JPH0656363B2 - 表面欠陥検査装置のデ−タ出力方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば自動車の車体パネル塗装面や圧延さ
れた帯鋼板などの被検査物の表面欠陥を検査するための
表面欠陥検査装置に関する。

〔従来の技術〕

上記のような被検査物の表面における傷，突起，ブツ，
汚れ等の欠陥の検査は、非能率で個人差のある作業員に
よる目視検査から、例えば指向性の強いレーザ光を利用
した自動検査に移行する傾向にある。

このようなレーザ光を利用した表面欠陥検査装置とし
て、第１３図に示すように、光源であるレーザスリツト
光発生器１から被検査物の表面である被検査面２にスリ
ツト光ＬＳＴを投射して、その反射光ＬＳＴ′を一担拡
散板によるスクリーン３に投影し、そのスクリーン３上
の像をカメラ部の集光レンズ４によつて集光してＣＣＤ
等のラインセンサ５上に結像させて検出することによつ
て、表面欠陥を検出するようにした表面欠陥検査装置を
本出願人が先に提案している（特願昭５９−８３８８９
号，特願昭５９−８３８９０号）。

この表面欠陥検査装置によれば、例えば第１４図に示す
ように、被検査面２上のスリツト光投射位置に傷やブツ
等の欠陥ａがあると、レーザスリツト光発生器１から投
射されたスリツト光ＬＳＴがそこで散乱するため、被検
査面２からの正反射光ＬＳＴ′を受けるスクリーン３上
には、図示のように欠陥ａに対応するところで切れたス
リツト像ＳＬが投影されることになる。

したがつて、このスクリーン３上のスリツト像ＳＬが投
影される位置を常時撮影している第１３図のラインセン
サ５のビデオ出力信号は、第１５図（ａ）に示すように
なり、同図（ｂ）に示すその包絡線信号Ｖｓと平均化し
た比較信号Ｖｒ（スレツシヨルドレベル）とを比較し
て、同図（ｃ）に示すようにＶｓ＜Ｖｒでのみハイレベ
ル“Ｈ”になり、それ以外ではローレベル“Ｌ”になる
２値化信号を形成すれば、被検査面２上の欠陥（第１４
図のａ）を、この２値化信号のレベルが“Ｈ”になるこ
とによつて検出することができる。

そして、欠陥が検出された時には、その被検査面の欠陥
近傍に拭き取り可能な塗剤を吹きつけて目印とすること
により、欠陥の修正を容易に行なうことができる。

この場合、第１３図のラインセンサ５は、集光レンズ４
の合焦位置に配置したスクリーン３で拡散された散乱光
ＳＣを受光することによつて、スクリーン３上の投影ス
リツト像ＳＬを撮像しているため、集光レンズ４の焦点
を常時固定にすることができ、しかも拡散によつて投影
スリツト像ＳＬが拡大されるため、表面欠陥の検出分解
能が向上する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような先に提案した表面欠陥検査装
置にあつては、欠陥が有るか無いかのみを検出していた
ので、その検出精度を上げると、例えば補修する必要が
ないような極めて小さな欠陥まで全て検出してしまうた
め実用的でなく、検出精度を下げると小さい欠陥は検出
されなくなるため、全体的な表面仕上がりの良否や欠陥
の分布状況等を判断したりすることができなくなるとい
う問題点があつた。

この発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたものである。

〔問題点を解決するための手段〕

そのため、この発明による表面欠陥検査装置のデータ出
力方法は、第１３図乃至第１５図によつて説明したよう
な表面欠陥検査装置において、被検査面にレーザースリ
ット光を投射してその反射光を拡散板によるスクリーン
上に投影し、その投影像を該スクリーン上で合焦状態と
なるように配置したラインセンサ上に結像させて検出
し、前記ラインセンサのビデオ出力信号を２値化し、そ
の２値化信号の前記欠陥部分に対応するレベルの幅によ
って欠陥の大きさをランク分けし、該ランク分けされた
欠陥が前記被検査面のいずれの部分に生じているかをラ
ンク毎に差別化して出力するようにしたものである。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、この発明による表面欠陥検査装置のデータ出
力形態の一例を示すものであるが、その説明は後述す
る。

先ず、第２図乃至第５図によつてこの発明を適用する表
面欠陥検査装置の具体的な構造を示す。第２図は平面
図，第３図は正面図，第４図は右側面図，第５図は検出
器内部の模式的配置図である。

１０はレーザスリツト光発生器であり、レーザ発振管１
０ａと、それが発生するレーザ光束をスリツト光に変換
するためのシリンドリカルレンズを含むレンズ系１０ｂ
と、そのスリツト光を長手方向に広がらない平行スリツ
ト光にするフレネルレンズ１０ｄを先端に装着したフー
ド部１０ｃとから構成されている。

２０は検出器であり、集光レンズ１４と欠陥検出用のラ
インセンサ１５、及び姿勢検出用のラインセンサ１６，
１７と第５図に示すビームスプリツタ３０とをそのカメ
ラ部２０ａに設け、このカメラ部２０ａの前面に一体的
に装着した検出筒２０ｂの先端部に、スリガラス等の拡
散板によるスクリーン１３を装着している。

なお、検出器２０を小型にして且つスリツト像の縮小倍
率をかせぐために、検出筒２０ｂを折り曲げた形状にし
て、内部に２枚のミラー（平面鏡）１８，１９を配設し
ており、スクリーン１３に投影されたスリツト像をこの
ミラー１８，１９に写して集光レンズ１４によつてライ
ンセンサ１５及びラインセンサ１６，１７上に結像させ
るようにしている。

この検出器２０をホーク状のフレーム２１の基端部に固
着し、そのフレーム２１の先端部に枢軸２２によつてレ
ーザスリツト光発生器１０を軸支しており、検出器２０
の光軸Ｏ_１に対するレーザスリツト光発生器１０の光軸
Ｏ_２の交差角度δを調整できるようになつている。

このレーザスリツト光発生器１０のフレーム２１に対す
る角度は、第２図のモータ２３によつて駆動される第１
の調整機構２４により、枢軸２２を第３図の矢示θｘ方
向へ回動させることによつて調整される。

また、フレーム２１は、この表面欠陥検査装置を図示し
ないロボツト等の走査装置あるいは固定部に取付けるた
めのブラケツト２５に、モータ２６によつて駆動される
第２の調整機構（第３図）２７により、矢示θｙ方向へ
揺動可能に取付けられている。

そしてフレーム２１が矢示θｙ方向に揺動すると、この
フレーム２１に取り付けられたレーザスリット光発生器
１０と検出器２０がそれに同動するため、第４図に示す
ように光軸Ｏ_１，Ｏ_２が作る面の被検査面１２に対する
傾斜角εが変化し、通常は常にε＝９０゜になるように
調整される。

なお、第３図における２８は欠陥マーカであり、被検査
面１２のレーザスリツト光ＬＳＴが照射された位置にブ
ツや傷等の欠陥があつてその存在が検出された時に、レ
ーザスリツト光と干渉しない欠陥近傍に拭き取り可能な
塗料を吹きつけて、欠陥の存在を示すマークを付けるた
めの装置であつて、検出器２０と一体のブラケツト２９
に所定角度首振り可能に取付てある。

ここで、検出器２０内のラインセンサ１５，１６，１７
の配置関係を第５図によつて説明する。

欠陥検出用のラインセンサ１５は、ビームスプリツタ３
０の後方に集光レンズ１４と平行に設けたセンサ取付板
３１に、スクリーン１３に投影されるスリツト像ＳＬの
結像基準線Ｒ上に検出ラインを一致させて配置される。

なお、この欠陥検出用のラインセンサ１５として検査出
幅がＣＣＤラインセンサに比べて格段に広いＰＣＤ（Pl
asma Coupled Device）ラインセンサを使用すれば、検
査装置と被検査面との相対位置関係の僅かな変動は許容
される。

一方、姿勢検出用のラインセンサ１６，１７は、センサ
取付板３１の側方手前に直角をなして設けられたセンサ
取付板３２上に、ビームスプリツタ３０のハーフミラー
面によつて反射されて結像されるスリツト像ＳＬの結像
基準線Ｒ′に検出ラインを中心部で直交させて、互いに
所定の間隔で平行に配置される。

この姿勢検出用のラインセンサ１６，１７としては、Ｃ
ＣＤ又はＰＤＡラインセンサを使用する。

この表面欠陥検査装置によれば、レーザスリツト光発生
器１０よつて被検査面１２に投影されるレーザスリツト
光ＬＳＴの反射光ＬＳＴ′がスクリーン１３に投影され
て形成されるスリツト像ＳＬを、集光レンズ１４により
ビームスプリツタ３０を介してラインセンサ１５の検出
ライン上に結像する。

したがつて、第１４図によつて説明した従来例の場合と
同様に、このラインセンサ１５から読出されるビデオ出
力信号を２値化処理することにより、欠陥の有無を検出
することができる。なお、この発明によるデータ出力方
法は、この２値化信号を用いて欠陥の大きさをランク分
けして出力するのであるが、その説明は後述する。

ところで、この表面欠陥検査装置をロボツト等の走査装
置に取付けて被検査面１２をスキヤンしながら表面欠陥
を検出するような場合、レーザスリツト光発生器１０と
検出器２０と被検査面１２との相対的位置関係が変化し
て、第３図の角度δ及び第４図の角度εが所定の角度
（例えばδ＝６０゜，ε＝９０゜）からずれると、スク
リーン１３上に投影されるスリツト像ＳＬがラインセン
サ１５による検出可能な範囲から逸脱して検出できなく
なる。

その場合、ラインセンサ１６，１７に交差するスリツト
像も、結像基準線Ｒ′に対してずれて傾斜するため、各
ラインセンサ１６，１７のスリツト像検出位置の差及び
その平均位置と検出ラインの中心位置（２０４８ビツト
のラインセンサを使用した場合１０２４ビツト目）との
差によつて角度ε及びδのずれ量を検出し、それを修正
するように第１の調整機構２４のモータ２３及び第２の
調整機構２７のモータ２６を駆動して姿勢補正を行なう
ことにより、常に表面欠陥の検出が確実になされるよう
にする。

第６図は、前述のような表面欠陥検査装置の検出ヘツド
（以下「インスペクタ」という）４０をロボツト４１の
ハンド４１ａに取付けて、被検査物１１（例えば自動車
のボデイ）の塗装面である被検査面１２を走査して、そ
の表面欠陥を検出する場合の使用例を示す。

４２は制御盤であり、ロボツト制御部４３とインスペク
タ制御部４４とからなり、ロボツト制御部４３はロボツ
ト４１の各軸をプレイバツク制御して、被検査面１２の
検査エリアを順次インスペクタ４０によつて走査させ
る。

インスペクタ制御部４４は、インスペクタ４０のレーザ
スリツト光発生器１０を動作させてレーザスリツト光を
発生させると共に、検出器２０の各ラインセンサ１５，
１６，１７を駆動して、各ビデオ出力信号を読出して処
理し、前述した欠陥の検出及び姿勢補正の制御を行なう
と共に、後述する欠陥の大きさのランク分け及びロボツ
ト制御部４３からの走査データから欠陥位置の判別も行
ない、そのデータを出力装置であるデイスプレイ４５の
ＣＲＴ画面４５ａに表示させ、また、必要に応じてプリ
ンタ４６によつて記録紙にプリントアウトさせる。

これらのロボツト制御部４３及びインスペクタ制御部４
４には、いずれもＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等からなるマ
イクロコンピユータを備えている。

次に、このインスペクタ制御部４４における欠陥の大き
さをランク分けする機能について説明する。

仮に、被検査面１２上のレーザスリツト光によつて一度
に照射されるライン上に大きさの異なる４個の欠陥が存
在したとすると、インスペクタ４０内の前述した欠陥検
出用ラインセンサ１５からのビデオ出力信号Ｖｓは第７
図（Ａ）に示すようになり、これをスレツシヨルドレベ
ルＶｒで２値化した信号Ｓが欠陥部分に対応してハイレ
ベル“Ｈ”になる部分の幅Ｗは、欠陥の大きさに応じて
変化する。したがつて、この幅Ｗを複数の判別基準値と
比較することによつて欠陥の大きさをランク分けするこ
とができる。

ところが、第７図（Ｂ）に示すように、被検査面１２上
の傷等の欠陥１２ａ（拡大して図示している）が、イン
スペクタ４０による検査方向に長く、複数のスキヤン位
置にまたがるような場合には、各スキヤン位置ａ〜ｄに
おけるビデオ出力信号を２値化した２値化信号Ｓａ〜Ｓ
ｄは、その欠陥１２ａに相当する“Ｈ”部分の幅Ｗが変
化する。

そこで、このような欠陥が有ることを示す検出信号が連
続して出力された場合には、その一連の２値化信号の
“Ｈ”部分の幅（ビツト数で検出する）Ｗの最大値を欠
陥の幅を示すデータとする。

第８図はこの発明によるデータ出力方法を実施したデー
タ出力装置のブロツク構成図であり、欠陥幅検出手段５
０は、例えば欠陥検出用のラインセンサ１５からビデオ
出力信号が読出される毎に、その２値化信号が“Ｈ”に
なつた場合にそのビツト数をカウントとするカウンタ
で、欠陥幅に応じたビツト数のカウント値を出力して、
バツフアメモリ５１に格納する。

この新たなデータＡが、比較器５３によつてレジスタ５
２に記憶されている以前のデータＢと比較され、Ａ＞Ｂ
の時にのみ比較器５３からレジスタ５２へ記憶更新指令
が出され、新らたなデータＡがレジスタ５２に記憶され
る。

最初はＢ＝０になつているので、初めて欠陥幅を示すデ
ータが出力された時は当然Ａ＞Ｂであるから、そのデー
タＡがレジスタ５２に記憶されることになる。その後、
連続して欠陥幅を示すデータが出力されると、新たなデ
ータＡの方がレジスタ５２の記憶データＢより大きい時
にのみレジスタ５２の記憶データが更新され、欠陥幅を
示すデータが「０」になつた時にレジスタ５４に書込み
命令が与えられ、レジスタ５２に記憶されている欠陥幅
のデータすなわち最大値がレジスタ５４に格納され、レ
ジスタ５２はリセツトされる。

このレジスタ５４に格納された欠陥幅の最大値によつ
て、欠陥ランク判別手段５５が欠陥の大きさをランク分
けし、第６図のデイスプレイ４５及びプリンタ４６のよ
うな欠陥データ出力手段５６によつて、その欠陥のラン
ク別データを出力する。

次に、この欠陥ランク判別手段５５の機能を第９図のフ
ローチヤートによつて説明する。

第８図のレジスタ５４から欠陥幅の最大値データＷＭが
入力されると、先ずＷＭが２．０mm以上か否かを判別
し、ＹＥＳであればＡランクの出力をし、ＮＯの場合は
次にＷＭが１．０mm以上か否かを判別し、ＹＥＳであれ
ばＢランクの出力をし、ＮＯの場合はさらにＷＭが０．
５mm以上か否かを判断する。そして、ＹＥＳであればＣ
ランクの出力をし、ＮＯであればＤランクの出力をす
る。

これらの各判別は、実際にはＷＭのビツト数で行なわれ
る。

次に、前述の欠陥幅最大値検出及び上記のような欠陥ラ
ンク判別機能を含む、第６図の制御盤４２による全ライ
ンスキヤニング時の処理動作について、第１０図のフロ
ーチヤートによつて説明する。

ステツプ１でボデイ１１の表面欠陥の検出が開始される
と、ステツプ２でスキヤニングラインのナンバＮをカウ
ントするカウンタを「０」にし、ステツプ３で１ライン
のスキヤニング（第７図（Ｂ）に矢印で示す検査方向に
スキヤニングする）が開始されると、ステツプ４でスキ
ヤニング開始後の時間（Ｔ）を測るタイマカウンタをス
タートさせ、ステツプ５でラインナンバＮをＮ＋１（最
初は「０」から「１」）にする。

次に、ステツプ６で第８図のバツフアメモリ５１に相当
する欠陥入力レジスタの値、すなわち欠陥幅Ｗの検出デ
ータ（ビツト数）を読込み、ステツプ７でそれを予め設
定した欠陥ありと認める最小値と比較して欠陥有りか否
かを判断し、有りの場合はステツプ８へ進む。

ステツプ８ではラインナンバＮとタイマカウンタのカウ
ント時間Ｔに対応するボデイ位置をメモリから索引す
る。

そして、ステツプ９では第８図で説明したようにして欠
陥幅の最大値ＷＭを検出する処理を行なうが、その最大
値ＷＭの検出が完了する迄はステツプ１０からステツプ
１４へ飛んで、１ラインのスキヤニング中の欠陥入力レ
ジスタの値を次々と読込む。

ステツプ９で最大値ＷＭが検出されると、ステツプ１０
からステツプ１１へ進み、第９図で説明したようにその
最大ＷＭの値から欠陥ランクを判別して、ステツプ１２
でその欠陥ランクに対応する表示色をメモリから索引
し、ステツプ１３で第６図のデイスプレイ４５にステツ
プ８で索引した欠陥位置を欠陥ランクに応じた表示色で
表示する。その表示データはデイスプレイ側で記憶され
る。

そして、ステツプ１４で１ラインのスキヤニングが終了
すると、ステツプ１５で欠陥入力レジスタ及びタイマカ
ウンタをクリアして、ステツプ１６で全ラインスキヤニ
ングが終了するまで、ステツプ３〜１６を繰り返す。

このようにして、第６図のデイスプレイ４５のＣＲＴ画
面４５ａに表示され、あるいはプリンタ４６によつて記
録紙（チエツクシート）にプリントされる内容は、例え
ば第１図に示すようになる。

この例では、予め画像メモリに記憶させてある車種別の
画像データから呼出された自動車のボデイの平面及び両
側面の形状を示す図形表示６０，６１，６２上に欠陥の
位置を欠陥マーク６３（＊印）で表示しており、Ａラン
クは赤，Ｂランクは黄，Ｃランクは緑，Ｄランクは青の
それぞれ異なる色の＊印で表示している。

また、右上部には検査年月日，ボデイＮＯ．，車種，塗
色等の被検査物特定用のデータ表示６４がなされ、右下
部にはボデイの各部位別及び欠陥のランク別の欠陥数集
計表６５が表示される。

このような、画面表示及びチエツクシートの出力が得ら
れると、車体全体及び部位別の欠陥の分布、その大小の
度合等が一目瞭然となり、塗装工程の管理等に有効に活
用することができる。

なお、欠陥の大きさのランク別マーク表示は、図形上の
欠陥が検出された位置にＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ等の文字を直接
表示するようにしてもよいし、あるいは、Ａ→Ｘ，Ｂ→
△，Ｃ→○→Ｄ→・のような記号によつてマーク表示す
るようにしてもよく、このようにすれば一色のプリンタ
でも、欠陥位置を図形上にランク別に出力することがで
きる。

第１１図は、実際の量産ラインにおいて自動車のボデイ
の塗装後の表面欠陥を検査する場合の例を示す斜視図で
あり、第６図と対応する部分には同一符号を付してあ
る。

図示しない塗装ラインで塗装されたボデイ１１は、台車
７１に載置されてコンテイニユアスコンベア７０により
矢印Ｆ方向から搬入され、同方向へ一定の速度で移動さ
れる。

７２，７３はマグネスケールを用いた位置座標検出器で
あり、ボデイ１１の上下方向の位置ずれ及び傾きを一対
の位置座標検出器７２，７２により、左右方向の位置ず
れ及び傾きを一対の位置座標検出器７３，７３によつて
それぞれ検出して、制御盤４２へ送り、ロボツト４１，
４１及び天吊り型ロボツト７５によるスキヤン動作時の
テイーチングデータを修正する。

この実施例では、コンテイニユアスコンベア７０の両側
に一対のロボツト４１，４１をそれぞれ追従装置７４，
７４上に載置して設け、コンベア速度に合せた追従動作
を可能にしている。その各ロボツト４１，４１のハンド
には、前述のインスペクタ４０を装着しており、それに
よつてボデイ１１の両側面すなわち左右のフロントフエ
ンダ，フロントドア，リアドア，及びリアフエンダの表
面欠陥を検出するようにしている。

一方、コンテイニユアスコンベア７０の上部に配置した
天吊り型ロボツト７５もコンテイニユアス追従可能であ
り、そのハンドには一対のインスペクタ４０，４０を逆
向きに装着しており、それによつてボデイ１１の上面す
なわちフード，ルーフ，及びトランクリツドの表面欠陥
を検出するようにしている。

制御盤４２は、これらの各ロボツト４１，４１，７５を
制御してそれらに装着された４個のインスペクタ４０に
よつてボデイ１１の全面をスキヤニングし、その各検出
信号を処理して、前述のように欠陥データをデイスプレ
イ４５に表示させると共にプリンタ４６によつてプリン
トアウトさせる。

第１２図は、この発明の他の実施例の配置図であり、第
６図と同じ部分には同一符号を付してある。

図の左側が表面欠陥検査ラインであり、第６図の例と同
様にインスペクタ４０を装着したロボツト４１を制御盤
４２によつて制御して、自動車ボデイの塗装面の表面欠
陥を検出し、そのデータをモニタ用のデイスプレイ４
５′に出力する。

図の右側は、この表面欠陥検査ラインから離れた場所に
ある塗装ラインであり、スプレーガン７７を装着したロ
ボツト７６により、ボデイ１１に塗装を施こす。

この塗装ラインに、表面欠陥検査装置の出力装置である
デイスプレイ４５及びプリンタ４６を配置してあり、制
御盤４２から表面欠陥検出結果のデータが送られ、第１
図に示したようなデータ出力がデイスプレイ４５に表示
され、プリンタ４６によつてプリントアウトされる。

したがつて、検査結果を直ちに塗装工程の管理に活用
し、例えば欠陥が多く検出される部位の塗装を担当する
ロボツト及びスプレーガンを点検するなどの処置をとる
ことができる。

〔発明の効果〕

以上説明してきたように、この発明によれば、表面欠陥
検査装置による欠陥検出データを、欠陥の大きさによっ
てランク分けし、また、このランク分けされた欠陥が前
記被検査面のいずれの部分に生じているかをランク毎に
差別化して出力するようにしたので、補修を要するよう
な大きな傷などの欠陥だけでなく、各種の大きさの欠陥
の存在をその大きさ別に、しかもその欠陥が被検査面の
いずれの部分に存在しているのかをも正確に知ることが
でき、全体的な表面仕上がりの良否の判断を行うことも
できる。

そして、塗装工程等の前工程の管理に極めて有効なデー
タを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による表面欠陥検査装置のデータ出力
形態の一例を示す図、 第２図乃至第４図はこの発明を適用する表面欠陥検査装
置の具体的な構造例を示す平面図，正面図，及び右側面
図、 第５図は同じくその検出器２０の内部の模式的配置図、 第６図は同じくその表面欠陥検査装置の使用例を示す配
置図、 第７図（Ａ）は表面欠陥の大きさと検出信号との関係を
示す波形図、 第７図（Ｂ）は１個の表面欠陥に対するスキヤン位置に
よる検出信号の変化を示す説明図、 第８図はこの発明によるデータ出力方法を実施したデー
タ出力装置のブロツク構成図、 第９図は第８図の欠陥ランク判別手段の機能を示すフロ
ー図、 第１０図は第６図の制御盤４２による全ラインスキヤニ
ング時の処理動作を示すフロー図、 第１１図は実際の量産ラインにおいて自動車のボデイの
塗装後の表面欠陥を検査する場合の配置例を示す斜視
図、 第１２図はこの発明の他の実施例を示す配置図、 第１３図はこの発明を適用する表面欠陥検査装置の原理
説明図、 第１４図は同じくその作用説明図、 第１５図は同じくそのラインセンサによるビデオ出力信
号の２値化処理を説明するための波形図である。 １０……レーザスリット光発生器 １１……被検査物（自動車のボデイ） １２……被検査面、１３……スクリーン １４……集光レンズ １５……欠陥検出用のラインセンサ １６，１７……姿勢検出用のラインセンサ １８，１９……ミラー、２０……検出器 ２１……フレーム、３０……ビームスプリツタ ４０……インスペクタ （表面欠陥検査装置の検出ヘツド） ４１，７５，７６……ロボツト、４２……制御盤 ４５，４５′……デイスプレイ、４６……プリンタ ５５……欠陥ランク判別手段 ５６……欠陥データ出力手段 ６０〜６２……被検査物の図形表示 ６３……欠陥マーク ６４……被検査物特定用のデータ表示 ６５……欠陥数集計表

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桜井 敏夫 神奈川県横浜市神奈川区宝町２番地 日産 自動車株式会社内 (56)参考文献 特開 昭58−87448（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−24406（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−46853（ＪＰ，Ａ) 実開 昭53−129986（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被検査面にレーザースリット光を投射して
   その反射光を拡散板によるスクリーン上に投影し、 その投影像を該スクリーン上で合焦状態となるように配
   置したラインセンサ上に結像させて検出し、 前記ラインセンサのビデオ出力信号を２値化し、 その２値化信号の前記欠陥部分に対応するレベル幅によ
   って欠陥の大きさをランク分けし、 該ランク分けされた欠陥が前記被検査面のいずれの部分
   に生じているかをランク毎に差別化した形態で出力する
   ことを特徴とする表面欠陥検査装置のデータ出力方法。