WO2010016586A1 - 半導体ウェーハの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)窒素及び酸素が添加されたシリコンウェーハを製造する方法であって、チョクラルスキー法により窒素を添加したシリコン単結晶を育成し、該育成されたシリコン単結晶をスライスしてシリコン単結晶ウェーハとし、該スライスされたシリコン単結晶ウェーハに、水素ガス及び/又は不活性ガスを含む雰囲気下で熱処理を施した後、該熱処理を施したシリコン単結晶ウェーハに研磨を施し、前記熱処理により得られたCOP欠陥が排除された表層を、最表面が所定の酸素濃度となるまで研磨することを特徴とするシリコンウェーハの製造方法を提供することができる。
一般に、CZ法で製造されたシリコンウェーハ中の酸素濃度は、結晶引上げによる単結晶インゴットの製造過程で決定され、スライスされるインゴットの部位(ショルダー部等)によりその濃度は変化するが、1枚のシリコンウェーハ中における酸素濃度は、ほぼ一定と考えられる。この酸素濃度は、例えば、サンプル検査等により求めることができる。熱処理におけるシリコンウェーハの酸素の主な拡散は、表面及び裏面からの気相拡散と、シリコンウェーハ内部の酸素濃度分布をドライビングフォースとする固体内拡散とからなる。従って、比較的初期の段階では、スライスしたときの酸素濃度を無限大位置での酸素濃度とおき、一方、所定の温度で熱処理を開始してからの表面の酸素濃度を0(若しくは実質的に0に相当する実験値)と置いた、一次元非定常の拡散モデルを仮定することができる。例えば、バルク内(無限大位置)の酸素濃度をC1:1×1018atoms/cm3とし、表面の酸素濃度をC0:1×1016atoms/cm3とし、拡散係数Dが一定であると仮定する。そして、臨界酸素濃度として、1×1017atoms/cm3が所定深さ(例えば、4μm)で得られる熱処理条件を求めることになる。この臨界深さは、正確な取り代とすることができるかを考慮した研磨の容易性から考えられる深さ、表面にできやすいキズ、コンタミ等の他の表面特異要因を取り除くのに好ましい深さ等を考慮して予め決定される。一般に好ましくは、4μm以上であり、より好ましくは、6μm以上である。また、取り代が多すぎると生産性が低下するので、12μm以下が好ましく、より好ましくは、10μm以下である。具体的には、例えば、次の拡散方程式を上述のような境界条件で解くことができる。
∂C/∂t=D(∂2C/∂×2) (式1)
ここで、C=(C(x)-C0)/C1 であり、z=x/(2×(D・t)0.5) である。ここで、xの単位はμmである。約1200℃の酸素の拡散係数Dは、3.67×10-10 (cm2/sec)と見積もることができる(参照:図6.5(第247頁)「半導体シリコン結晶工学」志村史夫著 丸善株式会社発行)。従って、z=2.61・x/√t とすることができる。
実験用試料としてφ300mm窒素ドープ結晶(窒素ドープ量:6×1013~1×1014atoms/cm3)を準備し、スライス後、アルカリエッチングを行った。尚、窒素ドープ結晶は、水冷パイプによる強制冷却機構付結晶引き上げ機による急冷タイプ結晶であり、本結晶に含まれるボイド欠陥サイズは約70~100nmに制御されたものである。
水準(1)[実施例(1)]
アニール後研磨品(研磨取り代:片面4μm、表層酸素濃度:1×1017atoms/cm3)
水準(2)[実施例(2)]
アニール後研磨品(研磨取り代:片面7μm、表層酸素濃度:2×1017atoms/cm3)
水準(3)[比較例PW(ポリッシュド・ウェーハ)]
アニールサブストレート(リファレンス、表層酸素濃度:13×1017atoms/cm3)
水準(4)[比較例AN]
通常アニール品(リファレンス、表層酸素濃度:0.1×1017atoms/cm3)
Claims (9)
- 窒素及び酸素が添加されたシリコンウェーハを製造する方法であって、
チョクラルスキー法により窒素を添加したシリコン単結晶を育成し、
該育成されたシリコン単結晶をスライスしてシリコン単結晶ウェーハとし、
該スライスされたシリコン単結晶ウェーハに、水素ガス及び/又は不活性ガスを含む雰囲気下で熱処理を施した後、
該熱処理を施したシリコン単結晶ウェーハに研磨を施し、前記熱処理により得られたCOP欠陥が排除された表層を、最表面が所定の酸素濃度となるまで研磨することを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。 - 前記研磨は、前記熱処理を施したシリコン単結晶ウェーハの両面に対して行うことを特徴とする請求項1記載のシリコンウェーハの製造方法。
- 前記所定の酸素濃度は、1×1017atoms/cm3以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載のシリコンウェーハの製造方法。
- 前記熱処理は、1100℃以上で行うことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のシリコンウェーハの製造方法。
- 更に、前記熱処理を施す前に、スライスしたシリコン単結晶ウェーハの表面をエッチングすることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のシリコンウェーハの製造方法。
- 所定濃度の窒素及び酸素が添加されたシリコンウェーハを製造する方法であって、
該シリコンウェーハを、非酸化性雰囲気下で熱処理を施した場合に、表面からの所定の深さDにおいて酸素濃度が臨界濃度となる熱処理条件を予め求め、
この予め求めた熱処理条件以上の高温若しくは長時間の熱処理(以下「高/長熱処理」という)を行うことを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。 - 前記臨界濃度が、1×1017atoms/cm3以上であることを特徴とする請求項6に記載のシリコンウェーハの製造方法。
- 前記高/長熱処理により熱処理を行った場合、無欠陥層深さが前記所定の深さDよりも深いことを特徴とする請求項6又は7に記載のシリコンウェーハの製造方法。
- 前記高/長熱処理後のシリコンウェーハの表層から前記所定の深さDだけ除去することを特徴とする請求項6から8のいずれかに記載のシリコンウェーハの製造方法。
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