WO2006067974A1 - 超電導磁気浮上による非接触搬送装置 - Google Patents

超電導磁気浮上による非接触搬送装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2006067974A1
WO2006067974A1 PCT/JP2005/022577 JP2005022577W WO2006067974A1 WO 2006067974 A1 WO2006067974 A1 WO 2006067974A1 JP 2005022577 W JP2005022577 W JP 2005022577W WO 2006067974 A1 WO2006067974 A1 WO 2006067974A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
magnetic levitation
superconducting magnetic
transport
contact
guide means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2005/022577
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Mochimitsu Komori
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyushu Institute of Technology NUC
Original Assignee
Kyushu Institute of Technology NUC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyushu Institute of Technology NUC filed Critical Kyushu Institute of Technology NUC
Priority to JP2006548795A priority Critical patent/JP4543181B2/ja
Priority to US11/793,202 priority patent/US7472786B2/en
Publication of WO2006067974A1 publication Critical patent/WO2006067974A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/36—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L13/00—Electric propulsion for monorail vehicles, suspension vehicles or rack railways; Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B60L13/04—Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B13/00—Other railway systems
    • B61B13/08—Sliding or levitation systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
    • F16C32/0406—Magnetic bearings
    • F16C32/0408—Passive magnetic bearings
    • F16C32/0436—Passive magnetic bearings with a conductor on one part movable with respect to a magnetic field, e.g. a body of copper on one part and a permanent magnet on the other part
    • F16C32/0438—Passive magnetic bearings with a conductor on one part movable with respect to a magnetic field, e.g. a body of copper on one part and a permanent magnet on the other part with a superconducting body, e.g. a body made of high temperature superconducting material such as YBaCuO
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H10P72/3204—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
    • H10P72/78—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using vacuum or suction, e.g. Bernoulli chucks
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2326/00—Articles relating to transporting
    • F16C2326/10—Railway vehicles

Definitions

  • Non-contact transfer device by superconducting magnetic levitation
  • the present invention relates to, for example, the transportation of semiconductor chips and precision parts in an airtight chamber (including a special gas atmosphere chamber and a vacuum chamber), an isolation chamber having a temperature different from that of the outside air, and a sterile chamber. It relates to a device for transporting samples and other objects (including parts, finished products, liquid or solid materials, animals, and plants) in a non-contact (or isolated) state.
  • the technology disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-310304 is such that a magnet array in which magnets are arranged and a superconductor repel each other, and one of them is levitated.
  • the magnet array (conveyance body) can be conveyed by moving the (usually superconductor).
  • vibration is generated in the floating magnet array.
  • this magnet row floats in free space due to the pinning effect, there is a problem that the vibration is permanent.
  • the present invention has been made in view of the circumstances, and even if there is a disturbance in the transported object (specifically, the transport table) or the superconductor transported in a non-contact manner by superconducting magnetic levitation, It is an object of the present invention to provide a non-contact transfer device using superconducting magnetic levitation that can suppress the vibration within a short time and can stably transfer a transfer object.
  • a non-contact transfer apparatus using superconducting magnetic levitation according to the present invention that meets the above-mentioned object has a plurality of permanent magnets provided at the bottom, and a transfer table that carries a transfer object.
  • a transport guide means provided with a superconductor disposed immediately below each permanent magnet of the transport table; a distance sensor provided in the transport guide means for detecting a distance between the transport table and the transport guide means;
  • a damping coil that is provided in the conveyance guide means and generates a magnetic field for damping the conveyance table by energization
  • a control unit that detects a displacement of the carriage by a signal from the distance sensor and controls a current flowing through the damping coil.
  • the transport guide means can be moved to move the transport base arranged with a gap from the transport guide means. it can. Even if vibration is generated in the conveyance guide means or vibration is generated directly in the conveyance table, the displacement is detected by the distance sensor, and an electric current is supplied to the vibration suppression coil. The vibration can be suppressed.
  • the transfer stand is disposed in a closed container (for example, a vacuum container), and the transfer guide means may be provided outside the closed container.
  • a closed container for example, a vacuum container
  • the conveyance guide means may be provided outside the closed container.
  • the superconductor is formed in a ring shape that is divided into a plurality of parts, and the damping coil is formed on the bottom of the ring-shaped superconductor. May be provided substantially concentrically.
  • the magnetic flux of the damping coil can effectively pass through the inner hole of the ring-shaped superconductor, and further, the magnetic flux is converged or strengthened by the surrounding superconductor, so that the damping coil is superconductive. Even if it is arranged at the lower part of the body, the magnetic action of the damping coil on the permanent magnet of the carriage is not attenuated. Therefore, as a result, the damping coil can be arranged under the superconductor, and the distance from the superconductor to the carrier can be reduced.
  • a magnetic body is provided at a central position of the transport base, and the damping coil is disposed at a position directly below the magnetic body. It may be what has been done. As a result, only one damping coil is required, and the device itself can be simplified.
  • the magnetic body is a second permanent magnet, and the damping coil exhibits a damping action in a short time with a large force more efficiently than the force required to make the air core coil force. it can.
  • the distance sensor is
  • the Hall element can be disposed on the superconductor.
  • the permanent magnets provided on the transport base are arranged in a Halbach array, and the magnetic poles of the permanent magnets are directed only below the transport base. It ’s better to do it.
  • the magnetic flux of the permanent magnet can be used more effectively, and the magnetic flux does not leak onto the transport table, so that the object to be transported is not affected by the magnetic field.
  • the control unit mainly performs differential control of the distance between the conveyance table and the conveyance guide means detected by the distance sensor! /, It ’s good! /
  • the permanent magnet floats on the superconductor due to the pinning effect, and when it moves up and down, it moves in the direction of the magnetic flux generated from the superconductor. Since a magnetic force is generated in the opposite direction, it has a so-called proportional control element.
  • a value obtained by differentiating the position (displacement) of the transport table is a predetermined control element. If the current of the magnitude is applied to the damping coil in the direction in which the carriage is braked, the vibration of the carriage can be stopped rapidly.
  • the superconductor can be cooled with a refrigerant (for example, liquid nitrogen, liquid helium, liquid argon, liquid hydrogen, etc.). Is good. This allows the device to be used continuously.
  • a refrigerant for example, liquid nitrogen, liquid helium, liquid argon, liquid hydrogen, etc.
  • FIG. 1 is an explanatory diagram of a non-contact transfer device using superconducting magnetic levitation according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 This is the bottom part of the transfer stand of the non-contact transfer apparatus.
  • FIG. 3 (A) and (B) are explanatory views of the superconductor of the non-contact transfer device.
  • FIG. 4 is an explanatory view of a non-contact transfer device using superconducting magnetic levitation according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 (A) and (B) are explanatory views of the superconductor of the non-contact transfer device.
  • FIG. 6 is a schematic configuration diagram of an apparatus used in an experimental example.
  • FIG. 7 is a graph showing the relationship between the output value of the Hall element and the gap.
  • FIG. 8 is a graph showing the relationship between the displacement of the carriage and the time when the damping coil is not operated.
  • FIG. 9 is a graph showing the relationship between the displacement of the carriage and the time when a damping coil is used.
  • the non-contact transfer device 10 by superconducting magnetic levitation includes a transfer table 12 that carries a silicon wafer 11 as an example of a transfer object, and the transfer table. And conveying guide means 13 for guiding 12.
  • the transport table 12 is housed in a vacuum container (or vacuum chamber) 14 which is an example of a hermetically sealed container, and the transport guide means 13 is provided outside the vacuum container 14 and directly below the transport table 12.
  • the bottom plate 15 of the vacuum vessel 14 has a non-magnetic material such as austenitic stainless steel.
  • the transport table 12 has a non-magnetic material on the upper side and a magnetic material force on the lower side, and permanent magnets 16 to 19 are provided at the four corners of the bottom of the transport table 12 as shown in FIG.
  • the magnetic poles of the permanent magnets 16 to 19 are arranged so that adjacent magnetic poles are different from each other.
  • the transport table 12 is for transporting the silicon wafer 11.
  • the sealed container is, for example, a hermetic chamber having a special environment, and a predetermined temperature condition is maintained. Transport special animals and plants There is also a case.
  • other numbers for example, 3 or 5 or more may be used depending on the force field in which the four permanent magnets 16 to 19 are provided.
  • the conveyance guide means 13 includes a frame (not shown) having non-magnetic physical force, and four superconductors 20 are provided immediately below the frame corresponding to the permanent magnets 16 to 19 described above.
  • a hall element 21 which is an example of a distance sensor is provided above each superconductor 20.
  • each superconductor 20 has a ring shape in which the conductor is divided into two at the center in an insulating state, and an inner hole 22 is formed at the center.
  • nonmagnetic and insulating plates 23 and 24 are provided above and below the superconductor 20, and a hole element 21 is arranged on the plate 23.
  • a damping coil 25 is provided concentrically at the bottom of the superconductor 20.
  • each superconductor 20 is covered with a heat insulator (not shown) and cooled to a critical temperature or lower (for example, minus 3K) by a refrigerator 26 attached to the conveyance guide means 13.
  • a critical temperature or lower for example, minus 3K
  • the conveyance guide means 13 is provided with a vertical movement mechanism and a horizontal movement mechanism (XY movement mechanism) (not shown) having a well-known structure, and can move up and down and move in a predetermined direction as required.
  • XY movement mechanism horizontal movement mechanism
  • the Hall element 21 provided at the upper part of each superconductor 20 detects the magnetic flux density of the permanent magnets 16 to 19 provided immediately above it and outputs the analog quantity to the control unit 27.
  • the control unit 27 converts the analog signal of the Hall element 21 into a digital signal and inputs it to an internal control means (for example, a computer).
  • the signal force of the Hall element 21 also calculates the distance to the permanent magnets 16 to 19 provided above each superconductor 20, and if necessary, a current is passed through the damping coil 25 to make it permanent. Vibration generated by applying a repulsive force or attractive force to the magnets 16 to 19 is suppressed.
  • the superconductor 20 is divided into two, and the current flowing in the superconductor 20 is in the direction of arrows e and f in FIG.
  • the magnetic flux can pass through and is further converged due to the superconductor 20, so that the magnetic flux can be applied to the permanent magnets 16 to 19 without being attenuated.
  • the transfer guide means 13 is disposed immediately below it, and each superconductor 2 is positioned immediately below each permanent magnet 16-19. 0 (in detail, in this state, the superconductor 20 is not cooled, so it is a normal conductor). In this state, the conveyance guide means 13 is raised so as to maintain a predetermined distance from the conveyance table 12. This predetermined distance is a distance that can lift the carrier 12 by the four superconductors 20. Next, the superconductor 20 is cooled by the refrigerator 26 to a temperature at which each superconductor 20 exhibits superconductivity.
  • the transport table 12 is a force that starts vibration in the vertical direction.
  • the displacement of this vibration is detected by the Hall element 21, and the displacement A current proportional to the differential component is passed through the damping coil 25.
  • the time constant of the damping coil 25 is sufficiently small.
  • the braking force F generated by the damping coil 25 is about 0.1 to 1.0 times the value B obtained by multiplying the speed or acceleration ⁇ when the carriage 12 is vibrating by the total weight m of the carriage 12 and the object to be conveyed. Is good. If this value B is small, the braking force F will be small and braking will not be applied. It takes time to brake the carriage 12, and if the value B is large, a large current is required and overbraking occurs. As a result, the vibration of the carriage 12 can be stopped in a relatively short time.
  • FIG. 4 Note that the same components as those of the non-contact transfer apparatus 10 using superconducting magnetic levitation according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
  • the non-contact transport device 30 by superconducting magnetic levitation has a transport base 31 and transport guide means 32.
  • the transport table 31 has permanent magnets 16 to 19 around the bottom as in the case of the transport table 12, but also includes a second permanent magnet 33, which is an example of a magnetic body, at the center of the bottom of the transport table 31.
  • the conveyance guide means 32 includes a superconductor 34 at a position corresponding to the permanent magnets 16 to 19, and a damping coil 35 that also has an air-core coil force at a position corresponding to the second permanent magnet 33.
  • the permanent magnets 16-19 and 33 shown here and the permanent magnets to which a further shortage is added can be arranged in a Halbach array. As a result, the magnetic flux on the upper side of the carriage 31 is lost or significantly reduced.
  • the superconductor 34 has a circular plate force as shown in FIGS. 5 (A) and 5 (B). If necessary, the superconductor 34 is cooled by a refrigerator to show superconductivity.
  • a hall element 36 as an example of a distance sensor is provided in the upper center of the conveyance guide means 32, and the magnetism of the second permanent magnet 33 provided on the conveyance table 31 is detected and conveyed from its strength. The distance between the base 31 and the conveyance guide means 32 is detected. Since the magnetic field generated from the damping coil 35 is determined by the current flowing through the damping coil 35, the value corresponding to the magnetic field generated by the damping coil 35 in the control unit 37 is subtracted from the output of the Hall element 36. Thus, the distance between the transport table 31 and the transport guide means 32 is measured.
  • control unit 37 is provided with a control means in which a predetermined program is written.
  • the conveyance table 31 is floated on the conveyance guide means 32 by the pinning effect, and the conveyance guide is provided. The carriage 31 is moved by moving the means 32. In this case, since only one hole element 36 is provided in the conveyance guide means 32, there is an advantage that the entire circuit is simplified.
  • the hall The distance signal between the carriage 31 and the conveyance guide means 32 detected by the element 36 is differentiated, and the differentiated signal is amplified and passed through the damping coil 35. As a result, the brake is suddenly applied to the vibration of the carriage 31 and the vibration is suppressed.
  • the apparatus 40 used in the experimental example uses a two-part superconductor 20 shown in FIG. 3, and a damping coil 25 is arranged at the bottom of the superconductor 20.
  • the Hall element 41 which is an example of a distance sensor, is placed on the superconductor 20 and displaced in the vertical direction of the disk-shaped permanent magnet 42 constituting the simulated carrier (that is, the permanent magnet 42 and the superconductor 20). ) Is detected.
  • Fig. 7 shows the relationship between the output value of the Hall element 41 and the gap. When the gap is changed based on the case where the permanent magnet 42 is in a predetermined position, the output of the Hall element 41 is proportional to the gap. I understand that
  • the signal of the Hall element 41 is fed back to the damping coil 25 via the AD converter 43, the differentiation circuit 44, the DA converter 45, and the amplifier circuit 46, and the displacement detected by the Hall element 41 decreases, that is, When the permanent magnet 42 is lowered, a current is passed through the damping coil 25 so that the permanent magnet 42 is raised.
  • FIG. 8 shows the measurement of the relationship between displacement and time when a carrying object of a predetermined weight is placed on the permanent magnet 42 so that no current flows through the damping coil 25. It can be seen that the permanent magnet 42 vibrates up and down over a considerably long time.
  • Fig. 9 shows the displacement of the permanent magnet 42 when a signal obtained by differentiating the signal detected by the Hall element 41 is added to the damping coil 25, and the vibration of the permanent magnet 42 is observed in a short time. Converge.
  • the Hall element is used as the distance sensor in the examples and the experimental examples, for example, an eddy current sensor, an ultrasonic sensor, a capacitance sensor, or an optical sensor may be used. it can.
  • the carrier table has a flat plate shape.
  • a container plate may be used according to the application.
  • positioned in a conveyance guide means and the damping coil are provided separately, these can also be combined. That is, if the damping coil is made of a superconducting material, the device itself can be made more compact.
  • the superconductor is cooled by a refrigerator, it is possible to use a refrigerant having a predetermined temperature or lower.
  • the non-contact transfer device using superconducting magnetic levitation can transfer an object in a non-contact state, for example, an object or substance in a chamber under different atmosphere and Z or temperature conditions can be transferred to the outside.
  • the force can also be moved, and it can be used particularly effectively for moving and transporting semiconductor elements and parts in the chamber, or for transporting samples and bacteria in a sterile room.
  • the vibration transmitted to the transfer object is suppressed even if there is vibration from the outside during transfer that is less affected by external vibration. Can be transported while.
  • the transfer object placed on the transfer table up and down. Therefore, when combined with the horizontal movement of the transfer table, the transfer object can be moved in three dimensions. It becomes.
  • the transfer platform when the transfer platform is attached to the tip of the robot hand and moved back and forth, and left and right, the object to be transferred can be remotely operated while being isolated from the transfer platform. Therefore, for example, when the transfer object has a high potential, the transfer object can be moved in an insulated state from the transfer table in the ground state.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

複数の永久磁石（１６）～（１９）が底部に設けられ、搬送対象物（１１）を運ぶ搬送台（１２）と、搬送台（１２）の各永久磁石（１６）～（１９）の直下に配置される超電導体（２０）を備えた搬送案内手段（１３）と、搬送案内手段（１３）に設けられて、搬送台（１２）と搬送案内手段（１３）との距離を検知する距離センサ（２１）と、搬送案内手段（１３）に設けられて、通電によって搬送台（１２）を制振するための磁界を発生させる制振コイル（２５）と、距離センサ（２１）の信号によって搬送台（１２）の振動を検知し、制振コイル（２５）に流す電流を制御する制御部（２７）とを有する。これによって、超電導磁気浮上によって非接触で搬送している搬送対象物（１１）等に外乱があっても、短時間のうちにその振動が収まり、安定して搬送対象物（１１）を搬送可能な超電導磁気浮上による非接触搬送装置（１０）を提供できる。

Description

明 細 書
超電導磁気浮上による非接触搬送装置
技術分野
[0001] 本発明は、例えば、気密室 (特殊ガス雰囲気チャンバ一、及び真空チャンバ一を含 む)や温度が外気と異なる隔離室等での半導体チップや精密部品の搬送、無菌室 等での試料の搬送、その他物体 (部品、完成品、液状又は固形状物、動物、及び植 物を含む)を非接触 (又は隔離状態)で搬送する装置に関する。
背景技術
[0002] 現在、半導体製造においては、ミクロンサイズでのゴミの存在も許容されないクリーン な真空室 (真空槽)で行う必要がある。この真空室等でシリコンゥ ーハ等を移動させ るには、無発塵のクリーンロボットを用いる必要があり、半導体の製造装置自体から 隔離され、密閉された真空室内で全ての処理工程を完了することが望まれている。 このような真空室 (又は密閉室）内にある物体を真空室外力 操作して移動させるに は、例えば、超電導による磁気浮上搬送装置を用いることが好ましい。このような超電 導を用いた磁気浮上装置が、例えば、日本国特開昭 63— 310304号公報に開示さ れている。
[0003] 日本国特開昭 63— 310304号公報に開示の技術は、磁石を配列した磁石列と超電 導体とを互いに反発させ、その一方を浮上させるようにしたものであり、いずれか一方 (通常、超電導体)を移動させて磁石列 (搬送体)を搬送可能とするものである。しか しながら、この特許公報の技術において、超電導体に衝撃等の外乱があった場合、 浮上している磁石列に振動が発生する。そして、この磁石列はピン止め効果によって 自由空間に浮上状態であるので、振動が永続するという問題があった。
発明の開示
[0004] 本発明はカゝかる事情に鑑みてなされたもので、超電導磁気浮上によって非接触で搬 送している搬送物（具体的には搬送台）又は超電導体に外乱があっても、短時間のう ちにその振動が収まり、安定して搬送物を搬送可能な超電導磁気浮上による非接触 搬送装置を提供することを目的とする。 [0005] 前記目的に沿う本発明に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置は、複数の永 久磁石が底部に設けられ、搬送対象物を運ぶ搬送台と、
前記搬送台の各永久磁石の直下に配置される超電導体を備えた搬送案内手段と、 前記搬送案内手段に設けられて、前記搬送台と前記搬送案内手段との距離を検知 する距離センサと、
前記搬送案内手段に設けられて、通電によって前記搬送台を制振するための磁界 を発生させる制振コイルと、
前記距離センサの信号によって前記搬送台の変位を検知し、前記制振コイルに流す 電流を制御する制御部とを有する。
[0006] 本発明に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置においては、搬送案内手段を 移動させること〖こよって、搬送案内手段とは隙間を有して配置された搬送台を移動さ せることができる。そして、仮に搬送案内手段に振動が発生し、又は搬送台に直接振 動が発生した場合であっても、距離センサによってその変位を検知し、制振コイルに 電流を流して、短時間のうちにその振動を抑制することができる。
[0007] 本発明に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記搬送台は密閉 容器 (例えば、真空容器)内に配置され、前記搬送案内手段は前記密閉容器外に設 けることもでき、これによつて、搬送案内手段を移動させることによって、密閉容器内 の搬送台及びそれに載っている搬送対象物 (例えば、シリコン等）が移動する。
[0008] 本発明に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記超電導体は複 数に分割されたリング状となって、該リング状となった超電導体の底部に前記制振コ ィルが実質同心状に設けられているものであってもよい。これによつて、リング状の超 電導体の内孔は制振コイルの磁束が有効に通過でき、更に周囲の超電導体によつ てこの磁束が収束又は強化されるので、制振コイルを超電導体の下部に配置しても 、搬送台の永久磁石に対する制振コイルの磁気作用が減衰することがない。従って、 結果として制振コイルを超電導体の下に配置できるので、超電導体から搬送台まで の距離を小さくすることができる。
[0009] また、本発明に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置にお!、て、前記搬送台 の中央位置に磁性体が設けられ、前記制振コイルは前記磁性体の直下位置に配置 されているものであってもよい。これによつて、制振コイルが一つで済み装置自体の 簡略化が可能となる。この場合、前記磁性体は第 2の永久磁石であって、前記制振コ ィルは空心コイル力 なるようにするの力 より効率的に、大きな力で短時間のうちに 制振作用を発揮できる。
[0010] 本発明に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記距離センサは
、前記搬送案内手段の上に配置されたホール素子力 構成することも可能である。こ れによって搬送台に設けられた永久磁石の磁気を検知し、搬送台と搬送案内手段と の距離を測定できる。この場合、ホール素子が制振コイルによって発生する磁気の影 響を受ける場合には、制振コイルによって発生する磁場の出力を最終出力から差し 引いて出力することになる。なお、ここで、前記ホール素子は前記超電導体の上に配 置することも可能である。
[0011] また、本発明に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記搬送台 に設けられている永久磁石はハルバッハ配列されて、該搬送台の下方にのみ前記 永久磁石の磁極が向 、て 、るのがより好まし 、。これによつて永久磁石の磁束をより 有効に利用できると共に、搬送台の上に磁束が漏洩しないので、搬送対象物が磁場 による影響を受けないことになる。
[0012] 本発明に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記制御部は、前 記距離センサによって検知された前記搬送台と前記搬送案内手段との距離の微分 制御を主体として!/、るのがよ!/、。超電導体の上に永久磁石を有する搬送台を配置す る場合には、ピン止め効果によって永久磁石は超電導体の上に浮上し、上下した場 合には超電導体から発生する磁束によって移動する方向と反対方向に磁力が発生 するので、自身が所謂比例制御の要素を有している。一方、搬送台に振動が発生し た場合には、この振動を超電導体と永久磁石との間の力によって抑制できるので、搬 送台の位置 (変位)を微分した値を制御要素とする所定の大きさの電流を、搬送台が 制動する方向に制振コイルに流すと、急速に搬送台の振動を止めることができる。
[0013] 本発明に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、超電導体は、冷媒（ 例えば液体窒素、液体ヘリウム、液体アルゴン、液体水素等)で冷却することもできる 力 冷凍機で冷却するのがよい。これによつて、装置を連続的に使用することができ る。
図面の簡単な説明
[0014] [図 1]本発明の第 1の実施例に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置の説明図 である。
[図 2]同非接触搬送装置の搬送台の底面部である。
[図 3] (A)、 (B)は同非接触搬送装置の超電導体の説明図である。
[図 4]本発明の第 2の実施例に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置の説明図 である。
[図 5] (A)、 (B)は同非接触搬送装置の超電導体の説明図である。
[図 6]実験例で使用した装置の概略構成図である。
[図 7]ホール素子の出力値とギャップとの関係を示すグラフである。
[図 8]制振コイルを作動させない場合の搬送台の変位と時間の関係を示すグラフであ る。
[図 9]制振コイルを使用した場合の搬送台の変位と時間の関係を示すグラフである。 発明を実施するための最良の形態
[0015] 続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施例につき説明し、本 発明の理解に供する。
図 1に示すように、本発明の第 1の実施例に係る超電導磁気浮上による非接触搬送 装置 10は、搬送対象物の一例であるシリコンゥエーハ 11を運ぶ搬送台 12と、この搬 送台 12を誘導する搬送案内手段 13とを有している。搬送台 12は密閉容器の一例で ある真空容器 (又は真空室） 14内に収納され、搬送案内手段 13は真空容器 14の外 部でかつ搬送台 12の直下に設けられている。真空容器 14の底板 15は非磁性体物 質、例えばオーステナイトステンレス鋼力もなつて 、る。
[0016] 搬送台 12は上側が非磁性物質で下側が磁性物質力もなつて、図 2に示すように、搬 送台 12の底部 4隅に永久磁石 16〜19が設けられている。永久磁石 16〜19の磁極 は隣り合う磁極が異極となるように配置されている。なお、この実施例では搬送台 12 はシリコンゥエーハ 11を搬送するためのものであるが、密閉容器が例えば、特殊な環 境の気密室であって、所定の温度条件が保持され、細菌や特殊な動植物を搬送す る場合もある。また、この実施例では 4つの永久磁石 16〜19が設けられている力 場 合によってその他の数、例えば、 3又は 5以上であってもよい。
[0017] 搬送案内手段 13は、図示しない非磁性体力もなるフレームを備え、このフレームに 4 つの超電導体 20が、前記した永久磁石 16〜19に対応してその直下に設けられてい る。各超電導体 20の上部には距離センサの一例であるホール素子 21が設けられて いる。各超電導体 20は、図 3 (A)に示すように、導体が中央で絶縁状態で 2分割され たリング状となって、中央に内孔 22が形成されている。図 3 (B)に示すように、超電導 体 20の上下には非磁性かつ絶縁体の板 23、 24が設けられ、板 23の上にホール素 子 21が配置されている。超電導体 20の底部には同心状に制振コイル 25が設けられ ている。
更には、各超電導体 20の周囲は図示しない熱絶縁物で覆われていると共に、搬送 案内手段 13に付設する冷凍機 26によって臨界温度以下 (例えば、マイナス 3K)に 冷却されている。
搬送案内手段 13には、周知構造の図示しない上下移動機構と横移動機構 (XY移 動機構)が設けられ、必要によって上昇及び下降並びに所定方向への横移動ができ るようになっている。
[0018] 各超電導体 20の上部に設けられているホール素子 21は、その直上に設けられてい る永久磁石 16〜19の磁束密度を検知しそのアナログ量を制御部 27に出力するよう にして 、る。制御部 27ではこのホール素子 21のアナログ信号をデジタル信号に変換 し、内部の制御手段 (例えば、コンピュータ）に入力するようになっている。この制御手 段では、このホール素子 21の信号力も各超電導体 20の上方に設けられている永久 磁石 16〜19までの距離を演算し、必要な場合、制振コイル 25に電流を流して永久 磁石 16〜19に反発力又は吸引力を与えて発生する振動を抑制するようになってい る。
この場合、制振コイル 25に電流を流すと、内孔 22を貫通する磁場が発生し、これに よって、ホール素子 21の出力にも影響が現れるので、制御手段内部で、制振コイル 25によって発生する磁束密度の分だけホール素子 21の測定値力もキャンセルして、 ホール素子 21の測定値が正し 、値となるように補正して 、る。 [0019] 制御手段においては、ホール素子 21に測定された超電導体 20とその上の永久磁石 16〜19との距離 Lを連続的に入力し、この時間微分値を増幅 (即ち、比例定数: k) して制振コイル 25に流して、距離 Lの変動分を抑制している。これによつて、搬送台 1 2が衝撃等で上方又は下方に移動すると、超電導体 20から逆方向の力が働き、これ によって搬送台 12に上下振動が発生する力 制振コイル 25に流す電流によってこ の振動を抑制することになる。
この場合、超電導体 20は 2つ割りされており、超電導体 20内を流れる電流は図 3 (A )の矢印方向 e、 f又はその反対方向になるので、内孔 22には制振コイル 25の磁束が 通過でき、更には、超電導体 20のために収束されるので、磁束を減衰させることなく 永久磁石 16〜 19に作用させることができる。
[0020] 続いて、この超電導磁気浮上による非接触搬送装置 10の動作について不足する部 分を説明する。
まず、搬送台 12の上に所定の搬送対象物 (シリコンゥエーハ 11)を載置した状態で、 搬送案内手段 13をその直下に配置し、各永久磁石 16〜19の直下に各超電導体 2 0 (なお、詳細にはこの状態では、超電導体 20は冷却していないので通常の導体で ある）を位置させる。この状態で、搬送案内手段 13を上昇させて、搬送台 12との間で 所定の距離を保つようにする。この所定の距離は、 4つの超電導体 20で、搬送台 12 を持ち上げることが可能な距離とする。次に、超電導体 20を冷凍機 26で冷却して、 各超電導体 20が超電導性を発揮する温度にする。この状態で、搬送案内手段 13を 所定の長さ上昇させると、これに伴い搬送台 12が真空容器 14内で浮上し、搬送案 内手段 13を横移動させると、これに伴い搬送台 12も横移動し、結果として搬送台 12 に搭載されて!ヽる搬送対象物を搬送できる。
[0021] この状態で、搬送台 12又は搬送案内手段 13に上下方向の衝撃が加わると、搬送台 12は上下方向に振動を始める力 この振動の変位をホール素子 21で検知し、この 変位の微分成分に比例する電流を制振コイル 25に流す。なお、制振コイル 25の時 定数は十分に小さい。制振コイル 25によって発生する制動力 Fは、搬送台 12の振動 時の速度又は加速度 αに搬送台 12と搬送対象物の合計重量 mを掛けた値 Bの 0. 1 〜1. 0倍程度がよい。この値 Bが小さいと制動力 Fが小さくなつて、制動が掛カもず 搬送台 12を制動させるのに時間がかかり、値 Bが大きいと大電流を必要とし、過制動 になる。これによつて比較的短時間に、搬送台 12の振動を止めることができる。
[0022] 続いて、図 4、図 5を参照しながら、本発明の第 2の実施例に係る超電導磁気浮上に よる非接触搬送装置 30について説明する。なお、第 1の実施例に係る超電導磁気浮 上による非接触搬送装置 10と同一の構成要素については同一の符号を付してその 詳しい説明を省略する。
図 4に示すように、本発明の第 2の実施例に係る超電導磁気浮上による非接触搬送 装置 30は、搬送台 31と搬送案内手段 32とを有している。搬送台 31は搬送台 12と同 じょうに底部周囲に永久磁石 16〜19を有しているが、搬送台 31の底部中央にも磁 性体の一例である第 2の永久磁石 33を備えている。一方、搬送案内手段 32は、永 久磁石 16〜19に符合する位置に超電導体 34をそれぞれ備え、第 2の永久磁石 33 に符合する位置には空心コイル力もなる制振コイル 35を備えている。
なお、ここで示す永久磁石 16〜19、 33及び、更に不足する分を追加した永久磁石 を、ハルバッハ配列にすることもできる。これによつて、搬送台 31の上側は磁束が無く なるか、著しく減少する。
[0023] 超電導体 34は、図 5 (A)、（B)に示すように円形の板力もなつて、必要な場合、周囲 を冷凍機によって冷却され、超電導性を示すようになつている。また、搬送案内手段 32の上部中央には、距離センサの一例であるホール素子 36が設けられ、搬送台 31 に設けられている第 2の永久磁石 33の磁気を検知し、その強さから搬送台 31と搬送 案内手段 32との距離を検知している。なお、制振コイル 35から発生する磁場は制振 コイル 35に流す電流で決定されるので、制御部 37内で制振コイル 35によって発生 する磁場に対応する値を、ホール素子 36の出力から差し引いて、搬送台 31と搬送 案内手段 32との距離を測定している。
[0024] この実施例においても同様、制御部 37には所定のプログラムが記載された制御手段 が設けられ、通常はピン止め効果によって搬送台 31を搬送案内手段 32の上に浮上 させ、搬送案内手段 32を動かすことによって搬送台 31を移動させる。この場合、ホー ル素子 36は搬送案内手段 32に一つしか設けられていないので、全体の回路が簡略 化するという利点がある。 また、搬送案内手段 32又は搬送台 31の動作異常又は負荷異変 (例えば、搬送台 3 1の搬送対象物を取り除く又は載置する）等で、搬送台 31に振動が発生した場合、ホ ール素子 36で検知された搬送台 31と搬送案内手段 32との距離信号を微分し、この 微分した信号を増幅して制振コイル 35に流す。これによつて、搬送台 31の振動に急 激にブレーキが掛かり、振動が抑制される。
実験例
[0025] 次に、本発明の作用、効果を確認するために行った実験例について説明する。
図 6に示すように、実験例に使用した装置 40は、図 3に示す 2分割型の超電導体 20 を使用し、この超電導体 20の底部に制振コイル 25を配置している。距離センサの一 例であるホール素子 41は、超電導体 20の上に載せて、模擬搬送台を構成する円板 状の永久磁石 42の上下方向の変位（即ち、永久磁石 42と超電導体 20とのギャップ） を検知している。図 7にはこのホール素子 41の出力値とギャップとの関係を示すが、 永久磁石 42が所定の位置にある場合を基準としてギャップを変えた場合、ホール素 子 41の出力とギャップとは比例することが分かる。
[0026] ホール素子 41の信号は AD変換器 43、微分回路 44、 DA変換器 45及び増幅回路 4 6を介して制振コイル 25にフィードバックされ、ホール素子 41が検知した変位が減少 方向、即ち、永久磁石 42が下降した場合には、永久磁石 42を上昇させるように制振 コイル 25に電流を流している。増幅回路 46にはその増幅を変えるボリゥム（可変抵抗 器)が設けられて、 DA変換されたアナログ信号を任意の大きさに増幅することができ 、実際は永久磁石 42の振動が最小限になるように予め調整しておくことになるが、具 体的には、永久磁石 42の発生する速度又は加速度 Pに対応する大きさの負の速度 又は加速度 Q (Q = 0. 1P〜P)をカ卩えている。
[0027] 図 8は制振コイル 25に電流が流れないようにして、永久磁石 42の上に所定重量の搬 送対象物を載せた場合の、変位と時間の関係を測定したものであるが、相当長期の 時間にわたって永久磁石 42が上下に振動していることが分かる。図 9は制振コイル 2 5にホール素子 41で検知した信号を微分した信号を加えた場合の永久磁石 42の変 位を測定して 、るが、短時間のうちに永久磁石 42の振動が収束して 、る。
以上の実験例から、超電導磁気浮上による非接触搬送においては、制振コイルに距 離センサで測定した信号を微分する信号をフィードバックする制御 (即ち、微分制御) が有効であることが分かる。
[0028] 前記実施例及び実験例にお!、ては、距離センサとしてホール素子を用いたが、例え ば、渦電流センサ、超音波センサ、静電容量センサ、又は光センサ等を用いることも できる。
搬送台はこの実施例では平板状としたが、用途に合わせて例えば容器状のものを採 用することちでさる。
また、前記実施例において、搬送案内手段内に配置された超電導体と制振コイルと を別々に設けているが、これらを兼用させることもできる。即ち、制振コイルを超電導 物質によって構成すると、装置自体を更にコンパクトに構成できる。
更には、超電導体の冷却を冷凍機で行っているが、所定温度以下の冷媒を使用す ることちでさる。
産業上の利用可能性
[0029] 本発明に係る超電導磁気浮上による非接触搬送装置は、非接触状態で物体を搬送 可能であるので、例えば、異なる雰囲気及び Z又は温度条件にあるチャンバ一内に ある物体や物質を外部力も動かすことができ、チャンバ一内にある半導体素子やそ の部品等の移動や搬送、又は無菌室等での試料や細菌の搬送に特に有効に利用 できる。
また、搬送台に載った搬送対象物が浮いているので、外部からの振動に対して影響 を受けることが少なぐ搬送途中に外部から振動があっても、搬送対象物に伝わる振 動を抑制しながら搬送できる。
更に、制振コイルに流す電流を制御することによって搬送台に載った搬送対象物を 上下動させることもでき、従って、搬送台の水平移動と合成すると、搬送対象物の三 次元空間移動が可能となる。
特に、搬送台をロボットハンドの先に取付けて前後左右させた場合には、搬送対象 物を搬送台から隔離状態で遠隔操作できる。従って、例えば、搬送対象物が高電位 を有する場合、アース状態にある搬送台から絶縁状態で搬送対象物を移動させるこ とがでさる。

Claims

請求の範囲
[1] 複数の永久磁石が底部に設けられ、搬送対象物を運ぶ搬送台と、
前記搬送台の各永久磁石の直下に配置される超電導体を備えた搬送案内手段と、 前記搬送案内手段に設けられて、前記搬送台と前記搬送案内手段との距離を検知 する距離センサと、
前記搬送案内手段に設けられて、通電によって前記搬送台を制振するための磁界 を発生させる制振コイルと、
前記距離センサの信号によって前記搬送台の変位を検知し、前記制振コイルに流す 電流を制御する制御部とを有することを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬 送装置。
[2] 請求項 1記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置において、前記搬送台は密 閉容器内に配置され、前記搬送案内手段は前記密閉容器外に設けられていることを 特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
[3] 請求項 1及び 2のいずれか 1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置に おいて、前記超電導体は複数に分割されたリング状となって、該リング状となった超 電導体の底部に前記制振コイルが実質同心状に設けられていることを特徴とする超 電導磁気浮上による非接触搬送装置。
[4] 請求項 1及び 2のいずれか 1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置に おいて、前記搬送台の中央位置に磁性体が設けられ、前記制振コイルは前記磁性 体の直下位置に配置されていることを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送 装置。
[5] 請求項 4記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置にお 、て、前記磁性体は第
2の永久磁石であって、前記制振コイルは空心コイル力 なることを特徴とする超電 導磁気浮上による非接触搬送装置。
[6] 請求項 1〜5のいずれか 1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置にお いて、前記距離センサは、前記搬送案内手段の上に配置されたホール素子からなる ことを特徴とする超電導磁気浮上による非接触搬送装置。
[7] 請求項 6記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置にお 、て、前記ホール素子 は前記超電導体の上に配置されていることを特徴とする超電導磁気浮上による非接 触搬送装置。
[8] 請求項 1〜7のいずれか 1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置にお いて、前記搬送台に設けられている永久磁石はハルバッハ配列されて、該搬送台の 下方にのみ前記永久磁石の磁極が向いていることを特徴とする超電導磁気浮上によ る非接触搬送装置。
[9] 請求項 1〜8のいずれか 1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置にお いて、前記制御部は、前記距離センサによって検知された前記搬送台と前記搬送案 内手段との距離の微分制御を主体としていることを特徴とする超電導磁気浮上による 非接触搬送装置。
[10] 請求項 1〜9のいずれか 1項に記載の超電導磁気浮上による非接触搬送装置にお Vヽて、前記超電導体は冷媒又は冷凍機によって冷却されて!ヽることを特徴とする超 電導磁気浮上による非接触搬送装置。
PCT/JP2005/022577 2004-12-20 2005-12-08 超電導磁気浮上による非接触搬送装置 Ceased WO2006067974A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006548795A JP4543181B2 (ja) 2004-12-20 2005-12-08 超電導磁気浮上による非接触搬送装置
US11/793,202 US7472786B2 (en) 2004-12-20 2005-12-08 Non-contact conveying device using superconducting magnetic levitation

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004-368136 2004-12-20
JP2004368136 2004-12-20

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2006067974A1 true WO2006067974A1 (ja) 2006-06-29

Family

ID=36601576

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2005/022577 Ceased WO2006067974A1 (ja) 2004-12-20 2005-12-08 超電導磁気浮上による非接触搬送装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7472786B2 (ja)
JP (1) JP4543181B2 (ja)
KR (1) KR100827738B1 (ja)
WO (1) WO2006067974A1 (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008042995A (ja) * 2006-08-02 2008-02-21 Kyushu Institute Of Technology 磁性体を用いた非接触磁気浮上方法及びこれを用いた非接触磁気浮上装置
JP2009021590A (ja) * 2007-07-10 2009-01-29 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置及び位置センサ
JP2015161002A (ja) * 2014-02-27 2015-09-07 公立大学法人高知工科大学 鋼板の非接触型位置決め装置
JP2017522564A (ja) * 2014-07-24 2017-08-10 エフ．ホフマン−ラ ロシュ アーゲーＦ． Ｈｏｆｆｍａｎｎ−Ｌａ Ｒｏｃｈｅ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ラボラトリ試料分配システムおよびラボラトリ自動化システム
JP2017527804A (ja) * 2014-09-09 2017-09-21 エフ．ホフマン−ラ ロシュ アーゲーＦ． Ｈｏｆｆｍａｎｎ−Ｌａ Ｒｏｃｈｅ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ラボラトリ試料分配システムおよびラボラトリ自動化システム
JP2019532486A (ja) * 2017-08-24 2019-11-07 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 真空処理システムにおけるデバイスの非接触搬送用の装置及び方法
JP2019533896A (ja) * 2017-09-15 2019-11-21 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ キャリア浮揚システムの整列を判断する方法
CN110859042A (zh) * 2018-06-26 2020-03-03 应用材料公司 用于测量到铁磁元件的距离的距离传感器、磁性悬浮系统和用于测量到铁磁元件的距离的方法
JP2022508019A (ja) * 2018-09-19 2022-01-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 磁気浮上システム、磁気浮上システムのベース、真空システム、及び真空チャンバにおいてキャリアを非接触で保持及び移動させる方法

Families Citing this family (84)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1917447B1 (en) * 2005-08-23 2013-07-10 Korea Institute Of Machinery & Materials Static bearing apparatus having magnetically preloading and motional error correcting functions
US9033156B2 (en) * 2006-12-21 2015-05-19 M-I L.L.C. Electromagnetic separation for shakers
KR101563380B1 (ko) * 2007-12-28 2015-11-06 램 리써치 코포레이션 웨이퍼 캐리어 드라이브 장치 및 이를 동작시키는 방법
KR101009465B1 (ko) * 2008-12-18 2011-01-19 한국기계연구원 할바흐 배열을 이용한 자기 부상 시스템 및 자기 부상 방법
JP5677785B2 (ja) 2009-08-27 2015-02-25 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法
DE102010028769A1 (de) 2010-05-07 2011-11-10 Pvt Probenverteiltechnik Gmbh System zum Transportieren von Behältern zwischen unterschiedlichen Stationen und Behälterträger
US8715518B2 (en) 2011-10-12 2014-05-06 Intermolecular, Inc. Gas barrier with vent ring for protecting a surface region from liquid
KR101230045B1 (ko) * 2011-04-19 2013-02-05 주식회사 에스에프에너지 영구자석모듈을 갖는 자기부상 크래프트
KR20130004830A (ko) 2011-07-04 2013-01-14 삼성디스플레이 주식회사 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
JP2013062316A (ja) * 2011-09-12 2013-04-04 Tokyo Electron Ltd 搬送装置及びプラズマ処理システム
EP2589967A1 (en) 2011-11-04 2013-05-08 Roche Diagnostics GmbH Laboratory sample distribution system and corresponding method of operation
EP2589968A1 (en) 2011-11-04 2013-05-08 Roche Diagnostics GmbH Laboratory sample distribution system, laboratory system and method of operating
EP2589966A1 (en) 2011-11-04 2013-05-08 Roche Diagnostics GmbH Laboratory sample distribution system and corresponding method of operation
US8617409B2 (en) 2011-11-22 2013-12-31 Intermolecular, Inc. Magnetically levitated gas cell for touchless site-isolated wet processing
US9016289B2 (en) 2011-11-28 2015-04-28 Intermolecular, Inc. System and method for reducing particles and marks on wafer surface following reactor processing
KR102081284B1 (ko) * 2013-04-18 2020-02-26 삼성디스플레이 주식회사 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조 방법 및 유기발광 디스플레이 장치
EP2927163B1 (de) 2014-03-31 2018-02-28 Roche Diagnostics GmbH Vertikalfördervorrichtung, Probenverteilungssystem und Laborautomatisierungssystem
EP2927625A1 (de) 2014-03-31 2015-10-07 Roche Diagniostics GmbH Probenverteilungssystem und Laborautomatisierungssystem
EP2927167B1 (de) 2014-03-31 2018-04-18 F. Hoffmann-La Roche AG Versandvorrichtung, Probenverteilungssystem und Laborautomatisierungssystem
EP2927168A1 (de) 2014-03-31 2015-10-07 Roche Diagniostics GmbH Transportvorrichtung, Probenverteilungssystem und Laborautomatisierungssystem
WO2016000731A1 (de) * 2014-07-02 2016-01-07 Festo Ag & Co. Kg Transportsystem mit wälzen mit supraleitendem magnetlager
WO2016019968A1 (de) * 2014-08-07 2016-02-11 Festo Ag & Co. Kg Fördereinrichtung mit einer supraleiter/permanentmagneten antriebsanordnung
EP2995960B1 (en) 2014-09-09 2020-07-15 Roche Diagniostics GmbH Laboratory sample distribution system and method for calibrating magnetic sensors
US9952242B2 (en) 2014-09-12 2018-04-24 Roche Diagnostics Operations, Inc. Laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP2995958A1 (en) 2014-09-15 2016-03-16 Roche Diagniostics GmbH Method of operating a laboratory sample distribution system, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3006943B1 (en) 2014-10-07 2020-04-22 Roche Diagniostics GmbH Module for a laboratory sample distribution system, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
WO2016068363A1 (ko) 2014-10-31 2016-05-06 연세대학교 산학협력단 초전도 코일을 사용한 고속 물체 부상 장치 및 그 방법
EP3016116A1 (en) 2014-11-03 2016-05-04 Roche Diagniostics GmbH Printed circuit board arrangement, coil for a laboratory sample distribution system, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3070479B1 (en) 2015-03-16 2019-07-03 Roche Diagniostics GmbH Transport carrier, laboratory cargo distribution system and laboratory automation system
EP3537160B1 (en) 2015-03-23 2020-08-12 Roche Diagnostics GmbH Laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3095739A1 (en) 2015-05-22 2016-11-23 Roche Diagniostics GmbH Method of operating a laboratory sample distribution system, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3096146A1 (en) 2015-05-22 2016-11-23 Roche Diagniostics GmbH Method of operating a laboratory sample distribution system, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3112874A1 (en) 2015-07-02 2017-01-04 Roche Diagnostics GmbH Storage module, method of operating a laboratory automation system and laboratory automation system
EP3121603A1 (en) 2015-07-22 2017-01-25 Roche Diagnostics GmbH Sample container carrier, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
CN105128693B (zh) * 2015-08-24 2017-08-29 中国人民解放军国防科学技术大学 一种中低速磁浮列车气隙检测系统及方法
EP3139175B1 (en) 2015-09-01 2021-12-15 Roche Diagnostics GmbH Laboratory cargo distribution system, laboratory automation system and method of operating a laboratory cargo distribution system
EP3153866A1 (en) 2015-10-06 2017-04-12 Roche Diagnostics GmbH Method of determining a handover position and laboratory automation system
EP3153867B1 (en) * 2015-10-06 2018-11-14 Roche Diagniostics GmbH Method of configuring a laboratory automation system, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3156352B1 (en) 2015-10-13 2019-02-27 Roche Diagniostics GmbH Laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3156353B1 (en) 2015-10-14 2019-04-03 Roche Diagniostics GmbH Method of rotating a sample container carrier, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
US9862006B2 (en) 2015-12-29 2018-01-09 Solarcity Corporation Systems for levitating a metallic tray
EP3211429A1 (en) 2016-02-26 2017-08-30 Roche Diagnostics GmbH Transport device having a tiled driving surface
EP3211428A1 (en) 2016-02-26 2017-08-30 Roche Diagnostics GmbH Transport device unit for a laboratory sample distribution system
EP3211430A1 (en) 2016-02-26 2017-08-30 Roche Diagnostics GmbH Transport device with base plate modules
US9469395B1 (en) * 2016-03-14 2016-10-18 Arnav Simha Multi-layer body with active mitigation for turbulence reduction
CN109196363A (zh) 2016-06-03 2019-01-11 豪夫迈·罗氏有限公司 实验室样品分配系统和实验室自动化系统
EP3255519B1 (en) 2016-06-09 2019-02-20 Roche Diagniostics GmbH Laboratory sample distribution system and method of operating a laboratory sample distribution system
EP3260867A1 (en) 2016-06-21 2017-12-27 Roche Diagnostics GmbH Method of setting a handover position and laboratory automation system
JP6752350B2 (ja) 2016-08-04 2020-09-09 エフ．ホフマン−ラ ロシュ アーゲーＦ． Ｈｏｆｆｍａｎｎ−Ｌａ Ｒｏｃｈｅ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ラボラトリ試料分配システム及びラボラトリ自動化システム
EP3330717B1 (en) 2016-12-01 2022-04-06 Roche Diagnostics GmbH Laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3343232B1 (en) 2016-12-29 2021-09-15 Roche Diagnostics GmbH Laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3355065B1 (en) 2017-01-31 2021-08-18 Roche Diagnostics GmbH Laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3357842B1 (en) 2017-02-03 2022-03-23 Roche Diagnostics GmbH Laboratory automation system
DE102017002542A1 (de) 2017-03-16 2018-09-20 Applied Materials, Inc. (N.D.Ges.D. Staates Delaware) Vorrichtung zum Halten, Positionieren und/oder Bewegen eines Objekts
EP3410123B1 (en) 2017-06-02 2023-09-20 Roche Diagnostics GmbH Method of operating a laboratory sample distribution system, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3428653B1 (en) 2017-07-13 2021-09-15 Roche Diagnostics GmbH Method of operating a laboratory sample distribution system, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3456415B1 (en) 2017-09-13 2021-10-20 Roche Diagnostics GmbH Sample container carrier, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3457144B1 (en) 2017-09-13 2021-10-20 Roche Diagnostics GmbH Sample container carrier, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
CN111684173B (zh) * 2018-01-25 2023-07-14 应用材料公司 在真空环境中非接触式运输载体的磁浮系统及方法
EP3537159B1 (en) 2018-03-07 2022-08-31 Roche Diagnostics GmbH Method of operating a laboratory sample distribution system, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
EP3540443B1 (en) 2018-03-16 2023-08-30 Roche Diagnostics GmbH Laboratory system, laboratory sample distribution system and laboratory automation system
US10748389B2 (en) * 2018-06-15 2020-08-18 Immersion Corporation Damping for a haptic actuator
CN109019023B (zh) * 2018-06-29 2020-07-31 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 基板传送装置及系统
DE102018211839A1 (de) * 2018-07-17 2020-01-23 Bausch + Ströbel Maschinenfabrik Ilshofen GmbH + Co. KG Transportsystem
JP7231721B2 (ja) 2018-10-04 2023-03-01 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 搬送システム
DE102019202486B4 (de) * 2019-02-25 2022-01-20 Festo Se & Co. Kg Handhabungssystem für Werkstücke
WO2020192911A1 (en) * 2019-03-27 2020-10-01 Applied Materials, Inc. Magnetic levitation system and method of measuring a distance between at least one electromagnetic actuator and a ferromagnetic element
US11451169B2 (en) 2019-11-25 2022-09-20 Remanence Technology Group, Llc Multi-dimensional magnetic levitation and translation system and methods
US20230146784A1 (en) * 2020-03-17 2023-05-11 Siemens Healthcare Diagnostics Inc. Compact clinical diagnostics system with planar sample transport
EP3925911B1 (en) 2020-06-19 2023-05-24 Roche Diagnostics GmbH Laboratory sample distribution system and corresponding method of operation
US11521870B2 (en) * 2020-07-08 2022-12-06 Applied Materials, Inc. Annealing chamber
EP3940388B1 (en) 2020-07-15 2024-04-10 Roche Diagnostics GmbH Laboratory sample distribution system and method for operating the same
CN112448617A (zh) * 2020-11-13 2021-03-05 东莞市弘名电子科技有限公司 多点式悬浮装置及控制方法
EP4001923B1 (en) 2020-11-23 2024-06-05 Roche Diagnostics GmbH Laboratory sample distribution system and laboratory automation system
US11747356B2 (en) 2020-12-21 2023-09-05 Roche Diagnostics Operations, Inc. Support element for a modular transport plane, modular transport plane, and laboratory distribution system
US20220389605A1 (en) * 2021-06-04 2022-12-08 Sst Systems, Inc. Bulk finishing system and method
EP4106160A1 (de) 2021-06-18 2022-12-21 TT Innovation AG Vorrichtung zur manipulation eines gegenstandes, verfahren zur befüllung eines gegenstandes und korrespondierende verwendung
JP7624374B2 (ja) * 2021-11-08 2025-01-30 株式会社日立ハイテク ステージ装置及びステージ装置を備える荷電粒子線装置
CN115370933A (zh) * 2022-08-15 2022-11-22 中国水利水电第七工程局有限公司 一种悬浮式云台装置和系统
US20240363382A1 (en) * 2023-04-27 2024-10-31 Applied Materials, Inc. Methods and mechanisms for damping vibrations in substrate transfer systems
KR20260041076A (ko) * 2023-07-21 2026-03-26 티티 이노베이션 아게 보호된 클린룸 표면의 오염 제거 방법, 보호된 클린룸 및 그 용도
US12282074B1 (en) * 2023-12-08 2025-04-22 Southwest Jiaotong University Method and apparatus for measuring magnetic field intensity in high-temperature superconducting maglev transportation systems
CN117755829A (zh) * 2023-12-25 2024-03-26 中国科学院物理研究所 低温真空样品转移系统
CN120127034A (zh) * 2025-05-12 2025-06-10 西安爱邦电磁技术有限责任公司 贴膜式晶圆粘接方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63310304A (ja) * 1987-06-09 1988-12-19 Mitsubishi Electric Corp 磁気浮上装置
JPH03103086A (ja) * 1989-09-16 1991-04-30 Res Dev Corp Of Japan 磁気浮上装置
JPH05236610A (ja) * 1991-07-12 1993-09-10 Ebara Corp 磁気浮上搬送装置
JP2003209963A (ja) * 2002-01-10 2003-07-25 Yaskawa Electric Corp リニアモータ

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2522480B2 (ja) 1987-06-15 1996-08-07 株式会社リコー 屈折率測定方法
JP3112508B2 (ja) 1991-07-25 2000-11-27 コニカ株式会社 廃液の処理方法
US5360470A (en) * 1992-07-06 1994-11-01 Fujitsu Limited Magnetic levitating transporting apparatus with a movable magnetic unit
EP0648698B1 (en) * 1992-07-07 1998-01-07 Ebara Corporation Magnetically levitated carrying apparatus
US5647477A (en) * 1994-09-19 1997-07-15 Kabushiki Kaisha Toshiba Magnetic non-contact transport system
JPH09330975A (ja) * 1996-06-11 1997-12-22 Nikon Corp 搬送装置
EP0866375A3 (en) * 1997-03-17 2000-05-24 Nikon Corporation Article positioning apparatus and exposing apparatus having the same
US6279728B1 (en) * 1998-07-20 2001-08-28 Norbert G Jung Electro-magnetic conveyor
JP4619594B2 (ja) * 1999-06-21 2011-01-26 エスアールアイ インターナショナル 摩擦のない輸送装置および方法
JP3094104B1 (ja) * 1999-08-31 2000-10-03 工業技術院長 超電導磁気浮上輸送システム
US6271606B1 (en) * 1999-12-23 2001-08-07 Nikon Corporation Driving motors attached to a stage that are magnetically coupled through a chamber
JP3956605B2 (ja) * 2000-10-25 2007-08-08 株式会社豊田自動織機 物体の浮揚状態での荷取り方法
JP3819260B2 (ja) * 2001-06-19 2006-09-06 独立行政法人科学技術振興機構 超電導磁気浮上装置及びそのシステム
KR100391000B1 (ko) * 2001-06-30 2003-07-12 주식회사 하이닉스반도체 반도체 노광 장치
DE102004037622A1 (de) * 2004-08-02 2006-02-23 Leybold Optics Gmbh Prozesssystem sowie Vorrichtung zum Transport von Substraten

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63310304A (ja) * 1987-06-09 1988-12-19 Mitsubishi Electric Corp 磁気浮上装置
JPH03103086A (ja) * 1989-09-16 1991-04-30 Res Dev Corp Of Japan 磁気浮上装置
JPH05236610A (ja) * 1991-07-12 1993-09-10 Ebara Corp 磁気浮上搬送装置
JP2003209963A (ja) * 2002-01-10 2003-07-25 Yaskawa Electric Corp リニアモータ

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008042995A (ja) * 2006-08-02 2008-02-21 Kyushu Institute Of Technology 磁性体を用いた非接触磁気浮上方法及びこれを用いた非接触磁気浮上装置
JP2009021590A (ja) * 2007-07-10 2009-01-29 Asml Netherlands Bv リソグラフィ装置及び位置センサ
JP2015161002A (ja) * 2014-02-27 2015-09-07 公立大学法人高知工科大学 鋼板の非接触型位置決め装置
JP2017522564A (ja) * 2014-07-24 2017-08-10 エフ．ホフマン−ラ ロシュ アーゲーＦ． Ｈｏｆｆｍａｎｎ−Ｌａ Ｒｏｃｈｅ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ラボラトリ試料分配システムおよびラボラトリ自動化システム
JP2017527804A (ja) * 2014-09-09 2017-09-21 エフ．ホフマン−ラ ロシュ アーゲーＦ． Ｈｏｆｆｍａｎｎ−Ｌａ Ｒｏｃｈｅ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ラボラトリ試料分配システムおよびラボラトリ自動化システム
JP2019532486A (ja) * 2017-08-24 2019-11-07 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 真空処理システムにおけるデバイスの非接触搬送用の装置及び方法
JP2019533896A (ja) * 2017-09-15 2019-11-21 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ キャリア浮揚システムの整列を判断する方法
CN110859042A (zh) * 2018-06-26 2020-03-03 应用材料公司 用于测量到铁磁元件的距离的距离传感器、磁性悬浮系统和用于测量到铁磁元件的距离的方法
JP2020533781A (ja) * 2018-06-26 2020-11-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 強磁性素子までの距離を測定するための距離センサ、磁気浮揚システム、及び強磁性素子までの距離を測定するための方法
JP2022508019A (ja) * 2018-09-19 2022-01-19 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 磁気浮上システム、磁気浮上システムのベース、真空システム、及び真空チャンバにおいてキャリアを非接触で保持及び移動させる方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR100827738B1 (ko) 2008-05-07
JP4543181B2 (ja) 2010-09-15
US20080029368A1 (en) 2008-02-07
KR20070086009A (ko) 2007-08-27
US7472786B2 (en) 2009-01-06
JPWO2006067974A1 (ja) 2008-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4543181B2 (ja) 超電導磁気浮上による非接触搬送装置
EP0648698B1 (en) Magnetically levitated carrying apparatus
TWI881077B (zh) 基板傳送系統及其使用方法
JPWO1994001354A1 (ja) 磁気浮上搬送装置
US20090160279A1 (en) Magnetic Levitation System
WO1999027540A1 (en) Stage positioning device
KR20160135338A (ko) 객체의 파지, 위치 결정 및/또는 이동 장치
KR102837620B1 (ko) 자기 부상 장치 및 반도체 처리 장치
JP2012528478A (ja) 基板の微粒子なしハンドリングのためのデバイス
Cong et al. Coaxial twin-shaft magnetic fluid seals applied in vacuum wafer-handling robot
KR102193613B1 (ko) 기판의 진공 프로세싱을 위한 장치, 유기 재료들을 갖는 디바이스들의 제조를 위한 시스템, 및 2개의 압력 구역들을 연결시키는 개구를 밀봉하기 위한 방법
Ha et al. Experimental verification of a magnetic levitation transport system for the OLED display evaporation process under vacuum
US6799462B1 (en) Gravimetric measurement method and system
KR20180136187A (ko) 자기 부상 이송 장치
US5567672A (en) Method and apparatus for damping mechanical vibration with a high Tc superconductor
JPH06273285A (ja) 超電導磁気浮上特性試験装置
Komori et al. Basic study of a magnetically levitated conveyer using superconducting magnetic levitation
Jin et al. Direct electrostatic levitation and propulsion
JP3599782B2 (ja) 磁気浮上搬送装置に於けるワーク検出方法と装置
JPH08326839A (ja) 超電導磁気浮上除振装置
JP3560053B2 (ja) 磁気浮上ステージ
JPS6392205A (ja) 真空装置用磁気浮上搬送装置
JP4772510B2 (ja) 重量物の支持が可能な超電導磁石装置
Komori et al. One-axis controlled superconducting magnetic levitation system using persistent current
KOH et al. Wafer handling with levitation

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KM KN KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV LY MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NG NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SM SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): BW GH GM KE LS MW MZ NA SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2006548795

Country of ref document: JP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020077013101

Country of ref document: KR

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 11793202

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 05814202

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 11793202

Country of ref document: US