JP3170553B2 - リニアアクチュエータ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、直線往復運動の駆動源
として用いられるリニアアクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】リニアアクチュータにはプランジャ形ソ
レノイドが一般的に多用されている。このソレノイド
は、固定鉄心にコイルを取付けたコイル組立の中に、前
記コイルへの通電に伴い電磁力で吸引される可動鉄心を
設けて形成され、可動鉄心にはその復動のためにばねが
接続されている。したがって、コイルに電流を流すと可
動鉄心が吸引されて往動し、電流を切るとばねの力で可
動鉄心が復動され、こうした直線往復運動で可動鉄心に
接続された可動体を押し引きできるものである。

【０００３】また、この他に、プランジャ形ソレノイド
において、そのコイルに流される電流方向を切り換える
ことにより、電磁吸引力の方向を反転させてばねを用い
ることなく可動鉄心を復動させる復動式のプランジャ形
ソレノイドも知られている。さらに、リニアモータもリ
ニアアクチュータとして使用されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のいずれ
のリニアアクチュエータにおいても、直線往復運動され
る可動体、つまり、プランジャ形ソレノイドの場合には
可動鉄心、リニアモータの場合には可動子の往復移動の
繰り返しに伴う振動対策が講じられていないから、高速
で往復駆動をする場合には、振動が極めて大きくなると
いう問題があるとともに、この振動に伴って、当然に騒
音も大きくなるという問題もある。

【０００５】しかも、こうした事情から、特に、可動体
の往復動のストロークが数ｍｍ以下と小さい場合には、
前記振動が影響して所定のストロークを確保することが
できなくなる。したがって、従来のリニアアクチュエー
タは、高速でショートストロークの直線往復運動を必要
とする用途には適していないという問題がある。

【０００６】また、従来のリニアアクチュエータは、コ
イルへの通電により発生する電磁力またはばねの力のみ
で可動体を直線往復運動させているので、供給した電流
量に比例した駆動力しか得ることができず、そのため、
駆動を高速にする程、大きな消費電力が必要であるとい
う問題がある。

【０００７】本発明の第１の目的は、振動および騒音を
低減できるとともに、高速での往復駆動にも適するリニ
アアクチュエータを得ることにある。

【０００８】また、本発明の第２の目的は、前記第１の
目的を達成するに当たり、必要な消費電力を小さくでき
るリニアアクチュエータを得ることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記第１の目的を達成す
るために、請求項１に係る発明は、筒状をなすパイプボ
ビンにコイルを交互に巻き方向を変えて間隔的に巻いて
形成されたアーマチュアと、このアーマチュアに接続さ
れて前記アーマチュアを軸方向に移動自在に支持した一
対の第１弾性体と、軸方向に沿ってＮ極とＳ極とを交互
に有する棒状をなし、前記アーマチュアの空芯部に軸方
向に移動自在に収納された界磁ロッドと、このロッドの
軸方向両端部に個別に接続して設けられ前記界磁ロッド
をその軸方向に移動自在に支持した一対の第２弾性体と
を具備したものである。

【００１０】また、前記第２の目的を達成するために、
請求項２に係る発明は、前記請求項１において、所定周
波数で前記コイルに投入される駆動電流により振動され
る前記アーマチュアの振動系の固有振動数と前記界磁ロ
ッドの振動系の固有振動数とを近似させるとともに、こ
れら固有振動数の周波数に前記駆動電流の周波数を近似
させたものである。

【００１１】

【作用】請求項１に係る発明の構成において、一対の第
１弾性体は、筒状のアーマチュアを支持してこのアーマ
チュアを定位置に保持し、この定位置からアーマチュア
が軸方向に移動された時に弾性変形し、その復元力で前
記定位置にアーマチュアを復動させる。一対の第２弾性
体は、界磁ロッドの軸方向両端部を受けてこのロッドを
定位置に保持し、この定位置から界磁ロッドが軸方向に
移動された時に弾性変形し、その復元力で前記定位置に
界磁ロッドを復動させる。

【００１２】界磁ロッドはその周囲に互いに隣接したＮ
極からＳ極へと磁力線が至る磁界を形成し、そして、こ
の磁界中にはアーマチュアのコイルが置かれている。そ
のため、コイルに電流を流した時にはコイルにフレミン
グの左手の法則による力が働くとともに、コイルに流す
電流の方向を切り換えると、前記力の方向は逆となる。

【００１３】前記アーマチュアおよび界磁ロッドはいず
れも軸方向に移動自在に支持されているから、コイルに
電流を流すことに伴いアーマチュアが第１弾性体の弾性
力に抗して軸方向に沿い一方向に移動されると、その反
作用により同時に界磁ロッドが第２弾性体の弾性力に抗
して軸方向に沿い反対方向に移動される。そして、コイ
ルに供給した電流を切る、或いは電流の流れ方向を逆に
すると、第１、第２の弾性体の弾性力により、アーマチ
ュアおよび界磁ロッドが同時に互いに逆方向に軸方向に
沿い移動される。

【００１４】こうしてアーマチュアおよび界磁ロッドを
同時に互いに逆方向に直線往復運動させることができる
とともに、それに伴うカウンタ作用で、負荷を含めたア
ーマチュアまたは界磁ロッドと、界磁ロッドおよびアー
マチュアとの慣性質量に基づく衝撃を減少ないしは相殺
する。

【００１５】また、請求項２に係る発明の構成において
は、アーマチュアの振動系と界磁ロッドの振動系の固有
振動数とが略等しく、それに近似した周波数の電流で駆
動するから、アーマチュアの振動と界磁ロッドの振動と
を共振させ、それによる大きな振幅を得て、アーマチュ
アおよび界磁ロッドを直線往復運動させる。

【００１６】

【実施例】以下、図１〜図３を参照して本発明の第１実
施例を説明する。図１〜図３中１は平面形状が例えば長
方形をなす基台であり、その四隅上面には夫々ばねホル
ダ支え２が設けられている。これら支え２は、例えばコ
の字形に成形されて基台１に固定された支持体３内にス
ポンジ状ゴム等のようにばね定数が小さい弾性材４を収
納してなる。

【００１７】各ホルダ支え２には、これより起立する角
柱状のばねホルダ５が夫々支持されている。これらばね
ホルダ５の下部は弾性材４内に埋め込まれるように設け
られている。弾性材４はばねホルダ５の下面およびばね
取付け面５ａ、５ｂの下部を覆っており、したがって、
ばねホルダ５と支持体３とは非接触となっている。ばね
取付け面５ａ、５ｂは後述のアーマチュアおよび界磁ロ
ッドの振動方向の面である。

【００１８】基台１の長手方向一端部に配置された一対
のばねホルダ５には、これらの上部に渡って第１の弾性
体としての板ばね６と第２の弾性体としての板ばね７と
が夫々取付けられている。同様に、基台１の長手方向他
端部に配置された他の一対のばねホルダ５にも、これら
の上部に渡って第１の弾性体としての板ばね６と第２の
弾性体としての板ばね７とが夫々取付けられている。

【００１９】一対の第１の板ばね６は、ばね取付け面５
ａに固定されていて、基台１の長手方向に互いに離間
し、かつ、相対向して配置されている。一対の第２の板
ばね７は、ばね取付け面５ｂに固定されていて、基台１
の長手方向に互いに離間し、かつ、第１板ばね６に個別
に対向してその近くに配置されている。

【００２０】なお、各図中８は第２板ばね７に重なるば
ね押さえ、９は中心部にねじ孔を有して第１板ばね６に
重なるナット状のばね押さえ、１０は、ばね押さえ８
と、第２板ばね７と、ばねホルダ５と、第１板ばね６と
を、この記載順に挿通してばね押さえ９に螺合したねじ
であり、これらの固定部品を介して両板ばね６、７がば
ねホルダ５に固定されている。

【００２１】一対の第１板ばね６はアーマチュア１１の
軸方向両端部に個別に接続されている。それにより、ア
ーマチュア１１は、基台１の長手方向に延びて配置さ
れ、かつ、第１板ばね６の弾性変形を伴って軸方向に移
動自在に設けられている。図１および図２に示されるよ
うにアーマチュア１１は、合成樹脂の成形体からなる筒
状のパイプボビン１２と、コイル１３とを備えて形成さ
れている。パイプボビン１２は円筒体の外周部にその軸
方向に沿って一定間隔ごとにコイル１３を位置決めする
ために複数のコイル巻き付け溝１２ａ〜１２ｄを設けて
なる。これらの溝１２ａ〜１２ｄは同じ大きさである。
このボビン１２は、その軸方向両端部に夫々形成された
雄ねじ凸部１２ｅを一対の第１板ばね６の中央部に夫々
挿通させるとともに、その挿通状態の雄ねじ凸部１２ｅ
にナット１４を螺合して締め付けることにより、第１板
ばね６に連結されている。

【００２２】コイル１３は、第１〜第４のコイル巻き付
け溝部１２ａ〜１２ｄに交互に巻き方向を変えてトロイ
ダル状に同量密巻されている。したがって、本実施例で
は一つ置きのコイル巻き付け溝部１２ａ、１２ｃに巻き
付けられたコイル部１３ａ、１３ｃは同じ巻方向であ
り、他の一つ置きのコイル巻き付け溝部１２ｂ、１２ｄ
に巻き付けられたコイル部１３ｂ、１３ｄは、前記コイ
ル部１３ａ、１３ｃとは逆方向に巻かれている。各コイ
ル部１３ａ〜１３ｄは１層に巻いてあるが、これは多層
にも重ね巻きしてもよい。

【００２３】各コイル部１３ａ〜１３ｄは１本のコイル
を連続して巻いても、或いは各コイル巻き付け溝部１２
ａ〜１２ｄごとに別々のコイルを巻いてもよいが、各コ
イル部１３ａ〜１３ｄに対して同時に通電と断電がされ
るようになっている。本実施例では１本のコイルで各コ
イル部１３ａ〜１３ｄを形成した例であり、このコイル
１３には図２に示される加振制御手段１５を介して交流
電源１６の交流が与えられる。加振制御手段１５は例え
ば交流電源１６の交流電圧を安定化して、それを外部か
らの制御指令に基づき、指令内容にしたがって交流電流
をコイル１３に与えるようになっている。

【００２４】アーマチュア１１の空芯部（ハイプボビン
１２の内側空間）には界磁ロッド１７が収納されてい
る。このロッド１７はアーマチュア１１を軸方向に貫通
し、その軸方向両端部を前記一対の第２板ばね７に個別
に接続して支持されている。板ばね７への連結は各図に
示されるように界磁ロッド１７の端面とばね押さえ１８
との間に第２板ばね７を挟み、ばね押さえ１８および第
２板ばね７を通るねじ１９をを界磁ロッド１７の端部に
ねじ込んで締めることによりなされている。したがっ
て、界磁ロッド１７は、アーマチュア１１と同軸的に基
台１の長手方向に延びて配置され、かつ、第２板ばね７
の弾性変形を伴って軸方向に移動自在に設けられてい
る。

【００２５】界磁ロッド１７は、その軸方向に沿ってＮ
極とＳ極とを交互に有して丸い棒状をなしていて、その
外周面とパイプボビン１２との間には僅かなエアーギャ
ップが設けられている。界磁ロッド１７の磁極ピッチは
コイル部１３ａ〜１３ｄの配設ピッチに等しく、かつ、
界磁ロッド１７の磁極の境界（図２に符号１７ａで示
す。）は、夫々コイル部１３ａ〜１３ｄの幅内におい
て、特に、好ましくは幅内中央位置に配置されるように
設けられている。

【００２６】本実施例の界磁ロッド１７は、前記磁極ピ
ッチに略等しい長さの円柱体をその軸方向に着磁したロ
ッドピースを、その同極同志間に非磁性板を挟んで棒状
に連ねてなり、前記非磁性板は磁極境界１７ａを形成し
ている。なお、前記ロッドピースは、ＭｎーＡｌ系の永
久磁石であって、その外径寸法は例えば20mmであるとと
もに、前記磁極ピッチは例えば40mmである。

【００２７】前記アーマチュア１１と界磁ロッド１７と
の内の少なくとも一方、例えばアーマチュア１１には図
示しない負荷が連結される。そして、負荷を含めたアー
マチュア１１の質量（重量）と棒状の界磁ロッド１７の
質量とは同様に設定されている。さらに、前記各質量を
個別に支える板ばね６、７のばね定数と、それらが支持
する質量により定まる固有振動数は、アーマチュア１１
側と界磁ロッド１７側とで同様都なるように定められて
いる。ここに、同様とは同一である場合、および近似し
た場合とを包含するものである。

【００２８】なお、アーマチュア１１側の振動系と界磁
ロッド１７側の振動系の固有振動数は次の式により求め
られる。

【００２９】ｆ＝［（ｋ／ｍ）^１／２］／２π ここに、ｆは振動系の固有振動数、ｋは板ばね６または
７のばね定数、ｍは負荷の質量を含めたアーマチュア１
１または界磁ロッド１７の質量である。

【００３０】しかも、以上のように同様に設定された両
振動系の固有振動数に対して、前記コイル１３に投入さ
れる駆動電流の周波数も同一もしくは近似するように定
められている。こうした駆動電流の周波数は、前記加振
制御手段１５が備える図示しない加振周波数制御回路に
より定められ、本実施例では例えば 100Ｈｚ（これに代
えて 200Ｈｚでもよい。）の高い周波数としてある。

【００３１】前記構成のリニアアクチュエータは、１mm
のショートストロークで負荷を高速で、かつ、高い応答
性をもって直線往復運動させることができ、その動作に
ついて次ぎに説明する。

【００３２】コイル１３が通電されていない状態では、
左右一対の第１板ばね６が自由状態等互いに平衡状態を
保持した位置、すなわち、定位置にアーマチュア１１が
支持されているとともに、同様に、左右一対の第２板ば
ね７が自由状態等互いに平衡状態を保持した定位置に界
磁ロッド１７が支持されている。

【００３３】この非通電状態では図２に示されるよう各
コイル部１３ａ〜１３ｄの幅方向中央位置に界磁ロッド
１７の磁極境界１７ａが夫々対応しているから、界磁ロ
ッド１７のＮ極から流れ出る磁束は、Ｎ極に対応する第
２コイル部１３ｂと、第４コイル部１３ｄとを通り、界
磁ロッド１７のＳ極に流れ込む磁束は、Ｓ極に対応する
第１コイル部１３ａと第３コイル部１３ｃとを通ってい
る。

【００３４】そして、加振制御手段１５により 100Ｈｚ
の高い周波数でコイル１３に交番電流が流されると、そ
のコイル部１３ａ〜１３ｄにはフレミングの左手の法則
による力が働く。各コイル部１３ａ〜１３ｄに働く推力
（加振力）は、その巻き方向が交互に逆となっているた
め、いずれも同方向となり、図２中にシンボルで示され
る電流方向の場合においては、図２中矢印Ａに示す左方
向の推力がコイル１３に与えられる。そして、交流の半
サイクルごとの電流方向の切り替わりに伴い、コイル１
３に与えられる推力の方向は 180゜逆向きとなる。

【００３５】ところで、同軸的に配置されたアーマチュ
ア１１および界磁ロッド１７はいずれも軸方向に移動自
在に弾性的に支持されているから、前記のようにコイル
１３に 100Ｈｚの交流電流が流されることに伴い、発生
する推力を受けるコイル１３を備えたアーマチュア１１
が一対の第１板ばね６を撓ませながら軸方向に沿い一方
向（例えば図２中矢印Ａ方向）に移動されると、その反
作用により同時に界磁ロッド１７が第２板ばね７を撓ま
せながら軸方向に沿い前記矢印Ａと反対の矢印Ｂ方向に
移動される。そして、コイル１３に供給した電流を切
る、或いは電流の流れ方向を逆にすると、第１、第２の
板ばね６、７のばね力により、アーマチュア１１および
界磁ロッド１７は前記定位置に向けて同時に互いに逆方
向に軸方向に沿い移動される。

【００３６】以上のようにしてアーマチュア１１および
界磁ロッド１７を同時に直線往復運動させることがで
き、それにより、同時に 100Ｈｚの高速でアーマチュア
１１に連結された負荷を直線往復運動させることができ
る。なお、この運動においてアーマチュア１１および界
磁ロッド１７は摺動部分がないから、円滑に動作でき
る。

【００３７】こうして同時に動作されるアーマチュア１
１と界磁ロッド１７とは互いに逆方向に移動されるた
め、カウンタ作用を得ることができ、それにより、アー
マチュア１１および界磁ロッド１７の慣性質量に基づく
衝撃を減少できる。

【００３８】特に、本実施例の場合には、負荷を考慮し
たアーマチュア１１と界磁ロッド１７の重量を略同じと
したから、これらの動作時に作用する力の大きさが等し
く、その方向が反対であるため、カウンタバランス作用
を得られるので、前記衝撃を相殺できる。

【００３９】そのため、高速で負荷を駆動できるにも拘
らず、このアクチェータの振動を極めて少なくできると
ともに、それに伴い騒音も少なくできる。したがって、
ストロークが１mm程度と短いにも拘らず、それへの振動
の影響も無視できる程度に少なくできる。

【００４０】また、基台１には振動発生部であるアーマ
チュア１１および界磁ロッド１７の振動が直接現れるこ
とは殆どがないが、板ばね６、７が固定されたばねホル
ダ５には、低周波（駆動周波数に比べて数倍から数十倍
低い周波数をもつ。）の振幅が小さいゆらぎ振動が与え
られ、それが基台１に波及するおそれがある。こうした
低振動が基台１に波及される場合には、それが基台１に
つながった部品に伝わって騒音発生の原因となる。

【００４１】しかし、本実施例では、アーマチュア１１
と界磁ロッド１７とが接続された板ばね６、７のばねホ
ルダ５を、ばねホルダ支え２の弾性体４により基台１に
対して振動絶縁して設けている。そのため、ばね定数が
小さい弾性体４で、高周波振動源であるアーマチュア１
１および界磁ロッド１７側から基台１に伝わろうとする
振動を絶縁し減衰でき、それにより、基台１に低い振動
が伝わることを確実に防止できる。

【００４２】したがって、前記構成のリニアアクチュエ
ータは、基台１等の支持部に振動が伝搬されることがな
く、負荷を高速かつショートストロークで往復直線運動
させることができるとともに、その際の振動および騒音
を著しく低減できるものである。

【００４３】また、このリニアアクチュエータは、負荷
を含めたアーマチュア１１の振動系と界磁ロッド１７の
振動系の固有振動数とが略等しく、かつ、これらの振動
数に近似した周波数の電流で駆動する構成であるから、
アーマチュア１１の振動と界磁ロッド１７の振動とを共
振させることができる。

【００４４】そのため、小さな加振力により、アーマチ
ュア１１および界磁ロッド１７を大きな振幅で直線往復
運動させることができる。そして、このように共振エネ
ルギーを利用して振動を増幅させるので、コイル１３に
流す電流量を少なくでき、したがって、消費電力を少な
くすることができる。ちなみに、既述の諸元によるリニ
アアクチュエータでは５Ｗ程度の僅かな消費電力で駆動
することができた。

【００４５】また、本実施例では、アーマチュア１１お
よび界磁ロッド１７を軸方向に移動可能に支持する第
１、第２の弾性体にいずれも板ばねを採用している。板
ばねはコイルばねなどに比較してばね定数のばらつきが
少ないので、リニアアクチュエータの動作特性のばらつ
きを少なくでき、その品質を高めるのに有効であるとと
もに、アーマチュア１１および界磁ロッド１７への連結
やばねホルダ５への連結も、簡単な構造で容易に行うこ
とができる。

【００４６】さらに、本実施例では、アーマチュア１１
のコイル１３をパイプボビン１２の外周部に巻き付けた
から、各コイル部１３ａ〜１３ｄを容易に巻き付けるこ
とができる。しかし、本発明において、コイル１３は、
インサート成形によりパイプボビン１２の内部に埋め込
まれるように設けることもできる。

【００４７】図４および図５は本発明の第２実施例を示
している。この第２実施例は、界磁ロッドの構成のみが
前記第１実施例とは異なり、それ以外の構成は図４およ
び図５に図示されない部分を含めて図１〜図３に示され
た前記第１実施例のリニアアクチュエータと同じ構成で
あるので、図示されない構成については図１〜図３をも
って代用するとともに、図示される同一ないしは同様な
構成部分には第１実施例と同一の符号を付して、それら
の構成の説明およびそれに基づく作用効果の説明につい
ては省略するが、これら同一ないしは同様な構成部分に
ついても第２実施例に係るリニアアクチュエータの構成
の一部をなすものである。

【００４８】この第２実施例のリニアアクチュエータが
備える界磁ロッド１７は、着磁可能な材質により一体成
形された１本の丸棒等棒状体に対して、その周囲に嵌合
するようにして配設されるコイル状着磁ヨーク（図示し
ない）により着磁して、Ｓ極とＮ極とを一定ピッチで設
けてなる一体構造物である。なお、この点以外の構成は
前記第１実施例と同じである。

【００４９】この第２実施例の構成においても、前記第
１実施例と同様な作用を得て、本発明の所期の目的を達
成できる。

【００５０】しかも、前記構成の界磁ロッド１７を備え
ることにより、このロッド１７の製造が容易である。な
お、前記第１実施例のように着磁された複数のロッドピ
ースを張り合わせて棒状とする場合には、磁力に抗しな
がら組立てる手間が必要であるとともに、組立て後に全
体の外周を揃える機械加工が必要である等の手間が掛か
るが、この第２実施例では以上のような手間が不要であ
るので、容易に製造できる。さらに、前記第１実施例の
界磁ロッド１７の構成ではロッドピースや磁極境界の寸
法精度および張合わせのための接着剤層の厚みのばらつ
き等が、磁極ピッチの精度に影響するが、この第２実施
例の界磁ロッド１７の構成によれば、その磁極ピッチは
着磁ヨークの精度によって定まるので、高精度に磁極を
設けることができ、それに伴いリニアアクチュエータの
精度も高めることができる。

【００５１】なお、本発明は前記各実施例には制約され
ない。例えば、アーマチュア１１を角筒状とし、それに
対応して界磁ロッド１７を角柱状としてもよいととも
に、アーマチュア１１のコイル部の数およびそれに対応
する界磁ロッド１７の磁極数は任意に設定できる。

【００５２】また、各コイル部に推力が同方向に発生す
るように所望周波数で投入される駆動電流は、交流電流
に代えてパルス化して与えるようにしてもよい。例え
ば、パルスデューティ比50％の矩形の直流電圧を所定の
周期で連続的に印加させることができ、その際、ある共
振周波数でアーマチュアを振動させることにより、その
アクチュエータのストロークを大きくとることができ
る。

【００５３】また、アーマチュア１１および界磁ロッド
１７を弾性的に受けて定位置に押し戻す第１、第２の弾
性体６、７には、板ばねに代えてアーマチュア１１およ
び界磁ロッド１７の端部等に接続されるコイルばねを使
用することもでき、また、一方の弾性体をコイルばねと
し、他方の弾性体を板ばねとした併用タイプとすること
もできるとともに、ばね以外の弾性体を使用してもよ
い。また、アーマチュア１１に接続される第１弾性体の
接続箇所は、アーマチュア１１の軸方向端部に限らず、
中間部分であってもよい。また、本発明は直線往復運動
を必要とする機器全般に使用できる。

【００５４】

【発明の効果】以上詳記したように請求項１の発明に係
るリニアアクチュエータによれば、筒状のアーマチュア
およびその空芯部に収納された界磁ロッドを同時に互い
に逆方向に直線往復運動させて、アーマチュア側および
界磁ロッド側の慣性質量に基づく衝撃を減少ないしは相
殺するので、振動およびそれに伴う騒音を低減できると
ともに、こうした低振動・低騒音により特にストローク
が小さい高速での往復駆動にも適する。

【００５５】また、請求項２の発明に係るリニアアクチ
ュエータによれば、前記第１の目的を達成するに当た
り、アーマチュアの振動と界磁ロッドの振動とを共振さ
せて、その共振エネルギーによりアーマチュアおよび界
磁ロッドを直線往復運動できるから、駆動する上で必要
な消費電力を小さくできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係るリニアアクチュエー
タの構成を一部切欠して示す斜視図。

【図２】第１実施例に係るリニアアクチュエータの構成
を示す縦断平面図。

【図３】第１実施例に係るリニアアクチュエータの構成
を図２中Ｚ−Ｚ線に沿って示す断面図。

【図４】本発明の第２実施例に係るリニアアクチュエー
タの構成を一部切欠して示す斜視図。

【図５】第２実施例に係るリニアアクチュエータの構成
を示す縦断平面図。

【符号の説明】

６…板ばね（第１の弾性体）、 ７…板ばね（第２の弾性体）、 １１…アーマチュア、 １２…パイプボビン、 １３…コイル、 １３ａ〜１３ｄ…コイル部、 １７…界磁ロッド。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】筒状をなすパイプボビンにコイルを交互に
   巻き方向を変えて間隔的に巻いて形成されたアーマチュ
   アと、 このアーマチュアに接続されて前記アーマチュアを軸方
   向に移動自在に支持した一対の第１弾性体と、 軸方向に沿ってＮ極とＳ極とを交互に有する棒状をな
   し、前記アーマチュアの空芯部に軸方向に移動自在に収
   納された界磁ロッドと、 このロッドの軸方向両端部に個別に接続して設けられ前
   記界磁ロッドをその軸方向に移動自在に支持した一対の
   第２弾性体とを具備したリニアアクチュエータ。
2. 【請求項２】所定周波数で前記コイルに投入される駆動
   電流により振動される前記アーマチュアの振動系の固有
   振動数と前記界磁ロッドの振動系の固有振動数とを近似
   させるとともに、これら固有振動数の周波数に前記駆動
   電流の周波数を近似させたことを特徴とする請求項１記
   載のリニアアクチュエータ。