JP6669818B2 - 異物検査装置及び異物検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、異物検査装置及び異物検査方法に関する。

例えば下記特許文献１には、被検査体（容器）内の液中異物（浮遊異物）の有無を光学的に検査する異物検査装置が開示されている。この異物検査装置は、乱反射防止用の光学フィルタを兼ねた透光性部材で形成された載置部が回動軸の周りに周設された検査テーブルと、容器の上方及び側方を含む各方向からの全域検査が可能なように、上流の搬送路から連続的に検査テーブル上に搬入されて来る容器の頭部を、乱反射防止用の光学フィルタを兼ねた透光性の部材で形成された天板で押さえて、載置部上に容器を固定するクランプと、検査テーブルの回動により搬送されて来る容器を、上記天板の上方から照明する照明手段と、当該照明手段によって照明された容器を載置部の下方から撮像する撮像手段とを備える。

特開２００７-０７１８９５号公報

ところで、上記異物検査装置は、被検査体（容器）内における液中異物（浮遊異物）の有無を光学的に検査するものであり、被検査体の表面に付着した移動性異物を検出することはできない。例えば、生産ライン等における容器には内容物の充填から出荷までの間に被検査物の表面に埃や液体等の移動性異物が付着する虞があるが、このような移動性異物は被検査物から容易に離脱するので、当該移動性異物を被検査物の表面に固定的に付着する固定性異物と同様に検出することは好ましくない。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、被検査物の表面に付着した固定性異物を移動性異物とは区別して検出することを目的とするものである。

上記目的を達成するために、本発明では、異物検査装置に係る第１の解決手段として、被検査物の画像を撮影する撮像手段と、前記被検査物に外力を付加する外力付加手段と、該外力付加手段によって前記被検査物に外力を付加させる前後の前記画像に基づいて前記被検査物に固定的に付着する固定性異物を検出する異物検出手段とを備える、という手段を採用する。

本発明では、異物検査装置に係る第２の解決手段として、上記第１の解決手段において、前記被検査物が所定方向に搬送されている場合、前記撮像手段は、搬送経路に沿って所定間隔を隔ててて配置され、前記外力が付加される前の前記画像と前記外力が付加された後の前記画像を各々撮影する少なくとも２台のカメラであり、前記外力付加手段は、前記カメラの間に配置され、前記被検査物に所定のガスを噴射するガス噴射装置である、という手段を採用する。

本発明では、異物検査装置に係る第３の解決手段として、上記第２の解決手段において、前記被検査物が、周縁が突出する上面を備える缶体であり、当該缶体において前記上面に付着する前記固定性異物を検出する場合、前記ガス噴射装置は、前記上面の周縁に沿って前記ガスを噴射する、という手段を採用する。

本発明では、異物検査装置に係る第４の解決手段として、上記第１の解決手段において、前記撮像手段は、前記外力が付加される前後の前記被検査物を包含する画角の１台のカメラである、という手段を採用する。

本発明では、異物検査装置に係る第５の解決手段として、上記第１〜第４のいずれかの解決手段において、前記異物検出手段は、前記外力が付加される前後の前記画像の同一位置に写る異物を前記固定性異物として検出する、という手段を採用する。

また、本発明では、異物検査方法に係る解決手段として、被検査物の画像を第１の検査画像として撮像する第１の撮像工程と、前記被検査物に外力を付加する外力付加工程と、該外力付加工程によって外力が付加された後の前記被検査物の画像を第２の検査画像として撮像する第２の撮像工程と、前記第１の検査画像と前記第２の検査画像とに基づいて前記被検査物に固定的に付着する固定性異物を検出する異物検出工程とを有する、という手段を採用する。

本発明によれば、被検査物の表面に付着した固定性異物を移動性異物とは区別して検出することが可能である。

本発明の第１実施形態に係る異物検査装置の機能構成を示すブロック図である。 本発明の第１実施形態において被検査物の表面に付着した固定性異物と移動性異物とを示す断面図である。 本発明の第１実施形態における吹付装置を示す正面図である。 本発明の第１実施形態における画像合成を示す模式図である。 本発明の第２実施形態に係る異物検査装置の機能構成を示すブロック図である。 本発明の第２実施形態における画像合成を示す模式図である。 本発明の第３実施形態に係る異物検査装置の機能構成を示すブロック図である。 本発明の第３実施形態における画像合成を示す模式図である。

以下、図面を参照して、本発明の第１〜第３実施形態について説明する。

〔第１実施形態〕
最初に、本発明の第１実施形態に係る異物検査装置について説明する。この異物検査装置は、図１に示すように、搬送状態にある被検査物Ｗを非接触検査する装置であり、被検査物Ｗの製造ライン（ＦＡライン）に備えられる。被検査物Ｗは、例えば飲料水が充填・密封された缶体（例えば缶ビール）であり、搬送ベルトＢ上に一定間隔で載置された状態で水平面内の所定方向に順次搬送されている。

図１では、搬送ベルトＢ上に載置された被検査物Ｗを側方から見た状態を模式的に表している。また、被検査物Ｗは、図１に矢印で示すように、紙面の右から左に向けて搬送される。すなわち、図１における被検査物Ｗの搬送方向は、搬送ベルトＢに沿った各位置において、位置Ｐ１→位置Ｐ２→位置Ｐ３の順である。

ここで、被検査物Ｗは、図２に示すように、円形な上面ｗ１の周縁に上方に突出する立上り部ｗ２が形成された略円柱状の缶体である。上面ｗ１には必要に応じて開封用の切欠きやプルタブが設けられているが、上面ｗ１は全体として略平面である。立上り部ｗ２は、上面ｗ１に対して直交方向（上方）に所定高さで突出する部位であり、上面ｗ１の周縁に形成されている。このような被検査物Ｗには、上面ｗ１に対して固定的に付着する固定性異物Ａｋと上面ｗ１に対して移動自在に付着する移動性異物Ａｉとが付着し得る。

本１実施形態に係る異物検査装置は、缶ビール等の缶体生産設備に付帯的に設けられる製品検査装置である。また、この異物検査装置は、図１に示すように第１カメラ１、ガス噴射装置２、第２カメラ３及び検査制御装置４を備えている。なお、この異物検査装置における第１、第２カメラ１，３は、本発明の撮像手段に相当する。また、ガス噴射装置２は、本発明の外力付加手段に相当する。また、検査制御装置４は、本発明の異物検出手段に相当する。

第１カメラ１は、搬送ベルトＢに沿った各位置のうち、位置Ｐ１の上方に設けられた産業用カメラである。この第１カメラ１は、例えば所定の画素数を有するＣＣＤカメラであり、上記位置Ｐ１において直下を通過する被検査物Ｗの可視画像（第１の検査画像Ｇ１）を上方から撮像し、当該第１の検査画像Ｇ１を示す第１の画像信号Ｓ１を検査制御装置４に出力する。すなわち、第１カメラ１は、撮像方向が下方となる姿勢で位置Ｐ１の上方に設けられている。また、この第１カメラ１は、上方から似た場合の形状が略円形な被検査物Ｗの全体を撮影範囲とするように画角が設定されている。

ガス噴射装置２は、搬送ベルトＢに沿った各位置のうち、位置Ｐ１よりも下流側の位置Ｐ２の上方に設けられている。このガス噴射装置２は、上記位置Ｐ２において直下を通過する被検査物Ｗに向けて圧縮空気を吹付ける。すなわち、このガス噴射装置２は、上述した移動性異物Ａｉを移動させるべく被検査物Ｗの上面ｗ１に対して外力を付加する装置であり、被検査物Ｗの上面ｗ１に対して所定量及び所定流速で圧縮空気を吹付ける。

第２カメラ３は、搬送ベルトＢに沿った各位置のうち、位置Ｐ３の上方に設けられた産業用カメラである。この第２カメラ３は、例えば所定の画素数を有するＣＣＤカメラであり、上記位置Ｐ３において直下を通過する被検査物Ｗの可視画像（第２の検査画像Ｇ２）を上方から撮像し、当該第２の検査画像Ｇ２を示す第２の画像信号Ｓ２を検査制御装置４に出力する。すなわち、第２カメラ３は、撮像方向が下方となる姿勢で位置Ｐ３の上方に設けられている。また、この第２カメラ３は、上方から似た場合の形状が略円形な被検査物Ｗの全体を撮影範囲とするように画角が設定されている。

すなわち、２台の第１、第２カメラ１，３は、被検査物Ｗの搬送経路を規定する搬送ベルトＢに沿って所定間隔を隔ててて配置されている。このような第１、第２カメラ１，３のうち、第１カメラ１は、ガス噴射装置２による外力つまり圧縮空気が付加される前の第１の検査画像Ｇ１を取得し、第２カメラ３は、ガス噴射装置２による外力（圧縮空気）が付加された後の第２の検査画像Ｇ２を撮影する。

検査制御装置４は、第１カメラ１、ガス噴射装置２及び第２カメラ３の動作を制御すると共に、第１、第２の画像信号Ｓ１，Ｓ２に基づいて固定性異物Ａｋを検出する。すなわち、この検査制御装置４は、被検査物Ｗ（製品）の製造設備に備えられた上位制御装置（図示略）と通信自在に接続されており、上位制御装置から受信する制御指令に基づいて第１カメラ１、ガス噴射装置２及び第２カメラ３を統括的に制御する。

また、この検査制御装置４は、第１の画像信号Ｓ１と第２の画像信号Ｓ２とに基づいて固定性異物Ａｋを移動性異物Ａｉとは区別して検出する。この検査制御装置４における固定性異物Ａｋの検出方法の詳細については後述するが、検査制御装置４は、第１の画像信号Ｓ１が示す第１の検査画像と第２の画像信号Ｓ２が示す第２の検査画像とを画像合成することにより固定性異物Ａｋのみを抽出する。

次に、本第１実施形態に係る異物検査装置の時系列的な動作、つまり本第１実施形態に係る異物検査方法について説明する。

本第１実施形態における被検査物Ｗは、搬送ベルトＢに沿って位置Ｐ１→位置Ｐ２→位置Ｐ３の順で搬送されるが、第１カメラ１、ガス噴射装置２及び第２カメラ３は、被検査物Ｗの搬送位置に応じて以下のように動作する。すなわち、第１カメラ１は、被検査物Ｗが位置Ｐ１に搬送されて来ると、第１の検査画像Ｇ１を撮像して第１の画像信号Ｓ１を検査制御装置４に出力する（第１の撮像工程）。

ここで、被検査物Ｗの上面ｗ１に固定性異物Ａｋと移動性異物Ａｉとが付着していた場合、例えば図３に示すような固定性異物Ａｋ及び移動性異物Ａｉを含む第１の検査画像Ｇ１が得られる。すなわち、この場合には、１つの固定性異物Ａｋが立上り部ｗ２から離間した位置に比較的強固に付着し、また１つの移動性異物Ａｉが立上り部ｗ２近傍に移動自在に付着している。

このような固定性異物Ａｋ及び移動性異物Ａｉが付着した被検査物Ｗは続いて位置Ｐ１から位置Ｐ２に搬送されるが、ガス噴射装置２は、被検査物Ｗが位置Ｐ２に搬送されて来ると、被検査物Ｗの上面ｗ１に向けて圧縮空気を噴射する（外力付加工程）。この圧縮空気が被検査物Ｗの上面ｗ１に噴き付けられることにより、固定性異物Ａｋ及び移動性異物Ａｉのうち、移動自在な移動性異物Ａｉは、付着位置が位置Ｐ１における位置から異なる位置に移動する。

そして、ガス噴射装置２によって圧縮空気が噴き付けられた被検査物Ｗ、つまり移動性異物Ａｉの付着位置が位置Ｐ１における位置から異なる位置に移動した被検査物Ｗは、位置Ｐ２から位置Ｐ３に搬送される。第２カメラ３は、被検査物Ｗが位置Ｐ３に搬送されて来ると、第２の検査画像Ｇ２を撮像して第２の画像信号Ｓ２を検査制御装置４に出力する（第２の撮像工程）。

ここで、位置Ｐ３において撮像された第２の検査画像Ｇ２は、上面ｗ１に固定性異物Ａｋと移動性異物Ａｉとが存在する画像であるが、例えば図３に示すような第１の検査画像Ｇ１に対して移動性異物Ａｉの付着位置が変化した画像となる。すなわち、第２の検査画像Ｇ２は、第１の検査画像Ｇ１との対比において、上面ｗ１の同一位置に固定性異物Ａｋが表示され、かつ上面ｗ１の異なる位置に移動性異物Ａｉが表示される画像である。

検査制御装置４は、第１の画像信号Ｓ１と第２の画像信号Ｓ２とを受信することにより第１の検査画像Ｇ１及び第２の検査画像Ｇ２を取得し、第１の検査画像Ｇ１と第２の検査画像Ｇ２とに対して画像処理の一種である論理積処理を施す。すなわち、検査制御装置４は、画像の論理積を取るように第１の検査画像Ｇ１と第２の検査画像Ｇ２とを画像合成することにより合成画像Ｇｃを得る。

この合成画像Ｇｃは、図３に示すように、第１の検査画像Ｇ１と第２の検査画像Ｇ２つまり位置Ｐ１と位置Ｐ３とにおいて、共通して同一位置に存在する固定性異物Ａｋのみが映し出され、共通して同一位置に存在しない移動性異物Ａｉが削除された画像である。

すなわち、検査制御装置４は、ガス噴射装置２によって圧縮空気（外力）が付加される前後の第１の検査画像Ｇ１及び第２の検査画像Ｇ２の同一位置に写る異物を固定性異物Ａｋとして検出する（異物検出工程）。そして、検査制御装置４は、このようにして得られた合成画像Ｇｃに基づいて、被検査物Ｗにおける固定性異物Ａｋの付着を検出し、この検出結果を上位制御装置に報告する。

このような本１実施形態に係る異物検査装置によれば、ガス噴射装置２によって圧縮空気が噴き付けられる前後の２つの画像、つまり第１の検査画像Ｇ１及び第２の検査画像Ｇ２を用いて固定性異物Ａｋの付着を検出するので、固定性異物Ａｋを移動性異物Ａｉとは区別して検出することが可能である。

ここで、図３にも示したが、移動性異物Ａｉは、被検査物Ｗの立上り部ｗ２近傍に比較的付着し易い。すなわち、移動性異物Ａｉは、例えば被検査物Ｗの生産過程のうち洗浄工程において上面ｗ１に付着した水滴である。このような水滴は、上面ｗ１と立上り部ｗ２とが接する部位、つまり立上り部ｗ２の内側に残存し易く、例えば圧縮空気等のガスを噴き付けても除去することができない。

このような移動性異物Ａｉ（水滴）を効果的に移動させるためには、立上り部ｗ２の内側に向けて圧縮空気を噴射することが好ましい。例えば、図４に示すように、立上り部ｗ２の内側の複数箇所、例えば円形な上面ｗ１の中心周りに各々９０°の角度割りで４箇所に圧縮空気を噴射することが考えられる。この場合、ガス噴射装置２は、圧縮空気をそれぞれ噴射する複数の噴射ノズルを備えるものとなる。このようなガス噴射装置２によれば、移動性異物Ａｉ（水滴）を効果的に移動させることが可能である。

〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態に係る異物検査装置について、図５及び図６を参照して説明する。上述した第１実施形態では、第１、第２カメラ１，３つまり２台のカメラを用いて異物検査装置を構成したが、本第２実施形態に係る異物検査装置は、図５に示すように１台のカメラつまり広角カメラ１Ａを用いる。

この広角カメラ１Ａは、画角が第１、第２カメラ１，３よりも広く設定された産業用カメラであり、ガス噴射装置２によって圧縮空気が噴き付けられる前後の被検査物Ｗの上面ｗ１の可視画像（２つの可視画像）を第３、第４の検査画像Ｇ３，Ｇ４として撮像する。すなわち、広角カメラ１Ａは、ガス噴射装置２によって圧縮空気（外力）が付加される前後の被検査物Ｗを包含する画角（広角）の１台のカメラである。

例えば、搬送ベルトＢが図５に示すようにガス噴射装置２の前後で近接配置されている場合、つまり被検査物Ｗがガス噴射装置２の直下に向かう搬送経路（往路）と被検査物Ｗがガス噴射装置２の直下から次の搬送先に向かう搬送経路（復路）とが近接配置されている場合、往路と復路との近接箇所の上方に広角カメラ１Ａを設けることにより、１台の広角カメラ１Ａのみによって第３、第４の検査画像Ｇ３，Ｇ４を撮像することができる。

このような広角カメラ１Ａは、第３、第４の検査画像Ｇ３，Ｇ４を第３、第４の画像信号Ｓ３，Ｓ４として検査制御装置４に出力する。そして、検査制御装置４は、第３、第４の画像信号Ｓ３，Ｓ４から合成画像Ｇｃを取得して固定性異物Ａｋを検出する。

なお、図５のような搬送経路の場合、第３の検査画像Ｇ３と第４の検査画像Ｇ４とでは、図６に示されるように被検査物Ｗが上下逆になる。したがって、検査制御装置４における合成画像Ｇｃの取得では、第３の検査画像Ｇ３あるいは第４の検査画像Ｇ４の一方を上下逆転させて他方と画像合成する必要がある。この画像合成では、例えば上面ｗ１に設けられた基準物（切欠きやプルタブ等）に基づいて第３の検査画像Ｇ３と第４の検査画像Ｇ４との位置合わせをする。

このような第２実施形態に係る異物検査装置によれば、ガス噴射装置２によって圧縮空気が噴き付けられる前後の２つの画像、つまり第３の検査画像Ｇ３及び第４の検査画像Ｇ４を用いて固定性異物Ａｋの付着を検出するので、固定性異物Ａｋを移動性異物Ａｉとは区別して検出することが可能である。

また、この異物検査装置によれば、第３の検査画像Ｇ３及び第４の検査画像Ｇ４を広角カメラ１Ａのみによって撮像するので、第１実施形態に係る異物検査装置よりもカメラの台数を削減することが可能である。

〔第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態に係る異物検査装置について、図７及び図８を参照して説明する。上述した第１実施形態では、２台のカメラ（第１カメラ１及び第２カメラ３つまり）及び１台のガス噴射装置（ガス噴射装置２）を用いて異物検査装置を構成したが、本第３実施形態に係る異物検査装置は、図７に示すように、第１実施形態に係る異物検査装置に第２ガス噴射装置５及び第３カメラ６を付加したものである。

すなわち、本第３実施形態における被検査物Ｗは、搬送ベルトＢに沿って位置Ｐ１→位置Ｐ２→位置Ｐ３→位置Ｐ４→位置Ｐ５の順で搬送される。第２ガス噴射装置５は、位置Ｐ４における搬送ベルトＢの直上に設けられ、上記位置Ｐ４において直下を通過する被検査物Ｗに向けて圧縮空気を吹付ける。第３カメラ６は、位置Ｐ５における搬送ベルトＢの直上に設けられ、上記位置Ｐ５において直下を通過する被検査物Ｗの可視画像（第５の検査画像Ｇ５）を撮像し、第５の画像信号Ｓ５として検査制御装置４Ａに出力する。

本第３実施形態における検査制御装置４Ａは、第１カメラ１、ガス噴射装置２及び第２カメラ３に加えて第２ガス噴射装置５及び第３カメラ６の動作を制御すると共に、第１、第２の画像信号Ｓ１，Ｓ２に加えて第５の画像信号Ｓ５に基づいて固定性異物Ａｋを検出する。

本第３実施形態において、上記第１、第２、第５の検査画像Ｇ１，Ｇ２，Ｇ５は、例えば図８に示すようになる。本第３実施形態における第１の検査画像Ｇ１は、上述した第１実施形態と同様であるが、第２の検査画像Ｇ２は、ガス噴射装置２による圧縮空気の吹付けによって移動性異物Ａｉが位置変更せず、第１の検査画像Ｇ１と略同様な状態を示している。また、第５の検査画像Ｇ５は、第２ガス噴射装置５による圧縮空気の吹付けによって移動性異物Ａｉが位置変更した状態を示している。

すなわち、本第３実施形態に係る異物検査装置は、単一のガス噴射装置２のみでは移動性異物Ａｉが位置変更しない場合を考慮したものであり、２回に亘る圧縮空気の吹付け、つまりガス噴射装置２による圧縮空気の吹付けとガス噴射装置２による圧縮空気の吹付けの前後における第１、第２、第５の検査画像Ｇ１，Ｇ２，Ｇ５に基づいて固定性異物Ａｋを移動性異物Ａｉと区別するものである。

このような本第３実施形態によれば、ガス噴射装置２によって圧縮空気が噴き付けられる前後の２つの画像つまり第１の検査画像Ｇ１及び第２の検査画像Ｇ２と第２ガス噴射装置５によって圧縮空気が噴き付けられた後の画像つまり第５の検査画像Ｇ５を用いて固定性異物Ａｋの付着を検出するので、固定性異物Ａｋを移動性異物Ａｉに対してより的確に区別して検出することが可能である。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
（１）上記実施形態では、被検査物Ｗの一例として缶体の検査に本発明を適用した場合について説明したが、被検査物Ｗは缶体に限定されない。本発明は画像を用いて固定性異物Ａｋを検出する必要がある被検査物Ｗであれば、如何なる物にも適用可能である。また、上記実施形態では、本発明を製造ラインの製品検査に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されない。

（２）上記実施形態では、可視画像を撮像する産業用カメラを第１カメラ１、第２カメラ３、広角カメラ１Ａ、第３カメラ６として採用したが、本発明はこれに限定されない。可視画像を撮像する産業用カメラに代えて、あるいは可視画像を撮像する産業用カメラに加えて、例えば赤外線画像を撮像する赤外線カメラを採用してもよい。

（３）上記実施形態では、本発明の外力付加手段としてガス噴射装置２及び第２ガス噴射装置５を採用したが、本発明はこれに限定されない。本発明の外力付加手段に要求される基本的な機能は移動性異物Ａｉを移動させることにあるので、外力付加手段としては移動性異物Ａｉを移動させ得るものであれば圧縮ガスを吹付けるもの以外のものでもよい。

（４）また、上記実施形態では、本発明の異物検出手段として検査制御装置４、４Ａを採用したが、本発明はこれに限定されない。

Ａｋ 固定性異物
Ａｉ 移動性異物
Ｗ 被検査物
ｗ１ 上面
ｗ２ 立上り部
Ｇ１ 第１の検査画像
Ｇ２ 第２の検査画像
Ｇ３ 第３の検査画像
Ｇ４ 第４の検査画像
Ｇ５ 第５の検査画像
Ｃｃ 合成画像
１ 第１カメラ（撮像手段）
１Ａ 広角カメラ（撮像手段）
２ ガス噴射装置（外力付加手段）
３ 第２カメラ（撮像手段）
４、４Ａ 検査制御装置（異物検出手段）
５ 第２ガス噴射装置（外力付加手段）
６ 第３カメラ（撮像手段）

Claims (5)

1. 被検査物の画像を撮像する撮像手段と、
   前記被検査物に外力を付加する外力付加手段と、
   該外力付加手段によって前記被検査物に外力を付加させる前後の前記画像に基づいて前記被検査物に固定的に付着する固定性異物を検出する異物検出手段と
   を備え、
   前記外力付加手段は、前記被検査物に所定のガスを噴射するガス噴射装置であり、
   前記被検査物が、周縁が突出する上面を備える缶体であり、当該缶体において前記上面に付着する前記固定性異物を検出しており、
   前記ガス噴射装置は、前記上面の周縁に沿って前記ガスを噴射する
   ことを特徴とする異物検査装置。
2. 前記被検査物が所定方向に搬送されており、
   前記撮像手段は、搬送経路に沿って所定間隔を隔てて配置され、前記外力が付加される前の前記画像と前記外力が付加された後の前記画像を各々撮影する少なくとも２台のカメラであり、
   前記外力付加手段は、前記カメラの間に配置されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の異物検査装置。
3. 前記撮像手段は、前記外力が付加される前後の前記被検査物を包含する画角の１台のカメラであることを特徴とする請求項１に記載の異物検査装置。
4. 前記異物検出手段は、前記外力が付加される前後の前記画像の同一位置に写る異物を前記固定性異物として検出することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の異物検査装置。
5. 周縁が突出する上面を備える缶体である被検査物の画像を第１の検査画像として撮像する第１の撮像工程と、
   前記被検査物の前記上面の周縁に沿って前記ガスを噴射する外力付加工程と、
   該外力付加工程によって外力が付加された後の前記被検査物の画像を第２の検査画像として撮像する第２の撮像工程と、
   前記第１の検査画像と前記第２の検査画像とに基づいて前記被検査物に固定的に付着する固定性異物を検出する異物検出工程と
   を有することを特徴とする異物検査方法。

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