CN104317077B - 一种取向膜检测机 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种取向膜检测机，用于检测取向膜上的沟槽是否缺陷，其包括蒸汽供给机构及可密封的腔室；所述蒸汽供给机构用于向所述腔室中输入蒸汽；所述腔室用于在其内部放置设有需要检测的取向膜的基板；所述腔室的至少一部分腔壁为透明壁。上述取向膜检测机检测取向膜的沟槽是否存在缺陷时将基板放置在腔室中，提高了基板及取向膜表面各处的水珠微粒形成的速度，并使基板及取向膜表面各处的水珠微粒的厚度均匀，从而可以减少检测所需的时间，以及使检测效率检测结果的准确性提高；还可以采用机器视觉检测机构进行检测，从而可以进一步提高检测效率及检测结果的可信度。

Description

一种取向膜检测机
技术领域
本发明涉及液晶显示技术领域，具体地，涉及一种取向膜检测机。
背景技术
在薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，以下简称为TFT LCD)的阵列基板和彩膜基板上分别设置有取向膜，取向膜上设置有沿一定方向的沟槽，用于使液晶分子在无电场影响的情况下沿沟槽方向排列。
一般情况下，通过包裹在摩擦辊轮上的摩擦布对涂覆并固化在玻璃基板上的聚酰亚胺(Polyimide，以下简称为PI)膜进行摩擦，在PI膜表面获得具有沿预定方向的沟槽，使PI膜成为具有取向功能的取向膜。
在制备取向膜的过程中，由于摩擦布可能存在的缺陷，如摩擦布厚度不均匀、表面粘附有异物或织染过程中的杂质等，会使得制备出的取向膜上的沟槽的方向、形状及深度等产生偏差(即Rubbing mura)，进而影响取向性能。因此，在将取向膜制备完成之后，需要对取向膜上的沟槽是否存在缺陷进行检测。
在现有技术中，一般通过下述方法检测取向膜上的沟槽是否存在缺陷：蒸汽喷头(一般由检测者手持)向玻璃基板的取向膜表面喷射水蒸气，使沟槽的表面产生水珠微粒；同时，使用强光灯照射取向膜上喷射水蒸气的区域，由人眼目视观察沟槽在强光灯照射下的情况(光线穿过沟槽的缺陷处时会产生漫反射)，判断取向膜上的沟槽是否存在缺陷(一般为亮线，即线状Mura)。
在检测出取向膜上的沟槽存在缺陷时，一般通过标尺测量出沟槽缺陷所在的位置，经过人工换算后，找出导致该沟槽缺陷产生的摩擦布上的缺陷所在的大概位置，对该摩擦布缺陷所在的区域进行修复；而后，再次进行摩擦工艺，通过上述的蒸汽检测方法检测取向膜上是否仍然存在上述沟槽缺陷，进而确定是否消除摩擦布缺陷。
在实际中，上述蒸汽检测方法存在以下问题：
其一，在喷射到玻璃基板及取向膜表面的水蒸气附着在玻璃基板及取向膜表面，产生水珠微粒的同时，由于空气流动、蒸发等因素，水珠微粒也会不断地散去，使得检测过程中需要长时间持续的喷射蒸汽，并导致效率较低。
其二，使用人工检测取向膜上的沟槽是否存在缺陷，使检测的效率较低；并且，不同检测者人眼检测的尺度很难统一，还会使检测结果的可信度不高。
其三，由于蒸汽喷头由检测者手持，在玻璃基板及取向膜较大的情况下，有些位置蒸汽喷头“够不到”，导致无法对取向膜上一些区域的沟槽是否存在缺陷进行检测。
其四，蒸汽喷头一般直接连接被加热的水箱，在水箱中的水位较高的情况下，部分水箱中的水珠会穿过蒸汽喷头溅射到取向膜上，从而影响后续工艺，导致不良影响。
其五，随着TFT LCD的分辨率不断提高，要求取向膜上的沟槽也越来越小，由于玻璃基板及取向膜表面产生的水珠微粒的均一度较低，以及人眼观察的局限性，上述蒸汽检测方法不能满足用于高分辨率TFT LCD中的取向膜的检测的需要。
并且，由于上述蒸汽检测方法为人工检测，在检测出取向膜上的沟槽缺陷后，一般情况下，无法通过人工换算准确地得出摩擦布上缺陷存在的位置，从而可能导致通过一次定位和修复工艺无法消除摩擦布上的缺陷，这样就需要进行多次工艺，若多个工艺仍然无法消除摩擦布上的缺陷，就必须更换新的摩擦布；从而需要耗费大量的人力物力，并降低产线的稼动率。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种蒸汽检测机取向膜检测机，其可以提高检测效率，以及提高检测结果的准确性和可信度采用机器视觉检测机构自动检测取向膜的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置，提高检测的效率及检测结果的可信度，以及提高基板及取向膜表面形成水珠微粒的速度，从而进一步提高检测效率。
为实现本发明的目的而提供一种取向膜检测机，用于检测取向膜上的沟槽是否缺陷，所述取向膜检测机包括蒸汽供给机构及可密封的腔室；所述蒸汽供给机构用于向所述腔室中输入蒸汽；所述腔室用于在其内部放置设有需要检测的取向膜的基板；所述腔室的至少一部分腔壁为透明壁。
其中，所述取向膜检测机还包括机器视觉检测机构；所述机器视觉检测机构透过腔室的透明壁对所述腔室中的基板及取向膜进行成像，并根据所采集的图像自动检测取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置。
其中，所述蒸汽供给机构包括水供给模块、蒸汽供给模块、水汽混合模块及控制模块；所述水供给模块与所述水汽混合模块连接，用于向所述水汽混合模块输入水；所述蒸汽供给模块与所述水汽混合模块连接，所述水汽供给模块与所述腔室连接，所述蒸汽供给模块经所述水汽混合模块向所述腔室中输入蒸汽；所述控制模块用于控制所述水供给模块、蒸汽供给模块输入到所述水汽混合模块中的水、蒸汽的比例，以及控制所述蒸汽供给模块经所述水汽混合模块输入到腔室的蒸汽的流量。
其中，所述腔室中设置有温度检测模块、湿度检测模块、气压检测模块中的至少一种；所述温度检测模块、湿度检测模块和气压检测模块分别用于检测所述腔室中的温度、湿度和气压。
其中，在进行检测时，所述腔室中的温度控制在55～65℃，含水量控制在150～160g/m3。
其中，所述取向膜检测机还包括冷却机构，所述冷却机构用于在基板置于腔室前，对基板进行冷却。
其中，所述腔室的透明壁的内侧表面和/或外侧表面设置有加热装置，所述加热装置用于加热所述透明壁。
其中，所述机器视觉检测机构包括图像采集模块和图像处理模块；所述图像采集模块用于采集所述基板及取向膜的图像，所述图像处理模块根据所采集的图像确定所述取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置。
其中，所述图像采集模块每次采集的图像为所述基板及取向膜的整体图像，或者所述基板及取向膜的局部图像。
其中，所述机器视觉检测机构还包括光源，所述光源照射所述基板及取向膜的图像采集模块所采集图像的区域。
其中，所述图像采集模块包括电荷耦合元件摄像头、红外摄像头、超声波成像组件中的至少一个。
其中，所述取向膜检测机还包括缺陷关联模块，所述缺陷关联模块用于根据取向膜上沟槽缺陷存在的位置，确定导致所述沟槽缺陷的用于对取向膜进行摩擦工艺的摩擦布上的缺陷存在的位置。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的取向膜检测机，蒸汽先被输入到腔室中，并在腔室中扩散，在该扩散过程中，蒸汽附着在基板及取向膜的表面，形成水珠微粒；由于蒸汽在腔室中的扩散最终会使其在腔室的各区域大致均匀分布，基板及取向膜表面各处的水珠微粒的厚度的均一性较好；从而本发明提供的取向膜检测机可以采用机器视觉检测机构自动检测，与现有技术中的人工检测相比，这样提高了检测的效率、检测结果的可信度，以及还可以对高分辨率的显示装置中所采用的取向膜进行检测。并且，由于腔室不与外界连通，没有了与外界的空气流通，在腔室中的蒸汽附着到基板及取向膜上产生水珠微粒的过程中，基板及取向膜上已产生的水珠微粒消散的速度减小，特别是，由于通入到腔室中的蒸汽不会向外界扩散，一般地，这样会使腔室中的温度、湿度以及气压要高于大气中的温度、湿度及气压，以及使蒸汽的温度大幅高于基板及取向膜的温度，在此情况下，基板及取向膜上产生的水珠微粒扩散的速度进一步降低；并且，在腔室中的温度、湿度以及气压的升高，还会进一步提高蒸汽附着到基板及取向膜表面形成水珠微粒的速度；从而，与现有技术相比，在本发明提供的取向膜检测机中，基板及取向膜上水珠微粒产生的速度大幅提高，从而可以进一步减少检测所需的时间，提高检测的效率。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明提供的取向膜检测机的第一种实施方式的示意图；
图2为透明壁及加热装置的示意图；
图3为机器视觉检测机构的示意图；
图4为本发明提供的取向膜检测机的第二种实施方式的示意图。
其中，附图标记：
1：取向膜检测机；10：蒸汽供给机构；11：腔室；12：机器视觉检测机构；13：冷却机构；14：缺陷关联模块；15：缺陷修复模块；101：蒸汽供给模块；102：水供给模块；103：水汽混合模块；110：透明壁；111：发热控制器；120：图像采集模块；121：图像处理模块；122光源；20：基板。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
请参看图1～图3，图1为本发明提供的取向膜检测机的第一种实施方式的示意图；图2为透明壁及加热装置的示意图；图3为机器视觉检测机构的示意图。取向膜检测机1用于检测取向膜上的沟槽是否缺陷，其包括蒸汽供给机构10、可密封的腔室11、驱动机构(图中未示出)及机器视觉检测机构12；所述蒸汽供给机构10用于向所述腔室11中输入蒸汽；所述驱动机构用于向腔室11中传输设有需要检测的取向膜(图中未示出)的基板20；所述腔室11用于在其内部容纳基板及取向膜，且其至少一部分腔壁为透明壁110；所述机器视觉检测机构12透过腔室11的透明壁110对所述腔室11中的基板20及取向膜进行成像，并根据所采集的图像自动检测取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置。
在本实施方式中，当腔室11密封时，蒸汽供给机构10向腔室中输入蒸汽，使腔室中具有预定温度和湿度，可以理解的是，蒸汽会在腔室11中自由扩散，最终使蒸汽在腔室11中各区域的分布密度大致均匀；在该过程中，腔室11中的蒸汽会附着到基板20及取向膜上，形成水珠微粒，且由于基板20及取向膜整体处于腔室11中，基板20及取向膜表面的各处均会产生水珠微粒，并且，由于蒸汽在腔室11内各区域的分布密度大致均匀，基板20及取向膜表面各处产生的水珠微粒的厚度的均一性较好；从而在本实施方式中，取向膜检测机1可以采用机器视觉检测机构12采集图像，根据所采集的图像，自动检测取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置；而在现有技术中，由于基板20及取向膜表面水珠微粒的厚度的均一性较差，其只能采用人工检测的方式确定取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置；从而与现有技术中相比，本实施方式中的取向膜检测机提高了检测的效率、检测结果的可信度，以及还可以对高分辨率的显示装置中所采用的取向膜进行检测。同时，由于腔室11不与外界连通，没有了与外界的空气流通，在腔室11中的蒸汽附着到基板20及取向膜上产生水珠微粒的过程中，基板20及取向膜上已产生的水珠微粒消散的速度减小，特别是，由于通入到腔室11中的蒸汽不会向外界扩散，一般地，这样会使腔室11中的温度、湿度以及气压要高于大气中的温度、湿度及气压，以及使蒸汽的温度大幅高于基板20及取向膜的温度，在此情况下，基板20及取向膜上产生的水珠微粒扩散的速度进一步降低；并且，在腔室11中的温度、湿度以及气压的升高，还会进一步提高蒸汽附着到基板20及取向膜表面形成水珠微粒的速度；从而，与现有技术相比，在本实施方式中，基板20及取向膜上水珠微粒产生的速度大幅提高，从而可以进一步减少检测所需的时间，提高检测的效率。
具体地，蒸汽供给机构10包括水供给模块102、蒸汽供给模块101、水汽混合模块103及控制模块；所述水供给模块102与所述水汽混合模块103连接，用于向所述水汽混合模块103输入水；所述蒸汽供给模块101与所述水汽混合模块103连接，所述水汽供给模块103与所述腔室11连接，所述蒸汽供给模块101经所述水汽混合模块103向所述腔室11中输入蒸汽；所述控制模块用于控制所述水供给模块、蒸汽供给模块输入到所述水汽混合模块中的水、蒸汽的比例，以调节通入到腔室11中的蒸汽的湿度与温度，从而影响腔室11中蒸汽的温度与湿度，以及控制所述蒸汽供给模块经所述水汽混合模块输入到腔室的蒸汽的流量，以调节腔室11中的气压。进一步地，所述腔室11中设置有温度检测模块、湿度检测模块、气压检测模块及控制模块中的至少一种；所述温度检测模块、湿度检测模块和气压检测模块分别用于检测所述腔室11中的温度、湿度和气压。所述控制模块根据所述温度检测模块和/或湿度检测模块和/或气压检测模块检测得到的所述腔室11中的温度和/或湿度和/或气压调节所述水供给模块、蒸汽供给模块输入到所述水汽混合模块中的水、蒸汽的比例，以及所述蒸汽供给模块经所述水汽混合模块输入到腔室的蒸汽的流量。优选地，在进行检测时，所述腔室11中的温度控制在55～65℃，含水量控制在150～160g/m3。
在本实施方式中，取向膜检测机1还包括冷却机构13，冷却机构13用于在基板20及取向膜传输至腔室11前，对基板20及取向膜进行冷却。在将基板20及取向膜传输至腔室11前，冷却机构13对基板20及取向膜进行冷却，使基板20及取向膜的温度降低，这样在将基板20及取向膜置于腔室11后，可以使腔室11中的与基板20及取向膜接触的水蒸气冷凝的速度加快，从而加快基板20及取向膜表面水珠微粒的形成速度，减少检测所需的时间，提高检测的速度。
在本实施方式中，如图2所示，腔室11的透明壁110的内侧表面和/或外侧表面设置有加热装置，所述加热装置用于加热所述透明壁110。加热装置对透明壁110进行加热，使透明壁110具有较高的温度，可以减少甚至避免腔室11中的蒸汽附着在透明壁110的内侧表面形成水珠微粒，以及使透明壁110的内侧表面可能形成水珠微粒在较高的温度下快速地消散，从而避免影响到机器视觉检测机构12对基板20及取向膜的成像。具体地，加热装置包括镀在透明壁内侧表面或外侧表面的透明电极以及与透明电极连接的发热控制器111，所述透明电极的材料可以为氧化铟锡(ITO)，或者其他透明导电材料。
在本实施方式中，如图3所示，机器视觉检测机构12包括图像采集模块120和图像处理模块121；所述图像采集模块120用于采集所述基板20及取向膜的图像，所述图像处理模块121根据所采集的图像确定所述取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置。
具体地，所述图像采集模块120包括电荷耦合元件(CCD)摄像头、红外摄像头、超声波成像组件中的至少一个，其通过光学、红外或者超声波的方式对基板20及取向膜进行成像，并将所采集的图像发送给图像处理模块121。图像采集模块120每次采集的图像为所述基板20及取向膜的整体图像，也可以是所述基板20及取向膜的局部图像。可以理解，在图像采集模块120每次采集的图像为基板20及取向膜的局部图像的情况下，需要移动图像采集模块120才能采集所述基板20及取向膜的各区域的图像，在此情况下，机器视觉检测机构12还包括驱动组件，用于驱动图像采集模块120移动，以采集基板20及取向膜的各区域的图像；该驱动组件具体可以包括导轨及驱动电机，所述图像采集模块120设置在导轨上，所述驱动电极与图像采集模块120连接，用于驱动所述图像采集模块120沿所述导轨滑动。
图像处理模块121具体可以对图像采集模块120所采集的图像进行去噪、加深对比等处理，并将处理后的图像与预存的图像库中存储的沟槽没有缺陷的取向膜的图像以及沟槽具有不同等级缺陷的取向膜的图像进行对比，确定所采集图像中取向膜的沟槽是否存在缺陷、沟槽缺陷所在的位置以及沟槽缺陷的等级。此外，在完成去噪、加深对比等处理后，还可以不与预存图像库中存储的图像进行对比，而通过对所采集的图像的各区域的色度差的阈值判断，确定是否存在沟槽缺陷、沟槽缺陷存在的位置以及沟槽缺陷的等级。
具体地，所述机器视觉检测机构12还包括光源122，所述光源122照射所述基板及取向膜的图像采集模块120所采集图像的区域；这样可以使图像采集模块120采集基板20及取向膜的图像时，使基板20及取向膜上的相应区域具有足够的亮度，从而保证所采集图像的质量，进而有助于提高检测结果的准确性。
根据上述，在取向膜检测机1的第一种实施方式中，基板20及取向膜置于腔室11内；蒸汽先被输入到腔室11中，并在腔室11中扩散，在该扩散过程中，蒸汽附着在基板20及取向膜的表面，形成水珠微粒；由于蒸汽在腔室11中的扩散最终会使其在腔室11的各区域大致均匀分布，基板20及取向膜表面各处的水珠微粒的厚度的均一性较好；从而在本实施方式中，取向膜检测机1可以采用机器视觉检测机构12采集图像，根据所采集的图像，自动检测取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置，与现有技术中的人工检测相比，这样提高了检测的效率、检测结果的可信度，以及还可以对高分辨率的显示装置中所采用的取向膜进行检测。并且，由于腔室11不与外界连通，没有了与外界的空气流通，在腔室11中的蒸汽附着到基板20及取向膜上产生水珠微粒的过程中，基板20及取向膜上已产生的水珠微粒消散的速度减小，特别是，由于通入到腔室11中的蒸汽不会向外界扩散，一般地，这样会使腔室11中的温度、湿度以及气压要高于大气中的温度、湿度及气压，以及使蒸汽的温度大幅高于基板及取向膜的温度，在此情况下，基板20及取向膜上产生的水珠微粒扩散的速度进一步降低；并且，在腔室11中的温度、湿度以及气压的升高，还会进一步提高蒸汽附着到基板20及取向膜表面形成水珠微粒的速度；从而，与现有技术相比，在本实施方式中，基板20及取向膜上水珠微粒产生的速度大幅提高，从而可以进一步减少检测所需的时间，提高检测的效率。
图4为本发明提供的取向膜检测机的第二种实施方式的示意图。如图2所示，在本实施方式中，取向膜检测机1同样包括蒸汽供给机构10、可密封的腔室11、驱动机构及视觉检测机构12，由于在上述第一种实施方式中已有了详细描述，在此不再赘述。
下面仅就本实施方式与上述第一种实施方式的不同之处进行详细描述。具体地，如图4所示，取向膜检测机1还包括缺陷关联模块14，所述缺陷关联模块14用于根据取向膜上沟槽缺陷存在的位置，确定导致所述沟槽缺陷的用于对取向膜进行摩擦工艺的摩擦布上的缺陷存在的位置。
可以理解的是，若取向膜上的沟槽存在缺陷，则可以确定，摩擦布上的某一位置必然存在缺陷，该摩擦布上的缺陷在摩擦工艺中导致了取向膜上的沟槽缺陷。在本实施方式中，在检测到取向膜上的沟槽存在缺陷时，缺陷关联模块14根据该沟槽缺陷所在的位置，确定出导致该沟槽缺陷的摩擦布缺陷在摩擦布上的位置，从而，根据该摩擦布缺陷的位置，可以准确地对缺陷存在的位置进行修复。
具体地，取向膜检测机还包括缺陷修复模块15，所述缺陷修复模块15根据所确定的摩擦布上存在缺陷的位置，对所述摩擦布进行修复，消除所述缺陷。
根据上述，在取向膜检测机的第二种实施方式中，在检测出沟槽上的缺陷位置后，缺陷关联模块14准确地确定导致所述沟槽缺陷的摩擦布上存在缺陷的位置，从而，根据摩擦布上缺陷存在的位置，可以快速准确地进行修复；与现有技术中的修复方式相比，这样大幅提高的修复摩擦布上缺陷的准确性和效率，从而可以节省大量的人力物力，提高产线的稼动率，提高产能。
综合上述第一种和第二种实施方式，本发明提供的取向膜检测机1，蒸汽先被输入到腔室11中，并在腔室11中扩散，在该扩散过程中，蒸汽附着在基板20及取向膜的表面，形成水珠微粒；由于蒸汽在腔室11中的扩散最终会使其在腔室11的各区域大致均匀分布，基板20及取向膜表面各处的水珠微粒的厚度的均一性较好；从而本发明提供的取向膜检测机1可以采用机器视觉检测机构12采集图像，根据所采集的图像，自动检测取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置，与现有技术中的人工检测相比，这样提高了检测的效率、检测结果的可信度，以及还可以对高分辨率的显示装置中所采用的取向膜进行检测。并且，由于腔室11不与外界连通，没有了与外界的空气流通，在腔室11中的蒸汽附着到基板20及取向膜上产生水珠微粒的过程中，基板20及取向膜上已产生的水珠微粒消散的速度减小，特别是，由于通入到腔室11中的蒸汽不会向外界扩散，一般地，这样会使腔室11中的温度、湿度以及气压要高于大气中的温度、湿度及气压，以及使蒸汽的温度大幅高于基板20及取向膜的温度，在此情况下，基板20及取向膜上产生的水珠微粒扩散的速度进一步降低；并且，在腔室11中的温度、湿度以及气压的升高，还会进一步提高蒸汽附着到基板20及取向膜表面形成水珠微粒的速度；从而，与现有技术相比，在本发明提供的取向膜检测机1中，基板20及取向膜上水珠微粒产生的速度大幅提高，从而可以进一步减少检测所需的时间，提高检测的效率。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种取向膜检测机，用于检测取向膜上的沟槽是否缺陷，其特征在于，所述取向膜检测机包括蒸汽供给机构及可密封的腔室；所述蒸汽供给机构用于向所述腔室中输入蒸汽；
所述腔室用于在其内部放置设有需要检测的取向膜的基板；
所述腔室的至少一部分腔壁为透明壁；
所述取向膜检测机还包括机器视觉检测机构；所述机器视觉检测机构透过腔室的透明壁对所述腔室中的基板及取向膜进行成像；
所述取向膜检测机还包括缺陷关联模块，所述缺陷关联模块用于根据取向膜上沟槽缺陷存在的位置，确定导致所述沟槽缺陷的用于对取向膜进行摩擦工艺的摩擦布上的缺陷存在的位置。
2.根据权利要求1所述的取向膜检测机，其特征在于，所述机器视觉检测机构根据所采集的图像自动检测取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置。
3.根据权利要求1所述的取向膜检测机，其特征在于，所述蒸汽供给机构包括水供给模块、蒸汽供给模块、水汽混合模块及控制模块；
所述水供给模块与所述水汽混合模块连接，用于向所述水汽混合模块输入水；
所述蒸汽供给模块与所述水汽混合模块连接，所述水汽供给模块与所述腔室连接，所述蒸汽供给模块经所述水汽混合模块向所述腔室中输入蒸汽；
所述控制模块用于控制所述水供给模块、蒸汽供给模块输入到所述水汽混合模块中的水、蒸汽的比例，以及控制所述蒸汽供给模块经所述水汽混合模块输入到腔室的蒸汽的流量。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的取向膜检测机，其特征在于，所述腔室中设置有温度检测模块、湿度检测模块、气压检测模块中的至少一种；所述温度检测模块、湿度检测模块和气压检测模块分别用于检测所述腔室中的温度、湿度和气压。
5.根据权利要求1～3中任意一项所述的取向膜检测机，其特征在于，在进行检测时，所述腔室中的温度控制在55～65℃，含水量控制在150～160g/m3。
6.根据权利要求1所述的取向膜检测机，其特征在于，所述取向膜检测机还包括冷却机构，所述冷却机构用于在基板置于腔室前，对基板进行冷却。
7.根据权利要求1所述的取向膜检测机，其特征在于，所述腔室的透明壁的内侧表面和/或外侧表面设置有加热装置，所述加热装置用于加热所述透明壁。
8.根据权利要求2所述的取向膜检测机，其特征在于，所述机器视觉检测机构包括图像采集模块和图像处理模块；所述图像采集模块用于采集所述基板及取向膜的图像，所述图像处理模块根据所采集的图像确定所述取向膜上的沟槽是否存在缺陷，以及缺陷存在的位置。
9.根据权利要求8所述的取向膜检测机，其特征在于，所述图像采集模块每次采集的图像为所述基板及取向膜的整体图像，或者所述基板及取向膜的局部图像。
10.根据权利要求8或9所述的取向膜检测机，其特征在于，所述机器视觉检测机构还包括光源，所述光源照射所述基板及取向膜的图像采集模块所采集图像的区域。
11.根据权利要求8或9所述的取向膜检测机，其特征在于，所述图像采集模块包括电荷耦合元件摄像头、红外摄像头、超声波成像组件中的至少一个。
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