CN101135862A - 绘制装置和绘制方法 - Google Patents

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Abstract

一种绘制装置，包括：设定部，所述设定部设定：标准标记位置数据，所述标准标记位置数据涉及在各预定绘制区域处绘制多个图像的绘制介质上设置多个标准标记的位置；涉及多个绘制区域的位置的绘制位置数据；和显示多个标准标记的位置和多个绘图区域之间的对应关系的标准标记对应数据；检测部，所述检测部检测多个标准标记的位置，并获得检测位置数据；校正部，所述校正部根据标准标记位置数据、绘制位置数据、标准标记对应数据和检测位置数据校正多个绘制区域的绘制位置；和绘制部，所述绘制部在绘制介质上的每个经校正的绘制位置处绘制多个图像。

Description

绘制装置和绘制方法
技术领域
本发明涉及一种绘制装置和绘制方法，尤其涉及一种将图像布置在要绘制的物体的预定位置处并接着进行绘制的绘制装置和方法。
背景技术
传统地，如用于在印刷电路板的基板上绘制预定配线图案的装置，提出了多种使用光刻技术的曝光装置。
这种提出的曝光装置的一个实例是这样一种装置，其沿主扫描方向和副扫描方向在涂敷有光致抗蚀剂的基板上扫描光束，并根据表示配线图案的图像数据通过调制光束形成配线图案。
在这里，存在通过诸如上述的曝光装置形成的印刷电路板的配线图案的清晰度变得越来越高的趋势。例如，在形成多层印刷电路板的情况中，必须以高精度执行每层配线图案的位置匹配。
为了执行这种位置匹配，在基板的预设位置处曝光每层的配线图案。当形成多层印刷电路板时，在将每层粘合在一起的压制中加热基板。由于存在由于该热量而使基板变形的情况，当这些配线图像在预设位置处曝光时会出现每层的配线图案的绘制位置偏差，并且存在不能以高精度执行每层配线图案的位置匹配的可能。
在这里，提出了一种曝光装置，其中例如，根据预设标准标记位置数据，在每层的基板的四个拐角中设置孔，并且当曝光时，检测这些孔的位置，并根据检测孔的检测位置数据和标准标记位置数据算出基板的变形量。通过根据该变形量校正配线图案的布置，装置可以执行高精准的位置匹配而不会受到前述基板变形的影响。
最近，随着诸如移动电话的小型电子装置的日益流行，对相对较小尺寸的印刷电路板的需求增加。当使用上述曝光装置制造诸如上述小尺寸印刷电路板时执行曝光，使得许多小尺寸配线图案被布置在单个大尺寸基板上。
尽管如此，当在一个基板上曝光许多配线图案时，如果根据在基板的四个拐角中设置的孔校正包括许多配线图案的总图案并如上所述进行曝光，则存在不会在整个基板上均匀出现基板变形而是局部不同的情况。因此，可能每个个别配线图案的高度准确的位置匹配是不可能的。
在这里，例如，提出了每个标准标记根据个别小尺寸配线图案均设置成与基板的四个拐角相对的方法。通过这种方法，根据在每个配线图案处设置的标准标记的实际位置与通常发现其的位置之间的偏差校正配线图案的每个个别绘制位置。(例如，参见日本专利申请公开出版物(JP-A)第2005-300628号和第2000-122303号。)
尽管如此，对于上述传统技术，标准标记和配线图案(即，绘制区域)之间的对应关系是固定的。这具有的问题在于对标准标记的布置、数目和形状以及绘制区域的形状存在限制。
发明内容
发明出本发明以解决上述问题，并且本发明的一个目的在于提供一种绘制装置和绘制方法，从而可以消除对诸如标准标记布置方面的限制。
为了解决这个问题，本发明的第一方面的绘制装置包括：设定部，所述设定部设定：标准标记位置数据，所述标准标记位置数据涉及在各预定绘制区域处绘制多个图像的绘制介质上设置多个标准标记的位置；涉及多个绘制区域的位置的绘制位置数据；和显示多个标准标记的位置和多个绘制区域之间的对应关系的标准标记对应数据；检测部，所述检测部检测多个标准标记的位置，并获得显示检测的标准标记的位置的检测位置数据；校正部，所述校正部根据标准标记位置数据、绘制位置数据、标准标记对应数据和检测位置数据校正多个绘制区域的绘制位置；和绘制部，所述绘制部在绘制介质上的每个经校正的绘制位置处绘制多个图像。
由于此发明，该设定部可以个别地设定标准标记位置数据和绘制位置数据，并且可以将标准标记的位置和绘制区域之间的对应关系设定作为标准标记对应数据。
然后，根据由设定部设定的标准标记位置数据、绘制位置数据和标准标记对应数据以及显示由检测部检测的标准标记的位置的检测位置数据，校正部校正多个绘制区域的绘制位置。
该绘制部在绘制介质上的经校正部校正的每个绘制位置处绘制多个图像。
依此方式，标准标记位置数据和绘制位置数据可以被个别设定，并且标准标记的位置和绘制区域之间的对应关系可以被设定作为标准标记对应数据。因此，可以消除对诸如标准标记的布置、数目和形状以及绘图区域的形状方面的限制。
要提及的是，如从第二方面来看，该校正部设有：运算部，根据与由标准标记对应数据设定的绘制区域相对应的标准标记的位置和标准标记的检测位置，该运算部计算用于校正绘制区域的绘制位置的校正参数；和根据校正参数计算绘制区域的绘制位置的计算部。
此外，如在第三方面中，该设定部被构造成进一步设定涉及多个标准标记的形状的标准标记形状数据。
此外，如在第四方面中，该绘制部是在绘制介质上的每个经校正的绘制位置处曝光多个图像的曝光部。
本发明的第五方面的绘制方法包括步骤：设定标准标记位置数据，所述标准标记位置数据涉及在各预定绘制区域处绘制多个图像的绘制介质上设置多个标准标记的位置；设定涉及多个绘制区域的位置的绘制位置数据；和设定显示多个标准标记的位置和多个绘制区域之间的对应关系的标准标记对应数据；检测多个标准标记的位置，并获得显示检测的标准标记的位置的检测位置数据；根据标准标记位置数据、绘制位置数据、标准标记对应数据和检测位置数据，校正多个绘制区域的绘制位置；和在绘制介质上的每个经校正的绘制位置处绘制多个图像。
由于本发明，该标准标记位置数据和绘制位置数据可以被个别设定，并且标准标记的位置和绘制区域之间的对应关系可以被设定作为标准标记对应数据。因此，可以消除对诸如标准标记的布置、数目和形状以及绘制区域的形状方面的限制。
根据本发明的第六方面的绘制方法包括步骤：准备涉及在绘制介质上设置的多个标准标记的位置的标准标记位置数据；准备涉及多个绘制区域的位置的绘制位置数据；和准备显示多个标准标记的位置和多个绘制区域之间的对应关系的标准标记对应数据；检测多个标准标记的位置，并获得显示检测的标准标记的位置的检测位置数据；根据标准标记位置数据、绘制位置数据、标准标记对应数据和检测位置数据，校正与图像数据中的多个绘制区域相对应的区域；和根据校正的图像数据在绘制介质上进行绘制。
由于本发明，该标准标记位置数据和绘制位置数据可以被个别设定，并且标准标记的位置和绘制区域之间的对应关系可以被设定作为标准标记对应数据。因此，可以消除对诸如标准标记的布置、数目和形状以及绘制区域的形状方面的限制。
本发明的效果在于其可以消除对标准标记的布置及类似物的限制。
附图说明
以下将根据附图详细描述本发明的例示性实施例，其中：
图1是显示使用本发明的绘制方法和装置的例示性实施例的曝光装置的示意结构的透视图；
图2是显示曝光装置的扫描器的结构的透视图；
图3A是显示在基板的曝光表面上形成的曝光区域的平面图；
图3B是显示由每个曝光头曝光的区域的布置的平面图；
图4是显示曝光装置的曝光头中的DMD的视图；
图5是显示曝光装置的电子控制系统的结构的方框图；
图6是显示在标准位置设定部中存储的每类数据的方框图；
图7是显示标准标记和绘制区域的布置的一个实例的视图；
图8是用于说明绘制位置的校正的视图；和
图9是显示标准标记和绘制区域的布置的另一实例的视图。
具体实施方式
在下文中，将参照附图说明使用根据本发明的绘制方法和装置的例示性实施例的曝光装置。图1是显示本曝光装置的示意结构的透视图。本曝光装置是在单个基板上曝光多个配线图案和类似物的图像的装置，并且所述曝光装置使诸如多层印刷电路板的多层基板中的各层的配线图案曝光。要提及的是本实施例也可以用于单层基板。此外，该基板可以为各种结构，例如，用于显示装置的过滤器或半导体和类似结构。首先，将说明本曝光装置的示意结构。
如图1所示，本曝光装置10设有平板状移动平台14，基板12吸附并保持在所述移动平台的表面上。此外，沿平台移动的方向延伸的两个导向件20被布置在由四个腿部16支撑的厚板状安装台18的上表面上。移动平台14被布置成使得其纵向方向沿着平台运动的方向，并且由导向件20支撑，以可往复移动。
倒U形门22被设置在安装台18的中央部，以便跨在移动平台14的运动路径上。倒U形门22的两端部被固定在安装台18的两侧处。该门22夹在设置在一侧处的扫描器24和在另一侧的多个照相机26(在本实施例中为三个)之间。照相机26用于检测另一侧处基板12的前缘和后缘、以及提前设置在基板12中的多个圆形标准标记12a(在本实施例中为六个)的位置。
在这里，例如，基板12上的标准标记12a为根据预设标准标记位置数据和标准标记形状数据形成于基板12中的孔。要提及的是除孔外，还可以使用脊面、通孔或蚀刻标记。此外，预定图案，例如，在基板12上曝光的一部分电路图案可用作标准标记12a。标准标记的形状可以制造成可选形状，例如，圆形、四边形或三角形。后面将详细描述该标准标记位置数据和标准标记形状数据。
扫描器24和照相机26分别连接到门22上，并被固定和布置在移动平台14的运动路径上方。要提及的是扫描器24和照相机26被连接到控制其且稍后将说明的控制器上。
如图2和图3B所示，扫描器24设有以一行五个的两行大体为矩阵形状的形式进行布置的十个曝光头30(30A-30J)。
如图4所示，作为空间调整入射光束的空间光调制器(SLM)的数字微镜装置(DMD)36被设置在每个曝光头30的内部中。DMD 36被连接成使得其像素行的方向变成相对于扫描成预定倾斜角度θ。因此，每个曝光头30的曝光区域32变成相对于扫描方向倾斜的矩形区域。通过移动平台14的运动，每个曝光头30在基板12上形成带状曝光区域34。要提及的是还可以使用非DMD的SLM。
在微镜单元处执行每个曝光头30中所设置的DMD 36的开/关控制，并且与DMD 36的微镜相对应的点图案(黑和白)在基板12上曝光。如图4所示，上述带状曝光区域34由两维布置的点形成。
该两维布置的点图案相对于扫描方向倾斜，由此使沿扫描方向成直线的点变成使其通过沿与扫描方向交叉的方向成直线的点之间，因此可以获得更高的清晰度。
要提及的是由于倾斜角度的调节变化，还存在的情况是具有未被使用的点，例如，在图4中，在倾斜线中的点未被使用，因此与这些点相对应的DMD 36中的微镜通常在关闭状态中。
此外，如图3A和图3B所示，成直线形式布置的各行曝光头30沿布置其的方向以预定间隔(即，为曝光区域长侧的特定自然数倍：在本实施例中为一倍)交错和布置。由于此原因，每个带状曝光区域34与邻接曝光区域34部分重叠。因此，在例如在第一行的最左侧处定位的曝光区域32A和紧接着曝光区域32A向其右侧定位的曝光区域32C之间的无法曝光的部分被在第二行的最左侧处定位的曝光区域32B曝光。类似地，在曝光区域32B和紧接着曝光区域32B向其右侧定位的曝光区域32D之间无法曝光的部分由曝光区域32C曝光。
接着，将说明本曝光装置10的电气结构。如图5所示，本曝光装置10设有：光栅转换处理器50，所述光栅转换处理器接收从数据产生装置40(具有计算机辅助制造(CAM)站)输出并表现将曝光的对象的配线图案的矢量数据，并将矢量数据转换成光栅数据(即，位图数据)；标准位置设定部52，所述标准位置设定部中设定(即，存储)以下数据：涉及在基板12上设置的标准标记12a的位置的标准标记位置数据；涉及标准标记12a的形状的标准标记形状数据；涉及多个绘制区域的绘制位置的绘制位置数据；和涉及标准标记和绘制区域之间的对应关系的标准标记对应数据；绘制位置校正部54，所述绘制位置校正部根据表示由照相机26检测的标准标记12a的位置的检测位置数据、标准标记位置数据和标准标记对应数据校正上述绘制位置数据；图像数据校正部56，所述图像数据校正部根据由绘制位置校正部54校正的绘制位置数据校正配线图案(即，绘制区域)的光栅数据并产生已校正的图像数据；绘制控制部58，所述绘制控制部控制曝光头30，使得根据由图像数据校正部56转换的已校正的图像数据由曝光头30执行曝光；平台控制部60，所述平台控制部控制移动平台14沿平台移动的方向的运动；和控制整个本曝光装置的控制器70。要提及的是，例如，在标准位置设定部52处，可以通过使用者的操作设定上述标准标记位置数据、标准标记形状数据、绘制位置数据和标准标记对应数据。这种数据将在后面详细说明。
接着，将参照图5说明本曝光装置10的动作。
首先，表示包括将在基板12上曝光的多个配线图案的总图像图案的矢量数据在数据产生装置40中产生。然后，该矢量数据被输入光栅转换处理器50，其中所述矢量数据被转换为光栅数据，并接着被输入到暂时存储输入的光栅数据的图像数据校正部56。
此外，当如上所述，矢量数据被输入光栅转换处理器50时，控制整个曝光装置10的动作的控制器70将指令信号输出到平台控制部60，并且根据该指令信号，平台控制部60将控制信号输出到平台驱动装置(未示出)。响应该控制信号，平台驱动装置使移动平台14沿导向件20从图1中所示的位置运动一次到在上游侧处的预定开始位置，此后，所述平台驱动装置使移动平台14以所需速度向平台运动的方向运动。
然后，当如上所述移动的移动平台14上的基板12通过多个照相机26的下方时，这些照相机26拍摄基板12，并且表示拍摄图像的图像数据被输入绘制位置校正部54。
根据图像数据和标准标记形状数据，绘制位置校正部54检测在移动平台14上安装的基板12的标准标记12a的位置，并接着获得检测的位置数据。
对于用于检测标准标记12a的位置的方法，例如，所述装置可以被设计成通过提取标准标记形状数据中所设定的每个标准标记的形状的图像来检测所述位置，或者还可以使用其它已知的检测方法。
此外，用于上述标准标记12a的检测位置数据被具体获得作为坐标值，并且例如，坐标值的原点可以是基板12的拍摄图像的四个拐角中的一个拐角。原点还可以是提前设定在拍摄图像中的预定位置，或多个标准标记12a中的一个标准标记12a的位置。尽管如此，仍必须使如上所述设定的原点和标准标记位置数据的坐标值的原点彼此相一致。
如图6所示，未经历上述压制处理的标准基板12中的标准标记12a的标准标记位置数据52A被提前设定在标准位置设定部52中。该标准标记位置数据52A是设计值，并且是当在基板12上设置标准标记12a时提前设定的值。
此外，该标准标记位置数据52A可以由使用者设定。此外，可以如上所述，通过上述照相机26，例如，如上所述通过拍摄标准基板12获得标准标记的位置来设定所述标准标记位置数据。上述标准标记位置数据52A也被设定作为坐标值。即，标准标记位置数据52A可以是表示诸如用于每个标准标记的固有标记数和坐标值之间的对应关系的数据。
此外，如图6所示，表示标准标记12a的形状的标准标记形状数据52B被提前设定在标准位置设定部52中。例如，该标准标记形状数据52B可以被制成标准标记12a的形状的图像数据。即，标准标记形状数据52B可以被制成表示诸如标记数和涉及标准标记的形状的图像数据之间的对应关系的数据。要提及的是该标准标记形状数据52B可以由使用者设定。此外，例如，如上所述，可以通过用照相机16拍摄标准基板12获得标准标记的形状来设定所述标准标记形状数据。
此外，如图6所示，将在基板12上绘制的用于多个绘制区域的绘制位置数据52C被设定在标准位置设定部52中。在这里，术语“绘制区域”指其中形成配线图案的区域，并且例如是用作小基板的分开区域。该绘制位置数据52C是用于设定诸如绘制区域的边界(即，轮廓)的数据。例如，当绘制区域是矩形时，该矩形区域的拐角部可以被制作为绘制区域的设定点并作为坐标值。即，绘制位置数据52C可以成为表示诸如在每个绘制区域处的固有绘制区域和用于每个绘制区域的每个设定点的坐标值之间的对应关系的数据。要提及的是该绘制位置数据52C可以由使用者设定。
此外，如图6所示，表示标准标记和绘制区域之间的对应关系的标准标记对应数据52D被设定在标准位置设定部52中。该标准标记对应数据52D是在校正绘制位置校正部54中的绘制区域的绘制位置时关于将使用的标准标记和将校正的绘制区域的绘制位置来确定的数据。即，标准标记对应数据52D可以成为表示诸如绘制区域的绘制区域号和标准标记的标号之间对应关系的数据。要提及的是该标准标记对应数据52D也可以由使用者设定。
依此方式，对于本例示性实施例，标准标记位置数据52A、标准标记形状数据52B和绘制位置数据52C每个可以独立地设定，并且通过设定标准标记对应数据52D，可以可选地设定绘制区域和标准标记之间的对应关系。由此，可以消除关于诸如标准标记的布置、形状和数目以及绘制区域的形状方面的限制。
如上所述设定的标准标记位置数据52A、标准标记形状数据52B、绘制位置数据52C和标准标记对应数据52D从标准位置设定部52输出到绘制位置校正部54。
根据如上所述由照相机26实际拍摄的基板12的标准标记12a的检测位置数据和从标准位置设定部52输出的标准标记位置数据52A，绘制位置校正部54计算检测位置和标准标记位置之间的偏差量，并根据偏差量校正绘制位置数据52C。对每个绘制区域执行该操作。要提及的是偏差量的实例包括绘制区域中的移位量、旋转量或比例比率。
在这里，将参照图7和图8具体说明用于校正绘制位置数据52C的方法。在这里，如图7所示，将说明四个绘制区域A1-A4被布置在基板12上且九个圆形标准标记M1-M9被设置在其上的情况。
在类似该情况的情况中，标准标记对应数据52D可以关联于，例如，绘制区域A1和标准标记M1、M2、M4和M5之间的对应关系；绘制区域A2和标准标记M2、M3、M5和M6之间的对应关系；绘制区域A3和标准标记M4、M5、M7和M8之间的对应关系；和绘制区域A4和标准标记M5、M6、M8和M9之间的对应关系。要提及的是这仅是一个实例，并且如上所述，绘制区域的周边中的标准标记可以被构成为对应绘制区域。可选的标准标记可以具有关联于绘制区域的对应关系，例如，使得建立绘制区域A1和标准标记M5、M6、M8和M9之间的对应关系。此外，标准标记的形状也不局限于圆形形状，并且可以是其它形状，并且还可以混合具有不同形状的标准标记。此外，对应于一个绘制区域的标准标记的数量可以是至少两个或更多的任何数目，并且对应于每个绘制区域的标准标记的数目还可以不同。
在下文中，将说明在绘制区域A1和标准标记M1、M2、M4和M5之间存在对应关系的情况下的绘制位置的校正。
如图8所示，例如，在当根据这些坐标值，标准标记M1、M2、M4和M5的实际检测位置是M1’、M2’、M4’和M5’时的情况下，计算如下校正参数：实际绘制的绘制区域A1’的旋转量(即，实际绘制的绘制区域A1’相对于设定绘制区域A1的倾斜角度)；实际绘制的绘制区域A1’沿图8中所示的X方向(即，与绘制区域A1的短侧边平行的方向)和Y方向(即，与绘制区域A1的长侧边平行的方向)中的每个方向的移位量；和绘制区域的每个侧边的X方向和Y方向上的比例比率。要提及的是比例比率是实际应绘制的绘制区域A1’的一个侧边的长度相对于设定绘制区域A1的一个侧边的长度的比率。此外，根据设定绘制区域A1的重心位置G1和实际绘制的绘制区域A1’的重心位置G1’之间的距离(即，偏移量)得出移位量。
对于寻求校正参数的方法，可以使用诸如上述JP-A第2005-300628号中所叙述的方法的已知方法。
绘制位置校正部54如上所述计算用于每个绘制区域的校正参数。然后，根据校正参数校正每个绘制区域的位置。即，应该实际绘制的绘制区域A1’的绘制区域设定点A1-1’、A1-2’、A1-3’和A1-4’的位置，其中设定绘制区域A1的绘制区域设定点A1-1、A1-2、A1-3和A1-4的位置已被校正。由此，绘制区域的位置可以响应基板12的变形和类似现象进行校正。对每个绘制区域执行这种操作，并且校正绘制位置数据52C。
已校正的绘制位置数据52C被输出到图像数据校正部56。根据校正后的输入绘制位置数据52C，图像数据校正部56执行诸如旋转、移位和提前存储的有关光栅数据的可变倍率(variable power)的处理。要提及的是在图8中，很明显绘制区域仅移位和旋转，然而，根据如上所述校正的绘制位置数据，绘制区域的膨胀和收缩也可以通过可变倍率处理进行校正。变形也可以包括在绘制区域的膨胀和收缩中。
当如上所述计算校正光栅数据时，使得移动平台14以所需速度从图1中所示的下游侧位置移动到上游侧。
然后，当照相机26检测到基板12的前缘时开始曝光。具体地，如上所述，计算出和校正的光栅数据被输出到绘制控制部58，并且根据输入和校正的光栅数据，绘制控制部58将控制信号输出到扫描器24的每个曝光头30。根据该控制信号，曝光头30打开或关闭DMD 36的微镜，并根据基板12上的校正光栅数据曝光配线图案。
然后，通过移动平台14的运动，控制信号被逐渐输出到每个曝光头30并执行曝光，并且当照相机26检测到基板12的后缘时停止曝光。
依此方式，对于本例示性实施例，标准标记位置数据、标准标记形状数据和绘制位置数据每个可以独立地设定。通过设定标准标记对应数据，可以可选地设定绘制区域和标准标记之间的对应关系。由此，可以消除涉及诸如标准标记的布置、形状和数目以及绘制区域的形状方面所出现的限制。因此，如在图9中所示的基板62的实例中看出，标准标记M1-M18可以布置成对于每个绘制区域A1-A9有两个在与外侧相对的其内侧处。然后，在例如基板62的变形在由相同图中的虚线显示的外侧处大的情况下，例如，可以建立绘制区域A3与标准标记M4、M5和M3的对应关系，其中标准标记M3主要用于绘制区域A2。另一方面，对于基板的变形轻微的绘制区域A5，通常可以建立与标准标记M9和M10的对应关系。依此方式，对于本例示性实施例，可以响应基板的变形位置可选地设定标准标记和绘制区域之间的对应关系，因此变得可以以甚至较大的精度校正绘制位置。
要提及的是对于本例示性实施例，说明了响应标准标记的偏差校正绘制位置的情况，然而，这并不因此受到限制。例如，类似于绘制区域形状的形状可以制作成标准标记的形状。通过使绘制区域的变形响应标准标记中所检测到的变形可以校正绘制位置。
此外，对于本例示性实施例，说明了本发明被应用于曝光装置和曝光方法的情况下的实例，然而，本发明并不因此受到限制。例如，本发明可以用于在基板的预定区域上涂敷阻焊剂或类似物的涂敷装置和方法中，或甚至用于喷墨打印机和喷墨式打印方法和类似装置及方法中。即，本发明还可以应用于通过排出微滴(discharged droplet)的打点执行绘制的装置。

Claims (10)

1.一种绘制装置，包括：
设定部，所述设定部设定：标准标记位置数据，所述标准标记位置数据涉及在各预定绘制区域处绘制多个图像的绘制介质上设置多个标准标记的位置；涉及多个绘制区域的位置的绘制位置数据；和显示所述多个标准标记的位置和所述多个绘制区域之间的对应关系的标准标记对应数据；
检测部，所述检测部检测所述多个标准标记的位置，并获得显示检测的标准标记的位置的检测位置数据；
校正部，所述校正部根据所述标准标记位置数据、所述绘制位置数据、所述标准标记对应数据和所述检测位置数据校正所述多个绘制区域的绘制位置；和
绘制部，所述绘制部在所述绘制介质上的每个经校正的绘制位置处绘制所述多个图像。
2.根据权利要求1所述的绘制装置，其中所述校正部设有运算部，根据与由所述标准标记对应数据设定的绘制区域相对应的标准标记的位置和所述标准标记的检测位置，所述运算部计算用于校正绘制区域的绘制位置的校正参数；和根据所述校正参数计算所述绘制区域的所述绘制位置的计算部。
3.根据权利要求1所述的绘制装置，其中所述设定部被构造成进一步设定涉及所述多个标准标记的形状的标准标记形状数据。
4.根据权利要求2所述的绘制装置，其中所述设定部被构造成进一步设定涉及所述多个标准标记的形状的标准标记形状数据。
5.根据权利要求1所述的绘制装置，其中所述绘制部是在所述绘制介质上的每个经校正的绘制位置处曝光所述多个图像的曝光部。
6.根据权利要求3所述的绘制装置，其中所述标准标记位置数据、所述绘制位置数据和所述标准标记形状数据每个被独立地设定。
7.根据权利要求2所述的绘制装置，其中所述校正参数包括所述绘制区域的移位量、旋转量和比例比率。
8.根据权利要求2所述的绘制装置，其中对应于一个绘制区域的标准标记的数目是两个或更多个中的任何给定数目。
9.一种绘制方法，包括步骤：
设定标准标记位置数据，所述标准标记位置数据涉及在各预定绘制区域处绘制多个图像的绘制介质上设置多个标准标记的位置；涉及多个绘制区域的位置的绘制位置数据；和显示所述多个标准标记的位置和所述多个绘图区域之间的对应关系的标准标记对应数据；
检测所述多个标准标记的位置，并获得显示检测的标准标记的位置的检测位置数据；
根据所述标准标记位置数据、所述绘制位置数据、所述标准标记对应数据和所述检测位置数据，校正所述多个绘制区域的绘制位置；和
在所述绘制介质上的每个经校正的绘制位置处绘制所述多个图像。
10.一种绘制方法，包括步骤：
准备涉及在绘制介质上设置的多个标准标记的位置的标准标记位置数据；涉及多个绘制区域的位置的绘制位置数据；和显示所述多个标准标记的位置和所述多个绘制区域之间的对应关系的标准标记对应数据；
检测所述多个标准标记的位置，并获得显示检测的标准标记的位置的检测位置数据；
根据所述标准标记位置数据、所述绘制位置数据、所述标准标记对应数据和所述检测位置数据，校正与图像数据中的所述多个绘制区域相对应的区域；和
根据校正的图像数据在所述绘制介质上进行绘制。
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