。在液晶面板14的左侧上方配置有第2摄像装置34。在液晶面板14与第2摄像装置34之间配置有第2摄像侧偏振片60。与第1检查部同样，采用由两个偏振片58、60夹着液晶面板14的结构，在未对液晶面板施加电压的状态(非点亮状态)下变为黑暗画面的状态。即，为了变成为那样黑暗画面的状态，在液晶面板的液晶层与两个偏振片之间设定了规定的光学关系。当使液晶面板14为非点亮状态，使用第2照明装置34从右侧下方对液晶面板14进行照明，使用第2摄像装置34拍摄液晶面板14时，液晶面板的缺陷或附着于液晶面板上的灰尘在其画面上显现为亮点。与第1检查部中的第1图像装置相同，第2摄像装置34与第2图像处理部68相连接，第2图像处理部68与第2显示部70相连接。
图4是在设置了空气吹喷装置的状态下的第2检查部的主主要部分的立体图。在上述图3中省略了空气吹喷装置的图示。在图4中，沿着液晶面板14的两条长边将两个空气吹喷机构72配置于液晶面板14的斜上方。在液晶面板14的斜下方也配置有同样的两个空气吹喷机构(未图示)。这些空气吹喷机构72相当于本发明的气体吹喷装置。在图4中，简略地表示付属于探针装置的多个探针单元82。这些探针单元82沿着液晶面板14的一条长边84和一条短边86并列设置着。
图6是空气吹喷机构72的立体图。该空气吹喷机构72具有细长的主体74。主体74的长度大于液晶面板的长边长度。在该主体74的一个面上形成有多个开口76。在主体74的端面连接有空气导入管78，将高压空气导入该空气导入管时，将从开口76吹出空气。另外，虽未作图示，但在该空气吹喷机构上附加有电离器，可将离子化的空气吹到液晶面板上。
回到图4，对处于相对于水平面以角度θ倾斜的姿势下的液晶面板14，可用合计四个空气吹喷机构72对液晶面板14表侧的表面和背侧的表面吹空气80。由此，可将附着于液晶面板14表面上的灰尘吹走。由于液晶面板14呈倾斜状态，因此，通过空气的流动使灰尘从液晶面板上掉落时，该灰尘不容易再次附着于液晶面板上。
图5是从横向观察第2检查部中的空气吹喷装置的侧视图。显示由四个空气吹喷机构72向倾斜姿势的液晶面板14吹空气80的情况。
以下，对该检查装置的动作进行说明。在图2的第1检查部中，由第1摄像装置32获取液晶面板14的第1图像。该第1图像例如如图7(A)所示，在黑暗画面(以图中的阴影线87代表黑暗画面)中出现了3个亮点88、90、92。在经二值化处理的图像中，将亮点设为“1”，而无亮点的部位设为“0”。亮点是由液晶面板的缺陷(例如两张玻璃基板间夹着的异物)引起的，或者是由附着于液晶面板表面上的灰尘引起的。在图1中，该液晶面板14经由输送动作16、20、22、26、28而移到倾斜装置处。由倾斜装置使液晶面板14倾斜为与水平面成角度θ。该角度θ与第2检查部12的第2检查台的倾斜角度相等。呈这样倾斜姿势的液晶面板14通过输送动作30而被安置于第2检查部12的第2检查台上。伴随这些一连串的输送动作，附着于液晶面板表面上的灰尘可能因振动等而掉落。而且，在输送途中液晶面板处于倾斜姿势，因此，容易使灰尘进一步掉落。并且，在第2检查部12中，使用空气吹喷装置向处于倾斜姿势的液晶面板表面吹空气，由此也可将未从液晶面板表面滑落而残留的灰尘吹走。
其后，由第2检查部12获取第2图像时，例如，如图7(B)所示，在黑暗的画面中出现两个亮点92、94。亮点92在图7(A)的第1图像中也出现过。在图7(A)的第1图像中显现的亮点88、90从图7(B)的第2图像中消失了。可认为亮点88、90是由附着于液晶面板表面上的灰尘引起的，这些灰尘随着液晶面板的输送或者向液晶面板吹喷空气，而从液晶面板表面上消失了。虽然在图7(B)的第2图像中出现了新的亮点94，但它在图7(A)的第1图像中并未出现，设想是灰尘重新附着于液晶面板表面上了。但是，在本发明的检查装置中，附着新的灰尘的可能性非常低。
获得了图7(B)的第2图像之后，对图7(A)的第1图像与图7(B)的第2图像进行比较。具体而言，在第1图像和第2图像之间，对各像素(即液晶面板的每个相同地点)逐一进行二值数据的AND运算。由此，如图7(C)所示，只在第1图像与第2图像这两个图像中都显现亮点的地点(亮点位置共同的地点)残留有亮点92。只在第1图像与第2图像中的一个图像中显现的亮点88、90、94是由附着于液晶面板表面上的灰尘引起的，这些亮点通过AND演算被除去了。
通过以上的处理，可仅提取出液晶面板的缺陷。实际上，这样发现的“有缺陷的液晶面板”也有可能混有由未完全排除的表面灰尘引起的制品(其为正常品)，即使这样，通过使用本发明的检查装置，也可大大降低将原本为合格品的制品误判为次品的概率。
图8是液晶面板没有缺陷时的图像实例。图8(A)为第1图像，其中出现了亮点88、90。图8(B)为第2图像，其中出现了亮点94。图8(C)是对第1图像和第2图像进行AND演算而得到的图像，未发现其中有亮点。此时可判定液晶面板不存在缺陷。
图9是表示本发明的实施例中的液晶面板检查方法程序的流程图。对此前说明的动作进行简要总结。这些程序分别为：获取液晶面板的第1图像(步骤S1)，以使液晶面板在输送路径的至少一处相对于水平面倾斜的方式来输送液晶面板(步骤S2)，向倾斜姿势的液晶面板吹空气(步骤S3)，获取液晶面板的第2图像(步骤S4)，对第1图像与第2图像进行比较(步骤S5)。由图2所示的第1检查部实施第1图像的获取动作。以包括倾斜姿势的状态进行的输送动作由图1的输送动作16、20、22、26、28、30来实施。其中，在从倾斜装置向第2检查部输送的输送动作30中，以使液晶面板倾斜的状态进行输送。在倾斜姿势下进行的空气吹喷动作由图4所示的空气吹喷机构72进行实施。第2图像的获取动作由图3所示的第2检查部进行实施。第1图像和第2图像的比较动作(图像间的AND演算)通过附属于检查装置中的电子计算机进行实施。
本发明并不只限定于上述实施例，也可做如下的变更。
(1)在上述实施例中，第2检查部是倾斜的，在第2检查部中液晶面板相对于水平面倾斜，但也可使第2检查部与第1检查部同样呈水平状态。此时，液晶面板在从第1检查部向第2检查部的输送阶段中保持水平状态。即使在这样的输送形态下，附着于液晶面板表面(特别是下向背侧的表面)上的灰尘也可能因伴随输送而产生的振动等而掉落，也可发挥本发明的效果。
(2)若发现不良的误认率只是稍微增加，可省去空气吹喷机构。在这种情况下，只能期待通过输送液晶面板而使附着于液晶面板表面上的灰尘掉落的效果。
(3)上述实施例中，在获得“黑暗画面的状态”时，使液晶面板为非点亮状态，但也可在第1检查部或第2检查部中，或者在该两个检查部中使液晶面板为点亮状态而获得黑暗画面。只要能获得黑暗画面，由液晶面板和偏振片构成的光学系统可以是任何类型的光学系统，而且，也可对液晶面板施加任何电气信号。
(4)在上述实施例中，使用空气作为向液晶面板吹喷的气体，但也可使用干燥的氮气等其他气体。

Claims (8)

1.一种液晶面板检查方法，其中，该检查方法包括如下(a)到(e)项的阶段：
(a)第1图像获取阶段，在该阶段中，将在一对透明基板之间夹设有液晶层的、未设有偏振片的状态下的液晶面板配置于第1检查部中，从液晶面板的一侧隔着第1照明侧偏振片来照射照明光，从液晶面板的另一侧隔着第1摄像侧偏振片来拍摄液晶面板的第1图像，从而获取黑暗画面中的亮点的位置；
(b)输送阶段，在该阶段中，将液晶面板从上述第1检查部输送至第2检查部；
(c)气体喷吹阶段，在该阶段中，将液晶面板配置于上述第2检查部中，向液晶面板表面吹气体；
(d)第2图像获取阶段，在该阶段中，隔着第2照明侧偏振片从配置于上述第2检查部中的液晶面板的一侧照射照明光，隔着第2摄像侧偏振片从液晶面板的另一侧拍摄液晶面板的第2图像，从而获取黑暗画面中的亮点的位置；
(e)判定阶段，在该阶段中，对上述第1图像中亮点的位置与上述第2图像中亮点的位置进行比较，当存在两个图像中的亮点位置相同那样的亮点时判定为液晶面板存在缺陷。
2.根据权利要求1所述的液晶面板检查方法，其特征在于，在上述气体吹喷阶段中，在使液晶面板相对于水平面倾斜的状态下向液晶面板表面吹气体。
3.一种液晶面板检查方法，其中，该检查方法包括如下(a)到(d)项的阶段：
(a)第1图像获取阶段，在该阶段中，将在一对透明基板之间夹设有液晶层的、未设有偏振片的状态下的液晶面板配置于第1检查部中，从液晶面板的一侧隔着第1照明侧偏振片来照射照明光，从液晶面板的另一侧隔着第1摄像侧偏振片来拍摄液晶面板的第1图像，从而获取黑暗画面中的亮点的位置；
(b)输送阶段，在该阶段中，将液晶面板从上述第1检查部输送至第2检查部；
(c)第2图像获取阶段，在该阶段中，隔着第2照明侧偏振片从配置于上述第2检查部中的液晶面板的一侧照射照明光，隔着第2摄像侧偏振片从液晶面板的另一侧拍摄液晶面板的第2图像，从而获取黑暗画面中的亮点的位置；
(d)判定阶段，在该阶段中，对上述第1图像中亮点的位置与上述第2图像中亮点的位置进行比较，当存在两个图像中的亮点位置相同那样的亮点时判定为液晶面板存在缺陷。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的液晶面板检查方法，其特征在于，在上述输送阶段中，使液晶面板在输送路径的至少一处为相对于水平面倾斜的姿势。
5.一种液晶面板检查装置，其用于对在一对透明基板之间夹设有液晶层的、未设有偏振片的状态下的液晶面板进行检查，其中，该检查装置包括如下(a)到(e)项的装置：
(a)第1检查部，其具有载置液晶面板的第1检查台、配置于液晶面板一侧的第1照明装置、配置于液晶面板与上述第1照明装置之间的第1照明侧偏振片、配置于液晶面板的另一侧的第1摄像装置、配置于液晶面板与上述第1摄像装置之间的第1摄像侧偏振片、从由上述第1摄像装置拍摄的第1图像中识别黑暗画面中亮点的位置的第1位置识别装置；
(b)第2检查部，其具有载置液晶面板的第2检查台、配置于液晶面板一侧的第2照明装置、配置于液晶面板与上述第2照明装置之间的第2照明侧偏振片、配置于液晶面板的另一侧的第2摄像装置、配置于液晶面板与上述第2摄像装置之间的第2摄像侧偏振片、从由上述第2摄像装置拍摄的第2图像中识别黑暗画面中亮点的位置的第2位置识别装置；
(c)输送装置，其将液晶面板从上述第1检查部输送到上述第2检查部；
(d)气体吹喷装置，其向配置于上述第2检查部中的液晶面板表面吹气体；
(e)判定装置，其对上述第1图像中的亮点位置与上述第2图像中的亮点位置进行比较，当存在两个图像中的亮点位置相同那样的亮点时判定为液晶面板存在缺陷。
6.权利要求5所述的液晶面板检查装置，其特征在于，上述气体吹喷装置是在使液晶面板相对于水平面倾斜的状态下向液晶面板表面吹气体。
7.一种液晶面板检查装置，其用于对在一对透明基板之间夹设有液晶层的、未设有偏振片的状态下的液晶面板进行检查，其中，该检查装置包括如下(a)到(d)项的装置：
第1检查部，其具有载置液晶面板的第1检查台、配置于液晶面板一侧的第1照明装置、配置于液晶面板与上述第1照明装置之间的第1照明侧偏振片、配置于液晶面板的另一侧的第1摄像装置、配置于液晶面板与上述第1摄像装置之间的第1摄像侧偏振片、从由上述第1摄像装置拍摄的第1图像中识别黑暗画面中亮点的位置的第1位置识别装置；
(b)第2检查部，其具有载置液晶面板的第2检查台、配置于液晶面板一侧的第2照明装置、配置于液晶面板与上述第2照明装置之间的第2照明侧偏振片、配置于液晶面板的另一侧的第2摄像装置、配置于液晶面板与上述第2摄像装置之间的第2摄像侧偏振片、从由上述第2摄像装置拍摄的第2图像中识别黑暗画面中亮点的位置的第2位置识别装置；
(c)输送装置，其将液晶面板从上述第1检查部输送到上述第2检查部；
(d)判定装置，其对上述第1图像中的亮点位置与上述第2图像中的亮点位置进行比较，当存在两个图像中的亮点位置相同那样的亮点时判定为液晶面板存在缺陷。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的液晶面板检查装置，其特征在于，在上述输送阶段中，使液晶面板在输送路径的至少一处为相对于水平面倾斜的姿势。
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Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101806963A (zh) * 2009-02-17 2010-08-18 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 液晶显示面板的检查方法以及装置
CN102741684A (zh) * 2010-02-08 2012-10-17 住友化学株式会社 贴合有偏振片的液晶面板的缺陷检测方法
CN103235430A (zh) * 2013-05-08 2013-08-07 深圳市华星光电技术有限公司 面板压接半成品的检测方法
CN103339929A (zh) * 2010-12-03 2013-10-02 奥普托斯股份有限公司 识别图像中的异常的方法
CN105548195A (zh) * 2015-12-03 2016-05-04 苏州威盛视信息科技有限公司 表面检测装置及方法
CN105700206A (zh) * 2016-02-16 2016-06-22 京东方科技集团股份有限公司 一种基板表面信息检测装置以及方法
CN107219229A (zh) * 2017-05-16 2017-09-29 武汉精测电子技术股份有限公司 一种面板灰尘过滤方法及装置
CN107832761A (zh) * 2017-10-31 2018-03-23 黑龙江省科学院自动化研究所 一种图像识别设备
CN107884414A (zh) * 2017-11-03 2018-04-06 电子科技大学 一种剔除灰尘影响的镜面物体表面缺陷检测系统及方法
CN108139442A (zh) * 2015-03-16 2018-06-08 精工爱普生株式会社 电子部件输送装置、电子部件检查装置、结露或结霜的检查用试验片以及结露或结霜的检查方法
CN109656033A (zh) * 2017-10-12 2019-04-19 凌云光技术集团有限责任公司 一种区分液晶显示屏灰尘和缺陷的方法及装置
CN109916597A (zh) * 2019-04-18 2019-06-21 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 光学检测装置及光学检测方法
CN110108713A (zh) * 2019-04-26 2019-08-09 武汉精立电子技术有限公司 一种表面异物缺陷快速过滤方法及系统
CN111257335A (zh) * 2020-01-09 2020-06-09 Oppo（重庆）智能科技有限公司 电子设备内部尘点检测方法
CN112198166A (zh) * 2019-07-08 2021-01-08 夏普株式会社 检查装置
CN112561904A (zh) * 2020-12-24 2021-03-26 凌云光技术股份有限公司 一种降低显示屏外观aoi缺陷误检率的方法及系统

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5308958B2 (ja) * 2009-08-10 2013-10-09 株式会社日本マイクロニクス 表示パネルのためのワークテーブル及び試験装置
KR101121433B1 (ko) * 2009-11-04 2012-03-16 엘아이지에이디피 주식회사 기판검사장치
KR101794875B1 (ko) * 2015-01-30 2017-11-07 가부시키가이샤 하리즈 투명판 검사 장치 및 투명판 청소 검사 시스템
JP6669818B2 (ja) * 2018-07-30 2020-03-18 高嶋技研株式会社 異物検査装置及び異物検査方法
CN108645869B (zh) * 2018-08-20 2021-03-12 中国印刷科学技术研究院有限公司 凹印版辊表面缺陷智能检测的非缺陷排除方法及其装置
CN217050388U (zh) * 2022-03-09 2022-07-26 康宁股份有限公司 一种卡匣物流系统

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0452508A (ja) * 1990-06-21 1992-02-20 Mazda Motor Corp 表面欠陥検査装置
JPH05301710A (ja) * 1992-04-24 1993-11-16 Asahi Glass Co Ltd 基板処理システムの基板搬送方法及びその装置
JPH063636A (ja) * 1992-06-18 1994-01-14 Sony Corp 液晶表示パネルの検査方法
JPH08179251A (ja) * 1994-12-20 1996-07-12 Sharp Corp 表示装置の製造装置および表示装置の製造方法
JPH10123193A (ja) * 1996-10-18 1998-05-15 Micronics Japan Co Ltd 表示パネル基板の検査装置および検査方法
JP3677133B2 (ja) * 1996-12-18 2005-07-27 株式会社ヒューテック 透明体検査装置
JP3387353B2 (ja) * 1997-03-05 2003-03-17 凸版印刷株式会社 カラーフィルタの検査方法
JP2004239674A (ja) * 2003-02-04 2004-08-26 Minato Electronics Inc フラット液晶ディスプレイにおける表示素子の検査装置および表示素子の検査方法
JP2004325788A (ja) * 2003-04-24 2004-11-18 Sony Corp 光学的検査方法及び光学的検査装置、並びに液晶表示装置の製造方法
JP4884738B2 (ja) * 2005-09-26 2012-02-29 株式会社日本マイクロニクス 液晶パネル検査装置
JP2007108125A (ja) * 2005-10-17 2007-04-26 Kaneka Corp 透明体シート状物の異物欠陥の検査装置およびその方法

Cited By (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101806963A (zh) * 2009-02-17 2010-08-18 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 液晶显示面板的检查方法以及装置
CN102741684A (zh) * 2010-02-08 2012-10-17 住友化学株式会社 贴合有偏振片的液晶面板的缺陷检测方法
CN103339929B (zh) * 2010-12-03 2017-05-24 奥普托斯股份有限公司 识别图像中的异常的方法
CN103339929A (zh) * 2010-12-03 2013-10-02 奥普托斯股份有限公司 识别图像中的异常的方法
WO2014180049A1 (zh) * 2013-05-08 2014-11-13 深圳市华星光电技术有限公司 面板压接半成品的检测方法
CN103235430B (zh) * 2013-05-08 2015-07-01 深圳市华星光电技术有限公司 面板压接半成品的检测方法
US9182335B2 (en) 2013-05-08 2015-11-10 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Method for inspecting panel-bonding semi-finished product
CN103235430A (zh) * 2013-05-08 2013-08-07 深圳市华星光电技术有限公司 面板压接半成品的检测方法
CN108139442A (zh) * 2015-03-16 2018-06-08 精工爱普生株式会社 电子部件输送装置、电子部件检查装置、结露或结霜的检查用试验片以及结露或结霜的检查方法
CN105548195A (zh) * 2015-12-03 2016-05-04 苏州威盛视信息科技有限公司 表面检测装置及方法
CN105700206A (zh) * 2016-02-16 2016-06-22 京东方科技集团股份有限公司 一种基板表面信息检测装置以及方法
CN105700206B (zh) * 2016-02-16 2019-12-06 京东方科技集团股份有限公司 一种基板表面信息检测装置以及方法
WO2017140069A1 (zh) * 2016-02-16 2017-08-24 京东方科技集团股份有限公司 基板表面信息检测装置以及基板表面信息检测方法
US10184902B2 (en) 2016-02-16 2019-01-22 Boe Technology Group Co., Ltd. Substrate surface information detection device and substrate surface information detection method
CN107219229A (zh) * 2017-05-16 2017-09-29 武汉精测电子技术股份有限公司 一种面板灰尘过滤方法及装置
CN109656033B (zh) * 2017-10-12 2021-07-02 凌云光技术股份有限公司 一种区分液晶显示屏灰尘和缺陷的方法及装置
CN109656033A (zh) * 2017-10-12 2019-04-19 凌云光技术集团有限责任公司 一种区分液晶显示屏灰尘和缺陷的方法及装置
CN107832761A (zh) * 2017-10-31 2018-03-23 黑龙江省科学院自动化研究所 一种图像识别设备
CN107884414B (zh) * 2017-11-03 2019-12-27 电子科技大学 一种剔除灰尘影响的镜面物体表面缺陷检测系统及方法
CN107884414A (zh) * 2017-11-03 2018-04-06 电子科技大学 一种剔除灰尘影响的镜面物体表面缺陷检测系统及方法
CN109916597A (zh) * 2019-04-18 2019-06-21 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 光学检测装置及光学检测方法
CN110108713A (zh) * 2019-04-26 2019-08-09 武汉精立电子技术有限公司 一种表面异物缺陷快速过滤方法及系统
CN112198166A (zh) * 2019-07-08 2021-01-08 夏普株式会社 检查装置
CN111257335A (zh) * 2020-01-09 2020-06-09 Oppo（重庆）智能科技有限公司 电子设备内部尘点检测方法
CN111257335B (zh) * 2020-01-09 2023-01-24 Oppo（重庆）智能科技有限公司 电子设备内部尘点检测方法
CN112561904A (zh) * 2020-12-24 2021-03-26 凌云光技术股份有限公司 一种降低显示屏外观aoi缺陷误检率的方法及系统

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