WO2007007721A1

WO2007007721A1 - 電磁往復動流体装置

Info

Publication number: WO2007007721A1
Application number: PCT/JP2006/313698
Authority: WO
Inventors: Shigemitsu Ishibashi; Haruki Nakao; Fuminori Hirose
Original assignee: Nitto Kohki Co., Ltd.
Priority date: 2005-07-11
Filing date: 2006-07-10
Publication date: 2007-01-18
Also published as: EP2421012B1; JP2007016761A; US8529225B2; US20110274571A1; JP4603433B2; US8007256B2; EP1903215A4; EP1903215A1; EP2421012A1; US20090081058A1; EP1903215B1

Abstract

　【課題】可動部材に永久磁石を組み込んである電磁往復動流体装置において、可動部材を往復動方向軸線周りに回転させようとする回転トルクに抗するようにする。　【解決手段】　一対の電磁石２８、２８´と、該電磁石を対向配置してできる空隙の中に可動部材２７に保持された永久磁石２６、２６´とを有し、電磁石に装着されたコイル３４に交番電流を流して永久磁石との磁気力により可動部材に往復動の駆動力を付与する。該可動部材の一方の端部を第１ピストンシリンダアセンブリ１２のピストン１８に連結し、他方の端部は第２ピストンシリンダアセンブリ１２´のピストン１８´に連結する。第１ピストンシリンダアセンブリの中心軸線５８と、第２ピストンシリンダアセンブリの中心軸線５９とを、同軸状ではなく可動部材の中心軸６０に対して上下にオフセットして設置する。

Description

電磁往復動流体装置

技術分野

[0001] 本発明は、電磁石により交番磁界を発生させることによってピストンを直線往復動させるようにしたポンプやコンプレッサなどの電磁往復動流体装置に関する。

背景技術

[0002] この種電磁往復動流体装置では、ピストンに連結される可動部材 (ピストンロッド）に磁性材カなる磁力吸引部が設けられ、電磁石が周期的に発生し該磁力吸引部に作用する電磁吸引力と、該電磁吸引力により該磁力吸引部が吸引される方向と反対の方向に付勢するパネ力とによって当該可動部材を往復動するようにした形式のものと、可動部材に永久磁石を組み込み、電磁石が生じる交番磁界によって該永久磁石を吸引'反発させることにより当該可動部材を往復動させるようにした形式のものとがある。

[0003] 可動部材は、その往復動路の両側に対向配置される電磁石の間に微小隙間を介して配置されるので、その微小空間を維持することが必要となる。このため、上記第 1 番目の形式のものでは、例えば、可動部材の両端を摺動可能に支持することによりその維持を図るようにしたものがある（特許文献 1)。

[0004] また、上記第 2番目の形式のものでは、当該可動部材が永久磁石を備えるために、上記往復動方向での吸引力'反発力のほかに、往復動方向に対する横断方向での力が作用するために、該可動部材の長手中心軸線を中心にした回転トルクが生じる可能性がある。可動部材に取り付けられる永久磁石は一般的に断面四角形のものとされ、従って、回転トルクにより長手中心軸線の周りで傾けられると、一方の電磁石への吸引力が強くなり、該電磁石との摩擦が生じたりする。一般的には、可動部材の両端は、円形断面のピストンとこれを摺動可能に収納したシリンダとにより支持するようにしているため、長手中心軸線の周りでの傾きを阻止することはできない。これを回避するために、可動部材の両端を往復動の方向には柔軟で軸線回りには剛性を有するダイヤフラムや十字形のパネのパネ支持具で支持するようにしたものが提案されている（特許文献 2参照)。しかし、このような部材による支持では、可動部材の長手軸線方向での動きが制限され、流体装置としては好ましくない。

特許文献 1：特公昭 57— 30984号

特許文献 2 :特開 2002— 213354号

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] 本発明は、上記の点に鑑み、可動部材の長手軸線方向での動きに余り制限を与えることなく、且つ、同長手軸線の周りでの傾きを阻止するようにした電磁往復動流体装置を提供することを目的として!ヽる。

課題を解決するための手段

[0006] すなわち、本発明は、

所定軸線に沿って往復動可能とされた可動部材と、

可動部材に作用して該可動部材を該軸線に沿って駆動する電磁石駆動装置と、可動部材の両端を摺動可能に支持する支持装置と、

を備え、可動部材の往復動に基づ!/、て流体の流れを生じるようにした電磁往復動流体装置において、

支持装置が、可動部材を、該可動部材に生じる軸線の周りでの回転トルクに抗するようにしながら摺動可能に支持する電磁往復動流体装置

を提供する。

すなわち、可動部材をその両端において、該可動部材に係る回転トルクに抗するように支持することにより、前述の従来技術の問題を解消する。

[0007] 具体的には、

支持装置が可動部材の一端を支持する第 1支持装置と他端を支持する第 2支持装置とを備え、

第 1支持装置は、可動部材の一端に固定された第 1ピストンと、第 1ピストンを収納する第 1シリンダとを有し、第 1ピストンは上記所定軸線と平行若しくは同軸状の該第 1シリンダの長手方向軸線に沿って摺動可能とされ、

第 2支持装置は、可動部材の他端に固定された第 2ピストンと、該第 2ピストンを収納する第 2シリンダとを有し、第 2ピストンは、第 1シリンダの長手方向軸線に対して平行で所定間隔をあけた長手方向軸線に沿って摺動可能とされている。

すなわち、このようにすることにより、可動部材に回転トルクが作用しても、第 1及び第 2のピストンは、それぞれ平行にして間隔をあけて設定された軸線に沿って摺動可能とされているので、それらの軸線の周りでの回動は阻止され、従って、当該可動部材の傾きも阻止される。

[0008] 別の具体例としては、

該第 1シリンダ及び第 2シリンダの該長手方向軸線が、該所定軸線に一致しており、該第 1シリンダ及び該第 1シリンダに収納される第 1ピストン、並びに、第 2シリンダ及び該第 2シリンダに収納される第 2ピストンの少なくとも一方の横断面が非円形とされ、該可動部材に該所定軸線の周りでの回転トルクが力かっても、該少なくとも一方のピストンがそれを収納して、るシリンダの長手方向軸線の周りで回転できな、ようにすることがでさる。

[0009] 本発明ではまた、

永久磁石を備え、所定軸線に沿って往復動可能とされた可動部材と、交番磁界を発生し、該永久磁石に作用して該可動部材を該所定軸線に沿って駆動する電磁石駆動装置と、

該可動部材の両端を摺動可能に支持する支持装置と、

を備え、該可動部材の往復動に基づ!/、て流体の流れを生じるようにした電磁往復動流体装置において、

永久磁石が可動部材の往復動方向に延びる円柱状とされ、その中心軸線を含む平面の両側部分が相互に逆の極性とされている

ことを特徴とする電磁往復動流体装置を提供する。

すなわち、この装置においては、永久磁石を円形断面としたので、該永久磁石が、その中心軸線を中心に回動されても、電磁石との間の間隔の変化は無ぐ従って、電磁石との摩擦の問題も回避することができる。

[0010] さらに本発明では、

電磁石駆動装置は、可動部材の両側に設けられた第 1及び第 2の電磁石を備え、各電磁石は、中央磁極と、可動部材の往復動方向で中央磁極の両側に所定間隔をあけて設けられた第 1及び第 2側部磁極とを有し、

第 1及び第 2電磁石の中央磁極及び第 1及び第 2側部磁極がそれぞれ対向配置され、各電磁石における中央磁極と第 1及び第 2側部磁極とは交番的に反対の磁極となるように励磁され、第 1及び第 2磁石における中央磁極同士及び側部磁極同士は相互に反対の極性となるようにされており、

永久磁石は、可動部材の往復動方向に所定の間隔をあけて第 1永久磁石及び第 2 永久磁石の 2個が設けられ、

第 1永久磁石は、第 1側部磁極及び中央磁極との関係、第 2永久磁石は中央磁極及び第 2側部磁極との関係で磁気的吸引反発を受けるよう、往復動方向で所定間隔をあけて設けられ、

該第 1永久磁石は、中心軸線を含む第 1平面であって、第 1及び第 2電磁石の第 1 側部磁極の間にできる磁束路に対する垂直な面よりも所定の角度だけ傾斜した第 1 平面の両側部分で相互に逆の極性とされ、該第 2永久磁石は、中心軸線を含む第 2 平面であって、第 1及び第 2電磁石の第 2側部磁極の間にできる磁束路に対する垂直な面よりも第 1平面とは反対方向に所定の角度だけ傾斜した第 2平面の両側部分で相互に逆の極性とされて、る

ことを特徴とする電磁往復動流体装置を提供する。

すなわち、この装置においては、 2個の円柱状永久磁石のそれぞれの極を分ける平面が反対方向に傾斜しているため、電磁石の磁極の極性との組み合わせによる吸引もしくは反発の電磁力に伴う中心軸線周りの回転トルクを相殺させることができる。また、具体的には、

該可動部材の両端に設けられ、それぞれ該可動部材の軸線方向中央に向かう付勢力を与える一対のパネ部材を有するようにすることができる。

電磁力が加わっていないときに永久磁石が側部磁極に引き付けられて止まっている場合がある力そのときパネ部材は橈んでいるので、その状態で電磁力が加わったとき、橈んでいるパネ部材の付勢力によって、可動部材が動き出すのを補助することができる。 [0012] また、このように構成するとき、可動部材およびピストンを含む可動部に、その質量と弾性部材のパネ定数とで定まる固有振動数を自由に設定することができ、往復動の制御に利用することができる。

発明の効果

[0013] 本発明に係る電磁往復動流体装置においては、上述のように永久磁石、磁石保持体およびピストンからなる可動体に作用する往復動軸方向の偏倚力及び軸回りの回転力を支承し、もしくは回転力の発生を抑えることができる。

図面の簡単な説明

[0014] [図 1]本発明に係る第 1の実施形態を示す図 2の I-I線断面図である。

[図 2]図 1の II II線断面図である。

[図 3]図 1の III - III線断面図である。

[図 4]本発明に係る第 2の実施形態を示す図 5例の IV— IV断面図である。

[図 5]図 4の V— V線断面図である。

[図 6]図 4の VI— VI線断面図である。

[図 7]図 4の VII— VII線断面図である。

[図 8]本発明に係る第 3の実施形態を示す図 10の VIII— VIII線断面図である。

[図 9]図 8の IX— IX線断面図である。

[図 10]図 8の X— X線断面図である。

[図 11]本発明に係る第 4の実施形態を示す図 12の XI— XI線断面図である。

[図 12]図 11の XII— XII線断面図である。

符号の説明

[0015] 10 電磁往復動流体装置

14 駆動部

16、 16' シリンダ

18, 18' ビス卜ン

20 中央ハウジング

21 人口、 22' 逆止弁

、 24' 出口

、 26' 永久磁石

可動部材、 28' 電磁石 (電磁石駆動装置)

E型鉄心a 中央磁極

b, 30c 側部磁極

卷枠

コイル、 59 中心軸線

中心軸圧縮コイルパネ0 電磁往復動流体装置2 可動部

0、 132 固定電磁石

4、 136 E形鉄心

4a, 136a 中央磁極部分

4b, 136b 磁極部分

2、 144 コイル

0、 152 仮想平面

4 固定用ネジ穴部6 固定用ネジ

0 電磁往復動流体装置2 ガイド部材

0 電磁往復動流体装置2、 314 張出部

6 本体ハウジング 318、 322 ガイド溝

320 蓋部材

発明を実施するための最良の形態

[0016] 以下、本発明の実施形態を添付図面に基づき説明する。

[0017] 図 1から図 3に本発明に係る電磁往復動流体装置 10の第 1の実施形態を示す。図 1は図 2の I I線断面図、図 2は図 1の II II線断面図、図 3は図 1の III III線断面図である。

[0018] 図 1及び図 2から分るように、この電磁往復動流体装置 10は、左右両側位置にある第 1及び第 2ピストンシリンダアセンブリ 12、 12'と、中央位置にある駆動部 14とを有する。

[0019] 第 1及び第 2ピストンシリンダアセンブリ 12, 12Ίま、それぞれ、シリンダ 16、 W及びピストン 18、 18'を備え、該ピストンが該シリンダ内で（図 1及び図 3で見て）左右方向に往復動されることにより、空気等の流体を図 1に矢印で示すように、中央ハウジング 20に設けた入口 21から吸引し、逆止弁 22、 22'を介して当該流体装置 10の左右両端に設けられた出口 24,24'から排出するようになって、る。

[0020] 図 1から分るように、左右のシリンダ 12,12Ίま、その左右方向に延びる長手軸線が相互に間隔 aだけずらして配置されて、る。

[0021] ピストン 18、 18Ίま、図 2及び図 3に示すように全体的に平板状とされ、一対の永久磁石 26, 26'を備えた可動部材 27によって連結されている。永久磁石 26,26Ίま、図 2で見て左右両側に Ν極及び S極が着磁される力左側の永久磁石 26と右側の永久磁石 26'とは、相互に逆に着磁される。すなわち、両磁石を図 1の手前側から見た場合、その見える側の面は、例えば一方の永久磁石 26では Ν極、他方の永久磁石 26 では S極となり、図 1の裏面側から見た場合、永久磁石 26の面は S極、永久磁石 26 の面は Ν極とされる。

[0022] 装置中央の駆動部 14は、図 2及び図 3に示すように、可動部材 27の両側に設定された一対の電磁石 28、 2 ^を備えている。各電磁石は、 Ε型鉄心 30と、該 Ε型鉄心の中央磁極 30aの周りで卷枠 32に卷回されたコイル 34とを有している。両電磁石の中央磁極及び左右側部磁極 30b、 30cは、可動部材 27に対して微小な空隙をあけて相互に対向配置されている。

[0023] 電磁石 28,28Ίこ電流を通して、例えば電磁石 28の中央磁極に S極、左右磁極に Ν極が発生し、これらに対向する電磁石 28'の中央磁極には Ν極、左右磁極に S極が発生するようにする。このとき、永久磁石 26は中央磁極から反発力、左の側部磁極力も吸引力を受け、永久磁石 26Ίま中央磁極から吸引力、右の側部磁極から反発力を受けて、可動部材 27とともに全体として図 1の矢印 Μで示す左方向に動くような力を受ける。従って、これら電磁石に交番電流をかけることにより、中央磁極及び左右磁極に相互に逆極性の磁極が発生し、これにより、前述の磁石保持部材の永久磁石は左右に駆動され、ピストン 18, 18Ίまシリンダ内で摺動し、図 1に矢印で示す如き流体の流れを生じる。

[0024] ところで、本実施形態のように鉄心 30の磁極面と対向する永久磁石 26、 26'の面が平面状である場合には、一対の電磁石 28、 28'と永久磁石 26、 26'との吸引力がちょうど釣り合う中立点の位置を除いて、可動部材 27を図 2の矢印 Rのいずれかの方向に回転させるような回転トルクが作用するので、これに抗する力を作用させない場合には磁石 26、 26'または可動部材 27が電磁石 28、 28'またはその他の固定している部材と接触する虞がある。本実施形態においては、前述の如ぐ第 1、第 2ピストンシリンダアセンブリ 12、 12'の中心軸線 58及び 59を同軸状とせず、可動部材 27の中心軸 60に対してそれぞれ距離 aだけ上下にオフセットさせて配置してあるので、回転トルクに抗することができ、当該可動部材の回転を防ぐことができる。

[0025] 尚、図示の実施形態においては、ピストンシリンダアセンブリ内に圧縮コイルパネ 6 2を配置してある。これは、永久磁石 26、 26 可動部材 27およびピストン 18、 18'からなる可動部分の軸線方向（図 1の左右方向）中央に向力う付勢力を与えるものである。すなわち、これは、例えば、電磁石 28, 28Ίこ電流が流されず電磁力が加わっていないときに、永久磁石が左右どちらかの側部磁極に引き付けられて止まっている場合があり、そのときパネ部材は橈んでいるので、その状態で電磁力が加わったとき、橈んでいるパネ部材の付勢力により可動部材が動き出すのを補助するようにする。また、可動部分の質量と圧縮コイルパネ 62のパネ定数とで定まる固有振動数をバネ定数の選択によって任意に設定することを可能とする。 [0026] 図 4から図 7には本発明に係る電磁往復動流体装置 110の第 2の実施形態が示されている。図 4は図 5の IV— IV線断面図、図 5は図 4の V— V線断面図、図 6は図 4の VI— VI断面図、図 7は図 4の VII— VII線断面図である。この電磁往復動流体装置 11 0は、全体的構成としては、前述の第 1の実施形態のものと同じであり、従って、同じ構成要素には同じ参照番号を付して示してある。この電磁往復動流体装置 110で特徴とするところは、前述の実施形態において平板状にされていた永久磁石 26,26'を、円柱状、図示の例では、軸線方向での長さが短く円盤状にした点にある。この円盤状の永久磁石 26、 26^ま、円柱状とされた可動部材 27と同軸状に設定されており、可動部材 27の両端に設定される第 1及び第 2ピストンシリンダアセンブリ 12, 12'も同軸状にされている。

[0027] 該円盤状磁石 26,26Ίま、図 5および図 6に示すように、該円盤状磁石の中心軸線を含む仮想平面 150および 152で分けられた両側部分が相互に反対の極性となるように着磁される。仮想平面 150, 152は、中心軸線を通る（図 5及び図 6で見て）垂直な面に対してそれぞれ反対方向に所定角度だけ傾けて設定されている。

[0028] 上述したような構成において、電磁石 130、 132の中央磁極 134a、 136a力 S相互に反対の極性となるように（例えば中央磁極 134aが N極となり中央磁極 136aが S極となるように）コイル 142、 144に通電すると、該円盤状磁石 26は該中央磁極 134a、 1 36aに吸引され、他方の円盤状磁石 26Ίま中央磁極部分 134a、 136aから反発され、同時に該円盤状磁石 26Ίま右側部磁極 134b、 136bに吸引される。円盤状磁石 2 6及び 26'が受ける磁気力の合力は、図 4の右方向に向かう力であって、円盤状磁石とそれらが固定されている可動部材 27及びその両端に連結された第 1ピストン 18並びに第 2ピストン 18'とからなる可動部 112を図 4の右方向に移動させることになる。

[0029] 該可動部 112が図 4の右方向に移動して、該円柱状磁石 26'と右側磁極 134b、 1 36bとが正対する位置関係になったとき、次に可動部 112を図 4の左方向に移動するための力を発生させるために、該コイル 142、 144には上記と反対方向の電流が印カロされる。そうすると、図 5に示されている円盤状磁石 26に対しては図中左側の電磁石 130の中央磁極部分 134aが N極となり対向する中央磁極部分 136aは S極となつて、該円盤状磁石 26が反時計回りの方向に回転するようなトルク T1が作用する。同様にして、図 6に示されて、る円盤状磁石 26'に対しては時計回りの方向に回転するようなトルク T2が作用する。すなわち、円柱状磁石 26と 26'とに作用するトルクはお互ヽに反対方向に回動させようとする回転トルクであり、これらが相殺し合うため可動部 112全体として可動方向軸周りの、ずれか一方に回転することがな、ようにすることがでさる。

[0030] さらに本実施形態において、固定電磁石 130、 132の鉄心 134、 136は、単一の形状を有するケィ素鋼板等の薄板を、磁極部分が円盤状磁石 26、 26'と適当な間隙で対向するようにずらしながら積層して構成されている。このように構成して本体ケーシング 120に固定用ネジ 156で固定できるようにネジ穴を形成するため、該鉄心 134、 136を構成する薄板に設けた固定用ネジ穴部 154は図 7に示すように長孔形状で作成されている。

[0031] 図 8から図 10には本発明に係る電磁往復動流体装置 210の第 3の実施形態を示す。図 8は図 10の VIII— VIII線断面図、図 9は図 8の IX— IX線断面図、図 10は図 8の X—X線断面図、図 11は図 8の XI— XI線断面図である。この電磁往復動流体装置 21 0は、全体的構成としては、前述の第 1の実施形態のものと同じであり、同じ構成要素には同じ参照番号を付して示してある。この電磁往復動流体装置 210で特徴とするところは、永久磁石 26、 26'及び可動部材 27と、一対の電磁石 28、 28'との間の空隙にガイド部材 212が設けられている点にある。こうすることによって該永久磁石 26、 2 6'が該電磁石 28、 28Ίこ吸引されるために生じる中心軸 60の周りの回転トルクに抗することができ、当該可動部材の回転を防ぐことができる。

[0032] 図 11及び図 12には本発明に係る電磁往復動流体装置 310の第 4の実施形態を示す。図 11は図 12の XI— XI線断面図、図 12は図 11の XII— XII線断面図である。図において、可動部材 27は図 11の上下方向に延伸した張出部 312および 314を有し、これらが本体ハウジング 316に設けられたガイド溝 318及び蓋部材 320に設けられたガイド溝 322と摺動可能に嵌合するように設置されている点にある。こうすることによって、該永久磁石 26、 26'が該電磁石 28、 28Ίこ吸引されるために生じる中心軸 6 0の周りの回転トルクに抗することができ、当該可動部材 27の回転を防ぐことができる本実施形態では、上下方向に 2つの張出部 312及び 314が設けられ、これらが摺動可能に嵌合される 2つのガイド溝 318及び 322が設けられているが、張出部を上下の内の、ずれか一方のみとし、対応するガイド溝のみを設ける構成とすることもできる

Claims

請求の範囲

[1] 永久磁石を備え、所定軸線に沿って往復動可能とされた可動部材と、

交番磁界を発生し、該永久磁石に作用して該可動部材を該所定軸線に沿って駆動する電磁石駆動装置と、

該可動部材の一端を支持する第 1支持装置と他端を支持する第 2支持装置とを備え、

該可動部材の往復動に基づ、て流体の流れを生じるようにした電磁往復動流体装置であって、

該第 1支持装置は、該可動部材の一端に固定された第 1ピストンと、該第 1ピストンを収納する第 1固定シリンダとを有し、該第 1ピストンは、該第 1シリンダに対して、該所定軸線と平行若しくは同軸状の該第 1固定シリンダの長手方向軸線に沿って摺動可能とされ、

該第 2支持装置は、該可動部材の他端に固定された第 2ピストンと、該第 2ピストンを収納する第 2固定シリンダとを有し、該第 2ピストンは、該第 2シリンダに対して、該第 1固定シリンダの長手方向軸線に対して平行で所定間隔をあけた長手方向軸線に沿って摺動可能とされて!/ヽる電磁往復動流体装置。

[2] 該可動部材が、該所定軸線に沿って相互に並行に延びる第 1側面及び第 2側面を有する板状の部材とされ、

該永久磁石が、該板状部材に該所定軸線方向で所定間隔離して固定された一対の板状の第 1及び第 2永久磁石とされ、それぞれが該第 1及び第 2側面に面し、それらに平行な第 1及び第 2磁極面を備え、該第 1永久磁石の該第 1磁極面及び第 2磁極面がそれぞれ N極及び S極とされ、該第 2永久磁石の該第 1磁極面及び第 2磁極面がそれぞれ S極及び N極とされ、

該電磁石駆動装置は、該可動部材の両側に設けられた第 1及び第 2電磁石であつて、第 1電磁石は該第 1側面に対向配置され、第 2電磁石は該第 2側面に対向配置されている第 1及び第 2電磁石を有し、

各電磁石は、中央磁極と、該可動部材の往復動方向で該中央磁極の両側に所定間隔をあけて設けられた第 1及び第 2側部磁極とを有し、各電磁石における該中央磁極と該第 1及び第 2側部磁極とは交番的に反対の磁極となるように励磁され、第 1及び第 2電磁石における該中央磁極同士及び該側部磁極同士は相互に反対の極性となるようにされており、

第 1永久磁石は、該第 1側部磁極及び該中央磁極との関係、第 2永久磁石は該中央磁極及び該第 2側部磁極との関係で磁気的吸引反発を受けるようにされている請求項 1に記載の電磁往復動流体装置。

永久磁石を備え、所定軸線に沿って往復動可能とされた可動部材と、

を備え、該可動部材の往復動に基づ!/、て流体の流れを生じるようにした電磁往復動流体装置であって、

該可動部材が、該所定軸線に沿って相互に並行に延びる第 1側面及び第 2側面を有する板状の部材とされ、

各電磁石は、中央磁極と、該可動部材の往復動方向で該中央磁極の両側に所定間隔をあけて設けられた第 1及び第 2側部磁極とを有し、

各電磁石における該中央磁極と該第 1及び第 2側部磁極とは交番的に反対の磁極となるように励磁され、第 1及び第 2電磁石における該中央磁極同士及び該側部磁極同士は相互に反対の極性となるようにされており、

第 1永久磁石は、該第 1側部磁極及び該中央磁極との関係、第 2永久磁石は該中央磁極及び該第 2側部磁極との関係で磁気的吸引反発を受けるようにされ、該可動部材の該第 1側面と該第 1電磁石との間に、該第 1側面と摺動可能に係合するガイド面を有する第 1ガイド部材、及び、該可動部材の該第 2側面と該第 2電磁石との間に、該第 2側面と摺動可能に係合するガイド面を有する第 2ガイド部材を有を有する電磁往復動流体装置。

第 1永久磁石は、該第 1側部磁極及び該中央磁極との関係、第 2永久磁石は該中央磁極及び該第 2側部磁極との関係で磁気的吸引反発を受けるようにされ、該電磁往復動流体装置が更に、該可動部材を挟むようにして該所定軸線に平行に延びるガイド溝を有するガイド部材を有し、それぞれに隣接する該可動部材の縁を摺動可能に収納して、該可動部材の該所定軸の周りでの角度位置を維持するようにした電磁往復動流体装置。

[5] 永久磁石を備え、所定軸線に沿って往復動可能とされた可動部材と、

該可動部材の両端を摺動可能に支持する支持装置と、

該永久磁石が該可動部材の往復動方向に延びる円柱状とされ、その中心軸線を含む平面の両側部分が相互に逆の極性とされている

ことを特徴とする電磁往復動流体装置。

[6] 該電磁石駆動装置は、該可動部材の両側に設けられた第 1及び第 2の電磁石を備え、

該第 1及び第 2電磁石の中央磁極及び第 1及び第 2側部磁極がそれぞれ対向配置され、各電磁石における該中央磁極と該第 1及び第 2側部磁極とは交番的に反対の磁極となるように励磁され、第 1及び第 2磁石における該中央磁極同士及び該側部磁極同士は相互に反対の極性となるようにされており、

該永久磁石は、該可動部材の往復動方向に所定の間隔をあけて第 1永久磁石及び第 2永久磁石の 2個が設けられ、

第 1永久磁石は、該第 1側部磁極及び該中央磁極との関係、第 2永久磁石は該中央磁極及び該第 2側部磁極との関係で磁気的吸引反発を受けるよう、該往復動方向で所定間隔をあけて設けられ、

該第 1永久磁石は、該中心軸線を含む第 1平面であって、第 1及び第 2電磁石の第 1側部磁極の間にできる磁束路に対する垂直な面よりも所定の角度だけ傾斜した第 1平面の両側部分で相互に逆の極性とされ、該第 2永久磁石は、該中心軸線を含む第 2平面であって、第 1及び第 2電磁石の第 2側部磁極の間にできる磁束路に対する垂直な面よりも第 1平面とは反対方向に所定の角度だけ傾斜した第 2平面の両側部分で相互に逆の極性とされて、る

ことを特徴とする請求項 5に記載の電磁往復動流体装置。

該可動部材の両端に設けられ、それぞれ該可動部材の軸線方向中央に向かう付勢力を与える一対のパネ部材を有する

ことを特徴とする請求項 1なヽし 6のヽずれかに記載の電磁往復動流体装置。