WO2007052358A1 - 電気的接続装置 - Google Patents

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WO2007052358A1
WO2007052358A1 PCT/JP2005/020331 JP2005020331W WO2007052358A1 WO 2007052358 A1 WO2007052358 A1 WO 2007052358A1 JP 2005020331 W JP2005020331 W JP 2005020331W WO 2007052358 A1 WO2007052358 A1 WO 2007052358A1
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contact
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base member
electrical connection
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PCT/JP2005/020331
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Eichi Osato
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Kabushiki Kaisha Nihon Micronics
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    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
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    • G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0441—Details
    • G01R1/0466—Details concerning contact pieces or mechanical details, e.g. hinges or cams; Shielding
    • G—PHYSICS
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    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes

Definitions

  • the present invention relates to an electrical connection device suitable for use as an auxiliary device for electrical inspection of a semiconductor device such as an integrated circuit.
  • an inspection auxiliary device consisting of an electrical connection device called a socket is generally used.
  • Each electrode of the semiconductor device which is the object to be inspected, is detachably connected to an electric circuit of an inspection device such as a tester through this electrical connection device.
  • an inspection device there is a device described in Patent Document 1.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-2 3 3 9 0 0
  • the electrical connection device described in Patent Document 1 includes a plate-shaped electrically insulating housing in which a plurality of slots penetrating in the thickness direction is formed, and a circuit connected to a tester is formed on the lower surface of the housing.
  • the device under test (DUT) board is installed.
  • a semiconductor device receiving the test is disposed on the upper surface of the housing so that the lead as the electrode extends toward the corresponding throttle.
  • respective contacts comprising a conductive contact base member and a conductive contact member slidable on the guide surface of the contact base member.
  • Each contact base member is elastically supported in the slot of the housing so as to be pressed toward the circuit on the board provided on the lower surface of the housing by the elastic biasing force of two elastic members crossing each slot.
  • each conductive contact member is slidably disposed on the guide surface of the corresponding contact base member in the housing, and is pressed against the lead of the semiconductor device by the elastic biasing force of the elastic member.
  • the contact end portion protrudes from the upper surface of the housing and is arranged on the housing.
  • each lead is connected to the corresponding circuit on the board via the contact base member on which the conductive contact member slides, so that the inspection by the tester is possible.
  • the conductive contact base member that slidably guides the conductive contact member and the conductive contact member that receives the sliding guidance by the conductive contact member are the above-mentioned 2
  • Two elastic members are elastically supported by the housing. For this reason, when the lead of the semiconductor device is pressed against the conductive contact member for testing, the contact end of the conductive contact member to the lead is moved along with the sliding of the conductive contact member. Slide on the top. At this time, the conductive contact base member that slidably receives the conductive contact member on the inner surface also slightly slides on the circuit of the board with which the base member abuts.
  • the surface of the lead may be slightly shaved. However, this is a one-time test and does not cause significant damage or wear to the leads. Moreover, since the oxide film on the lead surface is removed by sliding, this sliding is desirable in order to ensure electrical connection between the lead and the contact end of the conductive contact member.
  • an object of the present invention is to provide an electrical connection device that is superior in durability compared to the conventional art.
  • Means for solving the problem The present invention relates to an electrical connection device for connecting an electrode of a device under test to an electric circuit of a tester, and is an electrically insulating plate-like base member that receives the device under test in the plate thickness direction.
  • a base member formed with a through-slot, and a contact member disposed in the slot so as to be able to contact the electrode of the object to be inspected on the base member, and for connecting the electrode to an electric circuit of the tester.
  • a child and an elastic member The contact is fixedly held in the base member in the slot for connection to the electrical circuit, and is disposed in the slot and electrically connected to the fixed piece.
  • the fixed piece is formed with a guide surface for guiding the movable piece toward a contact position that allows contact between the movable piece and the electrode.
  • the movable piece is slidably supported on the guide surface so as to receive an elastic biasing force toward the contact position by the elastic member.
  • a wiring board is fixed to one surface of the base member, and the object to be inspected can be received on the other surface side of the base member.
  • the wiring board is connected to the electric circuit of the tester, and a wiring portion that contacts the fixing piece is formed.
  • the fixing piece is electrically connected to the electric circuit via the wiring portion.
  • the movable piece may be formed with a protrusion that can protrude from the slot beyond the other surface of the base member.
  • the fixing piece can be locked to the peripheral wall of the slot of the base member by a locking mechanism.
  • the locking mechanism can be constituted by a protrusion formed on the peripheral wall of the slot and a recess that engages with the protrusion formed on the fixing piece.
  • the guide surface may be formed angularly with respect to a center line passing through the opening at both ends of the slot.
  • the guide surface may be a linear guide surface extending angularly with respect to the center line of the slot.
  • the fixing piece extends along one surface of the base member in the slot and the slot.
  • a bottom portion disposed along the longitudinal direction of the lot; and a first portion that rises from one corner of the bottom portion along the longitudinal direction of the slot along the wall surface of the slot toward the other surface of the base member.
  • An upright portion, and a second upright portion that rises along the first upright portion at a distance from the other side of the bottom portion to the first upright portion and ends at a lower position than the first upright portion.
  • the guide surface is formed on a surface of the first upright portion facing the second upright portion.
  • the movable piece receives the elastic biasing force of the elastic member between the upright portions so as to abut against the guide surface.
  • the plurality of slots can be formed aligned in the width direction.
  • the respective contacts made of the movable piece and the fixed piece are arranged in alignment, and a single elastic member is placed on each movable piece in the plurality of aligned slots.
  • the aligned throttles are arranged across the width of the throttle.
  • the contactor may be a Kelvin connection contactor made of a laminated structure including a pair of conductive layers and an electrically insulating layer between the conductive layers.
  • the fixed piece for slidably guiding the movable piece of the contactor is fixedly held by the base member in the slot.
  • the piece does not slide with the sliding of the movable piece every time the movable piece slides, and it is possible to prevent the durability from being lowered due to the wear caused by the sliding of the fixed piece.
  • the fixed piece is fixedly held by the base member, when the wiring board that comes into contact with the fixed piece is provided on the base member, the wiring piece of the wiring board contacts the wiring portion. Since the fixed piece is prevented from sliding on the wiring part for each inspection, it is possible to reliably prevent the fixed piece and the wiring part from being worn due to the sliding. Can be improved.
  • the tip of the projecting portion projecting from the spout at the contact position can be reliably brought into contact with the electrode.
  • the fixed piece By employing a locking mechanism for coupling the fixed piece and the base member, the fixed piece can be securely and easily coupled to the base member.
  • the fixing piece By forming the locking mechanism described above with the protrusion formed on the peripheral wall of the slot and the recess of the fixing piece, the fixing piece is inserted into the slot so as to avoid the protrusion. Then, by engaging the recess of the fixed piece and the protrusion of the spout at a position where the recess of the fixed piece and the protrusion of the slot wall correspond to each other, it is more reliable and easy. Both can be combined with each other and the assembly work can be made more efficient.
  • the electrode of the object to be inspected is pressed against the movable piece of the corresponding contact,
  • the moving distance of the movable piece that slides on the electrode surface of the object to be inspected can be set small. Accordingly, the deviation of the contact from the electrode due to the large displacement of the movable piece can be prevented, which is suitable for electrical inspection of a miniaturized semiconductor device provided with a smaller electrode.
  • the guide surface By making the guide surface a linear guide surface as described above, a suitable guide surface can be easily and accurately formed without causing a large error.
  • first and second upright portions for raising the fixed piece from the bottom portion spaced apart from each other, forming a guide surface for the movable piece in relation to the first upright portion, and relating to both upright portions.
  • the single elastic member By arranging the single elastic member across the throttle row for each slot row, it is possible to operate a plurality of contacts so that a suitable electrical connection can be obtained by the elastic biasing force of the single elastic member. Appropriate elastic biasing force can be applied. Therefore, since it is not necessary to use two conventional elastic bodies in each slot row, the configuration can be simplified.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of an electrical connection device according to the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view showing the base member with the cover of the electrical connection apparatus shown in FIG. 1 removed.
  • FIG. 3 is an enlarged bottom view showing a part of the base member showing the slot row provided in the base member shown in FIG.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing a part of the cross-sectional view shown in FIG.
  • FIG. 5 is an exploded perspective view showing the contact shown in FIG.
  • FIG. 6 is a drawing similar to FIG. 4 showing the electrical connection device in the inspection state.
  • FIG. 7 is an exploded perspective view showing the Kelvin connection contactor.
  • FIG. 8 is a perspective view of a contactor for Kelvin connection. Explanation of symbols
  • FIG. 1 showing a longitudinal section of the electrical connecting device 10 according to the present invention
  • a base member 12 and a large number of contacts 14 called probes incorporated in the base member.
  • a rod-like elastic member 16 having a circular cross-sectional shape for giving an elastic biasing force to the plurality of contacts 14, and a base member 12 detachably fixed via a bolt (not shown).
  • the elastic member 12 can be made of a synthetic rubber such as silicon rubber or urethane rubber.
  • FIG. 2 is a top view of the base member 12 with the cover member 18 removed.
  • the base member 12 is made of a plate-like non-conductive material and has a rectangular planar shape.
  • a plurality of slots 22 corresponding to the respective electrodes, that is, the leads 20 a of the semiconductor IC 20 that is the device to be inspected shown in FIG. are formed so as to penetrate from the bottom surface 12 a of the base member 12 to the top surface 12 b thereof.
  • screw holes 24 for receiving the bolts for fixing the cover member 18 to the base member are formed at the four corners of each base member 12.
  • two slots 2 2 that are paired with each other are arranged at intervals in the lateral (X) direction with the central portion of the base member 1 2 in between, and each pair of slots 2 2 and 2 are arranged so as to be aligned with each other in the longitudinal (Y) direction.
  • Each slot 22 has a rectangular planar shape with the transverse (X) direction as the longitudinal direction, as is clear from FIG. 3 showing the enlarged planar shape of the slot, and each corner is rounded. ing.
  • Each slot 22 is provided with a contact 14, and in order to give an elastic biasing force to each contact 14, the elastic members 16 are aligned with each other in the longitudinal (Y) direction.
  • the slots 22 are arranged along the width direction (Y-axis direction) of each slot 22 so as to cross the row of slots 22.
  • the cover member 18 is formed with a rectangular opening 18 a for receiving the semiconductor IC 20.
  • the rectangular opening portion 18 a is formed so as to penetrate the cover member 18 in the plate thickness direction, and allows partial exposure of the upper end of each slot 2 2 on the upper surface 12 a of the base member 12.
  • each peripheral wall surface of the opening so that the rectangular opening 18 a expands upward.
  • the part 26 is composed of an inclined surface.
  • each slot 2 2 includes a fixed piece 1 4 a and a movable piece 1 4 slidably held on the fixed piece.
  • Each piece 14a and 14b can be formed of, for example, a nickel alloy, a metal such as tungsten or beryllium, or a noble metal such as palladium.
  • the fixed piece 14 a is aligned with the bottom surface 1 2 a of the base member 1 2 in the slot 2 2, along the longitudinal direction (X-axis direction) of the slot 2 2.
  • the first upright portion 2 8 b rising from the bottom portion toward the upper surface 1 2 b of the base member 1 2 along one corner of the slot 2 2
  • the bottom portion 2 8 a A second upright portion 28 c rising along the first upright portion is spaced apart from the first upright portion 28 b along the other corner of the slot 22.
  • each fixed piece 14 a is arranged so that the upright portion 2 8 b is located and the second upright portion 28 c is located on the outer even side of both the throttles 2 2.
  • Each first upright portion 2 8 b and second upright portion 2 8 c extend from the bottom portion 2 8 a along the center line L of the slot 2 2 at a right angle to the bottom portion.
  • the second upright portion 2 8 c terminates at a substantially intermediate height position of the slot 2 2.
  • first upright portion 28 b extends beyond the intermediate height position of the slot 22 and terminates at the upper end surface substantially coinciding with the upper surface 12 b.
  • Both outer surfaces 30 b and 30 c of the first upright portion 28 b and the second upright portion 28 c are upright surfaces parallel to the center line L of the slot 22.
  • the inner surface 3 2 c of the second upright portion 28 c facing the first upright portion 28 b is upright parallel to the center line L of the slot 22.
  • the inner surface 3 2 b facing the second upright portion 2 8 c of the first upright portion 2 8 b is the bottom surface of the base member 1 2 with respect to the center line L of the slot 2 2. 2
  • 2 A straight inclined guide surface having a depression angle of 6 toward b. This angle ⁇ is preferably in the range of several degrees to about 30 degrees, as will be described later.
  • shallow grooves 3 4 for reducing friction with the movable piece 1 4 b are arranged in the Y-axis direction at almost the intermediate height position of the linear inclined surface 3 2 b. It is formed along. Further, a recess 36 is formed in the outer surface 30 b of the first upright portion 28 b of each fixed piece 14 a, and a recess is formed in the peripheral wall at the corresponding one corner of the slot 22. A protrusion 3 8 (see FIG. 4) that can be engaged with 3 6 is formed.
  • the fixed piece 14 a of each contact 14 is, for example, a base member in a state where the tip of the first upright portion 28 b is bent slightly toward the second upright portion 28 c. 1 2 bottom surface 1 2 From the side of 2a, push into the corresponding slot 2 2 from the tip of the first upright portion 2 8b so as to avoid the projection 3 8 of the slot. 3 6 can be engaged.
  • Each fixing piece 14 a is locked at a predetermined position of the corresponding slot 22 by a locking mechanism including the projections 38 and the recesses 36.
  • the movable piece 14 b is an inclined surface 40 slidably contacting the linearly inclined guide surface 3 2 b between the first upright portion 2 8 b and the second upright portion 28 c, opposite to the inclined surface And an arcuate fitting curved surface 42 formed on the side.
  • the fitting curved surface 4 2 of each movable piece 1 4 b arranged in each slot 2 2 is the second of the fixed pieces 1 4 a arranged in each slot 2 2.
  • the elastic member 16 is clamped in a partially compressed state in cooperation with the fitting portion 44 formed at the other corner of the top portion of the upright slot 28 of the upright portion 28c.
  • the movable piece 14 b can be moved so that the protruding portion 46 formed at the top of the movable piece protrudes from the upper surface 12 b of the base member 12.
  • the inclined surface 40 of the moving piece 14 b is placed along the straight inclined surface 3 2 b of the fixed piece 14 a to receive the upward spring force of the inclined surface.
  • the movable piece 14 b is incorporated into the fixed piece 14 a by, for example, being engaged with the fitting portion 4 4 formed on the peripheral wall of the slot 2 2 of the base member 1 2 and the base member 1 2.
  • the movable piece 1 4 b receives the elastic member 16 on the fitting curved surface 4 2 in a state where the elastic member 16 is sandwiched between the fixed piece 1 4 a and the second upright portion 2 8 c of the 4 a.
  • To its protruding This can be done by pushing the bottom part opposite to the part 4 6 into the slot 2 2 from the side of the upper surface 1 2 b of the base member 12.
  • the wiring board 48 is disposed on the bottom surface 12 a of the base member 12 as shown in FIG.
  • a plurality of wiring portions 4 8 a that are electrically connected to the tester 50 are formed on one surface of the wiring substrate 48, and each wiring portion 48 a corresponds to the wiring substrate 48.
  • the fixing piece 14 is fixed to the base member 12 by a bolt (not shown) so as to come into contact with the bottom surface of the bottom portion 2 8 a. Thereby, the assembly of the electrical connection device 10 is completed.
  • the semiconductor IC 20 is dropped into the opening 18 a of the cover member 18 as shown in FIG.
  • FIG. 6 when the lead 20a of the semiconductor IC 20 abuts the protrusion 46 provided on the movable piece 14b of the contact 14 corresponding thereto, this contact
  • the external force F overcomes the elastic biasing force of the elastic member 16, and the protruding portion 4 6 of the movable piece 14 b is indicated by a broken line in the figure. From the position toward the position indicated by the solid line, the whole base member 12 is pushed down in the plate thickness direction (Z-axis direction).
  • the movable piece 14 b slides on the linearly inclined guide surface 3 2 b of the fixed piece 14 a to which the inclined surface 40 abuts. Slight displacement in the X-axis direction according to the inclination angle ⁇ of the inclined guide surface. Due to the displacement in the X-axis direction accompanying the displacement of the movable piece 14 b in the Z-axis direction, the protruding portion 4 6 of the movable piece 14 b becomes an oxide film on the contact surface of the lead 20 a of the semiconductor IC 20. Therefore, the oxide film is surely prevented from being in contact with the lead 20 a.
  • each lead 20 a of the semiconductor IC 20 is reliably connected to the tester 50.
  • the fixed pieces 1 4 a of the respective contacts 1 4 are securely fixed in the corresponding slots 2 2 by the locking mechanisms 3 6 and 3 8, respectively. Even if the movable piece 14 b slides on the linear inclined guide surface 3 2 b of 4 a, the movement of the fixed piece 14 a due to the elastic biasing force of the elastic member 16 is reliably prevented. Therefore, wear of both of the fixed piece 14 a and the wiring portion 4 8 a of the wiring board 48 due to relative movement is prevented, and deterioration of durability due to the wear can be prevented.
  • the durability can be improved. Improvements can be made.
  • the semiconductor IC 20 which is the object to be inspected A more reliable electrical connection between the lead 20 a, that is, the electrode, and the contact 14 is possible.
  • Various locking mechanisms can be used for coupling the fixed piece 14 a and the base member 12. However, by using the above-described locking mechanisms 36 and 38, the fixed piece 14a can be fixedly and easily fixed to the base member 12 as described above.
  • the displacement amount of the Z-axis direction component and the displacement amount of the X-axis direction component of the movable piece 1 4 b The ratio of varies with the tilt angle ⁇ . As this ⁇ approaches zero, the ratio of the former to the latter increases.
  • the displacement amount of the X-axis component increases, when the electrode 20 a of the object to be inspected 20 is pressed against the movable piece 14 b of the corresponding contact 14, the protruding portion 4 6 of the movable piece corresponds There is a risk of protruding from the electrode 20 a.
  • the inclination angle 6 is preferably in the range of several degrees to about 30 degrees. By this. It can also be applied to electrical inspection of IC semiconductor wafers in which IC circuits are collectively formed.
  • linearly inclined guide surface 3 2 b can be formed into an arcuate curved surface, but the machining accuracy of this guide surface and the displacement amount of the X-axis direction component relative to the displacement amount of the Z-axis direction component of the movable piece 14 b As described above, the straight guide surface is used in order to enable more accurate control of It is desirable.
  • the fixed piece 1 4 a is provided with first and second upright portions 2 8 b and 2 8 c, and the guide surface 3 2 b of the movable piece 1 4 b is provided in relation to the first upright portion 2 8 b.
  • the elastic member 16 in relation to the two upright portions 2 8 b and 2 8 c, a compact contact 14 having a relatively simple configuration and the electric power having the contact Can be realized.
  • the contactor 1 1 4 for Kelvin connection is used as the contactor 14.
  • the Kelvin connection contactor is formed of a laminated structure in which an insulator is interposed between a pair of conductive plates arranged at intervals. Therefore, also in the Kelvin connection contactor 1 14 according to the present invention, the fixed piece and the movable piece are respectively connected to each other with a plate-like insulating plate 1 14 c interposed therebetween. It consists of plates 1 1 4 a and 1 1 4 b.
  • Each conductive plate 1 1 4 a for the fixed piece is a first upright portion 1 2 8 b in which a recess 1 3 6 and a linearly inclined guide surface 1 3 2 b are formed. And a second upright portion 28 c having a lower height than the upright portion, and a bottom portion 1 2 8 a connecting the upright portions.
  • each conductive plate 1 1 4 b for the movable piece includes an inclined surface 1 4 0 that faces the linear inclined guide surface 1 3 2 b, a fitting curved surface 1 4 2 that receives the elastic member 1 6, and a protruding portion 1 4 Has 6.
  • the two conductive plates 1 1 4 a for the fixed piece are joined via an insulating plate 1 1 4 c disposed between them in order to prevent a short circuit between the two conductive plates.
  • the insulating plate 1 1 4 c is formed with a recess 1 3 6 a that aligns with the recess 1 3 6 of the conductive plate 1 1 4 a and a fitting curved surface 1 4 2 a that receives the elastic member 1 6. Yes.
  • the two conductive plates 1 1 4 b for the movable piece are respectively connected to the mating curved surface 1 4 2 on both sides of the insulating plate 1 1 4 c with the insulating plates preventing mutual short circuit.
  • Receiving elastic member 1 6 and each inclined surface 1 4 0 Although not shown in the state of being in contact with the corresponding linear inclined guide surface 1 3 2 b, it is assembled into the slot 2 2 of the base member 12 similar to that described above.
  • a pair of wiring portions 4 8 a is formed on the wiring board 48 corresponding to each conductive plate 1 1 4 a of the fixed piece of the contact 1 1 4. 4 8 a is connected to the corresponding conductive plate 1 1 4 a.
  • Kelvin connection contactor 1 1 As is well known in the art, two wiring portions 4 8 a can be drawn out from one lead 2 0 a, so the voltage application path and voltage detection Kelvin connection with separate paths becomes possible, and the low resistance value of the device under test 20 can be measured with high accuracy by reducing the influence of contact resistance of the contact.
  • each of the conductive plates 1 1 4 a of the fixed piece is fixed to the base member 1 2 in the same manner as in the contact 1 4. Since each of the conductive plates 1 1 4 a does not slide on the corresponding wiring portion 4 8 a every time the semiconductor IC 20 is inspected, durability is eliminated by eliminating wear caused by this sliding. Improvement is achieved.

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Abstract

　電気的接続装置は、板厚方向に貫通するスロットが形成されたベース部材と、該ベース部材上の被検査体の電極に接触可能に前記スロット内に配置され、前記電極をテスタの電気回路に接続するための接触子と、弾性部材とを含む。前記接触子は、前記電気回路への接続のために前記スロット内で前記ベース部材に固定的に保持される固定片と、前記スロット内に配置され、前記固定片に電気的に接続される可動片とを備える。前記固定片には、前記可動片と前記電極との接触を許す接触位置へ向けて前記可動片を案内する案内面が形成されており、前記可動片は、前記弾性部材により、前記接触位置へ向けての弾性偏倚力を受けるべく前記案内面上を摺動可能に支持されている。　

Description

明 細 書
電気的接続装置 技術分野
本発明は、 集積回路のような半導体装置の電気的検査に補助装置として用いる のに好適な電気的接続装置に関する。 背景技術
パッケージやモールド等によって封止された集積回路 （i c ) の電気的特性の 検査には、 一般的に、 ソケットと称される電気的接続装置からなる検査用補助装 置が用いられている。 被検査体である半導体装置の各電極は、 この電気的接続装 置を介して、 テスタのような検査装置の電気回路に取り外し可能に接続される。 この電気的接続装置に、 特許文献 1に記載の装置がある。
特許文献 1 特開平 8— 2 3 3 9 0 0号公報
特許文献 1に記載の電気的接続装置は、 板厚方向に貫通する複数のスロットが 形成された板状の電気絶縁性のハゥジングを備え、 ハウジングの下面にはテスタ に接続される回路が形成されたテスト対象デバイス （DUT)ボードが取り付けられ ている。 また、 前記ハウジングの上面には、 テス トを受ける半導体デバイスがそ の電極であるリードを対応する各スロットルに向けて伸長するように配置される。 各スロットには、 導電性接触ベース部材と該接触べ一ス部材の案内面上を摺動可 能な導電性接点部材とから成る各接触子が、 配置されている。 各接触ベース部材 は、 各スロットを横切る 2つの弾性部材の弾性偏倚力により、 ハウジング下面に 設けられた前記ボード上の回路に向けて押し付けられるようにハゥジングの前記 スロット内に弾性支持されている。 また、 前記両弾性部材は、 その弾性偏倚力を 前記各導電性接点部材に与える。 各導電性接点部材は、 対応する前記接触ベース 部材の前記案内面上を摺動可能に前記ハウジング内に配置され、 前記弾性部材の 弾性偏倚力により半導体デバイスのリ一ドに押し付けられるように、 その接触端 部をハウジングの上面から突出させてハウジングに配置されている。
したがって、 前記半導体デバイスのリードをこれに対応する各接触子の導電性 接点部材に押圧することにより、 該導電性接点部材が摺動する接触ベース部材を 経て、 各リードが対応する前記ボード上の回路に接続されることから、 前記テス タによる検査が可能となる。
しかしながら、 従来の前記電気的接続装置では、 導電性接点部材を摺動可能に 案内する導電性接触ベース部材および該導電性接触部材により摺動の案内を受け る導電性接触部材が、 前記した 2つの弾性部材によりハウジングに弾性支持され ている。 そのため、 半導体デバイスのリードが、 テス トのために導電性接点部材 に押し付けられると、 該導電性接点部材の摺動に伴い、 該導電性接触部材のリー ドへの接触端が該リ一ド上を摺動する。 このとき、 前記導電性接点部材を前記案 内面で摺動可能に受ける前記導電性接触ベース部材も、 該ベース部材が当接する 前記ボ一ドの回路上をわずかに摺動する。
導電性接触部材の前記接触端が、 リードを摺動すると、 該リード表面がわずか に削られることがある。 ところが、 これはテスト時の一回限りのことであり、 こ れによってリードが大きな損傷や摩耗を受けることはない。 しかも、 摺動によつ てリード表面の酸化膜が除去されることから、 リードと導電性接触部材の接触端 との電気的接続を確実にする上で、 この摺動は望ましいものである。
これに対し、 導電性接触ベース部材が前記ボードの回路上を摺動すると、 回路 部分もわずかに摩耗を受ける。 ところが、 前記ボードはテス トを受ける半導体デ バイスの電極と異なり、 新たな半導体デバイスの検査毎に、 導電性接触部材が前 記ボード上を繰り返して摺動することになる。 そのため、 導電性接触部材および 該導電性接触部材が摺動する前記ボードの回路部分に摩耗が生じ易く、 耐久性を 損なう原因となっている。 発明の開示
発明が解決しようとする課題
そこで、 本発明の目的は、 従来に比較して耐久性に優れた電気的接続装置を提 供することにある。 課題を解決するための手段 本発明は、 被検査体の電極をテスタの電気回路に接続するための電気的接続装 置であって、 前記被検査体を受ける電気絶縁性の板状ベース部材であってその板 厚方向に貫通するスロットが形成されたべ一ス部材と、 該ベース部材上の前記被 検査体の前記電極に接触可能に前記スロット内に配置され、 前記電極を前記テス タの電気回路に接続するための接触子と、 弾性部材とを含む。 前記接触子は、 前 記電気回路への接続のために前記スロット内で前記ベース部材に固定的に保持さ れる固定片と、 前記スロッ ト内に配置され、 前記固定片に電気的に接続される可 動片とを備える。 前記固定片には、 前記可動片と前記電極との接触を許す接触位 置へ向けて前記可動片を案内する案内面が形成されている。 前記可動片は、 前記 弾性部材により、 前記接触位置へ向けての弾性偏倚力を受けるべく前記案内面上 を摺動可能に支持されている。
前記べ一ス部材の一方の面に配線基板を固定し、 前記べ一ス部材の他方の面の 側で前記被検査体を受けることができる。 前記配線基板には、 前記テスタの前記 電気回路に接続され、 前記固定片が当接する配線部が形成され、 該配線部を経て 前記固定片が前記電気回路に電気的に接続される。
前記可動片に、 前記スロット内から前記ベース部材の前記他方の面を越えて突 出可能の突出部を形成することができる。
前記固定片は、 係止機構により前記べ一ス部材の前記スロットの周壁に係止す ることができる。
前記係止機構は、 前記スロッ トの前記周壁に形成された突起と、 前記固定片に 形成された前記突起に係合する凹所とで構成することができる。
前記案内面は、 前記スロッ トの両端開口を貫く中心線に関して角度的に形成す ることができる。 前記案内面に沿って前記可動片が摺動するとき、 該可動片の前 記中心線に沿った Z軸方向成分の変位量は、 前記中心線に直角な前記スロットの 平面形状で見て該スロットの長手方向である X軸方向に沿った前記可動片の変位 量よりも大とすることができる。
前記案内面を前記スロットの前記中心線に関して角度的に伸びる直線状の案内 面とすることができる。
前記固定片は、 前記スロッ ト内で前記ベース部材の一方の面に沿いかつ前記ス ロットの長手方向に沿って配置される底部と、 前記スロットの長手方向に沿った 前記底部の一方の隅部から前記スロットの壁面に沿って前記ベース部材の他方の 面へ向けて立ち上がる第 1の直立部と、 前記底部の他側から前記第 1の直立部に 間隔を置いて該第 1の直立部に沿って立ち上がりかつ第 1の直立部より低い高さ 位置で終端する第 2の直立部とを有するように形成することができる。この場合、 前記第 1の直立部の前記第 2の直立部に向き合う面に前記案内面が形成される。 また、 前記可動片は前記案内面に当接すべく前記両直立部間で前記弾性部材の弾 性偏倚力を受ける。
被検査体の電極配列に対応して、 複数の前記スロットをその幅方向に整列して 形成することができる。 各スロッ トには、 前記可動片および固定片からなる前記 各接触子が整列して配置され、 単一の前記弾性部材が、 整列した複数の前記スロ ット内の各可動片に前記弾性偏倚力を与えるべく、 整列した前記スロットルを該 スロッ トルの幅方向へ横切って配置される。
前記接触子は、 一対の導電層と、 該導電層間に電気絶縁層とを備える積層構造 体からなるケルビン接続用接触子とすることができる。 発明の効果
本発明に係る電気的接続装置では、 前記接触子の前記可動片を摺動可能に案内 する前記固定片は前記スロット内で前記べ一ス部材に固定的に保持されることか ら、 前記固定片が前記可動片の摺動毎に該可動片の摺動に伴つて摺動することは なく、 該固定片の摺動に伴う摩耗に起因する耐久性の低下を防止することができ る。
また、 前記固定片が前記ベース部材に固定的に保持されていることから、 前記 固定片に接触する配線基板が前記ベース部材に設けられている場合、 この配線基 板の配線部に当接する前記固定片は、 前記配線部上での検査毎の摺動が防止され ることから、 この摺動による前記固定片ぉよび前記配線部の摩耗を確実に防止す ることができ、 これにより耐久性の向上を図ることができる。
前記可動片に前記した突出部を形成することにより、 前記接触位置で前記ス口 ット内から突出する前記突出部の先端を前記電極に確実に接触させることができ る。
前記固定片と前記ベース部材との結合に係止機構を採用することにより、 確実 かつ容易に前記固定片を前記ベース部材に固定的に結合することができる。
前記スロッ卜の前記周壁に形成された突起と、 前記固定片の凹所とで前記した 係止機構を形成することにより、 前記突起を避けるように、 前記スロット内に前 記固定片を揷入し、 該固定片の前記凹所と前記スロット壁の前記突起とが対応す る位置で、 前記固定片の凹所とス口ットの前記突起とを係合させることにより、 より確実かつ容易に両者を結合することができ、 組み付け作業の効率化を図るこ とができる。
前記可動片の前記 Z軸方向成分の変位量を前記 X軸方向成分の変位量よりも大 とすることにより、 被検査体の電極を対応する前記接触子の前記可動片に押し付 けたとき、 この被検査体の電極面上を摺動する可動片の移動距離を小さく設定す ることができる。 したがって、 この可動片の大きなずれによる電極からの接触子 の逸脱を防止することができるので、 より小型の電極が設けられた微細化した半 導体デバィスの電気的検査に好適である。
前記案内面を前記したような直線状の案内面とすることにより、 好適な案内面 を大きな誤差を生じることなく容易かつ正確に形成することができる。
前記固定片を前記した底部から互いに間隔を置いて立ち上がる第 1および第 2 の直立部を設け、この第 1の直立部に関連して可動片の案内面を形成すると共に、 両直立部に関連して前記弾性部材を配置することにより、 比較的単純な構成を有 するコンパク トな接触子および該接触子を有する電気的接続装置を実現すること ができる。
また、 スロット列毎に該スロットル列を横切る単一の前記弾性部材を配置する ことにより、 単一の弾性部材の弾性偏倚力によって好適な電気的接続が得られる ように複数の接触子の動作に適切な弾性偏倚力を付与することができる。 したが つて、 各スロット列に従来のような 2つの弾性体を必要とすることがないことか ら、 構成の単純化を図ることができる。
また、 接触子として積層構造体からなるケルビン接続用接触子を採用すること により、 接触子の接触抵抗による影響を低減し、 被検査体の低抵抗値をも高精度 で測定することが可能となる。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明に係る電気的接続装置の横断面図である。
図 2は、 図 1に示した電気的接続装置のカバーを取り除いてそのベース部材を 示す平面図である。
図 3は、 図 2に示したベース部材に設けられたスロット列を示すベース部材の 一部を拡大して示す底面図である。
図 4は、 図 1に示した横断面図に一部を拡大して示す断面図である。
図 5は、 図 4に示した接触子を分解して示す斜視図である。
図 6は、 検査状態にある電気的接続装置を示す図 4と同様な図面である。 図 7は、 ケルビン接続用接触子を分解して示す斜視図である。
図 8は、 ケルビン接続用接触子の斜視図である。 符号の説明
10 電気的接続装置
1 2 ベース部材
14、 1 14 接触子
14 a、 1 14 a 固定片
14 b、 1 14 b 可動片
16 弾性部材
20 被検査体 （半導体 I C)
20 a 電極 （リード）
22 スロッ ト
28 a、 128 a 固定片の底部
28 b、 128 b 固定片の第 1の直立部
28 c、 128 c 固定片の第 2の直立部
32 b、 132 b 案内面 （直線傾斜案内面）
36、 1 36 係止機構の凹所 3 8 係止機構の突起
4 6、 1 4 6 可動片の突出部
4 8 配線基板
4 8 a 配線基板の配線部
5 0 テスタ 発明を実施するための最良の形態
本発明に係る電気的接続装置 1 0は、 その縦断面を表す図 1に示されているよ うに、 ベース部材 1 2と、 該ベース部材に組み込まれるプローブと称される多数 の接触子 1 4と、 複数の接触子 1 4に弾性偏倚力を与えるための円形横断面形状 を有する棒状の弾性部材 1 6と、 ボルト （図示せず） を介してベース部材 1 2に 取り外し可能に固定ざれる板状のカバー部材 1 8とを備える。 弾性部材 1 2は、 例えばシリコンゴムあるいはウレタンゴムのような合成ゴムで構成することがで きる。
図 2は、 カバー部材 1 8を除去したベース部材 1 2の上面図である。 図 2に示 すように、 ベース部材 1 2は、 板状の非導電材料からなり、 矩形平面形状を有す る。 ベース部材 1 2のその中央領域には、 図 1に示された被検査体である半導体 I C 2 0の各電極すなわちリード 2 0 aに対応する複数のスロット 2 2が整列し て配置されている。 各スロッ ト 2 2は、 ベース部材 1 2の底面 1 2 aからその上 面 1 2 bへ貫通して形成されている。
図 2に示す例では、 各ベース部材 1 2の 4隅部分には、 該ベース部材にカバー 部材 1 8を固定するための前記ボルトを受け入れるねじ穴 2 4が形成されている。 また、 図 2に示す例では、 互いに対をなす 2つスロッ ト 2 2がベース部材 1 2の 中央部を間にして、 その横 （X) 方向に間隔をおいて配置されかつ各一対のスロ ット 2 2が、 それぞれ縦 （Y) 方向に相互に整列するように配置されている。 各スロッ ト 2 2は、 該スロットの平面形状を拡大して示す図 3から明らかなよ うに、 前記横 （X) 方向を長手方向とする矩形平面形状を有し、 各隅部は丸めら れている。 各スロッ ト 2 2には接触子 1 4がそれぞれ配置され、 各接触子 1 4に 弾性偏倚力を与えるために、 前記弾性部材 1 6が、 縦 （Y) 方向に相互に整列す るスロッ ト 2 2の列を横切るように、 各スロッ ト 2 2の幅方向 （Y軸方向） に沿 つて配置されている。
再び図 1を参照するに、 カバー部材 1 8には、 半導体 I C 2 0を受け入れる矩 形開口部 1 8 aが形成されている。 矩形開口部 1 8 aは、 カバー部材 1 8の板厚 方向に貫通して形成され、 ベース部材 1 2の上面 1 2 aで、 各スロッ ト 2 2の上 端の部分的な露出を許す。 図示の例では、 矩形開口部 1 8 a内への半導体 I C 2 0の円滑な挿入を可能とするために、 矩形開口部 1 8 aが上方へ向けて拡がるよ うに該開口部の各周壁面部 2 6は傾斜面で構成されている。
各スロッ ト 2 2に配置される接触子 1 4は、 図 4およぴ図 5に示すように、 固 定片 1 4 aと、 該固定片上を摺動可能に保持される可動片 1 4 bとを備える。 各 片 1 4 aおよび 1 4 bは、 例えばニッケル合金、 タングステンあるいはベリリウ ムのような金属またはパラジウムのような貴金属で形成することができる。
固定片 1 4 aは、 図 4に示すように、 スロット 2 2内でベ一ス部材 1 2の底面 1 2 aに下面を一致させてスロット 2 2の長手方向 （X軸方向） に沿って伸びる 底部 2 8 aと、 該底部よりスロッ ト 2 2の一方の隅部に沿ってベース部材 1 2の 上面 1 2 bへ向けて立ち上がる第 1の直立部 2 8 bと、 底部 2 8 aよりスロッ ト 2 2の他方の隅部に沿って第 1の直立部 2 8 bから間隔をおいて該第 1の直立部 に沿って立ち上がる第 2の直立部 2 8 cとを有する。
図 1に示すように、 それぞれが X軸方向に相互に間隔をおいて配列された対を なすスロッ トル 2 2、 2 2において、 両スロッ トル 2 2の互いに近接する内偶側 に第 1の直立部 2 8 bが位置し、 両スロッ トル 2 2の外偶側に第 2の直立部 2 8 cが位置するように、 各固定片 1 4 aが配置されている。 各第 1の直立部 2 8 b および第 2の直立部 2 8 cは、 底部 2 8 aから該底部と直角にスロット 2 2の中 心線 Lに沿って伸長する。 第 2の直立部 2 8 cは、 図 4に示すように、 スロッ ト 2 2のほぼ中間高さ位置で終端する。 他方、 第 1の直立部 2 8 bは、 スロッ ト 2 2の中間高さ位置を越えて伸長し、上面 1 2 bにほぼ一致する上端面で終端する。 第 1の直立部 2 8 bおよび第 2の直立部 2 8 cの両外面 3 0 b、 3 0 cは、 ス ロット 2 2の中心線 Lに平行な直立面である。 また、 第 2の直立部 2 8 cの第 1 の直立部 2 8 bに向き合う内面 3 2 cは、 スロッ ト 2 2の中心線 Lに平行な直立 面である。 他方、 第 1の直立部 2 8 bの第 2の直立部 2 8 cに向き合う内面 3 2 bは、 スロット 2 2の中心線 Lに関して、 ベ一ス部材 1 2の底面 1 2 aから上面 1 2 bへ向けて角度 6の俯角を有する直線傾斜案内面である。 この角度 Θは、 後 述するように、 数度から約 3 0度の範囲が好ましい。
この直線傾斜面 3 2 bのほぼ中間高さ位置には、図 4および図 5に示すように、 可動片 1 4 bとの後述する摩擦の低減のための浅溝 3 4が Y軸方向に沿って形成 されている。 また、 各固定片 1 4 aの第 1の直立部 2 8 bの外面 3 0 bには、 凹 所 3 6が形成され、 スロッ ト 2 2の対応する一方の隅部における周壁には凹所 3 6に係合可能の突起 3 8 (図 4参照） が形成されている。
各接触子 1 4の固定片 1 4 aは、 例えば、 その第 1の直立部 2 8 bの先端をわ ずかに第 2の直立部 2 8 cへ向けて撓ませた状態で、 ベース部材 1 2の底面 1 2 aの側より対応するスロット 2 2内に、 第 1の直立部 2 8 bの先端から該スロッ トの突起 3 8を避けるように押し込むことにより、 突起 3 8と凹所 3 6とを係合 させることができる。 この突起 3 8と凹所 3 6とから成る係止機構により、 各固 定片 1 4 aが対応するスロット 2 2の所定位置に係止される。
可動片 1 4 bは、 第 1の直立部 2 8 bおよび第 2の直立部 2 8 c間で直線傾斜 案内面 3 2 bに摺動可能に当接する傾斜面 4 0、 該傾斜面と反対側に形成された 円弧形状の嵌合曲面 4 2とを有する。 各スロット 2 2内に配置された各可動片 1 4 bの嵌合曲面 4 2は、 図 4に示すように、 各スロッ ト 2 2内に配置された各固 定片 1 4 aの第 2の直立部 2 8 cの頂部おょぴスロット 2 2の他方の隅部に形成 された嵌合部 4 4と共同して、弾性部材 1 6を部分的に圧縮した状態で挟持する。 挟持された弾性部材 1 6の弾性偏倚力により、 可動片 1 4 bは、 該可動片の頂部 に形成された突出部 4 6がベース部材 1 2の上面 1 2 bから突出するように、 可 動片 1 4 bの傾斜面 4 0を固定片 1 4 aの直線傾斜面 3 2 bに沿わせて、 該傾斜 面の上方への向けてのばね力を受ける。
この可動片 1 4 bの固定片 1 4 aへの組み込みは、 例えば、 ベース部材 1 2の スロッ ト 2 2の前記周壁に形成された嵌合部 4 4と、 ベース部材 1 2に係止され た固定片 1 4 aの第 2の直立部 2 8 c との間に、弾性部材 1 6を挟持した状態で、 可動片 1 4 bがその嵌合曲面 4 2に弾性部材 1 6を受け入れるように、 その突出 部 4 6と反対側の底部をベース部材 1 2の上面 1 2 bの側からスロッ ト 2 2内に 押し込むことにより、 行うことができる。 これにより、 各スロッ ト 2 2内に接触 子 1 4が組み込まれると、 図 4に示すように、 配線基板 4 8がベース部材 1 2の 底面 1 2 aに配置される。 この配線基板 4 8の一方の面には、 テスタ 5 0に電気 的に接続される複数の配線部 4 8 aが形成されており、 配線基板 4 8は、 各配線 部 4 8 aが対応する固定片 1 4 aの底部 2 8 aの下面に接触するように、 図示し ないボルトによってベース部材 1 2に固定される。 これにより、 電気的接続装置 1 0の組み立てが完了する。
組み立てが完了した電気的接続装置 1 0には、 図 1に示したように、 半導体 I C 2 0がカバー部材 1 8の開口部 1 8 aに落とし込まれる。 これにより、 図 6に 示すように、 半導体 I C 2 0のリード 2 0 aがこれに対応する接触子 1 4の可動 片 1 4 bに設けられた突出部 4 6に当接すると、 この当接状態で、 半導体 I C 2 0に外力 Fが付与されと、 この外力 Fにより、 弾性部材 1 6の弾性偏倚力に打ち 勝って、 可動片 1 4 bの突出部 4 6が図中破線で示される位置から実線で示され る位置へ向けてベース部材 1 2の板厚方向（ Z軸方向）へ全体に押し下げられる。 このとき、 可動片 1 4 bは、 その傾斜面 4 0が当接する固定片 1 4 aの直線傾斜 案内面 3 2 bを摺動することから、 該直線傾斜案内面の案内作用により、 該直線 傾斜案内面の傾斜角 Θに応じて、 わずかに X軸方向に変位する。 この可動片 1 4 bの Z軸方向への変位に伴う X軸方向の変位により、 可動片 1 4 bの突出部 4 6 は、 半導体 I C 2 0のリード 2 0 aの当接面の酸化膜を削ることから、 リード 2 0 aとの接触に酸化膜の介在が確実に防止される。
また、 前記リード 2 0 aと突出部 4 6との接触は、 弾性部材 1 6の弾性偏倚力 下でなされ、 またこの弾性偏倚力の一部は、 可動片 1 4 bの傾斜面 4 0と、 固定 片 1 4 aの直線傾斜案内面 3 2 bとの間の接触圧力として作用することから、 各 リード 2 0 aは対応する接触子 1 4の可動片 1 4 bおよび固定片 1 4 aを経て、 該固定片に接続された配線部 4 8 aに接続される。 その結果、 半導体 I C 2 0の 各リード 2 0 aは、 確実にテスタ 5 0に接続される。
しかも、 各接触子 1 4の固定片 1 4 aは、 それぞれ前記係止機構 3 6、 3 8に より対応するスロット 2 2内に確実に固定されていることから、 たとえ固定片 1 4 aの直線傾斜案内面 3 2 b上を可動片 1 4 bが摺動しても、 弾性部材 1 6の弾 性偏倚力による固定片 1 4 aの移動が確実に阻止される。 したがって、 固定片 1 4 aと配線基板 4 8の配線部 4 8 aとの相対運動による両者の摩耗が防止され、 その摩耗による耐久性の低下が防止できる。
このように、 本発明に係る電気的接続装置 1 0によれば、 固定片 1 4 aと配線 基板 4 8の配線部 4 8 aとの相対運動による両者の摩耗を防止できることから、 耐久性の向上を図ることができる。
また、 半導体 I C 2 0のリード 2 0 aとの接触位置で、 可動片 1 4 bの突出部 4 6の先端をスロット 2 2内から突出させることにより、 被検査体である半導体 I C 2 0のリード 2 0 aすなわち電極と、 接触子 1 4との間のより確実な電気的 接続が可能となる。
固定片 1 4 aとベース部材 1 2との結合に、 種々の係止機構を採用することが できる。 しかしながら、 前記した係止機構 3 6、 3 8を用いることにより、 前記 したように、 確実かつ容易に固定片 1 4 aをベース部材 1 2に固定的に結合する ことができる。
固定片 1 4 aの直線傾斜案内面 3 2 b上の沿った可動片 1 4 bの摺動について、 該可動片 1 4 bの Z軸方向成分の変位量と X軸方向成分の変位量との割合は、 傾 斜角 Θにより変化する。 この Θが零に近づくほど、 前者の後者に対する割合は大 きくなる。 この X軸方成分の変位量が大きくなると、 被検査体 2 0の電極 2 0 a を対応する接触子 1 4の可動片 1 4 bに押し付けたとき、 該可動片の突出部 4 6 が対応する電極 2 0 aからはみ出すおそれがある。 より小型の電極が設けられた 微細化した半導体デバイスにおいても、 可動片 1 4 bの突出部 4 6の電極 2 0 a からの逸脱を確実に防止し、 かつ酸化膜除去作用を確保する上で、 前記したよう に傾斜角 6を数度から約 3 0度の範囲とすることが好ましい。 これにより。 I C 回路が集合的に形成された I C半導体ウェハの電気的検査にも、 適用することが 可能になる。
また、 直線傾斜案内面 3 2 bを弧状曲面とすることができるが、 この案内面の 加工精度の問題および可動片 1 4 bの Z軸方向成分の変位量に対する X軸方向成 分の変位量のより正確な制御を可能とする点で、 前記したように直線案内面とす ることが望ましい。
固定片 1 4 aに第 1および第 2の直立部 2 8 b、 2 8 cを設け、 この第 1の直 立部 2 8 bに関連して可動片 1 4 bの案内面 3 2 bを形成すると共に、 両直立部 2 8 b、 2 8 cに関連して弾性部材 1 6を配置することにより、 比較的単純な構 成を有するコンパク 卜な接触子 1 4および該接触子を有する電気的接続装置 1 0 を実現することができる。
スロット 2 2の列毎に、 該ス口ットル列を横切る単一の弾性部材 1 6を配置す ることにより、 単一の弾性部材 1 6の弾性偏倚力によって好適な電気的接続が得 られるように複数の接触子の動作に適切な弾性偏倚力を付与することができる。 したがって、 各スロット列に従来のような 2つの弾性体を必要とすることがない ことから、 構成の単純化を図ることができる。
図 7および図 8には、 接触子 1 4としてケルビン接続用接触子 1 1 4を用いた 例を示す。 ケルビン接続用接触子は、 従来よく知られているように、 互いに間隔 をおいて配置される一対の導電板間に絶縁体を介在させた積層構造体で形成され る。 したがって、 本発明に係るケルビン接続用接触子 1 1 4においても、 その固 定片および可動片は、 それぞれ互いに板状の絶縁板 1 1 4 cを間にして相互に接 合される一対の導電板 1 1 4 aおよび 1 1 4 bで構成されている。
固定片のための各導電板 1 1 4 aは、 前記したと同様な係止機構の凹所 1 3 6 および直線傾斜案内面 1 3 2 bが形成された第 1の直立部 1 2 8 bと、 該直立部 よりも低い高さの第 2の直立部 2 8 cと、 両直立部を結合する底部 1 2 8 aとを 有する。 また、 可動片のための各導電板 1 1 4 bは、 直線傾斜案内面 1 3 2 bに 対向する傾斜面 1 4 0、 弾性部材 1 6を受け入れる嵌合曲面 1 4 2および突出部 1 4 6を有する。
固定片のための両導電板 1 1 4 aは、 該両導電板の短絡を防止すべくその間に 配置される絶縁板 1 1 4 cを介して接合される。 この絶縁板 1 1 4 cには、 導電 板 1 1 4 aの凹所 1 3 6に整合する凹所 1 3 6 aおよび弾性部材 1 6を受け入れ る嵌合曲面 1 4 2 aが形成されている。 可動片のための両導電板 1 1 4 bは、 そ れぞれ絶縁板 1 1 4 cの両側で、 該絶縁板によって相互の短絡を防止された状態 で、 その嵌合曲面 1 4 2に弾性部材 1 6を受け入れかつそれぞれの傾斜面 1 4 0 を対応する直線傾斜案内面 1 3 2 bに当接させた状態で、 図示しないが、 前記し たと同様なベース部材 1 2のスロッ ト 2 2内に組み込まれる。
また、 図 8に示すように、 配線基板 4 8には、 接触子 1 1 4の固定片の各導電 板 1 1 4 aに対応して一対の配線部 4 8 aが形成され、 各配線部 4 8 aが対応す る導電板 1 1 4 aに接続される。
このケルビン接続用接触子 1 1 4によれば、 従来よく知られているように、 一 つのリード 2 0 aから 2つの配線部 4 8 aを引き出すことができるので、 電圧印 加経路および電圧検出経路を分離したケルビン接続が可能となり、 接触子の接触 抵抗による影響を低減することにより、 被検査体 2 0の低抵抗値をも高精度で測 定することが可能となる。
また、 本発明に係るケルビン接続用接触子 1 1 4によれば、 接触子 1 4におけ ると同様に、 固定片の各導電板 1 1 4 aがべ一ス部材 1 2に固定的に保持される ことから、 半導体 I C 2 0の検査毎に各導電板 1 1 4 aが対応する配線部 4 8 a 上を摺動することはなく、 この摺動による摩耗を無くすことによって、 耐久性の 向上が図られる。
産業上の利用可能性
本発明は、 上記実施例に限定されず、 その趣旨を逸脱しない限り、 種々変更す ることができる。

Claims

請求の範囲
1 . 被検査体の電極をテスタの電気回路に接続するための電気的接続装置であ つて、
前記被検査体を受ける電気絶縁性の板状べ一ス部材であってその板厚方向に貫 通するスロットが形成されたベース部材と、 該ベース部材上の前記被検査体の前 記電極に接触可能に前記スロット内に配置され、 前記電極を前記テスタの電気回 路に接続するための接触子と、 弾性部材とを含み、
前記接触子は、 前記電気回路への接続のために前記スロット内で前記べ一ス部 材に固定的に保持される固定片と、 前記スロッ ト内に配置され、 前記固定片に電 気的に接続される可動片とを備え、 前記固定片には、 前記可動片と前記電極との 接触を許す接触位置へ向けて前記可動片を案内する案内面が形成されており、 前 記可動片は、 前記弾性部材により、 前記接触位置へ向けての弾性偏倚力を受ける ベく前記案内面上を摺動可能に支持されている、 電気的接続装置。
2 . 前記ベース部材の一方の面には配線基板が固定され、 前記ベース部材はそ の他方の面の側で前記被検査体を受け、 前記配線基板には、 前記テスタの前記電 気回路に接続され、 前記固定片が当接する配線部が形成され、 該配線部を経て前 記固定片が前記電気回路に電気的に接続される、 請求項 1に記載の電気的接続装 置。
3 . 前記可動片は前記スロット内から前記べ一ス部材の前記他方の面を越えて 突出可能の突出部を有し、 前記接触位置で前記スロッ ト内から突出する前記突出 部の先端が前記電極に接触する、 請求項 2に記載の電気的接続装置。
4 . 前記固定片は係止機構により前記ベース部材の前記ス口ットの周壁に係止 されている、 請求項 1に記載の電気的接続装置。
5 . 前記係止機構は、 前記スロッ トの前記周壁に形成された突起と、 前記固定 片に形成された前記突起に係合する凹所とを有する、 請求項 4に記載の電気的接 続装置。
6 . 前記案内面は、 前記スロッ トの両端開口を貫く中心線に関して角度的に形 成され、 前記案内面に沿って前記可動片が摺動するとき、 該可動片の前記中心線 に沿った Z軸方向成分の変位量は、 前記中心線に直角な前記スロットの平面形状 で見て該スロットの長手方向である X軸方向に沿った前記可動片の変位量よりも 大である、 請求項 1に記載の電気的接続装置。
7 . 前記案内面は、 前記スロッ トの前記中心線に関して角度的に伸びる直線状 の案内面である、 請求項 6に記載の電気的接続装置。
8 . 前記固定片は、 前記スロッ ト内で前記ベース部材の一方の面に沿いかつ前 記スロットの長手方向に沿って配置される底部と、 前記スロットの長手方向に沿 つた前記底部の一方の隅部から前記スロットの壁面に沿って前記ベース部材の他 方の面へ向けて立ち上がる第 1の直立部と、 前記底部の他方の隅部から前記第 1 の直立部に間隔を置いて該第 1の直立部に沿って立ち上がりかつ第 1の直立部よ り低い高さ位置で終端する第 2の直立部とを有し、 前記第 1の直立部の前記第 2 の直立部に向き合う面に前記案内面が形成され、 前記可動片は前記案内面に当接 すべく前記両直立部間で前記弾性部材の弾性偏倚力を受ける、 請求項 7に記載の 電気的接続装置。
9 . 複数の前記スロッ トがその幅方向に整列して形成されており、 各スロッ ト には前記可動片および固定片からなる前記各接触子が整列して配置されており、 単一の前記弾性部材が、 整列した複数の前記スロット内の各可動片に前記弾性偏 倚力を与えるべく、 整列した前記スロッ トルを該スロッ トルの幅方向へ横切って 配置されている、 請求項 1に記載の電気的接続装置。
1 0 . 前記接触子は、 一対の導電層と、 該導電層間に介在させた電気絶縁層と を備える積層構造体からなるケルビン接続用接触子である、 請求項 1に記載の電 気的接続装置。
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