JP4619594B2 - 摩擦のない輸送装置および方法 - Google Patents
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Description
(発明の分野)
本発明は、摩擦のない負荷の輸送、ならびにこのような輸送を達成する方法および装置に関する。
【0002】
(発明の背景)
複数の市販の設定品において摩擦のない物体の輸送を目的とすることが望ましい。特に、磁気ディスクおよびウェハのような製造品が1つの処理ステーションから別の処理ステーションへと移動されるクリーンルームの設定条件では、クリーンルームの動作のいずれの部分においても塵または他の粒子の生成を最小にすることが望ましい。このような粒子の1つの原因は、従来の輸送デバイスにおけるエレメント間での摩擦接触である。
【0003】
摩擦のない物体の運動はまた、高速かつ繰返される機械運動が装置の1つ以上の部分における機械の故障を生じ得る他の機械デバイスの機械においても望ましくあり得る。
【0004】
(発明の要旨)
1つの局面において、本発明は、第1のステーションまたは第1の位置から第2のステーションまたは第2の位置へと負荷である物体を輸送するための摩擦のない輸送装置を含む。上記装置は、第1のステーションと第2のステーションとの間で伸びているフレームと、第1のステーションと第2のステーションとの間で負荷を運ぶ間、上記フレームに沿って運動するように取り付けられた浮遊状態にあるキャリッジとを含む。キャリッジおよび物体は、それぞれフレームに取りつけられたフレームバイアス磁石と、キャリッジに取り付けられたキャリッジバイアス磁石とによって、宙に浮くか、または部分的に宙に浮く。キャリッジは、安定化構造によって宙に浮いた状態で安定化させられる。この安定化構造は、フレーム上の第1のステーションと第2のステーションとの間に伸びている磁気アレイと、上記キャリッジ上に取り付けられた反磁性プレートとを含む。このプレートの少なくとも一部分は、キャリッジがそのトラックに沿って運動する際に、アレイの少なくとも一部に面し、かつ近位に配置された状態である。上記反磁性プレートと磁気アレイとの間の磁気相互作用は、アレイの方へプレートが移動しないように働く。浮遊状態にあるキャリッジは、線形電磁システムまたは静電システムあるいは空気式システムのような摩擦のない駆動システムによってフレームに沿って運動する。
【0005】
フレーム上のバイアス磁石は、電磁石であり得る。この場合、磁石によって生成される磁界の強さは、キャリッジおよび負荷の重量に合うように変更可能である。または、フレーム上のバイアス磁石は、永久磁石であってもよい。この場合、負荷の変化は、反磁性相互作用または調整されたバイアス磁石間の距離によって適応され得る。
【0006】
種々の実施形態において、磁気アレイは、(i)極性が交互となるように並べられた磁石から構成される平面アレイ、(ii)垂直方向および水平方向の磁極の方向が交互となるように並べられた磁石から構成される平面アレイであって、垂直方向に向いた磁石の磁極が交互になっており、水平方向に向いた磁石の磁極が交互になった、平面アレイ、または(iii)磁極が交互に磁化した等方性材料のプレートから形成されるアレイであり得る。
【0007】
好適な実施形態において、安定化構造は、少なくとも2つの間隔を空けて配置された磁気アレイを含み、反磁性プレートは対面を有しており、その対面の少なくとも一部が間隔を空けて配置された磁気アレイの少なくとも一部と面し、かつ近位にある。反磁性プレートと各平面アレイとの間の磁気相互作用は、アレイ間でプレートを間隔を空けて維持するように働く。間隔を空けて配置されたアレイは、例えば、ベース部材によって支持され、ベース部材から突き出た複数の間隔を空けられたアレイによって形成され得る。磁気アレイおよびこれらアレイ間に配置された反磁性プレートは、平面かつ実質的に水平方向に配置され得るか、または平面かつ実質的に垂直方向に配置され得る。
【0008】
反磁性プレートは、グラファイト(例えば熱分解グラファイト)またはビスマスを含み得る。デバイスは、キャリッジ上で保持される導電性プレートをさらに含み得る。この導電性プレートは、キャリッジがフレームに沿って運動することによって生成されるうず電流を弱めるために、キャリッジが上記フレームに沿って運動する際に、磁気アレイの近位かつ磁気アレイに隣接してキャリッジとともに運動する。
【0009】
1実施形態において、キャリッジのバイアス磁石は、既知の距離間隔だけ互いに離した磁石の線形アレイを含み、駆動システムは、導電性ワイヤパスと、バイアス磁石の線形アレイにかかる線形磁気駆動力を生成するために、ワイヤパスに接続された交流電流源とを含む。別の実施形態において、駆動システムは、キャリッジがフレームに沿って運動する際に、フレームおよびキャリッジ上の静電エレメント間の静電引力によって動作する。さらに別の実施形態において、駆動システムは、キャリッジがフレームに沿って運動する際に、キャリッジからフレームへと圧縮ガスストリームを適用することによって動作する。
【0010】
別の局面において、本発明は、第1のステーションと第2のステーションとの間における負荷の摩擦のない輸送方法を含む。上記方法は、負荷をキャリッジに配置する工程と、バイアス磁石が、第1のステーションと第2のステーションとの間に伸びているフレーム上かつキャリッジ上で保持された状態で、キャリッジおよび負荷の重量の実質部分を支持する工程と、キャリッジがフレームに沿って運動する際に、キャリッジ上の反磁性プレートと、第1のステーションと第2のステーションとの間に伸びており、フレーム上にある磁気アレイとの間に生成される磁力によって、キャリッジの位置を浮遊状態で安定化させる工程と、摩擦のない駆動システムを用いてフレームに沿ってキャリッジを駆動させる工程とを包含する。
【0011】
別の局面において、本発明は、浮遊状態の物体が最大5〜10mm(またはそれ以上)のギャップを有した状態で浮遊される浮遊システムを含む。このシステムは、物体の重量の実質部分を支持するためのバイアス磁石を有する、フレームおよび支持物体(例えば、キャリッジ)を含み、安定化構造は、物体を浮遊状態で安定化させるためのフレーム上の磁気アレイおよび物体上の反磁性プレートを含む。このシステムは、例えば、機械において摩擦のない軸受、または容易に観察可能な浮遊ギャップを有する新規アイテムとして機能し得る。
【0012】
本発明のこれらおよび他の目的、ならびに特徴は、本発明の以下の詳細な説明を添付の図面とともに読めばより完全に理解される。
【0013】
(発明の詳細な説明)
(I.定義)
以下の用語は、本明細書中において他の意味を示さない限り、以下の意味を有する。
【0014】
「線形輸送」または「線形運動」は、径路に沿った運動を意味する。この場合の径路とは、曲線状の径路、直線状の径路または屈曲部および湾曲部を有する径路であり得る。この径路が水平面内にある場合には、あるx−y座標から別のx−y座標へと物体を移動する輸送または運動が有効である。運動が垂直面内である場合には、あるz座標から別のz座標へと物体を移動させる輸送または運動が有効である。線形輸送は、物体のx−y−z座標を維持するが、角座標を変化させる円運動または回転運動とは異なる。
【0015】
「バイアス磁石」とは、用いられる磁石(好ましくは強磁性体)であり、キャリッジおよび負荷が浮遊状態にある場合に、キャリッジおよびキャリッジに取り付けられた負荷の重量の全体または大部分(すなわち、合わせた重量の80%以上)を支持している。強磁性体は、永久磁石または電磁石であり得る。
【0016】
「反磁性」材料とは、1より小さい透磁率(一般的には1よりもごくわずか小さい)を有する材料を意味し、比較的低い揚力を提供する。
【0017】
「磁気アレイ」とは、磁石(典型的には永久磁石)のアレイを意味し、磁石の磁極が、反対方向に向いた磁極を有する2つの連続した磁石のそれぞれに閉ループの磁束通路を提供するように配列される。連続する磁石は、並んで配列され得るか、または磁極が別の軸に沿って向いた1つ以上の磁石分だけ互いに離れて置かれ得る。
【0018】
物体(例えば、キャリッジまたはキャリッジと負荷を合わせたもの)が、任意の支持構造と接触することなく重力に反して宙に浮いている場合、この物体は「浮遊」している。
【0019】
バイアス磁石は、(i)安定化構造で生じる反磁性を反磁性力と組み合わせて、キャリッジが安定した浮遊状態で宙に浮いており、(ii)反磁性力自身が、浮遊状態においてキャリッジの重量の一部(例えば、20%未満)を超える重量を支持することができない場合、本発明の装置において「実質部分」または(載荷されたまたは載荷されていない)キャリッジの重量を支持する。バイアス磁石は、(載荷されたまたは載荷されていない)キャリッジの重量全体を支持し得る。この場合、安定化構造は、浮遊状態のキャリッジに下方にかかる力を及ぼし得る。あるいは、バイアス磁石は、(載荷されたまたは載荷されていない)キャリッジの重量の一部(例えば80%以上)のみを支持し得る。この場合、安定化構造は、キャリッジに上方への重量支持力を及ぼし得る。
【0020】
(II.輸送装置)
図1は、本発明に従って構築された摩擦のない線形輸送装置20の簡略化した模式図を示す。上記装置は、一方のステーション24からもう一方のステーション26へと線形輸送または線形運動することによって負荷22を輸送するように設計されている。例えば、クリーンルームの設定条件では、2つ(以上)の負荷ステーションが、クリーンルーム内の異なる処理エリアにあり得る。
【0021】
上記装置は、一般に、ステーション間にわたって伸びているフレーム28と、その2つのステーション間で、そのフレームに沿って浮遊状態で線形運動するように取り付けられたキャリッジ30とを含む。キャリッジおよび負荷が浮遊状態にある場合に、キャリッジが、2つのステーション間で運動するように負荷22を支持する。
【0022】
キャリッジおよび負荷の重量は、フレームに取り付けられたフレームバイアス磁石32およびキャリッジに取り付けられたキャリッジバイアス磁石34それぞれによって、そのキャリッジおよび負荷の重量の全体または大部分を重力に反して支持される。以下に説明されるように、上記装置の安定化構造は、キャリッジおよび負荷上に何らかの磁気「揚力」を提供し得る。この磁気揚力は、典型的には、負荷の20%以下であり得るが、上記装置における磁気アレイ(単数または複数)と反磁性プレート(単数または複数)との間の磁気相互作用の総面積に依存している。
【0023】
本実施形態におけるフレームバイアス磁石は、磁場力が径路の長さ方向に沿って固定される細長い永久磁石または電磁石からなる。いずれの場合であっても、バイアス磁石は従来のものであり、浮遊するに十分なキャリッジおよび負荷への揚力(例えば、1lb.〜50lbs.の範囲)を生成するように設計されるか、または作動される。この揚力は、キャリッジおよび負荷の重量に依存する。
【0024】
バイアス電磁石の場合、電磁石に供給される電流は、所望のキャリッジ/負荷重量の浮遊を達成するように調節される。これは、キャリッジの下のフレーム上に位置する圧力センサのような標準制御デバイスによって達成され、キャリッジ(およびもしあれば負荷)が浮遊状態にあり、センサにもうこれ以上力が印加されない時を示す。
【0025】
フレームバイアス磁石が永久磁石である場合、キャリッジ上の負荷の変化は、反磁性揚力によって調整され得る。この反磁性揚力は、以下に詳述されるように、広範囲の重量(例えば、バイアス磁石が、キャリッジに作用する重力よりも20%大きな牽引力を及ぼす点から磁気牽引力がキャリッジに作用する重力よりも20%小さい点までの範囲)にわたって安定となるように設計され得る。あるいは、またはこれに加えて、フレームバイアス磁石の垂直位置が、前もって選択された異なる負荷ごとに、キャリッジバイアス磁石の垂直位置に対して調節され得る。
【0026】
キャリッジバイアス磁石は、好ましくは、磁極がフレーム磁石による磁化引力に向いた永久磁石である。キャリッジ磁石は従来の構成を有しており、例えばネオジウム−鉄−ボロン合金、好ましくはグレード35メガガウスエルステッド以上を有する磁性合金から形成される。1実施形態において、キャリッジ磁石は、2つの以上の磁石からなる。これら2つ以上の磁石は、キャリッジの運動方向に沿って互いに間隔を空けて配置され、同じ磁極方向を有する。磁石を間隔を空けて配置することは、以下に示されるように電磁式線形駆動システムにおいて有利であり得る。
【0027】
上記装置において安定化構造または安定化手段は、フレーム上に取りつけられ、そのフレームの長さ方向に沿ってステーション24と26との間に広がる磁気アレイ38と、キャリッジ上に取り付けられる反磁性プレート40とを含む。図1の実施形態は、反磁性プレートの両端に配置される2つの磁気アレイ38、42を有し、上下方向の両方に安定化させる。
【0028】
反磁性プレートは、グラファイトまたはビスマスのような反磁性材料から形成され、好ましくは、一般的な反磁性材料について最も小さな比透磁率、または0に最も近い値を有する熱分解グラファイトのような反磁性材料から形成される。熱分解グラファイトは、配向した構造の結晶層を有する。
【0029】
種々の代替的なアレイ/プレート構成が企図されており、このうちいくつかが以下で想定される。アレイおよびプレートは、浮遊状態でキャリッジおよび(もしあれば)キャリッジに取り付けられた負荷を安定化させるように機能し、付随してキャリッジおよび負荷に特定量の揚力を提供し得る。より詳細には、そして以下に説明されるように、反磁性プレートと磁気アレイとの間の磁気相互作用は、そのプレートがアレイの方へと移動しないように働く。
【0030】
キャリッジ支持構造41は、キャリッジバイアス磁石および反磁性プレートを結合し、これら2つの間に十分な間隔を設けて、2つの間の磁気結合効果を最小にするか、またはなくす。支持構造の下端は負荷22を保持するように適合される。
【0031】
上記装置にはまた、浮遊状態にある場合に、フレームに沿った2つのポイント(例えば、ステーション24、26)間のフレームに沿ってキャリッジを運動させる駆動機構または駆動手段が含まれる。図1の実施形態の駆動機構は、42および44において紙面の正面に向けて示され、以下の図10の平面図において示される、一対の導電性パスを含む。
【0032】
図2は、本発明に適切な磁気アレイの磁極構成の1つのタイプを示す装置46の基本的な磁気要素を示す。図示される要素を簡単に説明すると、フレーム48は、フレームバイアス磁石50と磁気アレイ52とを支持する。キャリッジ54は、磁石50と相互作用する上部バイアス磁石56と、アレイ52と相互作用する下部反磁性プレート58とを有する。磁気アレイは、矢印で示される磁極が反対方向を向いた磁石52a、52bのような複数の並んだ磁石からなる。例示的な実施形態において、各磁石は、矩形の箱型形状の永久磁石であり、5×10×25mmを示し、5mmは厚さの大きさであり、また磁化方向あるいは磁極が間隔を空けて配置される方向である。これらの大きさは、幅で除算された厚さの比率を提供し、この比率は各磁石について0.5である。アレイ自身の面積は、例えば図9に示されるように、アレイに面する反磁性プレートの実質部分を「覆う」、かつ長手方向の軸のフレームの長さに沿って広がるような面積である。
【0033】
動作において、図3を参照して、アレイ52の磁石の配列は、アレイ52と反磁性プレート58の対向面64との間のギャップ62に磁界60を生成する。図面から分かるように、磁界は、高磁力および磁化方向に沿った高い傾きの両方を有する。反磁性プレートはこの磁界と相互作用し、そのプレートに作用する重力と反対方向に働く揚力を生成する。この相互作用は、キャリッジが重力または振動に起因した正味の下方への力を受ける場合に、組み合わされたキャリッジおよび負荷に磁気「クッション」を提供することによって、宙に浮いた状態に有るキャリッジおよび負荷を安定させるように働く。これにより、バイアス磁石によって支持されるキャリッジおよび負荷の重量の一部は、それらの総重量よりも少なく(例えば、総重量の20%以上までに)することができ、なおかつアレイがそのプレートの下に位置する場所で浮遊を達成することができる。同様に、浮遊の安定性を失うことなく、またはキャリッジとフレームとの間で接触することなく、アレイがプレートの上に位置する場所で、バイアス磁石によって及ぼされる磁力が、キャリッジに作用する重力よりも実質的に大きく(例えば、20%以上)なり得る。
【0034】
磁界60の磁気の強さは、アレイ52からの距離の関数として急激に変化する。上述の特定の実施形態の場合、ギャップ62は約0.5〜2mmである。典型的には、アレイの磁界の強さ、反磁性プレートを形成する材料および厚さに応じて、2つの間の磁気相互作用は、下部プレート表面と磁気アレイとの間の対向する面に約3g/インチ2の揚力を提供する。
【0035】
同様に、上部磁気アレイ(図8および以下の説明を参照されたい)は、キャリッジが移動中のバイアス磁石または垂直方向の振動に起因する正味の上方への力を受ける場合に、プレートを移動させないように働く。上述したように、これにより、バイアス磁石によるキャリッジおよび負荷に作用する磁力を、浮遊状態の安定性を失うことなく、または反磁性プレートと上部アレイとの間で接触することなく、反対方向の重力といくぶん異ならせることができる。従って、反磁性相互作用は、キャリッジおよび負荷の重量のすべてまたは多くが、バイアス磁石によって支持されて宙に浮いた「平衡」状態で、(負荷があってもなくても)キャリッジを支持する。キャリッジプレートがアレイの方へと移動する場合、より強い磁気アレイとの磁気相互作用によってその動きに対抗し、平衡位置へとキャリッジを戻すように移動するように働く。同様に、キャリッジがアレイから離れるように移動する場合、より弱い磁力によってキャリッジを平衡位置へと戻すことができる。
【0036】
図4は、(同じ参照番号を付した)同じ磁気アレイ/プレート構成を示す。但し、図4は、アレイ52の下部にわたって配置された強磁性プレート66をさらに含む。強磁性層66は、アレイの下に低い磁気抵抗径路を提供し、この磁気径路は、アレイ52と反磁性プレートとの間のギャップ62内の磁界60の磁束密度を増大させる。この増大した磁束密度は、より大きな質量の材料を浮遊させるより高い揚力を提供する。
【0037】
図5Aおよび5Bは、図2に示すアレイの実施形態の磁気アレイの2つの代替的な構成の平面図を示す。図5Aのアレイでは、70で示されるアレイを形成する磁気要素は、ストリップ72、74のような細長い磁気ストリップであり、これらの上部表面(この表面は反磁性プレートに面する)は、ストリップの長さ方向に沿って上(N)または下(S)のいずれかである。このアレイ構成は、図3の正面に向かって示され、アレイの全長に沿って広がる磁界を生成する。
【0038】
別のアレイを図5Bの76に示す。このアレイは、上部表面が示されるNまたはSの極性を有する磁気立方体のチェッカー盤から作製される。このアレイは、図3の正面に向かって示される磁界を生成するが、側面から(すなわち、アレイの長さ方向に沿って)見た場合と同じ磁界の形状を有する。
【0039】
図6は、本発明に適切な磁気アレイの磁極構成の第2の一般的なタイプを示す装置82の基本的な磁気要素を示す。図示される要素を簡単に説明すると、フレーム84は、フレームバイアス磁石86と磁気アレイ88とを支持する。キャリッジ90は、磁石86と相互作用する上部バイアス磁石92と、アレイ88と相互作用する下部反磁性プレート94とを有する。
【0040】
正面図に示されるように、正反対の「垂直方向」の極性を有する永久磁石(例えば、磁石96、98)は、正反対の「横方向」の極性を有する磁石(例えば、磁石100)によって互いに分けられている。このアレイによって生成される磁界は、図7の102に正面を向いて示される。図7において、各磁石の下の矢印は、磁気極性の方向を示す。2つの垂直方向の磁極間の磁束の方向は、その間の横方向の極性の磁石の方向であり、磁束はアレイ自身内に大部分が閉じ込められる。磁束が反対方向である場合、示されるように、磁束は大部分がアレイよりも上にある。次いで、この構成は、アレイの磁界の強さの大部分を1つのアレイの表面、すなわち反磁性プレートに面する表面へとシフトさせる。
【0041】
図8および9は、それぞれ、本発明の例示的な水平方向反磁性安定化構成および垂直方向反磁性安定化構成を示す。図8では、装置104は、バイアス磁石108および2つの水平方向に配置されたアレイ112、114を含む磁気アレイ構造110を備えたフレーム106を有する。次いで、各アレイは、セクション112a、112bのような2つの並んだセクションを含む。これらセクション112a、112bは、これらの2つのセクション間のスロット116を定義する。上記装置におけるキャリッジ118は、フレームバイアス磁石122を取りつける支持体120と、反磁性プレート124と、キャリッジとともに運動するように負荷が取り付けられ得る負荷アーム126とを含む。図から分かるように、反磁性プレートの上部表面および下部表面は、それぞれアレイセクション112、114の重なった領域に面している。
【0042】
最大約25〜50lbs.(11.35〜22.7kg)迄の間(またはこれ以上)の組み合わせたキャリッジ/負荷重量を運ぶように設計され、反磁性安定化が、負荷を付けられたキャリッジの重量のほんの一部(例えば、5〜20%)を支持するように設計された典型的な装置では、2つの磁気アレイ間の間隔は約3.5mmであり、反磁性プレートの厚さは約1.5mmである。上記装置は、重量支持体の2.2lbs.(998.8g)当り有効なグラファイトの322平方インチ(2077.42cm2)である、反磁性プレートとそれに関連するその下にある磁気アレイとの面する部分の総面積を提供するように設計される。磁気アレイ/プレートの相互作用の総面積、従って安定化構造が支持し得る全重量は、図11および12において以下で説明されるように、スタックアレイを用いることによって任意の所望の因子によって増加させることができることを理解する。
【0043】
図8に示される構造の説明を続けると、上部磁気アレイのすぐ上にあるキャリッジ上の、例えばアルミニウムから形成されるような導電性プレート126は、磁気アレイに対してキャリッジが運動しないように、さらにフレームに対してキャリッジの運動を安定化させるように、うず電流を生成するように働く。例えば、図5Aのアレイ上の長手方向のプレートの運動は、ほとんど、またはまったく減衰しない。一方、アレイに対して横方向の運動は減衰する。従って、導電性プレートおよび磁気アレイの構成の両方が、所望の方向に運動をさらに安定化させるように設計され得る。このプレートは約0.05〜2mmの好適なプレート厚を有し、典型的には、最も上にある磁気アレイの約1〜10mmだけ上に位置される。
【0044】
上述のように、反磁性プレートと各アレイとの相互作用は、2つのアレイ間のギャップの中心へとプレートをバイアスするように働く。キャリッジを下向きに押す傾向にある力(例えば、重力または垂直方向の振動力)は、プレートと下部アレイとの間の磁気相互作用によって抑制される。キャリッジを上向きに押す傾向にある力(例えば、バイアス磁石の磁力または垂直方向の振動力)は、プレートと上部アレイとの間の磁気相互作用によって抑制される。しかしながら、磁気アレイは、プレートの上方への運動を抑制する方向に、プレート上に比較的大きな磁界の強さを有し、キャリッジの重量に対抗し、そしてアレイの下に比較的小さな磁界の強さを有するように、図7に示されるように設計され得ることを理解されたい。この構成は、垂直方向の安定性と有効な重量支持体(反磁性プレートの重量あたりの重量支持体)とを組み合わせる。
【0045】
キャリッジは、フレーム磁石108の最も高い磁界の強さが、フレームの中心に集中するように配列されたバイアス磁石によって及ぼされる力によって、主にフレーム上の水平方向の中心の移動位置で維持される。従って、フレームの中心で、または中心近傍でキャリッジ磁石122が保持される。磁気アレイと反磁性プレートとの間の縁効果はまた、水平方向の安定性に寄与し得る。縁効果は、反磁性プレート内にスロットを機械加工することによって促進され得る。すなわち、スロットは、磁気アレイによって生成される磁気「バンプ」に相当するような大きさにされ、間隔を空けられる(スロットは、結合された磁界の最も弱い部分に存在するのが好ましく、従って、熱分解グラファイトが、このアレイの磁極の中心に並ぶ)。
【0046】
さらなる水平方向の安定性は、図9に示されるような安定化構成によって達成され得る。図9において、参照番号は、同様の構造については図8の参照符号と同じである。この図における装置130は、垂直方向に配置された磁気アレイの3つのセット(例えば、アレイ132a、132b、132c)含む磁気アレイ構造132と、各磁気アレイのセット間に挿入された反磁性プレート(例えば、プレート134)を含む。この装置においてフレーム106上に取り付けられた磁気アレイおよびキャリッジ116上に取り付けられた反磁性プレートは、2つの隣接し、面している磁気アレイ間の途中にある反磁性プレートを保持するように働く磁気相互作用を介して、水平方向に安定化した状態でキャリッジを保持するように機能する。垂直方向の安定性は、上述のように磁気アレイに平行な面にスロットを形成することによって達成され得る。この構成は、例えば、輸送プロセスの一部としてキャリッジの線形運動および回転運動の両方を実行する輸送デバイスにおいて有効である。図示しないが、この実施形態はまた、好ましくは、図8に示されるような水平方向の磁気アレイ/プレート安定化を含む。
【0047】
上述のように、一方のステーションから他方のステーションへの装置内のキャリッジの運動は、好ましくは摩擦のない、つまり、キャリッジとフレームまたは他の固定構造との間に機械的結合をまったく含まない駆動機構によって実行される。図1および10を参照して、1つの好適な駆動機構または駆動手段は、リニアモータにおける永久磁石としてキャリッジバイアス磁石を用いる磁気リニアモータ機構である。図10の平面図の42で示される機構は、2つの導電性ワイヤパス141(実線)および143(点線)を含む。好ましくは、各ワイヤにおける「アクティブ」セグメント(図10の垂直方向のセグメント)間の間隔は、キャリッジ永久磁石を形成する隣接する永久磁石間の間隔に相当する。従って、電流がパス141に供給されると、キャリッジバイアス磁石間の別のギャップに磁界を生成するので、キャリッジは、電流によって生成された磁界と並んだ磁気の方へと進む。電流が位相から90°ずれた2つのトレースに印加されると、キャリッジはトレース間を交互に進む。複数のリニアモータコイルのような他の手段もまた用いられ得る。
【0048】
図示しないが他の実施形態において、駆動機構または駆動手段は、キャリッジ上に帯電したエレメントを有し、キャリッジの移動径路に沿ってフレーム上のエレメントをアクティブにさせ得る電磁リニアモータである。
【0049】
さらに別の実施形態において、駆動手段は、フレームの長さ方向に沿った一連の固定空気射出口と、キャリッジ上にプレートまたは帆を有し、これにより定方向空気流に応答して生成される空気式ドライブである。
【0050】
図11および12は、本発明に従って構築された輸送装置の2つの例示的なタイプの詳細を示す。両方の図において、装置内のキャリッジの運動は、図の平面に対して垂直な方向である。
【0051】
図11の装置140において、キャリッジ142は、フレーム144上に対称的に取り付けられている。こうすることで、キャリッジ142は、キャリッジに作用する磁力の中心を表す磁気中心線146を定義する。負荷148は、キャリッジの下部の148にて保持される。キャリッジおよび負荷の重力の中心が、(この負荷がキャリッジの両端で正味のトルクを生成しないように)磁気中心線に沿っている必要があるので、負荷自身が、中心線に沿ってバランスを保ち得るか、あるいは中心線に沿って負荷のバランスを保つように、キャリッジにつりあいおもり150が設けられ得る。
【0052】
フレームおよびキャリッジバイアス磁石は、それぞれ152、154に示される。上記装置の安定化構造は、フレーム144上で保持される複数の水平方向に配置された2セクション磁気アレイ(例えば、アレイ156)と、示されるように隣接する磁気アレイセクションの関連する左右の対間に配置される複数の反磁性プレート(例えば、プレート160)とを含む。各隣接する(垂直方向に積まれた)アレイセクションは、ベース部材159のようなベース部材上に取り付けられて、そのベース部材から垂直な方向に伸びる。図示される装置は、6個のアレイと、5個の交互に挟まれた磁気プレートとを有し、各反磁性プレートおよび関連する磁気アレイの重量支持能力を5倍だけ効率的に増加させる。
【0053】
最も上にある磁気アレイ上のキャリッジに取り付けられたアルミニウムプレート162は、キャリッジが磁気アレイ上を進む際に形成されるうず電流を生成するように機能し、上述のように運動を弱くするように機能する。2つ以上の異なるステーション間でのキャリッジの線形運動は、電磁駆動システム、静電駆動システム、空気式駆動システムまたは他の摩擦のない駆動システムによって達成され得る。
【0054】
図12の装置170は、例えば、キャリッジを修理し、キャリッジの負荷を取替え、および/またはある負荷を別の負荷と取替えるために、装置内のキャリッジ172がキャリッジの移動方向に沿った任意の点でフレーム174から取り外すことができる、非対称フレーム・キャリッジ構成を有する。キャリッジは、一般に、負荷を保持するための上部台を設けた上部アーム176と、フレームバイアス磁石182の下に配置されたキャリッジバイアス磁石180を支持する下部アーム178とを有するU字型である。下部アームはまた、フレームの磁気中心線(186で示される)に沿って負荷178の重量のバランスをとるように、図の左/右の方向に調節され得るつりあいおもり184を取り付ける。つりあいおもりは、実際の重量、または例えばフレームに取り付けられた可変強さの電磁気によって生成される二次的な磁力であり得る。この二次的な磁力は、キャリッジ上で保持される永久磁石と相互作用して、磁気中心線に沿って負荷が取り付けられたキャリッジの重力の中心を維持する力を提供する。
【0055】
上記装置の安定化構造は、2つの磁気アレイを含む。この2つの磁気アレイは、例えば、各々が188aのような上部アレイプレートと188bのような下部アレイプレートとを有するアレイ188である。下部アレイプレート188bは、これら上部アレイプレートと下部アレイプレートとの間でキャリッジに取り付けられた磁気プレート(例えば、プレート190)を収容するように間隔が空けられている。装置140と同様に、アレイプレートまたはアレイは、ベース部材190に取り付けられている。キャリッジの線形運動は、上述のように摩擦のない駆動システムによる。
【0056】
図12から理解され得るように、キャリッジ172は、(バイアス磁石によって及ぼされる磁力に逆らって)キャリッジがフレームから解放される(つまり、キャリッジ反磁性プレートが磁気アレイから解放される)まで図の右側へとキャリッジを移動することによって、簡単にフレームから取り外すことができる。フレーム上の動作可能な位置で、またはその位置から外れてキャリッジの運動を容易にするために、キャリッジにローラを設けてもよい。このローラによって、キャリッジは、別のキャリッジへと回転して転がり、支持され得る。
【0057】
動作において、キャリッジは、その移動径路に沿った所望の位置(例えば、負荷がキャリッジに移されるステーションのうちの1つ)に配置される。装置の構成ならびに負荷の重量および配置に応じて、上述のように、つりあいおもりの位置または量を調節する必要があり得る。負荷が取り付けられたキャリッジの重量が、バイアス磁石によって全体または部分的に支持され、フレームの磁気アレイとキャリッジの反磁性プレートとの間の磁気相互作用によって安定化された状態で、キャリッジは、摩擦のない駆動システムによって、その移動径路に沿って第2の所望の位置(例えば、第2のステーション)へと移動される。このシステムでは、キャリッジから負荷を取り外すことなく、または負荷を取り外して、そのもとの位置までキャリッジを戻してさらなる処理によって負荷が作用され得るか、あるいは負荷がさらなる処理のために取り外されて、次いで別のステーションへと移動するためにキャリッジに再度取り付けられ得るか、または負荷が第2の負荷と取り替えられ得る。
【0058】
上述の記載から、本発明の種々の目的および特徴がいかにして達成されるかが理解される。上記装置は、摩擦相互作用を最小にすることが重要な設定条件(例えば、クリーンルームの設定条件)において、実質的な負荷重量(例えば25〜100lbs.(11.35〜45.4kg)摩擦のない輸送システムを提供する。浮遊は、移動径路に沿って浮遊状態でキャリッジを安定化させ、安定化した負荷重量を失うことなく、負荷重量の大きな変化を調整する反磁性トラックシステムによって安定化される。装置におけるバイアス磁石がともに永久磁石である場合に、装置は、電源を切った場合であっても浮遊状態を維持することができるというさらなる利点を有する。さらに、本発明の安定化浮遊構造によれば、以下に説明される新規アイテムの電気機器をフレームから分離するため、かつフレームから振動を分離するの大きな浮遊ギャップ(例えば、約5〜10mm)を得ることができる。
【0059】
本発明を特定の実施形態に関して説明してきたが、本発明の範囲から逸脱することなく、種々の変更および改変がなされ得ることは、当業者に明らかである。例えば、重量支持用のバイアス磁石と浮遊を安定化するための反磁性相互作用との組み合わせを図13に示される新規なデバイスのような新規な他のデバイスに適用することができる。このデバイスは、上部フレーム部材204が永久磁石であり、下部フレーム部材203が磁気アレイ205を支持するフレーム202を含む。このデバイスの「キャリッジ」は、キャリッジ内部に組み込まれた物体207のような低重量の物体と、バイアス磁石208と、下部反磁性プレート210とからなるピラミッドである。このピラミッドが、図示されるようにフレーム内に配置されると、その重量の大部分が、バイアス磁石の力によって支持される。このとき、反磁性相互作用は、重量の微小部分を支持し、そのピラミッドを浮遊状態で安定化させるように機能する。ピラミッドの側面に対して気流を向けることによって、または物体を動かすために物体に単に触れるだけで、物体を浮遊状態で運動させることができる。新規アイテムとして、上記デバイスによればユーザは、フレームと浮遊した物体との間の容易に観察可能なギャップの効果の享受、および浮遊状態にある物体の運動の観察の両方を行うことができる。
【0060】
従って、別の局面において、本発明は、上記のシステムのエレメントを有するハイブリッド浮遊システムを含むが、このシステムは大きなギャップを有する静止キャリッジ浮遊を目的として設計されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、本発明の輸送装置の基本的なエレメントを示す図である。
【図2】 図2は、本発明の装置の1実施形態における磁気エレメントの簡略図である。
【図3】 図3は、図2の構成における磁気アレイと反磁性プレートとの間の相互作用を示す。
【図4】 図4は、図2の構成における磁気アレイと反磁性プレートとの間の相互作用を示す。但し、磁気アレイが強磁性材料層を含む。
【図5A】 図5Aは、図2に示す磁気アレイの別の磁気アレイ構成の平面図である。
【図5B】 図5Bは、図2に示す磁気アレイの別の磁気アレイ構成の平面図である。
【図6】 図6は、本発明の装置の別の実施形態における磁気エレメントの簡略図である。
【図7】 図7は、図6の構成における磁気アレイと反磁性プレートとの間の相互作用を示す。
【図8】 図8は、図1の装置の1実施形態の簡略化した断面図である。
【図9】 図9は、図1の装置の第2の実施形態の簡略化した断面図である。
【図10】 図10は、図1の平面8−8に沿って見えるように、リニアモータ機構によって装置内のキャリッジを駆動するための、図1の装置の導電性ワイヤパターンの平面図である。
【図11】 図11は、図8に示される磁気特性を組み込んだ対称輸送装置の詳細な断面図である。
【図12】 図12は、図8に示される磁気特性を組み込んだ非対称輸送装置の詳細な断面図である。
【図13】 図13は、磁気相互作用特性に基づいて本発明の特徴を組み込んだ浮遊ハイブリッド玩具を示す。
Claims (20)
- 物体を第1のステーションまたは第1の位置から第2のステーションまたは第2の位置へと線形輸送するための摩擦のない輸送装置であって、
該第1のステーションと該第2のステーションとの間に伸びたフレームと、
該第1のステーションと該第2のステーションとの間で物体を運ぶ間に、該フレームに沿って浮遊状態で線形運動するように取り付けられたキャリッジと、
該フレームおよび該キャリッジ上にそれぞれ取り付けられたフレームバイアス磁石とキャリッジバイアス磁石とであって、該フレームバイアス磁石と該キャリッジバイアス磁石との間の磁気引力によって、該キャリッジと該キャリッジ上で支持される該物体との重量の実質部分が宙に浮く、フレームバイアス磁石とキャリッジバイアス磁石と、
該キャリッジが該フレームに沿って運動する際に、該フレーム上の該キャリッジの該浮遊状態を安定化させるための反磁性安定化手段であって、該反磁性安定化手段は、該第1のステーションと該第2のステーションとの間に伸び、該フレーム上にある磁気アレイを含み、該磁気アレイは、極性が交互になった磁石、または磁極が交互に磁化したプレート、および該キャリッジ上に取り付けられた反磁性プレートからなり、該プレートの少なくとも一部は、該キャリッジがトラックに沿って運動する際に、該アレイの少なくとも一部と面し、かつ該アレイの少なくとも一部に近位に配置された状態であり、該反磁性プレートと該磁気アレイとの間の磁気相互作用は、該プレートの該アレイへの移動を抑制するように働く、反磁性安定化手段と、
該第1のステーションと該第2のステーションとの間の該フレームに沿って浮遊状態で該キャリッジを運動させる駆動手段と
を備える、摩擦のない輸送装置。 - 前記フレームバイアス磁石は、該フレームの長さ方向に沿って伸びた電磁石または電磁石のセットであり、前記装置は、前記キャリッジおよび該キャリッジ上で保持される前記物体を支持するように適合された磁力を該電磁石で生成するための電圧手段をさらに含む、請求項1に記載の装置。
- 前記フレームバイアス磁石は、前記フレームの長さ方向に沿って伸びた永久磁石または永久磁石のセットである、請求項1に記載の装置。
- 前記磁気アレイは、極性が交互になるように並べられた磁石から構成される平面アレイを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記磁気アレイは、垂直方向の磁極方向と水平方向の磁極方向とが交互になるように並べられた磁石から構成される平面アレイであり、該垂直方向の磁石の極性は交互になっており、かつ該水平方向の磁石の極性は交互になっている、請求項1に記載の装置。
- 前記磁気アレイは、磁極が交互に磁化した等方性材料のプレートから形成される、請求項1に記載の装置。
- 前記安定化手段は、少なくとも2つの間隔を空けて配置される磁気アレイを含み、前記反磁性プレートは対面を有しており、該対面のうち少なくとも一部は、該間隔を空けて配置される磁気アレイのうちの少なくとも一部に面しかつ近位にあり、該磁気プレートと各平面アレイとの間の磁気相互作用は、該隣接するアレイ間で該プレートを維持するように働く、請求項1に記載の装置。
- 前記磁気アレイは、ベース部材に取り付けられ、該ベース部材から突き出て、該ベース部材に実質的に垂直である複数の間隔を空けて配置されるアレイを含み、前記反磁性プレートは、各隣接する磁気アレイ対間に配置される反磁性プレートを含む、請求項7に記載の装置。
- 前記磁気アレイおよび前記反磁性プレートは、平面かつ実質的に水平方向に配置される、請求項7に記載の装置。
- 前記磁気アレイおよび前記反磁性プレートは、平面かつ実質的に垂直方向に配置される、請求項7に記載の装置。
- 前記反磁性プレートは、グラファイトまたはビスマスを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記キャリッジ上で保持される導電性プレートをさらに含み、該導電性プレートは、該キャリッジが前記フレームに沿って運動する際に、前記磁気アレイの磁極に対する該キャリッジの移動を抑制するうず電流を生成するために、該磁気アレイに近位かつ隣接して該キャリッジとともに運動する、請求項1に記載の装置。
- 前記フレームバイアス磁石は、既知の距離間隔だけ互いに離した磁石の線形アレイを含み、前記磁気駆動手段は、導電性ワイヤパスと、バイアス磁石の該線形アレイにかかる線形磁気駆動力を生成するために、該ワイヤパスに接続された交流電流源とを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記駆動手段は、前記キャリッジが前記フレームに沿って運動する際に、該フレームおよび該キャリッジ上の静電エレメント間の静電引力によって動作する、請求項1に記載の装置。
- 前記駆動手段は、前記キャリッジが前記フレームに沿って運動する際に、該フレームから該キャリッジへと適用される圧縮ガスストリームによって動作する、請求項1に記載の装置。
- 前記フレームおよび前記キャリッジは、該キャリッジを該フレームから離れて横方向に運動させることによって、該キャリッジの移動方向の任意の点で該キャリッジを該フレームから取り外すことが可能となるように構成される、請求項1に記載の装置。
- 物体を第1のステーションと第2のステーションとの間で摩擦のない線形輸送するための方法であって、
該物体をキャリッジ上に配置する工程と、
バイアス磁石が、該第1のステーションと該第2のステーションとの間に伸びているフレーム上かつキャリッジ上で保持された状態で、該キャリッジおよび該物体の重量の実質部分を支持する工程と、
該キャリッジ上の反磁性プレートと、該第1のステーションと該第2のステーションとの間に伸びており、該フレーム上にある磁気アレイとの間に生成される磁力によって、該キャリッジの垂直方向の位置を浮遊状態で安定化させる工程と、
摩擦のない駆動システムを用いて該フレームに沿って該キャリッジを浮遊し、安定化した状態で運動させる工程と
を包含する、方法。 - 前記磁気アレイは、前記第1のステーションと前記第2のステーションとの間に伸びており、前記フレーム上にある、間隔を空けて配置される磁気アレイ対を含み、前記安定化させる工程は、該間隔を空けて配置される磁気アレイのうち少なくとも一部の間に前記反磁性プレートの少なくとも一部を配置する工程を包含する、請求項17に記載の方法。
- 前記キャリッジが前記フレームに沿って移動する際に、導電性プレートを前記磁気アレイに面しかつ近位にあるように、該キャリッジ上に配置することによって、該アレイに生成されるうず電流を弱くする工程をさらに包含する、請求項17に記載の方法。
- 前記運動させる工程は、前記フレーム上で保持され、前記キャリッジ上の前記バイアス磁石と相互作用するように適合される線形駆動デバイスによって該キャリッジを磁気的に駆動する工程を包含する、請求項17に記載の方法。
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