JP7178142B2 - サンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するためのサンプル移送装置および方法 - Google Patents

Description

本開示は、サンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するためのサンプル移送装置、本装置を有する、システム、真空チャンバの中および外に移送されるように構成される、サンプル保持器、およびサンプル保持器を真空チャンバの中または外に移送するための方法に関する。本開示は、特に、低温保持装置の真空チャンバの中または外へのサンプル保持器の装填および装填解除に関する。本開示はさらに、サンプル移送装置の線形移動による、サンプル保持器の装填および装填解除に関する。

低温保持装置は、概して、低温保持装置内に搭載されるサンプルの低温を維持するために使用される。低温は、例えば、液体ヘリウム等の低温流体槽を使用することによって、達成され得る。しかしながら、液体ヘリウム等の冷却媒体は、低温保持装置内の外部および／または内部熱入力に起因して持続的に蒸発し、したがって、定期的に補充される必要がある。これは、かなりの時間およびリソースを要求し、それによって、そのような低温保持装置の運用コストが、高くなる。

上記の欠点を克服するために、極低温剤を含まない低温保持装置が、開発されている。極低温剤を含まない低温保持装置は、パルス管低温冷却器等の極低温剤を含まない閉サイクルシステムを採用してもよい。現代のパルス管低温冷却器は、最低１．２Ｋの温度を達成することができる。ケルビン未満の温度を達成するために、磁気冷却段が、極低温剤を含まない閉サイクルシステムに加えて使用されることができる。磁気冷却段は、最低数ミリケルビンの温度を達成し得る、断熱消磁冷凍機（ＡＤＲ）であってもよい。ＡＤＲは、磁気熱量効果に基づく。媒体が、磁化されると、その磁気モーメントが、整合され、磁化の熱が、解放される。逆に、媒体が、消磁される場合、その温度が、降下する。

特に、ケルビン未満の温度において、低温保持装置内への入熱は、極めて重要である。低温保持装置の内側は、外側から断熱される必要がある。本目的のために、サンプルを低温保持装置の中に挿入する、または低温保持装置からサンプルを除去するときのアクセス時間を短縮させることが、有益であり得る。さらに、低温保持装置の外側から来た物体と低温保持装置の内側との間の接触を低減させる、またはさらに回避することも、有益である。

上記に照らして、当技術分野における問題のうちの少なくともいくつかを克服する、新しいサンプル移送装置、システム、サンプル保持器、および方法が、有益である。

上記に照らして、サンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するためのサンプル移送装置、本装置を有する、システム、真空チャンバの中および外に移送されるように構成される、サンプル保持器、およびサンプル保持器を真空チャンバの中または外に移送するための方法が、提供される。

サンプル保持器を真空チャンバの中に効率的に挿入する、および／またはサンプル保持器を真空チャンバから効率的に除去することが、本開示の目的である。真空チャンバの中への入熱を低減させることが、本開示の別の目的である。本開示のさらなる側面、利点、および特徴が、請求項、説明、および付随の図面から明白である。

本開示のある側面によると、サンプル保持器を真空チャンバの中および／または外に移送するための、サンプル移送装置が、提供される。サンプル移送装置は、サンプル保持器の少なくとも１つのフォロワと協働するように構成される、少なくとも１つのカムを有する、保持デバイスを含む。少なくとも１つのカムは、開放端部分と、係止部分と、係止軌道部分と、解放軌道部分とを有する、湾曲した軌道を含み、係止軌道部分および解放軌道部分はそれぞれ、開放端部分および係止部分を接続する。湾曲した軌道は、サンプル保持器の少なくとも１つのフォロワが、サンプル保持器を保持デバイスに取り付けるために、係止軌道部分を介して、開放端部分から係止部分まで誘導されるように構成される。湾曲した軌道はさらに、サンプル保持器の少なくとも１つのフォロワが、保持デバイスからサンプル保持器を解放するために、解放軌道部分を介して、係止部分から開放端部分まで誘導される。

本開示の別の側面によると、サンプル保持器を真空チャンバの中および／または外に移送するための、サンプル移送装置が、提供される。サンプル移送装置は、サンプル保持器の少なくとも１つのフォロワと協働するように構成される、少なくとも１つのカムを有する、保持デバイスを含む。少なくとも１つのカムは、少なくとも１つのフォロワが、サンプル保持器をサンプル移送装置に取り付けるために、少なくとも１つのカムの開放端部分から、第１の経路に沿って、少なくとも１つのカムの係止部分まで誘導されるように、かつ少なくとも１つのフォロワが、サンプル移送装置からサンプル保持器を解放するために、係止部分から、第１の経路と異なる第２の経路に沿って、開放端部分まで誘導されるように、構成される。

本開示の別の側面によると、サンプル保持器を真空チャンバの中におよび／または真空チャンバから外に移送するための、サンプル移送システムが、提供される。サンプル移送システムは、サンプル移送装置と、サンプル保持器とを含む。サンプル移送装置は、サンプル保持器の少なくとも１つのフォロワと協働するように構成される、少なくとも１つのカムを含む、またはサンプル保持器は、サンプル移送装置の少なくとも１つのフォロワと協働するように構成される、少なくとも１つのカムを含む。少なくとも１つのカムは、少なくとも１つのフォロワが、サンプル保持器をサンプル移送装置に取り付けるために、少なくとも１つのカムの開放端部分から、第１の経路に沿って、少なくとも１つのカムの係止部分まで誘導され、かつ少なくとも１つのフォロワが、サンプル移送装置からサンプル保持器を解放するために、係止部分から、第１の経路と異なる第２の経路に沿って、開放端部分まで誘導されるように、構成される。

本開示の別の側面によると、システムが、提供される。本システムは、真空チャンバを含む。本システムはさらに、本開示の実施形態のサンプル移送装置および／またはサンプル保持器も含む。サンプル移送装置は、本システム、特に、真空チャンバの内側へのサンプル移送装置の移送のための、真空チャンバに接続可能である。本システムは、低温保持装置であることができる。特に、真空チャンバは、低温保持装置の真空チャンバであることができる。

本開示の別の側面によると、真空チャンバの中および／または外に移送されるように構成される、サンプル保持器が、提供される。サンプル保持器は、本開示の実施形態による、サンプル移送装置の保持デバイスの少なくとも１つのカムと協働するように構成される、少なくとも１つのフォロワを含む。

本開示の別の側面によると、真空チャンバの中および／または外に移送されるように構成される、サンプル保持器が、提供される。サンプル保持器は、サンプル移送装置の保持デバイスの少なくとも１つのフォロワと協働するように構成される、少なくとも１つのカムとを含む。少なくとも１つのカムは、開放端部分と、係止部分と、係止軌道部分と、解放軌道部分とを有する、湾曲した軌道を含み、係止軌道部分および解放軌道部分はそれぞれ、開放端部分および係止部分を接続する。湾曲した軌道は、保持デバイスの少なくとも１つのフォロワが、サンプル保持器を保持デバイスに取り付けるために、係止軌道部分を介して、開放端部分から係止部分まで誘導されるように構成される。湾曲した軌道はさらに、保持デバイスの少なくとも１つのフォロワが、保持デバイスからサンプル保持器を解放するために、解放軌道部分を介して、係止軌道部分から開放端部分まで誘導されるように構成される。

本開示の別の側面によると、サンプル保持器を真空チャンバの中または外に移送するための方法が、提供される。本方法は、少なくとも１つのフォロワをカムの湾曲した軌道の開放端部分の中に挿入し、少なくとも１つのフォロワを、湾曲した軌道の係止軌道部分に沿って、湾曲した軌道の係止部分まで移動させ、少なくとも１つのフォロワを係止部分の中に係止することによって、サンプル保持器をサンプル移送装置の保持デバイスに取り付けるステップと、サンプル移送装置を使用して、サンプル保持器を真空チャンバの中または外に移送するステップと、少なくとも１つのフォロワを係止部分から解放し、少なくとも１つのフォロワを、湾曲した軌道の解放軌道部分に沿って湾曲した軌道の開放端部分まで移動させることによって、保持デバイスからサンプル保持器を解放するステップとを含む。

実施形態はまた、開示される方法を行うための装置も対象とし、各説明される方法側面を実施するための装置部品も含む。これらの方法側面は、ハードウェアコンポーネント、適切なソフトウェアによってプログラムされたコンピュータを用いて、その２つの任意の組み合わせによって、または任意の他の様式において実施されてもよい。さらに、本開示による実施形態はまた、説明される装置を動作させるための方法も対象とする。これは、本装置のあらゆる機能を行うための、方法側面も含む。
本発明は、例えば、以下を提供する。
（項目１）
サンプル保持器（２００）を真空チャンバ（８１０）の中および外に移送するためのサンプル移送装置（１００）であって、
サンプル保持器（２００）の少なくとも１つのフォロワ（２１０）と協働するように構成される少なくとも１つのカム（１２０）を含む保持デバイス（１１０）
を備え、
上記少なくとも１つのカム（１２０）は、開放端部分（１２２）と、係止部分（１２６）と、係止軌道部分（１２４）と、解放軌道部分（１２８）とを有する湾曲した軌道を含み、上記係止軌道部分（１２６）および上記解放軌道部分（１２８）はそれぞれ、上記開放端部分（１２２）および上記係止部分（１２６）を接続し、
上記湾曲した軌道は、上記サンプル保持器（２００）の少なくとも１つのフォロワ（２１０）が、上記サンプル保持器（２００）を上記保持デバイス（１１０）に取り付けるために、上記係止軌道部分（１２４）を介して、上記開放端部分（１２２）から上記係止部分（１２６）まで誘導されるように構成され、
上記湾曲した軌道はさらに、上記サンプル保持器（２００）の少なくとも１つのフォロワ（２１０）が、上記保持デバイス（１１０）から上記サンプル保持器（２００）を解放するために、上記解放軌道部分（１２８）を介して、上記係止部分（１２６）から上記開放端部分（１２２）まで誘導されるように構成される、サンプル移送装置（１００）。
（項目２）
上記保持デバイス（１１０）は、上記サンプル保持器（２００）が、上記サンプル保持器（２００）の取付および解放の間に、上記保持デバイス（１１０）の長手方向軸（１０）に対して線形にのみ移動するように構成される、項目１に記載のサンプル移送装置（１００）。
（項目３）
上記保持デバイス（１１０）は、第１の区分（１１２）と、上記第１の区分（１１２）に移動可能に接続される第２の区分（１１４）とを含み、上記第２の区分（１１４）は、上記少なくとも１つのカム（１２０）を含む、項目１または２に記載のサンプル移送装置（１００）。
（項目４）
上記第２の区分（１１４）は、上記保持デバイス（１１０）の長手方向軸（１０）に対して平行な回転軸の周囲で回転可能である、項目３に記載のサンプル移送装置（１００）。
（項目５）
上記第２の区分（１１４）は、上記サンプル保持器（２００）が、上記サンプル保持器（２００）の少なくとも１つのフォロワ（２１０）が、上記サンプル保持器（２００）を取り付けるかまたは解放するために上記少なくとも１つのカム（１２０）の湾曲した軌道に沿って誘導されると、線形に、かつ非回転的に移動されるように、上記回転軸の周囲で回転するように構成される、項目４に記載のサンプル移送装置（１００）。
（項目６）
上記保持デバイス（１１０）は、円筒形状を有する、項目１－５のいずれか１項に記載のサンプル移送装置（１００）。
（項目７）
上記サンプル保持器（２００）に接触し、上記保持デバイス（１１０）の長手方向軸（１０）に沿った上記サンプル保持器（２００）の移動を防止するように構成される固定デバイス（１５０）をさらに含む、項目１－６のいずれか１項に記載のサンプル移送装置（１００）。
（項目８）
上記固定デバイス（１５０）は、
少なくとも１つの弾性要素（１５４）と、
第１の端部（１５２ａ）と、第２の端部（１５２ｂ）とを有する少なくとも１つの接触要素（１５２）であって、上記第１の端部（１５２ａ）は、上記サンプル保持器（２００）に接触するように構成され、上記第２の端部（１５２ｂ）は、上記少なくとも１つの弾性要素（１５４）に接続される、少なくとも１つの接触要素（１５２）と
を含む、項目７に記載のサンプル移送装置（１００）。
（項目９）
上記固定デバイス（１５０）は、上記保持デバイス（１１０）の内部空間内に配列される、項目７または８に記載のサンプル移送装置（１００）。
（項目１０）
上記少なくとも１つのカム（１２０）の湾曲した軌道は、ループおよびハート形のうちの少なくとも一方である、項目１－９のいずれか１項に記載のサンプル移送装置（１００）。
（項目１１）
上記少なくとも１つのカム（１２０）の湾曲した軌道は、上記保持デバイス（１１０）の長手方向軸（１０）に沿って延在し、上記係止部分（１２６）は、上記係止軌道部分（１２４）と上記解放軌道部分（１２８）との間に配列され、上記係止軌道部分（１２４）および上記解放軌道部分（１２８）は、上記係止部分（１２６）よりも、上記開放端部分（１２２）から離れる方向において上記長手方向軸（１０）に沿って遠くに延在する、項目１－１０のいずれか１項に記載のサンプル移送装置（１００）。
（項目１２）
システム（８００）であって、
真空チャンバ（８１０）と、
上記項目のいずれか１項に記載のサンプル移送装置（１００）であって、上記サンプル移送装置（１００）は、上記真空チャンバ（８１０）の内側への移送のために上記システム（８００）に接続可能である、サンプル移送装置（１００）と
を備える、システム（８００）。
（項目１３）
上記システム（８００）は、断熱消磁冷凍機、特に、多段断熱消磁冷凍機である、項目１２に記載のシステム（８００）。
（項目１４）
真空チャンバの中および外に移送されるように構成されるサンプル保持器であって、
サンプル移送装置の保持デバイスの少なくとも１つのフォロワと協働するように構成される少なくとも１つのカム
を備え、
上記少なくとも１つのカムは、開放端部分と、係止部分と、係止軌道部分と、解放軌道部分とを有する湾曲した軌道を含み、上記係止軌道部分および上記解放軌道部分はそれぞれ、上記開放端部分および上記係止部分を接続し、
上記湾曲した軌道は、上記保持デバイスの少なくとも１つのフォロワが、上記サンプル保持器を上記保持デバイスに取り付けるために、上記係止軌道部分を介して、上記開放端部分から上記係止部分まで誘導されるように構成され、
上記湾曲した軌道はさらに、上記保持デバイスの少なくとも１つのフォロワが、上記保持デバイスから上記サンプル保持器を解放するために、上記解放軌道部分を介して、上記係止軌道部分から上記開放端部分まで誘導されるように構成される、サンプル保持器。
（項目１５）
サンプル保持器を真空チャンバの中または外に移送するための方法（９００）であって、
ａ）少なくとも１つのフォロワをカムの湾曲した軌道の開放端部分の中に挿入することと、
上記少なくとも１つのフォロワを、上記湾曲した軌道の係止軌道部分に沿って、上記湾曲した軌道の係止部分まで移動させることと、
上記少なくとも１つのフォロワを上記係止部分の中に係止することと
によって、上記サンプル保持器をサンプル移送装置の保持デバイスに取り付けること（９１０）と、
ｂ）上記サンプル移送装置を使用して、上記サンプル保持器を上記真空チャンバの中または外に移送すること（９２０）と、
ｃ）上記少なくとも１つのフォロワを上記係止部分から解放することと、
上記少なくとも１つのフォロワを、上記湾曲した軌道の解放軌道部分に沿って上記湾曲した軌道の開放端部分まで移動させることと
によって、上記保持デバイスから上記サンプル保持器を解放すること（９３０）と
を含む、方法（９００）。

本開示の上記に列挙される特徴が詳細に理解され得る様式におけるように、上記に簡略的に要約される、本開示のより特定の説明が、実施形態を参照することによって、得られ得る。付随の図面は、本開示の実施形態に関し、以下に説明される。
図１は、本明細書に説明される実施形態に従って、サンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するための、サンプル移送装置の概略図を示す。 図２は、本明細書に説明される実施形態による、カムの概略図を示す。 図３ＡおよびＢは、本明細書に説明される実施形態による、サンプル保持器の取付および解放の概略図を示す。 図３ＡおよびＢは、本明細書に説明される実施形態による、サンプル保持器の取付および解放の概略図を示す。 図４は、本明細書に説明されるさらなる実施形態に従ってサンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するための、サンプル移送装置の概略図を示す。 図５は、本明細書に説明されるさらにさらなる実施形態に従ってサンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するための、サンプル移送装置の概略図を示す。 図６は、本明細書に説明されるさらなる実施形態に従ってサンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するための、サンプル移送装置の概略図を示す。 図７は、本明細書に説明される実施形態による、サンプル保持器の概略図を示す。 図８は、本明細書に説明される実施形態による、システムの概略図を示す。 図９は、本明細書に説明される実施形態に従ってサンプル保持器を真空チャンバの中または外に移送するための、方法のフローチャートを示す。

その１つ以上の実施例が図に図示される、本開示の種々の実施形態が、ここで、詳細に参照されるであろう。図面の以下の説明において、同一の参照番号は、同一のコンポーネントを指す。概して、個々の実施形態に対する差異のみが、説明される。各実施例は、本開示の解説として提供され、本開示の限定であることを意図していない。さらに、一実施形態の一部として例証または説明される特徴は、他の実施形態に関して、またはそれと併せて使用され、さらにさらなる実施形態をもたらすことができる。本説明が、そのような修正と、変形例とを含むことが、意図される。

低温および超低温において、サンプルを低温保持装置の中に挿入する、または低温保持装置からサンプルを除去するときのアクセス時間を短縮させることが、有益であり得る。さらに、低温保持装置の外側から来た物体と低温保持装置の内側との間の接触を低減させる、またはさらに回避することも、有益である。

本開示は、それに沿って、フォロワがサンプル保持器の挿入または除去の間に誘導される、カムを使用する。カムは、サンプル保持器が、サンプル保持器および／またはサンプル移送装置の線形移動によって、サンプル移送装置に取り付けられ、それから解放され得るように成形される。故に、回転移動等のさらなる移動が、要求されることはない。サンプル保持器は、サンプル保持器をサンプル移送装置に対して、またはサンプル移送装置をサンプル保持器に対して押動することのみによって、サンプル移送装置に取り付けられ、それから解放されることができる。

それによって、サンプル保持器は、真空チャンバの中に効率的に挿入される、および／または真空チャンバから効率的に除去されることができる。さらに、特に、サンプル保持器が挿入された後、サンプル保持器のみが、真空チャンバ内に留まる一方、サンプル移送装置が、そこから除去され得るため、例えば、低温保持装置の真空チャンバの中への入熱が、低減されることができる。

図１は、本明細書に説明される実施形態による、サンプル保持器２００を真空チャンバの中および／または外に移送するための、サンプル移送装置１００の概略図を示す。図１（ａ）は、サンプル移送装置１００から取り外される、サンプル保持器２００を示し、図１（ｂ）は、サンプル移送装置１００に固定して取り付けられる、サンプル保持器２００を示す。

サンプル移送装置１００は、サンプル保持器２００の少なくとも１つのフォロワ２１０と協働するように構成される、少なくとも１つのカム１２０を有する、保持デバイス１１０を含む。少なくとも１つのカム１２０は、線形移動によって、特に、サンプル保持器２００をサンプル移送装置１００に対して押動することによって、またはサンプル移送装置１００をサンプル保持器２００に対して押動することによって、サンプル保持器を取り付け、解放するために構成される、形状を有する。いくつかの実装では、少なくとも１つのカム１２０を含む、保持デバイス１１０の少なくとも一部が、付加製造技法を使用して製造されることができる。

本明細書に説明される他の実施形態と組み合わせられ得る、いくつかの実施形態によると、保持デバイス１１０は、サンプル保持器２００が、サンプル保持器２００の取付および解放の間に保持デバイス１１０の長手方向軸１０に対して線形にのみ移動するように構成される。言い換えると、保持デバイス１１０は、サンプル保持器２００が、サンプル保持器２００の取付および解放の間に保持デバイス１１０の長手方向軸１０に対して角運動（すなわち、回転）を実施しないように構成される。それによって、サンプル保持器２００は、真空チャンバ内の定常基部に整合および固定されることができる。

いくつかの実装では、長手方向軸１０は、垂直方向に対して略平行であることができる。言い換えると、長手方向軸１０は、略垂直な軸であることができる。例えば、長手方向軸１０は、サンプル保持器２００の取付および解放の間、垂直方向に対して略平行であることができる。

用語「垂直方向」または「垂直配向」は、「水平方向」または「水平配向」に対して区別するために理解される。すなわち、「垂直方向」または「垂直配向」は、例えば、サンプル移送装置１００および／または長手方向軸１０の略垂直な配向に関し、厳密な垂直方向または垂直配向からの数度、例えば、最大１０°またはさらに最大１５°の逸脱は、依然として、「略垂直方向」または「略垂直配向」として見なされる。垂直方向は、重力に対して略平行であることができる。

本明細書に説明される他の実施形態と組み合わせられ得る、いくつかの実施形態によると、保持デバイス１１０は、円筒形状を有する。用語「円筒」は、円形の底部形状と、円形の上側形状と、上側円および下側円を接続する、湾曲した表面積またはシェルとを有するものとして一般的に受け入れられるものとして理解されることができる。保持デバイス１１０の長手方向軸１０が、円筒の円筒軸に対応し得る。

いくつかの実装では、少なくとも１つのカム１２０が、円筒形保持デバイス１１０の内側表面において提供される。例えば、少なくとも１つのカム１２０は、円筒形保持デバイス１１０の壁または厚さを通して延在する、カットアウトであることができる。

本明細書に説明される他の実施形態と組み合わせられ得る、いくつかの実施形態によると、保持デバイス１１０は、サンプル保持器２００のための受容空間を含む。受容空間は、保持デバイス１１０の内部空間であってもよい。サンプル保持器２００は、保持デバイス１１０、特に、円筒の内部によって画定され得る、受容空間の中に挿入可能であってもよい。例えば、保持デバイス１１０は、サンプル保持器２００が、保持デバイス１１０に取り付けられるときに、サンプル保持器２００が保持デバイス１１０から外に突出しないように構成されてもよい。それによって、サンプル保持器２００は、装填および／または装填解除手順の間、保護されることができる。

サンプル保持器２００は、保持デバイス１１０の内側形状に対応する、外側形状を有してもよい。例えば、サンプル保持器２００は、保持デバイス１１０の受容空間の円筒形内側形状に対応する、円筒形外側形状を有してもよい。それによって、保持デバイス１１０の内側へのサンプル保持器２００の移動が、限定されることができる。

本明細書に説明される他の実施形態と組み合わせられ得る、いくつかの実施形態によると、サンプル移送装置１００は、移送機構に接続可能な接続手段１３０を含んでもよい。移送機構は、サンプル移送装置１００を、真空チャンバの外側から真空チャンバの中に、および真空チャンバの内側から真空チャンバの外側に移送するように構成されることができる。いくつかの実装では、移送機構は、サンプル移送装置１００を真空チャンバの中および外に移動させるための、駆動部またはモータを含んでもよい。移送機構はさらに、真空係止部を含んでもよい。

図２は、本明細書に説明される実施形態による、カム１２０の概略図を示す。

保持デバイスの少なくとも１つのカム１２０は、開放端部分１２２と、係止部分１２６と、係止軌道部分１２４と、解放軌道部分１２８とを有する、湾曲した軌道を含む。係止軌道部分１２４および解放軌道部分１２８はそれぞれ、開放端部分１２２および係止部分１２６を接続する。特に、係止軌道部分１２４の第１の（または上側）端部および解放軌道部分１２８の第１の（または上側）端部は、係止部分１２６を提供する、またはそこにおいて終端してもよい。同様に、係止軌道部分１２４の第２の（または下側）端部および解放軌道部分１２８の第２の（または下側）端部は、開放端部分１２２を提供する、またはそこにおいて終端してもよい。開放端部分は、保持デバイス１１０の長手方向軸に対して平行な方向において開放している、湾曲した軌道の一部である。

湾曲した軌道は、サンプル保持器の少なくとも１つのフォロワが、サンプル保持器２００を保持デバイスに取り付けるために、係止軌道部分１２４を介して、開放端部分１２２から係止部分１２６まで誘導されるように構成される。湾曲した軌道はさらに、サンプル保持器の少なくとも１つのフォロワが、保持デバイスからサンプル保持器を解放するために、解放軌道部分１２８を介して、係止部分１２６から開放端部分１２２まで誘導されるように構成される。

本明細書に説明される他の実施形態と組み合わせられ得る、いくつかの実施形態によると、少なくとも１つのカム１２０の湾曲した軌道は、ループおよびハート形のもの、特に、非対称的なループおよび／または非対称的にハート形のものである。非対称性は、保持デバイス１１０の長手方向軸に対して定義され得る。しかしながら、本開示は、それに限定されず、係止軌道部分１２４を介してサンプル保持器２００を取り付けること、および湾曲した軌道の別の部分、すなわち、解放軌道部分１２４を介してサンプル保持器２００を解放することを可能にする、他の（例えば、非対称的な）形状も、使用され得る。

係止部分１２６は、サンプル保持器の少なくとも１つのフォロワを所定の位置に係止するように構成されてもよい。例えば、湾曲した軌道は、保持デバイスの長手方向軸に沿って延在してもよく、係止部分１２６は、係止軌道部分１２４と解放軌道部分１２８との間に配列され、係止軌道部分１２４および解放軌道部分１２８は、係止部分１２６よりも、開放端部分１２２から離れる方向において長手方向軸に沿って遠くに延在する。故に、係止部分１２６は、サンプル保持器の少なくとも１つのフォロワを所定の位置に係止し得る、陥凹またはくぼみとして提供される。

図３Ａおよび３Ｂは、それぞれ、本明細書に説明される実施形態による、サンプル保持器の取付および解放の概略図を示す。

図３Ａ（ａ）を参照すると、フォロワが、開放端部分の中に挿入される。開放端部分は、係止軌道部分に接続され、湾曲した軌道が、フォロワが開放端部分の中に挿入された後、フォロワが、係止軌道部分の中に押進されるように成形される。フォロワは、次いで、非線形の係止軌道部分に沿って移動し（図３Ａ（ｂ））、フォロワが所定の位置内に係止される、係止部分に到達する（図３Ａ（ｃ））。例えば、フォロワは、フォロワが固定されるように、陥凹またはくぼみ内に下向きに移動することができる。

図３Ｂ（ａ）を参照すると、フォロワは、例えば、上向き移動によって、係止部分から除去される。係止部分は、解放軌道部分に接続され、湾曲した軌道は、フォロワが係止部分から退出した後、フォロワが、解放軌道部分の中に押進されるように成形される。フォロワは、次いで、非線形の解放軌道部分に沿って移動し（図３Ｂ（ｂ））、フォロワが湾曲した軌道から退出し得る、開放端部分に到達する（図３Ａ（ｃ））。例えば、フォロワは、サンプル保持器がサンプル移送装置から取り外され得るように、湾曲した軌道から外に下向きに移動することができる。

図３ＡおよびＢに図示されるように、湾曲した軌道は、フォロワが、サンプル保持器がサンプル移送装置に取り付けられるとき、第１の経路に沿って誘導または押進され、サンプル保持器がサンプル移送装置から解放されるとき、第２の経路に沿って誘導または押進されるような形状を有してもよい。第１の経路および第２の経路は、異なる経路である。例えば、第１の経路および第２の経路は、フォロワの異なる誘導を提供するために、保持デバイスの長手方向軸に対して非対称的であってもよい。

図４は、本明細書に説明されるさらなる実施形態による、サンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するための、サンプル移送装置の概略図を示す。

本明細書に説明される他の実施形態と組み合わせられ得る、いくつかの実施形態によると、保持デバイス１１０は、第１の区分１１２と、第１の区分１２２に移動可能に接続される、第２の区分１１４とを含む。第２の区分１１４は、少なくとも１つのカム１２０を含んでもよい。第１の区分１１２および第２の区分１１４は、保持デバイス１１０の長手方向軸１０に沿って配列されてもよい。

いくつかの実装では、保持デバイス１１０の第２の区分１１４が、付加製造技法を使用して製造されることができる。第１の区分１１２および第２の区分１１４は、同一または異なる材料から作製されることができる。

いくつかの実装では、第１の区分１１２および第２の区分１１４は、実継ぎ接続によって、相互に接続されてもよい。特に、第１の区分１１２は、少なくとも１つの凸縁を有してもよく、第２の区分１１４は、少なくとも１つの溝を有してもよい。代替として、第２の区分１１４が、少なくとも１つの凸縁を有してもよく、第１の区分１１２が、少なくとも１つの溝を有してもよい。第１の区分１１２と第２の区分１１４との間の接続は、第１の区分１１２に対する第２の区分１１４の移動を可能にするように構成される。

いくつかの実装では、第２の区分１１４は、保持デバイス１１０の長手方向軸１０に対して平行（またはそれと同じ）であり得る、回転軸の周囲で回転可能である。第２の区分１１４は、サンプル保持器が、サンプル保持器の少なくとも１つのフォロワが、サンプル保持器を取り付ける、または解放するために少なくとも１つのカムの湾曲した軌道に沿って誘導されると、線形に、かつ非回転的に移動されるように、回転軸の周囲で回転するように構成されてもよい。

例えば、サンプル保持器および第１の区分１１２は、サンプル保持器を取り付ける、または解放するために、相互に対して線形にのみ移動してもよい。さらに、第２の区分１１４は、サンプル保持器が取り付けられる、または解放されるとき、第１の区分１１２およびサンプル保持器の両方に対して回転してもよい。言い換えると、サンプル保持器および第１の区分１１２の相互に対する角度配向は、本質的に同一のままである一方、サンプル保持器および第１の区分１１２の両方に対する第２の区分１１４の角度配向は、変化し、サンプル保持器が、線形のみの移動によって取り付けられる、または解放されることを可能にする。

いくつかの実施形態では、第２の区分１１４は、保持デバイス１００の長手方向軸に対して略垂直な平面において回転してもよい。用語「略垂直」は、例えば、長手方向軸および平面の略垂直な配向に関連し、厳密な垂直配向からの数度、例えば、最大５°またはさらに最大１０°の逸脱は、依然として、「略垂直」であると見なされる。

図５は、本明細書に説明されるさらなる実施形態による、サンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するための、サンプル移送装置の概略図を示す。

本明細書に説明される他の実施形態と組み合わせられ得る、いくつかの実施形態によると、サンプル移送装置は、サンプル保持器２００に接触し、保持デバイスの長手方向軸に沿った、サンプル保持器２００の移動を防止するように構成される、固定デバイス１５０を含む。例えば、固定デバイス１５０は、サンプル保持器２００がサンプル移送装置に取り付けられた後、サンプル保持器２００の垂直移動を防止するように構成されてもよい。

固定デバイス１５０を用いたサンプル保持器２００の移動の防止は、保持デバイスの長手方向軸に沿って印加される所定の外力まで提供され得る。所定の外力が、超過されると、サンプル保持器２００は、例えば、サンプル保持器２００の係止状態を解放するために、長手方向軸に沿って移動してもよい。

いくつかの実装では、固定デバイス１５０は、少なくとも１つの接触要素１５２と、少なくとも１つの弾性要素１５４とを含んでもよい。少なくとも１つの接触要素１５２は、第１の端部１５２ａと、第２の端部１５２ｂとを有してもよく、第１の端部１５２ａは、サンプル保持器２００に接触するように構成され、第２の端部１５２ｂは、少なくとも１つの弾性要素１５４に接続される。第１の端部１５２ａは、少なくとも１つの接触要素１５２の下端であってもよく、第２の端部１５２ｂは、少なくとも１つの接触要素１５２の上端であってもよい。

いくつかの実施形態によると、少なくとも１つの接触要素１５２は、円筒形状を有してもよい。少なくとも１つの接触要素１５２の直径は、保持デバイスの直径より小さくてもよい。加えて、または代替として、少なくとも１つの接触要素１５２の直径は、サンプル保持器２００の直径に等しい、またはそれより小さくてもよい。

いくつかの実装では、固定デバイス１５０は、保持デバイス１１０の内部空間内に配列される。例えば、固定デバイス１５０は、サンプル保持器２００を収容するように構成される、保持デバイス１１０の受容空間の上方に配列されてもよい。

いくつかの実施形態によると、少なくとも１つの弾性要素１５４は、単一の弾性要素である、または複数の弾性要素である。少なくとも１つの弾性要素１５４は、コイルばね等のばねであることができる。少なくとも１つの弾性要素１５４の第１の端部は、保持デバイス１１０に接続されることができ、少なくとも１つの弾性要素１５４の第２の端部は、少なくとも１つの接触要素１５２の第２の端部１５２ｂに接続されることができる。

少なくとも１つの弾性要素１５４は、サンプル保持器２００に対して弾性力を提供することができる。弾性力は、したがって、「保持力」とも称され得る。例えば、弾性力は、少なくとも１つのフォロワ２１０が所定の位置内に係止されるように、サンプル保持器２００の少なくとも１つのフォロワ２１０を少なくとも１つのカム１２０の係止部分の中にプレスする、または押し込むことができる。サンプル保持器２００を解放するために、ユーザは、少なくとも１つのカム１２０の係止部分から少なくとも１つのフォロワ２１０を除去するために、少なくとも１つの弾性要素１５４によって提供される、保持力の方向に対して反対の方向において、サンプル保持器をプレスまたは押動してもよい。

図６は、本明細書に説明されるさらなる実施形態による、サンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するための、サンプル移送装置１００の概略図を示す。サンプル移送装置１００は、図１－５に関して説明される装置に類似し、類似または同じ側面の説明は、したがって、繰り返されない。

本明細書に説明される他の実施形態と組み合わせられ得る、いくつかの実施形態によると、サンプル移送装置は、それぞれが、個別の湾曲した軌道を有する、２つ以上のカムを含む。例えば、サンプル移送装置は、３つまたはさらに４つのカムを含む。サンプル保持器は、カムの数に対応する数のフォロワを有してもよい。

図７は、本明細書に説明される実施形態による、サンプル保持器２００の概略図を示す。サンプル保持器２００はまた、「パック」とも称され得る。

サンプル保持器２００は、真空チャンバの内側における基部への機械的接続のために構成されてもよい。特に、サンプル移送装置は、サンプル保持器２００を真空チャンバの中に移送し、サンプル保持器２００と基部を接続するために使用されることができる。その後、サンプル移送装置は、真空チャンバから除去されることができる一方、サンプル保持器２００は、真空チャンバの内側において留まる。それによって、低温保持装置の真空チャンバの中への入熱が、低減されることができ、より低温が、到達されることができる。

いくつかの実施形態によると、サンプル保持器２００は、１つ以上のガイド２３０を含んでもよい。１つ以上のガイド２３０は、サンプル保持器２２０が、真空チャンバの中への移送の少なくとも一部の間に、所定の配向にあることを確実にすることができる。所定の配向は、サンプル保持器２００が、サンプル保持器２００の付加的な回転を伴うことなく、基部に接続し得るように、選択されてもよい。１つ以上のガイド２３０は、例えば、サンプル保持器２００の少なくとも一部が中空の円筒である場合、サンプル保持器２００の内周上に提供されることができる。例えば、１つ以上のガイド２３０は、中空の円筒の内周上の突出部であることができる。１つ以上のガイド２３０は、真空チャンバおよび／または基部および／またはサンプル移送装置内の対応する１つ以上の要素との係合のために構成されることができる。

いくつかの実装では、サンプル保持器２００は、略円筒形状を有することができる。サンプル保持器２００は、第１の側（例えば、上側）と、第１の側の反対である、第２の側（例えば、下側）と、第１の側および第２の側を接続する、円周方向（外）側とを有することができる。少なくとも１つのフォロワ２１０が、円周方向（外）側において提供されることができる。例えば、少なくとも１つのフォロワ２１０は、円周方向（外）側における突出部であることができる。

サンプル保持器２００は、試験または検査のためにサンプルを運ぶように構成されてもよい。例えば、サンプル保持器２００の第１の側は、サンプル支持表面を有する、またはそれであることができる。サンプルは、機械的手段（例えば、クランプ）および／または接着剤（例えば、ＧＥワニス）を使用して、サンプル支持表面上に搭載されることができる。

いくつかの実施形態によると、サンプルの１つ以上の物理的特性が、低温または超低温において測定されることができる。１つ以上の物理的特性は、限定ではないが、磁化、抵抗率、および伝導性を含み得る。随意に、サンプルの１つ以上の物理的特性は、外部磁場および／または圧力等の外部条件下で測定されることができる。

いくつかの実装では、サンプル保持器２００は、真空チャンバの内側における基部への電気および／または光学接続のために構成されてもよい。図７の実施例では、複数の電気コネクタ２２０が、図示される。複数の電気コネクタ２２０は、ピンであることができる。複数の電気コネクタ２２０は、サンプル保持器２００の第２の側において提供されることができ、基部における、対応する複数の電気コネクタとの係合のために構成されることができる。例えば、複数の電気コネクタ２２０は、サンプル保持器２００の中空の円筒の内側において提供されることができる。

いくつかの実施形態によると、複数の電気コネクタ２２０は、他のコネクタのものより短い、長手方向延在部を有する、少なくとも１つのコネクタを含む。長手方向延在部は、サンプル移送装置の保持デバイスの長手方向軸に対して略平行に画定されてもよい。最短コネクタである、少なくとも１つのコネクタは、試験コネクタまたは試験ピンであることができる。特に、基部と最短コネクタとの間の電気接続が、確立および確認された場合、他の（より長い）コネクタの全てもまた、接続されたことが、容易に仮定されることができる。

電気および／または光学接続は、１つ以上の物理的特性を測定するために、サンプルと真空チャンバの外側との間に接続を提供することができる。加えて、または代替として、電気および／または光学接続は、サンプル保持器の上（または中）の少なくとも１つのデバイスと真空チャンバの外側との間に接続を提供することができる。少なくとも１つのデバイスは、温度計と、磁場センサとを含む、またはそれらから成る群から選択されることができる。しかしながら、少なくとも１つのデバイスは、それに限定されない。

いくつかの実装では、複数の電気および／または光学端子が、サンプル保持器２００の第１の側において提供されることができる。複数の電気および／または光学端子は、複数の電気（および／または光学）コネクタ２２０に接続されることができる。複数の電気および／または光学端子は、サンプル、および／またはサンプル保持器２００の第１の側における少なくとも１つのデバイス（例えば、温度計）との接続のために構成されることができる。

上記に説明される例示的実施形態では、サンプル移送装置は、少なくとも１つのカムを含み、サンプル保持器は、少なくとも１つの対応するフォロワを含む。しかしながら、本開示は、それに限定されず、サンプル保持器が、少なくとも１つのカムを含んでもよく、サンプル移送装置が、少なくとも１つの対応するフォロワを含んでもよい。

特に、本開示のある側面によると、真空チャンバの中および／または外に移送されるように構成される、サンプル保持器が、提供される。サンプル保持器は、サンプル移送装置の保持デバイスの少なくとも１つのフォロワと協働するように構成される、少なくとも１つのカムを含む。少なくとも１つのカムは、開放端部分と、係止部分と、係止軌道部分と、解放軌道部分とを有する、湾曲した軌道を含み、係止軌道部分および解放軌道部分はそれぞれ、開放端部分および係止部分を接続する。湾曲した軌道は、保持デバイスの少なくとも１つのフォロワが、サンプル保持器を保持デバイスに取り付けるために、係止軌道部分を介して、開放端部分から係止部分まで誘導されるように構成される。湾曲した軌道はさらに、保持デバイスの少なくとも１つのフォロワが、保持デバイスからサンプル保持器を解放するために、解放軌道部分を介して、係止軌道部分から開放端部分まで誘導されるように構成される。

図８は、本明細書に説明される実施形態による、システム８００の概略図を示す。本システムは、極低温剤を含まない低温保持装置等の低温保持装置であることができる。

システム８００は、真空チャンバ８１０を含む。システム８００はさらに、本開示の実施形態のサンプル移送装置１００および／またはサンプル保持器２００も含む。

真空チャンバ８１０は、真空を含有するように構成される、内部空間８１２を有する。真空チャンバ８１０は、内部空間８１２を外側から、本質的に気密、真空機密、熱不透過性、および／または放射線不透過性の状態にシールする。随意に、真空チャンバ８１０は、内部空間８１２を外側から電気的に絶縁してもよい。

真空は、概して、本質的に物質のない空間として理解される。本願の全体を通して使用されるような、用語「真空」は、特に、技術的真空、すなわち、大気圧をはるかに下回るガス状圧力を伴う領域として理解される。真空チャンバ８１０の内側における真空は、高真空または超高真空であることができる。ターボポンプおよび／または低温ポンプ（図示せず）等の１つ以上の真空発生源が、真空を発生させるために、真空チャンバ８１０に接続されることができる。

システム８００は、内側空間と、真空係止部とを有する、アクセスポート８２０を含んでもよい。真空係止部は、閉鎖状態において、内部空間８１２をアクセスポート８２０の内側空間から、本質的に真空機密の状態でシールしてもよく、開放状態において、内部空間８１２へのアクセスを可能にしてもよい。例えば、真空係止部は、閉鎖されることができ、それに取り付けられるサンプル保持器を有する、サンプル移送装置は、例えば、大気圧下で、アクセスポート８２０の内側空間内に設置されることができる。アクセスポート８２０の内側空間は、外側からシールされることができ、技術的真空が、内側空間内に発生されることができる。次いで、真空係止部が、開放され、真空チャンバ８１０の内部空間８１２およびアクセスポート８２０の内側空間を接続することができる。それに取り付けられるサンプル保持器２００を有する、サンプル移送装置１００が、移送機構８３０を使用して、真空チャンバ８１０の中に挿入されることができる。サンプル保持器２００が、基部８４０に機械的に取り付けられ、サンプル保持器２００が、サンプル移送装置１００から解放され、サンプル移送装置１００が、内側空間８１２から除去される。真空係止部が、閉鎖されることができ、システム８００が、サンプル保持器２００上のサンプルを検査するために、動作されることができる。

システム８００は、真空チャンバの内側において、５ｍＫ～３００Ｋの範囲内、特に、５ｍＫ～２５０Ｋの範囲内、特に、５ｍＫ～２００Ｋの範囲内、特に、５ｍＫ～１５０Ｋの範囲内、特に、５ｍＫ～１００Ｋの範囲内、より具体的には、５ｍＫ～約７０Ｋの範囲内の温度を提供するように構成されることができる。いくつかの実装では、本システムが、低温保持装置である場合でも、室温までの温度が、サンプルに関する測定を行うために、提供されることができる。

本明細書に説明される他の実施形態と組み合わせられ得る、いくつかの実施形態によると、システム８００は、断熱消磁冷凍機、特に、多段断熱消磁冷凍機である。多段断熱消磁冷凍機は、１Ｋまたはそれを下回るもの、特に、５００ｍＫまたはそれを下回るもの、特に、１００ｍＫまたはそれを下回るもの、特に、５０ｍＫまたはそれを下回るものにおいて動作するように構成されてもよい。しかしながら、上記に述べられるように、本開示は、それに限定されず、システム８００は、より高温、すなわち、１Ｋまたはより高温、例えば、最大室温においても動作されることができる。

従来のシステム（例えば、サンプルロッド／リジッドシステム）と比較すると、本開示の自動係止機構の使用は、非常に迅速なサンプルの挿入および除去を可能にする。システムへのサンプルの熱的結合のためのいかなる付加的ステップも、必要ではない。全てのステップ（サンプル保持器を挿入する、本システムにサンプル保持器を結合させる、サンプル保持器からサンプル移送装置（ケージ）を結合解除する、本システムからサンプル移送装置を除去する、または本システムの中にサンプル移送装置を挿入する、サンプル保持器にサンプル移送装置を結合させる、本システムからサンプル保持器を結合解除する、本システムからサンプル移送装置およびサンプル保持器を除去する）が、単一の線形運動を用いて実施されることができる。これは、非常に迅速なサンプル変更を可能にする。

トルクが、本システムにサンプル保持器を結合させるために伝送される必要がないため、ケーブルによって駆動されるベローズが、本開示のサンプル移送装置と併せて使用されることができ、これは、リジッドな接続ロッドの使用を不必要にする。ベローズをケーブル引動と組み合わせて使用することによって、柔軟な長さを伴う移送機構が、実現されることができる。これは、そのようなシステムの可能性として考えられる全高の縮小に反映される。線形移動は、容易に制御可能であるため、本プロセスの自動化が、簡略化される、またはそもそも可能にされる。

図９は、本明細書に説明される実施形態による、サンプル保持器を、例えば、低温保持装置の真空チャンバの中または外に移送するための方法９００のフローチャートを示す。

方法９００は、ブロック９１０において、少なくとも１つのフォロワをカムの湾曲した軌道の開放端部分の中に挿入し、少なくとも１つのフォロワを、湾曲した軌道の係止軌道部分に沿って、湾曲した軌道の係止部分まで移動させ、少なくとも１つのフォロワを係止部分の中に係止することによって、サンプル保持器をサンプル移送装置の保持デバイスに取り付けるステップと、ブロック９２０において、サンプル移送装置を使用して、サンプル保持器を真空チャンバの中または外に移送するステップと、ブロック９３０において、少なくとも１つのフォロワを係止部分から解放し、少なくとも１つのフォロワを、湾曲した軌道の解放軌道部分に沿って湾曲した軌道の開放端部分まで移動させることによって、保持デバイスからサンプル保持器を解放するステップとを含む。

本明細書に説明される実施形態によると、サンプル保持器を真空チャンバの中または外に移送するための方法が、サンプル保持器を真空チャンバの中および外に移送するための装置の対応するコンポーネントと通信する、ＣＰＵと、メモリと、ユーザインターフェースと、入力および出力手段とを有し得る、コンピュータプログラム、ソフトウェア、コンピュータソフトウェア製品、および相互に関連するコントローラを用いて行われることができる。

本開示は、それに沿って、フォロワがサンプル保持器の挿入または除去の間に誘導される、カムを使用する。カムは、サンプル保持器が、サンプル保持器および／またはサンプル移送装置の線形移動によって、サンプル移送装置に取り付けられ、それから解放され得るように成形される。故に、回転移動等のさらなる移動が、要求されることはない。サンプル保持器は、サンプル保持器をサンプル移送装置に対して、またはサンプル移送装置をサンプル保持器に対して押動することのみによって、サンプル移送装置に取り付けられ、それから解放されることができる。

前述のものは、本開示の実施形態を対象とするが、本開示の他のおよびさらなる実施形態も、その基本的範囲から逸脱することなく、考案され得、その範囲は、続く請求項によって決定される。

Claims (12)

1. サンプル保持器（２００）を真空チャンバ（８１０）の中および外に移送するためのサンプル移送装置（１００）であって、
   サンプル保持器（２００）の少なくとも１つのフォロワ（２１０）と協働するように構成される少なくとも１つのカム（１２０）を含む保持デバイス（１１０）
   を備え、
   前記少なくとも１つのカム（１２０）は、開放端部分（１２２）と、係止部分（１２６）と、係止軌道部分（１２４）と、解放軌道部分（１２８）とを有する湾曲した軌道を含み、前記係止軌道部分（１２４）および前記解放軌道部分（１２８）はそれぞれ、前記開放端部分（１２２）および前記係止部分（１２６）を接続し、前記開放端部分（１２２）は、前記保持デバイス（１１０）の長手方向軸（１０）に対して平行な方向において開放している前記湾曲した軌道の一部であり、
   前記湾曲した軌道は、前記サンプル保持器（２００）の少なくとも１つのフォロワ（２１０）が、前記サンプル保持器（２００）を前記保持デバイス（１１０）に取り付けるために、前記係止軌道部分（１２４）を介して、前記開放端部分（１２２）から前記係止部分（１２６）まで誘導されるように構成され、
   前記湾曲した軌道はさらに、前記サンプル保持器（２００）の少なくとも１つのフォロワ（２１０）が、前記保持デバイス（１１０）から前記サンプル保持器（２００）を解放するために、前記解放軌道部分（１２８）を介して、前記係止部分（１２６）から前記開放端部分（１２２）まで誘導されるように構成され、
   前記サンプル移送装置（１００）は、前記サンプル保持器（２００）を前記真空チャンバ（８１０）の中に移送するとき、前記真空チャンバ（８１０）の内側の基部（８４０）に前記サンプル保持器（２００）を機械的に接続するように構成されており、
   前記サンプル移送装置（１００）は、前記サンプル保持器（２００）を前記真空チャンバ（８１０）の外に移送するとき、前記真空チャンバ（８１０）の内側の前記基部（８４０）から前記サンプル保持器（２００）を機械的に接続解除するように構成されている、サンプル移送装置（１００）。
2. 前記保持デバイス（１１０）は、前記サンプル保持器（２００）が、前記サンプル保持器（２００）の取付および解放の間に、前記保持デバイス（１１０）の長手方向軸（１０）に対して線形にのみ移動するように構成される、請求項１に記載のサンプル移送装置（１００）。
3. 前記保持デバイス（１１０）は、第１の区分（１１２）と、前記第１の区分（１１２）に移動可能に接続される第２の区分（１１４）とを含み、前記第２の区分（１１４）は、前記少なくとも１つのカム（１２０）を含む、請求項１または２に記載のサンプル移送装置（１００）。
4. 前記第２の区分（１１４）は、前記保持デバイス（１１０）の長手方向軸（１０）に対して平行な回転軸の周囲で回転可能である、請求項３に記載のサンプル移送装置（１００）。
5. 前記第２の区分（１１４）は、前記サンプル保持器（２００）が、前記サンプル保持器（２００）の少なくとも１つのフォロワ（２１０）が、前記サンプル保持器（２００）を取り付けるかまたは解放するために前記少なくとも１つのカム（１２０）の湾曲した軌道に沿って誘導されると、線形に、かつ非回転的に移動されるように、前記回転軸の周囲で回転するように構成される、請求項４に記載のサンプル移送装置（１００）。
6. 前記保持デバイス（１１０）は、円筒形状を有する、請求項１－５のいずれか１項に記載のサンプル移送装置（１００）。
7. 前記サンプル保持器（２００）に接触し、前記保持デバイス（１１０）の長手方向軸（１０）に沿った前記サンプル保持器（２００）の移動を防止するように構成される固定デバイス（１５０）をさらに含む、請求項１－６のいずれか１項に記載のサンプル移送装置（１００）。
8. 前記固定デバイス（１５０）は、
   少なくとも１つの弾性要素（１５４）と、
   第１の端部（１５２ａ）と、第２の端部（１５２ｂ）とを有する少なくとも１つの接触要素（１５２）であって、前記第１の端部（１５２ａ）は、前記サンプル保持器（２００）に接触するように構成され、前記第２の端部（１５２ｂ）は、前記少なくとも１つの弾性要素（１５４）に接続される、少なくとも１つの接触要素（１５２）と
   を含む、請求項７に記載のサンプル移送装置（１００）。
9. 前記固定デバイス（１５０）は、前記保持デバイス（１１０）の内部空間内に配列される、請求項７または８に記載のサンプル移送装置（１００）。
10. 前記少なくとも１つのカム（１２０）の湾曲した軌道は、ループおよびハート形のうちの少なくとも一方である、請求項１－９のいずれか１項に記載のサンプル移送装置（１００）。
11. 前記少なくとも１つのカム（１２０）の湾曲した軌道は、前記保持デバイス（１１０）の長手方向軸（１０）に沿って延在し、前記係止部分（１２６）は、前記係止軌道部分（１２４）と前記解放軌道部分（１２８）との間に配列され、前記係止軌道部分（１２４）および前記解放軌道部分（１２８）は、前記係止部分（１２６）よりも、前記開放端部分（１２２）から離れる方向において前記長手方向軸（１０）に沿って遠くに延在する、請求項１－１０のいずれか１項に記載のサンプル移送装置（１００）。
12. サンプル保持器（２００）を真空チャンバ（８１０）の中または外に移送するための方法（９００）であって、
    ａ）少なくとも１つのフォロワ（２１０）をカム（１２０）の湾曲した軌道の開放端部分（１２２）の中に挿入することであって、前記開放端部分（１２２）は、保持デバイス（１１０）の長手方向軸に対して平行な方向において開放している前記湾曲した軌道の一部である、ことと、
    前記少なくとも１つのフォロワ（２１０）を、前記湾曲した軌道の係止軌道部分（１２４）に沿って、前記湾曲した軌道の係止部分（１２６）まで移動させることと、
    前記少なくとも１つのフォロワ（２１０）を前記係止部分（１２６）の中に係止することと
    によって、前記サンプル保持器（２００）をサンプル移送装置（１００）の保持デバイス（１１０）に取り付けること（９１０）と、
    ｂ）前記サンプル移送装置（１００）を使用して、前記サンプル保持器（２００）を前記真空チャンバ（８１０）の中または外に移送すること（９２０）と、
    ｃ）前記少なくとも１つのフォロワ（２１０）を前記係止部分（１２６）から解放することと、
    前記少なくとも１つのフォロワ（２１０）を、前記湾曲した軌道の解放軌道部分（１２８）に沿って前記湾曲した軌道の開放端部分（１２２）まで移動させることと
    によって、前記保持デバイス（１１０）から前記サンプル保持器（２００）を解放すること（９３０）と
    を含み、
    前記サンプル保持器（２００）は、前記サンプル保持器（２００）が前記真空チャンバ（８１０）の中に移送されるとき、前記真空チャンバ（８１０）の内側の基部（８４０）に機械的に接続され、
    前記サンプル保持器（２００）は、前記サンプル保持器（２００）が前記真空チャンバ（８１０）の外に移送されるとき、前記真空チャンバ（８１０）の内側の前記基部（８４０）から機械的に接続解除される、方法（９００）。

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