JPS62110138A - 表面欠陥検査装置のデ−タ出力方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば自動車の車体パネル塗装面や圧延さ
れた４’Ｆｔｌｊ板などの被検査物の表面欠陥を検査す
るための表面欠陥検査装置に関する。

〔従来の技術〕

上記のような被検査物の表面における傷、突起。

ブツ、汚れ等の欠陥の検査は、非能率で個人差のある作
業具による目視検査から、例えば指向性の強いレーザ光
を利用した自動検査に移行する傾向にある。

このようなレーザ光を利用した表面欠陥検査装置として
、第１３図に示すように、光源であるレーザスリット光
発生器１から被検査物の表面である被検査面２にスリッ
ト光ＬＳＴを投射して、その反射光ＬＳＴ’　を−担拡
散板によるスクリーン３に投影し、そのスクリーン３上
の像をカメラ部の集光レンズ４によって集光してＣＣＤ
等のラインセンサ５上に結像させて検出することによっ
て。

表面欠陥を検出するようにした表面欠陥検査装置を本出
願人が先に提案している（特願昭５９−８３８８９号、
特願昭５９−８３８９０号）。

この表面欠陥検査装置によれば、例えば第１４図に示す
ように、被検査面２上のスリット光投射位置に錫やブツ
等の欠陥ａがあると、レーザスリット光発生器１から投
射されたスリット光ＬＳＴがそこで散乱するため、被検
査面２からの正反射光ＬＳＴ’　を受けるスクリーン３
上には、図示のように欠陥ａに対応するところで切れた
スリット像ＳＬが投影されることになる。

したがって、このスクリーン３上のスリット像ＳＬが投
影される位置を常時撮影している第１３図のラインセン
サ５のビデオ呂力信号は、第１５１ｍ　（ａ）に示すよ
うになり、同図（ｂ）に示すその包絡線信号Ｖｓと平均
化した比較信号Ｖｒ（スレッショルドレベル）とを比較
して、同ＩＩ（ｅ）に示すようにＶ　ｓ　＜　Ｖ　ｒで
のみハイレベル゛Ｈ。

になり、それ以外ではローレベル゛Ｌ″になる２値化信
号を形成すれば、被・険査面２上の欠陥（第１４図のａ
）を、この２値化信号のレベルがＨ”になることによっ
て検出することができる６そして、欠陥が検出された時
には、その被検査面の欠陥近傍に拭き取り可能な塗剤を
吹きつけて目印とすることにより、欠陥の修正を容易に
行なうことができる。

この場合、第１３図のラインセンサ５は、集光レンズ４
の合焦位置に配置したスクリーン３で拡散された散乱光
ＳＣを受光することによって、スクリーン３上の投影ス
リット像ＳＬを撮像しているため、集光レンズ４の焦点
を常時固定にすることができ、しかも拡散によって投影
スリット像ＳＬが拡大されるため、表面欠陥の検出分解
能が向上する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような先に提案した表面欠陥検査装
置にあっては、欠陥が有るか無いかのみを検出していた
ので、その検出精度を上げると、例えば補修する必要が
ないような極めて小さな欠陥まで全て検出してしまうた
め実用的でなく、検出精度を下げると小さい欠陥は検出
されなくなるため、全体的な表面仕上がりの良否や欠陥
の分布状況等を判断したりすることができなくなるとい
う問題点があった。

この発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたものである。

〔問題点を解決するための手段〕

そのため、この発明による表面欠陥検査装置のデータ出
力方法は、第１３図乃至第１５図によって説明したよう
な表面欠陥検査装置において、ラインセンサのビデーオ
出力信号を２値化し、その２値化信号の欠陥部分に対応
するレベルの幅Ｗによって欠陥の大きさをランク分けし
て出力するようにしたものである。

〔実　施　例〕

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、この発明による表面欠陥検査装置のデータ出
力形態の一例を示すものであるが、その説明は後述する
。

先ず、第２図乃至第５図によってこの発明を適用する表
面欠陥検査装置の具体的な構造を示す。

第２図は平面図、第３図は正面図、第４図は右側面図、
第５図は検出器内部の模式的配置図である。

１０はレーザスリット光発生器であり、レーザ発振管１
０ａと、それが発生するレーザ光束をスリット光に変換
するためのシリンドリカルレンズを含むレンズ系１０ｂ
と、そのスリット光を長手方向に広がらない平行スリッ
ト光にするフレネルレンズ１０ｄを先端に装着したフー
ド部１０ｃとから構成されている。

２０は検出器であり、集光レンズ１４と欠陥検出用のラ
インセンサ１５．及び姿勢検出用のラインセンサ１６．
１７と第５図に示すビームスプリッタ３０とをそのカメ
ラ部２０ａに設け、このカメラ部２０ａの前面に一体的
に装着した検出筒２０ｂの先端部に、スリガラス等の拡
散板によるスクリーン１３を装着している。

なお、検出器２０を小型にして旦つスリット像の縮小倍
率をかせぐために、検出筒２０ｂを折り曲げた形状にし
て、内部に２枚のミラー（平面鏡）１８．１９を配設し
ており、スクリーン１３に投影されたスリット像をこの
ミラー１８．１９に写して集光レンズ１４によってライ
ンセンサ１５及びラインセンサ１６，１７上に結像させ
るようにしている。

この検出器２０をホーク状のフレーム２１の基端部に固
若し、そのフレーム２１の先端部に枢軸２２によってレ
ーザスリット光発生器１０を軸支しており、検出器２０
の光軸０１に対するレーザスリット光発生器１０の光軸
０２の交差角度δを調整できるようになっている。

このレーザスリット光発生器１０のフレーム２１に対す
る角度は、第２図のモータ２３によって駆動される第１
の調整機構２４により、枢軸２２を第３図の矢示θＸ方
向へ回動させることによって調整される。

また、フレーム２１は、この表面欠陥検査装置を図示し
ないロボット等の走査装置あるいは固定部に取付けるた
めのブラケット２５に、モータ２６によって駆動される
第２の調整機構（第３図）２７により、矢示θｙ力方向
揺動可能に取付けられている。

そしてフレーム２１が矢示θｙ力方向揺動すると、この
フレーム２１に取り付けられたレーザスリット光発生器
１０と検出器２０がそれに同動するため、第４図に示す
ように光軸０１，０２が作る面の被検査面１２に対する
傾斜角εが変化し。

通常は常にｃ＝９０°になるように調整される。

なお、第３図における２８は欠陥マーカであり、被検査
面１２のレーザスリット光ＬＳＴが照射された位置にブ
ツや傷等の欠陥があってその存在が検出された時に、レ
ーザスリット光と干渉しない欠陥近傍に拭き取り可能な
塗料を吹きつけて、欠陥の存在を示すマークを付けるた
めの装置であって、検出器２０と一体のブラケット２日
に所定角度首振り可能に取付けである。

ここで、検出器２０内のラインセンサ１５゜１６．１７
の配置関係を第５図によって説明する。

欠陥検出用のラインセンサ１５は、ビームスプリッタ３
０の後方に集光レンズ１４と平行に設けたセンサ取付板
３１に、スクリーン１３に投影されるスリット像ＳＬの
結像基準線Ｒ上に検出ラインを一致させて配置される。

なお、この欠陥検出用のラインセンサ１５として検出幅
がＣＣＤラインセンサに比べて格段に広いＰ　ＣＤ　（
ＰｌａｓＩＩｌａ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）ラ
インセンサを使用すれば、検査装置と被検査面との相対
位置関係の僅かな変動は許容される。

一方、姿勢検出用のラインセンサ１Ｇ、１７は。

センサ取付板３１−の側方手前に直角をなして設けられ
たセンサ取付板３２上に、ビームスプリッタ３０のハー
フミラ−面によって反射されて結像されるスリット像Ｓ
Ｌの結像基準線Ｒ′に検出ラインを中心部で直交させて
、互いに所定の間隔で平行シ；配置される。

この姿勢検出用のラインセンサ１６，１７としては、Ｃ
ＣＤ又はＰＤＡラインセンサを使用する。

この表面欠陥検出装置によれば、レーザスリット光発生
器１０によって被検査面１２に投影されるレーザスリッ
ト光ＬＳＴの反射光ＬＳＴ’　がスクリーン１３に投影
されて形成されるスリット像ＳＬを、集光レンズ１４に
よりビームスプリッタ３０を介してラインセンサ１５の
検出ライン上に結像する。

したがって、第１４図によって説明した従来例の場合と
同様に、このラインセンサ１５から読出されるビデオ出
力信号を２値化処理することにより、欠陥の有無を検出
することができる。なお、この発明によるデータ出力方
法は、この２値化信号を用いて欠陥の大きさをランク分
けして出力するのであるが、その説明は後述する。

ところで、この表面欠陥検出装置をロボット等の走査装
置に取付けて被検査面１２をスキャンしながら表面欠陥
を検出するような場合、レーザスリット光発生器１０と
検出器２０と被検査面１２との相対的位置関係が変化し
て、第３図の角度δ及び第４図の角度εが所定の角度（
例え１ｆδ＝６０°、ε＝９０″）からずれると、スク
リーン１３上に投影されるスリット像ＳＬがラインセン
サ１５による検出可能な範囲から逸脱して検出できなく
なる。

その場合、ラインセンサ１６．１７に交差するスリット
像も、結像基準線Ｒ′に対してずれて傾斜するため、各
ラインセンサ１６，１７のスリット像検出位置の差及び
その平均位置と検出ラインの中心位［（２０４８ビツト
のラインセンサを使用した場合１０２４ビツト目）との
差によって角度Ｅ及びδのずれ量を検出し、それを修正
するように第１の調整機構２４のモータ２３及び第２の
調′！Ｉｉ機構２７のモータ２６を駆動して姿勢補正を
行なうことにより、常に表面欠陥の検出が確実になされ
るようにする。

第６図は、前述のような表面欠陥検出装置の検出ヘッド
（以下「インスペクタ」という）４０をロボット４１の
ハンド４１ａに取付けて、被検査物１１　（例えば自動
車のボディ）の塗装面である被検査面１２を走査して、
その表面欠陥を検出する場合の使用例を示す。

４２は制御盤であり、ロボット制御部４３とインスペク
タ制御部４４とからなり、ロボット制御部４３はロボッ
ト４１の各軸をプレイバック制御して、被検査面１２の
検査エリアを順次インスペクタ４０によって走査させる
。

インスペクタ制御部４４は、インスペクタ４０のレーザ
スリット光発生器１０を動作させてレーザスリット光を
発生させると共に、検出器２０の各ラインセンサＩｓ、
１６，１７を駆動して、各ビデオ出力信号を読出して処
理し、前述した欠陥の検出及び姿勢補正の制御を行なう
と共に、後述する欠陥の大きさのランク分は及びロボッ
ト制御部４３からの走査データから欠陥位置の判別も行
ない、そのデータを出力装置であるディスプレイ４５の
ＣＲＴ画面４５．に表示させ、また、必要に応じてプリ
ンタ４日によって記録紙にプリントアウトさせる。

これらのロボット制御部４３及びインスペクタ制御部４
４には、いずれもＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等からなるマ
イクロコンピュータを備えている。

次に、このインスペクタ制御部４４における欠陥の大き
さをランク分けする機能について説明する。

仮に、被検査面１２上のレーザスリット光によって一度
に照射されるライン上に大きさの異なる４個の欠陥が存
在したとすると、インスペッタ４０内の前述した欠陥検
出用ラインセンサ１５からのビデオ出力信号Ｖｓは第７
図（Ａ）に示すようになり、これをスレッショルドレベ
ルＶｒで２値化した信号Ｓが欠陥部分に対応してハイレ
ベル゛Ｈ″になる部分の幅Ｗは、欠陥の大きさに応じて
変化する。したがって、この幅Ｗを複数の判別基準値と
比較することによって欠陥の大きさをランク分けするこ
とができる。

ところが、第７図（Ｂ）に示すように、被検査面１２上
の傷等の欠陥１２ａ（拡大して図示している）が、イン
スペクタ４０による検査方向に長く、複数のスキャン位
置にまたがるような場合には、各スキャン位置ａ　−ｄ
におけるビデオ出力信号を２値化した２値化信号Ｓ　ａ
　＝　Ｓ　ｄは、その欠陥１２ａに相当するＨ”部分の
幅Ｗが変化する。

そこで、このような欠陥が有ることを示す検出信号が連
続して出力された場合には、その一連の２値化信号のＨ
”部分の幅（ビット数で検出する）Ｗの最大値を欠陥の
幅を示すデータとする。

第８図はこの発明によるデータ出力方法を実施したデー
タ出力装置のブロック構成図であり、欠陥幅検出手段５
０は１例えば欠陥検出用のラインセンサ１５からビデオ
出力信号が読出される毎に。

その２値化信号がＨ”になった場合にそのビット数をカ
ウントとするカウンタで、欠陥幅に応じたビット数のカ
ウント値を出力して、バッファメモリ５１に格納する。

この新らたなデータＡが、比較器５３によってレジスタ
５２に記憶されている以前のデータＢと比較され、Ａ＞
Ｂの時にのみ比較器５３からレジスタ５２へ記憶更新指
令が出され、新らたなデータＡがレジスタ５２に記憶さ
れる。

最初はＢ＝Ｏになっているので、初めて欠陥幅を示すデ
ータが出力された時は当然Ａ＞Ｂであるから、そのデー
タＡがレジスタ５２に記憶されることになる。その後、
連続して欠陥幅を示すデータが出力されると、新らたな
データＡの方がレジスタＳ２の記憶データＢより大きい
時にのみレジスタ５２の記憶データが更新され、欠陥幅
を示すデータが「０」になった時にレジスタ５４に書込
み命令が与えられ、レジスタ５２に記憶されている欠陥
幅のデータすなわち最大値がレジスタ５４に格納され、
レジスタ５２はリセットされる。

このレジスタ５４に格納された欠陥幅の最大値によって
、欠陥ランク判別手段５５が欠陥の大きさをランク分け
し、第６図のディスプレイ４５及びプリンタ４６のよう
な欠陥データ出力手段５６によって、その欠陥のランク
別データを出力する。

次に、この欠陥ランク判別手段５５の機能を第Ｓ図のフ
ローチャートによって説明する。

第８図のレジスタ５４から欠陥幅の最大値データＷＭが
入力されると、先ずＷＭが２．０ｍｍ以上か否かを判別
し、ＹＥＳであればカウンタの出力をし、ＮＯの場合は
次にＷＭが１．０ｍｍ以上か否かを判別し、ＹＥＳであ
ればＢランクの出力をし、Ｎｏの場合はさらにＷＦ／［
が０．５ｍ＋＋＋以上か否かを判断する。そして、ＹＥ
ＳであればＣランクの出力をし、ＮｏであればＤランク
の出力をする。

これらの各判別は、実際にはＷＭのビット数で行なわれ
る。

次に、前述の欠陥幅最大値検出及び上記のような欠陥ラ
ンク判別機能を含む、第６図の制御盤４２による全ライ
ンスキャニング時の処理動作について、第１０図のフロ
ーチャートによって説明する。

ステップ１でボディ１１の表面欠陥の検出が開始される
と、ステップ２でスキャニングラインのナンバＮをカウ
ントするカウンタを「０」にし、ステップ３で１ライン
のスキャニング（第７図（Ｂ）に矢印で示す検査方向に
スキャニングする）が開始されると、ステップ４でスキ
ャニング開始後の時間（Ｔ）を測るタイマカウンタをス
タートさせ。

ステップ５でラインナンバＮをＮ＋１（ｉ初は「０」か
ら「ｌ」）にする。

次に、ステップ６で第８図のバッファメモリ５１に相当
する欠陥入力レジスタの値、すなわち欠陥幅Ｗの検出デ
ータ（ビット数）を読込み、ステップ７でそれを予め設
定した欠陥ありと認める最小値と比較して欠陥有りか否
かを判断し、有りの場合はステップ８へ進む。

ステップ８ではラインナンバＮとタイマカウンタのカウ
ント時間Ｔに対応するボディ位置をメモリから索引する
。

そして、ステップ９では第８図で説明したようにして欠
陥幅の最大値ＷＭを検出する処理を行なうが、その最大
値ＷＭの検出が完了する迄はステップ１０からステップ
１４へ飛んで、１ラインのスキャニング中の欠陥入力レ
ジスタの値を次々と読込む。

ステップ９で最大値ＷＭが検出されると、ステップ１０
からステップ１１へ進み、第９図で説明したようにその
最大値ＷＶｉの値から欠陥ランクを判別して、ステップ
１２でその欠陥ランクに対応する表示色をメモリから索
引し、ステップ１３で第６図のディスプレイ４５・にス
テップ８で索引した欠陥位置を欠陥ランクに応じた表示
色で表示する。その表示データはディスプレイ側で記憶
される。

そして、ステップ１４で１ラインのスキャニングが終了
すると、ステップ１５で欠陥入力レジスタ及びタイマカ
ウンタをクリアして、ステップ１６で全ラインスキャニ
ングが終了するまで、ステップ３〜１６を繰り返す。

このようにして、第６図のディスプレイ４５のＣＲＴ画
面４５ａに表示され、あるいはプリンタ４６によって記
録紙（チェックシート）にプリントされる内容は、例え
ば第１図に示すようになる。

この例では、予め画像メモリに記憶させである車種別の
画像データから呼出された自動車のボディの平面及び両
側面の形状を示す図形表示６０゜６１．６２上に欠陥の
位置を欠陥マーク６３．（＊印）で表示しており、カウ
ンタは赤、Ｂランクは黄、Ｃランクは緑、Ｄランクは青
のそれぞれ異なる色の＊印で表示している。

また、右上部には検査年月日、ボディＮ○、。

車種、塗色等の被検査物特定用のデータ表示６４がなさ
れ、右下部にはボディの各部位別及び欠陥のランク別の
欠陥数集計表６５が表示される。

このような１画面表示及びチェックシートの出力が得ら
れると、車体全体及び部位別の欠陥の分布、その大小の
度合等が一目瞭然となり、塗装工程の管理等に有効に活
用することができる。

なお、欠陥の大きさのランク別マーク表示は、図形上の
欠陥が検出された位置にＡ、Ｂ、Ｃ，Ｄ等の文字を直接
表示するようにしてもよいし、あルイは、Ａ−＋ｘ、Ｂ
→Δ、ｃ−ｓｏ、　Ｄ−＋−（７）ような記号によって
マーク表示するようにしてもよく、このようにすれば−
色のプリンタでも、欠陥位置を図形上にランク別に出力
することができる。

第１１＠は、実際の量産ラインにおいて自動車のボディ
の塗装後の表面欠陥を検査する場合の例を示す斜視図で
あり、第６図と対応する部分には同一符号を付しである
。

図示しない塗装ラインで塗装されたボディ１１は、台車
７１に載置されてコンティニュアスコンベア７０により
矢印Ｆ方向から搬入され、同方向へ一定の速度で移動さ
れる。

７２．７３はマグネスケールを用いた位置座標検出器で
あり、ボディ１１の上下方向の位置ずれ及び傾きを一対
の位置座標検出器７２．７２により、左右方向の位置ず
れ及び傾きを一対の位置座標検出器７３．７３によって
それぞれ検出して、制御盤４２へ送り、ロボット４１．
４１及び天吊す型ロボット７５によるスキャン動作時の
ティーチングデータを修正する。

この実施例では、コンティニュアスコンベア７０の両側
に一対のロボット４１．４１をそれぞれ追従装置７４．
７４上に載置して設け、コンベア速度に合せた追従動作
を可能にしている。その各ロボット４１．４１のハンド
には、前述のインスペクタ４０を装着しており、それに
よってボディ１１の両側面すなわち左右のフロントフェ
ンダ。

フロントドア、リアドア、及びリアフェンダの表面欠陥
を検出するようにしている。

一方、コンティニュアスコンベア７０の上部に配置した
天吊り型ロボット７５もコンティニュアス追従可能であ
り、そのハンドには一対のインスペクタ４０．４０を逆
向きに装着しており、それによってボディ１１の上面す
なわちフード、ルーフ、及びトランクリッドの表面欠陥
を検出するようにしている。

制御盤４２は、これらの各ロボット４１，４１゜７５を
制御してそれらに装着された４個のインスペクタ４０に
よってボディ１１の全面をスキャニングし、その各検出
信号を処理して、前述のように欠陥データをディスプレ
イ４５に表示させると共にプリンタ４６によってプリン
トアウトさせる。

第１２図は、この発明の他の実施例の配置図であり、第
６図と同じ部分には同一符号を付しである。

図の左側が表面欠陥検査ラインであり、第６図の例と同
様にインスペクタ４０を装着したロボット４１を制御盤
４２によって制御して、自動車ボディの塗装面の表面欠
陥を検出し、そのデータをモニタ用のディスプレイ４５
′に出力する。

図の右側は、この表面欠陥検査ラインから射れた場所に
ある塗装ラインであり、スプレーガン７７を装着したロ
ボット７６により、ボディ１１に塗装を施こす。

この塗装ラインに、表面欠陥検査装置の出力装置である
ディスプレイ４５及びプリンタ４６を配置してあり、制
御盤４２から表面欠陥検出結果のデータが送ら九、第１
図に示したようなデータ出力がディスプレイ４５に表示
され、プリンタ４６によってプリントアウトされる。

したがって、検査結果を直ちに塗装工程の管理に活用し
、例えば欠陥が多く検出される部位の塗装を担当するロ
ボット及びスプレーガンを点検するなどの処置をとるこ
とができる。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、この発明によれば。

表面欠陥検査装置による欠陥検出データを、欠陥の大き
さによってランク分けして出力するようにしたので、補
修を要するような大きな傷等の欠陥だけなく、各種の大
きさの欠陥の存在をその大きさ別に正確に知ることがで
、全体的な表面仕上がりの良否等の判断を行なうことも
できる。

そして、塗装工程等の前工程の管理に極めて有効なデー
タを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による表面欠陥検査装置のデータ出力
形態の一例を示す図、 第２図乃至第４図はこの発明を適用する表面欠陥検査装
置の具体的な構造例を示す平面図。 正面図、及び右側面図、 第５図は同じくその検出器２０の内部の模式的配置図、 第６図は同じくその表面欠陥検査装置の使用例を示す配
置図、 第７図（Ａ）は表面欠陥の大きさと検出信号との関係を
示す波形図。 第７図（Ｂ）は１個の表面欠陥に対するスキャン位置に
よる検出信号の変化を示す説明図。 第８図はこの発明によるデータ出力方法を実施したデー
タ出力装置のブロック構成図、 第９図は第８図の欠陥ランク判別手段の機能を示すフロ
ー図、 第１０図は第６図の制御盤４２による全ラインスキャニ
ング時の処理動作を示すフロー図、第１１図は実際の量
産ラインにおいて自動車のボディの塗装後の表面欠陥を
検査する場合の配置例を示す斜視図、 第１２図はこの発明の他の実施例を示す配置図、第１３
図はこの発明を適用する表面欠陥検査装置の原理説明図
。 第１４図は同じくその作用説明図。 第１５図は同じくそのラインセンサによるビデオ出力信
号の２値化処理を説明するための波形図である。 １０・・・レーザスリット光発生器 １１・・・被検査物（自動車のボディ）１２・・・被検
査面　　　１３・・スクリーン１４・・・集光レンズ １５・・・欠陥検出用のラインセンサ １６．１７・・・姿勢検出用のラインセンサ１８．１９
・・・ミラー　　２０・・・検出器２１・・・フレーム
　　３０・・・ビームスプリッタ４０・・・インスペク
タ （表面欠陥検査装置の検出ヘッド） ４１．７５．７６・・ロボツ１−　４２・・・制御盤４
５．４５’・・・ディスプレイ　　４日・・・プリンタ
５５・・・欠陥ランク判別手段 ５６・・・欠陥データ出力手段 ６０〜６２・・・被検査物の図形表示 ６３・・・欠陥マーク ６４・・・被検査物特定用のデータ表示Ｓ５・・・欠陥
数集計表 第５図 第７図（Ａ） ｚ７ａＢ） 第１３図 第１４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　被検査面にレーザスリット光を投射してその反射光
   を拡散板によるスクリーン上に投影し、その投影像をラ
   インセンサ上に結像させて検出することにより、前記被
   検査面の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、 前記ラインセンサのビデオ出力信号を２値化し、その２
   値化信号の前記欠陥部分に対応するレベルの幅によつて
   欠陥の大きさをランク分けして出力することを特徴とす
   るデータ出力方法。