JP2006184466A - 検出装置、検出方法および露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】感光材料への回路パターン形成におけるアライメントのためのアライメントマークの撮影時に、アライメントマークの理論位置でアライメントマークが取得できなかった場合でも、アライメントマークの再演算や再入力を行う必要がなく、これにより、操作性を向上させ、アライメントに要する時間を短縮できる検出装置、検出方法および露光装置を提供する。
【解決手段】画像データ供給源が保持する画像データを閲覧して、所望の画像データを前記画像データ供給源から取得し、取得した画像データに所定の画像処理を施して、処理済画像データを所定の格納手段に格納しておき、前記１以上の処理済画像データを格納する前記格納手段から、所望の処理済画像データを読み出して、プリント基板となる被記録媒体に画像を形成することにより、前記課題を解決する。
【選択図】図１

Description

本発明は、露光装置に関し、特に、画像情報に応じて空間変調素子等により変調された光ビームで感光材料を露光する露光装置における露光位置合わせ機能を構成する検出装置、検出方法および露光装置に関する。

従来から、例えば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）等の空間光変調素子（ＳＬＭ）を利用し、画像データ（画像情報）に応じて変調された光ビームで画像露光を行う露光装置が種々提案されている。

ＤＭＤは、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーが、シリコン等の半導体基板上に２次元状に配列されたミラーデバイスである。このＤＭＤを用いた従来のデジタル走査露光方式（マスクレス露光方式）の露光装置は、レーザ光を照射する光源、光源から照射されたレーザ光をコリメートするレンズ系、レンズ系の略焦点位置に配置されたＤＭＤ、ＤＭＤで反射されたレーザ光を走査面上に結像するレンズ系、を備えた露光ヘッド（スキャナ）を有する。この露光ヘッドは、画像データ等に応じて生成した制御信号によりＤＭＤのマイクロミラーの各々をオンオフ制御してレーザ光を変調し、変調されたレーザ光で、ステージ上にセットされ走査方向（Ｙ方向）に沿って移動される感光材料に対し画像（パターン）を走査露光している。

このような露光装置は、一例として、基板への回路パターンの形成に利用される。また、この際においては、画像露光がなされる感光材料（基板）には、通常、露光位置の基準となるアライメントマーク（基準マーク）が複数個形成されている。
この感光材料を用いる画像露光装置では、感光材料に対するＸ−Ｙ方向の露光位置を正確に合わせるため、露光に先立って、アライメントマークをＣＣＤカメラ等のアライメントカメラで撮影し、この撮影によって得られたマーク測定位置（基準位置データ）に基づいて露光位置を適正位置に合わせるアライメントを行っている。

このアライメントカメラは、サイズやアライメントマークの位置が異なる複数種類の感光材料を露光対象とできるように、アライメントマークが走査方向と直交する方向に異なる感光材料が供給された場合でも撮影できるように構成されている。例えば、アライメントカメラは、走査方向（Ｙ方向）と直交するＸ方向に沿って延設されたガイドレール等に案内され、ボールねじ等の駆動機構によりＸ方向に移動されて、露光対象物のＸ方向寸法の全域に亘る任意の位置に移動及び位置決め配置できるようになっている。

また、アライメントマーク撮影時におけるアライメントカメラのＸ方向の位置、および、Ｙ方向における撮影位置（タイミング）は、例えば、使用する感光材料種や描画する画像の画像データ等に応じて、オペレータがアライメントマークの位置（存在すべき予測位置）を算出し（以下、演算で得られたアライメントマークの位置を理論位置とする）、この理論位置を露光装置に入力することで設定する。

前記アライメントマークの撮影は、例えば前述のように与えられたアライメントマークの理論位置に基づいて行うことが望まれる。しかしながら、環境温度の変化等に起因して感光材料の膨張収縮等が起こった場合には、アライメントマークの理論位置と実際の感光材料上でのアライメントマークの位置とがずれてしまい、理論位置でアライメントマークを取得できないおそれがある。
理論位置でアライメントマークを取得できない場合には、アライメントマークの理論位置を再演算して、装置に再入力（あるいは、ホストコンピュータから再取得）する必要がある。これがアライメントの効率を低下させるおそれがあり、すなわち、基板への回路パターンの形成効率を低下させている。

本発明の目的は、前記従来技術に基づく問題点を解消し、感光材料への回路パターン形成におけるアライメントのためのアライメントマークの撮影時に、アライメントマークの理論位置でアライメントマークが取得できなかった場合でも、アライメントマークの再演算や再入力を行う必要がなく、これにより、操作性を向上させ、アライメントに要する時間を短縮できる検出装置、検出方法および露光装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は、感光材料に形成された基準マークを検出して、この検出結果に応じて感光材料上における露光位置を設定して、露光ヘッドによって感光材料を露光する露光装置において、前記基準マークを検出する検出装置であって、前記露光位置の設定のための基準マークの検出動作に先立ち、少なくとも１つの基準マークの検出手段によって、入力された基準マークの理論位置で少なくとも１つの基準マークの検出を行い、前記理論位置で基準マークを検出できた場合には、入力された基準マークの理論位置に応じて前記検出動作を行い、前記理論位置で基準マークを検出できなかった場合には、前記理論位置に対して検出手段による検出位置を調整して、再度、基準マークを検出することを繰り返し、調整した検出位置で基準マークを検出できた際に、この調整した検出位置に応じて全ての基準マークの前記理論位置を更正し、この更正した理論位置に応じて前記検出動作を行うことを特徴とする検出装置を提供するものである。

本発明においては、前記検出位置の調整は、前記記入された理論位置に対する検出位置を中心として、検出視野の１／２、前記感光材料に対して前記検出手段による検出位置を移動することで行うのが好ましい。

また、本発明においては、前記露光装置は、前記露光ヘッドと感光材料とを走査方向に相対的に移動しつつ、前記感光材料の露光を行うものであり、前記感光材料に対して、前記走査方向および走査方向と直交する方向の少なくとも一方に前記検出手段による検出位置を移動することにより、前記検出位置の調整を行うのが好ましい。

また、本発明においては、前記理論位置に対する検出位置を中心として、前記走査方向および走査方向と直交する方向の少なくとも一方に移動する８点で基準マークを検出できなかった場合に、エラー信号を発生するのが好ましい。

また、本発明においては、前記基準マークの検出を所定回数繰り返しても基準マークを検出できなかった場合に、エラー信号を発生するのが好ましい。

また、本発明においては、前記基準マークの検出を所定回数繰り返しても基準マークを検出できなかった場合に、前記感光材料位置が異なる別の設定に対して基準マークの理論位置を変更して、再度、基準マークの検出を行うのが好ましい。

上記の目的を達成するために、本発明は、感光材料に形成された基準マークを検出して、この検出結果に応じて感光材料上における露光位置を設定して、露光ヘッドによって感光材料を露光する露光装置において、前記基準マークを検出する検出方法であって、前記露光位置の設定のための基準マークの検出に先立ち、前記基準マークの理論位置を入力し、前記入力した理論位置で少なくとも１つの基準マーク検出手段を用いて少なくとも１つの基準マークの検出を行い、前記理論位置で基準マークを検出できた場合には、入力した基準マークの理論位置に応じて前記検出を行い、前記理論位置で基準マークを検出できなかった場合には、前記理論位置に対して検出手段による検出位置を調整し、再度、基準マークを検出することを繰り返し、調整した位置で基準マークを検出できた際に、この調整した検出位置に応じて全ての基準マークの前記理論位置を更正し、この更正した理論位置に応じて前記検出を行うことを特徴とする検出方法を提供するものである。

上記の目的を達成するために、本発明は、前記本発明の検出装置と、感光材料の保持手段と、供給された画像データに応じて前記感光材料を露光する露光ヘッドと、前記感光材料と露光ヘッドとを所定の走査方向に相対的に移動する走査手段と、前記検出手段による基準マークの検出結果に応じて、前記露光ヘッドによる露光位置を設定する手段とを有することを特徴とする露光装置を提供するものである。

本発明においては、前記検出装置と露光ヘッドとが一体的となっており、かつ、前記検出装置は、検出手段を前記走査方向と直交する方向に移動する移動手段を有するのが好ましい。

上記の目的を達成するために、本発明は、ワークに形成された基準マークを検出して、この検出結果に応じてワーク上における描画位置を設定して、描画手段によってワークを描画する描画装置において、前記基準マークを検出する検出装置であって、前記描画位置の設定のための基準マークの検出動作において、少なくとも１つの基準マークの検出手段によって、入力された基準マークの理論位置で少なくとも１つの基準マークの検出を行い、前記理論位置で基準マークを検出できた場合には、入力された基準マークの理論位置に応じて前記検出動作を行い、前記理論位置で基準マークを検出できなかった場合には、前記理論位置に対して検出手段による検出位置を調整して、再度、基準マークを検出することを繰り返し、調整した検出位置で基準マークを検出できた際に、この調整した検出位置に応じて全ての基準マークの前記理論位置を更正し、この更正した理論位置に応じて前記検出動作を行うことを特徴とする検出装置を提供するものである。

上記の目的を達成するために、本発明は、ワークに形成された基準マークを検出して、この検出結果に応じてワーク上における描画位置を設定して、描画手段によってワークを描画する描画装置において、前記基準マークを検出する検出方法であって、前記描画位置の設定のための基準マークの検出において、前記基準マークの理論位置を入力し、前記入力した理論位置で少なくとも１つの基準マーク検出手段を用いて少なくとも１つの基準マークの検出を行い、前記理論位置で基準マークを検出できた場合には、入力した基準マークの理論位置に応じて前記検出を行い、前記理論位置で基準マークを検出できなかった場合には、前記理論位置に対して検出手段による検出位置を調整し、再度、基準マークを検出することを繰り返し、調整した位置で基準マークを検出できた際に、この調整した検出位置に応じて全ての基準マークの前記理論位置を更正し、この更正した理論位置に応じて前記検出を行うことを特徴とする検出方法を提供するものである。

本発明によれば、アライメントを行うためにアライメントマークの撮影を行う前に、使用する基板や描画する画像に応じたアライメントマークの理論位置（予測位置）でアライメントマークを取得できなかった場合でも、自動的に、アライメントマークの取得位置を調整し、アライメントマークの再取得を実施（リトライ）するので、アライメントマーク理論位置の再演算結果の再入力を不要として、操作性を向上させ、且つ、アライメントに要する時間を短縮することができる。

以下に、添付の図面に示す好適実施形態に基づいて、本発明の露光装置を詳細に説明する。

図１には、本発明の一実施形態に係る露光装置が示されている。また、図２には本実施形態に係る露光装置に適用されるアライメントユニットが示され、図３〜図７には本実施形態に係る露光装置に適用される露光ヘッド及び空間光変調素子が示されている。図８は、本発明の一実施形態に係る露光装置に設けられたコントローラにおける制御用の電気系の概略構成を示すブロック図である。

図１に示すように、露光装置１０は、４本の脚部１２に支持された矩形厚板状の設置台１４を備えている。設置台１４の上面には、長手方向に沿って２本のガイド１６が延設されており、これら２本のガイド１６上には、矩形平盤状のステージ１８が設けられている。ステージ１８は、長手方向がガイド１６の延設方向を向くよう配置され、ガイド１６により設置台１４上を往復移動可能に支持されており、図示しない駆動装置に駆動されてガイド１６に沿って走査方向（図１の矢印Ｙ方向）に往復移動する。

ステージ１８の上面には、露光対象物となる矩形板状の感光材料２０が図示しない搬送手段もしくはオペレータにより所定の載置位置に位置決めされた状態で載置される。このステージ１８の上面（感光材料載置面）には、図示しない複数の溝部が形成されており、それらの溝部内が負圧供給源によって負圧とされることにより、感光材料２０はステージ１８の上面に吸着されて保持される。
また、感光材料２０には、露光位置の基準となるアライメントマーク２２が複数設けられている。本実施形態では、アライメントマーク２２は、円形の貫通孔であり、感光材料２０の四隅近傍にそれぞれ１個づつと、この四隅に配置されたアライメントマーク２２を走査方向（矢印Ｙ方向）に結んだ直線上に一定間隔を空けて片側６個づつ配置されている。すなわち、図示例においては、Ｙ方向の１列で８個、計１６個のアライメントマーク２２が形成されている。なお、本実施形態では、アライメントマーク２２は、上述のようにＹ方向に１列８個で２列に配置されているが、これらの数は、感光材料のサイズや描画しようとするパターンのサイズ等に応じて、適宜調整される。例えば、アライメントマーク２２の列数は、１列又は２以上の複数列にすることができるし、列内の個数も、数個〜数十個又はそれ以上にすることができる。
さらに、後述するアライメントマーク２２の撮影を好適に行うために、ステージ１８の表面は、黒色となっている。

設置台１４の中央部には、ステージ１８の移動経路（矢印Ｙ方向）と直交する矢印Ｘ方向に跨ぐようにコ字状のゲート２４が設けられている。ゲート２４は、両端部がそれぞれ設置台１４の両側面に固定されており、ゲート２４の矢印Ｙ方向の一方の側（計測方向下流側）に、感光材料２０を露光するスキャナ２６が設けられ、スキャナ２６の矢印Ｙ方向（計測方向下流側）の面には感光材料２０に設けられたアライメントマーク２２を撮影する複数（図示例では、４台）のＣＣＤカメラ２８（２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ）を備えたアライメントユニット３０が設けられている。さらに、アライメントユニット３０の矢印Ｙ方向（計測方向下流側）の面には感光材料２０の表面を検出し、その高さを測る変位センサ３１が設けられている。
なお、本発明において、アライメントマークを撮影するＣＣＤカメラ（アライメントカメラ）２８は、図示例の４台に限定はされず、３台以下でも５台以上でもよい。また、Ｘ方向のアライメントマークの数と、ＣＣＤカメラ２８の数とは、必ずしも、一致していなくてもよい。しかしながら、アライメントマーク撮影の効率等を考慮すると、対応する基板のＸ方向のアライメントマークの数以上のＣＣＤカメラ２８を有するのが好ましい。

図２に示すように、アライメントユニット３０は、スキャナ２６に取り付けられる矩形状のユニットベース３２を備えている。
ユニットベース３２のカメラ配置面側には、矢印Ｘ方向に沿って一対のガイドレール３４が延設されており、アライメントマーク２２を撮影するアライメントカメラである各ＣＣＤカメラ２８は、これら一対のガイドレール３４に摺動可能に案内されると共に、各々のＣＣＤカメラ２８に個別に用意されたボールネジ機構３６及びそれを駆動する図示しないステッピングモータ等の駆動源により、矢印Ｘ方向に移動する。また、各ＣＣＤカメラ２８は、カメラ本体２５の先端に設けられたレンズ部２７を下方へ向けると共にレンズ光軸が略垂直になる姿勢で配置されており、このレンズ部２７の先端部にはリング状のストロボ光源（ＬＥＤストロボ光源）２９が取り付けられている。

後に詳述するが、露光装置１０では、感光材料２０の露光に先立ち、感光材料２０のアライメントマーク２２を撮影して位置を取得（検出）し、その結果に応じて、露光位置を設定（調整）するアライメントを行う。
感光材料２０のアライメントマーク２２を撮影する際には、まず、ボールねじ機構３６によりＣＣＤカメラ２８を矢印Ｘ方向に移動して、アライメントマーク２２の矢印Ｘ方向の理論位置とする。次に、駆動装置によりステージ１８を走査方向（矢印Ｙ方向）に移動して、矢印Ｙ方向のアライメントマーク２２の理論位置において、ストロボ光源２９を発光させ、感光材料２０へ照射したストロボ光の感光材料２０上面での反射光をレンズ部２７を介してカメラ本体２５に入力させることにより、アライメントマーク２２を撮影する。なお、理論位置とは、感光材料の種類や描画する画像に応じて求められるアライメントマーク２２が存在すべき予測位置である。

また、ステージ１８の駆動装置、スキャナ２６、ＣＣＤカメラ２８、及びＣＣＤカメラを移動させるための駆動源は、これらを制御するコントローラ３８に接続されている。このコントローラ３８により、後述する露光装置１０の露光動作時には、ステージ１８は所定の速度で移動するように制御され、ＣＣＤカメラ２８はアライメントマーク２２の理論位置に配置されてアライメントマーク２２の理論位置に応じた所定のタイミングで感光材料２０のアライメントマーク２２を撮影するよう制御され、スキャナ２６は所定のタイミングで感光材料２０を露光するよう制御される。また、ＣＣＤカメラ２８が撮影した画像（画像データ）は、コントローラ３８に出力され、画像の解析等が行われる。

このようなアライメントマーク２２の撮影は、一例として、オペレータによって入力されたアライメントマーク２２の理論位置、あるいは、特許文献１に開示されるように、ホストコンピュータから入力されたアライメントマーク２２の理論位置に応じて行う。
ここで、通常の露光装置１０では、アライメントマーク２２の撮影時に、最初に撮影すべきアライメントマーク２２が取得できなかった場合には、エラー発生となり、アライメントマーク２２の撮影を中止し、理論位置の再演算、再入力およびＣＣＤカメラの矢印Ｘ方向の位置調整を再度行う必要がある。これに対し、本発明においては、理論位置でアライメントマーク２２が取得出来なかった場合にも、撮影位置を変更してアライメントマーク２２の再撮影を行うことにより、理論位置の再入力を不要として、操作性や作業効率の向上を図っている。アライメントマーク２２の撮影に関しては、後に詳述する。

図３に示すように、スキャナ２６の内部にはｍ行ｎ列（例えば、２行４列）の略マトリックス状に配列された複数（例えば、８個）の露光ヘッド４０が設置されている。

露光ヘッド４０による露光エリア４２は、例えば走査方向を短辺とする矩形上に構成する。この場合、感光材料２０には、その走査露光の移動動作に伴って露光ヘッド４０毎に帯状の露光済み領域４４が形成される。

また、図３に示すように、帯状の露光済み領域４４が走査方向と直交する方向に隙間無く並ぶように、ライン状に配列された各行の露光ヘッド４０の各々は、配列方向に所定間隔（露光エリアの長辺の自然倍数）ずらして配置されている。このため、例えば第１行目の露光エリア４２と第２行目の露光エリア４２との間の露光できない部分は、第２行面の露光エリア４２により露光することができる。

図４に示すように、各露光ヘッド４０は、それぞれ入射された光ビームを画像データに応じて各画素毎に変調する空間光変調素子として、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）４６を備えている。このＤＭＤ４６は、データ処理部とミラー駆動制御部とを備えた上述のコントローラ３８に接続されている。

コントローラ３８のデータ処理部では、入力された画像データに基づいて、各露光ヘッド４０毎にＤＭＤ４６の制御すべき領域内の各マイクロミラーを駆動制御する制御信号を生成する。なお、制御すべき領域については後述する。また、ＤＭＤコントローラとしてのミラー駆動制御部では、データ処理部で生成した制御信号に基づいて、各露光ヘッド４０毎にＤＭＤ４６における各マイクロミラーの反射面の角度を制御する。なお、反射面の角度の制御については後述する。

各露光ヘッド４０におけるＤＭＤ４６の光入射側には、図１に示すように、紫外波長領域を含む一方向に延在したマルチビームをレーザ光として出射する照明装置４８からそれぞれ引き出されたバンドル状の光ファイバ５０が接続される。

照明装置は、図示は省略するがその内部に、複数の半導体レーザチップから出射されたレーザ光を合波して光ファイバに入力する合波モジュールが複数個設置されている。各合波モジュールから延びる光ファイバは、合波したレーザ光を伝搬する合波光ファイバであって、複数の光ファイバが１つに束ねられてバンドル状の光ファイバ５０として形成される。

また各露光ヘッド４０におけるＤＭＤ４６の光入射側には、図４に示すように、光ファイバ５０の接続端部から出射されたレーザ光を均一の照明光にする均一照明光学系５２と、均一光学系５２を透過したレーザ光をＤＭＤ４６に向けて反射するミラー５４とが配置されている。

各露光ヘッド４０におけるＤＭＤ４６の光反射側に設けられる投影光学系は、ＤＭＤ４６の光反射側の露光面にある感光材料２０上に光源像を投影するため、ＤＭＤ４６側から感光材料２０へ向かって順に、レンズ系５６、マイクロレンズアレイ５８、対物レンズ系６０の各露光用の光学部材が配置されて構成されている。

ここで、レンズ系５６及び対物レンズ系６０は、図４に示すように複数枚のレンズ（凸レンズや凹レンズ等）を組み合わせた拡大光学系として構成されており、ＤＭＤ４６により反射されるレーザビーム（光線束）の断面積を拡大することで、ＤＭＤ４６により反射されたレーザビームによる感光材料２０上の露光エリア４４の面積を所定の大きさに拡大している。なお、感光材料２０は、対物レンズ系６０の後方焦点位置に配置される。

マイクロレンズアレイ５８は、図４に示すように、照明装置４８から各光ファイバ５０を通じて照射されたレーザ光を反射するＤＭＤ４６の各マイクロミラー６４に１対１で対応する複数のマイクロレンズ６２が２次元状に配列され、一体的に形成されて矩形平板状に形成されたものであり、各マイクロレンズ６２は、それぞれレンズ系５６を透過した各レーザビーム（露光ビーム）の光軸上にそれぞれ配置されている。

またＤＭＤ４６は、図５に示すように、ＳＲＡＭセル（メモリセル）６６上に、マイクロミラー（微小ミラー）６４が支柱により支持されて配置されたものであり、画素（ピクセル）を構成する多数の（例えば、６００個×８００個）の微小ミラーを格子状に配列したミラーデバイスとして構成されている。各ピクセルには、最上部に支柱に支えられたマイクロミラー６４が設けられており、マイクロミラー６４の表面にはアルミニウム等の反射率の高い材料が蒸着されている。

また、マイクロミラー６４の直下には、図示しないヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭセル６６が配置されており、全体はモノシリック（一体型）に構成されている。

ＤＭＤ４６のＳＲＡＭセル６６にデジタル信号が書き込まれると、支柱に支えられたマイクロミラー６４は、対角線を中心としてＤＭＤ４６が配置された基板側に対して±α度（例えば±１０度）の範囲で傾けられる。図６には、ＤＭＤ４６の一部を拡大し、マイクロミラー６４が＋α度又は−α度に制御されている状態の一例を示しており、図６（Ａ）は、マイクロミラー６４がオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、図６（Ｂ）は、マイクロミラー６４がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。したがって、画像信号に応じて、ＤＭＤ４６の各ピクセルにおけるマイクロミラー６４の傾きを、図６に示すように制御することによって、ＤＭＤ４６に入射された光はそれぞれのマイクロミラー６４の傾き方向へ反射される。

それぞれのマイクロミラー６４のオンオフ（ｏｎ／ｏｆｆ）制御は、ＤＭＤ４６に接続されたコントローラ３８のミラー駆動制御部によって行われ、オン状態のマイクロミラー６４により反射された光は露光状態に変調され、ＤＭＤ４６の光出射側に設けられた投影光学系（図４参照）へ入射する。またオフ状態のマイクロミラー６４により反射された光露光状態に変調され、光吸収体（図示省略）に入射する。

また、ＤＭＤ４６は、その短辺方向が走査方向と所定角度（例えば、０．１〜０．５℃）を成すように僅かに傾斜させて配置するのが好ましい。図７（Ａ）はＤＭＤ４６を傾斜させない場合の各マイクロミラーによる反射光像（露光ビーム）６６の走査軌跡を示し、図７（Ｂ）はＤＭＤ４６を傾斜させた場合の露光ビーム６６の走査軌跡を示している。

ＤＭＤ４６には、長手方向（行方向）に沿ってマイクロミラー６６が多数個（例えば、８００個）配列されたマイクロミラー列が、短手方向に多数汲み（例えば、６００組）配列されているが、図７（Ｂ）に示すように、ＤＭＤ４６を傾斜させることにより、各マイクロミラー６４による露光ビーム６６の走査軌跡（走査線）のピッチＨ_２が、ＤＭＤ４６を傾斜させない場合の走査線のピッチＨ_１より狭くなり、解像度を大幅に向上させることができる。一方、ＤＭＤ４６の傾斜角は微小であるので、ＤＭＤ４６を傾斜させた場合の走査幅Ｗ_２と、ＤＭＤ４６を傾斜させない場合の走査幅Ｗ_１とは略同一である。

また、異なるマイクロミラー列により同じ走査線上における略同一の位置（ドット）が重ねて露光（多重露光）されることになる。このように、多重露光されることで、露光位置の微少量をコントロールすることができ、高精細な露光を実現することができる。また、走査方向に配列された複数の露光ヘッド間のつなぎ目を微少量の露光位置制御により段差無くつなぐことができる。

なお、ＤＭＤ４６を傾斜させる代わりに、各マイクロミラー列を走査方向と直交する方向に所定間隔ずらして千鳥状に配置しても、同様の効果を得ることができる。

次に、本実施形態の露光装置１０に設けられたコントローラ３８における制御用の電気系の概略構成を、図８のブロック図を用いて説明する。

コントローラ３８における制御用の電気系では、バス６８を介して、ＣＣＤカメラ２８と、装置各部の制御を統括して行う主制御部で且つ前述したデータ処理部としてのＣＰＵ７０と、オペレータが指令を入力するためコントローラ３８に装着されたスイッチ類を有する指示入力手段７２と、画像データ等が一時的に記憶されるメモリ７４と、後述する更正用データが記憶されるメモリ７６と、それぞれのＤＭＤ４６における各々のマイクロミラー６４を制御するミラー駆動制御部としてのＤＭＤコントローラ７８と、各ＣＣＤカメラ２８を移動させるための駆動源（ステッピングモータ等）を駆動制御するカメラ移動用コントローラ３８と、感光材料２０が載置されたステージ１８を走査方向に移動させるための駆動装置等を駆動制御するステージ駆動用コントローラ３８と、その他に、露光装置１０で露光処理する際に必要となる照明装置４８といった各種装置の制御を行う露光処理制御用コントローラ８０とが接続されて構成されている。

この制御用の電気系で露光処理を行う場合には、オペレータが、コントローラ３８の指示入力手段７２を操作して、例えば露光処理の対象となる画像データ等の指示を入力する。すると、画像データが伝達されたＣＰＵ７０は、画像データを一旦メモリ７４に格納し、露光処理開始の指令によって、メモリ７４から読み出した画像データに基づいて画像の形成処理を行うようＤＭＤコントローラ７８を制御し、かつステージ駆動用コントローラ８２と露光処理制御用コントローラ８０とにより駆動装置、照明装置４８等を制御して露光処理を行う。

次に、上記のように構成された露光装置１０による感光材料２０に対する露光動作について、図９〜図１１を用いて説明する。
なお、図９は、図１に示す本発明の露光装置のうち、本発明に係るＣＣＤカメラ２８の撮影位置の調整に主要な部材のみを模式的に表わした図である。図１０は、本発明に係るアライメントのフローチャートを示し、図１１は、ＣＣＤカメラ２８によるアライメントマーク２２の撮影位置の調整を模式的に示した図である。また、図面を明瞭にするため、図９では、ゲート２４は省略する。

先ず、露光形成する回路パターンに応じた画像データがコントローラ３８に入力されると、コントローラ３８内のメモリ７６に一旦記憶される。この画像データは、画像を構成する各画素の濃度を２値（ドットの記録の有無）で表したデータである。
次に、感光材料２０を図示しない搬送手段を用いてステージ１８の所定位置（本例では、ステージの中央）に載置し、また、上述のように感光材料２０上に設けられた全てのアライメントマーク（ＡＭ）２２の理論位置（予測位置）をオペレータが入力する（Ｓ０）。次いで、オペレータがコントローラ３８の指示入力手段７２から露光開始の入力操作を行う（Ｓ１）。
なお、露光装置１０により画像露光を行う感光材料２０としては、プリント配線基板や液晶表示素子等のパターンを形成（画像露光）する材料としての基板やガラスプレート等の表面に、感光性エポキシ樹脂等のフォトレジストを塗布、又は、ドライフィルムの場合はラミネートしたものなどが挙げられる。

前述のように露光装置１０では、露光に先立ってアライメントが行われる。
アライメントでは、まず、複数（図示例では、４つ）のＣＣＤカメラ２８のうち、予め決められている１つのＣＣＤカメラ２８（本実施例では、図９に描写されるＣＣＤカメラ２８のうち一番右側のＣＣＤカメラ２８ａとする）の撮影位置とアライメントマーク２２の理論位置とを一致させる（Ｓ２）。ここでは、コントローラ３８がＣＣＤカメラ２８ａのボールねじ機構３６を制御して、ＣＣＤカメラ２８ａを矢印Ｘ方向に移動して、矢印Ｘ方向のアライメントマーク２２の理論位置とし、且つ、コントローラ３８が駆動装置を制御して、ステージ１８を矢印Ｙ方向（計測方向）に移動して、矢印Ｙ方向のアライメントマーク２２の理論位置として、ＣＣＤカメラ２８ａの撮影位置とアライメントマーク２２の理論位置とを一致させる。次いで、ＣＣＤカメラ２８ａは、所定のタイミングで、アライメントマーク２２の撮影を行う（Ｓ３）。

ＣＣＤカメラ２８ａによる撮像データは、コントローラ３８で解析され、アライメントマーク２２が撮影できたか否か（アライメントマーク２２の取得の成否）が判定される。
ここで、ＣＣＤカメラ２８ａによりアライメントマーク２２を取得（検出）することができた場合には、理論位置とアライメントマーク２２の実際の位置とが一致していると認識されアライメントマーク２２を撮影する残りのＣＣＤカメラ２８（本実施例では、図９に描画されるＣＣＤカメラ２８のうち一番左側のＣＣＤカメラ２８ｄ）の撮影位置と対応するアライメントマーク２２のＸ方向の理論位置とを一致させる（Ｓ４）。
すなわち、ＣＣＤカメラ２８ａの場合と同様に、コントローラ３８により、アライメントマーク２２の撮影を行う残りのＣＣＤカメラ２８ｄのボールねじ機構３６が制御され、ＣＣＤカメラ２８を矢印Ｘ方向（走査方向）に移動し、その撮影位置をアライメントマーク２２の矢印Ｘ方向の理論位置とする。なお、全てのＣＣＤカメラ２８ｄは、アライメントユニット３０として一体型となっているので、矢印Ｙ方向には全てのＣＣＤカメラ２８が一緒に移動する。

残りのＣＣＤカメラ２８の撮影位置とアライメントマーク２２の矢印Ｘ方向の理論位置とを一致させた後、コントローラ３８が駆動装置を制御して、必要に応じてステージ１８をアライメントマーク２２の撮影開始位置に移動し、ステージ１８を矢印Ｙ方向（計測方向）に移動すると共に、アライメントマーク２２の矢印Ｙ方向の理論位置においてコントローラ３８がストロボを発光させ、ＣＣＤカメラ２８によってアライメントマークを撮影させる（Ｓ５）。
全てのアライメントマーク２２の撮影が完了したら、コントローラ３８が撮像データを解析して、次いで、アライメントマーク撮影時のＣＣＤカメラ２８の位置を用いてアライメントマーク２２の位置を検出し、さらに検出したアライメントマーク２２の位置に応じて、画像の露光位置の設定（調整）を行う（アライメント演算）（Ｓ６）。その後、この露光位置の設定に応じて、感光材料の露光が開始される（Ｓ７）。

一方、理論位置で、ＣＣＤカメラ２８ａによりアライメントマーク２２を取得することができなかった場合には、ＣＣＤカメラ２８ａの撮影位置の調整を実施する。

理論位置で、ＣＣＤカメラ２８ａによりアライメントマーク２２を取得することができなかった場合には、ＣＣＤカメラ２８ａの撮影位置を矢印Ｘ方向および／または矢印Ｙ方向に変更した図１２のＰ₁〜Ｐ₈で示す調整位置上に順次、移動させて、アライメントマーク２２の撮影を実施する。
図１２は、＊で示す理論位置と調整位置８点とを表す図である。本実施例では、８点それぞれにＰ₁からＰ₈までの番号を付し、番号の若い位置から順番にＣＣＤカメラ２８ａの撮影位置を変更し、アライメントマーク２２の撮影を実施するものとする。なお、ＣＣＤカメラ２８ａの撮影位置と一致させる順番は、上記の例に限定されないことは言うまでもない。また、この撮影位置の調整においてＣＣＤカメラ２８ａの撮影位置の矢印Ｘ方向への移動は、コントローラ３８による制御の下にＣＣＤカメラ２８ａのボールねじ機構３６を用いて行い、矢印Ｙ方向（走査方向）への移動は、コントローラ３８による制御の下、駆動装置によってステージ１８を移動して行えばよいのは、先と同様である。
ＣＣＤカメラ２８による撮影位置の調整は、好ましい態様として、いずれの方向に移動する場合もＣＣＤカメラ２８の視野角の半分（以下、半画素とする）とするが、これに限定はされない。移動を半画素とすることにより、理論位置を中心に視野角の倍の領域をもれなく走査をすることができる。なお、これ以上、アライメントマーク２２が理論位置から離れていた場合には、通常、何らかのトラブルが発生している可能性が考えられる。

理論位置でアライメントマーク２２を取得できなかった場合には、ＣＣＤカメラ２８ａによる撮影位置を、理論位置から矢印Ｘ方向に半画素移動（前述のように、アライメントユニット３０のボールネジ機構３６により移動）し、かつ、矢印Ｙ方向に半画素移動（同ステージ１８の移動）することにより、まず、撮影位置を調整位置Ｐ₁に一致させ（Ｓ８）、再度、アライメントマーク２２の撮影を行う（Ｓ９）。
調整位置Ｐ₁でアライメントマーク２２を取得できた場合には、全てのアライメントマーク２２の理論位置を、この調整位置Ｐ₁に対応する位置に更正する（以下、この位置を更正位置とする、Ｓ１０）。次いで、アライメントマーク２２を撮影するＣＣＤカメラ２８ｄを矢印Ｘ方向に移動して、各アライメントマークを撮影するＣＣＤカメラ２８の矢印方向の位置を調整位置Ｐ₁に対応する位置すなわち更正位置とする。なお、ＣＣＤカメラ２８ａの調整位置Ｐ₁への移動と並行して、他のＣＣＤカメラ２８ｄも調整位置Ｐ₁に対応する位置に矢印Ｘ方向に移動してもよい。
以降は、先と同様に、必要に応じてステージ１８を撮影開始位置に移動した後、ステージ１８を矢印Ｙ方向（計測方向）に走査して、ＣＣＤカメラ２８による撮影位置が矢印Ｙ方向の更正位置となった時点で撮影を行い、全てのアライメントマーク２２を撮影する（Ｓ５）。撮影を終了したら、先と同様にアライメントマーク２２の位置を検出してアライメント演算を行い（Ｓ６）、その後、露光を開始する（Ｓ７）。

調整位置Ｐ₁でもアライメントマーク２２を取得できなかった場合には、ＣＣＤカメラ２８ａによる撮影位置を調整位置Ｐ₁から矢印Ｙ方向に半画素移動することにより、撮影位置を調整位置Ｐ₂に一致させ（Ｓ１１）、再度、アライメントマーク２２の撮影を行う（Ｓ１２）。
この位置でアライメントマーク２２が取得できた場合には、先と同様に、全てのアライメントマーク２２の理論位置を、この調整位置Ｐ₂に対応する位置に更正し、他のＣＣＤカメラ２８ｄも矢印Ｘ方向に移動して、必要に応じてステージ１８を撮影開始位置に移動した後、ステージ１８を矢印Ｙ方向（計測方向）に走査して（Ｓ１３）、ＣＣＤカメラ２８による撮影位置が矢印Ｙ方向の更正位置となった時点で撮影を行い、全てのアライメントマークを撮影する（Ｓ５）。撮影を終了したら、先と同様にアライメントマーク２２の位置を検出してアライメント演算を行い（Ｓ６）、その後、露光を開始する（Ｓ７）。

調整位置Ｐ₂でもアライメントマーク２２を取得できなかった場合には、同様に、ＣＣＤカメラ２８ａによる撮影位置を矢印Ｙ方向に半画素移動して調整位置Ｐ₃に一致させて、再度アライメントマークの撮影を行い、アライメントマーク２２を取得できた場合には、同様に、この調整位置Ｐ₃に対応する位置を更正位置としてアライメントマーク２２の撮影やアライメント演算等を行う。
さらに、調整位置Ｐ₃でも、アライメントマーク２２を取得できなかった場合には、同様にＣＣＤカメラ２８ａを矢印Ｘ方向に半画素移動して撮影位置を調整位置Ｐ₄に一致させて、再度アライメントマーク２２の撮影を行い、アライメントマーク２２を取得できた場合には、先と同様に、この調整位置Ｐ₄に対応する位置を更正位置として全てのアライメントマーク２２の撮影やアライメント演算等を行って、露光を開始し、調整位置Ｐ₄でもアライメントマーク２２を取得できなかった場合には、次いで、ＣＣＤカメラ２８ａによる撮影位置を調整位置Ｐ₅に変更し、以下、同様に、調整位置Ｐ₆、調整位置Ｐ₇、調整位置Ｐ₈と、アライメントマーク２２を取得できるまで、順次、撮影位置を変更して、アライメントマーク２２の撮影を行う（Ｓ１４、Ｓ１５）。

このようにして、調整位置Ｐ₈までアライメントマーク２２の撮影を行い、調整位置Ｐ₈で、ＣＣＤカメラ２８ａによりアライメントマーク２２を取得することができなかった場合には、コントローラ３８がエラー信号を発生して（Ｓ１４）、オペレータによる全てのアライメントマーク２２の予想位置の再入力や、感光材料２０の再載置（Ｓ０）を促し、再度、フローチャートのＳ１もしくはＳ０からの操作を行う。

以上の説明より明らかなように、本発明の露光装置１０によれば、例えば環境温度に起因する感光材料２０が膨張収縮によって、アライメントマーク２２の理論位置と実際のアライメントマーク２２の位置とに誤差を生じ、理論位置での撮影によってアライメントマーク２２を取得できなかった場合でも、自動的にＣＣＤカメラ２８により撮影位置を調整して、アライメントマーク２２の再撮影（アライメントマーク撮影のリトライ）を行うので、アライメントマーク２２の理論位置の再演算や再入力が不要となり、アライメントの効率を大幅に向上できる。

前述のように、アライメント演算が終了すると、露光が開始される。すなわち、ステージ１８を矢印Ｙ方向（露光方向）に移動することにより、感光材料２０はステージ１８の移動に伴いスキャナ２６を矢印Ｙ方向（露光方向の下流側）へ移動し、被露光面の画像露光領域が露光開始位置に達すると、スキャナ２６の各露光ヘッド４０は光ビームを照射して感光材料２０の被露光面に対する画像露光を開始する。

ここで、コントローラ３８のメモリ７４、７６に記憶された画像データが複数ライン分ずつ順次読み出され、データ処理部としてのＣＰＵ７０で読み出された画像データに基づいて各露光ヘッド３０毎に制御信号が生成される。この制御信号には、前述した補正制御（アライメント）により、アライメント測定した感光材料２０に対する露光位置ずれの補正が加えられる。そして、ミラー駆動制御部としてのＤＭＤコントローラ７８は、生成及び補正された制御信号に基づいて露光ヘッド４０毎にＤＭＤ４６のマイクロミラーの各々をオンオフ制御する。
照明装置４８の光ファイバ５０から出射されたレーザ光がＤＭＤ４６に照射されると、ＤＭＤ４６のマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光は、マイクロレンズアレイ５８の各対応するマイクロレンズ６２を含むレンズ系により感光材料２０の露光面上に結像される。このようにして、照明装置４８から出射されたレーザ光が画素毎にオンオフされて、感光材料２０がＤＭＤ４６の使用画素数と略同数の画素単位（露光エリア）で露光される。

また、感光材料２０がステージ１８と共に一定速度で移動されることにより、感光材料２０がスキャナ２６によりステージ移動方向と反対の方向に走査され、露光ヘッド４０毎に帯状の露光済み領域４４（図２に図示）が形成される。

スキャナ２６による感光材料２０の画像露光が完了すると、ステージ１８は駆動装置によりそのまま露光方向の下流側へ駆動されて露光方向の最下流側（アライメント計測方向の最上流側）にある原点に復帰する。以上により、露光装置１０による感光材料２０に対する露光動作が終了する。

以上、本発明を上述した実施の形態により詳細に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能である。

例えば、本実施形態においては、最初の理論位置におけるアライメントマーク２２の撮影を走査を行わない状態で行っているが、本発明は、これに限定はされず、例えば、矢印Ｙ方向（走査方向）に多数のアライメントマーク２２を有している感光材料２０を用いる場合であれば、走査しながら、理論位置において最初のアライメントマーク２２の撮影を行ってもよい。
この際においては、理論位置でアライメントマーク２２を取得できなかった場合には、ＣＣＤカメラ２８を各調整位置に対応して矢印Ｘ方向に移動して、且つ、撮影タイミングを各調整位置に対応する位置に変更することにより矢印Ｙ方向の撮影位置を調整して、ＣＣＤカメラ２８による撮影位置を、順次、各調整位置Ｐ₁〜Ｐ₈に対応する位置に変更して、アライメントマーク２２を取得できるまで、アライメントマーク２２の撮影を行えばよい。
なお、この方法を用いる場合には、アライメントマーク２２を取得したら、ステージ１８をアライメントマーク２２の撮影開始位置まで戻して、アライメント測定において全てのアライメントマーク２２を撮影するようにする必要がある。

また、本実施形態において露光に先立ち実施されるアライメント測定では、ＣＣＤカメラ２８ａは予め決定されているものとしているが、ＣＣＤカメラ２８ａを複数台あるアライメントカメラ２８のうちから選択する機能を有してもよい。さらに、２以上のＣＣＤカメラ２８で、理論位置の最初のアライメントマーク２２の撮影を行ってもよい。
また、最終的に、調整位置Ｐ₈において、ＣＣＤカメラ２８ａによりアライメントマーク２２を取得できなかった場合には、エラー信号を発生させ、再度オペレータにより、全てのアライメントマーク２２の理論位置を入力することとしているが、エラー信号を発生させず、ステージ１８に対する感光材料２０の載置位置の設定を自動的に変更し、再度、アライメント測定を実施してもよい。例えば、本実施形態では、ステージ１８の中央位置に感光材料２０を載置しているが、ステージ１８の任意の場所に突き当てピンを設け、この突き当てピンに感光材料２０を当てて、マニュアル載置する場合もある。このように感光材料２０のステージ１８上の載置箇所には、いくつかの選択肢が設定されているため、最初の設定とは異なった場所に感光材料２０が載置されている場合があることを想定して、調整位置Ｐ₈において、ＣＣＤカメラ２８ａによりアライメントマーク２２を検出することができなかった場合には、エラー信号を出すのではなく、ステージ１８上における感光材料２０の載置場所の設定を自動的に変更し、それに伴い、アライメントマーク２２の予想位置の設定も変更し、再度上記と同様のアライメント測定動作を実施するようにしてもよい。

本実施形態における露光装置１０の感光材料２０に対する露光動作では、ステージ１８を移動させつつ感光材料２０を走査露光する場合について説明したが、露光動作はこのような走査露光に限らず、他にも、最初の露光位置まで移動させた感光材料２０を一旦停止して所定の露光領域のみを露光し、その露光後に、感光材料２０を次の露光位置まで移動させて再び停止し次の所定の露光領域のみを露光する、というように、感光材料２０の移動→露光位置に停止→画像露光→移動・・・・・・・・を繰り返すような動作としてもよい。
さらに、ステージ１８を移動することで走査を行うのではなく、ゲート２４を移動することで走査をおこなってもよく、あるいは、アライメントマーク２２の撮影のために、アライメントユニット３０のみを走査する構成としてもよい。

本実施形態おける感光材料２０上のアライメントマーク２２は、感光材料２０の四隅近傍にそれぞれ１個づつと、この四隅に配置されたアライメントマーク２２を走査方向（矢印Ｙ方向）に結んだ直線上に一定間隔を空けて片側６個ずつ（Ｙ方向の１列で８個、計１６個）配置されているが、配置箇所、配置数共に計１６個に限定されるものではない。

本実施形態における露光装置１０では、走査方向への移動は、ステージ１８を移動させているが、アライメントユニット３０および露光ヘッド４０が固定されているゲート２４が移動する構成としてもよい。さらに、アライメントユニット３０と露光ヘッド４０とが一体型に構成されているが、アライメントユニット３０と露光ヘッド４０とが各々独立した構成としても良い。

また、本実施形態における露光装置１０では、空間変調素子としてＤＭＤを備えた露光ヘッドについて説明したが、このような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）タイプの空間変調素子（ＳＬＭ；Ｓｐｅｃｉａｌ Ｌｉｇｈｔ Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基板としてマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、Ｇｒａｔｉｎｇ Ｌｉｇｈｔ Ｖａｌｖｅ（ＧＬＶ）を複数ならべて二次元上に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。

また、本実施形態における光源としては、合波レーザ光源を複数備えたファイバアレイ光源、１個の発光点を有する単一の半導体レーザから入射されたレーザ光を出射する１本の光ファイバを備えたファイバ光源をアレイ化したファイバアレイ光源、複数の発光点が２次元状に配列された光源（例えば、ＬＤアレイ、有機ＥＬアレイ等）、等が適用可能である。

また、上記の露光装置１０には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＧａＮ系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザ（赤外レーザ）、固体レーザが使用される。

さらに、以上の実施例は、感光材料に画像を形成するものであるが、本発明は、これ以外にも、例えばプリント配線基板や液晶表示素子等となる各種の被記録媒体（ワーク）が利用可能であり、また、画像形成方法も、露光に限定はされず、ワークに応じた各種の描画方法が利用可能である。

本発明の一実施形態に係る露光装置を示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係るアライメントユニットの構成を示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係るスキャナの構成を示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係る露光ヘッドの光学系を示す概略構成図である。 本発明の一実施形態に係る露光装置に設けられたＤＭＤの構成を示す部分拡大図である。 （Ａ）及び（Ｂ）は図５のＤＭＤの動作を説明するための説明図である。 （Ａ）は、本発明の一実施形態に係る露光装置において検出用スリットを利用して点灯している特定画素と光の回り込み画素を検出する状態を示す説明図、（Ｂ）は、点灯している特定画素をフォトセンサが検知したときの信号を示す説明図である。 本発明の一実施形態に係る露光装置に設けられたコントローラにおける制御用の電気系の概略構成を示すブロック図である。 本発明の露光装置のうち、本発明に係るアライメントマークの読取位置の調整に主要な部材のみを模式的に表わした図である。 本発明に係るアライメント測定のフローチャートを示す図である。 ＣＣＤカメラによるアライメントマーク２２の撮影位置の調整を模式的に示した図である。

符号の説明

１０ 露光装置
１２ 脚部
１４ 設置台
１６ ガイド
１８ ステージ
２０ 感光材料
２２ アライメントマーク
２４ ゲート
２５ カメラ本体
２６ スキャナ
２７ レンズ部
２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ ＣＣＤカメラ
２９ ストロボ光源
３０ アライメントユニット
３１ 変位センサ
３２ ユニットベース
３４ ガイドレール
３６ ボールねじ機構
３８ コントローラ
４０ 露光ヘッド
４２ 露光エリア
４４ 露光済み領域
４６ デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）
４８ 照明装置
５０ 光ファイバ
５２ 均一証明光学系
５４ ミラー
５６ レンズ系
５８ マイクロレンズアレイ
６０ 対物レンズ系
６２ マイクロレンズ系
６４ マイクロミラー
６６ ＳＲＡＭセル（メモリセル）
６８ バス
７０ ＣＰＵ
７２ 指示入力手段
７４ 画像データ等が一時的に記憶されるメモリ
７６ 更正用データが記憶されるメモリ
７８ ＤＭＤコントローラ
８０ 露光処理制御用コントローラ
８２ 駆動用コントローラ

Claims (11)

1. 感光材料に形成された基準マークを検出して、この検出結果に応じて感光材料上における露光位置を設定して、露光ヘッドによって感光材料を露光する露光装置において、前記基準マークを検出する検出装置であって、
   前記露光位置の設定のための基準マークの検出動作に先立ち、少なくとも１つの基準マークの検出手段によって、入力された基準マークの理論位置で少なくとも１つの基準マークの検出を行い、
   前記理論位置で基準マークを検出できた場合には、入力された基準マークの理論位置に応じて前記検出動作を行い、
   前記理論位置で基準マークを検出できなかった場合には、前記理論位置に対して検出手段による検出位置を調整して、再度、基準マークを検出することを繰り返し、調整した検出位置で基準マークを検出できた際に、この調整した検出位置に応じて全ての基準マークの前記理論位置を更正し、この更正した理論位置に応じて前記検出動作を行うことを特徴とする検出装置。
2. 前記検出位置の調整は、前記記入された理論位置に対する検出位置を中心として、検出視野の１／２、前記感光材料に対して前記検出手段による検出位置を移動することで行う請求項１に記載の検出装置。
3. 前記露光装置は、前記露光ヘッドと感光材料とを走査方向に相対的に移動しつつ、前記感光材料の露光を行うものであり、
   前記感光材料に対して、前記走査方向および走査方向と直交する方向の少なくとも一方に前記検出手段による検出位置を移動することにより、前記検出位置の調整を行う請求項１または２に記載の検出装置。
4. 前記理論位置に対する検出位置を中心として、前記走査方向および走査方向と直交する方向の少なくとも一方に移動する８点で基準マークを検出できなかった場合に、エラー信号を発生する請求項３に記載の検出装置。
5. 前記基準マークの検出を所定回数繰り返しても基準マークを検出できなかった場合に、エラー信号を発生する請求項１〜３のいずれかに記載の検出装置。
6. 前記基準マークの検出を所定回数繰り返しても基準マークを検出できなかった場合に、前記感光材料位置が異なる別の設定に対して基準マークの理論位置を変更して、再度、基準マークの検出を行う請求項１〜３のいずれかに記載の検出装置。
7. 感光材料に形成された基準マークを検出して、この検出結果に応じて感光材料上における露光位置を設定して、露光ヘッドによって感光材料を露光する露光装置において、前記基準マークを検出する検出方法であって、
   前記露光位置の設定のための基準マークの検出に先立ち、
   前記基準マークの理論位置を入力し、
   前記入力した理論位置で少なくとも１つの基準マーク検出手段を用いて少なくとも１つの基準マークの検出を行い、
   前記理論位置で基準マークを検出できた場合には、入力した基準マークの理論位置に応じて前記検出を行い、
   前記理論位置で基準マークを検出できなかった場合には、前記理論位置に対して検出手段による検出位置を調整し、再度、基準マークを検出することを繰り返し、調整した位置で基準マークを検出できた際に、この調整した検出位置に応じて全ての基準マークの前記理論位置を更正し、この更正した理論位置に応じて前記検出を行うことを特徴とする検出方法。
8. 請求項１〜６のいずれかに記載の検出装置と、
   感光材料の保持手段と、
   供給された画像データに応じて前記感光材料を露光する露光ヘッドと、
   前記感光材料と露光ヘッドとを所定の走査方向に相対的に移動する走査手段と、
   前記検出手段による基準マークの検出結果に応じて、前記露光ヘッドによる露光位置を設定する手段とを有することを特徴とする露光装置。
9. 前記検出装置と露光ヘッドとが一体的となっており、かつ、前記検出装置は、検出手段を前記走査方向と直交する方向に移動する移動手段を有する請求項８に記載の露光装置。
10. ワークに形成された基準マークを検出して、この検出結果に応じてワーク上における描画位置を設定して、描画手段によってワークを描画する描画装置において、前記基準マークを検出する検出装置であって、
    前記描画位置の設定のための基準マークの検出動作において、少なくとも１つの基準マークの検出手段によって、入力された基準マークの理論位置で少なくとも１つの基準マークの検出を行い、
    前記理論位置で基準マークを検出できた場合には、入力された基準マークの理論位置に応じて前記検出動作を行い、
    前記理論位置で基準マークを検出できなかった場合には、前記理論位置に対して検出手段による検出位置を調整して、再度、基準マークを検出することを繰り返し、調整した検出位置で基準マークを検出できた際に、この調整した検出位置に応じて全ての基準マークの前記理論位置を更正し、この更正した理論位置に応じて前記検出動作を行うことを特徴とする検出装置。
11. ワークに形成された基準マークを検出して、この検出結果に応じてワーク上における描画位置を設定して、描画手段によってワークを描画する描画装置において、前記基準マークを検出する検出方法であって、
    前記描画位置の設定のための基準マークの検出において、
    前記基準マークの理論位置を入力し、
    前記入力した理論位置で少なくとも１つの基準マーク検出手段を用いて少なくとも１つの基準マークの検出を行い、
    前記理論位置で基準マークを検出できた場合には、入力した基準マークの理論位置に応じて前記検出を行い、
    前記理論位置で基準マークを検出できなかった場合には、前記理論位置に対して検出手段による検出位置を調整し、再度、基準マークを検出することを繰り返し、調整した位置で基準マークを検出できた際に、この調整した検出位置に応じて全ての基準マークの前記理論位置を更正し、この更正した理論位置に応じて前記検出を行うことを特徴とする検出方法。

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