WO2018181680A1 - 固体撮像素子用着色組成物 - Google Patents

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知貴 中古
憲司 日岐
土井　隆二
一茂 北澤
岡本　真一
徹也 廣田
前田　忠俊
博之 茅根
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東洋インキＳｃホールディングス株式会社
トーヨーカラー株式会社
凸版印刷株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a solid-state imaging device mounted on a solid-state imaging device represented by a C-MOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor Semiconductor) image sensor and a CCD (Charge Coupled Device: charge coupled device) image sensor.
  • the present invention relates to a color filter, a solid-state imaging device including the color filter, and a photosensitive coloring composition for a solid-state imaging device.
  • Solid-state image sensors such as C-MOS image sensors and CCD image sensors use color filters, specifically filters for B (blue), G (green), and R (red), which are primary colors of additive mixing.
  • the segments are arranged on the light receiving element to separate the colors.
  • performance requirements for color separation have become stricter as the pixel size is reduced. Therefore, in order to maintain device characteristics such as color shading characteristics and color mixing prevention, color filters are required to have performance such as thinning, rectangularization, and elimination of overlapping regions where colors overlap between organic pixels. .
  • the organic pattern is thinned such that the thickness is 1 ⁇ m or less and the pixel pattern size is 2 ⁇ m or less (for example, 0.5 to 2.0 ⁇ m).
  • the pixel pattern size is 2 ⁇ m or less (for example, 0.5 to 2.0 ⁇ m).
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2006-267992
  • Patent Document 2 Japanese Patent Laid-Open No. 2008-040404
  • Patent Document 3 Japanese Patent Laid-Open No. 2006-104243
  • Patent Document 4 Japanese Patent No. 5214001
  • the above-described method has a problem that peeling development occurs in which the coating film is peeled off from the substrate during the development, and as a result, the chipping of the pattern occurs.
  • An object of the present invention is to provide a photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device, which has no pattern chipping due to peeling development of a formed pixel, can maintain a vertical cross-sectional shape, and has excellent adhesion and little residue. It is an object to provide a color filter and a solid-state image sensor for a solid-state image sensor using the above.
  • the present inventors have conducted intensive studies. As a result, the colorant (A), the binder resin (B), the photopolymerization initiator (C), the photopolymerizable monomer (D), It contains an ultraviolet absorber (E) and a monofunctional thiol (F), and the colorant (A) is C.I. I. Pigment green 36 and / or C.I. I.
  • the present inventors have found that the above problems can be solved by a photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device containing Pigment Green 58, and have reached the present invention.
  • the present invention includes a colorant (A), a binder resin (B), a photopolymerization initiator (C), a photopolymerizable monomer (D), an ultraviolet absorber (E), and a monofunctional thiol (F).
  • the colorant (A) contains C.I. I. Pigment green 36 and / or C.I. I.
  • the present invention relates to a photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device containing Pigment Green 58.
  • the present invention relates to the photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device, wherein the photopolymerizable monomer (D) contains urethane acrylate and / or pentafunctional or higher functional acrylate (excluding urethane acrylate).
  • the content of the photopolymerizable monomer (D) is 15 to 30% by weight in the total solid content of the photosensitive green coloring composition, and in the total solid content of the photopolymerizable monomer (D).
  • the present invention relates to the photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device, wherein the total content of urethane acrylate and pentafunctional or higher functional acrylate (excluding urethane acrylate) is 50 to 90% by weight.
  • the photosensitivity for color filters for the said solid-state image sensor whose urethane acrylate is a compound obtained by making the compound represented by General formula (1) and the polyfunctional isocyanate represented by General formula (2) react. It relates to a green composition.
  • R 1 , R 2 and R 3 each independently represents an acryloyl group or a methacryloyl group.
  • X represents a divalent alkylene group or an arylene group.
  • the present invention also relates to the photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device, wherein the content of the ultraviolet absorber (E) is 0.05 to 3.00% by weight in the total solid content of the photosensitive green coloring composition. .
  • the ultraviolet light absorber (E) is dissolved in chloroform and diluted to 10 mg / L, and the measured value wavelength at 365 nm includes an ultraviolet absorber having an absorbance of 0.4 or more. It relates to a green composition.
  • the present invention relates to the photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device, wherein the ultraviolet absorber (E) contains at least one selected from a benzotriazole compound, a benzophenone compound, and a triazine compound.
  • the ultraviolet absorber (E) contains at least one selected from a benzotriazole compound, a benzophenone compound, and a triazine compound.
  • the present invention also relates to the photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device, wherein the content of the monofunctional thiol (F) is 0.05 to 3.00% by weight in the total solid content of the photosensitive coloring composition.
  • monofunctional thiol (F) is related with the photosensitive green composition for color filters for the said solid-state image sensor represented by General formula (4).
  • X represents a sulfur atom, an oxygen atom, or> N—R
  • R represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group
  • A represents a heterocycle together with N ⁇ C—X. Represents the atomic group to be formed.
  • the monofunctional thiol (F) relates to the photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device represented by the following general formula (4).
  • General formula (4)
  • R 1 to R 3 may each independently have an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or a substituent.
  • the present invention relates to the photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device, wherein the content of the colorant (A) is 40 to 70% by weight in the total solid content of the photosensitive coloring composition.
  • the present invention also relates to the photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device, wherein the content of the photopolymerization initiator (C) is 0.3 to 5.0% by weight in the total solid content of the photosensitive coloring composition. .
  • the present invention relates to the photosensitive green composition for a color filter for a solid-state imaging device, wherein the photopolymerization initiator (C) contains an oxime ester photopolymerization initiator.
  • the present invention relates to a color filter for a solid-state image pickup device comprising a filter segment formed on the substrate from the photosensitive green composition for a color filter for a solid-state image pickup device.
  • the present invention relates to a solid-state image sensor including the color filter for the solid-state image sensor.
  • the photosensitive green composition of the present invention has no pattern chipping due to peeling development, can maintain a vertical cross-sectional shape, and can form a pixel pattern with excellent adhesion and few residues.
  • the photosensitive coloring composition of the present invention comprises a colorant (A), a binder resin (B), a photopolymerization initiator (C), a photopolymerizable monomer (D), an ultraviolet absorber (E), and a monofunctional thiol. (F), and the colorant (A) is C.I. I. Pigment green 36 and / or C.I. I. This is a photosensitive green composition containing CI Pigment Green 58. Since the photosensitive green composition is excellent in ultraviolet curable properties, a pixel pattern suitable for a solid-state imaging device can be formed.
  • the photosensitive coloring composition of the present invention comprises a colorant (A), a binder resin (B), a photopolymerization initiator (C), a photopolymerizable monomer (D), an ultraviolet absorber (E), and a monofunctional thiol. (F), and the colorant (A) is C.I. I. Pigment green 36 and / or C.I. I. Pigment Green 58 is contained.
  • the present invention relates to a photosensitive green composition for a color filter for a solid-state image sensor, and the colorant (A) used for this is C.I. I. Pigment green 36 and / or C.I. I. Pigment Green 58 is contained.
  • the pigment green 58 has an effect that the transmittance is excellent.
  • green pigments examples include C.I. I. Pigment green 1, 2, 4, 7, 8, 10, 13, 14, 15, 17, 18, 19, 26, 45, 48, 50, 51, 54, 55, 59, 62, 63. .
  • the colored composition of the present invention may contain a yellow colorant for the purpose of adjusting the hue as long as the effects of the present invention are not impaired.
  • yellow colorant examples include C.I. I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 147, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180, 181, It can be used yellow pigments such
  • X1 to X13 each independently have a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group which may have a substituent, an alkoxyl group which may have a substituent, or a substituent. May have an aryl group, —SO 3 H group, —COOH group, —SO 3 H group or —COOH group, a metal salt of —SO 3 H group or —COOH group, or a substituent.
  • a good phthalimidomethyl group or a sulfamoyl group which may have a substituent is shown.
  • the adjacent groups of X1 to X4 and / or X10 to X13 together form an aromatic ring which may have a substituent.
  • examples of the halogen atom include fluorine, chlorine, bromine, and iodine.
  • alkyl group which may have a substituent include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a ptyl group, an isoptyl group, a tert-butyl group, a neopentyl group, an n-hexyl group, and an n-octyl group.
  • stearyl group linear or branched alkyl group such as 2-ethylhexyl group, trichloromethyl group, trifluoromethyl group, 2,2,2-trifluoroethyl group, 2,2-dibromoethyl group, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl group, 2-ethoxyethyl group, 2-butoxyethyl group, 2-nitropropyl group, pendyl group, 4-methylpentyl group, 4-tert-butylbenzyl group, 4-methoxy Examples thereof include an alkyl group having a substituent such as a pendyl group, a 4-nitrobenzyl group, and a 2,4-dichlorobenzyl group.
  • alkoxyl groups such as 3-dimethyl-3-pentoxy, n-hexyloxy group, n-octyloxy group, stearyloxy group, 2-ethylhexyloxy group, trichloromethoxy group, trifluoromethoxy group, 2,2,2-trifluoroethoxy group, 2,2,3,3-tetrafluoropropyloxy group, 2,2-ditrifluoromethylpropoxy group, 2-ethoxyethoxy group, 2-butoxyethoxy group, 2-nitro
  • alkoxyl group having a substituent such as a propoxy group and a benzyloxy
  • examples of the aryl group which may have a substituent include an aryl group such as a phenyl group, a naphthyl group, an anthranyl group, a p-methylphenyl group, a p-bromophenyl group, a p-nitrophenyl group, a p- Methoxyphenyl group, 2,4-dichlorophenyl group, pentafluorophenyl group, 2-aminophenyl group, 2-methyl-4-chlorophenyl group, 4-hydroxy-1-naphthyl group, 6-methyl-2-naphthyl group, 4 , 5,8-trichloro-2-naphthyl group, anthraquinonyl group, 2-aminoanthraquinonyl group and the like aryl groups having a substituent.
  • an aryl group such as a phenyl group, a naphthyl group, an anthranyl
  • Examples of acidic groups include —SO 3 H and —COOH.
  • Examples of monovalent to trivalent metal salts of these acidic groups include sodium salts, potassium salts, magnesium salts, calcium salts, iron salts, and aluminum salts. Etc.
  • alkyl ammonium salt of acidic group quaternary alkyl such as ammonium salt of long-chain monoalkylamine such as octylamine, laurylamine, stearylamine, palmityltrimethylammonium, dilauryldimethylammonium, distearyldimethylammonium salt, etc. An ammonium salt is mentioned.
  • the hydrocarbon aromatic ring includes a benzene ring, a naphthalene ring, an anthracene ring, a phenanthrene ring and the like, and the heteroaromatic ring includes pyridine.
  • the pigment concentration in the solid content of the colorant of the present invention is preferably 40% by weight or more.
  • Binder resin (B) examples include conventionally known thermoplastic resins and thermosetting resins.
  • thermoplastic resin examples include acrylic resin, butyral resin, styrene-maleic acid copolymer, chlorinated polyethylene, chlorinated polypropylene, polyvinyl chloride, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyvinyl acetate, and polyurethane resin.
  • the alkali-soluble vinyl resin which copolymerized the acidic group containing ethylenically unsaturated monomer it is preferable to use the alkali-soluble vinyl resin which copolymerized the acidic group containing ethylenically unsaturated monomer.
  • an energy ray curable resin having an ethylenically unsaturated active double bond can also be used.
  • alkali-soluble resin copolymerized with an acidic group-containing ethylenically unsaturated monomer examples include resins having an acidic group such as a carboxyl group or a sulfone group.
  • Specific examples of the alkali-soluble resin include an acrylic resin having an acidic group, an ⁇ -olefin / (anhydrous) maleic acid copolymer, a styrene / styrene sulfonic acid copolymer, an ethylene / (meth) acrylic acid copolymer, or Examples include isobutylene / (anhydrous) maleic acid copolymer.
  • At least one resin selected from an acrylic resin having an acidic group and a styrene / styrene sulfonic acid copolymer, particularly an acrylic resin having an acidic group, is preferably used because of its high heat resistance and transparency.
  • Energy ray curable resins having ethylenically unsaturated active double bonds include reactive substitution of isocyanate groups, aldehyde groups, epoxy groups, etc. on polymers having reactive substituents such as hydroxyl groups, carboxyl groups, amino groups, etc.
  • a resin in which a photo-crosslinkable group such as a (meth) acryloyl group or a styryl group is introduced into the polymer by reacting a (meth) acrylic compound having a group or cinnamic acid is used.
  • polymers containing acid anhydrides such as styrene-maleic anhydride copolymer and ⁇ -olefin-maleic anhydride copolymer are half-esterified with a (meth) acrylic compound having a hydroxyl group such as hydroxyalkyl (meth) acrylate.
  • a modified version is also used.
  • thermoplastic resin those having both alkali-soluble performance and energy ray curing performance are also preferable as the colored composition.
  • Examples of the monomer constituting the thermoplastic resin include the following. For example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) Acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, phenoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxypol
  • a structural unit derived from N-substituted maleimide and cyclohexylmaleimide, methylmaleimide, ethylmaleimide, and 1,2-bismaleimideethane are particularly preferable from the viewpoint of heat resistance, and cyclohexylmaleimide is particularly preferable.
  • thermosetting resin examples include epoxy resins, benzoguanamine resins, rosin-modified maleic acid resins, rosin-modified fumaric acid resins, melamine resins, urea resins, and phenol resins.
  • the colored composition of the present invention preferably contains a thermosetting resin in terms of heat resistance, for example, among them, an epoxy resin and a melamine resin can be more suitably used, and a melamine resin is particularly preferable, A melamine compound having a methylolimino group or a condensate thereof is more preferable.
  • thermosetting resin is preferably added in the range of 5 to 60 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the colorant. If the amount is less than 10 parts by weight, the effect of improving heat resistance and light resistance is reduced, and if it exceeds 60 parts by weight, the developability deteriorates during alkali development, which is not preferable.
  • the weight average molecular weight (Mw) of the binder resin is preferably in the range of 5,000 to 100,000, more preferably in the range of 8,000 to 50,000 in order to disperse the colorant preferably.
  • the number average molecular weight (Mn) is preferably in the range of 2,500 to 50,000, and the value of Mw / Mn is preferably 10 or less.
  • the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) are obtained by connecting four separation columns in series in the gel permeation chromatography “HLC-8120GPC” manufactured by Tosoh Corporation.
  • the molecular weight in terms of polystyrene measured using “TSK-GEL SUPER H5000”, “H4000”, “H3000”, and “H2000” manufactured by the company and using tetrahydrofuran as the mobile phase.
  • the binder resin When the binder resin is used as a coloring composition, from the viewpoint of pigment dispersibility, developability, and heat resistance, affinity for carboxyl groups, pigment carriers, and solvents that act as pigment-absorbing groups and alkali-soluble groups during development.
  • the balance between the aliphatic group and the aromatic group acting as a group is important for pigment dispersibility, developability, and durability, and it is preferable to use a resin having an acid value of 20 to 300 mgKOH / g.
  • the acid value is less than 20 mgKOH / g, the solubility in the developing solution is poor and it is difficult to form a fine pattern.
  • it exceeds 300 mgKOH / g no fine pattern remains.
  • the binder resin can be used in an amount of 20 to 500% by weight based on the total weight of the colorant. If it is less than 30% by weight, the film formability and various resistances are insufficient, and if it exceeds 500% by weight, the pigment concentration is low and color characteristics cannot be expressed.
  • ⁇ Photopolymerization initiator (C)> When the colored composition of the present invention is cured by ultraviolet irradiation and a filter segment is formed by a photolithographic method, it is added in the form of a solvent development type or alkali development type colored resist material by adding a photopolymerization initiator or the like. Can be prepared.
  • the blending amount when using the photopolymerization initiator is more preferably 0.3 to 5.0% by weight in the total solid content of the photosensitive coloring composition from the viewpoint of practical ultraviolet sensitivity.
  • photopolymerization initiator examples include 4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t-butyl-dichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- Hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1
  • Acetophenone compounds such as-[4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone or 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one; benzoin, benzoin Methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, or Benzoin compounds such as benzyld
  • photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more at any ratio as required.
  • the photopolymerizable monomer (D) that may be added to the colored composition of the present invention includes a monomer or oligomer that is cured by ultraviolet rays or heat to produce a transparent resin.
  • Monomers and oligomers that are cured by ultraviolet rays or heat to produce transparent resins include, for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate , Cyclohexyl (meth) acrylate, ⁇ -carboxyethyl (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di ( (Meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane PO modified tri (meth) acrylate, trimethylolpropane EO modified tri (meth) acrylate, pentaeryth Tall tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra
  • the photopolymerizable monomer may contain an acid group.
  • esterified product of poly (meth) acrylates containing free hydroxyl group of polyhydric alcohol and (meth) acrylic acid and dicarboxylic acids esterified product of polycarboxylic acid and monohydroxyalkyl (meth) acrylates, etc. Can be mentioned.
  • monomethyl oligoacrylates or monohydroxy oligomethacrylates such as trimethylolpropane diacrylate, trimethylolpropane dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, and dipentaerythritol pentamethacrylate.
  • Monoesterified products containing free carboxyl groups with dicarboxylic acids such as malonic acid, succinic acid, glutaric acid, terephthalic acid; propane-1,2,3-tricarboxylic acid (tricarbaryl acid), butane-1,2,4 -Tricarboxylic acids such as tricarboxylic acid, benzene-1,2,3-tricarboxylic acid, benzene-1,3,4-tricarboxylic acid, benzene-1,3,5-tricarboxylic acid And a free carboxyl group-containing oligoester product of monohydroxy monoacrylate or monohydroxy monomethacrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, etc.
  • dicarboxylic acids such as malonic acid, succinic acid, glutaric acid, terephthalic acid; propane-1,2,3-tricarboxylic acid (tricarbaryl acid
  • the photopolymerizable monomer (D) in the present invention preferably contains a monomer having a polymerizable unsaturated bond group containing urethane acrylate and / or a pentafunctional or higher functional acrylate (excluding urethane acrylate).
  • urethane acrylate By including urethane acrylate, release development can be remarkably improved. This is because peeling development occurs when the coating film is locally cured at the time of exposure.
  • the ultraviolet absorber, monofunctional thiol and urethane acrylate at the same time, the termination reaction of the ultraviolet absorber and the chain of thiols. It is considered that the transfer reaction and the polymerization reaction of urethane acrylate proceed not equally but according to the exposure amount.
  • the reason why the above reaction can be performed uniformly in the coating film is because the compatibility of the ultraviolet absorber, the monofunctional thiol and the urethane acrylate is high. Moreover, the effect of this invention can be acquired even if the addition amount of the monofunctional thiol of this invention is small by including urethane acrylate. Moreover, by including pentafunctional or higher acrylate, the effects of the present invention can be obtained even when the addition amount of the monofunctional thiol is small, and the development residue can be reduced. This is because the crosslink density is improved by using pentafunctional or higher acrylates and monofunctional thiols.
  • the weakly crosslinked part is developed in the coating film. It is presumed to suppress residues generated by being eroded by the liquid, peeled off, and attached to the substrate. Further, it is considered that development residues are reduced because pentafunctional or higher functional acrylates are highly compatible with ultraviolet absorbers and monofunctional thiols.
  • the pentafunctional or higher acrylate in the present invention is preferably a hexafunctional acrylate having the above effects.
  • the urethane acrylate is preferably a compound obtained by reacting a compound represented by the following general formula (1) with a polyfunctional isocyanate represented by the following general formula (2), and in particular, dipentaerythritol penta (meta) )
  • a compound obtained by reacting an acrylate with an isocyanate is preferred.
  • reaction product of the compound represented by the general formula (1) and the polyfunctional isocyanate represented by the general formula (2) having an isocyanate group at both ends cannot be directly specified by its structure or characteristics. Since it is or is not realistic, it describes by a manufacturing method.
  • R 1 , R 2 and R 3 each independently represents an acryloyl group or a methacryloyl group.
  • X represents a divalent alkylene group or an arylene group.
  • the pentafunctional or higher acrylate of the present invention does not contain a urethane bond, and is a (meth) acrylate containing 5 or more (meth) acryloyl groups in one molecule, and particularly preferred is a hexafunctional acrylate because of its excellent residue.
  • pentafunctional or higher acrylate examples include dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and caprolactone-modified or alkylene oxide-modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipenta
  • examples include acrylates in which the hydroxyl group of erythritol penta (meth) acrylate is modified with succinic acid.
  • Urethane acrylates and / or pentafunctional or higher acrylates can be used together with other photopolymerizable monomers or oligomers.
  • photopolymerizable monomers can be used singly or in combination of two or more at any ratio as required.
  • the content of the photopolymerizable monomer (D) with respect to the total solid content in the photosensitive green composition is preferably 15 to 30% by weight.
  • the amount is less than the above, the tapered portion of the photosensitive coloring composition pattern is elongated and it becomes difficult to form a high-definition fine pixel pattern. If it is more than the above, problems such as resolution and deterioration of the residue may occur.
  • the total content of urethane acrylate and pentafunctional or higher acrylate contained in the photopolymerizable monomer (D) is preferably 50 to 90% by weight.
  • the amount is less than the above, the tapered portion of the photosensitive coloring composition pattern is elongated and it becomes difficult to form a high-definition fine pixel pattern. If the amount is larger than the above, problems such as pattern shape, resolution, and deterioration of residues may occur.
  • solid content represents components other than volatile components, such as a solvent.
  • the ultraviolet absorber (E) in the present invention is an organic compound having an ultraviolet absorbing function other than the photopolymerization initiator.
  • the content of the ultraviolet absorber (E) with respect to the total solid content in the photosensitive coloring composition is preferably 0.05 to 3.0% by weight.
  • the content of the ultraviolet absorber (E) is less than the above, the effect of the ultraviolet absorber is small, the taper portion of the photosensitive coloring composition pattern is elongated and it is difficult to form a high-definition fine pixel pattern.
  • the amount of residue increases. When the amount is larger than the above, problems such as generation of insoluble matter and low adhesion may occur.
  • the absorbance at a wavelength of 365 nm of the ultraviolet absorber (E) is preferably 0.4 or more.
  • the absorbance is a measured value when the ultraviolet absorber (E) is dissolved in a solvent such as chloroform having no absorption at a wavelength of 365 nm and diluted to 10 mg / L, and the measurement method will be described below.
  • This method utilizes the relationship between solution concentration and light absorption, which is known as Lambert-Beer's law. That is, when a solution of a certain concentration is sealed in a transparent container having a certain thickness, light with intensity I 0 is irradiated from one side, and light with intensity I emerging from the opposite side is observed, the incident light is It is absorbed by the solution inside and its strength is weakened. It is known that how the strength is weakened is proportional to the concentration of the solution.
  • the ultraviolet absorber (E) is preferably a benzotriazole organic compound, a benzophenone organic compound, or a triazine organic compound.
  • the benzotriazole organic compound having an absorbance at a wavelength of 365 nm of 0.4 or more include 2- (5-methyl-2-hydroxyphenyl) benzotriazole, 2- (3-tbutyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2,2′-methylenebis [6- (benzotriazole-2 -Yl) -4-tert-octylphenol] and the like.
  • the benzophenone-based organic compound include 2,2-di-hydroxy-4,4-dimethoxybenzophenone.
  • the triazine organic compound include 2,4,6-tris (2-hydroxy-4-hexyloxy-3-methylphenyl) -1,3,5-triazine.
  • TINUVIN® P (absorbance 0.40), “TINUVIN® 326” (absorbance 0.48), “TINUVIN® 360” (absorbance 0.40) manufactured by BASF, “Seasorb 107” (absorbance) manufactured by Sipro Kasei Co., Ltd. 0.60) “ADEKA STAB LA-F70” (absorbance 0.90) manufactured by ADEKA, and the like.
  • the green composition of the present invention contains a monofunctional thiol compound.
  • the photosensitive green composition for color filters for solid-state image sensors which is excellent in adhesiveness and can form a rectangular pixel pattern can be provided.
  • a thin film having a thickness of 1.0 ⁇ m or less is required, so that the concentration of the coloring component in the photosensitive composition must be increased.
  • the deep part of the film may not be sufficiently exposed as compared with the surface part, there is a tendency that the adhesion to the substrate is insufficient.
  • the photosensitive green composition for color filters for solid-state imaging devices of the present invention A thing can improve a sensitivity and can obtain the outstanding adhesiveness by containing a monofunctional thiol.
  • the content of the monofunctional thiol (F) with respect to the total solid content in the photosensitive coloring composition is preferably 0.05 to 3.0% by weight.
  • the amount is less than the above, the sensitivity of the photosensitive coloring composition pattern is insufficient, and it becomes difficult to form a high-definition fine pixel pattern. If it is more than the above, problems such as resolution and deterioration of the residue may occur.
  • the monofunctional thiol (F) in the present invention is preferably a compound represented by the following general formula (3) or general formula (4).
  • General formula (3)
  • X represents a sulfur atom, an oxygen atom, or> N—R
  • R represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group
  • A forms a heterocycle with N ⁇ C—X. Represents an atomic group.
  • Examples of the alkyl group represented by R in the general formula (3) include linear, branched or cyclic alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, and those having 1 to 12 carbon atoms.
  • a linear alkyl group having 3 to 12 carbon atoms and a cyclic alkyl group having 5 to 10 carbon atoms are more preferable.
  • Specific examples thereof include methyl group, ethyl group, propyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group, undecyl group, dodecyl group, tridecyl group, hexadecyl group, octadecyl group.
  • Eicosyl group isopropyl group, isobutyl group, s-butyl group, t-butyl group, isopentyl group, neopentyl group, 1-methylbutyl group, isohexyl group, 2-ethylhexyl group, 2-methylhexyl group, cyclohexyl group, cyclopentyl group And 2-norbornyl group.
  • the aryl group represented by R includes a monocyclic structure, one to three benzene rings forming a condensed ring, and a benzene ring and a 5-membered unsaturated ring condensed.
  • a ring can include a phenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, a phenanthryl group, an indenyl group, an acenaphthenyl group, a fluorenyl group, and the like.
  • Group and naphthyl group are more preferable.
  • alkyl groups and aryl groups may further have a substituent.
  • substituents examples include linear, branched or cyclic alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms, and the number of carbon atoms.
  • heterocyclic monofunctional thiol compounds such as mercaptoimidazole, mercaptooxazole, mercaptothiazole, mercaptotriazole, mercaptothiadiazole, mercaptobenzimidazole, mercaptobenzoxazole, mercaptobenzothiazole, and derivatives thereof are preferable, N-phenyl mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-5-methylthio-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto-5-methoxyethylthio-1,3,4-thiadiazole, 5-hexanoxyethoxy-2-mercapto-6-methyl-1 1,3-benzoxazole and the like are particularly preferable.
  • General formula (4) General formula (4)
  • R 1 to R 3 are each independently an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, or a cyclo which may have a substituent.
  • alkyl group of the alkyl group which may have a substituent, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a tert-butyl group, a neopentyl group, an n-hexyl group,
  • alkyl group which may have a substituent, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a tert-butyl group, a neopentyl group, an n-hexyl group.
  • Examples include a linear or branched alkyl group such as an n-octyl group, a stearyl group, and a 2-ethylhexyl group.
  • alkyl group having a substituent examples include a trichloromethyl group, a trifluoromethyl group, 2, 2, 2-trifluoroethyl group, 2,2-dibromoethyl group, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl group, 2-ethoxyethyl group, 2-butoxyethyl group, 2-nitropropyl group, benzyl group, 4 -Methylbenzyl group, 4-tert-butylbenzyl group, 4-methoxybenzyl group, 4-nitrobenzyl group, 2,4-dichlorobenzyl group, etc. That.
  • aryl group of the aryl group which may have a substituent examples include a phenyl group, a naphthyl group, and an anthryl group, and the “aryl group having a substituent” includes a p-methylphenyl group, p- Bromophenyl group, p-nitrophenyl group, p-methoxyphenyl group, 2,4-dichlorophenyl group, pentafluorophenyl group, 2-aminophenyl group, 2-methyl-4-chlorophenyl group, 4-hydroxy-1-naphthyl Group, 6-methyl-2-naphthyl group, 4,5,8-trichloro-2-naphthyl group, anthraquinonyl group, 2-aminoanthraquinonyl group and the like.
  • Examples of the “cycloalkyl group” of the cycloalkyl group which may have a substituent include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, an adamantyl group and the like, and examples of the “cycloalkyl group having a substituent” include 2,5 -Dimethylcyclopentyl group, 4-tert-butylcyclohexyl group and the like.
  • Examples of "" include 3-methylpyridyl group, N-methylpiperidyl group, N-methylpyrrolyl group and the like.
  • alkoxyl group of the alkoxyl group which may have a substituent, a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropoxy group, an n-butoxy group, an isobutoxy group, a tert-butoxy group, a neopentyloxy group, 2 , 3-dimethyl-3-pentyloxy, n-hexyloxy group, n-octyloxy group, stearyloxy group, 2-ethylhexyloxy group and the like linear and branched alkoxyl groups such as “alkoxyl having a substituent”
  • the group include trichloromethoxy group, trifluoromethoxy group, 2,2,2-trifluoroethoxy group, 2,2,3,3-tetrafluoropropoxy group, 2,2-ditrifluoromethylpropoxy group, 2- Ethoxyethoxy group, 2-butoxyethoxy group, 2-nitropropoxy group, benz
  • Examples of the “aryloxy group” of the aryloxy group which may have a substituent include a phenoxy group, a naphthoxy group, and an anthryloxy group, and the “aryloxy group having a substituent” includes p-methyl Examples include phenoxy group, p-nitrophenoxy group, p-methoxyphenoxy group, 2,4-dichlorophenoxy group, pentafluorophenoxy group, 2-methyl-4-chlorophenoxy group.
  • alkylthio group examples include a methylthio group, an ethylthio group, a propylthio group, a butylthio group, a pentylthio group, a hexylthio group, an octylthio group, a decylthio group, a dodecylthio group, and an octadecylthio group.
  • alkylthio group having a substituent examples include a methoxyethylthio group, an aminoethylthio group, a benzylaminoethylthio group, a methylcarbonylaminoethylthio group, a phenylcarbonylaminoethylthio group, and the like.
  • arylthio group examples include a phenylthio group, a 1-naphthylthio group, a 2-naphthylthio group, a 9-anthrylthio group, and the like, and “an arylthio group having a substituent” Chlorophenylthio group, trifluoromethylphenylthio group, cyanophenylthio group, nitrophenylthio group, 2-aminophenylthio group, 2-hydroxyphenylthio group and the like. Of these, triphenylmethanethiol in which R 1 to R 3 are all phenyl groups is preferable.
  • the colorant is sufficiently dispersed and permeated in the colorant carrier, and is applied onto a substrate such as a glass substrate so that the dry film thickness is 0.2 to 5 ⁇ m. It contains an organic solvent to make it easier to form.
  • Organic solvents can be used alone or in combination of two or more.
  • the solvent can adjust the coloring composition to an appropriate viscosity to form a filter segment having a desired uniform film thickness. Therefore, the solvent is 500 to 4000% by weight based on the total weight of the colorant (100% by weight). It is preferable to use it in the quantity.
  • organic solvent examples include ethyl lactate, benzyl alcohol, 1,2,3-trichloropropane, 1,3-butanediol, 1,3-butylene glycol, 1,3-butylene glycol diacetate, 1,4-dioxane, 2-heptanone, 2-methyl-1,3-propanediol, 3,5,5-trimethyl-2-cyclohexen-1-one, 3,3,5-trimethylcyclohexanone, ethyl 3-ethoxypropionate, 3-methyl 1,3-butanediol, 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, 3-methoxy-3-methylbutyl acetate, 3-methoxybutanol, 3-methoxybutyl acetate, 4-heptanone, m-xylene, m -Diethylbenzene, m-dichlorobenzene, N, N-dimethylacetamide, N, N Dimethylformamide, n
  • glycol acetates such as ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, benzyl
  • aromatic alcohols such as alcohol and ketones such as cyclohexanone.
  • the coloring composition of the present invention can contain a sensitizer.
  • Sensitizers include chalcone derivatives, unsaturated ketones such as dibenzalacetone, 1,2-diketone derivatives such as benzyl and camphorquinone, benzoin derivatives, fluorene derivatives, naphthoquinone derivatives, anthraquinone derivatives , Xanthene derivatives, thioxanthene derivatives, xanthone derivatives, thioxanthone derivatives, coumarin derivatives, ketocoumarin derivatives, cyanine derivatives, merocyanine derivatives, oxonol derivatives and other polymethine dyes, acridine derivatives, azine derivatives, thiazine derivatives, oxazine derivatives, indoline derivatives, Azulene derivatives, azurenium derivatives, squarylium derivatives, porphyrin derivatives, te
  • Two or more sensitizers may be used at an arbitrary ratio as required.
  • the blending amount when using the sensitizer is preferably 3 to 60% by weight, based on the total weight (100% by weight) of the photopolymerization initiator contained in the colored composition, From the viewpoint of developability, it is more preferably 5 to 50% by weight.
  • the coloring composition of this invention can be made to contain the amine compound which has a function which reduces the dissolved oxygen.
  • amine compounds include triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminobenzoate. Examples include ethyl, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, and N, N-dimethylparatoluidine.
  • a leveling agent In order to improve the leveling property of the composition on the transparent substrate, it is preferable to add a leveling agent to the colored composition of the present invention.
  • the leveling agent dimethylsiloxane having a polyether structure or a polyester structure in the main chain is preferable. Specific examples of dimethylsiloxane having a polyether structure in the main chain include FZ-2122 manufactured by Toray Dow Corning, BYK-333 manufactured by Big Chemie. Specific examples of dimethylsiloxane having a polyester structure include BYK-310 and BYK-370 manufactured by BYK Chemie. Dimethylsiloxane having a polyether structure and dimethylsiloxane having a polyester structure can be used in combination.
  • the leveling agent content is preferably 0.003 to 0.5% by weight based on the total weight of the coloring composition (100% by weight).
  • a leveling agent is a kind of so-called surfactant having a hydrophobic group and a hydrophilic group in the molecule, having a hydrophilic group and low solubility in water, and when added to a coloring composition, It has the feature that its surface tension lowering ability is low, and it is useful to have good wettability to the glass plate despite its low surface tension lowering ability, and the added amount that does not cause coating film defects due to foaming In this case, those that can sufficiently suppress the chargeability can be preferably used.
  • dimethylpolysiloxane having a polyalkylene oxide unit can be preferably used.
  • the polyalkylene oxide unit include a polyethylene oxide unit and a polypropylene oxide unit, and dimethylpolysiloxane may have both a polyethylene oxide unit and a polypropylene oxide unit.
  • the bonding form of the polyalkylene oxide unit with dimethylpolysiloxane includes a pendant type in which the polyalkylene oxide unit is bonded in the repeating unit of dimethylpolysiloxane, a terminal-modified type in which the end of dimethylpolysiloxane is bonded, and dimethylpolysiloxane. Any of linear block copolymer types in which they are alternately and repeatedly bonded may be used.
  • Dimethylpolysiloxanes having polyalkylene oxide units are commercially available from Toray Dow Corning Co., Ltd., for example, FZ-2110, FZ-2122, FZ-2130, FZ-2166, FZ-2191, FZ-2203, FZ -2207, but is not limited thereto.
  • ⁇ Anionic, cationic, nonionic or amphoteric surfactants can be supplementarily added to the leveling agent. Two or more kinds of surfactants may be mixed and used.
  • Anionic surfactants added to the leveling agent as auxiliary agents include polyoxyethylene alkyl ether sulfate, sodium dodecylbenzene sulfonate, alkali salt of styrene-acrylic acid copolymer, sodium alkyl naphthalene sulfonate, alkyl diphenyl ether disulfonic acid Sodium, lauryl sulfate monoethanolamine, lauryl sulfate triethanolamine, ammonium lauryl sulfate, monoethanolamine stearate, sodium stearate, sodium lauryl sulfate, monoethanolamine of styrene-acrylic acid copolymer, polyoxyethylene alkyl ether phosphate Examples include esters.
  • Nonionic surfactants added to the leveling agent as auxiliary agents include polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyoxyethylene alkyl ether phosphate ester, polyoxyethylene sorbitan monostearate And polyethylene glycol monolaurate; alkylbetaines such as alkyldimethylaminoacetic acid betaine; amphoteric surfactants such as alkylimidazolines; and fluorine-based and silicon-based surfactants.
  • the coloring composition of this invention may contain the hardening
  • curing agent phenolic resins, amine compounds, acid anhydrides, active esters, carboxylic acid compounds, sulfonic acid compounds and the like are effective, but are not particularly limited to these, and thermosetting resins. Any curing agent may be used as long as it can react with the. Among these, a compound having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule and an amine curing agent are preferable.
  • curing accelerator examples include amine compounds (for example, dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N-dimethylbenzylamine, 4-methyl).
  • amine compounds for example, dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N-dimethylbenzylamine, 4-methyl).
  • Examples of the dye derivative include a compound obtained by introducing a basic substituent, an acidic substituent, or a phthalimidomethyl group which may have a substituent into an organic pigment, anthraquinone, acridone, or triazine.
  • the blending amount of the pigment derivative is preferably 0.5% by weight or more, more preferably 1% by weight or more, most preferably based on the total amount of the additive colorant (100% by weight) from the viewpoint of improving the dispersibility of the additive colorant. Preferably it is 3 weight% or more. Further, from the viewpoint of heat resistance and light resistance, the total amount of the additive pigment is preferably 40% by weight or less, more preferably 35% by weight or less, based on the total amount (100% by weight).
  • the resin-type dispersant has a colorant affinity part that has the property of adsorbing to the added colorant, and a part that is compatible with the colorant carrier, and adsorbs to the added colorant to disperse in the colorant carrier. It works to stabilize.
  • resin-type dispersants include polycarboxylic acid esters such as polyurethane and polyacrylate, unsaturated polyamides, polycarboxylic acids, polycarboxylic acid (partial) amine salts, polycarboxylic acid ammonium salts, and polycarboxylic acid alkylamine salts.
  • Water-soluble dispersants such as (meth) acrylic acid-styrene copolymer, (meth) acrylic acid- (meth) acrylic acid ester copolymer, styrene-maleic acid copolymer, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone Resin, water-soluble polymer, polyester, modified poly Acrylate-based, ethylene oxide / propylene oxide adduct, phosphoric ester or the like is used, they may be used alone or in combination, it is not necessarily limited thereto.
  • a polymer dispersant having a basic functional group is preferable because the viscosity of the dispersion is lowered and a high contrast is exhibited with a small addition amount, and a nitrogen atom-containing graft copolymer or side chain is preferable.
  • Nitrogen atom-containing acrylic block copolymers and urethane polymer dispersants having functional groups including tertiary amino groups, quaternary ammonium bases, nitrogen-containing heterocycles and the like are preferred.
  • the resin-type dispersant is preferably used in an amount of about 5 to 200% by weight relative to the total amount of the pigment, and more preferably about 10 to 100% by weight from the viewpoint of film formability.
  • resin-type dispersants include Dsperbyk-101, 103, 107, 108, 110, 111, 116, 130, 140, 154, 161, 162, 163, 164, 165, 166, and 170 manufactured by Big Chemie Japan.
  • the colored composition of the present invention can contain a storage stabilizer in order to stabilize the viscosity of the composition over time. Moreover, in order to improve adhesiveness with a transparent substrate, adhesion improving agents, such as a silane coupling agent, can also be contained. Furthermore, a polymerization inhibitor may be included in order to prevent exposure by the diffracted light of the mask during exposure.
  • Examples of storage stabilizers include quaternary ammonium chlorides such as benzyltrimethyl chloride and diethylhydroxyamine, organic acids such as lactic acid and oxalic acid, and methyl ethers thereof, t-butylpyrocatechol, tetraethylphosphine, and tetraphenylphosphine. Organic phosphines, phosphites and the like can be mentioned.
  • the storage stabilizer can be used in an amount of 0.1 to 10% by weight based on the total amount of the colorant (100% by weight).
  • adhesion improver examples include vinyl silanes such as vinyl tris ( ⁇ -methoxyethoxy) silane, vinyl ethoxy silane and vinyl trimethoxy silane, (meth) acryl silanes such as ⁇ -methacryloxypropyl trimethoxy silane, ⁇ - (3, 4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, ⁇ - (3,4-epoxycyclohexyl) methyltrimethoxysilane, ⁇ - (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, ⁇ - (3,4-epoxycyclohexyl) Epoxysilanes such as methyltriethoxysilane, ⁇ -glycidoxypropyltrimethoxysilane, ⁇ -glycidoxypropyltriethoxysilane, N- ⁇ (aminoethyl) ⁇ -aminopropyltrime
  • Polymerization inhibitors include catechol, resorcinol, 1,4-hydroquinone, 2-methylcatechol, 3-methylcatechol, 4-methylcatechol, 2-ethylcatechol, 3-ethylcatechol, 4-ethylcatechol, 2-propylcatechol 3-propylcatechol, 4-propylcatechol, 2-n-butylcatechol, 3-n-butylcatechol, 4-n-butylcatechol, 2-tert-butylcatechol, 3-tert-butylcatechol, 4-tert- Alkyl catechol compounds such as butyl catechol, 3,5-di-tert-butyl catechol, 2-methylresorcinol, 4-methylresorcinol, 2-ethylresorcinol, 4-ethylresorcinol, 2-propylresorcinol, 4-propylresorcinol Alkylresorcinol compounds such as lucinol, 2-n-butylresorcinol, 4-n-buty
  • Phosphites such as phosphine oxide compounds, triphenyl phosphite, trisnonylphenyl phosphite Compounds, pyrogallol, phloroglucinol and the like.
  • the content of the polymerization inhibitor is preferably 0.01 to 0.4 parts by weight with respect to 100 parts by weight excluding the solvent of the coloring composition.
  • the color filter of this invention comprises the green filter segment formed using the green coloring composition for solid-state image sensors of this invention.
  • Examples of the color filter include those having a red filter segment and a blue filter segment.
  • the green coloring composition for a solid-state imaging device of the present invention is mainly used for forming a green filter segment, and the filter segments of other colors are formed using a conventionally used red coloring composition and blue coloring composition. be able to.
  • the colored composition of each color other than the colored composition of the present invention can be formed using each colored composition containing each color pigment, the binder resin, the photopolymerizable composition, and the like.
  • ⁇ Pigment forming red filter segment> As a red pigment for a red coloring composition forming a red filter segment, C. I. Pigment Red 7, 14, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 57: 1, 81, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 81: 4, 122, 146, 149, 166, 168, 169, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 200, 202, 208, 210, 221, 224, 242, 246, 254, 255, 264, 268, 269, 270, 272, 273, 274, 276, 277, 278, 279, 280, 281, 282, 283, 284, 285, 286, 287, the diketopyrrolopyrrole pigment described in JP 2011-523433, or JP2013 Examples thereof include naphthol azo pigments described in JP-A-161025, but are not particularly limited thereto.
  • blue pigment for the blue coloring composition forming the blue filter segment examples include C.I. I. Pigment Blue 1, 1: 2, 9, 14, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, JP 2004-333817, Examples thereof include aluminum phthalocyanine pigments described in Japanese Patent No. 4893859, but are not particularly limited thereto.
  • C.I. I. Pigment Violet 1 19, 23, 27, 29, 30, 32, 37, 40, 42, 50 or the like, but not limited thereto.
  • the color filter segment according to the present invention can be formed using a known method without any particular limitation. However, since the filter segment of the image pickup element is as fine as submicron to several tens of microns, optical lithography is used. Is preferred.
  • Embodiment of this invention is a manufacturing method of the color filter which has a color filter segment formed by hardening
  • the color filter according to the present embodiment includes the above-described green filter segment, red filter segment, and blue filter segment.
  • a known color composition containing a color pigment, a color dye, or both a color pigment and a color dye may be used.
  • the method for forming the colored filter segment is not particularly limited, but a photosensitive coloring composition that is a negative resist is generally used.
  • a negative type color resist layer is constituted by a negative type green film formed from a negative type photosensitive green composition, and in this case, a negative type
  • the thickness of the color resist layer is set in the range of 0.1 ⁇ m to 3.0 ⁇ m.
  • the surface of the negative color resist layer formed of the negative colored film is subjected to pattern exposure using a photomask for a plurality of portions corresponding to a plurality of photoelectric conversion elements to be formed.
  • the photomask has a size 4 to 5 times the size of the pattern to be actually formed, and the pattern exposure is performed by reducing the size to 1/4 to 1/5 at the time of pattern exposure.
  • This photomask is a 4 to 5 times reticle, and has a pattern with a size 4 to 5 times larger than the size of the pattern exposed on the surface of the negative color resist layer. Then, a stepper exposure apparatus (not shown) is used to reduce the photomask pattern to 1/4 to 1/5 and expose the surface of the negative color resist layer.
  • an alkali development treatment (development step) is performed to elute the uncured portion after the exposure into the developer and leave the photocured portion.
  • this development step a patterned film composed of color filter segments can be formed.
  • the developing method may be any of a dip method, a shower method, a spray method, a paddle method, etc., and a swing method, a spin method, an ultrasonic method, or the like may be combined with these.
  • the surface to be developed Before the developer is touched, the surface to be developed can be previously moistened with water or the like to prevent uneven development.
  • an organic alkali developer that does not damage the underlying circuit or the like is desirable.
  • the development temperature is usually 20 ° C. to 30 ° C., and the development time is 20 to 90 seconds.
  • alkaline agent contained in the developer examples include ammonia water, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5, 4, Organic alkaline compounds such as 0] -7-undecene, and inorganic compounds such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate, and the like.
  • an alkaline aqueous solution obtained by diluting these alkaline agents with pure water so as to have a concentration of 0.001% by mass to 10% by mass, preferably 0.01% by mass to 1% by mass is preferably used.
  • a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, generally, after development, the developer is washed (rinsed) with pure water to remove the excess developer and then dried.
  • Post-baking is a heat treatment after development for complete curing, and usually a heat curing treatment at 100 ° C. to 270 ° C. is performed.
  • the irradiation time is 10 seconds to 180 seconds, preferably 30 seconds to 60 seconds.
  • post-exposure is preferably performed first.
  • the solid-state imaging device of the present invention includes the color filter of the present invention.
  • the configuration of the solid-state imaging device of the present invention is a configuration provided with the color filter for the solid-state imaging device of the present invention, and is not particularly limited as long as the configuration functions as a solid-state imaging device. Can be mentioned.
  • a transfer electrode made of a plurality of photodiodes and polysilicon constituting a light receiving area of a solid-state imaging device (CCD sensor, CMOS sensor, organic CMOS sensor, etc.) is provided on a substrate, and the photodiodes and the transfer electrodes are disposed on the photodiodes and the transfer electrodes.
  • a configuration having a light collecting means for example, a microlens, etc., the same shall apply hereinafter
  • a structure having the light collecting means on the color filter, etc. It may be.
  • the organic CMOS sensor includes a thin panchromatic photosensitive organic photoelectric conversion film as a photoelectric conversion layer and a CMOS signal readout substrate, and the organic material plays a role of capturing light and converting it into an electric signal.
  • This is a two-layer hybrid structure in which an inorganic material plays a role of taking out a signal to the outside.
  • the aperture ratio can be 100% with respect to incident light.
  • the organic photoelectric conversion film is a structure-free continuous film that can be laid on a CMOS signal reading substrate, and therefore does not require an expensive microfabrication process and is suitable for filter segment miniaturization.
  • the arrangement of the color filter segments is not particularly limited, and a known method can be used.
  • the weight average molecular weight (Mw) of the resin-type dispersant and binder resin was GPC (manufactured by Tosoh Corp., HLC-8120GPC) equipped with a RI detector using a TSKgel column (Tosoh Corp.) and THF as the developing solvent.
  • DM dimethylaminoethyl methacrylate
  • Propylene glycol monomethyl ether acetate was added to the previously synthesized block copolymer solution so that the nonvolatile content was 40% by weight.
  • a resin type having a tertiary amino group which is a poly (meth) acrylate skeleton having an amine value per solid content of 71.4 mgKOH / g, a weight average molecular weight of 9900 (Mw), and a nonvolatile content of 40% by weight.
  • a dispersant solution (F-1) was obtained.
  • Resin type dispersant (G-2) A reaction vessel equipped with a gas introduction tube, a thermometer, a condenser, and a stirrer was charged with 50.0 parts of methyl methacrylate and 50.0 parts of 2-methoxyethyl acrylate, and replaced with nitrogen gas. The inside of the reaction vessel was heated to 80 ° C., and 6.0 parts of 3-mercapto-1,2-propanediol and 0.1 part of 2,2′-azobisisobutyronitrile were added to propylene glycol monomethyl ether acetate 45. The solution dissolved in 4 parts was added and reacted for 10 hours. It was confirmed that 95% had reacted by solid content measurement.
  • the weight average molecular weight was 4000.
  • 9.7 parts of pyromellitic dianhydride manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.
  • 31.7 parts of PGMAc 31.7 parts of PGMAc
  • An additional portion was added and reacted at 120 ° C. for 7 hours.
  • the reaction was terminated after confirming that 98% or more of the acid anhydride had been half-esterified by measuring the acid value.
  • ⁇ Binder resin solution (B)> A reaction vessel equipped with a separable four-necked flask equipped with a thermometer, a cooling tube, a nitrogen gas introduction tube, a dropping tube and a stirring device was charged with 196 parts of cyclohexanone, heated to 80 ° C., and purged with nitrogen in the reaction vessel. From the tube, 20.0 parts of benzyl methacrylate, 17.2 parts of n-butyl methacrylate, 12.9 parts of 2-hydroxyethyl methacrylate, 12.0 parts of methacrylic acid, paracumylphenol ethylene oxide modified acrylate (manufactured by Toagosei Co., Ltd. Aronix M110 ”) 20.7 parts and a mixture of 2,2'-azobisisobutyronitrile 1.1 parts were added dropwise over 2 hours. After completion of the dropwise addition, the reaction was continued for another 3 hours to obtain an acrylic resin solution.
  • a binder resin solution (B) was prepared.
  • the weight average molecular weight (Mw) was 26000.
  • Green Pigment Dispersion 1 (GP-1)> After the mixture having the following composition was uniformly stirred and mixed, it was dispersed with an Eiger mill for 10 hours using zirconia beads having a diameter of 0.5 mm, and then filtered with a 1.0 ⁇ m filter to obtain Green Pigment Dispersion 1 (GP-1 ) Was produced.
  • Green Pigment Dispersion 2 (GP-2) was produced in the same manner as Green Pigment Dispersion 1 (GP-1).
  • the yellow pigment dispersion 1 (YP-1) was prepared in the same manner as the yellow pigment dispersion 1 (YP-1) except that the dye derivative (H-1) for adjustment was changed to (H-3). Body 3 (YP-3) was produced.
  • Example 2 to 53, Comparative Examples 1 and 2 Examples 2 to 53 and Comparative Examples 1 and 2 were obtained in the same manner as Example 1 except that the composition was changed to the composition shown in Table 1. Further, the solid content of each component in 100 parts by weight of the solid content of the green coloring composition is as shown in Table 2. In addition, the unit of the numerical value of Table 1 and Table 2 is a weight part.
  • Photopolymerization initiator C-1 Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) ("IRGACURE OXE 02" manufactured by BASF)
  • Photopolymerization initiator C-2 2- (dimethylamino) -2-[(4-methylphenyl) methyl] -1- [4- (4-morpholinyl) phenyl] -1-butanone (“Irgacure” manufactured by BASF) 379 ")
  • UV absorber (E-1) (benzotriazole compound) 2- (3-tbutyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole (“TINUVIN 326” manufactured by BASF (absorbance 0) .5)
  • UV absorber (E-2) (benzophenone-based organic compound) 2,2-di-hydroxy-4,4-dimethoxybenzophenone (Cipro Kasei Co., Ltd.
  • UV absorber (E-3) (triazine organic compound) 2,4,6-tris (2-hydroxy-4-hexyloxy-3-methylphenyl) -1,3,5-triazine (manufactured by ADEKA) "ADK STAB LA-F70" (absorbance 0.9))
  • a flattening film resist solution HL-18s (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) was applied onto a 6-inch silicon wafer by spin coating, and heat-treated for 6 minutes on a hot plate at 100 ° C. as a pre-bake. Furthermore, it processed in 230 degreeC oven for 1 hour, the coating film was hardened, and the 0.5 micrometer planarization film
  • the photosensitive composition obtained above was applied onto a silicon wafer with a flattened film by a spin coater, and pre-baked and heat-treated for 1 minute on a 100 ° C. hot plate.
  • i-line stepper FPA-5510iZ manufactured by Canon Inc.
  • exposure was performed at a focal length of ⁇ 0.3 ⁇ m through a mask having a square pixel pattern of 1.1 ⁇ m square.
  • the exposure was performed while increasing the exposure amount from 1000J to 1000J.
  • the exposed coating film was developed with an organic alkali developer OD210 (manufactured by ADEKA) for 1 minute, washed with paddle water for 1 minute, and the substrate was dried by spin drying. A green pattern was obtained after development and washing with water.
  • the obtained green pattern was heat treated on a hot plate at 230 ° C. for 4 minutes to complete the formation of the green pattern.
  • ⁇ Cross sectional shape evaluation> The shape of the formed pixel pattern was observed and evaluated with SEM (scanning electron microscope) eCD2-XP (manufactured by KLA-Tencor).
  • the ratio of the upper base line width (T) of the formed pattern portion to the intermediate width (S) of the upper base and the lower base, the T / S value is When 0.75 or more: ⁇ (good) In the case of 0.65 or more and less than 0.75: ⁇ (practical) If less than 0.65: ⁇ (not practical) It was.
  • ⁇ Adhesion> The focal length is set to ⁇ 0 .0 through a square pixel pattern mask having a mask size of 0.8, 1.0, 1.2, 1.4, 1.6, and 1.8 ⁇ m square when forming the pixel pattern. Exposure was performed at 3 ⁇ m, and the resolution of the formed pattern was evaluated. A resolution of 0.8 ⁇ m to less than 1.4 ⁇ m can be obtained: ⁇ (good) A resolution of 1.4 ⁇ m to 1.8 ⁇ m can be obtained: ⁇ (practical) For other resolutions or peeling: x (not practical) It was.
  • ⁇ Residue 1> The mask dimension when forming the pixel pattern was 1.2 ⁇ m square, and the coating film after exposure to 5000 J ultraviolet rays was developed with the stepper, and then the substrate after the water washing and drying process was observed.
  • the substrate part where the substrate pattern is not formed is observed with a SEM (scanning electron microscope), and on the substrate, No residue: ⁇ (Good) There is residue, but is practical: ⁇ (practical) Those with residue: ⁇ (not practical) It was.
  • ⁇ Residue 2> The mask size when forming the pixel pattern was 1.0 ⁇ m square, and the coating film after exposure to 5000 J ultraviolet rays was developed with the stepper, and then the substrate after the water washing and drying process was observed.
  • the substrate part where the substrate pattern is not formed is observed with a SEM (scanning electron microscope), and on the substrate, No residue: ⁇ (Good) There is residue, but is practical: ⁇ (practical) Those with residue: ⁇ (not practical) It was.
  • ⁇ Peelable developability> A flattening film resist solution HL-18s (manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) was applied onto a 6-inch silicon wafer by spin coating, and heat-treated for 6 minutes on a hot plate at 100 ° C. as a pre-bake. Furthermore, it processed in 230 degreeC oven for 1 hour, the coating film was hardened, and the 0.5 micrometer planarization film
  • the film completely dissolves within 30 seconds: ⁇ (Excellent)
  • the film completely dissolves within 30 seconds to 60 seconds: ⁇ (good)
  • ⁇ (not practical) When the coating film peels off with the developer and the peeled piece does not dissolve within 60 seconds: ⁇ (not practical)

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Abstract

形成した画素の剥離現像に由来するパターン欠けがなく、垂直な断面形状を保つことができ、優れた密着性、残渣が少ない固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物、それを用いた固体撮像素子向けカラーフィルタおよび固体撮像素子を提供する。　前記課題は、着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、光重合性単量体（Ｄ）、紫外線吸収剤（Ｅ）及び単官能チオール（Ｆ）を含み、前記着色剤（Ａ）がＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６および／またはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含有する固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物によって解決される。

Description

固体撮像素子用着色組成物
　本発明は、Ｃ－ＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ：相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサおよびＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ：電荷結合素子）イメージセンサなどに代表される固体撮像素子に装着される固体撮像素子用カラーフィルタ、該カラーフィルタを備えた固体撮像素子、および固体撮像素子用感光性着色組成物に関する。
　Ｃ－ＭＯＳイメージセンサおよびＣＣＤイメージセンサなどの固体撮像素子は、カラーフィルタを使用して、具体的には、加法混合の原色であるＢ（青）、Ｇ（緑）、Ｒ（赤）のフィルタセグメントをそれぞれ受光素子上に配設して色分解するのが一般的である。この固体撮像装置においては、近年、画素サイズが縮小するにつれて、色分離の性能要求が厳しくなっている。それゆえ、色シェーディング特性、混色防止などのデバイス特性維持のため、カラーフィルタには、薄膜化、矩形化、及び有機画素間に色同士が重なり合うオーバーラップ領域をなくす等の性能が要求されている。
　具体的には、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいて、有機パターンの薄層化については、例えば、厚みが１μｍ以下、画素パターンサイズが２μｍ以下（例えば０．５～２．０μｍ）となるような微小サイズ化が図られる傾向にある。このような傾向に伴い、フォトリソグラフィープロセスにより形成されたカラーフィルタのパターン形状不良や残渣が固体撮像素子の特性に悪影響を及ぼすという問題が生じている。こうした問題を解決すべく、単官能チオールが使用されている（特許文献４）。
　特許文献１：特開２００６－２６７７９２号公報
　特許文献２：特開２００８－０４０４０４号公報
　特許文献３：特開２００６－１０４２４３号公報
　特許文献４：特許第５２１４００１号
　上記の手法には、現像中に塗膜が基材から剥がれてしまう剥離現像が発生し、その結果、パターンの欠けが生じるという課題がある。
　本発明の目的は、形成した画素の剥離現像によるパターン欠けがなく、垂直な断面形状を保つことができ、優れた密着性、残渣が少ない固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物、それを用いた固体撮像素子向けカラーフィルタおよび固体撮像素子を提供することにある。
　本発明者らは、上記課題を解決するため、鋭意検討を行った結果、着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、光重合性単量体（Ｄ）、紫外線吸収剤（Ｅ）及び単官能チオール（Ｆ）を含み、前記着色剤（Ａ）がＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６および／またはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含有する固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物によって、上記課題が解決されることを見出し、本発明に至った。
　すなわち、本発明は、着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、光重合性単量体（Ｄ）、紫外線吸収剤（Ｅ）及び単官能チオール（Ｆ）を含み、前記着色剤（Ａ）がＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６および／またはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含有する固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。
　また、光重合性単量体（Ｄ）がウレタンアクリレート及び／又は５官能以上のアクリレート（ウレタンアクリレートを除く）を含む前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。
　また、光重合性単量体（Ｄ）の含有量が、感光性緑色着色組成物の全固形分中、１５～３０重量％であり、光重合性単量体（Ｄ）の全固形分中、ウレタンアクリレート及び５官能以上のアクリレート（ウレタンアクリレートを除く）を合計した含有量が５０～９０重量％である前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。
　また、ウレタンアクリレートが、一般式（１）で表される化合物と、一般式（２）で表される多官能イソシアネートとを反応させて得られる化合物である前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。　
一般式（１）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
［一般式（１）中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は互いに独立して、アクリロイル基、又はメタクリロイル基を表す。］
一般式（２）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
［一般式（２）中、Ｘは２価のアルキレン基、又はアリーレン基を表す。］
　また、紫外線吸収剤（Ｅ）の含有量が、感光性緑色着色組成物の全固形分中、０．０５～３.００重量％である前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。
　また、紫外線吸収剤（Ｅ）が、クロロホルムに溶解させ１０ｍｇ／Ｌまで希釈した時の測定値波長３６５ｎｍにおける吸光度が０．４以上である紫外線吸収剤を含む前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。
　また、紫外線吸収剤（Ｅ）が、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物およびトリアジン系化合物から選ばれる少なくとも１種を含有する前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。
　また、単官能チオール（Ｆ）の含有量が、感光性着色組成物の全固形分中、０．０５～３．００重量％である前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。
　また、単官能チオール（Ｆ）は、一般式（４）で表される前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。　
一般式（３）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
（一般式（３）中、Ｘは硫黄原子、酸素原子、または＞Ｎ－Ｒを表し、Ｒは水素原子、アルキル基、またはアリール基を表し、Ａは、Ｎ＝Ｃ－Ｘと共にヘテロ環を形成する原子団を表す。）
　また、単官能チオール（Ｆ）が、下記一般式（４）で表される前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。　
一般式（４）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
（一般式（４）中、Ｒ１～Ｒ３は、それぞれ独立して、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいシクロアルキル基、置換基を有してもよい複素環基、置換基を有してもよいアルコキシル基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオ基、または置換基を有してもよいアリールチオ基を表す。）
　また、着色剤（Ａ）の含有量が、感光性着色組成物の全固形分中、４０～７０重量％である前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。
　また、光重合開始剤（Ｃ）の含有量が、感光性着色組成物の全固形分中、０．３～５.０重量％である前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。
　また、光重合開始剤（Ｃ）が、オキシムエステル系光重合開始剤を含有する前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する。
　また、基材上に、前記固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物から形成されてなるフィルタセグメントを具備する固体撮像素子向けカラーフィルタに関する。
　また、前記固体撮像素子向けカラーフィルタを具備する固体撮像素子に関する。
　本発明の感光性緑色組成物は、剥離現像によるパターン欠けがなく、垂直な断面形状を保つことができ、優れた密着性、残渣が少ない画素パターンを形成することができる。
　本発明の感光性着色組成物は、着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、光重合性単量体（Ｄ）、紫外線吸収剤（Ｅ）及び単官能チオール（Ｆ）を含み、前記着色剤（Ａ）がＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６および／またはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含有する感光性緑色組成物である。上記の感光性緑色組成物は紫外線硬化性に優れるため、固体撮像素子に適した画素パターンを形成することができる。
　以下、本発明を詳細に説明する。なお、本明細書では、「（メタ）アクリロイル」、「（メタ）アクリル」、「（メタ）アクリル酸」、「（メタ）アクリレート」、又は「（メタ）アクリルアミド」と表記した場合には、特に説明がない限り、それぞれ、「アクリロイル及び／又はメタクリロイル」、「アクリル及び／又はメタクリル」、「アクリル酸及び／又はメタクリル酸」、「アクリレート及び／又はメタクリレート」、又は「アクリルアミド及び／又はメタクリルアミド」を表すものとする。　
　また、本明細書に挙げる「Ｃ．Ｉ．」は、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）を意味する。
＜着色組成物＞
　本発明の感光性着色組成物は、着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、光重合性単量体（Ｄ）、紫外線吸収剤（Ｅ）及び単官能チオール（Ｆ）を含み、前記着色剤（Ａ）がＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６および／またはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含有する。
＜着色剤（Ａ）＞
　本発明は固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物に関する物であり、これに用いる着色剤（Ａ）は、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６および／またはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含有するという特徴をもつ。Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８は、透過率に優れるという効果を有する。
　Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８に併用できる着色剤を以下に挙げるが、これに限定されるものではない。
　緑色顔料としては、例えばＣ．Ｉ．ピグメントグリーン１、２、４、７、８、１０、１３、１４、１５、１７、１８、１９、２６、４５、４８、５０、５１、５４、５５、５９、６２、６３を挙げることができる。
　本発明の着色組成物は、色相の調整の目的で、本発明の効果を損なわない範囲で、黄色着色剤を含有してもよい。
　本発明の着色組成物に使用可能な黄色着色剤としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、２、３、４、５、６、１０、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１３９、１４７、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９２、１９３、１９４、１９６、１９８、１９９、２１３、２１４等の黄色顔料を用いることができる。これらの中でも、フィルタセグメントの耐熱性、耐光性、および透過率の観点から、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０、１８５、下記一般式（５）で表されるキノフタロン化合物である。　
一般式（５）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
［一般式（５）中、Ｘ１～Ｘ１３は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、置換基を有しても良いアルキル基、置換基を有しても良いアルコキシル基、置換基を有しても良いアリール基、－ＳＯ３Ｈ基、－ＣＯＯＨ基、－ＳＯ３Ｈ基もしくは－ＣＯＯＨ基の金属塩、－ＳＯ３Ｈ基もしくは－ＣＯＯＨ基のアルキルアンモニウム塩、置換基を有しても良いフタルイミドメチル基、または置換基を有しても良いスルファモイル基を示す。Ｘ１～Ｘ４、および／または、Ｘ１０～Ｘ１３の隣接した基は、一体となって、置換基を有してもよい芳香環を形成する。］
　ここで、ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。　
　また、置換基を有してもよいアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、プチル基、イソプチル基、ｔｅｒｔ－プチル基、ネオペンチル基、ｎ－へキシル基、ｎ－オクチル基、ステアリル基、２－エチルへキシル基等の直鎖又は分岐アルキル基の他、トリクロロメチル基、トリフルオロメチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、２，２－ジブロモエチル基、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル基、２－エトキシエチル基、２－ブトキシエチル基、２－ニトロプロピル基、ペンジル基、４－メチルペンジル基、４－ｔｅｒｔ－プチルベンジル基、４－メトキシペンジル基、４－ニトロベンジル基、２，４－ジクロロベンジル基等の置換基を有するアルキル基が挙げられる。
　また、置換基を有してもよいアルコキシル基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ－ブトキシ基、イソプチルオキシ基、ｔｅｒｔ－プチルオキシ基、ネオペンチルオキシ基、２，３－ジメチル－３－ペントキシ、ｎ－へキシルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、ステアリルオキシ基、２－エチルへキシルオキシ基等の直鎖又は分岐アルコキシル基の他、トリクロロメトキシ基、トリフルオロメトキシ基、２，２，２－トリフルオロエトキシ基、２，２，３，３－テトラフルオロプロピルオキシ基、２，２－ジトリフルオロメチルプロポキシ基、２－エトキシエトキシ基、２－ブトキシエトキシ基、２－ニトロプロポキシ基、ベンジルオキシ基等の置換基を有するアルコキシル基が挙げられる。
　また、置換基を有してもよいアリール基としては、フェニル基、ナフチル基、アントラニル基等のアリール基の他、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ブロモフェニル基、ｐ－ニトロフェニル基、ｐ－メトキシフェニル基、２，４－ジクロロフェニル基、ペンタフルオロフェニル基、２－アミノフェニル基、２－メチル－４－クロロフェニル基、４－ヒドロキシ－１－ナフチル基、６－メチル－２－ナフチル基、４，５，８－トリクロロ－２－ナフチル基、アントラキノニル基、２－アミノアントラキノニル基等の置換基を有するアリール基が挙げられる。
　また、酸性基としては、－ＳＯ３Ｈ、－ＣＯＯＨが挙げられ、これら酸性基の１価～３価の金属塩としては、ナトリウム塩、カリウム塩、マグネシウム塩、カルシウム塩、鉄塩、アルミニウム塩等が挙げられる。また、酸性基のアルキルアンモニウム塩としては、オクチルアミン、ラウリルアミン、ステアリルアミン等の長鎖モノアルキルアミンのアンモニウム塩、パルミチルトリメチルアンモニウム、ジラウリルジメチルアンモニウム、ジステアリルジメチルアンモニウム塩等の４級アルキルアンモニウム塩が挙げられる。
　置換基を有してもよいフタルイミドメチル基（Ｃ６Ｈ４（ＣＯ）２Ｎ－ＣＨ２－）、および、置換基を有してもよいスルファモイル基（Ｈ２ＮＳＯ２－）における「置換基」としては、上記のハロゲン原子、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有しても良いアルコキシル基、置換基を有してもよいアリール基等が挙げられる。
　一般式（５）のＸ１～Ｘ４、および／または、Ｘ１０～Ｘ１３の隣接した基は、一体となって、置換基を有してもよい芳香環を形成する。ここでいう芳香環とは、炭化水素芳香環および複素芳香環が挙げられ、炭化水素芳香環としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環等が、また、複素芳香環としては、ピリジン環、ピラジン環、ピロール環、キノリン環、キノキサリン環、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、オキサゾール環、チアゾール環、イミダゾール環、ピラゾール環、インドール環、カルバゾール環などが挙げられる。
＜着色組成物の濃度＞
　また、カラー撮像素子は１．０μｍ以下の薄膜化が求められるため、本発明の着色剤の固形分中の顔料濃度は、４０重量％以上であることが好ましい。
＜バインダー樹脂（Ｂ）＞
　本発明の着色組成物に含まれるバインダー樹脂としては、従来公知の熱可塑性樹脂、および熱硬化性樹脂が挙げられる。
　熱可塑性樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、ブチラール樹脂、スチレンーマレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル－酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、ビニル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリエチレン（HDPE、LDPE）、ポリブタジエン、及びポリイミド樹脂等が挙げられる。
　着色組成物として用いる場合には、可視光領域の４００～７００ｎｍの全波長領域において分光透過率が好ましくは８０％以上、より好ましくは９５％以上の樹脂であることが好ましい。また、アルカリ現像型着色レジストの形態で用いる場合には、酸性基含有エチレン性不飽和単量体を共重合したアルカリ可溶性ビニル系樹脂を用いることが好ましい。また、さらに光感度を向上させるために、エチレン性不飽和活性二重結合を有するエネルギー線硬化性樹脂を用いることもできる。
　酸性基含有エチレン性不飽和モノマーを共重合したアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、カルボキシル基、スルホン基等の酸性基を有する樹脂が挙げられる。アルカリ可溶性樹脂として具体的には、酸性基を有するアクリル樹脂、α－オレフィン／（無水）マレイン酸共重合体、スチレン／スチレンスルホン酸共重合体、エチレン／（メタ）アクリル酸共重合体、又はイソブチレン／（無水）マレイン酸共重合体等が挙げられる。中でも、酸性基を有するアクリル樹脂、及びスチレン／スチレンスルホン酸共重合体から選ばれる少なくとも１種の樹脂、特に酸性基を有するアクリル樹脂は、耐熱性、透明性が高いため、好適に用いられる。
　エチレン性不飽和活性二重結合を有するエネルギー線硬化性樹脂としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等の反応性の置換基を有する高分子にイソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基等の反応性置換基を有する（メタ）アクリル化合物やケイヒ酸を反応させて、（メタ）アクリロイル基、スチリル基等の光架橋性基を該高分子に導入した樹脂が用いられる。又、スチレン－無水マレイン酸共重合物やα－オレフィン－無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む高分子をヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート等の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物によりハーフエステル化したものも用いられる。
　熱可塑性樹脂として、アルカリ可溶性能とエネルギー線硬化性能とを併せもつものも、着色組成物として好ましい。
　上記熱可塑性樹脂を構成するモノマーとして以下のものが挙げられる。例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、又はエトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレート類、あるいは、（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－イソプロピル（メタ）アクリルアミド、ダイアセトン（メタ）アクリルアミド、又はアクリロイルモルホリン等の（メタ）アクリルアミド類、スチレン、又はα－メチルスチレン等のスチレン類、エチルビニルエーテル、ｎ－プロピルビニルエーテル、イソプロピルビニルエーテル、ｎ－ブチルビニルエーテル、又はイソブチルビニルエーテル等のビニルエーテル類、酢酸ビニル、又はプロピオン酸ビニル等の脂肪酸ビニル類が挙げられる。
　あるいは、シクロヘキシルマレイミド、フェニルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、１，２－ビスマレイミドエタン１，６－ビスマレイミドヘキサン、３－マレイミドプロピオン酸、６，７－メチレンジオキシ－４－メチル－３－マレイミドクマリン、４，４’－ビスマレイミドジフェニルメタン、ビス（３－エチル－５－メチル－４－マレイミドフェニル）メタン、Ｎ，Ｎ’－１，３－フェニレンジマレイミド、Ｎ，Ｎ’－１，４－フェニレンジマレイミド、Ｎ－（１－ピレニル）マレイミド、Ｎ－（２，４，６－トリクロロフェニル）マレイミド、Ｎ－（４－アミノフェニル）マレイミド、Ｎ－（４－ニトロフェニル）マレイミド、Ｎ－ベンジルマレイミド、Ｎ－ブロモメチル－２，３－ジクロロマレイミド、Ｎ－スクシンイミジル－３－マレイミドベンゾエート、Ｎ－スクシンイミジル－３－マレイミドプロピオナート、Ｎ－スクシンイミジル－４－マレイミドブチラート、Ｎ－スクシンイミジル－６－マレイミドヘキサノアート、Ｎ－［４－（２－ベンゾイミダゾリル）フェニル］マレイミド、９－マレイミドアクリジン等のＮ-置換マレイミド類が挙げられる。
　特に、Ｎ-置換マレイミド由来の構成単位を有することが好ましく、なかでも耐熱性の点からシクロヘキシルマレイミド、メチルマレイミド、エチルマレイミド、１，２－ビスマレイミドエタンが好ましく、特にシクロヘキシルマレイミドが好ましい。
　熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、及びフェノール樹脂等が挙げられる。
　本発明の着色組成物は、熱硬化性樹脂を含むとさらに耐熱性の面で好ましく、例えば、なかでも、エポキシ樹脂、メラミン樹脂がより好適に使用出来、特にメラミン樹脂がより好ましく、なかでも、メチロールイミノ基を有するメラミン化合物またはその縮合物がさらに好ましい。
　熱硬化性樹脂は、着色剤１００重量部に対し、５～６０重量部の範囲で添加することが好ましい。１０重量部未満であると耐熱性・耐光性向上への効果が小さくなり、６０重量部を超えるとアルカリ現像の際の現像性悪化のため好ましくない。
　バインダー樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、着色剤を好ましく分散させるためには、５，０００～１００，０００の範囲が好ましく、より好ましくは８，０００～５０，０００の範囲である。また数平均分子量（Ｍｎ）は２，５００～５０，０００の範囲が好ましく、Ｍｗ／Ｍｎの値は１０以下であることが好ましい。
　ここで重量平均分子量（Ｍｗ）、数平均分子量（Ｍｎ）は、東ソー株式会社製ゲルパーミエイションクロマトグラフィー「ＨＬＣ－８１２０ＧＰＣ」において、分離カラムを４本直列に繋ぎ、充填剤には順に東ソー株式会社製「ＴＳＫ－ＧＥＬ ＳＵＰＥＲ Ｈ５０００」、「Ｈ４０００」、「Ｈ３０００」、及び「Ｈ２０００」を用い、移動相にテトラヒドロフランを用いて測定したポリスチレン換算分子量である。
　バインダー樹脂を着色組成物として使用する場合には、顔料分散性、現像性、及び耐熱性の観点から、顔料吸着基及び現像時のアルカリ可溶基として働くカルボキシル基、顔料担体及び溶剤に対する親和性基として働く脂肪族基及び芳香族基のバランスが、顔料分散性、現像性、さらには耐久性にとって重要であり、酸価２０～３００ｍｇＫＯＨ／ｇの樹脂を用いることが好ましい。酸価が、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満では、現像液に対する溶解性が悪く、微細パターン形成するのが困難である。３００ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると、微細パターンが残らなくなる。
　バインダー樹脂は、着色剤の全重量を基準として、２０～５００重量％の量で用いることができる。３０重量％未満では、成膜性及び諸耐性が不十分となり、５００重量％より多いと顔料濃度が低く、色特性を発現できない。
＜光重合開始剤（Ｃ）＞
　本発明の着色組成物は、該組成物を紫外線照射により硬化させ、フォトリソグラフ法によりフィルタセグメントを形成する場合、光重合開始剤等を加えて溶剤現像型あるいはアルカリ現像型着色レジスト材の形態で調製することができる。光重合開始剤を使用する際の配合量は、実用的な紫外線感度の観点から、感光性着色組成物の全固形分中、０．３～５.０重量％であることがより好ましい。
　光重合開始剤としては、４－フェノキシジクロロアセトフェノン、４－ｔ－ブチル－ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、１－（４－イソプロピルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－メチル－１－[４－（メチルチオ）フェニル]－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－（ジメチルアミノ）－２－[（４－メチルフェニル）メチル]－１－[４－（４－モルフォリニル）フェニル]－１－ブタノン、または２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－ブタン－１－オン等のアセトフェノン系化合物；ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、またはベンジルジメチルケタール等のベンゾイン系化合物；ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４－フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４－ベンゾイル－４’－メチルジフェニルサルファイド、または３，３’，４，４’－テトラ（ｔ－ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；チオキサントン、２－クロルチオキサントン、２－メチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４－ジイソプロピルチオキサントン、または２，４－ジエチルチオキサントン等のチオキサントン系化合物；２，４，６－トリクロロ－ｓ－トリアジン、２－フェニル－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（ｐ－メトキシフェニル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（ｐ－トリル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－ピペロニル－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２，４－ビス（トリクロロメチル）－６－スチリル－ｓ－トリアジン、２－（ナフト－１－イル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－メトキシ－ナフト－１－イル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２，４－トリクロロメチル－（ピペロニル）－６－トリアジン、または２，４－トリクロロメチル－（４’－メトキシスチリル）－６－トリアジン等のトリアジン系化合物；１，２－オクタンジオン，１－〔４－（フェニルチオ）－，２－（Ｏ－ベンゾイルオキシム）〕、またはＯ－（アセチル）－Ｎ－（１－フェニル－２－オキソ－２－（４’－メトキシ－ナフチル）エチリデン）ヒドロキシルアミン等のオキシムエステル系化合物；ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、または２，４，６－トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド等のホスフィン系化合物；９，１０－フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアントラキノン等のキノン系化合物；ボレート系化合物； カルバゾール系化合物；イミダゾール系化合物；あるいは、チタノセン系化合物等が用いられる。また、カラー撮像素子は薄膜化が求められるため、固形分組成中の顔料濃度が高くなる。そのため、これら光重合開始剤は、オキシムエステル系化合物などの高感度のものがより好ましい。
　これらの光重合開始剤は１種または必要に応じて任意の比率で２種以上混合して用いることができる。
＜光重合性単量体（Ｄ）＞
　本発明の着色組成物に添加しても良い光重合性単量体（Ｄ）には、紫外線や熱などにより硬化して透明樹脂を生成するモノマーもしくはオリゴマーが含まれる。
　紫外線や熱などにより硬化して透明樹脂を生成するモノマー、オリゴマーとしては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、β－カルボキシエチル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンＰＯ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンＥＯ変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、エステルアクリレート、メチロール化メラミンの（メタ）アクリル酸エステル、エポキシ（メタ）アクリレート、ウレタンアクリレート等の各種アクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸、スチレン、酢酸ビニル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ビニルホルムアミド、アクリロニトリル等が挙げられるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
　また、光重合性単量体は酸基を含有してもよい。例えば、多価アルコールと（メタ）アクリル酸との遊離水酸基含有ポリ（メタ）アクリレート類と、ジカルボン酸類とのエステル化物；多価カルボン酸と、モノヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート類とのエステル化物等を挙げることができる。具体例としては、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート等のモノヒドロキシオリゴアクリレートまたはモノヒドロキシオリゴメタクリレート類と、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、テレフタル酸等のジカルボン酸類との遊離カルボキシル基含有モノエステル化物；プロパン－１，２，３－トリカルボン酸（トリカルバリル酸）、ブタン－１，２，４－トリカルボン酸、ベンゼン－１，２，３－トリカルボン酸、ベンゼン－１，３，４－トリカルボン酸、ベンゼン－１，３，５－トリカルボン酸等のトリカルボン酸類と、２－ヒドロキシエチルアクリレート、２－ヒドロキシエチルメタクリレート、２－ヒドロキシプロピルアクリレート、２－ヒドロキシプロピルメタクリレート等のモノヒドロキシモノアクリレートまたはモノヒドロキシモノメタクリレート類との遊離カルボキシル基含有オリゴエステル化物等が挙げられるが、本発明の効果はこれらに限定されるものではない。
　本発明における光重合性単量体（Ｄ）は、ウレタンアクリレート及び／又は５官能以上のアクリレート（ウレタンアクリレートを除く）を含む重合性不飽和結合基を有する単量体を含有することが好ましい。ウレタンアクリレートを含むことで、剥離現像を著しく改善することができる。これは、剥離現像が露光時の塗膜が局所的に硬化することで生じるところ、紫外線吸収剤と単官能チオールとウレタンアクリレートを同時に含有することで、紫外線吸収剤の停止反応と、チオールの連鎖移動反応と、ウレタンアクリレートの重合反応が局所的ではなく露光量に応じて均等に進行するためと考えられる。上記の反応が塗膜中で均等にできるのは、紫外線吸収剤と単官能チオールとウレタンアクリレートの相溶性が高いためである。また、ウレタンアクリレートを含むことで、本発明の単官能チオールの添加量が少量でも本発明の効果を得ることができる。また、５官能以上のアクリレートを含むことで、単官能チオールの添加量が少量でも本発明の効果を得ることができるとともに現像残渣を低減することができる。これは５官能以上のアクリレートと単官能チオールを使用することにより架橋密度が向上するため、特にピクセルパターンが１．０μｍ以下の微細なパターンを形成する際に塗膜内で架橋が弱い部分が現像液に浸食されて剥離し基板に付着して発生する残渣を抑制するためと推察される。また５官能以上のアクリレートが紫外線吸収剤・単官能チオールとも相溶性が高いため現像残渣が少なくなると考えられる。本発明における５官能以上のアクリレートは、上記の効果がより大きい６官能アクリレートが好ましい。
（ウレタンアクリレート）
　ウレタンアクリレートは、下記一般式（１）で表される化合物と下記一般式（２）で表される多官能イソシアネートを反応させて得られる化合物であることが好ましく、特に、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートとイソシアネートを反応させて得られる化合物が好ましい。
　なお、一般式（１）で表される化合物と、両末端にイソシアネート基を有する一般式（２）で表される多官能イソシアネートの反応物は、その構造又は特性により直接特定することが不可能であるかおよそ現実的でないため、製造方法により記載する。　
一般式（１）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
［一般式（１）中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は互いに独立して、アクリロイル基、又はメタクリロイル基を表す。］
一般式（２）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
［一般式（２）中、Ｘは２価のアルキレン基、又はアリーレン基を表す。］
（５官能以上のアクリレート（ウレタンアクリレートを除く））
　本発明の５官能以上のアクリレートはウレタン結合を含有せず、（メタ）アクリロイル基を１分子中に５つ以上含有する（メタ）アクリレートであり、特に６官能アクリレートが残渣に優れる点で好ましい。５官能以上のアクリレートの具体例としては、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、及びジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートのカプロラクトン変性物又はアルキレンオキサイド変性物、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートの水酸基をコハク酸で変性したアクリレートなどが挙げられる。
（その他の単量体）
　ウレタンアクリレート及び／又は５官能以上のアクリレートはその他の光重合性モノマーまたはオリゴマーと一緒に用いることができる。例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、β－カルボキシエチル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、及びその酸無水物付加物、１，６－ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、及びその酸無水物付加物、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリス（アクリロキシエチル）イソシアヌレート、トリス（メタクリロキシエチル）イソシアヌレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、エステルアクリレート、メチロール化メラミンの（メタ）アクリル酸エステル、エポキシ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、スチレン、酢酸ビニル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ビニルホルムアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。
　これらの光重合性単量体は、１種を単独で、または必要に応じて任意の比率で２種以上混合して用いることができる。
　感光性緑色組成物中の全固形分に対する光重合性単量体（Ｄ）の含有量は１５～３０重量％であることが好ましい。上記より少ない場合、感光性着色組成物パターンのテーパー部が長く引き伸ばされ、高精細な微細画素パターンを形成することが困難になる。上記より多い場合には、解像性や残渣の悪化といった不具合が発生することがある。
　さらに、光重合性単量体（Ｄ）に含まれるウレタンアクリレート及び５官能以上のアクリレートを合計した含有量は５０～９０重量％が好ましい。上記より少ない場合、感光性着色組成物パターンのテーパー部が長く引き伸ばされ、高精細な微細画素パターンを形成することが困難になる。上記より多い場合には、パターン形状や解像性、残渣の悪化といった不具合が発生することがある。　
　なお、固形分とは、溶剤などの揮発成分以外の成分を表す。
＜紫外線吸収剤（Ｅ）＞
　本発明における紫外線吸収剤（Ｅ）とは、光重合開始剤以外の紫外線吸収機能を有する有機化合物である。感光性着色組成物中の全固形分に対する紫外線吸収剤（Ｅ）の含有量は０．０５～３.０重量％であることが好ましい。紫外線吸収剤（Ｅ）の含有量が、上記より少ない場合、紫外線吸収剤の効果が小さく、感光性着色組成物パターンのテーパー部が長く引き伸ばされ、高精細な微細画素パターンを形成することが困難になるとともに残渣が多くなる。上記より多い場合には、不溶解分の発生や、密着性が低くなるといった不具合が発生することがある。
（吸光度）
　紫外線吸収剤（Ｅ）の波長３６５ｎｍにおける吸光度は０．４以上であることが好ましい。
　吸光度は紫外線吸収剤（Ｅ）をクロロホルムなどの波長３６５ｎｍに吸収のない溶媒に溶解させ、１０ｍｇ／Ｌまで希釈した時の測定値であり以下に測定方法について説明する。この方法はＬａｍｂｅｒｔ－Ｂｅｅｒの法則として知られた溶液濃度と光吸収との関係を利用したものである。つまり、ある濃度の溶液を一定の厚みを持つ透明な容器に封入しその片面から強度Ｉ0の光を照射し、反対側の面から出てくる強度Ｉの光を観測すると入射した光は容器内部の溶液に吸収されその強度が弱まる。そして、その強度の弱まり方は、溶液の濃度に比例することが知られている。この法則を表す関係式はＡを吸光度とすると、
　　　Ａ＝－Ｌｏｇ（Ｉ0／Ｉ）＝ａｂｃ
と表わされる。ここで、ａは比例定数、ｂは溶液の厚さ、ｃは溶液濃度である。
　さらに紫外線吸収剤（Ｅ）はベンゾトリアゾール系有機化合物またはベンゾフェノン系有機化合物またはトリアジン系有機化合物であることが好ましく、波長３６５ｎｍにおける吸光度が０．４以上であるベンゾトリアゾール系有機化合物としては、２－（５メチル－２－ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（３－ｔブチル－５－メチル－２－ヒドロキシフェニル）－５－クロロベンゾトリアゾール、2,2'-メチレンビス[6-(ベンゾトリアゾール-2-イル)-4-tert-オクチルフェノール]等が挙げられる。ベンゾフェノン系有機化合物としては、２，２－ジ－ヒドロキシ－４，４－ジメトキシベンゾフェノン等が挙げられる。トリアジン系有機化合物としては2,4,6-トリス(2-ヒドロキシ-4-ヘキシルオキシ-3-メチルフェニル)-1,3,5-トリアジン等が挙げられる。
　具体的にはＢＡＳＦ社製「ＴＩＮＵＶＩＮ Ｐ」（吸光度０．４０）、「ＴＩＮＵＶＩＮ ３２６」（吸光度０．４８）、「ＴＩＮＵＶＩＮ ３６０」（吸光度０．４０）、シプロ化成社製「シーソーブ１０７」（吸光度０．６０）ＡＤＥＫＡ社製「アデカスタブ LA-F70」（吸光度０．９０）等が挙げられる。
＜単官能チオール（Ｆ）＞
　本発明の緑色組成物は単官能チオール化合物を含有する。これにより、密着性に優れ、矩形な画素パターン形成が可能な固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物を提供できる。
　固体撮像素子用のカラーフィルタにおいて、１．０μｍ以下の薄膜厚化が要求されているため、感光性組成物中の着色成分を高濃度化しなければならない。加えて、膜の深部は表層部と比べ露光が十分ではない場合があるため、基板との密着が不十分となる傾向があったが、本発明の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物は、単官能チオールを含有することで、感度を高め、優れた密着性を得ることができる。
　本発明における単官能チオール（Ｆ）は、感光性着色組成物中の全固形分に対する単官能チオール（Ｆ）の含有量は０．０５～３．０重量％であることが好ましい。上記より少ない場合は、感光性着色組成物パターンの感度が不十分で、高精細な微細画素パターンを形成することが困難になる。上記より多い場合には、解像性や残渣の悪化といった不具合が発生することがある。
　本発明における単官能チオール（Ｆ）は、下記一般式（３）または一般式（４）で表される化合物であることが好ましい。　
一般式（３）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000012
　一般式（３）中、Ｘは硫黄原子、酸素原子、または＞Ｎ－Ｒを表し、Ｒは水素原子、アルキル基、またはアリール基を表し、Ａは、Ｎ＝Ｃ－Ｘと共にヘテロ環を形成する原子団を表す。
　一般式（３）におけるＲで表されるアルキル基としては、炭素原子数が１から２０までの直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基を挙げることができ、炭素原子数１から１２までの直鎖状、炭素原子数３から１２までの分岐状、並びに炭素原子数５から１０までの環状のアルキル基がより好ましい。
　その具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、ヘキサデシル基、オクタデシル基、エイコシル基、イソプロピル基、イソブチル基、ｓ－ブチル基、ｔ－ブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、１－メチルブチル基、イソヘキシル基、２－エチルヘキシル基、２－メチルヘキシル基、シクロヘキシル基、シクロペンチル基、２－ノルボルニル基等を挙げることができる。
　一般式（３）におけるＲで表されるアリール基としては、単環構造のものに加え、１個から３個のベンゼン環が縮合環を形成したもの、ベンゼン環と５員不飽和環が縮合環を形成したものなどを挙げることができ、具体例としては、フェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基、インデニル基、アセナブテニル基、フルオレニル基等を挙げることができ、これらの中では、フェニル基、ナフチル基がより好ましい。
　これらのアルキル基やアリール基は、更に置換基を有していてもよく、導入しうる置換基としては、炭素原子数１～２０の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、炭素原子数２～２０の直鎖状、分岐状又は環状のアルケニル基、炭素原子数２～２０のアルキニル基、炭素原子数６～２０のアリール基、炭素原子数１～２０のアシルオキシ基、炭素原子数２～２０のアルコキシカルボニルオキシ基、炭素原子数７～２０のアリールオキシカルボニルオキシ基、炭素原子数１～２０のカルバモイルオキシ基、炭素原子数１～２０のカルボンアミド基、炭素原子数１～２０のスルホンアミド基、炭素原子数１～２０のカルバモイル基、スルファモイル基、炭素原子数１～２０の置換スルファモイル基、炭素原子数１～２０のアルコキシ基、炭素原子数６～２０のアリールオキシ基、炭素原子数７～２０のアリールオキシカルボニル基、炭素原子数２～２０のアルコキシカルボニル基、炭素原子数１～２０のＮ－アシルスルファモイル基、炭素原子数１～２０のＮ－スルファモイルカルバモイル基、炭素原子数１～２０のアルキルスルホニル基、炭素原子数６～２０のアリールスルホニル基、炭素原子数２～２０のアルコキシカルボニルアミノ基、炭素数７～２０のアリールオキシカルボニルアミノ基、アミノ基、炭素原子数１～２０の置換アミノ基、炭素原子数１～２０のイミノ基、炭素原子数３～２０のアンモニオ基、カルボキシル基、スルホ基、オキシ基、メルカプト基、炭素数１～２０のアルキルスルフィニル基、炭素原子数６～２０のアリールスルフィニル基、炭素原子数１～２０のアルキルチオ基、炭素原子数６～２０のアリールチオ基、炭素原子数１～２０のウレイド基、炭素原子数２～２０のヘテロ環基、炭素原子数１～２０のアシル基、スルファモイルアミノ基、炭素原子数１～２の置換スルファモイルアミノ基、炭素原子数２～２０のシリル基、イソシアネート基、イソシアニド基、ハロゲン原子（例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等）、シアノ基、ニトロ基、オニウム基等が挙げられる。
　中でも、メルカプトイミダゾール、メルカプトオキサゾール、メルカプトチアゾール、メルカプトトリアゾール、メルカプトチアジアゾール、メルカプトベンゾイミダゾール、メルカプトベンゾオキサゾール、メルカプトベンゾチアゾール、及びそれら誘導体等のヘテロ環単官能チオール化合物が好ましく、Ｎ－フェニルメルカプトベンゾイミダゾール、２－メルカプト－５－メチルチオ－１，３，４－チアジアゾール、２－メルカプト－５－メトキシエチルチオ－１，３，４－チアジアゾール、５－ヘキサノキシエトキシ－２－メルカプト－６－メチル－１，３－ベンゾオキサゾール等が特に好ましい。　
一般式（４）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000013
　一般式（４）中、Ｒ１～Ｒ３は、それぞれ独立して、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいシクロアルキル基、置換基を有してもよい複素環基、置換基を有してもよいアルコキシル基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオ基、または置換基を有してもよいアリールチオ基を表す。
　置換基を有してもよいアルキル基の「アルキル基」としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ネオペンチル基、ｎ－へキシル基、ｎ－オクチル基、ステアリル基、２－エチルへキシル基等の直鎖又は分岐アルキル基が挙げられ、「置換基を有するアルキル基」としては、トリクロロメチル基、トリフルオロメチル基、２，２，２－トリフルオロエチル基、２，２－ジブロモエチル基、２，２，３，３－テトラフルオロプロピル基、２－エトキシエチル基、２－ブトキシエチル基、２－ニトロプロピル基、ベンジル基、４－メチルベンジル基、４－ｔｅｒｔ－プチルベンジル基、４－メトキシベンジル基、４－ニトロベンジル基、２，４－ジクロロベンジル基等が挙げられる。
　置換基を有してもよいアリール基の「アリール基」としては、フェニル基、ナフチル基、アンスリル基等が挙げられ、「置換基を有するアリール基」としては、ｐ－メチルフェニル基、ｐ－ブロモフェニル基、ｐ－ニトロフェニル基、ｐ－メトキシフェニル基、２，４－ジクロロフェニル基、ペンタフルオロフェニル基、２－アミノフェニル基、２－メチル－４－クロロフェニル基、４－ヒドロキシ－１－ナフチル基、６－メチル－２－ナフチル基、４，５，８－トリクロロ－２－ナフチル基、アントラキノニル基、２－アミノアントラキノニル基等が挙げられる。
　置換基を有してもよいシクロアルキル基の「シクロアルキル基」としては、シクロペンチル基、シクロへキシル基、アダマンチル基等が挙げられ、「置換基を有するシクロアルキル基」としては、２，５－ジメチルシクロペンチル基、４－ｔｅｒｔ－プチルシクロヘキシル基等が挙げられる。
　置換基を有してもよい複素環基の「複素環基」としては、ピリジル基、ピラジル基、ピペリジノ基、ピラニル基、モルホリノ基、アクリジニル基等が挙げられ、「置換基を有する複素環基」としては、３－メチルピリジル基、Ｎ－メチルピペリジル基、Ｎ－メチルピロリル基等が挙げられる。
　置換基を有してもよいアルコキシル基の「アルコキシル基」としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ－ブトキシ基、イソブトキシ基、ｔｅｒｔ－ブトキシ基、ネオペンチルオキシ基、２，３－ジメチル－３－ペンチルオキシ、ｎ－へキシルオキシ基、ｎ－オクチルオキシ基、ステアリルオキシ基、２－エチルへキシルオキシ基等の直鎖又は分岐アルコキシル基が挙げられ、「置換基を有するアルコキシル基」としては、トリクロロメトキシ基、トリフルオロメトキシ基、２，２，２－トリフルオロエトキシ基、２，２，３，３－テトラフルオロプロポキシ基、２，２－ジトリフルオロメチルプロポキシ基、２－エトキシエトキシ基、２－ブトキシエトキシ基、２－ニトロプロポキシ基、ベンジルオキシ基等が挙げられる。
　置換基を有してもよいアリールオキシ基の「アリールオキシ基」としては、フェノキシ基、ナフトキシ基、アンスリルオキシ基等が挙げられ、「置換基を有するアリールオキシ基」としては、ｐ－メチルフェノキシ基、ｐ－ニトロフェノキシ基、ｐ－メトキシフェノキシ基、２，４－ジクロロフェノキシ基、ペンタフルオロフェノキシ基、２－メチル－４－クロロフェノキシ基等が挙げられる。
　置換基を有してもよいアルキルチオ基の「アルキルチオ基」としては、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、デシルチオ基、ドデシルチオ基、オクタデシルチオ基等が挙げられ、「置換基を有するアルキルチオ基」としては、メトキシエチルチオ基、アミノエチルチオ基、ベンジルアミノエチルチオ基、メチルカルボニルアミノエチルチオ基、フェニルカルボニルアミノエチルチオ基等が挙げられる。
　置換基を有してもよいアリールチオ基の「アリールチオ基」としては、フェニルチオ基、１－ナフチルチオ基、２－ナフチルチオ基、９－アンスリルチオ基等が挙げられ、「置換基を有するアリールチオ基」としては、クロロフェニルチオ基、トリフルオロメチルフェニルチオ基、シアノフェニルチオ基、ニトロフェニルチオ基、２－アミノフェニルチオ基、２－ヒドロキシフェニルチオ基等が挙げられる。　
　中でも、Ｒ１～Ｒ３がすべてフェニル基であるトリフェニルメタンチオールが好ましい。
＜有機溶剤＞
　本発明の着色組成物には、着色剤を充分に着色剤担体中に分散、浸透させ、ガラス基板等の基板上に乾燥膜厚が０．２～５μｍとなるように塗布してフィルタセグメントを形成することを容易にするために有機溶剤を含有している。
　有機溶剤は、１種を単独で、若しくは２種以上を混合して用いることができる。また溶剤は、着色組成物を適正な粘度に調節し、目的とする均一な膜厚のフィルタセグメントを形成できることから、着色剤の全重量を基準（１００重量％）にして、５００～４０００重量％の量で用いることが好ましい。
　有機溶剤としては、例えば乳酸エチル、ベンジルアルコール、１，２，３－トリクロロプロパン、１，３－ブタンジオール、１，３－ブチレングリコール、１，３－ブチレングリコールジアセテート、１，４－ジオキサン、２－ヘプタノン、２－メチル－１，３－プロパンジオール、３，５，５－トリメチル－２－シクロヘキセン－１－オン、３，３，５－トリメチルシクロヘキサノン、３－エトキシプロピオン酸エチル、３－メチル－１，３－ブタンジオール、３－メトキシ－３－メチル－１－ブタノール、３－メトキシ－３－メチルブチルアセテート、３－メトキシブタノール、３－メトキシブチルアセテート、４－ヘプタノン、ｍ－キシレン、ｍ－ジエチルベンゼン、ｍ－ジクロロベンゼン、Ｎ，Ｎ－ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチルホルムアミド、ｎ－ブチルアルコール、ｎ－ブチルベンゼン、ｎ－プロピルアセテート、ｏ－キシレン、ｏ－クロロトルエン、ｏ－ジエチルベンゼン、ｏ－ジクロロベンゼン、ｐ－クロロトルエン、ｐ－ジエチルベンゼン、ｓｅｃ－ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ－ブチルベンゼン、γ－ブチロラクトン、イソブチルアルコール、イソホロン、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノターシャリーブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジイソブチルケトン、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、シクロヘキサノール、シクロヘキサノールアセテート、シクロヘキサノン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ダイアセトンアルコール、トリアセチン、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジアセテート、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、ベンジルアルコール、メチルイソブチルケトン、メチルシクロヘキサノール、酢酸ｎ－アミル、酢酸ｎ－ブチル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、酢酸プロピル、二塩基酸エステル等が挙げられる。
　中でも、本発明の着色剤の分散が良好なことから、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のグリコールアセテート類、ベンジルアルコール等の芳香族アルコール類やシクロヘキサノン等のケトン類を用いることが好ましい。
＜増感剤＞
　さらに、本発明の着色組成物には、増感剤を含有させることができる。増感剤としては、カルコン誘導体、ジベンザルアセトン等に代表される不飽和ケトン類、ベンジルやカンファーキノン等に代表される１，２－ジケトン誘導体、ベンゾイン誘導体、フルオレン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、キサンテン誘導体、チオキサンテン誘導体、キサントン誘導体、チオキサントン誘導体、クマリン誘導体、ケトクマリン誘導体、シアニン誘導体、メロシアニン誘導体、オキソノ－ル誘導体等のポリメチン色素、アクリジン誘導体、アジン誘導体、チアジン誘導体、オキサジン誘導体、インドリン誘導体、アズレン誘導体、アズレニウム誘導体、スクアリリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、テトラフェニルポルフィリン誘導体、トリアリールメタン誘導体、テトラベンゾポルフィリン誘導体、テトラピラジノポルフィラジン誘導体、フタロシアニン誘導体、テトラアザポルフィラジン誘導体、テトラキノキサリロポルフィラジン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、サブフタロシアニン誘導体、ピリリウム誘導体、チオピリリウム誘導体、テトラフィリン誘導体、アヌレン誘導体、スピロピラン誘導体、スピロオキサジン誘導体、チオスピロピラン誘導体、金属アレーン錯体、有機ルテニウム錯体、またはミヒラーケトン誘導体、α－アシロキシエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、９，１０－フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、４，４’－ジエチルイソフタロフェノン、３，３’または４，４’－テトラ（ｔ－ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４’－ジエチルアミノベンゾフェノン等が挙げられる。
　さらに具体的には、大河原信ら編、「色素ハンドブック」（１９８６年、講談社）、大河原信ら編、「機能性色素の化学」（１９８１年、シーエムシー）、池森忠三朗ら編、及び「特殊機能材料」（１９８６年、シーエムシー）に記載の増感剤が挙げられるがこれらに限定されるものではない。また、その他、紫外から近赤外域にかけての光に対して吸収を示す増感剤を含有させることもできる。
　増感剤は、必要に応じて任意の比率で２種以上用いても構わない。増感剤を使用する際の配合量は、着色組成物中に含まれる光重合開始剤の全重量を基準（１００重量％）として、３～６０重量％であることが好ましく、光硬化性、現像性の観点から５～５０重量％であることがより好ましい。
＜アミン系化合物＞
　また、本発明の着色組成物には、溶存している酸素を還元する働きのあるアミン系化合物を含有させることができる。このようなアミン系化合物としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４－ジメチルアミノ安息香酸メチル、４－ジメチルアミノ安息香酸エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２－ジメチルアミノエチル、４－ジメチルアミノ安息香酸２－エチルヘキシル、及びＮ，Ｎ－ジメチルパラトルイジン等が挙げられる。
＜レベリング剤＞
　本発明の着色組成物には、透明基板上での組成物のレベリング性を良くするため、レベリング剤を添加することが好ましい。レベリング剤としては、主鎖にポリエーテル構造またはポリエステル構造を有するジメチルシロキサンが好ましい。主鎖にポリエーテル構造を有するジメチルシロキサンの具体例としては、東レ・ダウコーニング社製ＦＺ－２１２２、ビックケミー社製ＢＹＫ－３３３などが挙げられる。ポリエステル構造を有するジメチルシロキサンの具体例としては、ビックケミー社製ＢＹＫ－３１０、ＢＹＫ－３７０などが挙げられる。ポリエーテル構造を有するジメチルシロキサンと、ポリエステル構造を有するジメチルシロキサンとは、併用することもできる。レベリング剤の含有量は通常、着色組成物の全重量を基準（１００重量％）として、０．００３～０．５重量％用いることが好ましい。
　レベリング剤として特に好ましいものとしては、分子内に疎水基と親水基を有する、いわゆる界面活性剤の一種で、親水基を有しながらも水に対する溶解性が小さく、着色組成物に添加した場合、その表面張力低下能が低いという特徴を有し、さらに表面張力低下能が低いにも拘らずガラス板への濡れ性が良好なものが有用であり、泡立ちによる塗膜の欠陥が出現しない添加量において十分に帯電性を抑止できるものが好ましく使用できる。このような好ましい特性を有するレベリング剤として、ポリアルキレンオキサイド単位を有するジメチルポリシロキサンが好ましく使用できる。ポリアルキレンオキサイド単位としては、ポリエチレンオキサイド単位、ポリプロピレンオキサイド単位があり、ジメチルポリシロキサンは、ポリエチレンオキサイド単位とポリプロピレンオキサイド単位とを共に有していてもよい。
　また、ポリアルキレンオキサイド単位のジメチルポリシロキサンとの結合形態は、ポリアルキレンオキサイド単位がジメチルポリシロキサンの繰り返し単位中に結合したペンダント型、ジメチルポリシロキサンの末端に結合した末端変性型、ジメチルポリシロキサンと交互に繰り返し結合した直鎖状のブロックコポリマー型のいずれであってもよい。ポリアルキレンオキサイド単位を有するジメチルポリシロキサンは、東レ・ダウコーニング株式会社から市販されており、例えば、ＦＺ－２１１０、ＦＺ－２１２２、ＦＺ－２１３０、ＦＺ－２１６６、ＦＺ－２１９１、ＦＺ－２２０３、ＦＺ－２２０７が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
　レベリング剤には、アニオン性、カチオン性、ノニオン性、または両性の界面活性剤を補助的に加えることも可能である。界面活性剤は、２種以上混合して使用しても構わない。レベリング剤に補助的に加えるアニオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウム、スチレン－アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン－アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステルなどが挙げられる。
　レベリング剤に補助的に加えるカオチン性界面活性剤としては、アルキル４級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物が挙げられる。レベリング剤に補助的に加えるノニオン性界面活性剤としては、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレートなどの；アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤、また、フッ素系やシリコン系の界面活性剤が挙げられる。
＜硬化剤、硬化促進剤＞
　また本発明の着色組成物には、熱硬化性樹脂の硬化を補助するため、必要に応じて、硬化剤、硬化促進剤などを含んでいてもよい。硬化剤としては、フェノール系樹脂、アミン系化合物、酸無水物、活性エステル、カルボン酸系化合物、スルホン酸系化合物などが有効であるが、特にこれらに限定されるものではなく、熱硬化性樹脂と反応し得るものであれば、いずれの硬化剤を使用してもよい。また、これらの中でも、１分子内に２個以上のフェノール性水酸基を有する化合物、アミン系硬化剤が好ましく挙げられる。前記硬化促進剤としては、例えば、アミン化合物（例えば、ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、４－（ジメチルアミノ）－Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン、４－メトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン、４－メチル－Ｎ，Ｎ－ジメチルベンジルアミン等）、４級アンモニウム塩化合物（例えば、トリエチルベンジルアンモニウムクロリド等）、ブロックイソシアネート化合物（例えば、ジメチルアミン等）、イミダゾール誘導体二環式アミジン化合物及びその塩（例えば、イミダゾール、２－メチルイミダゾール、２－エチルイミダゾール、２－エチル－４－メチルイミダゾール、２－フェニルイミダゾール、４－フェニルイミダゾール、１－シアノエチル－２－フェニルイミダゾール、１－（２－シアノエチル）－２－エチル－４－メチルイミダゾール等）、リン化合物（例えば、トリフェニルホスフィン等）、グアナミン化合物（例えば、メラミン、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン等）、Ｓ－トリアジン誘導体（例えば、２，４－ジアミノ－６－メタクリロイルオキシエチル－Ｓ－トリアジン、２－ビニル－２，４－ジアミノ－Ｓ－トリアジン、２－ビニル－４，６－ジアミノ－Ｓ－トリアジン・イソシアヌル酸付加物、２，４－ジアミノ－６－メタクリロイルオキシエチル－Ｓ－トリアジン・イソシアヌル酸付加物等）などを用いることができる。これらは１種単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。前記硬化促進剤の含有量としては、熱硬化性樹脂全量に対し、０．０１～１５重量％が好ましい。
＜色素誘導体＞
　色素誘導体としては、有機顔料、アントラキノン、アクリドンまたはトリアジンに、塩基性置換基、酸性置換基、または置換基を有していても良いフタルイミドメチル基を導入した化合物があげられ、例えば、特開昭６３－３０５１７３号公報、特公昭５７－１５６２０号公報、特公昭５９－４０１７２号公報、特公昭６３－１７１０２号公報、特公平５－９４６９号公報、特開２００１－３３５７１７号公報、特開２００３－１２８６６９号公報、特開２００４－０９１４９７号公報、特開２００７－１５６３９５号公報、特開２００８－０９４８７３号公報、特開２００８－０９４９８６号公報、特開２００８－０９５００７号公報、特開２００８－１９５９１６号公報、特許第４５８５７８１号公報等に記載されているものを使用でき、これらは単独または２種類以上を混合して用いることができる。色素誘導体を使用する場合、キノフタロン骨格を有するものが明度、分散性の観点から好ましい。
　色素誘導体の配合量は、添加着色剤の分散性向上の観点から、添加着色剤の全量を基準（１００重量％）として、好ましくは０．５重量％以上、さらに好ましくは１重量％以上、最も好ましくは３重量％以上である。また、耐熱性、耐光性の観点から、添加顔料の全量を基準（１００重量％）として、好ましくは４０重量％以下、さらに好ましくは３５重量％以下である。
＜樹脂型分散剤＞
　樹脂型分散剤は、添加着色剤に吸着する性質を有する着色剤親和性部位と、着色剤担体と相溶性のある部位とを有し、添加着色剤に吸着して着色剤担体への分散を安定化する働きをするものである。樹脂型分散剤として具体的には、ポリウレタン、ポリアクリレート等のポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸、ポリカルボン酸（部分）アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステルや、これらの変性物、ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミドやその塩等の油性分散剤、（メタ）アクリル酸－スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸－（メタ）アクリル酸エステル共重合体、スチレン－マレイン酸共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン等の水溶性樹脂や水溶性高分子化合物、ポリエステル系、変性ポリアクリレート系、エチレンオキサイド／プロピレンオキサイド付加化合物、リン酸エステル系等が用いられ、これらは単独または２種以上を混合して用いることができるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
　上記分散剤のうち少量の添加量で分散体の粘度が低くなり高いコントラストを示すという理由から、塩基性官能基を有する高分子分散剤が好ましく、窒素原子含有グラフト共重合体や、側鎖に３級アミノ基、４級アンモニウム塩基、含窒素複素環などを含む官能基を有する、窒素原子含有アクリル系ブロック共重合体およびウレタン系高分子分散剤などが好ましい。
　樹脂型分散剤は、顔料全量に対して５～２００重量％程度使用することが好ましく、成膜性の観点から１０～１００重量％程度使用することがより好ましい。
　市販の樹脂型分散剤としては、ビックケミー・ジャパン社製のＤｓｐｅｒｂｙｋ－１０１、１０３、１０７、１０８、１１０、１１１、１１６、１３０、１４０、１５４、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０、１７１、１７４、１８０、１８１、１８２、１８３、１８４、１８５、１９０、２０００、２００１、２０２０、２０２５、２０５０、２０７０、２０９５、２１５０、２１５５またはＡｎｔｉ－Ｔｅｒｒａ－Ｕ、２０３、２０４、またはＢＹＫ－Ｐ１０４、Ｐ１０４Ｓ、２２０Ｓ、６９１９、またはＬａｃｔｉｍｏｎ、Ｌａｃｔｉｍｏｎ－ＷＳまたはＢｙｋｕｍｅｎ等、日本ルーブリゾール社製のＳＯＬＳＰＥＲＳＥ－３０００、９０００、１３０００、１３２４０、１３６５０、１３９４０、１６０００、１７０００、１８０００、２００００、２１０００、２４０００、２６０００、２７０００、２８０００、３１８４５、３２０００、３２５００、３２５５０、３３５００、３２６００、３４７５０、３５１００、３６６００、３８５００、４１０００、４１０９０、５３０９５、５５０００、７６５００等、ＢＡＳＦ社製のＥＦＫＡ－４６、４７、４８、４５２、４００８、４００９、４０１０、４０１５、４０２０、４０４７、４０５０、４０５５、４０６０、４０８０、４４００、４４０１、４４０２、４４０３、４４０６、４４０８、４３００、４３１０、４３２０、４３３０、４３４０、４５０、４５１、４５３、４５４０、４５５０、４５６０、４８００、５０１０、５０６５、５０６６、５０７０、７５００、７５５４、１１０１、１２０、１５０、１５０１、１５０２、１５０３、等、味の素ファインテクノ社製のアジスパーＰＡ１１１、ＰＢ７１１、ＰＢ８２１、ＰＢ８２２、ＰＢ８２４等が挙げられる。
＜その他の添加剤成分＞
　本発明の着色組成物には、組成物の経時粘度を安定化させるために貯蔵安定剤を含有させることができる。また、透明基板との密着性を高めるためにシランカップリング剤等の密着向上剤を含有させることもできる。さらに、露光時にマスクの回折光による感光を防ぐために、重合禁止剤を含有させることもできる。
　貯蔵安定剤としては、例えば、ベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの４級アンモニウムクロライド、乳酸、シュウ酸などの有機酸およびそのメチルエーテル、ｔ－ブチルピロカテコール、テトラエチルホスフィン、テトラフェニルフォスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩等が挙げられる。貯蔵安定剤は、着色剤の全量を基準（１００重量％）として、０．１～１０重量％の量で用いることができる。
　密着向上剤としては、ビニルトリス（β－メトキシエトキシ）シラン、ビニルエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン等のビニルシラン類、γ－メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の（メタ）アクリルシラン類、β－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、β－（３，４－エポキシシクロヘキシル）メチルトリメトキシシラン、β－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、β－（３，４－エポキシシクロヘキシル）メチルトリエトキシシラン、γ－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ－グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシシラン類、Ｎ－β（アミノエチル）γ－アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ－β（アミノエチル）γ－アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ－β（アミノエチル）γ－アミノプロピルメチルジエトキシシシラン、γ－アミノプロピルトリエトキシシラン、γ－アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ－フェニル－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ－フェニル－γ－アミノプロピルトリエトキシシラン等のアミノシラン類、γ－メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ－メルカプトプロピルトリエトキシシラン等のチオシラン類等のシランカップリング剤が挙げられる。密着向上剤は、着色組成物中の着色剤の全量を基準（１００重量％）として、０．０１～１０重量％、好ましくは０．０５～５重量％の量で用いることができる。
　重合禁止剤としては、カテコール、レゾルシノール、１，４－ヒドロキノン、２－メチルカテコール、３－メチルカテコール、４－メチルカテコール、２－エチルカテコール、３－エチルカテコール、４－エチルカテコール、２－プロピルカテコール、３－プロピルカテコール、４－プロピルカテコール、２－ｎ－ブチルカテコール、３－ｎ－ブチルカテコール、４－ｎ－ブチルカテコール、２－ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、３－ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、４－ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、３，５－ジ－ｔｅｒｔ－ブチルカテコール等のアルキルカテコール系化合物、２－メチルレゾルシノール、４－メチルレゾルシノール、２－エチルレゾルシノール、４－エチルレゾルシノール、２－プロピルレゾルシノール、４－プロピルレゾルシノール、２－ｎ－ブチルレゾルシノール、４－ｎ－ブチルレゾルシノール、２－ｔｅｒｔ－ブチルレゾルシノール、４－ｔｅｒｔ－ブチルレゾルシノール等のアルキルレゾルシノール系化合物、メチルヒドロキノン、エチルヒドロキノン、プロピルヒドロキノン、ｔｅｒｔ－ブチルヒドロキノン、２，５－ジ－ｔｅｒｔ－ブチルヒドロキノン等のアルキルヒドロキノン系化合物、トリブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリベンジルホスフィンなどのホスフィン化合物、トリオクチルホスフィンオキサイド、トリフェニルホスフィンオキサイドなどのホスフィンオキサイド化合物、トリフェニルホスファイト、トリスノニルフェニルホスファイトなどのホスファイト化合物、ピロガロール、フロログルシンなどが挙げられる。重合禁止剤の含有量は、着色組成物の溶剤を除いた重量１００重量部に対して、０．０１～０．４重量部が好ましい。
＜カラーフィルタ＞
　次に、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、本発明の固体撮像素子用緑色着色組成物を用いて形成された緑色フィルタセグメントを具備するものである。カラーフィルタとしては、赤色フィルタセグメントおよび青色フィルタセグメントを具備するものが挙げられる。
　本発明の固体撮像素子用緑色着色組成物は、主に緑色フィルタセグメントの形成に用いられ、それ以外の各色のフィルタセグメントは、従来用いられる赤色着色組成物、青色着色組成物を用いて形成することができる。本発明の着色組成物以外の各色の着色組成物は、各色顔料、前記バインダー樹脂、前記光重合性組成物等を含有する各着色組成物を用いて形成することができる。
＜赤色フィルタセグメントを形成する顔料＞
　赤色フィルタセグメントを形成する赤色着色組成物用の赤色顔料としては、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド７、１４、４１、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、５７：１、８１、８１：１、８１：２、８１：３、８１：４、１２２、１４６、１４９、１６６、１６８、１６９、１７６、１７７、１７８、１７９、１８４、１８５、１８７、２００、２０２、２０８、２１０、２２１、２２４、２４２、２４６、２５４、２５５、２６４、２６８、２６９、２７０、２７２、２７３、２７４、２７６、２７７、２７８、２７９、２８０、２８１、２８２、２８３、２８４、２８５、２８６、２８７、特表２０１１－５２３４３３号公報に記載のジケトピロロピロール顔料、または特開２０１３－１６１０２５号公報に記載のナフトールアゾ顔料等が挙げられるが、特にこれらに限定されない。
　また赤色着色組成物には、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、７１、又は７３等の橙色顔料及び／またはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、２、３、４、５、６、１０、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１３９、１４７、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９３、１９４、１９８、１９９、２１３、又は２１４等の黄色顔料を併用することができる。
＜青色フィルタセグメントを形成する顔料＞
　青色フィルタセグメントを形成する青色着色組成物用の青色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１、１：２、９、１４、１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４、特開２００４－３３３８１７号公報、または特許第４８９３８５９号公報等に記載のアルミニウムフタロシアニン顔料等が挙げられるが、特にこれらに限定されない。
　紫色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２７、２９、３０、３２、３７、４０、４２、または５０等が挙げられるが、特にこれらに限定されない。
＜固体撮像素子用カラーフィルタ＞
　本発明にかかるカラーフィルタセグメントの形成は特に制限なく公知の方法を用いて形成することができるが、撮像素子のフィルタセグメントはサブミクロンから十数ミクロン程度と微細であることから光リソグラフィを用いるのが好適である。
　本発明の実施形態は、上述の着色組成物を硬化してなるカラーフィルタセグメントを持つカラーフィルタの製造方法である。上述した本発明の実施形態に係る着色組成物を硬化して得たカラーフィルタセグメントを含むものである。
　本実施形態に係るカラーフィルタは、上述の緑色フィルタセグメントと赤色フィルタセグメントおよび青色フィルタセグメントを含む。本発明に関わる着色フィルタセグメント以外は、色顔料を含有する、色染料を含有する、もしくは、色顔料及び色染料の両方を含有する、公知の着色組成物を用いて形成して構わない。着色フィルタセグメントの形成方法は特に制限はないが、ネガ型レジストである感光性着色組成物を用いるのが一般的である。
　カラーフィルタセグメントを、所定の対応する光電変換素子上に形成する場合には、ネガ型感光性緑色組成物により形成されたネガ型緑色膜によりネガ型カラーレジスト層を構成し、この場合のネガ型カラーレジスト層の厚さは０．１μｍ～３．０μｍの範囲に設定される。
　ネガ型着色膜により形成されているネガ型カラーレジスト層の表面は、形成したい複数の光電変換素子に対応する複数の部分を、フォトマスクを使用してパターン露光する。フォトマスクは、実際に形成するパターンの寸法の４～５倍の寸法を有していて、パターン露光時に１／４～１／５に縮小してパターン露光を行う。
　このフォトマスクは、４～５倍レチクルであり、ネガ型カラーレジスト層の表面に露光されるパターンの寸法の４～５倍の大きさの寸法のパターンを有している。そして、図示しないステッパー露光装置を使用し、フォトマスクのパターンを１／４～１／５に縮小してネガ型カラーレジスト層の表面に露光している。
　露光工程に次いで、アルカリ現像処理（現像工程）を行うことにより、露光後の未硬化部を現像液に溶出させ、光硬化した部分を残存させる。この現像工程により、カラーフィルタセグメントからなるパターン状皮膜を形成することができる。
　現像方式は、デイップ方式、シャワー方式、スプレー方式、パドル方式などいずれでもよく、これらにスウィング方式、スピン方式、超音波方式などを組み合わせてもよい。
　現像液に触れる前に、被現像面を予め水等で湿しておいて、現像むらを防ぐこともできる。現像液としては、下地の回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては、通常２０℃～３０℃であり、現像時間は２０～９０秒である。
　現像液が含むアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８－ジアザビシクロ－［５、４、０］－７－ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等の無機化合物等が挙げられる。現像液としては、これらのアルカリ剤を濃度が０．００１質量％～１０質量％、好ましくは０．０１質量％～１質量％となるように、純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後、純水で洗浄（リンス）して余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施す。
　最後に、このように形成されたフィルタセグメントは硬膜化処理される。
　本発明の製造方法においては、上述した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要により、形成された着色パターンを後加熱（ポストベーク）や後露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常１００℃～２７０℃の熱硬化処理を行う。光を用いる場合には、ｇ線、ｈ線、ｉ線、ＫｒＦやＡｒＦなどのエキシマレーザ、電子線、Ｘ線等により行うことができるが、既存の高圧水銀灯で２０～５０℃ 程度の低温で行うことが好ましく、照射時間としては、１０秒～１８０秒、好ましくは３０秒～６０秒である。後露光と後加熱との併用の場合、後露光を先に実施することが好ましい。
　以上説明した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程（更に、必要により硬化工程）を所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタが作製される。
＜固体撮像素子＞
　本発明の固体撮像素子は、本発明のカラーフィルタを備える。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の固体撮像素子用のカラーフィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
　基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサ、有機ＣＭＯＳセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、前記フォトダイオード及び前記転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、前記デバイス保護膜上に、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタを有する構成である。
　更に、前記デバイス保護層上であってカラーフィルタの下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
　なお、有機ＣＭＯＳセンサは、光電変換層として薄膜のパンクロ感光性有機光電変換膜とＣＭＯＳ信号読み出し基板を含んで構成され、光を捕捉しそれを電気信号に変換する役割を有機材料が担い、電気信号を外部に取り出す役割を無機材料が担う２層構成のハイブリッド構造であり、原理的には入射光に対して開口率を１００％にすることができる。有機光電変換膜は構造フリーの連続膜でＣＭＯＳ信号読みだし基板上に敷設できるので、高価な微細加工プロセスを必要とせず、フィルタセグメント微細化に適している。　
　カラーフィルタセグメントの配置は特に制限はなく、公知の方法を用いることができる。
　以下に、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。なお、実施例および比較例中、「部」とは「重量部」を意味する。
　まず、実施例に先立ち、実施例および比較例で用いた樹脂型分散剤、バインダー樹脂溶液、光重合性単量体、色素誘導体および顔料分散体の製造方法について説明する。また、樹脂型分散剤およびバインダー樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、ＴＳＫｇｅｌカラム（東ソー社製）を用い、ＲＩ検出器を装備したＧＰＣ（東ソー社製、ＨＬＣ－８１２０ＧＰＣ）で、展開溶媒にＴＨＦを用いて測定したポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）である。樹脂型分散剤のアミン価は、０．１Ｎの塩酸水溶液を用い、電位差滴定法によって求めた後、水酸化カリウムの当量に換算した。樹脂型分散剤のアミン価は、固形分のアミン価を示す。
＜樹脂型分散剤溶液（Ｇ）の製造例＞
［樹脂型分散剤（Ｇ－１）］
　ガス導入管、コンデンサー、攪拌翼、及び温度計を備え付けた反応装置に、メチルメタクリレート６０部、ｎ－ブチルメタクリレート２０部、テトラメチルエチレンジアミン１３．２部を仕込み、窒素を流しながら５０℃で１時間撹拌し、系内を窒素置換した。次に、ブロモイソ酪酸エチル９．３部、塩化第一銅５．６部、ＰＧＭＡｃ１３３部を仕込み、窒素気流下で、１１０℃まで昇温して第一ブロックの重合を開始した。４時間重合後、重合溶液をサンプリングして固形分測定を行い、不揮発分から換算して重合転化率が９８％以上であることを確認した。
　次に、この反応装置に、ＰＧＭＡｃ６１部、第二ブロックモノマーとしてジメチルアミノエチルメタクリレート２０部（以下、ＤＭという）を投入し、１１０℃・窒素雰囲気下を保持したまま撹拌し、反応を継続した。ジメチルアミノエチルメタクリレート投入から２時間後、重合溶液をサンプリングして固形分測定を行い、不揮発分から換算して第二ブロックの重合転化率が９８％以上であることを確認し、反応溶液を室温まで冷却して重合を停止した。
　先に合成したブロック共重合体溶液に不揮発分が４０重量％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加した。このようにして、固形分当たりのアミン価が７１．４ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量９９００（Ｍｗ）、不揮発分が４０重量％のポリ（メタ）アクリレート骨格であり、３級アミノ基を有する樹脂型分散剤溶液（Ｆ－１）を得た。
［樹脂型分散剤（Ｇ－２）］
　ガス導入管、温度計、コンデンサー、攪拌機を備えた反応容器に、メチルメタクリレート５０．０部、２－メトキシエチルアクリレート５０．０部を仕込み、窒素ガスで置換した。反応容器内を８０℃に加熱して、３－メルカプト－１，２－プロパンジオール６．０部に、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル０．１部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４５．４部に溶解した溶液を添加して、１０時間反応した。固形分測定により９５％が反応したことを確認した。このとき、重量平均分子量が４０００であった。次に、ピロメリット酸二無水物（ダイセル化学工業株式会社製）を９．７部、ＰＧＭＡｃ３１．７部、触媒として１，８－ジアザビシクロ－［５．４．０］－７－ウンデセン０．２部を追加し、１２０℃で７時間反応させた。酸価の測定で９８％以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了した。反応終了後、不揮発分が６０重量％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加して調製し、酸価４３ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量９５００の樹脂型分散剤（Ｆ－２）の溶液を得た。
＜バインダー樹脂溶液（Ｂ）＞
　セパラブル４口フラスコに温度計、冷却管、窒素ガス導入管、滴下管および撹拌装置を取り付けた反応容器にシクロヘキサノン１９６部を仕込み、８０℃に昇温し、反応容器内を窒素置換した後、滴下管より、ベンジルメタクリレート２０．０部、ｎ－ブチルメタクリレート１７．２部、２－ヒドロキシエチルメタクリレート１２．９部、メタクリル酸１２．０部、パラクミルフェノールエチレンオキサイド変性アクリレート（東亞合成株式会社製「アロニックスＭ１１０」）２０．７部、２，２’－アゾビスイソブチロニトリル１．１部の混合物を２時間かけて滴下した。滴下終了後、更に３時間反応を継続し、アクリル樹脂の溶液を得た。
　室温まで冷却した後、樹脂溶液約２部をサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が４０重量％になるようにＰＧＭＡＣを添加してバインダー樹脂溶液（Ｂ）を調製した。重量平均分子量（Ｍｗ）は２６０００であった。
＜光重合性単量体（Ｄ－１、Ｄ－２）の製造＞
　ＷＯ２０１０/１４６８０１記載の方法と同様の方法により、下記光重合性単量体（Ｄ－１）、（Ｄ－２）を作製した。
・ウレタンアクリレート（Ｄ－１）：ジペンタエリスリトールペンタアクリレートヘキサメチレンジイソシアネート（ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートとの反応物）
・ウレタンアクリレート（Ｄ－２）：ペンタエリスリトールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネート
＜色素誘導体（Ｈ－１）の製造＞
　特開２００７－１５６３９５号公報に記載の合成方法に従い、色素誘導体（Ｈ－１）を得た。　
色素誘導体（Ｈ－１）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000014
＜色素誘導体（Ｈ－２）の製造＞
　特開２００７－１５６３９５号公報に記載の合成方法に従い、色素誘導体（Ｈ－２）を得た。　
色素誘導体（Ｈ－２）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000015
＜色素誘導体（Ｈ－３）の製造＞特開２００７－１５６３９５号公報に記載の合成方法に従い、色素誘導体（Ｈ－３）を得た。　
色素誘導体（Ｈ－３）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000016
＜緑色顔料分散体１（ＧＰ－１）の調製＞
　下記の組成の混合物を均一に撹拌混合した後、直径０．５ｍｍのジルコニアビーズを用いて、アイガーミルで１０時間分散した後、１．０μｍのフィルタで濾過し、緑色顔料分散体１（ＧＰ－１）を作製した。　
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８　　　　　　　　　　　：１５．０部
（ＤＩＣ社製「ＦＡＳＴＯＧＥＮ ＧＲＥＥＮ Ａ１１０」）
樹脂型分散剤（Ｇ－１）　　　　　　　　　　　　　　　：１２．５部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート　　：７２．５部
＜緑色顔料分散体２（ＧＰ－２）の調製＞
　下記の組成の混合物を使用し、緑色顔料分散体１（ＧＰ－１）と同様にして緑色顔料分散体２（ＧＰ－２）を作製した。　
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６　　　　　　　　　　　：７．５０部
（トーヨーカラー株式会社製「リオノールグリーン６ＹＫ」）
モノアゾ系顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントエロー１５０）　　：７．５０部
（ランクセス社製「Ｅ４ＧＮ」）
樹脂型分散剤（Ｇ－１）　　　　　　　　　　　　　　　：１２．５部
シクロヘキサノン　　　　　　　　　　　　　　　　　　：７２．５部
＜黄色顔料分散体１（ＹＰ－１）の調製＞
　下記の組成の混合物を均一に撹拌混合した後、直径０．５ｍｍのジルコニアビーズを用いて、アイガーミルで１０時間分散した後、１．０μｍのフィルタで濾過し、黄色顔料分散体１（ＹＰ－１）を作製した。　
モノアゾ系顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントエロー１５０）　　：１２．２５部
色素誘導体（Ｈ－１）　　　　　　　　　　　　　　　　：　１．７５部
樹脂型分散剤（Ｇ－２）　　　　　　　　　　　　　　　：１０．００部
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート　　：７６．００部
＜黄色顔料分散体２（ＹＰ－２）の調製＞
　黄色顔料分散体１（ＹＰ－１）の調整の色素誘導体（Ｈ－１）を（Ｈ－２）に変更した以外は、黄色顔料分散体１（ＹＰ－１）と同様にして、黄色顔料分散体２（ＹＰ－２）を作製した。
＜黄色顔料分散体３（ＹＰ－３）の調製＞
　黄色顔料分散体１（ＹＰ－１）の調整の色素誘導体（Ｈ－１）を（Ｈ－３）に変更した以外は、黄色顔料分散体１（ＹＰ－１）と同様にして、黄色顔料分散体３（ＹＰ－３）を作製した。
＜緑色着色組成物の製造＞
［実施例１］
　下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、０．６μｍのフィルタで濾過して、緑色着色組成物１（Ｒ－１）を得た。　
緑色顔料分散体１（ＧＰ－１）　　　　　　　　　　　：３２．７部
黄色顔料分散体１（ＹＰ－１）　　　　　　　　　　　：３５．０部
バインダー樹脂溶液（Ｂ）　　　　　　　　　　　　　：　１．３部
光重合開始剤（Ｃ－１）　　　　　　　　　　　　　　：　０．４部
（ＢＡＳＦ社製「ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ ０２」）
光重合性単量体（Ｄ－１）　　　　　　　　　　　　　：　４．５部
光重合性単量体（Ｄ－４）　　　　　　　　　　　　　：　１．５部
（東亜合成社製「アロニックスＭ－３５０」）
紫外線吸収剤（Ｅ－１）　　　　　　　　　　　　　　：　０．３部
（ＢＡＳＦ社製「ＴＩＮＵＶＩＮ ３２６」）
単官能チオール（Ｆ－１）　　　　　　　　　　　　　：　０．２部
（２－メルカプト－５－メチルチオ－１，３，４－チアジアゾール（東京化成工業社製））
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート　：２４．２部
（ＰＧＭＡｃ）
［実施例２～５３、比較例１～２］
　表１の組成に変更する以外は、実施例１と同様に、実施例２～５３、比較例１～２を得た。また、緑色着色組成物の固形分１００重量部中の各成分の固形分の含有量は表２に示す通りである。なお、表１、表２の数値の単位はともに、重量部である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000017
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000018
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000019
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000020
　表１および表２中の略語について以下に示す。　
＜光重合開始剤（Ｃ）＞
・光重合開始剤Ｃ－１：エタノン，１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］－，１－（Ｏ－アセチルオキシム）
（ＢＡＳＦ社製「ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ ０２」）
・光重合開始剤Ｃ－２：２－（ジメチルアミノ）－２－［（４－メチルフェニル）メチル］－１－［４－（４－モルホリニル）フェニル］－１－ブタノン
（ＢＡＳＦ社製「イルガキュア３７９」）
＜光重合性単量体（Ｄ）＞
・ウレタンアクリレート（Ｄ－１）：ジペンタエリスリトールペンタアクリレートヘキサメチレンジイソシアネート（ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとヘキサメチレンジイソシアネートとの反応物）
・ウレタンアクリレート（Ｄ－２）：ペンタエリスリトールトリアクリレートヘキサメチレンジイソシアネート
・ウレタンアクリレート（Ｄ－３）：多官能ウレタンアクリレート（ケーエスエム社「ＫＵＡ－４Ｉ」）
・その他光重合性単量体（Ｄ－４）：トリメチロールプロパンＥＯ変性トリアクリレート（東亜合成社製「アロニックスＭ－３５０」）
・５官能アクリレートと６官能アクリレートの混合物（Ｄ－５）ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート（東亜合成社製「アロニックスＭ－４０２」）
・６官能アクリレート（Ｄ－６）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（新中村化学社製「Ａ－ＤＰＨ」）
・６官能アクリレート（Ｄ－７）：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートのカプロラクトン変性物（日本化薬社製「ＤＰＣＡ－３０」）
＜紫外線吸収剤（Ｅ）＞
・紫外線吸収剤（Ｅ－１）：（ベンゾトリアゾール系化合物） ２－（３－ｔブチル－５－メチル－２－ヒドロキシフェニル）－５－クロロベンゾトリアゾール
（ＢＡＳＦ社製「ＴＩＮＵＶＩＮ ３２６」（吸光度０．５））
・紫外線吸収剤（Ｅ－２）：（ベンゾフェノン系有機化合物） ２，２－ジ－ヒドロキシ－４，４－ジメトキシベンゾフェノン
（シプロ化成社製「シーソーブ１０７」（吸光度０．６））
・紫外線吸収剤（Ｅ－３）：（トリアジン系有機化合物）　2,4,6-トリス(2-ヒドロキシ-4-ヘキシルオキシ-3-メチルフェニル)-1,3,5-トリアジン
（ＡＤＥＫＡ社製「アデカスタブ LA-F70」（吸光度０．９））
・紫外線吸収剤（Ｅ－４）：（シアノアクリレート系有機化合物）2,2-ビス{[(2-シアノ-3,3-ジフェニルアクリロイル)オキシ]メチル}プロパン-1,3-ジイル=ビス(2-シアノ-3,3-ジフェニルアクリラート)
（ＢＡＳＦ社製「ユビナール３０５０」（吸光度０．１）
＜単官能チオール（Ｆ）＞
・単官能チオール（Ｆ－１）：２－メルカプト－５－メチルチオ－１，３，４－チアジアゾール（東京化成工業社製）
・単官能チオール（Ｆ－２）：トリフェニルメタンチオール（ＴＯＹＯＢＯ社製）
・単官能チオール（Ｆ－３）：４－アミノチオフェノール（ＴＯＹＯＢＯ社製）
＜感光性着色組成物の評価＞
　得られた感光性着色組成物について下記の方法で評価した。結果を表３に示す。
　上記、実施例１～５３及び比較例１～２で得られた感光性緑色組成物を用いて、シリコンウエハ上にパターン形成した後、断面形状、密着性、残渣の評価を行った。
＜パターン形成＞
　６インチシリコンウエハ上に、平坦化膜用レジスト液ＨＬ－１８ｓ（新日鐵化学社製）をスピンコートで塗布し、プリベイクとして、１００℃のホットプレートで６分加熱処理した。さらに、２３０℃のオーブンにて１時間処理して、塗布膜を硬化させて０．５μｍの平坦化膜を形成した。
　上記で得られた感光性組成物を平坦化膜付シリコンウエハ上に、スピンコーターで塗布し、プリベイクとして、１００℃のホットプレートで１分加熱処理した。
　次に、ｉ線ステッパーＦＰＡ－５５１０ｉＺ（キャノン社製）を用い、１．１μｍ角の正方形ピクセルパターンのマスクを介し、焦点距離を－０．３μｍにて露光を行った。露光量を１０００Jから１０００Jずつ上げながら露光を行った。露光後の塗膜を有機アルカリ現像液ＯＤ２１０（ＡＤＥＫＡ社製）で1分現像し、パドル水洗1分し、スピン乾燥で、基板を乾燥させた。現像、水洗後、緑色パターンを得た。
　得られた緑色パターンを２３０℃のホットプレートで４分熱処理を行い緑色パターンの形成を完了した。
＜断面形状評価＞
　形成されたピクセルパターンの形状については、ＳＥＭ（走査電子顕微鏡）ｅＣＤ２－ＸＰ（ＫＬＡ－Ｔｅｎｃｏｒ社製）で観察し評価した。形成したパターン部の上底線幅（Ｔ）と、上底と下底の中間幅（Ｓ）の比、Ｔ/Ｓ値が、
　０．７５以上の場合：○（良好）
　０．６５以上、０．７５未満の場合：△（実用可）
　０．６５未満の場合：×（実用不可）
とした。
＜密着性＞
　ピクセルパターンを形成する際のマスク寸法を０．８、１．０、１．２、１．４、１．６、１．８μｍ角とした正方形ピクセルパターンのマスクを介し、焦点距離を－０．３μｍで露光を行い、形成されるパターンの解像性を評価した。　
　０．８μｍから１．４μｍ未満の解像性を得られるもの：○（良好）
　１．４μｍ以上１．８μｍ以下の解像性を得られるもの：△（実用可）
　それ以外の解像性又は、剥がれについては　　　　　　：×（実用不可）
とした。
＜残渣１＞
　ピクセルパターンを形成する際のマスク寸法を１．２μｍ角とし、前記ステッパーで５０００Ｊの紫外線を露光した後の塗膜を現像した後、水洗、乾燥工程後の基板を観察した。基板のパターンが形成されていない基板部をＳＥＭ（走査電子顕微鏡）で観察し、基板上に、
　残渣がないもの：○（良好）
　残渣があるが実用可：△（実用可）
　残渣があるもの：×（実用不可）
とした。
＜残渣２＞
　ピクセルパターンを形成する際のマスク寸法を１．０μｍ角とし、前記ステッパーで５０００Ｊの紫外線を露光した後の塗膜を現像した後、水洗、乾燥工程後の基板を観察した。基板のパターンが形成されていない基板部をＳＥＭ（走査電子顕微鏡）で観察し、基板上に、
　残渣がないもの：○（良好）
　残渣があるが実用可：△（実用可）
　残渣があるもの：×（実用不可）
とした。
＜剥離現像性＞
　６インチシリコンウエハ上に、平坦化膜用レジスト液ＨＬ－１８ｓ（新日鐵化学社製）をスピンコートで塗布し、プリベイクとして、１００℃のホットプレートで６分加熱処理した。さらに、２３０℃のオーブンにて１時間処理して、塗布膜を硬化させて０．５μｍの平坦化膜を形成した。続いて、実施例・比較例の感光性組成物を平坦化膜付シリコンウエハ上に、スピンコーターで塗布し、プリベイクとして、１００℃のホットプレートで１分加熱処理した。これらの基板を現像液に浸漬させ、塗膜が剥離、または溶解するまでの時間を測定することで現像性を評価した。
　３０秒以内に塗膜が完全に溶解するもの：◎（優れている）
　３０秒以上６０秒以内に塗膜が完全に溶解するもの：○（良好）
　塗膜が現像液で剥離し、剥離片が６０秒以内に溶解するもの：△（実用可）
　塗膜が現像液で剥離し、剥離片が６０秒以内に溶解しないもの：×（実用不可）
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000021
　表３に示すように、実施例１～５３の感光性着色組成物を用いて形成されたフィルタセグメントは、いずれも断面形状、密着性、残差、剥離現像性に関して実用上、問題ない結果が得られた。さらに、６官能アクリレートを含む実施例４３、４５、４６、４８～５１、５３においては、より微細なパターンでも残渣が良好であった。
　比較例１のように、紫外線吸収剤（Ｅ）を含まない場合は、パターンに残渣が発生し、また比較例２のように、単官能チオール（Ｆ）を含まない場合、断面形状が不良となり、すべてが良好となるものは得られなかった。

Claims (15)

  1. 　着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、光重合性単量体（Ｄ）、紫外線吸収剤（Ｅ）及び単官能チオール（Ｆ）を含み、前記着色剤（Ａ）がＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６および／またはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン５８を含有する固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
  2. 　光重合性単量体（Ｄ）がウレタンアクリレート及び／又は５官能以上のアクリレート（ウレタンアクリレートを除く）を含む請求項１に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
  3. 　光重合性単量体（Ｄ）の含有量が、感光性緑色着色組成物の全固形分中、１５～３０重量％であり、光重合性単量体（Ｄ）の全固形分中、ウレタンアクリレート及び５官能以上のアクリレート（ウレタンアクリレートを除く）を合計した含有量が５０～９０重量％である請求項２に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
  4. 　ウレタンアクリレートが、一般式（１）で表される化合物と、一般式（２）で表される多官能イソシアネートとを反応させて得られる化合物である請求項２または３に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
    一般式（１）
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
     ［一般式（１）中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３は互いに独立して、アクリロイル基、又はメタクリロイル基を表す。］
    一般式（２）
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
     ［一般式（２）中、Ｘは２価のアルキレン基、又はアリーレン基を表す。］
  5. 　紫外線吸収剤（Ｅ）の含有量が、感光性緑色着色組成物の全固形分中、０．０５～３.００重量％である請求項１～４いずれか１項に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
  6. 　紫外線吸収剤（Ｅ）が、クロロホルムに溶解させ１０ｍｇ／Ｌまで希釈した時の測定値波長３６５ｎｍにおける吸光度が０．４以上である紫外線吸収剤を含む請求項１～５いずれか１項に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
  7. 　紫外線吸収剤（Ｅ）が、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物およびトリアジン系化合物から選ばれる少なくとも１種を含有する請求項１～６いずれか１項に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
  8. 　単官能チオール（Ｆ）の含有量が、感光性緑色組成物の全固形分中、０．０５～３．００重量％である請求項１～７いずれか１項に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
  9. 　単官能チオール（Ｆ）が、下記一般式（３）で表される請求項１～８いずれか１項に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
    一般式（３）
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
     ［一般式（３）中、Ｘは硫黄原子、酸素原子、または＞Ｎ－Ｒを表し、Ｒは水素原子、アルキル基、またはアリール基を表し、Ａは、Ｎ＝Ｃ－Ｘと共にヘテロ環を形成する原子団を表す。］
  10. 　単官能チオール（Ｆ）が、下記一般式（４）で表される請求項１～８いずれか１項に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
    一般式（４）
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
     ［一般式（４）中、Ｒ１～Ｒ３は、それぞれ独立して、置換基を有してもよいアルキル基、置換基を有してもよいアリール基、置換基を有してもよいシクロアルキル基、置換基を有してもよい複素環基、置換基を有してもよいアルコキシル基、置換基を有してもよいアリールオキシ基、置換基を有してもよいアルキルチオ基、または置換基を有してもよいアリールチオ基を表す。］
  11. 　着色剤（Ａ）の含有量が、感光性緑色組成物の全固形分中、４０～７０重量％である請求項１～１０いずれか１項に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
  12. 　光重合開始剤（Ｃ）の含有量が、感光性緑色組成物の全固形分中、０．３～５.０重量％である請求項１～１１いずれか１項に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
  13. 　光重合開始剤（Ｃ）が、オキシムエステル系光重合開始剤を含有する請求項１～１２いずれか１項に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物。
  14. 　基材上に、請求項１～１３いずれか１項に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタ用感光性緑色組成物から形成されてなるフィルタセグメントを具備する固体撮像素子向けカラーフィルタ。
  15. 　請求項１４に記載の固体撮像素子向けカラーフィルタを具備する固体撮像素子。
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WO2021125168A1 (ja) * 2019-12-18 2021-06-24 富士フイルム株式会社 感光性転写材料及びその製造方法、パターン付き金属導電性材料の製造方法、膜、タッチパネル、劣化抑制方法、並びに、積層体

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