JPH0452508A

JPH0452508A - 表面欠陥検査装置

Info

Publication number: JPH0452508A
Application number: JP16376390A
Authority: JP
Inventors: Kazumoto Tanaka; 一基田中; Ichirou Masamori; 一郎正守
Original assignee: Mazda Motor Corp
Current assignee: Mazda Motor Corp
Priority date: 1990-06-21
Filing date: 1990-06-21
Publication date: 1992-02-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、表面欠陥検査装置の改良に関する。

（従来の技術）従来より、例えば自動車等車両の組立ラインでは、塗装
工程でボディを塗装した後、該ボディの塗装面に表面欠
陥があるか否かの検査が行われている。

ところが、この検査は、通常、作業者の目視に依存して
いるため、熟練を要し、しかも評価に個人差が生じたり
、あるいは欠陥の見落しが生ずるおそれがあり、確実性
に欠ける嫌があった。

そこで、例えば特開昭６２−２３３７１０号公報に開示
されているように、上述の如きボディ塗装面等の被検査
面を画像処理し、この画像に基づいて被検査面の表面欠
陥を検査するようにした表面欠陥検査装置が知られてい
る。

（発明が解決しようとする課題）しかし、この場合には、空気中の埃等の異物が被検査面
に付着すると、これを表面欠陥と誤認するおそれがある
。そこで、上記被検査面にエアを吹き付けることにより
、埃等の異物を吹き飛ばすことが考えられるが、この場
合には、エアブローによって新たに異物が巻き込まれた
り、あるいは異物が位置を変えるだけで依然として被検
査面に付着していることもあり得、検査ミスを誘発する
おそれがある。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その目
的とするところは、被検査面のエアブロ−前とエアブロ
−後との両画像を適正に比較判定し得る適切な判定手段
を講することにより、埃等の異物付着に起因する検査ミ
スを確実に防止せんとすることにある。

（課題を解決するための手段）上記の目的を達成するため、本発明の解決手段は、被検
査面の表面欠陥を検査する装置において、上記被検査面
をエアブロ−するブロー手段を設ける。さらに、上記被
検査面を上記ブロー手段によるエアブロ−前とエアブロ
−後とに撮像する撮像手段を設ける。また、該撮像手段
により撮像された上記被検査面のエアブロ−前とエアブ
ロ−後との両画像を比較し、この両画像に共通する箇所
のみを表面欠陥として判定する判定手段を設けたことで
ある。

（作用）上記の構成により、本発明では、被検査面は、ブロー手
段によるエアブロ−前とエアブロ−後とに撮像手段によ
って撮像され、判定手段により、上記撮像手段により撮
像された上記被検査面のエアブロ−前とエアブロ−後と
の両画像が比較され、この両画像に共通する箇所のみが
表面欠陥として判定される。

このことから、エアブロ−によって被検査面に新たに付
着した埃等の異物や、エアブロ−によって位置を変える
だけで依然として被検査面に付着している異物等が消去
されて、本来の検査すべき表面欠陥のみが残され、よっ
て埃等の異物付着に起因する検査ミスが確実に防止され
ることとなる。

（実施例）以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は被検査面Ｗの表面欠陥を検査する本発明の実施
例に係る表面欠陥検査装置Ａを示し、検査に供される被
検査面Ｗとしては、例えば自動車等車両のボディの塗装
面、プレス成形される鋼板の成形面および鋳造品の成形
面等であるが、これに限らない。

上記表面欠陥検査装置Ａは、装置本体としてのロボット
１を備えてなり、該ロボット１のアーム２先端には、撮
像手段としてのＣＣＤカメラ３が取り付けられ、該ＣＣ
Ｄカメラ３の隣には、上記被検査面Ｗをエアブロ−する
ブロー手段としてのエアノズル４が取り付けられている
。そして、上記ＣＣＤカメラ３は、被検査面Ｗを上記エ
アノズル４によってエアブロ−する前と、エアブロ−し
た後との２回に分けて撮像するようになされている。さ
らに、上記ＣＣＤカメラ３は、ＣＰＵ等からなる判定手
段５に接続され、該判定手段５により、ＣＣＤカメラ３
により撮像された上記被検査面Ｗのエアブロ−前とエア
ブロ−後との両画像を適当なしきい値により２値化し、
この２値化された両画像を比較し、この両画像に共通し
ない箇所を消去する一方、両画像に共通する箇所のみを
そのまま残してこれを表面欠陥として判定するようにな
されている。

したがって、上記実施例では、１回目（エアブロ−前）
の画像には写っているが、２回目（エアブロ−後）の画
像には写っていないものは、エアブロ−によって吹き飛
ばされた埃等の異物として、また、位置が変わっている
だけのものは、エアブロ−によって移動した埃等の異物
として判断されて共に消去される。さらには、１回目（
エアブロ−前）の画像には写っていないが、２回目（エ
アブロ−後）の画像には写っているものは、エアブロ−
によって被検査面Ｗに新たに付着した埃等の異物として
判断されて消去される。一方、エアブロ−前とエアブロ
−後とで変化しない本来の検査すべき表面欠陥のみが表
面欠陥として判断されて残される。したがって、埃等の
異物付着に起因する検査ミスを確実に防止することがで
きる。なお、第１図中、ム印は表面欠陥であることを、
他のものは異物であることをそれぞれ表わす。

また、第２図は上記実施例に係る表面欠陥検査装置Ａに
より被検査面Ｗの表面欠陥を検査した後、該表面欠陥を
修正研磨する研磨装置Ｂを示す。該研磨装置Ｂは、装置
本体としてのロボット６を備えてなり、該ロボット６の
アーム７先端にはタレット８が取り付けられ、該タレッ
ト８の一端側（第２図下側）にはグラインダ９が、他端
側（第２図上側）には、第３図に拡大詳示するように、
ＣＣＤカメラ１０および光源１１がそれぞれ取り付けら
れ、かつ該ＣＣＤカメラ１０のレンズ１０ａおよび光源
１１のヘッドｌｌａの前方には、縞間隔および感度を任
意に設定することができる液晶シャッタ等からなるモア
レスリット１２が配置されている。なお、第２図では、
このモアレスリット１２は省略している。そして、上記
光源１１の光を上記モアレスリット１２を通して被検査
面Ｗに投光して該被検査面Ｗに縞模様を形成し、この縞
模様を上記モアレスリット１２を通してＣＣＤカメラ１
０で観察することにより、第４図および第５図に示すよ
うに、被検査面Ｗにモアレ縞１３．１３．・・・を形成
し、この各モアレ縞１３が、ＣＣＤカメラ１０の視野中
心に位置する表面欠陥（ム）に対して上下方向および左
右方向共に対称となるようにして、上記ＣＣＤカメラ１
０を表面欠陥（ム）に対し法線Ｃ方向に位置付けした後
、タレット８を反転させて上記グラインダ９を表面欠陥
（ム）に対応位置させ、該表面欠陥（ム）を研磨するよ
うになされている。

次に、上記ＣＣＤカメラ１０、光源１１およびモアレス
リット１２による法線Ｃ検出の要領を第６図のフローチ
ャート図に基づき説明する。

まず、スタートしてステップＳ１で被検査面Ｗの表面欠
陥（ム）をＣＣＤカメラ１０により検出した後、ステッ
プＳ２でモアレスリット１２を作動させ、光源１１の光
をモアレスリット１２を通して被検査面Ｗに投光して、
該被検査面Ｗにモアレ縞１３，１３．・・・を形成させ
る。

次いで、ステップＳ３で、第４図に示すように、上記表
面欠陥（ム）がＣＣＤカメラ１０の視野中央で直交する
２本のライン（十字線）の交点にくるようにロボット６
のアーム７を動かした後、ステップＳ４でモアレ縞１３
の縞模様を検知し、その後、ステップＳ５で、このモア
レ縞１３の上記十字線を横切る縞数を十字線交点（欠陥
位置）より上下方向および左右方向に数える。

その後、ステップＳ６で縞数の多い方向にＣＣＤカメラ
１０を傾け、ステップＳ７で縞数が第５−図に示すよう
に上下方向および左右方向で対称になっているか否かを
判定する。そして、この判定がＹＥＳの場合には、ステ
ップＳ８に進んで上記表面欠陥（ム）が十字線の交点に
存在するか否かを判定する一方、ＮＯの場合には、ステ
ップＳ５に戻ってＣＣＤカメラ１０の傾きを調節する。

しかる後、ステップＳ８の判定がＹＥＳの場合には、ス
テップＳ９に進んでＣＣＤカメラ１０が表面欠陥（ム）
に対し垂直つまり法線Ｃ方向に位置付けられているとみ
なして検出を終了する。その後、タレット８を反転させ
てグラインダ９を上記ＣＣＤカメラ１０の位置に位置付
け、表面欠陥（ム）を研磨する。一方、ステップＳ８の
判定がＮｏの場合には、ステップＳ３に戻って表面欠陥
（ム）か十字線の交点にくるようにロボット６のアーム
７を動かし、以下同様のステップを踏む。

このように、本実施例の研磨装置Ｂでは、タレット８に
グラインダ９以外にＣＣＤカメラ１０、光源１１および
モアレスリット１２を取り付けたので、グラインダ９を
表面欠陥（ム）位置に正確にかつスムーズに位置付ける
ことができ、研磨作業の効率を向上させることができる
。

なお、上記実施例では、表面欠陥検査装置Ａと研磨装置
Ｂとを別々に設けたが、例えば研磨装置ＢのＣＣＤカメ
ラ１０に表面欠陥（ム）を検出し得る機能をも持たせる
ようにすれば、その分たけ部品点数が少なくなって装置
の小型化を図ることができる。

（発明の効果）以上説明したように、本発明によれば、被検査面のエア
ブロ−前とエアブロ−後との両画像を比較し、この両画
像に共通する箇所のみを表面欠陥として判定するように
したので、本来の検査すべき表面欠陥以外の異物を消去
できて、異物付着に起因する検査ミスを確実に防止する
ことかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る表面欠陥検査装置の概略
構成図、第２図は研磨装置の概略構成図、第３図はモア
レ縞を形成する装置類を示す構成図、第４図はＣＣＤカ
メラの視野中央に表面欠陥を位置付けた状態をモアレス
リットを通して見た図、第５図は表面欠陥に対しモアレ
縞を上下方向および左右方向に対称に位置付けた状態を
モアレスリットを通して見た図、第６図は法線検出フロ
ーチャート図である。３・・・ＣＣＤカメラ（撮像手段）４・・・エアノズル（ブロー手段）５・・・判定手段Ａ・・・表面欠陥検査装置Ｗ・・・被検査面第図３・・・ＣＣＤカメラ（撮像手段）４・・・エアノズル（ブロー手段）５・・・判定手段Ａ・・・表面欠陥検査装置Ｗ・・・被検査面第６図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被検査面の表面欠陥を検査する装置であって、上
記被検査面をエアブローするブロー手段と、上記被検査
面を上記ブロー手段によるエアブロー前とエアブロー後
とに撮像する撮像手段と、該撮像手段により撮像された
上記被検査面のエアブロー前とエアブロー後との両画像
を比較し、この両画像に共通する箇所のみを表面欠陥と
して判定する判定手段とを備えたことを特徴とする表面
欠陥検査装置。