WO2008029680A1 - Rouleau de transfert et appareil de transfert de substrats - Google Patents

Rouleau de transfert et appareil de transfert de substrats Download PDF

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Futoshi Shimai
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Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
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    • H10P72/3202—Mechanical details, e.g. rollers or belts
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions

Definitions

  • the present invention relates to a conveyance roller and a substrate conveyance device for conveying various substrates such as a glass substrate.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-281991
  • An object of the present invention is to provide a transport roller having stable transport performance even when the transport roller is elongated.
  • an object of the present invention is to provide a substrate transfer device that can stably transfer various substrates. There is to be.
  • Another object of the present invention is to provide a substrate transfer apparatus capable of transferring a plurality of substrates in parallel.
  • a transport roller according to the present invention is a transport roller for transporting various substrates, and is fitted to a cylindrical shaft, a shaft and disposed along the roller axial direction, and contacts the substrate to be transported.
  • Spacers that connect adjacent rollers while maintaining a predetermined distance between two adjacent mouths that are in contact with each other and transmit conveying force to the substrate and two adjacent mouths that are fitted to the shaft.
  • at least one pair of locking members that are fixed to the shaft and connected to the mouth, and that fix the roller and the spacer.
  • a plurality of rollers that transmit the conveyance force to the substrate to be conveyed are held in a free state with respect to the shaft, and are connected to the shaft via a locking member screwed to the shaft. Therefore, the problem that undesired stress distortion due to screwing occurs in the mouth is prevented. As a result, stable conveyance performance with respect to the substrate is achieved.
  • the substrate transport apparatus includes a plurality of transport rollers along the substrate transport direction, a connection frame that connects the plurality of transport rollers to each other at both ends of the shaft of the transport roller, and is connected to the transport rollers.
  • a drive mechanism that transmits a rotational driving force to the transport roller, and a leveling adjustment mechanism that is connected to the connecting frame and adjusts the level of the transport roller.
  • a transport failure such as meandering occurs.
  • a leveling adjustment mechanism for adjusting the level of the transport roller is provided outside the chamber on one end side of the transport roller.
  • each roller of the transport roller is held free with respect to the shaft.
  • a stable transfer force can be obtained for each port that transfers the transfer force directly to the board.
  • a large substrate can be stably transferred and a plurality of substrates can be transferred in parallel.
  • each horizontal roller is provided with a leveling adjustment mechanism outside the chamber, it is possible to prevent a conveyance failure such as meandering.
  • FIG. 1 is a diagram showing an example of a substrate processing system.
  • FIG. 2 Diagram showing an example of a transport roller
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing a part of the conveyance roller shown in FIG.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an example of an inline-type substrate processing system.
  • a developing unit 1 (only a part of the developing unit is shown) and a cleaning unit 2 are arranged along the substrate transfer line L, and the substrate 3 is developed while passing through the developing unit and the cleaning unit along the transfer line L. And a cleaning process is performed.
  • the substrate transport system has a plurality of transport rollers 4 (only one transport roller is assigned a reference numeral) arranged at a predetermined interval along the transport line L, and each substrate 3 is driven to rotate the transport rollers. It advances along the transfer line L by force.
  • the developing unit 1 has a developing chamber 10, and a developing nozzle 11 (a reference numeral is assigned to only one developing nozzle for the sake of clarity) sandwiching a transport roller in the developing chamber. Then, the substrate 3 is developed by a developer ejected from the developing nozzle during conveyance.
  • the cleaning chamber 20 has transport rollers arranged along the transport line direction. A plurality of cleaning nozzles are arranged above and below the substrate, and the substrate on which the developing solution remains is cleaned with a cleaning solution sprayed from the cleaning nozzle during conveyance.
  • FIG. 2 shows an example of the transport roller.
  • the transport roller has a shaft 30 formed of a cylindrical metal pipe, and rollers 3;! To 38 are fitted and attached to the outer periphery of the shaft at predetermined intervals.
  • These rollers are made of a synthetic resin material having a chemical resistance by contacting the back surface of the substrate to be conveyed and transmitting the conveying force to the substrate.
  • the spacer is also made of the same synthetic resin material.
  • rollers and spacers are attached to the shaft so that they can rotate or move without being screwed to the shaft.
  • the number of mouths and spacers to be attached to the shaft 30 can be set according to the roller length. For example, when transporting a large substrate, Increasing the number of spacers can accommodate an increase in the size of the substrate.
  • the locking members 50a and 50b are mounted so as to be adjacent to the rollers 31 and 34, and the locking members 50c and 50d are mounted so as to be adjacent to the rollers 35 and 38.
  • These locking members are made of a ring-shaped metal material or a synthetic resin material, and are screwed to the shaft 30.
  • the locking member is key-coupled to the adjacent mouth and acts to transmit the rotational driving force of the shaft to the mouth. Therefore, when the shaft rotates, the rotational driving force is transmitted to the locking member, and is transmitted from the locking member to the rollers and the spacers via the key connection to be transmitted to all the mouths. All rollers are not screwed to the shaft and are maintained in a free state, so no unnecessary distortion occurs and stable rotation accuracy and conveyance performance can be obtained.
  • Rotation support member 51 such as a bearing having an outer diameter smaller than the outer diameter of the mouth is mounted at substantially the center of shaft 30, and locking members 50e and 50f are arranged on both sides of the rotation support member 51. Secure 51 to the shaft.
  • the rotation support member 51 is supported on the base 60 of the chamber via the support column 52.
  • a substantially central portion of the transport roller is supported on the base of the chamber via the rotation support member to prevent the occurrence of stagnation.
  • the support by the rotation support member is a plurality of parts in the roller axis direction that can be achieved by only one force point. It is also possible to support it at a certain place.
  • Both end portions of the shaft 30 are supported by side walls 62a and 62b of the chamber via bearings 61a and 61b. Therefore, the conveyance roller of this example is supported by three points at both ends and the central portion of the roller.
  • the side wall 62a is supported so as to be rotatable through a bearing and to be movable up and down in order to adjust the level of horizontality described later.
  • a gear (bevel gear) 70 is fixed to a portion of the shaft 30 that protrudes to the outside of the side wall 62a of the chamber, and the rotational driving force transmitted through the rotational driving mechanism is transmitted to the shaft.
  • a rotational drive mechanism a drive shaft 72 to which a bevel gear 71 is connected is extended in a direction perpendicular to the paper surface to transmit a rotational drive force to each conveyance roller.
  • the shaft 30 is connected with a later-described leveling adjustment mechanism on the outside of the side wall 62a of the chamber.
  • the leveling adjustment mechanism can be provided on both sides of the conveyance roller as well as on one side of the conveyance port roller.
  • FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a part of the conveyance roller shown in FIG. 2, and the connection state of the shaft, the locking member, the roller, and the spacer will be described with reference to FIG. .
  • the roller and the spacer when the roller and the spacer are attached to the shaft in a free state.
  • the mouth, the locking member, and the spacer are connected by key coupling, and the rotational driving force transmitted to the shaft is transmitted to each mouth through the key coupling. Since the lip is free from the shaft, unnecessary stress and distortion do not occur in the lip, resulting in extremely good roundness as a roller and achieving stable roller rotation accuracy. .
  • each roller 3;! To 34 is formed with a key groove, and the locking members 50a and 50b and the spacer 4;! To 43 are formed with a key to form a key connection.
  • the rotational driving force transmitted to the shaft 30 is transmitted to the locking members 50a and 50b, and is transmitted to the adjacent rollers 31 and 34 by a key connection formed between the locking member and the mouth.
  • the rotational driving force transmitted to these mouths is transmitted to rollers 32 and 33 via spacers 41 and 43.
  • FIG. 4 is a side view as seen in the axial direction of the transport roller from the outside of the chamber.
  • a bevel gear 70 (only one transport roller is provided with a reference numeral for the sake of clarity) is connected to each transport port, and the bevel gear 70 is connected to a bevel gear 71 coupled to a drive shaft 72. Then, the rotational driving force of the drive shaft 72 is transmitted to each conveying roller.
  • the drive shaft 72 is rotatably supported by four vertical frames 80a to 80d, and these four vertical frames are attached to the base frame 81.
  • the base frame 81 is fixed to the base 60 via an elevating mechanism 82, and by adjusting the elevating mechanism 82, the vertical height of the drive shaft 72 is adjusted, and the vertical height of the conveying roller is adjusted. Will be. By adjusting the vertical height, the level of the transport roller is adjusted.
  • This leveling mechanism can be provided on both sides of the transport roller. In this example, the mechanism adjusts the level of the five transport rollers, but the number of transport rollers is only an example.

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)

Description

明 細 書
搬送ローラ及び基板搬送装置
技術分野
[0001] 本発明は、ガラス基板等の各種の基板を搬送するための搬送ローラ及び基板搬送 装置に関するものである。
背景技術
[0002] 液晶パネルや半導体デバイスの製造工程にお!/、ては、各種基板に対する処理効 率を向上させるため、基板の搬送ラインに沿って各種処理装置を配置し、搬送ローラ により基板を搬送させながら基板につ!/、て各種処理を行うプロセスが既知である（例 えば、特許文献 1参照）。このインライン方式の基板処理システムでは、基板搬送方 向に沿って搬送ローラを配置し、搬送ローラ上においてガラス基板を搬送し、搬送中 に現像処理や洗浄処理等の各種の処理が行われている。
[0003] 特許文献 1 :特開 2004— 281991号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] インライン方式による基板処理システムでは、基板サイズが大型化するに伴い、搬 送ローラが長尺化するため、搬送ローラ自体に橈みが発生し易くなる。搬送ローラが 橈むと、基板に対する搬送速度や搬送性能が不安定になり、各処理工程における処 理品質が低下する不具合が生じてしまう。また、大型サイズの基板だけでなく小型サ ィズの基板も処理する必要があり、タクトタイムを短縮する必要性より、複数の基板を 並列して搬送する必要もある。しかし、搬送ローラの回転精度及び水平精度が悪化 すると、ローラ軸線方向に速度分布が発生し、搬送中の基板に蛇行が発生し、基板 同士が接触する不具合が発生してしまう。従って、従来の基板処理システムでは、複 数の基板を並列して処理することが困難であった。
[0005] 本発明の目的は、搬送ローラが長尺化しても、安定した搬送性能を有する搬送ロー ラを提供することにある。
さらに、本発明の目的は、各種基板を安定して搬送できる基板搬送装置を提供す ることにある。
本発明の別の目的は、複数の基板を並列して搬送することができる基板搬送装置 を提供することにある。
課題を解決するための手段
[0006] 本発明による搬送ローラは、各種基板を搬送する搬送ローラであって、円筒状のシ ャフトと、シャフトに嵌合されると共にローラ軸線方向に沿って配置され、搬送すべき 基板と当接して基板に搬送力を伝達する複数のコ口と、前記シャフトに嵌合されると 共に隣接する 2つのコ口の間を所定の間隔に維持し、隣接するコロ同士を連結するス ぺーサと、前記シャフトに固定されると共に前記コ口に連結され、コロ及びスぺーサを 固定する少なくとも 1対の係止部材とを有することを特徴とする。
[0007] 本発明では、搬送されるべき基板に搬送力を伝達する複数のコロをシャフトに対し てフリーな状態に保持し、シャフトにネジ止めされている係止部材を介してシャフトに 連結しているため、ネジ止めによる不所望な応力歪みがコ口に発生する不具合が防 止される。この結果、基板に対して安定した搬送性能が達成される。
[0008] 本発明による基板搬送装置は、搬送ローラを基板搬送方向に沿って複数具え、複 数の搬送ローラを搬送ローラのシャフト両端にて互いに連結する連結フレームと、該 搬送ローラに連結され、搬送ローラに回転駆動力を伝達する駆動機構と、該連結フ レームに連結され、搬送ローラの水平度を調整する水平度調整機構と、を具えること を特徴とする。
[0009] 複数の基板を並列して同時に処理する基板処理システムにおいては、搬送ローラ にローラ軸線方向において速度分布が形成されると、蛇行等の搬送障害が発生して しまう。特に、長尺の搬送ローラを用いて複数の基板を搬送する場合、ローラの水平 度に僅かな不均衡が生ずるだけでも、水平度の不均衡が増幅されるため、一方又は 両方の基板に蛇行が生じ、基板同士が接触する不具合が発生してしまう。そこで、本 発明では、搬送ローラの一端側のチャンバの外部に搬送ローラの水平度を調整する 水平度調整機構を設ける。水平度調整機構を設けることにより、基板処理システム全 体として安定した搬送性能が得られ、複数の基板を並列して同時に処理することが 可能になる。さらに、搬送ローラの各コロをシャフトに対してフリーな状態で保持し、キ 一結合した係止部材を介してシャフトに連結することにより、基板に搬送力を直接伝 達する各コ口についても安定した搬送力が得られるため、水平度調整機構と相まって
、大型基板を安定して搬送できると共に複数の基板を並列して搬送処理することが 可能になる。
発明の効果
[0010] コロをシャフトに連結する際に発生する応力歪みの発生が防止されるので、安定し た搬送力を有する搬送ローラが実現される。
また、各搬送ローラには、水平度調整機構がチャンバの外部に設けられているので 、蛇行等の搬送障害の発生を防止することが可能になる。
図面の簡単な説明
[0011] [図 1]基板処理システムの一例を示す図
[図 2]搬送ローラの一例を示す図
[図 3]図 2に示す搬送ローラの一部を拡大して示す断面図
[図 4]搬送ローラをチャンバの外側から見た側面図
発明を実施するための最良の形態
[0012] 図 1は、インライン方式の基板処理システムの一例を示す図である。本例では、現 像処理及び洗浄処理に適用した例にっレ、て説明する。基板搬送ライン Lに沿って現 像ユニット 1 (現像ユニットの一部だけを示す)及び洗浄ユニット 2が配置され、基板 3 は搬送ライン Lに沿って現像ユニット及び洗浄ユニットを通過する間に現像処理及び 洗浄処理が行われる。基板搬送システムは、搬送ライン Lに沿って所定の間隔で配 置した複数の搬送ローラ 4 (1本の搬送ローラについてだけ符号を付す）を有し、各基 板 3は、搬送ローラの回転駆動力により搬送ライン Lに沿って進行する。
[0013] 現像ユニット 1は、現像チャンバ 10を有し、当該現像チャンバ内に搬送ローラを挟 んで上下に現像ノズル 11 (図面を明瞭にするため、 1個の現像ノズルについてだけ 符号を付す）が配置され、基板 3は、搬送中に現像ノズルから噴射される現像液によ り現像処理される。
[0014] 現像処理が終了すると、基板 3は、現像チャンバ 10から搬出され、洗浄チャンバ 20 に搬入される。洗浄チャンバ 20は、搬送ライン方向に沿って配列された搬送ローラを 挟んで上下に複数の洗浄ノズルが配置され、現像液が残存する基板は、搬送中に 洗浄ノズルから噴射される洗浄液により洗浄される。
[0015] 図 2は、搬送ローラの一例を示すである。搬送ローラは、円筒状の金属製パイプで 構成されるシャフト 30を有し、シャフトの外周にコロ 3；!〜 38を所定の間隔で嵌合装 着する。これらのコロは、搬送される基板の裏面と当接して基板に搬送力を伝達する 作用を果たし、耐薬品性を有する合成樹脂材料で構成される。隣接するコロ間にス ぺーサ 41〜46を嵌合装着する。スぺーサもコ口の同一の合成樹脂材料で構成され
、キー結合により互いに隣接するコロ同士を機械的に連結する作用を果たす。コロ及 びスぺーサは、シャフトに対してネジ止めせず、シャフトに対して回転可能ないし移 動可能に装着される。
[0016] 尚、シャフト 30に装着するコ口とスぺーサの数はローラ長に応じて設定することがで き、例えば大型基板を搬送する場合、シャフト 30に嵌合装着されるコ口とスぺーサの 数を多くすることにより、基板の大型化に対応することができる。
[0017] コロ 31及び 34に隣接するように係止部材 50a及び 50bを装着すると共に、コロ 35 及び 38と隣接するように係止部材 50c及び 50dを装着する。これらの係止部材は、リ ング状の金属材料又は合成樹脂材料で構成され、シャフト 30に対してネジ止めする 。係止部材は、隣接するコ口とキー結合され、シャフトの回転駆動力をコ口に伝達する 作用を果たす。従って、シャフトが回転すると、その回転駆動力は係止部材に伝達さ れ、係止部材からキー結合を介してコロ及びスぺーサに伝達されて全てのコ口に伝 達される。全てのコロは、シャフトに対しネジ止めされずフリーな状態に維持されてい るため、無用な歪みが発生せず、安定した回転精度及び搬送性能が得られる。
[0018] シャフト 30のほぼ中央に、コ口の外径寸法よりも小さい外径の軸受等の回転支持部 材 51を装着し、その両側に係止部材 50e及び 50fを配置して回転支持部材 51をシ ャフトに対して固定する。回転支持部材 51は、支柱 52を介してチャンバのベース 60 に支持する。大型のガラス基板を搬送する場合、搬送ローラに相当な荷重がかかり、 搬送ローラに橈みが発生するおそれがある。そこで、本例では、搬送ローラのほぼ中 央の部位を回転支持部材を介してチャンバのベースに支持し、橈みの発生を防止す る。尚、回転支持部材による支持は、 1力所だけでなぐローラ軸線方向の複数の箇 所にぉレ、て支持することも可能である。
[0019] シャフト 30の両端部分は、軸受け 61a及び 61bを介してチャンバの側壁 62a及び 6 2bにより支持される。従って、本例の搬送ローラは、ローラの両端及び中央部分の 3 点により支持されることになる。尚、側壁 62aに対しては、後述する水平度の調整を行 うため、軸受を介して回転可能に支持すると共に上下動可能に支持する。
[0020] シャフト 30のチャンバの側壁 62aの外部に突出する部分にギア（傘歯車） 70を固着 し、回転駆動機構を介して伝達される回転駆動力をシャフトに伝達する。回転駆動機 構として、傘歯車 71が連結されている駆動軸 72を紙面と直交する方向に延在させて 各搬送ローラに回転駆動力を伝達する。さらに、シャフト 30には、チャンバの側壁 62 aの外側に後述する水平度調整機構を連結する。 2枚の基板を並列して処理する場 合並びに大型基板を処理する場合、搬送ローラが長尺化し、橈みが発生し易くなつ てしまう。橈みが発生すると、搬送ローラの水平度が非平衡であることに起因する悪 影響が現れ、蛇行等の搬送障害が発生する。そこで、チャンバの外部に水平度調整 機構を設けることにより、チャンバの外部から搬送ローラの水平度の調整を可能とす る。この結果、 2枚の基板を並列して処理する場合であっても、蛇行等の不具合が発 生せず、基板同士が接触する不都合が解消される。尚、水平度調整機構は、搬送口 ーラの片側に設けるだけでなぐ搬送ローラの両側に設けることもできる。
[0021] 図 3は、図 2に示す搬送ローラの一部を拡大して示す断面図であり、当該図 3を用 いて、シャフト、係止部材、コロ及びスぺーサの連結状態を説明する。円筒状のシャ フト 30に 4個のコロ 3；!〜 34を嵌合装置する。各コロはローラ軸線方向及びローラの 円周方向に移動自在に装着される。隣接するコロ間にスぺーサ 41〜43を嵌合装着 する。各スぺーサは、コ口と同様にローラ軸線方向及びローラ円周方向に移動自在 に装着する。コロ 31及び 34と隣接するようにリング状の係止部材 50a及び 50bをシャ フトに固定する。係止部材は、シャフトに対してネジ止めする。係止部材は金属材料 で構成されるため、ネジ止めしても歪みが生ずる不具合は発生しないが、コロ及びス ぺーサは合成樹脂材料であるため、ネジ止めした際応力歪みが発生し、真円度等の ローラ性能が低下してしまう。
そこで、本発明では、シャフトに対してコロ及びスぺーサをフリーな状態に装着すると 共に、コ口と係止部材及びスぺーサとの間はキー結合により連結してシャフトに伝達 された回転駆動力をキー結合を介して各コ口に伝達する。コ口がシャフトに対してフリ 一な状態にあるため、コ口には不要な応力及び歪みが発生せず、ローラとして極めて 良好な真円度が得られ、安定したローラ回転精度が達成される。
[0022] 本例では、各コロ 3；!〜 34にはキー溝を形成すると共に、係止部材 50a及び 50b並 びにスぺーサ 4；!〜 43にはキーを形成してキー結合を形成する。従って、シャフト 30 に伝達された回転駆動力は、係止部材 50a及び 50bに伝達され、係止部材とコ口と の間に形成されるキー結合により隣接するコロ 31及び 34に伝達される。これらコ口に 伝達された回転駆動力はスぺーサ 41及び 43を介してコロ 32及び 33に伝達される。
[0023] 次に、本発明による基板搬送装置における搬送ローラの水平度調整機構について 説明する。図 4は、チャンバの外部から搬送ローラの軸線方向に見た側面図である。 一例として 5本の搬送ローラの水平度を調整する機構につ!/、て説明する。各搬送口 一ラには傘歯車 70 (図面を明瞭にするため、 1本の搬送ローラだけに符号を付す）が 結合され、傘歯車 70は、駆動軸 72に結合された傘歯車 71が連結され、駆動軸 72の 回転駆動力が各搬送ローラに伝達される。駆動軸 72は、 4つの垂直フレーム 80a〜 80dにより回転自在に支持され、これら 4つの垂直フレームはベースフレーム 81に取 り付ける。ベースフレーム 81は、昇降機構 82を介してベース 60に固定され、昇降機 構 82を調整することにより、駆動軸 72の垂直方向の高さが調整され、搬送ローラの 垂直方向の高さが調整されることになる。この垂直方向の高さ調整により、搬送ローラ の水平度が調整される。尚、この水平度調整機構は、搬送ローラの両側に設けること が可能である。また、本例では、 5本の搬送ローラの水平度を調整する機構としたが、 搬送ローラの本数は一例である。
[0024] 本発明は、上述した実施例だけに限定されず種々の変形や変更が可能である。
例えば、上述した実施例では、現像工程及び洗浄工程を例にして説明したが、これ らの工程以外の各種工程にも適用することができる。

Claims

請求の範囲
[1] 各種基板を搬送する搬送ローラであって、この搬送ローラは、
円筒状のシャフトと、このシャフトに嵌合されると共にローラ軸線方向に沿って配置 され、搬送すべき基板と当接して基板に搬送力を伝達する複数のコ口と、前記シャフ トに嵌合されると共に隣接する 2つの前記コ口の間を所定間隔に維持し、隣接するコ 口同士を連結するスぺーサと、前記シャフトに固定されると共に前記コ口に連結され、 コロ及びスぺーサを固定する少なくとも 1対の係止部材とを有することを特徴とする搬 送ローラ。
[2] 請求項 1に記載の搬送ローラにおいて、前記係止部材は、前記シャフトにネジ止めさ れていることを特徴とする搬送ローラ。
[3] 請求項 1又は 2に記載の搬送ローラにおいて、前記コロは、係止部材及び/またはス ぺーサとキー結合により連結されていることを特徴とする搬送ローラ。
[4] 請求項 1〜3のいずれか 1項に記載の搬送ローラにおいて、前記コロ及びスぺーサが 1対の係止部材により固定されている搬送部位力 シャフトに複数設けられていること を特徴とする搬送ローラ。
[5] 請求項 1〜4に記載の搬送ローラを備えることを特徴とする基板搬送装置。
[6] 請求項 5に記載の基板搬送装置において、前記搬送ローラを基板搬送方向に沿つ て複数本配置し、複数の搬送ローラを搬送ローラのシャフト両端にて互いに連結する 連結フレームと、該搬送ローラに連結され、搬送ローラに回転駆動力を伝達する駆動 機構と、該連結フレームに連結され、搬送ローラの水平度を調整する水平度調整機 構と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。
[7] 請求項 6に記載の基板搬送装置において、前記複数の搬送ローラは、部分的にチヤ ンバに包囲されており、前記駆動機構及び水平調整機構が、前記チャンバ外に設け られて!/、ることを特徴とする基板搬送装置。
[8] 請求項 6又は 7に記載の基板搬送装置において、該搬送ローラを回動可能に支持す る回転支持部材を備えていることを特徴とする基板搬送装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015030574A (ja) * 2013-08-01 2015-02-16 トヨタ自動車株式会社 方向変換装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101815095B1 (ko) * 2011-05-03 2018-01-04 엘지디스플레이 주식회사 기판 반송시스템
JP5923281B2 (ja) 2011-11-18 2016-05-24 東京応化工業株式会社 基板搬送装置及び基板処理装置
CN102910430B (zh) * 2012-10-29 2015-06-10 深圳市华星光电技术有限公司 一种用于载送玻璃基板的滚轮结构

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05229626A (ja) * 1992-02-21 1993-09-07 Asahi Eng Co Ltd 樹脂ライニングローラ
JP3010767U (ja) * 1994-11-01 1995-05-09 有限会社二幸商会 ベルトコンベヤのローラ或いはプーリ
JP2004338893A (ja) * 2003-05-16 2004-12-02 Ulvac Japan Ltd 基板搬送装置
JP2005286001A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Shibaura Mechatronics Corp 基板の搬送装置
JP2006186146A (ja) * 2004-12-28 2006-07-13 Zebiosu:Kk ワーク搬送装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05229626A (ja) * 1992-02-21 1993-09-07 Asahi Eng Co Ltd 樹脂ライニングローラ
JP3010767U (ja) * 1994-11-01 1995-05-09 有限会社二幸商会 ベルトコンベヤのローラ或いはプーリ
JP2004338893A (ja) * 2003-05-16 2004-12-02 Ulvac Japan Ltd 基板搬送装置
JP2005286001A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Shibaura Mechatronics Corp 基板の搬送装置
JP2006186146A (ja) * 2004-12-28 2006-07-13 Zebiosu:Kk ワーク搬送装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015030574A (ja) * 2013-08-01 2015-02-16 トヨタ自動車株式会社 方向変換装置

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