CN117755829A - 低温真空样品转移系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及低温真空样品转移系统，其包括：转移模块，配置为承载待转移样品，其悬浮于磁悬浮滑轨；转移腔体，用于提供样品转移的真空腔体环境；磁悬浮滑轨，用于使所述转移模块沿所述磁悬浮滑轨无接触移动；至少一个快速进样腔，用于实现所述样品由所述快速进样腔进入所述转移腔体；至少两个功能腔体，用于对所述样品进行不同功能的操作；以及抽真空模块，配置为使所述腔体内部维持为真空环境。该转移系统实现样品在真空中的传输，减少了传输阻力、避免了与滑轨的直接接触磨损、延长了滑轨的使用寿命和样品在低温的维持时间。

Description

低温真空样品转移系统

技术领域

本发明涉及真空传送技术领域，更具体地涉及一种应用于真空互联系统的低温真空样品转移系统。

背景技术

在真空传送领域中，真空互联系统用于在不同真空腔体内传递和处理样品，一些待传送样品比如低维材料，其通常需要放置在超高真空环境中，以保持样品表面的洁净度，此外，大量的低维材料只有在低温条件下(室温以下，尤其是几mK～几十K)，才能维持特定的结构并展现出新奇的性质。

但是，在目前已知的真空互联系统中，已处于低温的样品在真空转移腔内通常处于室温环境，样品的传输是通过传统滑块与滑轨进行的，在样品的传输过程中，由于滑块与滑轨接触摩擦变热，也会使得滑块上的样品温度也会随着时间不断升高，并且升温过程会使得样品表面发生不可逆的会产生转变。为了解决上述存在的问题，部分真空互联系统会通过给滑轨输送低温流体，使样品在传输过程中也可持低温。然而，若滑轨处于低温下，承载样品的滑块在滑轨上的运输阻力增大、传输速度慢、滑轨传输速率较低、长时间运用会产生磨损甚至损坏等问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于克服上述现有技术的缺陷，提供一种低温真空样品转移系统，本发明使用的低温真空样品转移系统在真空传送和真空互联等领域具有重要的应用，因此本发明低温真空样品转移系统具有重要的学术应用性和经济效益。

根据本发明的第一方面，提供一种低温真空样品转移系统，其包括：转移模块，配置为承载待转移样品；转移腔体，用于提供样品转移的真空腔体环境；磁悬浮滑轨，设置于所述转移腔体内，用于使所述转移模块沿所述磁悬浮滑轨无接触移动；至少一个快速进样腔，其连接于所述转移腔体外部，所述快速进样腔的内部设置有操作模块，所述操作模块被配置为能够将所述样品经由所述快速进样腔转移至所述转移腔体内；功能腔体，其连接于所述转移腔体的外侧，用于对所述样品进行不同功能的操作，所述功能腔体的内部均设置有所述操作模块，用于实现所述样品在所述操作模块与所述转移模块之间的转移；以及抽真空模块，其与所述转移腔体连接，配置为使所述腔体内部维持为真空环境。

优选的，所述的低温真空样品转移系统还包括至少一个降温中继站，其部分地设置于所述转移腔体的内部，并且与每个所述快速进样腔体和每个所述功能腔体均具有各自相应的降温中继站；以及至少一个低温恒温器，其设置于所述转移腔体的外部，与所述降温中继站连接，为所述降温中继站降温。

优选的，所述功能腔体包括第一功能腔体和第二功能腔体，所述第一功能腔体用于对所述样品进行低温条件下分子的吸附和监控；所述第二功能腔体用于对所述样品进行低温条件下分子的表征。

优选的，所述降温中继站能够在所述转移腔体内进行伸缩运动，所述转移模块能够在所述降温中继站处被固定，用于对所述转移模块进行降温。

优选的，当所述转移模块移动至所述降温中继站处被固定时，所述转移模块与所述降温中继站形成热传导。

优选的，当所述转移模块到达所述功能腔体中的任何一个时，由相对应的所述降温中继站进行固定和再次降温。

优选的，所述转移模块包括：滑块，其为中空结构，内部设置有磁体，用于使其悬浮于所述磁悬浮滑轨；磁耦合装置，设置于转移腔体内，配置为与转移腔体外的磁耦合驱动装置之间相互作用产生磁力，使所述转移模块沿所述磁悬浮滑轨进行无接触移动；屏蔽装置，配置为包裹于所述转移模块的外侧，与所述转移模块之间形成屏蔽空间，用于屏蔽来自转移腔体外界的对所述转移模块以及所述样品的热辐射；连接装置，其一端与所述屏蔽装置连接，另一端与所述滑块连接，使所述屏蔽装置与所述滑块之间建立热连接；以及冷却装置，其设置于所述滑块的表面，配置为吸收热量以冷却所述滑块。

优选的，所述转移模块还包括测温装置，其设置于所述滑块的表面，配置为测量所述滑块的温度。

优选的，所述屏蔽装置为可导热材料，设置有可开或关的口，用于所述样品的放置和取出，所述冷却装置为可蓄冷材料，在所述转移模块移动过程中，所述屏蔽装置可用于屏蔽热辐射，所述冷却装置可用于吸收热量，两者共同作用以维持所述转移模块的低温。

优选的，所述连接装置还可用于将所述屏蔽装置固定于所述滑块，以使所述屏蔽装置和所述滑块保持同步移动。

本发明提供一种应用于真空互联系统的低温真空样品转移系统，本发明的转移系统将传统滑块更换为可悬浮于磁悬浮滑轨的受磁力控制的滑块，本发明的转移系统将传统的滑轨更换为磁悬浮滑轨，通过磁耦合驱动的方式，使转移模块悬浮于磁悬浮滑轨进行无接触运动，实现样品在真空中的传输，减少了传输阻力、避免了传输台与滑轨的直接接触磨损、延长了滑轨的使用寿命和样品的低温维持时间。

此外，本发明的转移模块和低温真空样品转移系统均增设有制冷功能，使样品始终处于超高真空和低温环境中，通过设置低温中继站，周期性地对样品进行降温，使样品始终处于低温状态，保持样品表面的洁净度和低温形貌。避免了样品因温度升高导致不可逆转的改变，从而提高实验效率和成功率。

本发明的转移系统通过磁悬浮的滑动方式降低热传导、屏蔽装置来降低热辐射、冷却装置来提供冷量以及利用降温中继站进行降温的综合模式，保证了样品在真空环境中多个点位之间的转移过程中始终维持样品所需要的低温条件。

附图说明

以下参照附图对本发明实施例作进一步说明，其中：

图1为根据本发明一实施例提供的在第一应用场景下的转移系统的结构示意图；

图2为根据本发明一实施例提供的在第一应用场景下的包含于转移系统中的转移模块的结构示意图；

图3为根据本发明一实施例提供的在第二应用场景的下转移系统的结构示意图；以及

图4为根据本发明一实施例提供的在第二应用场景下的包含于转移系统中的转移模块的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的，技术方案及优点更加清楚明白，以下通过具体实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

下面结合附图详细说明本发明。

图1为根据本发明一实施例提供的在第一应用场景下的转移系统100的结构示意图，其中，第一应用场景为转移系统100中的转移模块1与低温中继站7脱离的状态。在该状态，低温中继站7不对转移模块1进行降温，且转移模块1可在磁悬浮滑轨2上自由移动。本发明的低温真空样品转移系统100包括：转移模块1、磁悬浮滑轨2、转移腔体3、快速进样腔4、第一功能腔体8、第二功能腔体9、以及抽真空模块10。

在一些实施方案中，本发明的低温真空样品转移系统100还可包括低温恒温器6、降温中继站7。

在一些实施方案中，所述转移腔体3为真空腔体，用于提供样品转移以及转移模块1移动的真空腔体环境。所述转移腔体3可为线性结构、方形结构、球形结构、筒形结构等其它结构样式，并由抽真空模块10维持其超真空环境。

转移模块1和磁悬浮滑轨2均位于转移腔体3的内部，转移模块1可悬浮于所述磁悬浮滑轨2之上进行无接触滑动，用于减少传输阻力，避免与磁悬浮滑轨2的直接接触磨损，并延长转移模块1和磁悬浮滑轨2的使用寿命。

转移腔体3的内部可含有多个降温中继站7，降温中继站7的一部分位于转移腔体3的内部，另一部分位于转移腔体3的外部。其中，位于转移腔体3外的部分与低温恒温器6连接，低温恒温器6可通过与降温中继站建立热传导来使低温中继站7保持低温，从而使降温中继站7可以对与其固定的转移模块1进行降温。

快速进样腔4、第一功能腔体8、第二功能腔体9均具有各自相应的降温中继站7。为了使转移模块1和转移腔体3始终处于低温环境，降温中继站7与低温恒温器6连接，且降温中继站7能够在转移腔体3的内部进行伸缩运动，以使转移模块1相对于降温中继站7固定或从其脱离，当转移模块1在降温中继站7处被固定时，转移模块1和降温中继站7之间建立了热传导，从而能够利用低温恒温器6通过降温中继站7对转移模块1进行降温。

低温恒温器6可为降温中继站7提供冷却，转移系统100可包括多个低温恒温器6，为了能达到所期望的温度，可以根据实际需求设置低温恒温器6的数量。低温恒温器6除了能够提供低温(室温以下，尤其是几mK至几十K)，还能工作在超高真空环境下。

在一些实施方案中，低温恒温器6可以是湿式的低温恒温器，如杜瓦型低温恒温器或连续流型低温恒温器等，通过向低温恒温器6中输送低温工质，获得低温。低温恒温器6也可替换成制冷机等制冷设备直接获得低温。

快速进样腔4连接于所述转移腔体3的外部，其内部设置有操作模块(图中未示出)，用于实现所述样品12在操作模块与转移模块1之间的快速低温转移。样品12可在不破坏真空环境的条件下，由快速进样腔4进入真空转移腔体3内，并放置于降温中继站7处被固定的转移模块1上。

如图2所示，转移模块1包括滑块11、磁耦合装置14、屏蔽装置13、连接装置17、以及冷却装置16。磁耦合装置14设置于转移腔体3内部，用于与转移腔体3外的磁耦合驱动装置18之间相互作用产生磁力，使转移模块1可以沿所述磁悬浮滑轨进行无接触移动，从而减少传输阻力，避免与磁悬浮滑轨2的直接接触磨损，并延长转移模块1和磁悬浮滑轨2的使用寿命。

转移模块1的外部被屏蔽装置13包裹，屏蔽装置13是一种柔性的、可弯曲的冷屏，该冷屏可以是可导热材料，例如铜、铝等，屏蔽装置13的作用是通过与转移模块1之间形成不透明的屏蔽空间，以屏蔽转移腔体3的外界对转移模块1的热辐射，以防止转移模块1的温度升高。屏蔽装置13上还具有可开关的口(图中未示出)，用于实现样品的放置与取出。

由于屏蔽装置13本身也会对转移模块1产生热辐射，并且屏蔽装置13的温度越高，热辐射越强，因此，也需要使屏蔽装置13保持低温，为了使屏蔽装置13保持低温，当转移模块1移动至降温中继站7处被固定时，屏蔽装置13、转移模块1同时与降温中继站7建立稳定的热传导关系，降温中继站7通过热传导，可以对屏蔽装置13进行降温，使其保持低温，避免对转移模块1产生热辐射。其中，屏蔽装置13通过连接装置17与转移模块1进行热传导，所述连接装置17可为铜辫子等可以用于热传导的连接装置，所述连接装置17还可以是其它一些可进行热传导的金属材料以及聚合物材料等。此外，连接装置17还可以用于将屏蔽装置13固定在转移模块1上，以便在滑动过程中，防止屏蔽装置13脱离于转移模块1。

在一些实施方案中，本发明的转移模块1还包括测温装置15，其设置于滑块11的表面，用于测量滑块11的温度。

在一些实施方案中，通过测温装置15测量转移模块1的温度，待转移模块1到达所需温度后，例如降温到指定温度时，使降温中继站7与转移模块1脱离，并使转移模块1处于悬浮状态。之后，再利用磁耦合驱动装置在转移腔体3的外部操纵转移模块1，使转移模块1沿着磁悬浮滑轨2进行无接触移动。在移动过程中，屏蔽装置13起到了屏蔽外界热辐射的作用，从而避免了转移模块1的温度升高。

冷却装置16设置于所述转移模块1的表面，用于为吸收热量以冷却所述转移模块1，测温装置15和冷却装置16两者共同作用以维持和监测转移模块1始终处于所期望的低温条件。

在一些实施方案中，当转移模块1到达其他功能腔体处时，可由相对应的降温中继站7进行固定和再次降温。如有需要，可打开屏蔽装置13的口，通过相应的功能腔体内的操作模块(图中未示出)在转移腔体3和功能腔体之间进行样品的低温真空转移。样品12亦可由不同功能腔体之间进行转移或由功能腔体处转移回快速进样腔4，从而保证了样品在转移到快速进样腔4之前始终处于低温环境。

图2为根据本发明一实施例提供的在第一应用场景下的包含于转移系统100中的转移模块1的结构示意图。转移模块1包括滑块11、样品12、屏蔽装置13、磁耦合装置14、测温装置15、冷却装置16、连接装置17。

在一些实施方案中，所述转移模块1中的滑块11可用于承载一个或多个待转移样品12，滑块11的内部设置有磁体，可悬浮于磁悬浮滑轨2，在磁耦合装置14的控制下，可在磁悬浮滑轨2上进行无接触移动。本文所述的磁悬浮滑轨2和转移模块1不局限于图1所示的样式，此外，根据实际需要，可在磁悬浮滑轨2上放置多个转移模块1。

屏蔽装置13可以为柔性屏蔽辐射罩，其包裹于转移模块1的外侧，可与转移模块1之间形成屏蔽空间，用于屏蔽外界对所述转移模块1以及所述样品12的热辐射，屏蔽装置13可进行弯曲，同时该屏蔽装置13的表面也具有散热功能，使屏蔽装置13不会随着长时间工作而温度升高，避免了进而造成转移模块1的温度升高。屏蔽装置13上还设置有可开或关的口，用于样品的放入和取出操作。

磁耦合装置14设置于转移腔体3内，可与转移腔体3外的磁耦合驱动装置18之间相互作用产生磁力，该磁力使所述转移模块1沿所述磁悬浮滑轨2进行无接触移动。用于磁悬浮和磁耦合的材料可以是永磁体、电磁体或者超导磁体等。

转移模块1上还设置有测温装置15、冷却装置16。通过测温装置15可以测量样品在转移过程中所述转移模块1处的温度。冷却装置16为可蓄冷材料，其采用的是大比热容物质，比如氧化物、硬质聚氨酯管壳、深冷系列橡塑材料等，其作用是存储冷量以及通过热传导来释放冷能量，来对转移模块1进行降温。

转移模块1在移动的过程中，屏蔽装置13可屏蔽来自转移腔体3外部的热辐射，冷却装置16设置于转移模块1的表面，可用于对转移模块1进行冷却，两者共同作用以维持所述转移模块1的低温。

图3为根据本发明一实施例提供的在第二应用场景的下转移系统100的结构示意图。第二应用场景为当转移系统100中的转移模块1与低温中继站7固定的状态。图3中的低温转移系统100与图1中的低温转移系统100的结构组成完全相同，但图3的温转移系统100示出了转移模块1被低温中继站7固定的状态。

在图3所示的状态下，转移模块1不可以在磁悬浮滑轨2上自由移动，可以通过低温中继站7对该状态下的转移模块1进行降温，且当在下一中继站点再次被低温中继站7固定时，可以通过低温中继站7被再次进行降温，从而使得转移模块1周期性地被降温，使其始终保持低温状态。进一步地可以根据样品的特质以及对温度的敏感度可设置不同距离间隔的低温中继站7，以实现不同周期段的降温，从而可以根据实际需求进行降温，增强了其降温的灵活性与有效性。通过设置低温中继站7，周期性地对样品进行降温，使样品始终处于低温状态，保持样品表面的洁净度和低温形貌。避免了样品因温度升高导致不可逆转的改变，从而提高实验效率和成功率。

图4为根据本发明一实施例提供的在第二应用场景下的包含于转移系统100中的转移模块1的结构示意图。图4中的转移模块1与图2中的转移模块1的结构组成完全相同。图4中的转移模块1不可在磁悬浮滑轨2上自由移动，可以通过低温中继站7对转移模块1进行降温，且当在下一中继站点再次被低温中继站7固定时，其可通过低温中继站7被再次进行降温，使得转移模块1周期性地被降温，是使其始终保持低温状态，可根据样品12的特质以及对温度的敏感度可设置不同距离间隔的低温中继站7，以实现不同周期段的降温，从而可以根据实际需求进行降温，增强了其降温的灵活性与有效性。

为了更好说明本发明的可行性和使用方法，本申请将结合分子吸附和表征的示例进行阐述。在本示例中，低温中继站7上的低温恒温器6采用脉管制冷机(最低可获得温度为10K)、转移腔体3和磁悬浮滑轨2采用线性永磁体悬浮结构、采用磁耦合的方式进行驱动，第一功能腔体8具有材料制备和监测的能力、第二功能腔体9具有材料表征(例如扫描隧道显微镜、红外光谱等)的能力。

在本示例中，吸附分子后的样品温度需要始终维持在50K以下，进而避免分子的脱附，具体使用过程和方法如下所述：

步骤1、新鲜解理的样品12可在不破坏真空的条件下，通过样品的操作模块由快速进样腔4进入转移腔体3内，并可将样品放置于降温中继站7处被固定的转移模块1上，其中转移腔体3内设置有转移模块1，快速进样腔中设置有操作模块，操作模块和转移模块1之间可以进行样品的传递和转移；其中，所述操作模块配置为始终保持低温，避免在样品转移过程中，将热量传递给转移模块1。

步骤2、降温中继站7对转移模块1进行降温，通过测温装置15测量转移模块的温度，待其到达所需温度后(例如15K)，可使降温中继站7与转移模块1脱离，令转移模块1处于悬浮状态。之后，利用磁耦合驱动装置在真空外操纵转移模块1，使其沿着磁悬浮滑轨2进行无接触移动至第一功能腔体8处，并由此处的降温中继站7进行固定和再次降温；

步骤3、待转移模块1的温度再次到达15K后，利用第一功能腔体8处的操作模块将样品转移至第一功能腔体8中进行低温条件下(例如10K)分子的吸附和监控，其中第一功能腔体8内也设置有操作模块(图中未示出)，操作模块可以与转移腔体3内的转移模块1进行样品的转移；

步骤4、待达到所需要的吸附效果后，再次利用操作模块将样品转移到第一功能腔体8处被降温中继站7固定的转移模块1上；

步骤5、之后，使第一功能腔体8处的降温中继站7与转移模块1脱离，再次令转移模块1处于悬浮状态，利用磁耦合驱动装置18在真空外操纵转移模块1，使其沿着磁悬浮滑轨2进行无接触移动至第二功能腔体9处，并由此处的降温中继站进行固定和再次降温；

步骤6、待其温度再次到达15K后，利用第二功能腔体9处的操作模块将样品转移至第二功能腔体9中进行低温条件下(例如5K)分子的表征，其中第二功能腔体9内设置有操作模块；

步骤7、若在第一功能腔体8和和第二功能腔体9之间的转移过程中，测温装置15的度数超过50K，将会引起分子的脱附，需重新将样品转移回第一功能腔体8中重新进行制备；

步骤8、表征完毕的样品亦可转移回第一功能腔体8中，或者传回快速进样腔4取出、或暂存于转移腔体3内部的存放位置。

本发明的实施例可以包含多个样品12、多个转移模块1和多个功能腔体，用于实现不同的功能，其操作过程与上述描述相同。

本发明的转移模块将传统滑块更换为可悬浮于磁悬浮滑轨的受磁力控制的滑块，本发明的低温真空样品转移系统将传统的滑轨更换为磁悬浮滑轨，通过磁耦合驱动的方式，使转移模块悬浮于磁悬浮滑轨进行无接触运动，实现样品在真空中的传输，减少了传输阻力、避免了传输台与滑轨的直接接触磨损、延长了滑轨的使用寿命。

此外，本发明的转移模块和低温真空样品转移系统均增设有制冷功能，使样品始终处于超高真空和低温环境中，通过设置低温中继站，周期性地对样品进行降温，使样品始终处于低温状态，保持样品表面的洁净度和低温形貌。避免了样品因温度升高导致不可逆转的改变，从而提高实验效率和成功率。

本发明提供了一种新型的低温样品传输设计方案，满足于绝大多数低温真空互联系统的需求；减少了滑块与滑轨之间的摩擦，使传输速率升高，使用寿命延长；本发明主要应用在大型的真空互联系统中，如在分子束外延生长腔内低温生长的样品可直接通过低温传输台传输到扫描隧道显微镜腔体内部进行表征，并且将样品维持在低温状态。

此外，还可做成一个小型的转移腔，实现不互联腔体之间的真空低温样品转移。

以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。

Claims (10)

1.一种低温真空样品转移系统(100)，包括：

转移模块(1)，配置为承载待转移样品；

转移腔体(3)，配置为提供样品转移的真空腔体环境；

磁悬浮滑轨(2)，设置于所述转移腔体(3)内，配置为使所述转移模块(1)沿所述磁悬浮滑轨(2)无接触移动；

至少一个快速进样腔(4)，其连接于所述转移腔体(3)的外侧，所述快速进样腔(4)的内部设置有操作模块，所述操作模块被配置为能够将所述样品经由所述快速进样腔(4)转移至所述转移腔体(3)内；

功能腔体，其连接于所述转移腔体(3)的外侧，配置为对所述样品进行不同功能的操作，所述功能腔体的内部均设置有所述操作模块，用于实现所述样品在所述操作模块与转移模块(1)之间的转移；以及

抽真空模块(10)，其与所述转移腔体(3)连接，配置为使所述腔体(3)内部维持为真空环境。

2.根据权利要求1所述的低温真空样品转移系统(100)，其还包括：

至少一个降温中继站(7)，其部分地设置于所述转移腔体(3)的内部，并且每个所述快速进样腔体(4)和每个所述功能腔体均具有各自相应的降温中继站(7)；以及

至少一个低温恒温器(6)，其设置于所述转移腔体(3)的外部，与所述降温中继站(7)连接，用于为所述降温中继站(7)降温。

3.根据权利要求1所述的低温真空样品转移系统(100)，其中，所述功能腔体包括第一功能腔体(8)和第二功能腔体(9)，所述第一功能腔体(8)用于对所述样品(12)进行低温条件下分子的吸附和监控；所述第二功能腔体(9)用于对所述样品(12)进行低温条件下分子的表征。

4.根据权利要求1所述的低温真空样品转移系统(100)，其中，所述降温中继站(7)能够在所述转移腔体(3)内进行伸缩运动，所述转移模块(1)能够在所述降温中继站(7)处被固定，用于对所述转移模块(1)进行降温。

5.根据权利要求1所述的低温真空样品转移系统(100)，其中，当所述转移模块(1)移动至所述降温中继站(7)处被固定时，所述转移模块(1)与所述降温中继站(7)形成热传导。

6.根据权利要求1所述的低温真空样品转移系统(100)，其中，当所述转移模块(1)到达所述功能腔体中的任何一个时，由相对应的所述降温中继站(7)进行固定和再次降温。

7.根据权利要求1所述的低温真空样品转移系统(300)，其中，所述转移模块(1)包括：

滑块(11)，其为中空结构，内部设置有磁体，用于使其悬浮于所述磁悬浮滑轨(2)；

磁耦合装置(14)，设置于转移腔体(3)内，配置为与转移腔体(3)外的磁耦合驱动装置(18)之间相互作用产生磁力，使所述转移模块(1)沿所述磁悬浮滑轨(2)进行无接触移动；

屏蔽装置(13)，配置为包裹于所述转移模块(1)的外侧，与所述转移模块(1)之间形成屏蔽空间，用于屏蔽来自转移腔体(3)外界的对所述转移模块(1)以及所述样品(12)的热辐射；

连接装置(17)，其一端与所述屏蔽装置(13)连接，另一端与所述滑块(11)连接，使所述屏蔽装置(13)与所述滑块(11)之间建立热连接；以及

冷却装置(16)，其设置于所述滑块(11)的表面，配置为吸收热量以冷却所述滑块(11)。

8.根据权利要求1所述的低温真空样品转移系统(100)，其中，所述转移模块(1)还包括测温装置(15)，其设置于所述滑块(11)的表面，用于测量所述滑块(11)的温度。

9.根据权利要求7或8中任一权利要求所述的低温真空样品转移系统(100)，其中，所述屏蔽装置(13)为导热材料，设置有可开或关的口，用于所述样品(12)的放置和取出；所述冷却装置(16)为可蓄冷材料，在所述转移模块(1)移动过程中，所述屏蔽装置(13)可用于屏蔽热辐射，所述冷却装置(16)可用于吸收热量，两者共同作用以维持所述转移模块(1)的低温。

10.根据权利要求7所述的低温真空样品转移系统(100)，其中，所述连接装置(17)还用于将所述屏蔽装置(13)固定于所述滑块(11)，以使在滑动过程中所述屏蔽装置(13)和所述滑块(11)保持同步移动。