，1288513 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種電氣連接裝置，其適用於對積體電 路般之半導體裝置進行電氣檢查之辅助裝置。 ' 【先前技術】 • 一般而言，對封裝於封裝體或模組等之中之積體電路 (ic)進行電氣特性檢查時，係使用由稱為插槽之電氣連接 裝置構成之檢查用輔助裝置。被檢查體之半導體裝置的各 # 電極透過該電氣連接裝置，以可移除之方式連接於測試器 般的檢查裝置之電路。該電氣連接裝置係專利文獻i揭示 之裝置。 專利文獻1 :日本特開平8-233900號公報 專利文獻1揭示之電氣連接裝置具備有板狀的電氣絕 緣性外殼（形成複數個貫通於板厚方向之槽座），在外殼 下面安裝有待測試元件（DUT)板（形成連接於測試器之電 路）。又，在上述外殼上面配置接受測試之半導體元件， •其配置之方式，係將其電極（引腳）朝對應之各槽座伸展。 各槽座中配置有由導電性接觸基底構件與可滑動於該接觸 基底構件之導引面上之導電性接點構件構成之各接觸構 件。各接觸基底構件藉由橫跨各槽座的2個彈性構件之彈 性偏倚力，以緊壓於設置在外殼下面之上述板上之電路之 方式彈性支持於外殼之上述槽座内。又，上述二彈性構件 對上述各導電性接點構件施加彈性偏倚力。以可滑動於對 應之上述接觸基底構件之上述導引面上之方<，將各導電 5 Ί288513 f生接點構件西己署 構…- ’使其接觸端部以藉由該彈性 勺5平性偏倚力而緊屡於丰導於 導件之引腳之方式從外 /V又的上面突出。 藉由將上述半導體元件之引腳緊詩與其對應 ，構件的導電性接點構件，各引腳經過該導電性接 件滑動之接觸基底構件連接於對應之該 而能由該測試器進行檢查。 然而，習知電氣連接裝置中，以可滑動之方式導引導 電性接點構件的導電性㈣基底構件、及藉由料電性接 觸基底構件接受滑動之導引之導電性接點構件，係藉由上 ▲述2個彈性構件而彈性支持於外殼。因此，若為了進行測 試而將半導體元件的5丨腳緊麼於導電性接點構件，則伴隨 該導電性接點構件的滑動，會使該導電性接點構件中與引 腳的接觸端在該引腳上滑動。此時，以可滑動於該導引面 之方式導引該導電性接點構件的該導電性接觸基底構件， 亦會在该基底構件抵接之上述板之電路上產生微量滑動。 導電性接點構件之上述接觸端，若有在引腳上滑動之 情形，會微量削除該引腳的表面。然而，此情形僅侷限於 測試時而只有一次，引腳不會因此產生較大損傷或摩損。 再者’藉由滑動可除去引腳表面的氧化膜，故可確實形成 引腳與導電性接點構件之接觸端的電氣連接，因此，該滑 動現象係所期盼者。 相對於此’若導電性接觸基底構件在該板之電路上滑 動’則電路部分亦會受到微量的摩損。然而，該板與接受 6 1288513 二!广件的電極不同，每當檢查新的半導體元件 導電=基底構件會反覆在該板上滑動。因此，在 雪接觸基底構件、與該導電性接觸基底構件滑動之該 電路部分，容易產生摩損，而降低其耐久性。 【發明内容】 本發明之目的在於提供一種耐久性較以 連接裝置。 本發明之電氣連接裝置，係用以將被檢查體的電極連 接於測4 $之電路，其具備有··基底構件，係用以裝載该 破檢查體之電氣絕緣性板狀基底構件，形成有貫通其板厚 :向之槽座；接觸構件，係以可接觸該基底構件上之該被 檢查體的該電極之方式配置在該槽座Θ，用以將該電極連 該測試器之電路;以及彈性構件;該接觸構件具備有·· f定片，為了連接於該電路，在該槽座内由該基底構件固 ’、持以及可動片’係配置在該槽座内，與該固定片形 成電氣連接；在該固定片形成有導引面，其用以導引該可 動片使其朝向可與該電極接觸之接觸位置；該可動片為了 接文该彈性構件產生之朝向該接觸位置之彈性偏倚力，而 以可滑動之方式支持於該導引面上。 可將配線基板固定在該基底構件的一面，在該基底構 件的另一面裝載該被檢查體；該配線基板形成連接於該測 試器的該電路且與該固定片抵接之配線部，該固定片經過 该配線部與該電路形成電氣連接。 該可動片可具有突出部，其可從該槽座内越過該基底 '1288513 構件之另一面而突出。 忒固疋片可藉由卡止機構而卡止於該基底構 座周壁。 农僧 ^卡止機構具備有：突起，係形成於該槽座周壁；以 及凹部，係形成於該固定片，用以卡合該突起。 邊導引面可與貫通該槽座二端開口之中心線具有角 度；當該可動片沿該導引面滑㈣，該可動片沿料心線 u轴方向成分之位移量比該可動m軸方向（與該中 心：成垂直，當俯視該槽座時為該槽座的長邊方向）之位 可使忒導引面成為以與該槽座的該中心線具 度之方式延伸之直線狀導引面。 一°亥固疋片具備有：底部，係在該槽座内沿該基底構件 座的長邊方向配置；·1直立部，係以沿 、二 向而配置之該底部的一個角落部為起點，
二亥槽座的壁面朝該基底構件之另-面向上延伸；以及第 亡邛，係以該底部的另-側為起點，以與該第1直立 隔之方式沿該帛1直立部向上延伸，且以較該第 二？亩之位置作為終端。此情形，在該第1直立部之 i立部相對向之面形成該導引面。又，該可動片 該導5丨面，在該兩直立部間接受該彈性構件的彈 又’與被檢查體 沿其寬度方向排列。 之電極排列對應，可使該複數個槽座 各槽座中配置有由該可動片及固定片 8 1288513 構成之該各接觸構件，I了對複數個槽座内的各可動片施 加场性偏倚力，以橫跨排列之該槽座的寬度方向之方式 配置單一個該彈性構件。 “该接觸構件可為克耳文連接用接觸構件，係由一對導 電層、及位於料電制之電氣絕緣層所形成之積層構造 體。 本發明之電氣連接裝置中，以可滑動之方式來導引該 接觸構件之該可動片之該固定片，係於該槽座内由該基底 構件固定保持，故該@定片不會隨著該可動片每—次的滑 動而滑動，可防止該固定片之滑動伴隨之摩損導致之耐久 性降低。 π亥固疋片係由该基底構件固定保持，與該固定片 接觸之配線基板設置在該基底構件之情形，抵接該配線基 板的配線部之該固定片，每於該配線部上進行檢查時不會 產生滑動，故可確實防止此滑動導致之該固定片及該配線 部之摩損，據此，可謀求耐久性之提升。 藉由在該可動片上形成上述突出部，在該接觸位置， 可使從該槽座内突出之該突出部前端確實接觸該電極。 藉由採用卡止機構使該固定片與該基底構件結合，可 確實且容易將該固定片固定結合至該基底構件。 藉由以突起（形成於該槽座周壁）與該固定片之凹部 構成該卡止機構，以避免碰觸該突起的方式將該固定片插 入該槽座内，在該固定片的該凹部與該槽座壁之該突起彼 此對應之位置，使該固定片的凹部與槽座的該突起形成卡 9 '1288513 合狀態，藉此’能更確實且容易結合此二者，可謀求組裝 作業的高效率化。 该可動片在Z軸方向成分之位移量大於在X軸方向成 分之位移量，藉此，當將被檢查體的電極緊壓於對應之該 接觸構件的該可動片時，可將在該被檢查體的電極面上滑 動之可動片的移動距離設定較小。因此，可防止接觸構件 因為δ亥可動片的大幅偏移而從電極脫落，故適用於設置有 更為小型之電極之細微化半導體元件之電氣檢查。 將該導引面形成上述直線狀導引面，藉此，可不產生 較大的誤差、輕易且正確形成良好的導引面。 設置第1及第2直立部（以該固定片的該底部為起點， 彼此隔著間隔向上延伸），形成與該第丨直立部相關之可 動片的導引面，且配置與兩直立部相關之該彈性構件，藉 此，可達成構成較簡單之小型接觸構件、及具有該接觸構 件之電氣連接裝置。 又，對各槽座列配置橫跨該槽座列之單一個該彈性構 件，藉此，以藉由單一個彈性構件之彈性偏倚力來形成良 好之電氣連接之方式對複數個接觸構件之動作施加適當之 彈性偏倚力。因此，各槽座列不須如習知般配置2個彈性 體，故可謀求較簡單之構成。 又，採Μ積層才冓造體構成之克耳文連接用接觸構件 來作為接觸構件，藉此，可降低接觸構件的接觸電阻造成 之衫響’亦可鬲精度測定被檢查體之低電阻值。 【實施方式】 1288513 一本發明之電氣連接裝£ 10，如同表示其縱截面之圖i 所不，具備有·基底構件12;稱為探針的多數個接觸構件 14，係裝人該基底構件；棒狀彈性構# 16，用以對複數個 接觸構件14施加彈性偏倚力，具有圓形橫截面形狀；以 及板狀外蓋構# 18,係以可移除之方式透過螺栓（未圖示） 固定在基底構# 12。彈性構件16,例如能时氧橡膠或 氨基甲酸脂橡膠之類的合成橡膠來構成。 圖2係除去外蓋構件18後之基底構件的俯視圖。 =圖2所不，基底構件12由板狀之非導電材構成，俯視 才呈矩形。在基底構件12 #中央區域排列配置有複數個 才曰座22(與® 1所不之被檢查體（半導體之各電極（引 腳20a)對應）。以從基底構件12的底面⑴貫通至其上 面12b之方式形成各槽座22。 圖2所不之例中，在各基底構件丨2的4個角落部分形 成用以收螺栓（用以將外蓋構件i 8自定於該基底構 件）之螺孔24。又，圖2所示之例中，彼此成對之2個槽 二 係以基底12的中央部為邊界，在橫向（X幸由方向）隔 著間隔之方式而配置，且一對槽I 22分別以在縱向（Y轴 方向）排列之方式而配置。 如將忒槽座呈俯視時的形狀放大表示之圖3所明示， 口軋座22俯視日守呈矩形（以上述橫向（X軸方向）為長邊方 =)各角落"卩呈圓形。將接觸構件14分別配置在各槽 座22 ’為了對各接觸構件14施加彈性偏倚力，以橫跨在 縱向（γ軸方向）排列之槽座22列之方式沿各槽座的寬 1288513 度方向（γ轴方向）配置上述彈性構件16。 再次參考圖1，在外蓋構件18上形成用以收容半導體 ㈣之矩形開口部18a。以貫通外蓋構件18的板厚方向之 方式形成矩形開口部18a，各槽座22上端之一部分可露出 基底構件i2的上面12b。圖示之例中，為了使半導體咖 能順利插人矩形開π部18a内，以矩形開口部⑽朝上方 擴大之方式使該開口部之各周壁面部26構成傾斜面。 如圖4及圖5所示，配置在各槽座22之接觸構件μ 具備有固定片14a、及以可滑動之方式保持在該固定片上 之可動片14b。各片i4a及14b，例如能以錄合金、鶴或鍵 之類的金屬或鈀之類的貴金屬來形成。 如圖4所示，固定片…具備有：底部…，係在槽 座22内以下面與基底構件12的底面…一致之方式沿 槽座22的長邊方向（χ軸方向）延伸；帛i直立部挪，係 以該底部為起點，沿槽座22 一方之角落部朝基底構件Η =上面12b向上延伸；以及第2直立部叫，係以底部^ ，’、起點’以與帛1直立部28b隔著間隔之方式沿槽座22 另一方之角落部向上延伸。 囷所示彼此在X軸方向隔著間隔配置之一對槽 ΛΑ 中以第1直立部28b位於二槽座22彼此接近 之内部角落侧’且第2直立部28c位於二槽座Μ之外部角 :側之方式配置各固定片14a。各第i直立部娜及第2 立。P 28c以底部28a為起點，沿與該底部成垂直之槽座 的中心線L而伸展。如圖4所示，f 2直立部的終 12 1288513 端位置，係槽座22之大致中間高度位置。再者，第丨直 立部28b之伸展超過槽座22的中間高度，以與上面ub 幾乎一致之上端面作為其終端。 第1直立部28b及第2直立部28c的二個外側面3〇b、 3〇c，係與槽座22的中心線L平行之直立面。又，第2直 立部28c之與第i直立部28b相對向之内侧面32〇，係與 槽座22的中心線L平行之直立面。再者，第1直立部通 中之與第2直立部28c相對向之内側面32b，係直線之傾 斜導引面（以槽座22的中心線L為基準，具有從基底構 件12的底面12a朝向上面12b之角度為0之俯角）。如後 述’較佳為該角度Θ在數度至大約3〇度的範圍内。 如圖4及圖5所示，在該直線傾斜面32b之大致中間 鬲度位置，沿γ軸方向形成用以降低後述之與可動片i4b 之摩擦之淺槽34。又，在各固定片14a的第1直立部鳩 的外側面30b形成凹部36，在對應之槽座22 一方之角落 邛之周壁形成能與凹部36卡合之突起38(參考圖句。 ▲例如，使該第1直立部28b前端稍微朝第2直立部28c 弓2之狀態τ，以避免使帛丨直立部28b前端碰觸該槽座 的大起38之方式，將各接觸構件14的固定片14a從基底 構件12的底面12a壓入對應之槽座22内，藉此，使突起 38與凹36卡合。藉由該突起38與凹部36所構成之卡 止機構’可將各固定片14a卡止於對應之槽座22之既定位 置。 可動片14b具備有：傾斜面4〇，係在第i直立部2肋 13 1288513 及第2直立部28e帛’以可滑動之方式抵接直線傾斜導引 面32b;卩及圓弧狀之嵌合曲φ 42，係形成於該傾斜面之 反向側。如圖4所示，配置在各槽座22内之各可動片⑽ 的嵌合曲面42、配置在各槽座22内之各固定片…的第2 直立部28c頂部、及形成於槽座22另一方之角落部之嵌人 部44,以將一部分彈性構件16壓縮之狀態下將其狹持。 藉由挟持的彈性構件16之彈性偏倚力，使可動片14b的 倾斜面40承X沿固定片14a之直線傾斜面似朝該傾斜面 上方之彈力，使形成於該可動片頂部之突出部46從基底 構件12的上面12b突出。 例如，於丧合部44(形成於基底構件12的槽座22之 上述周壁）與卡止於基底構# 12之固定片14&的第2直立 部叫之間挾持彈性構件16之狀態下，以將彈性構件16 收：於可動片14b之嵌合曲φ 42之方式，將可動片⑽ 之犬出部46之反向側之底部從基底構件12的上面12b壓 座22内，藉此，可進行將該可動片14b裝入固定片i4a 之動作。據此，將接觸構件14裝入各槽座22内之後，如 =所示，將配線基板48酉己置在基底構件12的底面山。 1己線基板48之-面形成與測試器％形成電氣連接之 ^各配線部48a與對應之固定片14a 28a下面接觸之方式，藉由未圖示之螺栓將配線基 =固定在基底構…。據此，完成電氣連接裝置ι〇 〇 圖1所不，組裝完成後之電氣連接裝置10中， 1288513 體IC:〇進入外蓋構件18的開口部i8a。據此，如圖6所 不’若半導體IC20的引腳20a抵接設置於所對應之接觸構 件14的可動片14b上之突出部46，則在該抵接狀態下， 對半導體IC20施加外力F，藉由該外力F克服彈性構件^ 6 的彈性偏倚力’使可動# 14b的突出部46從圖中虛線所 表不之位置往實線所表示之位置移動而將接觸構件14整 體往基底構件12的板厚方向（Z轴方向）下壓。此時，可動 φ片仆之傾斜面40在抵接的固定片14a之直線傾斜導引面 =2b上滑動，故藉由該直線傾斜導引面的導引作用，依照 該直線傾斜導引面的傾斜角Θ，而在X軸方向有微量之位 移。藉由該可動片1413於2軸方向的位移所伴隨之在X軸 向的位移，可動片14b的突出部46會削除半導體IC2〇 I ? 20a於抵接面的氧化膜，故能確實防止當與引腳 接觸時有氧化膜的介入。 又，上述引腳20a與突出部46之接觸，係在彈性構件 _ '6的彈性偏倚力作用下進行，又，—部分該彈性偏倚力， ”為可動片l4b的傾斜面4〇、與固定片14&之直線傾斜 導引面32b間的接觸麼力，故各引腳_經過對應之接觸 牛的可動片14b及固定片14a而連接於配線部48a(連 ;只口疋片）。其結果，半導體1C20之各引腳2〇a確實 連接於測試器50。 “此外，各接觸構件14之固定片14a分別藉由上述卡止 機構36、38而確實固定在對應的槽座22内，故即使可動 片14b在固疋片14a的直線傾斜導引面32b上滑動，亦可 15 1288513 確實阻止彈性構件i 6的彈 動。因此，可防止固定片14a盘配線^之固定片14a的移 之相對運動造成之二者之摩損：避:/:48的配線部W 低。 、避免邊摩損導致耐久性降 如上述，依據本發明之電氣連接 片14a邀配蠄^ 埂接衷置1〇,可避免固定 ，、配線基板48之配線部48 之摩損，故可謀求提升耐久性。_運動造成之二者
又，在與半導體謂之弓丨腳20 14b的突出部46前端從槽座22 “ °片 形成被檢查體之半導大出’错此’能更確實 Μ間之電— 氣連接 的引腳心(電極）與接觸構件 可^各㈣止機構進行以片…與基底構件 二1而，藉由使用上述卡止機構36、38，如上述可 只且^易將固定片14a較結合至基底構件& 可動片14b沿固^：片14a的直線傾斜導引面⑽ 之滑動’該可動請在Z軸方向成分之位移量與X轴 方向成分之位移量的比例依傾斜角0而改變。$愈接近 ::則剛者對後者的比例愈大。若該χ軸方向成分的位移 里艾大’則當將被檢查體2〇的電極2〇a緊壓於所對應之接 觸構件14之可動4 14b時’會有該可動片的突出部軋從 所對應之電極20a露出之問題。即使是設置有更小型電極 之細微化半導體元件，為了確實防止可動# 14b的突出部 46從電極20a脫落，且確保氧化膜除去作用，如上述，較 佳作法為使傾斜角0在數度至大約3〇度之範圍内。據此， 1288513 即使是對ic電路集合形成之IC半導體晶圓進行電氣檢 查，亦可適用本發明。 又，能使直線傾斜導引面32b為弧狀曲面，但從該導 引面之加工精度的問題、及為了更正確控制可動片14b之 X軸方向成分的位移量對Z軸方向成分的位移量等點來考 量，如上述，較佳為使其為直線導引面。 在固定片14a設置第1及第2直立部28b、28〇，形成 與該第1直立部28b相關之可動片Mb的導引面32b，且 鲁配置與兩直立部28b、28c相關之彈性構件16，藉此，可 實現構成較簡單之小型接觸構件14、及具有該接觸構件之 電氣連接裝置10。 對各槽座22列配置橫跨該槽座列之單一個彈性構件 16，藉此，以藉由單一個彈性構件16之彈性偏倚力來形 成良好之電氣連接之方式將適當之彈性偏倚力施加於複數 個接觸構件之動作。因此，各槽座列不須如習知般配置2 個彈性體，故可謀求較簡單之構成。 圖7及K 8係表示使用克耳文連接用接觸構件ιΐ4來 作為接觸構件14之例。如習知般，克耳文連接用接觸構 件，係使絕緣體介於以互相隔著間隔之方式配置之一對導 電板間而形成之積層構造體。因此，本發明之克耳文連接 用接觸構件114中，固定片及可動片分別係由以使板狀絕 緣板me位於中間之方式彼此接合之—對導電板n4a及 114b構成。 /、上述相同，作為固定片之各導電板i 14a具備有··第 17 -1288513 ’ 1直立部128b ’係形成有卡止機構的凹部136 久罝線傾斜 導引面132b;第2直立部128c’其高度較該楚一* 卞R矛一罝立部低； 以及底部128a，用以結合兩直立部。又，作為可動片 導電板114b具備有··與直線傾斜導引面i32b相對向之傾 斜面140、及用以收容彈性構件16之嵌合曲面142及突出 部 146。 作為固定片之二導電板114a，為防止該二導電板產生 短路，係透過配置在其間之絕緣板丨14c而接合。在該絕緣 籲 板114c上形成與導電板114a的凹部136匹配之凹部136a、 及用以收容彈性構件16之嵌合曲面142a。作為可動片之 一導電板114b，在藉由絕緣板而防止彼此產生短路之狀熊 下，分別在該絕緣板114c二側，將彈性構件16收容於該 嵌合曲面142,且使個別之傾斜面14〇抵接對應之直線傾 斜導引面132b，雖未圖示，在此狀態下，與上述相同，裝 入基底構件12的槽座22内。 又，如圖8所示，在配線基板48上形成對應於接觸構 春件114之固定片的各導電板114a之一對配線部48a，各配 線部48a連接於對應之導電板114a。 依據該克耳文連接用接觸構件丨14，如習知，可從一 個引腳20a引出2個配線部48a，故可成為將電壓施加路 徑及電塵檢測路徑分離之克耳文連接方式，藉由降低接觸 構件之接觸電阻造成之影響，可高精度測定被檢查體20 的低電阻值。 又’依據本發明之克耳文連接用接觸構件1 14，與接 18 1288513 觸構件14相同，由基底構件12固定保持固定片的各導電 板114a，故每當檢查半導體IC20時，各導電板丨丨乜不會 在對應的配線部48a上滑動，藉由消除上述滑動所、生、 摩損，可謀求耐久性之提升。 ( 明 本發明並不限定於上述實施例，只要在不脫離未 意旨之範圍内，可進行各種變更。 聲 【圖式簡單說明】 圖1係本發明之電氣連接裝置之橫截面圖。
圖2係表示除去圖丨所示之電氣連接裝置的外蓋乂 其基底構件之俯視圖。 氣 用 圖3係將一部分基底構件放大表示之仰視圖 示設置在圖2所示之基底構件之槽座列。 圖4係將一部分圖 圖0 所示之橫截面圖放大表禾 <截甸 圖5係將圖4所示之接觸構件分解表示之立體圖。 圖6係以檢查狀態來表示與圖4相同之電氣逮拉 籲之圖式。 ^薏 圖7係將克耳文連接用接觸構件分解表示之立發圖 圖8係克耳文連接用接觸構件之立體圖。 【主要元件符號說明】 F 外力 L 中心線 10 電氣連接裝置 12 基底構件 19 1288513
12a 底面 12b 上面 14 > 114 接觸構件 14a、114a 固定片 14b 、 114b 可動片 16 彈性構件 18 外蓋構件 18a 矩形開口部 20 被檢查體（半導體1C) 20a 電極 (引腳） 22 槽座 24 螺孔 26 周壁面部 28a 、 128a 固定片之底部 28b 、 128b 固定片之第1直立部 28c 、 128c 固定片之第2直立部 30b 、 30c 外面 32b 、 132b 導引面（直線傾斜導引面） 32c 内面 34 淺槽 36 、 136 卡止機構之凹部 38 卡止機構之突起 40 、 140 傾斜面 42、142、142a 嵌合曲面 20 1288513 44 嵌合部 46 、 146 可動片之突出部 48 配線基板 48a 配線基板之配線部 50 測試器 114c 絕緣板 136a 凹部
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