JP3181729B2 - 塗膜欠陥検出におけるレンズ汚れ検出方法及びその装置 - Google Patents
塗膜欠陥検出におけるレンズ汚れ検出方法及びその装置Info
- Publication number
- JP3181729B2 JP3181729B2 JP29835992A JP29835992A JP3181729B2 JP 3181729 B2 JP3181729 B2 JP 3181729B2 JP 29835992 A JP29835992 A JP 29835992A JP 29835992 A JP29835992 A JP 29835992A JP 3181729 B2 JP3181729 B2 JP 3181729B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- lens
- defect
- detecting
- captured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、塗膜欠陥検出における
レンズ汚れ検出方法及びその装置に関するものである。
レンズ汚れ検出方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば自動車の車体パネルの塗装
面等の被検査物の表面欠陥を、画像処理にて検査するも
のとして、被検査面にレーザスリット光を投射して、そ
の反射光をスクリーン上に投影させ、そのスリット像か
ら被検査面の表面欠陥を検出するものは知られている
（例えば特開昭６２−２３３７１０号公報参照）。
面等の被検査物の表面欠陥を、画像処理にて検査するも
のとして、被検査面にレーザスリット光を投射して、そ
の反射光をスクリーン上に投影させ、そのスリット像か
ら被検査面の表面欠陥を検出するものは知られている
（例えば特開昭６２−２３３７１０号公報参照）。
【０００３】ところで、その検出器は、先端にすりガラ
ス等の拡散板によるスクリーンを装着し、内面に２枚の
平面鏡を取付けた検出筒と、集光レンズを装着してその
後方にラインセンサを内蔵したカメラ部とからなる。
ス等の拡散板によるスクリーンを装着し、内面に２枚の
平面鏡を取付けた検出筒と、集光レンズを装着してその
後方にラインセンサを内蔵したカメラ部とからなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、その場合、
被検査物の表面欠陥の検出にカメラ部を用いているの
で、そのレンズに、ゴム、塗料等の汚れがあると、その
汚れを欠陥であると誤検出するという問題がある。
被検査物の表面欠陥の検出にカメラ部を用いているの
で、そのレンズに、ゴム、塗料等の汚れがあると、その
汚れを欠陥であると誤検出するという問題がある。
【０００５】本発明は、カメラのレンズ汚れによる誤検
出を防止することができる塗膜欠陥検出におけるレンズ
汚れ検出方法及びその装置を提供するものである。
出を防止することができる塗膜欠陥検出におけるレンズ
汚れ検出方法及びその装置を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、画像
処理にて被検査物の塗装面の欠陥を検出する場合のカメ
ラのレンズ汚れを検出する方法であって、被検査物の塗
装面の画像を順次取込む工程と、上記取り込んだ各画像
に基づいて各被検査物の塗装面の欠陥を検出する工程
と、前回取込まれた画像と、今回取込んだ画像とを比較
し、両画像の同一位置に欠陥がある場合に、これをレン
ズ汚れであると判定する工程とを備え、上 記レンズ汚れ
であると判定したときには、次回以降に取り込む画像に
基づいて被検査物の塗装面の欠陥を検出する際に、該画
像においてレンズ汚れであると判定した領域での塗装面
の欠陥の検出は禁止する構成とする。
処理にて被検査物の塗装面の欠陥を検出する場合のカメ
ラのレンズ汚れを検出する方法であって、被検査物の塗
装面の画像を順次取込む工程と、上記取り込んだ各画像
に基づいて各被検査物の塗装面の欠陥を検出する工程
と、前回取込まれた画像と、今回取込んだ画像とを比較
し、両画像の同一位置に欠陥がある場合に、これをレン
ズ汚れであると判定する工程とを備え、上 記レンズ汚れ
であると判定したときには、次回以降に取り込む画像に
基づいて被検査物の塗装面の欠陥を検出する際に、該画
像においてレンズ汚れであると判定した領域での塗装面
の欠陥の検出は禁止する構成とする。
【０００７】請求項２の発明は、画像処理にて被検査物
の塗装面の欠陥を検出する場合のカメラのレンズ汚れを
検出する装置であって、被検査物の塗装面の画像を順次
取込むと共に、各画像に基づいて該各被検査物の塗装面
の欠陥を検出する画像取込み手段と、該画像取込み手段
の出力を受け、取込まれた画像の欠陥位置を記憶する記
憶手段と、該記憶手段の出力を受け、前回取込まれた画
像と今回取込まれた画像とを比較し、同一位置に欠陥が
ある場合に、これをレンズ汚れであると判定するレンズ
汚れ判定手段とを備え、上記画像取り込み手段を、上記
レンズ汚れ判定手段によりレンズ汚れであると判定され
たときには、次回以降に取り込まれる画像に基づいて被
検査物の塗装面の欠陥を検出する際に、該画像において
レンズ汚れであると判定された領域での塗装面の欠陥の
検出は禁止するように構成する。
の塗装面の欠陥を検出する場合のカメラのレンズ汚れを
検出する装置であって、被検査物の塗装面の画像を順次
取込むと共に、各画像に基づいて該各被検査物の塗装面
の欠陥を検出する画像取込み手段と、該画像取込み手段
の出力を受け、取込まれた画像の欠陥位置を記憶する記
憶手段と、該記憶手段の出力を受け、前回取込まれた画
像と今回取込まれた画像とを比較し、同一位置に欠陥が
ある場合に、これをレンズ汚れであると判定するレンズ
汚れ判定手段とを備え、上記画像取り込み手段を、上記
レンズ汚れ判定手段によりレンズ汚れであると判定され
たときには、次回以降に取り込まれる画像に基づいて被
検査物の塗装面の欠陥を検出する際に、該画像において
レンズ汚れであると判定された領域での塗装面の欠陥の
検出は禁止するように構成する。
【０００８】
【作用】請求項１の発明によれば、被検査物の塗装面の
画像を順次取込み、前回取込まれた画像と、今回取込ん
だ画像とを比較し、両画像の同一位置に欠陥がある場合
に、これがレンズ汚れであると判定する。そして、レン
ズ汚れであると判定したときには、次回以降に取り込む
画像に基づいて被検査物の塗装面の欠陥を検出する際
に、該画像においてレンズ汚れであると判定した領域で
の塗装面の欠陥の検出は禁止する。
画像を順次取込み、前回取込まれた画像と、今回取込ん
だ画像とを比較し、両画像の同一位置に欠陥がある場合
に、これがレンズ汚れであると判定する。そして、レン
ズ汚れであると判定したときには、次回以降に取り込む
画像に基づいて被検査物の塗装面の欠陥を検出する際
に、該画像においてレンズ汚れであると判定した領域で
の塗装面の欠陥の検出は禁止する。
【０００９】請求項２の発明によれば、前回取込まれ現
在記憶されている画像の欠陥位置と、今回取込んだ画像
の欠陥位置が同一位置にある場合に、レンズ汚れ判定手
段は、これをレンズ汚れであると判定する。そして、次
回以降に取り込まれる画像に基づいて被検査物の塗装面
の欠陥を検出する際に、該画像においてレンズ汚れであ
ると判定された領域での塗装面の欠陥の検出は禁止す
る。
在記憶されている画像の欠陥位置と、今回取込んだ画像
の欠陥位置が同一位置にある場合に、レンズ汚れ判定手
段は、これをレンズ汚れであると判定する。そして、次
回以降に取り込まれる画像に基づいて被検査物の塗装面
の欠陥を検出する際に、該画像においてレンズ汚れであ
ると判定された領域での塗装面の欠陥の検出は禁止す
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に沿って詳細に
説明する。
説明する。
【００１１】塗装検査ステーションを示す図１におい
て、１は搬送されてきた被検査物である車体で、その近
傍に車体１の塗装面１ａを検査して塗膜欠陥の有無を検
出する表面状態検査装置２が配置されている。
て、１は搬送されてきた被検査物である車体で、その近
傍に車体１の塗装面１ａを検査して塗膜欠陥の有無を検
出する表面状態検査装置２が配置されている。
【００１２】この表面状態検査装置２は、台座３にロボ
ット手段４が載置されてなり、該ロボット手段４のロボ
ットアーム４ａの先端部に、光源５及びＣＣＤカメラ６
が支持金具７を介して取付けられている。そして塗装ス
テーションＳに搬入されてきた車体１の表面即ち車体１
の塗膜面１ａを、光源５とＣＣＤカメラ６とがトレース
し、その際、上記光源５により照射された光が車体１の
塗膜面１ａで反射されてＣＣＤカメラ６に受光されるよ
うになっている。
ット手段４が載置されてなり、該ロボット手段４のロボ
ットアーム４ａの先端部に、光源５及びＣＣＤカメラ６
が支持金具７を介して取付けられている。そして塗装ス
テーションＳに搬入されてきた車体１の表面即ち車体１
の塗膜面１ａを、光源５とＣＣＤカメラ６とがトレース
し、その際、上記光源５により照射された光が車体１の
塗膜面１ａで反射されてＣＣＤカメラ６に受光されるよ
うになっている。
【００１３】また、上記光源５とＣＣＤカメラ６とによ
る塗装欠陥検査においては、ホストコンピュータ８が、
所定のプログラムに基づきロボット装置４を駆動して、
光源５及びＣＣＤカメラ６が、車体１の塗膜面１ａをな
ぞるように移動せしめる。
る塗装欠陥検査においては、ホストコンピュータ８が、
所定のプログラムに基づきロボット装置４を駆動して、
光源５及びＣＣＤカメラ６が、車体１の塗膜面１ａをな
ぞるように移動せしめる。
【００１４】上記ＣＣＤカメラ６により得られる受光画
像は、画像処理プロセッサ９に送られる。この画像処理
プロセッサ９は、ＣＣＤカメラ６からのビデオ信号を増
幅した後、該ビデオ信号が示す受光画像の明るさのレベ
ル差を識別することにより画像処理を行い、その明暗デ
ータを図示しないコンピュータに伝送して解析させ、こ
れにより、車体１の塗膜面１ａ上の塗装欠陥の有無並び
に欠陥箇所の座標及び塗装欠陥の形状、その大小を検出
するように構成されている。
像は、画像処理プロセッサ９に送られる。この画像処理
プロセッサ９は、ＣＣＤカメラ６からのビデオ信号を増
幅した後、該ビデオ信号が示す受光画像の明るさのレベ
ル差を識別することにより画像処理を行い、その明暗デ
ータを図示しないコンピュータに伝送して解析させ、こ
れにより、車体１の塗膜面１ａ上の塗装欠陥の有無並び
に欠陥箇所の座標及び塗装欠陥の形状、その大小を検出
するように構成されている。
【００１５】一方、画像処理プロセッサ９によって画像
処理された明暗データはコントローラ１０にも送られ、
画像の欠陥位置として記憶手段１０Ａに記憶される。そ
して記憶手段１０Ａにおいて記憶されている、前回取込
まれた画像の欠陥位置と今回取込まれた画像の欠陥位置
とを比較し、同一位置に欠陥がある場合に、これをＣＣ
Ｄカメラ６のレンズ汚れであるとレンズ汚れ判定手段１
０Ｂが判定するようになっている。
処理された明暗データはコントローラ１０にも送られ、
画像の欠陥位置として記憶手段１０Ａに記憶される。そ
して記憶手段１０Ａにおいて記憶されている、前回取込
まれた画像の欠陥位置と今回取込まれた画像の欠陥位置
とを比較し、同一位置に欠陥がある場合に、これをＣＣ
Ｄカメラ６のレンズ汚れであるとレンズ汚れ判定手段１
０Ｂが判定するようになっている。
【００１６】このレンズ汚れの判定は、図２に示すよう
に行われる。
に行われる。
【００１７】即ち、スタートすると、まず、ＣＣＤカメ
ラ６により受光画像が取込まれ（ステップＳ1 ）、それ
が画像処理プロセッサ９に送られて汚れに相当する対象
物を位置データとして検出する（ステップＳ2 ）。それ
から、取込み工程が終了したか否か即ち自動車一台分に
ついて取込みが終了したか否かを判定する（ステップＳ
3 ）。取込み工程が終了していなければ、終了するまで
対象物の検出を行い、終了していれば、対象物の位置デ
ータの論理積を演算する（ステップＳ4 ）。
ラ６により受光画像が取込まれ（ステップＳ1 ）、それ
が画像処理プロセッサ９に送られて汚れに相当する対象
物を位置データとして検出する（ステップＳ2 ）。それ
から、取込み工程が終了したか否か即ち自動車一台分に
ついて取込みが終了したか否かを判定する（ステップＳ
3 ）。取込み工程が終了していなければ、終了するまで
対象物の検出を行い、終了していれば、対象物の位置デ
ータの論理積を演算する（ステップＳ4 ）。
【００１８】そして、同一位置データがあるか否かを判
定し（ステップＳ5 ）、同一位置データがなければレン
ズ汚れはないので、そのまま終了し、同一位置データが
あれば、警報アラームを出力し、同一位置データの領域
をマスキングして（ステップＳ6 ）、この領域の検出を
禁止して終了する。
定し（ステップＳ5 ）、同一位置データがなければレン
ズ汚れはないので、そのまま終了し、同一位置データが
あれば、警報アラームを出力し、同一位置データの領域
をマスキングして（ステップＳ6 ）、この領域の検出を
禁止して終了する。
【００１９】このようにすれば、ゴミや塗料等が、ＣＣ
Ｄカメラ６のレンズに付着していることによる誤検出が
防止される。例えば図３に示すように、取込まれた各画
像Ｕ11，Ｕ12，…にゴミ等の汚れＰ11, Ｐ12，…がある
と、対象物の位置データの論理積は、図４に示すよう
に、汚れＰ1 が残る。よって、図５に示すように、その
領域をマスキング領域Ｖ1 とすることになる。
Ｄカメラ６のレンズに付着していることによる誤検出が
防止される。例えば図３に示すように、取込まれた各画
像Ｕ11，Ｕ12，…にゴミ等の汚れＰ11, Ｐ12，…がある
と、対象物の位置データの論理積は、図４に示すよう
に、汚れＰ1 が残る。よって、図５に示すように、その
領域をマスキング領域Ｖ1 とすることになる。
【００２０】上記処理によれば、時間的に余裕があり、
記憶容量が小さい場合に効果があるが、逆に、記憶容量
は大きいが時間的な余裕がない場合は、次の図６に示す
ように処理することもできる。
記憶容量が小さい場合に効果があるが、逆に、記憶容量
は大きいが時間的な余裕がない場合は、次の図６に示す
ように処理することもできる。
【００２１】即ち、スタートすると、まず、ＣＣＤカメ
ラにより受光画像が取込まれ（ステップＳ11）、それが
画像処理プロセッサに送られて汚れに相当する対象物を
２値化処理し（ステップＳ12）、２値化画像としてホス
トコンピュータが記憶し（ステップＳ13）、汚れに相当
する対象物を２値化画像として検出する（ステップＳ1
4）。
ラにより受光画像が取込まれ（ステップＳ11）、それが
画像処理プロセッサに送られて汚れに相当する対象物を
２値化処理し（ステップＳ12）、２値化画像としてホス
トコンピュータが記憶し（ステップＳ13）、汚れに相当
する対象物を２値化画像として検出する（ステップＳ1
4）。
【００２２】それから、取込み工程が終了したか否か即
ち自動車一台分について取込みが終了したか否かを判定
する（ステップＳ15）。取込み工程が終了していなけれ
ば、終了するまで対象物の検出を行い、終了していれ
ば、記憶されている２値化画像の論理積を演算する（ス
テップＳ16）。
ち自動車一台分について取込みが終了したか否かを判定
する（ステップＳ15）。取込み工程が終了していなけれ
ば、終了するまで対象物の検出を行い、終了していれ
ば、記憶されている２値化画像の論理積を演算する（ス
テップＳ16）。
【００２３】そして、残留画像があるか否かを判定し
（ステップＳ17）、残留画像がなければレンズ汚れはな
いので、そのまま終了し、残留画像があれば、警報アラ
ームを出力し、残留画像の領域をマスキングして（ステ
ップＳ18）、その領域の検出を禁止して終了する。
（ステップＳ17）、残留画像がなければレンズ汚れはな
いので、そのまま終了し、残留画像があれば、警報アラ
ームを出力し、残留画像の領域をマスキングして（ステ
ップＳ18）、その領域の検出を禁止して終了する。
【００２４】例えば図７に示すように、２値画像として
取込まれた各画像Ｕ21，Ｕ22，…にゴミ等の汚れＰ21，
Ｐ22，…があると、記憶２値画像の論理積は、図８に示
すように、汚れＰ2 が残る。よって、図９に示すよう
に、その領域をマスキング領域Ｖ2 とすることになる。
取込まれた各画像Ｕ21，Ｕ22，…にゴミ等の汚れＰ21，
Ｐ22，…があると、記憶２値画像の論理積は、図８に示
すように、汚れＰ2 が残る。よって、図９に示すよう
に、その領域をマスキング領域Ｖ2 とすることになる。
【００２５】
【発明の効果】請求項１の発明は、上記のように、前回
取込まれた画像の欠陥位置と、同一位置に欠陥がある場
合に、これがレンズ汚れであると判定するようにしてい
るので、レンズ汚れによる誤検出を防止することができ
る。
取込まれた画像の欠陥位置と、同一位置に欠陥がある場
合に、これがレンズ汚れであると判定するようにしてい
るので、レンズ汚れによる誤検出を防止することができ
る。
【００２６】請求項２の発明は、前回取込まれ現在記憶
されている画像の欠陥位置と、同一位置に欠陥がある場
合に、レンズ汚れ判定手段がこれをレンズ汚れであると
判定するので、簡単にレンズ汚れを検出することができ
る。
されている画像の欠陥位置と、同一位置に欠陥がある場
合に、レンズ汚れ判定手段がこれをレンズ汚れであると
判定するので、簡単にレンズ汚れを検出することができ
る。
【図１】表面状態検査装置の斜視図である。
【図２】レンズ汚れ判定のフローチャート図である。
【図３】取込み画像の説明図である。
【図４】対象物の位置データの論理積の説明図である。
【図５】マスキング処理の説明図である。
【図６】他の実施例についての図２と同様のフローチャ
ート図である。
ート図である。
【図７】他の実施例についての図３と同様の図である。
【図８】他の実施例についての図４と同様の図である。
【図９】他の実施例についての図５と同様の図である。
6 ＣＣＤカメラ 8 ホストコンピュータ 8A 記憶手段 8B レンズ汚れ判定手段 10 画像処理プロセッサ
Claims (2)
- 【請求項１】 画像処理にて被検査物の塗装面の欠陥を
検出する場合のカメラのレンズ汚れを検出する方法であ
って、 被検査物の塗装面の画像を順次取込む工程と、上記取り込んだ各画像に基づいて各被検査物の塗装面の
欠陥を検出する工程と、 前回取込まれた画像と、今回取込んだ画像とを比較し、
両画像の同一位置に欠陥がある場合に、これをレンズ汚
れであると判定する工程とを備え、 上記レンズ汚れであると判定したときには、次回以降に
取り込む画像に基づいて被検査物の塗装面の欠陥を検出
する際に、該画像においてレンズ汚れであると判定した
領域での塗装面の欠陥の検出は禁止する ことを特徴とす
る塗膜欠陥検出におけるレンズ汚れ検出方法。 - 【請求項２】 画像処理にて被検査物の塗装面の欠陥を
検出する場合のカメラのレンズ汚れを検出する装置であ
って、 被検査物の塗装面の画像を順次取込むと共に、各画像に
基づいて該各被検査物の塗装面の欠陥を検出する画像取
込み手段と、 該画像取込み手段の出力を受け、取込まれた画像の欠陥
位置を記憶する記憶手段と、 該記憶手段の出力を受け、前回取込まれた画像と今回取
込まれた画像とを比較し、同一位置に欠陥がある場合
に、これをレンズ汚れであると判定するレンズ汚れ判定
手段とを備え、上記画像取り込み手段は、上記レンズ汚れ判定手段によ
りレンズ汚れであると判定されたときには、次回以降に
取り込まれる画像に基づいて被検査物の塗装面の欠陥を
検出する際に、該画像においてレンズ汚れであると判定
された領域での塗装面の欠陥の検出は禁止するように構
成されている ことを特徴とする塗膜欠陥検出におけるレ
ンズ汚れ検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29835992A JP3181729B2 (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | 塗膜欠陥検出におけるレンズ汚れ検出方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29835992A JP3181729B2 (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | 塗膜欠陥検出におけるレンズ汚れ検出方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06148083A JPH06148083A (ja) | 1994-05-27 |
| JP3181729B2 true JP3181729B2 (ja) | 2001-07-03 |
Family
ID=17858671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29835992A Expired - Fee Related JP3181729B2 (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | 塗膜欠陥検出におけるレンズ汚れ検出方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3181729B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6148097A (en) | 1995-06-07 | 2000-11-14 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
| DE10322087A1 (de) * | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Daimlerchrysler Ag | Verfahren zur Erkennung und Lokalisierung von Verschmutzungen auf der Optik eines Kamerasystems |
| JP2006110489A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Toray Eng Co Ltd | 基板塗布システム |
| JP4604668B2 (ja) * | 2004-11-12 | 2011-01-05 | カシオ計算機株式会社 | 画像データ照合装置およびその制御プログラム |
| JP4533161B2 (ja) * | 2005-01-21 | 2010-09-01 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及びその異物検出方法 |
| JP4611899B2 (ja) * | 2006-01-12 | 2011-01-12 | アルパイン株式会社 | カメラのレンズ汚れ検出装置及び画像表示システム |
| JP5953658B2 (ja) * | 2011-05-25 | 2016-07-20 | ソニー株式会社 | ロボット制御装置及びロボット装置の制御方法、コンピューター・プログラム、プログラム記憶媒体、並びにロボット装置 |
| JP6933608B2 (ja) * | 2018-06-01 | 2021-09-08 | ファナック株式会社 | 視覚センサのレンズまたはレンズカバーの異常検出システム |
| JP7310423B2 (ja) * | 2019-08-06 | 2023-07-19 | 日本電気硝子株式会社 | 膜付き基板の検査方法、膜付き基板の製造方法、及び膜付き基板の検査装置 |
-
1992
- 1992-11-09 JP JP29835992A patent/JP3181729B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06148083A (ja) | 1994-05-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5566244A (en) | Method of inspecting a workpiece surface including a picturing system with a shortened focal plane | |
| JP3181729B2 (ja) | 塗膜欠陥検出におけるレンズ汚れ検出方法及びその装置 | |
| JP3155106B2 (ja) | ボトルシールの外観検査方法及び装置 | |
| JP4117790B2 (ja) | 塗布状態検査装置 | |
| JP3160743B2 (ja) | 液晶パネル欠陥検査装置 | |
| JP2000214101A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP2955686B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP3293257B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPH10300446A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPS62110138A (ja) | 表面欠陥検査装置のデ−タ出力方法 | |
| JPH0650904A (ja) | 表面欠陥サイズの補正方法 | |
| JP2000074849A (ja) | 異物検出方法およびその装置 | |
| JPH0581697U (ja) | 外観検査装置 | |
| JP2938953B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP3168864B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP3206675B2 (ja) | 画像処理方法 | |
| JP2000205846A (ja) | 塗装ムラ検査装置および方法 | |
| JP2904983B2 (ja) | ワーク表面検査方法 | |
| JPH08122266A (ja) | 表面検査装置 | |
| JP3259624B2 (ja) | 表面状態検査装置 | |
| JP3062293B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP3278490B2 (ja) | 塗膜欠陥検査装置 | |
| JP3095820B2 (ja) | 表面状態検出装置 | |
| JP2500790B2 (ja) | 露光用マスクのゴミまたは欠陥を検出する装置及びその方法 | |
| JPH07159141A (ja) | ワーク表面検査方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010403 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |