CN105700206B - 一种基板表面信息检测装置以及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基板表面信息检测装置和方法，喷淋源向待测基板表面均匀地喷洒液滴或在待测基板表面形成液体流，图像传感器用于记录并传输待检测基板表面的液体图像信息。当待检测基板部分区域不平整或者由于制作过程中出现金属残留或者异物掉落以及油污等污染的情况，则基板表面部分区域会因为上述情况具有不同的表面张力而使液体在基板表面呈现出不同的状态，通过分析图像传感器记录的液体图像信息，可以获得基板表面信息。本发明提供的基板表面信息检测装置和方法，能够预防和避免PI涂覆前基板表面的不良，对于缩短生产时间，提高生产效率改善产品良率有积极意义。

Description

一种基板表面信息检测装置以及方法
技术领域
本发明涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种基板表面信息检测的装置以及方法。
背景技术
薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)制备过程中，聚酰亚胺(PI)涂覆工艺是一个非常重要的环节，PI涂覆一般是采用聚酰胺酸或者聚酰亚胺溶液，经过光敏树脂板(配向膜印刷版)，或者喷洒的方式进行涂覆的，PI涂覆完毕后，经过流平，预固化，固化后，或者采用摩擦取向，或者采用光固化取向的方式进行取向，然后滴加液晶，对盒，切割形成传统的TFT-LCD液晶盒；在PI涂覆过程中，可能会由于基板表面不平整等原因导致出现例如针孔状不良。这种针孔状不良在显示后端常常显示为白点或者黑点。
目前针对上述问题主要以出现不良后补救修复的方式解决。因此需要通过预防和避免的方式来减少这类不良。
发明内容
本发明为了解决现有技术中存在的问题，提供一种检测基板表面信息的方法和装置，能够在PI涂覆前检测基板表面的不良。预防和避免基板表面不良的问题。
本发明实施例提供一种基板表面信息检测装置，包括，喷淋源，图像传感器，其中，喷淋源用于向待测基板表面均匀地喷洒液滴或在待测基板表面形成液体流，图像传感器用于记录并传输待检测基板表面的液体图像信息。如果待检测基板部分区域不平整或者由于制作过程中出现金属残留或者异物掉落以及油污等污染的情况，则基板表面部分区域会因为上述情况具有不同的表面张力而使液体在基板表面呈现出不同的状态，喷淋源用于向待测基板上喷洒液滴或者形成液体流，液体附着在待测基板表面，图像传感器用于记录因基板表面状况呈现出不同状态的液体图像信息，能够通过分析液体图像信息得到基板表面状态。
具体地，基板表面信息检测装置还包括图像判断处理单元，图像判断处理单元用于接收图像传感器传输的液体图像信息，并根据液体图像信息判断基板的表面信息，表面信息包括基板表面至少部分区域内的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度。由于待测基板部分区域的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度不同，通过判断图像传感器记录并传输的液体图像信息，可以得到基板表面的上述状态信息。
具体地，图像判断处理单元是用于根据液体图像信息中液滴的分布和/或大小是否均匀来判断基板表面信息；或者，是用于根据液体图像信息中的液体流形成的液体膜表面的平整度来得到基板表面信息。如果液滴在待测基板上的分布不均或者大小差异很大，或者液体膜表面出现不平整，则说明基板表面部分区域不平整，或者有异物或者表面存在油污。
在本发明的一种优选实施例中，图像判断处理单元还用于根据该液体图像信息确定基板表面内平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度超出预设范围的区域在基板表面内的位置。本领域技术人员可以根据需要设定基板平整度/清洁度/亲疏水程度的可接受预设范围，当发现液体图像信息中存在超出预设范围异常区域，则图像判断处理单元需要确认异常区域的具体位置。
在本发明的一种优选实施例中，液滴的直径范围为10-1μm到103μm。根据液晶显示基板中亚像素单元格的尺寸，喷淋源喷洒的液滴直径在这个范围内能够起到检测每个亚像素单元格对应的基板表面区域信息的作用。
本发明的一种优选实施例中，液滴的直径范围为1μm到30μm。液滴直径在这个范围内能够更细致的检测到更小单元的基板表面区域信息。
在本发明的一种优选实施例中，液体流的流速范围为0.1mm/s到100mm/s。液体流速在这个范围内能够清晰地判断单位距离下对应的基板表面区域信息。
本发明的一种优选实施例中，液体流的流速范围为1mm/s-10mm/s。
本发明的一种优选实施例中，液滴或液体流的成分为去离子水。使用去离子水能够在检测基板表面信息的同时，不污染基板表面。
本发明的一种优选实施例中，基板倾斜于水平方向角度为3°-10°地放置在提供液体流的喷淋源的下方。相较于水平放置的基板，倾斜一定角度放置的基板便于液体流流经基板表面，便于检测基板表面。
本发明实施例提供一种基板表面信息检测方法，包括，
向水平放置的待测基板上均匀地喷洒液滴，或者，在待测基板表面形成液体流；
根据所述待测基板表面的液体图像信息判断所述待测基板的表面信息，所述表面信息包括基板表面至少部分区域内的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度。通过向待测基板上喷洒液滴或者形成液体流，液体附着在待测基板表面，存储记录因基板表面而呈现出不同状态的液体图像信息，通过判断液体图像信息，可以得到基板表面的部分区域的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度。
本发明的一种优选实施例中，在根据所述液体图像信息判断所述待测基板的表面信息的步骤前，还包括存储所述待测基板表面的液体图像信息。便于后续进行更细致地基板表面信息分析工作。本发明的一种优选实施例中，在待测基板上形成液体流的步骤中，所述基板呈倾斜于水平方向角度为3°-10°放置。相较于水平放置的基板，倾斜一定角度放置的基板便于液体流流经基板表面，便于检测基板表面。
本发明的一种优选实施例中，向水平放置的待测基板上均匀地喷洒液滴的步骤中，液滴的直径范围为10-1μm到103μm。根据液晶显示基板中亚像素单元格的尺寸，喷洒的液滴直径在这个范围内能够起到检测每个亚像素单元格对应的基板表面区域信息的作用。
本发明的一种优选实施例中，液滴的直径范围为1μm到30μm。液滴直径在这个范围内能够更细致的检测到更小单元的基板表面区域信息。
本发明的一种优选实施例中，喷淋源提供液体流的步骤中，液体流流速在0.1mm/s到100mm/s范围内。液体流速在这个范围内能够清晰地判断单位距离下对应的基板表面区域信息。
本发明的一种优选实施例中，液体流流速在1mm/s-10mm/s范围内。
本发明的一种优选实施例中，根据所述液体图像信息判断所述待测基板的表面信息的步骤中，包括，通过分析液体图像信息中基板表面液滴的分布间距和/或大小是否均匀来得到基板表面信息，或者，通过检测液体图像信息中基板表面的液体膜是否平整来得到基板表面信息。如果液滴在待测基板上的分布间距不均，大小差异很大，或者液体膜表面出现不平整，则说明基板表面存在问题。
本发明的一种优选实施例中，通过分析液体图像信息中基板表面液滴分布间距和/或大小是否均匀来得到基板表面信息的步骤中，包括判断若液体图像信息中基板表面某位置处的液滴直径大于其周围液滴直径的三倍，和/或，基板表面的相邻液滴之间间距的差值超出第一阈值范围，说明基板表面上有附着异物或者存在亲水区域或者存在凹陷区域。当基板表面上有附着异物或者存在亲水特性区域或者凹陷区域时，则液滴将会在此处聚集，液滴直径将会远远大于周边液滴直径，和/或，在该区域中相邻液滴之间间距的差值超出某一阈值范围。
本发明的一种优选实施例中，通过检测液体图像信息中基板表面的液体膜是否平整来得到基板表面信息的步骤中，包括判断若液体图像信息中基板表面的液体膜出现断裂或者液体膜部分区域出现凸起或者凹陷或者流向发生改变，说明基板表面上有附着异物或者基板存在疏水特性区域或者基板不平整。
本发明的一种优选实施例中，还包括确定基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置。之后，技术人员可以对存在不良表面的基板采取相应的补救措施。
本发明的一种优选实施例中，确定基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置的步骤重复两次，如果两次确定的位置的差值在误差范围内，则以两次确定的位置中任一位置确定为基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置。这样，技术人员可以更准确有针对性地采取相应的补救措施。
本发明提供一种基板表面信息检测装置和方法，能够预防和避免PI涂覆前基板表面存在的不良，对于缩短生产时间，提高生产效率改善产品良率有积极意义。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图的明显变型获得其他可替代方案。
图1为本发明实施例提供的喷淋液滴检测待测基板表面的液体图像信息示意图；
图2为本发明实施例提供的待测基板表面存在异常区域的液体图像信息示意图；
图3为本发明实施例提供的形成液体流检测待测基板表面的液体图像信息示意图；
图4为本发明实施例提供的待测基板表面存在异常区域的液体图像信息示意图。
图5为本发明实施例提供的一种基板表面信息检测方法的流程图；
图6为本发明实施例提供的另一种基板表面信息检测方法的流程图；
图7为本发明实施例提供的又一种基板表面信息检测方法的流程图；
图8为本发明实施例提供的再一种基板表面信息检测方法的流程图；
图9为本发明实施例提供的一种基板表面信息检测方法中确定基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置的步骤流程图。
附图标记说明：
1，基板；2，液滴；3基板表面不良区域的液滴；4，基板表面不良区域；5，液体流方向；6，液体流；7，基板表面不良区域的液体流。
具体实施方式
为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，以下结合附图对本发明的结构和原理进行详细说明，所举实施例仅用于解释本发明，并非以此限定本发明的保护范围。
本发明实施例提供一种的基板表面信息检测装置，喷淋源用于向基板1均匀地喷洒液滴2，图像传感器用于记录待检测基板1表面的液体图像信息。如果待检测基板1部分区域不平整或者由于制作过程中出现金属残留或者异物掉落以及油污等污染的情况，则基板1部分区域会因为上述情况具有不同的表面张力而使液体在基板1表面呈现出不同的状态，喷淋源用于向待测基板1上喷洒液滴2或者形成液体流7，液体附着在待测基板1表面，图像传感器用于记录因基板1表面状况呈现出不同状态的液体图像信息，能够通过分析液体图像信息得到基板1表面状态。
若基板1表面状况良好，当喷淋源用于向待测基板1上喷洒液滴2时，将呈现图1所示的液体图像信息；当喷淋源用于向待测基板1上沿方向5形成液体流6时，将呈现图3所示的液体图像信息。
若基板1表面状况不良，当喷淋源用于向待测基板1上喷洒液滴2时，将呈现图2所示的液体图像信息；当喷淋源用于向待测基板1上沿方向5形成液体流7时，将呈现图4所示的液体图像信息。
在本发明的另一个实施例中，基板1表面信息检测装置还包括图像判断处理单元，图像判断处理单元用于接收图像传感器传输的液体图像信息，并根据液体图像信息判断基板1的表面信息，表面信息包括基板1表面至少部分区域内的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度。由于待测基板1部分区域的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度不同，通过判断图像传感器记录并传输的液体图像信息，可以得到基板1表面的上述状态信息。
图1和图3所示的液体图像信息反应出基板1表面整体的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度良好，图2和图4所示的液体图像信息反应出基板1表面不同区域的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度存在差异。
需要说明的是，人眼也可以作为图像判断处理单元，通过判断图像传感器记录并传输的液体图像信息，同样能够得到基板1表面的上述状态信息。
在本发明的另一个实施例中，图像判断处理单元还用于根据该液体图像信息确定基板1表面内平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度超出预设范围的区域在基板1表面内的位置。实施过程中技术人员可以根据需要设定基板1平整度/清洁度/亲疏水程度的预设范围，当发现液体图像信息中存在超出预设范围异常区域，则图像判断处理单元需要确认异常区域的具体位置。
在本发明的一种实施例中，液滴2的直径范围为10-1μm到103μm。根据液晶显示基板1中亚像素单元格的尺寸，喷淋源喷洒的液滴2直径在这个范围内能够起到检测每个亚像素单元格对应的基板1表面区域信息的作用。
本发明的一种优选实施例中，液滴2的直径范围为1μm到30μm。液滴2的直径在这个范围内能够更细致的反映出更小单元的基板1表面区域信息。
在本发明的一种实施例中，液体流6的流速范围为0.1mm/s到100mm/s。液体流7速在这个范围内能够清晰地判断单位距离下对应的基板1表面区域信息。
本发明的一种优选实施例中，液体流7的流速范围为1mm/s-10mm/s。
本发明的一种优选实施例中，液滴2或液体流6的成分为去离子水。使用去离子水能够在检测基板1表面信息的同时，不污染基板1表面。
本发明的一种优选实施例中，基板1倾斜于水平方向角度为3°-10°地放置在提供液体流7的喷淋源的下方。相较于水平放置的基板1，倾斜一定角度放置的基板1便于液体流流过基板1表面，更加方便进行基板1表面的检测。
本发明的实施方式还提供一种基板表面信息检测方法，如图5所示，包括，
步骤501：向水平放置的待测基板1上均匀地喷洒液滴2，或者，在待测基板1表面形成液体流7；
步骤502：根据所述待测基板1表面的液体图像信息判断所述待测基板1的表面信息，表面信息包括基板1表面至少部分区域内的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度。通过向待测基板1上喷洒液滴2或者形成液体流7，液体附着在待测基板1表面，记录因基板1表面状况呈现出不同状态的液体图像信息，通过判断液体图像信息，可以得到基板1表面的部分区域的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度。
本发明的一种优选实施例中，在根据所述液体图像信息判断所述待测基板的表面信息的步骤前，如图6所示，还包括，
步骤503：存储所述待测基板表面的液体图像信息。这样便于后续更细致地分析基板表面信息。
若基板1表面状况良好，当喷淋源向待测基板1上喷洒液滴2时，示例性地呈现如图1所示的液体图像信息。图1中的液滴大小与基板大小的比例关系不代表本申请所限制的比例关系，仅为示意性的图示。
当喷淋源向待测基板1上形成液体流6时，液体流6可部分或全部覆盖基板，示例性地，可能呈现出如图3所示的液体图像信息。
若基板1表面上没有附着异物或者基板不存在亲疏水性差异区域或者基板整体平整，则液滴大小和/或分布较为均匀，示意性地可如图1所示；否则，例如若出现图2所示的液体图像信息，其中存在如液滴3所示的液滴，说明基板1表面上有附着异物或者基板存在亲疏水性差异区域或者基板不平整。
若基板1表面上没有附着异物或者基板不存在亲疏水性差异区域或者基板整体平整，则液体流所形成的液体膜表面较平整，示意性地可如图3所示，否则，例如若出现图4所示的液体图像信息，液体流7所形成的液体膜表面不平整，说明基板1表面上有附着异物或者基板存在亲疏水性差异区域或者基板不平整。
本发明的一种优选实施例中，在待测基板1上形成液体流6的步骤中，所述基板1呈倾斜于水平方向角度为3°-10°放置。相较于水平放置的基板1，倾斜一定角度放置的基板1便于液体流7流过基板1表面，易于检测基板1表面。
本发明的一种实施例中，向水平放置的待测基板1上均匀地喷洒液滴2的步骤中，液滴2的直径范围为10-1μm到103μm。根据液晶显示基板1中亚像素单元格的尺寸，喷洒的液滴2直径在这个范围内能够反映出每个亚像素单元格对应的基板1表面区域信息的作用。
本发明的一种优选实施例中，液滴2的直径范围为1μm到30μm。液滴2直径在这个范围内能够更细致的检测到更小单元的基板1表面区域信息。
本发明的一种实施例中，喷淋源提供液体流的步骤中，液体流流速在0.1mm/s到100mm/s范围内。液体流流速在这个范围内能够清晰地判断单位距离下对应的基板1表面区域信息。
本发明的一种优选实施例中，液体流6的流速在1mm/s-10mm/s范围内。
本发明的一种优选实施例中，根据液体图像信息判断所述待测基板的表面信息的步骤中，如图7和图8所示，包括，
步骤505：通过分析液体图像信息中基板1表面液滴的分布间距和/或大小是否均匀来得到基板1表面信息；
或者，
步骤507：通过检测液体图像信息中基板1表面的液体膜是否平整来得到基板1表面信息。
示例性地，如图2所示，液体图像信息中基板1表面液滴的分布间距差距过大，区域4处的液滴分子比其他区域的液滴分子两两相邻间的距离明显要大，和/或，例如液滴2与液滴3的大小差异很大。
或者，示例性地，如图4所示，基板1表面的液体流7在区域4处出现不平整或者断裂。
本发明的一种优选实施例，通过分析液体图像信息中基板1表面液滴分布间距和/或大小是否均匀来得到基板1表面信息的步骤中，如图6和图7所示，包括，
步骤506：判断若液体图像信息中基板1表面某位置处的液滴直径大于其周围液滴直径的三倍，和/或，基板1表面相邻液滴之间间距的差值超出第一阈值范围，获得基板表面信息包括基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水性差异区域或者基板不平整。
示例性地，如图2所示，当基板1表面上有附着异物或者存在亲水特性区域或者凹陷区域等表面不良区域4时，液滴在此处聚集，例如液滴3的形态，液滴3直径远远大于周边液滴2直径，和/或，区域4处的相邻液滴间距的差值比其他区域的相邻液滴间距的差值明显要大，需要说明的是，第一阈值范围可以根据测量精度要求进行设定，当存在相邻液滴间距的差值大于第一阈值范围时，则可以判定基板1表面上有附着异物或者存在亲水特性区域或者凹陷区域。
本发明的一种优选实施例中，通过检测液体图像信息中基板1表面的液体膜是否平整来得到基板1表面信息的步骤中，包括，
步骤508：判断若液体图像信息中基板1表面的液体膜出现断裂或者液体膜部分区域出现凸起或者凹陷或者流向发生改变，说明基板1表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性差异区域或者基板不平整。
示例性地，如图4所示，当基板1表面上有附着异物或者存在亲水特性区域或者凹陷区域等表面不良区域4时，液体流7将会在基板表面不良区域4处形成凸起或者凹陷或者流向发生改变出现断裂。
本发明实施例的提供一种基板表面信息检测方法，如图6和图7，图8所示，还包括，
步骤504：确定基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置。当确定出基板表面不良区域的位置后，技术人员能够采取补救等相应措施，避免该不良影响后续工艺。
本发明的一种优选实施例中，确定基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置的步骤进行两次，如果两次确定的位置的差值在误差范围内，则以两次确定的位置中任一位置确定为基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置。如图9所示，步骤504具体包括，
步骤5041：确定基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置X1；
步骤5042：确定基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置X2；
步骤5043：计算两个位置X1与X2的差值，若两次位置的差值|X1-X2|小于预设误差范围，其中，技术人员可以选择预设误差范围的区间取值，则进行，
步骤5044：基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置确认为X1或者X2。
这样，技术人员可以更准确有针对性地对不良区域采取相应的补救措施。
需要说明的是，确定基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置的步骤重复次数不限于两次，如果重复次数为N，其中N大于2，示例性地，N次确认的位置进行两两做差，超过半数的差值在误差范围内，则可以将N次的结果取均值确定为基板表面上有附着异物或者基板存在亲疏水特性区域或者基板不平整的位置。
本发明提供的基板表面信息检测方法能够预防和避免PI涂覆前基板表面的不良，对于缩短生产时间，提高生产效率改善产品良率有积极意义。
以上所述为本发明较佳实施例，应当指出，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明保护范围。

Claims (17)

1.一种基板表面信息检测装置，其特征在于，包括，喷淋源，图像传感器和图像判断处理单元，其中，所述喷淋源用于向待测基板表面均匀地喷洒液滴或在所述待测基板表面形成液体流，所述图像传感器用于记录并传输所述待测基板表面的液体图像信息；所述图像判断处理单元用于接收所述图像传感器传输的液体图像信息，并根据所述液体图像信息判断所述待测基板的表面信息，所述表面信息包括所述待测基板表面至少部分区域内的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度；所述图像判断处理单元是用于根据所述液体图像信息中液滴的分布和/或大小是否均匀来判断所述待测基板表面信息；或者，是用于根据所述液体图像信息中的所述液体流形成的液体膜表面的平整度来得到所述待测基板表面信息；所述图像判断处理单元还用于根据该液体图像信息确定所述待测基板表面内平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度超出预设范围的区域在所述待测基板表面内的位置。
2.如权利要求1所述的基板表面信息检测装置，其特征在于，所述液滴的直径范围为10-1μm到103μm。
3.如权利要求1所述的基板表面信息检测装置，其特征在于，所述液滴的直径范围为1μm到30μm。
4.如权利要求1所述的基板表面信息检测装置，其特征在于，所述液体流的流速范围为0.1mm/s到100mm/s。
5.如权利要求1所述的基板表面信息检测装置，其特征在于，所述液体流的流速范围为1mm/s-10mm/s。
6.如权利要求1所述的基板表面信息检测装置，其特征在于，所述液滴或液体流的成分为去离子水。
7.如权利要求1所述的基板表面信息检测装置，其特征在于，所述待测基板倾斜于水平方向角度为3°-10°地放置在提供液体流的所述喷淋源的下方。
8.一种基板表面信息检测方法，其特征在于，包括，
向水平放置的待测基板上均匀地喷洒液滴，或者，在所述待测基板表面形成液体流；
根据所述待测基板表面的液体图像信息判断所述待测基板的表面信息，所述表面信息包括所述待测基板表面至少部分区域内的平整度和/或清洁度和/或亲疏水程度；
根据所述液体图像信息判断所述待测基板的表面信息的步骤中，包括通过分析液体图像信息中所述待测基板表面液滴的分布间距和/或大小是否均匀来得到所述待测基板表面信息，或者，通过检测液体图像信息中所述待测基板表面的液体膜是否平整来得到所述待测基板表面信息；
确定所述待测基板表面上有附着异物或者所述待测基板存在亲疏水特性区域或者所述待测基板不平整的位置。
9.如权利要求8所述的基板表面信息检测方法，在根据所述液体图像信息判断所述待测基板的表面信息的步骤前，还包括存储所述待测基板表面的液体图像信息。
10.如权利要求8所述的基板表面信息检测方法，其中，所述在所述待测基板上形成液体流的步骤中，所述待测基板呈倾斜于水平方向角度为3°-10°放置。
11.如权利要求8所述的基板表面信息检测方法，其中，所述向水平放置的所述待测基板上均匀地喷洒液滴的步骤中，所述液滴的直径范围为10-1μm到103μm。
12.如权利要求8所述的基板表面信息检测方法，所述液滴的直径范围为1μm到30μm。
13.如权利要求8所述的基板表面信息检测方法，其中，向水平放置的所述待测基板上均匀地喷洒液滴，或者，在所述待测基板表面形成液体流的步骤中，所述液体流流速在0.1mm/s到100mm/s范围内。
14.如权利要求8所述的基板表面信息检测方法，所述液体流流速在1mm/s-10mm/s范围内。
15.如权利要求8所述的基板表面信息检测方法，其中，所述通过分析液体图像信息中所述待测基板表面液滴的分布间距和/或大小是否均匀来得到所述待测基板表面信息的步骤中，包括：
判断若液体图像信息中所述待测基板表面某位置处的液滴直径大于其周围液滴直径的三倍，和/或，所述待测基板表面相邻液滴之间间距的差值超出第一阈值范围，则所述待测基板表面信息包括所述待测基板表面上有附着异物或者所述待测基板存在亲疏水性差异区域或者所述待测基板不平整。
16.如权利要求8所述的基板表面信息检测方法，其中，所述通过检测液体图像信息中所述待测基板表面的液体膜是否平整来得到所述待测基板表面信息的步骤中，包括：
判断若液体图像信息中所述待测基板表面的液体膜出现断裂或者液体膜部分区域出现凸起或者凹陷或者流向发生改变，则所述待测基板表面信息包括所述待测基板表面上有附着异物或者所述待测基板存在疏水特性区域或者所述待测基板不平整。
17.如权利要求8所述的基板表面信息检测方法，其特征在于，确定所述待测基板表面上有附着异物或者所述待测基板存在亲疏水特性区域或者所述待测基板不平整的位置的步骤进行两次，如果两次确定的位置的差值在误差范围内，则以所述两次确定的位置中任一位置作为所述待测基板表面上有附着异物或者所述待测基板存在亲疏水特性区域或者所述待测基板不平整的位置。
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