WO1999031420A1 - Piezoelectric valve - Google Patents

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WO1999031420A1
WO1999031420A1 PCT/JP1998/005623 JP9805623W WO9931420A1 WO 1999031420 A1 WO1999031420 A1 WO 1999031420A1 JP 9805623 W JP9805623 W JP 9805623W WO 9931420 A1 WO9931420 A1 WO 9931420A1
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diaphragm
valve
piezoelectric
piezoelectric valve
piezoelectric element
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PCT/JP1998/005623
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French (fr)
Inventor
Shinji Miyazoe
Makoto Ishikawa
Original Assignee
Smc Kabushiki Kaisha
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    • Y10T137/877—With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87877—Single inlet with multiple distinctly valved outlets

Definitions

  • the present invention relates to a piezoelectric valve which controls the flow of a fluid by controlling the flow of a fluid by displacing a diaphragm under the bending action of a compression element.
  • the piezoelectric valve 1 is configured such that a diaphragm 3 provided with a piezoelectric element 2 can be moved toward and away from a valve seat 5 of an output port 4.
  • the force F p applied to the output port 4 is P
  • the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and has as its object to provide a piezoelectric valve that does not cause fluid to flow out of a pressure chamber due to pressure fluctuation of a supplied fluid. Disclosure of the invention
  • a piezoelectric valve according to the present invention is provided in a diaphragm chamber to which a fluid is supplied from an input port, a diaphragm constituting a valve body, and provided on one surface of the diaphragm, A piezoelectric element for displacing the diaphragm;
  • a cushion member provided in a housing facing the piezoelectric element and forming the diaphragm chamber;
  • a valve seat provided at an output port opened in the housing, the other surface of the diaphragm being able to abut;
  • the diaphragm In a state in which drive power is not applied to the piezoelectric element, the diaphragm abuts on the valve seat without accumulating elastic energy, and the output port is closed.
  • the diaphragm when the driving power is not applied to the piezoelectric element, the diaphragm does not separate from the valve seat due to the change in the pressure of the supplied fluid. Outflow of fluid from the port is prevented. Further, when the piezoelectric element is excessively deformed, the piezoelectric element abuts on the cushion member, thereby avoiding damage to the piezoelectric element itself.
  • a gap is formed between the diaphragm and the housing and communicates with the diaphragm chamber divided by the diaphragm, and the fluid introduced into the diaphragm chamber can freely flow through the gap.
  • a contact portion of the valve seat with respect to the diaphragm is formed smoothly, while the diaphragm is formed of a metal plate, and the diaphragm with respect to the valve seat is formed.
  • the contact portion of the diaphragm is formed smoothly, the strength of the diaphragm can be improved, and when the diaphragm contacts the valve seat, the leakage of fluid from the valve seat can be prevented. Is possible, which is more preferable.
  • an elastic member for urging the diaphragm toward the valve seat is provided between the piezoelectric element and the housing, and a seating member on which the elastic member is seated is provided on the piezoelectric element.
  • the elastic member prevents the piezoelectric element from sticking to the cushion member, and ensures that the output port is closed by the elastic member when the diaphragm is brought into contact with the valve seat. Can be.
  • the present invention also provides a plurality of diaphragms that are disposed in a diaphragm chamber to which a fluid is supplied from an input port, and that constitute a valve body.
  • a piezoelectric element provided on each of the diaphragms for displacing the diaphragm
  • Valve seats provided at a plurality of output ports opened in a housing forming the diaphragm chamber, and each of the diaphragms can contact;
  • the diaphragm In a state in which drive power is not applied to the piezoelectric element, the diaphragm abuts on the valve seat without accumulating elastic energy, and the output port is configured to be closed.
  • the fluid is discharged to the plurality of output ports selectively or simultaneously by selectively or simultaneously displacing a plurality of diaphragms.
  • FIG. 1 is a perspective view of a piezoelectric valve according to a first embodiment of the present invention and a base plate to which the piezoelectric valve is attached.
  • FIG. 2 is a front view showing a state where a cover member of the piezoelectric valve of FIG. 1 is removed.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view of the piezoelectric valve of FIG. 2 taken along the line III-III.
  • FIG. 4 is a perspective view of a cushion member used for the piezoelectric valve of FIG.
  • FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a state where the passage of the piezoelectric valve of FIG. 3 is opened.
  • FIG. 6 is a longitudinal sectional view of a piezoelectric valve according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a partially exploded perspective view of a cushion member, a coil spring, and a seat member of the piezoelectric valve of FIG.
  • FIG. 8 is a longitudinal sectional view of a piezoelectric valve according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a front view showing a state where one valve body of the piezoelectric valve of FIG. 8 is removed.
  • FIG. 10 is a partially enlarged longitudinal sectional view of the piezoelectric valve of FIG. 8 when one connector is provided. It is.
  • FIG. 11 is a partially exploded perspective view showing the piezoelectric valve of FIG.
  • FIG. 12 is a perspective view of the piezoelectric valve of FIG. 8 and a base plate to which the piezoelectric valve is attached.
  • FIG. 13 is a schematic longitudinal sectional view of a piezoelectric valve according to the related art.
  • FIG. 14 is a diagram showing the relationship between the force applied to the diaphragm by the pressure of the pressure fluid in the piezoelectric valve according to the conventional technology and the restoring force of the diaphragm.
  • FIG. 15 is a diagram showing the relationship between the force applied to the diaphragm by the pressure of the pressure fluid in the piezoelectric valve according to the first and third embodiments and the restoring force of the diaphragm.
  • FIG. 16 is a diagram showing the relationship between the force applied to the diaphragm by the pressure of the pressure fluid in the piezoelectric valve according to the second embodiment and the restoring force of the diaphragm.
  • reference numeral 10 indicates a piezoelectric valve according to the first embodiment of the present invention.
  • the piezoelectric valve 10 includes a housing 12, and compressed air input ports i 4 a and 14 b and an output port 16 are formed outside the housing 12.
  • O-rings 18 are provided on the outer periphery of the input ports 14 a and 14 b and the output port 16, respectively.
  • the housing 12 is used when the piezoelectric valve 10 is attached, and is formed with a lever part 20a, 2Ob which is elastically flexible and is formed of a lever part 20a, 20b. Locking claws 22a and 22b are formed at the ends.
  • a diaphragm chamber 24 a communicating with the input ports 14 a and 14 b is defined inside the housing 12, the diaphragm chamber 24 a is closed by a cover member 26, and the housing 12 is closed.
  • the cover member 26 further defines a diaphragm chamber 24b.
  • a seal member 28 is provided near the opening closed by the cover member 26 of the housing 12, and this seal member 28 prevents the compressed air from leaking from the diaphragm chambers 24a and 24b. You.
  • a plurality of support portions 30 are formed on the wall constituting the diaphragm chamber 24a so as to be deflected by 90 ° and project toward the center of the diaphragm chambers 24a and 24b.
  • a guide hole 32 is defined. The convex portion 34 formed on the cover member 26 engages with the guide hole 32 to form a cover member.
  • Step 26 is positioned.
  • a step 36 is formed on each support 30. Step
  • a recess 37 is defined in 36, and a sealing member 39 is engaged with the recess 37.
  • the seal member 39 presses and supports a diaphragm 38 constituting a valve body, and the diaphragm 38 is sandwiched between the seal member 39 and the cover member 26. The rattling of the diaphragm 38 is also prevented by the seal member 39.
  • the diaphragm 38 is formed in a substantially circular shape from a metal such as stainless steel having elasticity, and a substantially circular piezoelectric element 42 is laminated and fixed to one surface of the diaphragm 38. The other surface of the diaphragm 38 is formed as a smooth surface 43.
  • a plurality of curved concave portions 44 are defined in the peripheral portion of the diaphragm 38 at intervals of 90 °, and the concave portions 44 are engaged with the support portions 30 to position the diaphragm 38 (FIG. 2). See).
  • a gap 45 is formed between the peripheral edge of the diaphragm 38 and the wall constituting the diaphragm chambers 24a and 24b. The gap 45 allows the diaphragm chambers 24a and 24b to communicate with each other. Status It is in.
  • An electric wire 46 is connected to a diaphragm 38 made of metal to which one surface of the piezoelectric element 42 is fixed, and an electric wire 48 is connected to the other surface of the piezoelectric element 42. 6, 48 are connected to a control device (not shown) via a connector 50. Therefore, the drive signal input from the control device is applied to one side and the other side of the piezoelectric element 42.
  • an annular valve seat 52 is formed so as to be able to contact the diaphragm 38, and a passage 54 communicating with the output port 16 is formed in the valve seat 52.
  • the contact portion between the valve seat 52 and the diaphragm 38 is formed smoothly, so that when the smooth surface 43 of the diaphragm 38 contacts the valve seat 52, the diaphragm 38 and the valve seat 5 2 closely adheres without any gap, and leakage of fluid from the diaphragm chamber 24 a to the passage 54 is prevented.
  • a cushion member 56 made of an elastic material such as resin or rubber is fixed to the cover member 26 on the side of the diaphragm chamber 24b. That is, a circular concave portion 57 is formed on a surface of the cover member 26 facing the valve seat 52, and the cushion member 56 is fitted into the concave portion 57. As shown in FIG. 4, the cushion member 56 is formed in a substantially disk shape, and a plurality of grooves 58 are radially defined on both surfaces thereof.
  • the piezoelectric valve 10 is mounted on a long base plate 60 (see FIG. 1).
  • a mounting groove 62 having a substantially T-shaped cross section for mounting the base plate 60 to another member is formed.
  • Grooves 64a, 64b having a substantially L-shaped cross section are defined on the upper surface of the base plate 60, and levers 20a, 2b are formed on the walls of the grooves 64a, 64b.
  • the Ob locking claws 22a and 22b are freely engageable. That is, the lever portions 20a and 20b are bent so as to approach each other, and the locking claws 22a and 22b are passed through the grooves 64a and 64b, respectively.
  • a supply passage 66 for a pressure fluid is defined in the base plate 60 along its longitudinal direction, and the supply passage 66 communicates with a compressed air supply source (not shown).
  • the supply passage 68 communicates with a supply hole 68 opened on the upper surface of the base plate 60.
  • One input port 14a of the piezoelectric valve 10 is detachably attached to the supply hole 68.
  • a hole portion 70 for mounting the other input port 14b and an output hole 72 for mounting the output port 16 are defined on the upper surface of the base plate 60.
  • the output hole 72 communicates with an output port 74 that opens to the side of the base plate 60.
  • the piezoelectric valve 10 according to the first embodiment is basically configured as described above, and the operation will be described next.
  • a compressed air supply source (not shown) is energized and compressed air is supplied to the supply passage 66 of the base plate 60, the compressed air is introduced into the diaphragm chambers 24a and 24b via the input port 14a. Is done. That is, the diaphragm chambers 24a and 24b communicate with each other via the gap 45 between the edge of the diaphragm 38 and the walls of the diaphragm chambers 24a and 24b. At this time, the pressure in the diaphragm chambers 24a and 24b becomes higher than that in the passage 54 due to the compressed air, so that the pressure of the compressed air is applied to the diaphragm 38 in the direction of arrow A (see FIG. 3). .
  • the diaphragm 38 has elasticity, but since the diaphragm 38 is supported by the valve seat 52, it is not deformed by the pressure of the compressed air, is kept flat, and has elastic energy. There is no accumulation of. For this reason, the magnitude of the restoring force F s on the diaphragm 38 in the direction of arrow B is
  • Figure 15 shows the changes in force F p and restoring force F s when the pressure P of the compressed air changes. Shown in Even if the pressure P of the compressed air fluctuates in this way, the magnitude of the force Fp is always larger than the restoring force Fs, so that the pressure in the diaphragm chambers 24a and 24b becomes the pressure in the passage 54.
  • the diaphragm 38 can remain in contact with the valve seat 52 as long as it is equal to or higher than.
  • the contact portion of the valve seat 52 with the diaphragm 38 is formed smoothly, and the surface of the diaphragm 38 is also formed as a smooth surface 43, so that the valve seat 52 and the diaphragm 3 are formed. 8 is tightly contacted with no gap, and the compressed air is not led out of the diaphragm chambers 24a and 24b to the passage 54.
  • the piezoelectric element 42 When a drive signal is further applied to the piezoelectric element 42 and the piezoelectric element 42 is excessively bent, the piezoelectric element 42 itself comes into contact with an impact and may be damaged in some cases. However, in the present embodiment, the piezoelectric element 42 abuts on the cushion member 56 so that the impact is buffered and the piezoelectric element 42 is prevented from being excessively bent. The concern that the piezoelectric element 42 is damaged is eliminated. Also, when the piezoelectric element 42 and the cushion member 56 abut in this manner, the piezoelectric element 42 and the cushion member 56 stick together, and there is a concern that the piezoelectric element 42 cannot be returned in the direction of arrow A.
  • the piezoelectric element 10 when the drive signal is not applied to the piezoelectric element 42, the piezoelectric element 10 is introduced into the diaphragm chambers 24a and 24b. Even if the pressure of the compressed air generated fluctuates, the diaphragm 38 constantly touches the valve seat 52, so the compressed air causes the compressed air to flow into the diaphragm chambers 24a and 24b. Concerns led to passage 54 are eliminated.
  • the piezoelectric element 42 when the piezoelectric element 42 is bent by applying a drive signal, the piezoelectric element 42 is prevented from being excessively deformed by abutting on the cushion member 56, so that there is no fear that the piezoelectric element 42 is damaged. .
  • a gap 45 is formed between the wall of the diaphragm chamber 24a and the edge of the diaphragm 38, and the diaphragm chambers 24a and 24b communicate with each other. 38 can freely flow between one side and the other side, that is, between the diaphragm chambers 24a and 24b. Therefore, it is not necessary to separately provide a passage for introducing compressed air to the one surface side and the other surface side, and the configuration of this type of piezoelectric valve 10 can be simplified.
  • valve seat 52 has a smooth contact portion with the diaphragm 38, while the surface of the diaphragm 38 that contacts the valve seat 52 is formed as a smooth surface 43, so that the diaphragm When the contact 38 comes into contact with the valve seat 52, the diaphragm 38 and the valve seat 52 come into close contact with no gap, and the flow of the fluid from the diaphragm chamber 24a to the passage 54 is prevented.
  • a concave portion 104 is formed in the inner wall portion of the cover member 102 provided in the piezoelectric valve 100, and the concave portion 104 is formed in a substantially disk shape with an elastic material such as resin or rubber.
  • the formed cushion member 106 is fitted. As shown in FIG. 7, a convex portion 108 is formed on one surface of the cushion member 106, and a plurality of grooves 110 are radially defined in the convex portion 108. In addition, a hole 112 is formed in the center of the cushion member 106.
  • a stepped portion 107 is formed near the edge of the cushion member 106, and the stepped portion 107 is provided with a coil spring (elastic member) 114.
  • a coil spring elastic member
  • One end is seated, and the other end of the coil spring 114 is seated on a seating member 116 fixed to the piezoelectric element 42.
  • the seating member 116 is formed of a material having elasticity, such as resin or rubber, in a substantially disk shape, and its edge is curved toward the cushion member 106.
  • the piezoelectric valve 100 according to the second embodiment is basically configured as described above, and the operation will be described next.
  • a control device (not shown) is applied to the piezoelectric element 42.
  • the piezoelectric element 42 When no drive signal is applied, the piezoelectric element 42 is not deformed, and the pressure in the diaphragm chambers 24a and 24b is increased by the pressure in the passage 5.
  • the pressure in 4 is equal to or higher than 4
  • the elastic energy is not stored in the diaphragm 38, and the diaphragm 38 remains flat.
  • the diaphragm 38 is in contact with the valve seat 52 and closes the passage 54.
  • the diaphragm 38 is reliably brought into contact with the valve seat 52 by the repulsive force of the coil springs 114, thereby preventing air or the like from being led out from the diaphragm chamber 24a to the passage 54.
  • the spring of the coil spring 114 is When the constant is k 2 , and the coil spring 1 14 is retracted between the cushion member 10 6 and the seating member 1 16 when the coil spring 1 14 is retracted, the length is x 2 .
  • Figure 16 shows the changes in the force F and the restoring force Fs when the pressure P of the compressed air changes.
  • the force F is always larger than the restoring force F s, so that the diaphragm 38 can maintain the state in contact with the valve seat 52.
  • the diaphragm 38 is moved in the direction of the arrow A by the elastic force f of the coil spring 114. Is pressed. Therefore, even if there is a pressure fluctuation in the diaphragm chambers 24a, 24b or the passage 54, the diaphragm 38 can reliably close the passage 54.
  • the piezoelectric element 42 When a drive signal is further applied to the piezoelectric element 42 and the piezoelectric element 42 is excessively bent, the piezoelectric element 42 itself may come into contact with an impact and may be damaged. However, since the piezoelectric element 42 abuts on the cushion member 106 via the seat member 116, the shock is buffered and the piezoelectric element 42 is prevented from being excessively bent. As described above, the fear that the piezoelectric element 42 is damaged is eliminated.
  • the piezoelectric element 42 when the seat member 1 16 and the cushion member 106 come into contact with each other, the seat member 116 and the cushion member 106 may stick together, and the piezoelectric element 42 may not be able to return in the direction of arrow A.
  • the piezoelectric element 4 2 is urged in the direction of arrow A by the coil spring 114, and compressed air is supplied from the groove 110 formed in the cushion member 106 to the seat member 1 16 and the cushion member 1. Introduced between 0 and 6 Therefore, sticking between the seat member 116 and the cushion member 106 is prevented.
  • the piezoelectric element 42 is urged toward the valve seat 52 by the coil spring 114 so that the piezoelectric element 42 is not driven by force.
  • the passageway 54 can be closed by securely contacting the diaphragm 38 with the valve seat 52.
  • the housing 202 constituting the piezoelectric valve 200 includes a first valve body 204, a second valve body 206, and a first valve body 204 and a second valve, which are fixed to face each other.
  • a port block 208 fixed to the lower part of the body 206.
  • the first valve body 204 and the second valve body 206 have recesses 210 and 212 forces, respectively, and the diaphragm chambers 214a and 240a communicate with each other by the recesses 210 and 212. 2 1 4b is formed.
  • a gasket 216 is provided between the first valve body 204 and the second valve body 206 so as to surround the diaphragm chambers 214a and 214b. The gasket 216 prevents the pressure fluid from leaking from between the first valve body 204 and the second valve body 206.
  • the walls constituting the diaphragm chambers 2 14 a and 2 14 b are deflected by a plurality of support sections 2 18 force 90 ° toward the center of the diaphragm chambers 2 14 a and 2 14 b.
  • the gasket 2 16 is formed with a holding portion 220 so as to face the diaphragm chambers 2 14 a and 2 14 b (see FIG. 8).
  • the support portion 218 is provided with a first diaphragm 222 on the first valve body 204 side and a second diaphragm 224 on the second valve body 206 side, and is provided with the first diaphragm 222.
  • the second diaphragm 222 is supported by the holding portion 220 so as to be separated from the second diaphragm 222 by a predetermined distance.
  • the first and second diaphragms 222, 224 are formed of a metal such as stainless steel having elasticity, and there is a gap between a part thereof and a wall constituting the diaphragm chambers 214a, 214b. A gap 2 25 is formed.
  • substantially planar piezoelectric elements 226a to 226d are fixed on both surfaces of the first diaphragm 222 and the second diaphragm 222.
  • the first diaphragm 2 to which one surface of the piezoelectric elements 2 26 a and 2 26 b is fixed 2 2 is connected to the electric wire 2 28 a, and the other surface of the piezoelectric elements 2 2 6 a and 2 2 6 b is connected to the electric wire 2 2 8 b, and the respective electric wires 2 2 8 a and 2 2 8 b is connected to a control device (not shown) via a connector 230.
  • an electric wire 228c is connected to the second diaphragm 224 to which one surface of the piezoelectric elements 226c and 226d is fixed, and the piezoelectric element 226c and 226d
  • An electric wire 228d is connected to the other surface, and the electric wires 228c and 228d are connected to a control device (not shown) via a connector 232. Therefore, the drive signal input from the control device is applied to one surface and the other surface of the piezoelectric elements 226a to 226d.
  • the first and second diaphragms 222, 224 and the piezoelectric elements 226a to 226d may be connected to one connector 233 as shown in FIG. Good.
  • Recesses 2 10 and 2 1 2 An annular first valve seat to which the piezoelectric elements 2 26 a and 2 26 d of the first diaphragm 2 2 2 and the second diaphragm 2 2 4 A second valve seat 238 and a second valve seat 238 are formed, and passages 240 and 242 are formed in the center of the first valve seat 236 and the second valve seat 238.
  • the passages 240 and 242 communicate with the first output port 244 and the second output port 246 formed in the port block 208, respectively.
  • An input port 250 is formed in the port block 208, and a passage in the input port 250 is branched in the port block 208 (not shown), and the first valve body 204, the second It communicates with passages 254 and 256 that are defined in the valve body 206 and communicate with the diaphragm chambers 214a and 214b (see Fig. 11).
  • the first valve body 204 and the second valve body 206 have passages 25 3 and 25 5 communicating with the diaphragm chambers 2 14 a and 2 14 b, respectively.
  • the passages 25 3 and 255 are connected to the input port 250. Communicate.
  • the port block 208 has a plate-like portion 251, which is attached to the first valve body 204 and the second valve body 206. As shown in FIG. 12, the plate-like portion 25 1 is attached to the short short edge portion so as to project from the first valve body 204 and the second valve body 206 in an inclined manner. Parts 25 2 a and 25 2 b are formed, and holes 25 8 a and 25 through which the screws 25 7 a and 25 7 b pass are inserted into the mounting sections 25 2 a and 25 2 b. 8b is defined.
  • the piezoelectric valve 200 is attached to a long base plate 260, and screws 2557a and 2557b are fastened to the screw holes 2662a and 262b, respectively. 0 or fixed to base plate 260.
  • a supply passage 264 for pressurized fluid, preferably compressed air, is defined in the base plate 260 along its longitudinal direction, and the supply passage 264 communicates with a compressed air supply source (not shown). .
  • the supply passage 264 communicates with a supply hole 266 that opens on the upper surface of the base plate 260, and the supply port 266 is provided with an input port 250 of a compression valve 200.
  • the first output hole 270 and the second output hole 272 are formed to be bent and open to the side of the base plate 260.
  • a plurality of supply holes 266, first and second output holes 270, 272 are defined in the base plate 260 so that a plurality of piezoelectric valves 200 are attached.
  • the piezoelectric valve 200 according to the third embodiment is basically configured as described above, and the operation will be described next.
  • the piezoelectric elements 226a and 226d fixed to the first and second diaphragms 222 and 224 correspond to the first and second valve seats 236 and 238, respectively. In contact, it blocks passages 240 and 242.
  • a compressed air supply source (not shown) is energized and compressed air is supplied to the supply passage 264 of the base plate 260, the compressed air is supplied through the input port 250 to the diaphragm chambers 21a and 2b. Introduced in 14b.
  • the pressure in the diaphragm chambers 2 14 a and 2 14 b becomes higher than that in the passages 240 and 242 by the compressed air, so that the first and second diaphragms 2 2 2 and 2 2 4
  • the second diaphragm 2 2 4 according to the arrow A 2 direction.
  • first and second diaphragms 222, 222 have elasticity.
  • the magnitude of the force F p acting on the first and second diaphragms 2 2 2 and 2 2 4 in the direction of arrow AA 2 and the restoring force F s acting in the direction of arrow B and B 2 opposite thereto are:
  • the magnitude of the force F p is always larger than the restoring force F s, so the inside of the diaphragm chambers 2 14 a and 2 14 b
  • the first and second diaphragms 2 2 2 and 2 2 4 have the first and second valve seats 2 3 6 as long as the pressure in , 238 can be kept in contact, and the passages 240, 242 are closed.
  • the piezoelectric elements 2 26 a and 22 b of the first diaphragm 222 and the second diaphragm A drive signal is applied to both of the piezoelectric elements 2 2 6c and 2 2 6d of the diaphragm 2 2 4 to displace the first and second diaphragms 2 2 2 and 2 2 4 in the direction of the arrow BB 2 to release compressed air. It is also possible to lead to both the first and second output holes 270 and 272 simultaneously.
  • one piezoelectric valve 200 As described above, according to the piezoelectric valve 200 according to the third embodiment, one piezoelectric valve
  • compressed air can be led to one or both of the first output port 244 and the second output port 246.
  • the piezoelectric valve of the present invention the following effects and advantages can be obtained. Even when the pressure of the fluid introduced into the diaphragm chamber fluctuates when the driving power is not applied to the piezoelectric element, there is no concern that the fluid is led out because the diaphragm is always in contact with the valve seat. In addition, even if the piezoelectric element is excessively deformed, the piezoelectric element is in contact with the cushion member, and there is no fear that the piezoelectric element is damaged. Therefore, the reliability of this piezoelectric valve is improved.
  • the fluid flows through the gap between the edge of the diaphragm and the wall of the diaphragm chamber, a passage for introducing the fluid to one side and the other side of the diaphragm is not required.
  • the structure of the valve is simplified, and the manufacturing cost of the piezoelectric valve can be reduced.
  • the diaphragm can be reliably brought into contact when the piezoelectric element is not driven, and it is possible to prevent leakage of the pressure fluid.
  • the reliability of the piezoelectric valve is further improved.
  • the flow rate of the compressed air led out to a plurality of output ports by one piezoelectric valve can be controlled, and a plurality of piezoelectric valves are prepared. There is no need for this, and the configuration of the device in which this piezoelectric valve is used can be simplified.

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Description

明 細 書 圧電弁 技術分野
本発明は、 圧戴素子の撓曲作用下にダイヤフラムを変位させ、 流体の出入を制 御し、 また、 流体の流量を制御する圧電弁に関する。 背景技術
従来から、 流体の出入あるいはその流量を制御するために使用される圧電弁が
、 例えば、 米国特許第 5 6 2 8 4 1 1号公報に開示されている。 この圧電弁 1は 、 図 1 3に示すように、 圧電素子 2が設けられたダイヤフラム 3を出力ポート 4 のバルブシート 5に接近離間可能に構成される。 この場合、 入力ポート 7から圧 力室 6に導入される圧縮空気の圧力を Pとすると、 出力ポート 4にかかる力 F p は、
F ρ = π/ 4 X D2 X P (D：出力ポート 4の開口部の直径）
である。 一方、 ダイヤフラム 3を変位量 X l だけ変位させて出力ポート 4を閉塞 させたときの該ダイヤフラム 3の復元力 F sは、
F s = k , X x , ( k j ：ばね定数）
である。 そして、 この圧電弁 1では、 F p = F sとなるように圧縮空気の圧力 P を設定することで閉塞状態を維持するようにしている。
一方、 出力ポート 4を開口する際には、 圧電素子 2に駆動電力を印加すること により圧電素子 2の撓曲量を変化させ、 ダイヤフラム 3をバルブシート 5から離 間させる。 この結果、 圧縮空気が圧力室 6から出力ポート 4に導出される。 しかしながら、 上記の従来技術では、 圧縮空気の圧力 Pが変動すると、 図 1 4 に示すように、 ダイヤフラム 3にかかる力 F pが変動し、 復元力 F sが力 F pよ り大きくなると、 ダイヤフラム 3とバルブシート 5とが離間して出力ポー卜 4か ら圧縮空気が導出される懸念がある。 本発明は前記の課題を解決すべくなされたものであって、 供給される流体の圧 力変動によって圧力室から流体が導出される懸念のない圧電弁を提供することを 目的とする。 発明の開示
前記の目的を達成するために、 本発明に係る圧電弁は、 入力ポートより流体が 供給されるダイヤフラム室に配設され、 弁体を構成するダイヤフラムと、 前記ダイヤフラムの一方の面に設けられ、 該ダイヤフラムを変位させる圧電素 子と、
前記圧電素子に対向し、 前記ダイヤフラム室を形成するハウジングに設けられ るクッション部材と、
前記ハウジング内に開口する出力ポートに設けられ、 前記ダイヤフラムの他方 の面が当接可能な弁座と、
を備え、 前記圧電素子に駆動電力が印加されない状態において、 前記ダイヤフ ラムが弾性エネルギを蓄積することなく前記弁座に当接し、 前記出力ポートを閉 塞状態とするように構成されることを特徴とする。
本発明によれば、 圧電素子に対して駆動電力が印加されていない状態において 、 供給される流体の圧力変化によってダイヤフラムが弁座から離間してしまうこ とがないため、 圧力変化に起因する出力ポートからの流体の導出が防止される。 また、 前記圧電素子が過剰に変形した際、 圧電素子が前記クッション部材に当接 することで該圧電素子自体の損傷が回避される。
この場合、 前記ダイヤフラムと前記ハウジングとの間に、 該ダイヤフラムによ り 2分される前記ダイヤフラム室を連通する間隙が形成され、 前記ダイヤフラム 室に導入される流体が前記間隙を介して流通自在であると、 前記ダイヤフラムの 一面側と他面側とに流体を導入するための通路を別途設ける必要がなく、 この圧 電弁の構成を簡単にすることができ、 好適である。
また、 前記弁座の前記ダイヤフラムに対する当接部位が平滑に形成され、 一方 、 前記ダイヤフラムが金属板により形成され、 前記弁座に対する前記ダイヤフラ ムの当接部位が平滑に形成されると、 ダイヤフラムの強度を向上させることがで きるとともに、 弁座にダイヤフラムが当接したときに、 該弁座から流体が漏洩す ることを阻止することが可能となり、 一層好適である。
さらに、 前記クッション部材の前記圧電素子に対向する面に溝部が形成される と、 前記圧電素子が前記クッション部材に張り付くことを防止することができ、 好ましい。
さらにまた、 前記圧電素子と前記八ゥジングとの間に前記ダイャフラムを前記 弁座に向かって付勢する弾性部材が設けられ、 一方、 前記圧電素子に前記弾性部 材が着座する着座部材が設けられると、 弾性部材により前記圧電素子と前記クッ シヨン部材との張り付きが防止されるとともに、 前記ダイヤフラムを前記弁座に 当接させる際、 前記弾性部材によって前記出力ポートを確実に閉塞状態にするこ とができる。
また、 本発明は、 入力ポートより流体が供給されるダイヤフラム室に配設され 、 弁体を構成する複数のダイヤフラムと、
それぞれの前記ダイヤフラムに設けられ、 該ダイヤフラムを変位させる圧電素 子と、
前記ダイヤフラム室を形成するハウジング内に開口する複数の出力ポートに設 けられ、 それぞれの前記ダイヤフラムが当接可能な弁座と、
を備え、 前記圧電素子に駆動電力が印加されない状態において、 前記ダイヤフ ラムが弾性エネルギを蓄積することなく前記弁座に当接し、 前記出力ポートを閉 塞状態とするように構成されるとともに、 前記複数のダイヤフラムを選択的に、 または同時に変位させることにより前記複数の出力ポートに対して選択的に、 ま たは同時に前記流体を導出することを特徴とする。
本発明によれば、 1つの圧電弁によって複数の出力ポートに導出される圧縮空 気の流量を制御することができ、 圧電弁を複数用意する必要がなく、 この圧電弁 が使用される機器の構成を簡単にすることができる。 図面の簡単な説明 図 1は、 本発明の第 1の実施の形態に係る圧電弁とこの圧電弁が取り付けられ るベースプレー卜の斜視図である。
図 2は、 図 1の圧電弁のカバ一部材を取り外した状態を示す正面図である。 図 3は、 図 2の圧電弁の I I I— I I I線断面図である。
図 4は、 図 1の圧電弁に使用されるクッション部材の斜視図である。
図 5は、 図 3の圧電弁の通路が開放された状態を示す縦断面図である。
図 6は、 本発明の第 2の実施の形態に係る圧電弁の縦断面図である。
図 7は、 図 6の圧電弁のクッション部材、 コイルスプリングおよび着座部材の 一部分解斜視図である。
図 8は、 本発明の第 3の実施の形態に係る圧電弁の縦断面図である。
図 9は、 図 8の圧電弁の一方の弁ボディを取り外した状態を示す正面図である 図 1 0は、 図 8の圧電弁において、 1つのコネクタを設けた場合の一部拡大縦 断面図である。
図 1 1は、 図 8の圧電弁を示す一部分解斜視図である。
図 1 2は、 図 8の圧電弁とこの圧電弁が取り付けられるベースプレートの斜視 図である。
図 1 3は、 従来技術に係る圧電弁の概略縦断面図である。
図 1 4は、 従来技術に係る圧電弁における圧力流体の圧力によりダイヤフラム にかかる力とダイヤフラムの復元力との関係を示す図である。
図 1 5は、 第 1、 第 3の実施の形態に係る圧電弁における圧力流体の圧力によ りダイヤフラムにかかる力とダイヤフラムの復元力との関係を示す図である。 図 1 6は、 第 2の実施の形態に係る圧電弁における圧力流体の圧力によりダイ ャフラムにかかる力とダイヤフラムの復元力との関係を示す図である。 発明を実施するための最良の形態
本発明に係る圧電弁について、 好適な実施の形態を挙げ、 添付の図面を参照し ながら以下詳細に説明する。 図 1〜図 3において、 参照符号 1 0は、 本発明の第 1の実施の形態に係る圧電 弁を示す。 この圧電弁 1 0はハウジング 1 2を備え、 ハウジング 1 2の外部には 圧縮空気の入力ポート i 4 a、 1 4 bおよび出力ポート 1 6が突出形成される。 入力ポート 1 4 a、 1 4 b、 出力ポート 1 6の外周にはそれぞれ Oリング 1 8が 設けられる。 ハウジング 1 2には、 この圧電弁 1 0を取り付ける際に用いられ、 弹性的に撓曲自在なレバ一部 2 0 a、 2 O bが形成され、 レバ一部 2 0 a、 2 0 bの端部には係止爪 2 2 a、 2 2 bが形成される。
前記ハウジング 1 2の内部には入力ポート 1 4 a、 1 4 bに連通するダイヤフ ラム室 2 4 aが画成され、 ダイヤフラム室 2 4 aはカバ一部材 2 6によって閉塞 され、 ハウジング 1 2とカバ一部材 2 6によって、 さらに、 ダイヤフラム室 2 4 bが画成される。 ハウジング 1 2のカバー部材 2 6によって閉塞される開口部近 傍にはシール部材 2 8が設けられ、 このシール部材 2 8によりダイヤフラム室 2 4 a , 2 4 bからの圧縮空気の漏洩が阻止される。 ダイヤフラム室 2 4 aを構成 する壁部には複数の支持部 3 0が 9 0 ° ずつ偏位してダイヤフラム室 2 4 a、 2 4 bの中央に向かって突出形成され、 支持部 3 0にはガイド孔 3 2が画成される 。 ガイド孔 3 2にはカバー部材 2 6に形成された凸部 3 4が係合してカバ一部材
2 6が位置決めされる。 それぞれの支持部 3 0には段部 3 6が形成される。 段部
3 6には凹部 3 7が画成され、 凹部 3 7にはシール部材 3 9が係合する。
前記シール部材 3 9は弁体を構成するダイヤフラム 3 8を圧接支持し、 ダイヤ フラム 3 8はシール部材 3 9とカバ一部材 2 6とによって挟持される。 なお、 ダ ィャフラム 3 8のがたつきもシール部材 3 9によって防止される。 ダイヤフラム 3 8は弾性を有するステンレスの如き金属により略円形に形成され、 ダイヤフラ ム 3 8の一方の面には略円形の圧電素子 4 2が積層して固着される。 ダイヤフラ ム 3 8の他方の面は平滑面 4 3として形成される。 ダイヤフラム 3 8の周縁部に は複数の湾曲する凹部 4 4が 9 0 ° ずつ離間して画成され、 該凹部 4 4は支持部 3 0に係合してダイヤフラム 3 8を位置決めする （図 2参照） 。 ダイヤフラム 3 8の周縁部とダイヤフラム室 2 4 a、 2 4 bを構成する壁部との間には間隙 4 5 が形成され、 この間隙 4 5によってダイヤフラム室 2 4 aと 2 4 bとは連通状態 にある。 圧電素子 4 2の一面側が固着され金属により形成されたダイヤフラム 3 8には電線 4 6が接続され、 圧電素子 4 2の他面側には電線 4 8が接続され、 そ れぞれの電線 4 6、 4 8はコネクタ 5 0を介して図示しない制御装置に接続され る。 このため、 制御装置から入力される駆動信号は圧電素子 4 2の一面側と他面 側とに印加される。
前記ダイヤフラム室 2 4 aの中央にはダイヤフラム 3 8が当接可能に環状の弁 座 5 2が突出形成され、 該弁座 5 2には出力ポート 1 6に連通する通路 5 4が形 成される。 弁座 5 2はダイヤフラム 3 8との当接部位が平滑に形成され、 このた め、 ダイヤフラム 3 8の平滑面 4 3が弁座 5 2に当接したときに、 ダイヤフラム 3 8と弁座 5 2とが隙間なく密着し、 ダイヤフラム室 2 4 aから通路 5 4への流 体の漏洩が防止される。
一方、 前記カバー部材 2 6にはダイヤフラム室 2 4 b側に、 樹脂、 ゴム等の弾 性を有する材料で形成されたクッション部材 5 6が固着される。 すなわち、 該カ バー部材 2 6の前記弁座 5 2に対向する面に円形状の凹部 5 7が形成され、 この 凹部 5 7に前記クッション部材 5 6が嵌着される。 クッション部材 5 6は、 図 4 に示すように、 略円盤状に形成されており、 その両面には複数の溝部 5 8が放射 状に画成される。
この圧電弁 1 0は長尺なベ一スプレート 6 0に取り付けられる （図 1参照） 。 ベースプレ一ト 6 0の下部にはこのベースプレート 6 0を他の部材に取り付ける ための断面略 T字状の取付溝 6 2が形成される。 また、 ベースプレート 6 0の上 面には断面略 L字状の溝部 6 4 a、 6 4 bが画成され、 溝部 6 4 a、 6 4 bの壁 部にはレバ一部 2 0 a、 2 O bの係止爪 2 2 a、 2 2 bが係合自在である。 すな わち、 レバー部 2 0 a、 2 0 bを互いに接近するように撓曲させて係止爪 2 2 a 、 2 2 bを前記溝部 6 4 a、 6 4 bに揷通させ、 レバー部 2 0 a、 2 O bを開放 すれば、 前記係止爪 2 2 a、 2 2 bが溝部 6 4 a、 6 4 bに係合して圧電弁 1 0 は抜け止めされる。 ベ一スプレート 6 0にはその長手方向に沿って圧力流体の供 給通路 6 6が画成され、 供給通路 6 6は図示しない圧縮空気供給源に連通する。 供給通路 6 6にはベースプレート 6 0の上面に開口する供給孔 6 8が連通し、 供 給孔 6 8には圧電弁 1 0の一方の入力ポート 1 4 aが着脱可能に装着される。 ま た、 ベースプレート 6 0の上面には他方の入力ポート 1 4 bが装着される孔部 7 0と、 出力ポート 1 6が装着される出力孔 7 2とが画成される。 出力孔 7 2はべ —スプレート 6 0の側方に開口する出力ポート 7 4に連通する。
第 1の実施の形態に係る圧電弁 1 0は、 基本的には以上のように構成されるも のであり、 次にその動作について説明する。
圧電素子 4 2に制御装置 （図示せず） からコネクタ 5 0を介して駆動信号が印 加されていないとき、 圧電素子 4 2の変形はなく、 また、 ダイヤフラム室 2 4 a 、 2 4 b内の圧力が通路 5 4内の圧力と同じであるか、 あるいはそれよりも高い 限り、 ダイヤフラム 3 8に弾性エネルギが蓄積されることがなく、 ダイヤフラム 3 8は平坦な状態を保持する。 このとき、 ダイヤフラム 3 8は弁座 5 2に当接し 、 通路 5 4を閉塞している。
図示しない圧縮空気供給源が付勢され、 ベースプレート 6 0の供給通路 6 6に 圧縮空気が供給されると、 圧縮空気は入力ポート 1 4 aを介してダイヤフラム室 2 4 a、 2 4 bに導入される。 すなわち、 ダイヤフラム 3 8の縁部とダイヤフラ ム室 2 4 a、 2 4 bの壁部との間隙 4 5を介してダイヤフラム室 2 4 aと 2 4 b とが連通しているからである。 このとき、 ダイヤフラム室 2 4 a、 2 4 b内の圧 力は圧縮空気により通路 5 4内より高くなるため、 ダイヤフラム 3 8には圧縮空 気の圧力が矢印 A方向にかかる （図 3参照） 。
通路 5 4の直径を Dとすると、 圧縮空気の圧力 Pによりダイヤフラム 3 8にか かる矢印 A方向の力 F pの大きさは、
Figure imgf000009_0001
となる。 一方、 ダイヤフラム 3 8は弾性を有しているが、 このダイヤフラム 3 8 は弁座 5 2によって支持されているため、 圧縮空気の圧力によって変形すること がなく、 平坦な状態に保持され、 弾性エネルギの蓄積がない。 このため、 ダイヤ フラム 3 8にかかる矢印 B方向の復元力 F sの大きざは、
F s = 0
である。 圧縮空気の圧力 Pが変化したときの力 F p、 復元力 F sの変化を図 1 5 に示す。 このように圧縮空気の圧力 Pが変動したとしても、 力 F pの大きさは常 に復元力 F sより大きいため、 ダイヤフラム室 2 4 a、 2 4 b内の圧力が通路 5 4内の圧力と同じであるか、 それよりも高い限り、 ダイヤフラム 3 8は弁座 5 2 に当接した状態を維持することができる。 弁座 5 2はダイヤフラム 3 8との当接 部位が平滑に形成されており、 また、 ダイヤフラム 3 8の表面も平滑面 4 3とし て平滑に形成されているため、 弁座 5 2とダイヤフラム 3 8とは隙間なく密着し 、 圧縮空気がダイヤフラム室 2 4 a、 2 4 bから通路 5 4に導出されることがな い。
一方、 圧電素子 4 2にコネクタ 5 0を介して制御装置 （図示せず） から駆動信 号が印加されると、 圧電素子 4 2が撓曲してダイヤフラム 3 8を矢印 B方向に変 位させる力が発生する。 この力が圧縮空気によりダイヤフラム 3 8にかかる力 F Pと通路 5 4内の圧力によりダイヤフラム 3 8にかかる力との差より大きくなる と、 ダイヤフラム 3 8が弁座 5 2から離間し、 ダイヤフラム室 2 4 aと通路 5 4 とが連通する。 従って、 圧縮空気が通路 5 4から出力ポート 1 6を介して出力ポ ート 7 4に導出される。
なお、 圧電素子 4 2にさらに駆動信号が印加され、 圧電素子 4 2が過剰に撓曲 すると、 圧電素子 4 2自体が衝撃的に当接し、 場合によっては破損する懸念があ る。 しかしながら、 本実施の形態では、 圧電素子 4 2は、 クッション部材 5 6に 当接することにより衝撃が緩衝されるとともに、 この圧電素子 4 2が過剰に撓曲 することが阻止され、 前記のように圧電素子 4 2が破損する懸念が払拭される。 また、 このように圧電素子 4 2とクッション部材 5 6とが当接すると、 圧電素 子 4 2とクッション部材 5 6とが張り付き、 圧電素子 4 2が矢印 A方向に復帰で きなくなる懸念があるが、 クッション部材 5 6に形成された溝部 5 8から圧縮空 気が圧電素子 4 2とクッション部材 5 6との間に導入されるため、 圧電素子 4 2 とクッション部材 5 6との張り付きが阻止され、 該圧電素子 4 2の原位置の復帰 に支障はない。
前記の本発明の第 1の実施の形態に係る圧電弁 1 0によれば、 圧電素子 4 2に 駆動信号が印加されていない状態では、 ダイヤフラム室 2 4 a、 2 4 b内に導入 される圧縮空気の圧力に変動が生じても、 ダイヤフラム 3 8が弁座 5 2に常時当 接しているため、 圧力変動に起因して圧縮空気がダイヤフラム室 2 4 a、 2 4 b 力 ^ら通路 5 4に導出される懸念が払拭される。
また、 圧電素子 4 2は、 駆動信号が印加されて撓曲したとき、 クッション部材 5 6に当接することにより過剰に変形することが阻止されるため、 圧電素子 4 2 が拫慯する懸念がない。
さらに、 ダイヤフラム室 2 4 aを構成する壁部とダイヤフラム 3 8の縁部との 間に間隙 4 5が形成され、 ダイヤフラム室 2 4 aと 2 4 bとが連通するため、 圧 縮空気はダイヤフラム 3 8の一面側と他面側、 すなわち、 ダイヤフラム室 2 4 a と 2 4 bとの間を流通自在である。 従って、 前記一面側と他面側とに圧縮空気を 導入するための通路を個別に設ける必要がなく、 この種の圧電弁 1 0の構成を簡 単にすることができる。
さらにまた、 弁座 5 2はダイヤフラム 3 8との当接部位が平滑に形成され、 一 方、 ダイヤフラム 3 8の弁座 5 2と当接する面は平滑面 4 3として形成されるた め、 ダイヤフラム 3 8が弁座 5 2に当接したときにダイヤフラム 3 8と弁座 5 2 とが隙間なく密着し、 ダイヤフラム室 2 4 aから通路 5 4への流体の導出が防止 される。
次に、 第 2の実施の形態に係る圧電弁 1 0 0について、 図 6を参照して説明す る。 なお、 第 1の実施の形態と同様の構成要素には同一の参照符号を付してその 詳細な説明を省略する。
この圧電弁 1 0 0に設けられたカバー部材 1 0 2の内壁部には凹部 1 0 4が画 成され、 凹部 1 0 4には、 樹脂、 ゴム等の弾性を有する材料で略円盤状に形成さ れたクッション部材 1 0 6が嵌入される。 クッション部材 1 0 6の一方の面には 、 図 7に示すように、 凸部 1 0 8が形成され、 凸部 1 0 8には複数の溝部 1 1 0 が放射状に画成される。 また、 クッション部材 1 0 6の中央には孔部 1 1 2が画 成される。
クッション部材 1 0 6の縁部近傍には、 図 6および図 7に示すように、 段差部 1 0 7が形成され、 この段差部 1 0 7にコイルスプリング （弾性部材） 1 1 4の 一端部が着座し、 コイルスプリング 1 1 4の他端部は圧電素子 4 2に固着された 着座部材 1 1 6に着座する。 着座部材 1 1 6は樹脂、 ゴム等の弾性を有する材料 で略円盤状に形成され、 その縁部がクッション部材 1 0 6に向かって湾曲してい る。 このように構成されることにより、 圧電素子 4 2はコイルスプリング 1 1 4 によって常時矢印 A方向に付勢されるとともに、 圧電素子 4 2がコイルスプリン グ 1 1 4によって損傷する懸念がない。
第 2の実施の形態に係る圧電弁 1 0 0は、 基本的には以上のように構成される ものであり、 次にその動作について説明する。
圧電素子 4 2に制御装置 （図示せず） 力 ^駆動信号が印加されていないとき、 圧電素子 4 2の変形はなく、 また、 ダイヤフラム室 2 4 a、 2 4 b内の圧力が通 路 5 4内の圧力と同じであるか、 あるいはそれよりも高い限り、 ダイヤフラム 3 8に弾性エネルギが蓄積されることがなく、 ダイヤフラム 3 8は平坦な状態を保 持する。 このとき、 ダイヤフラム 3 8は弁座 5 2に当接し、 通路 5 4を閉塞して いる。 なお、 ダイヤフラム 3 8はコイルスプリング 1 1 4の弹発力により弁座 5 2に確実に当接し、 ダイヤフラム室 2 4 aから通路 5 4に空気等が導出されるこ とが防止される。
入力ポート 1 4 a、 1 4 bから圧縮空気が供給されると （図 2参照） 、 ダイヤ フラム室 2 4 a、 2 4 bに圧縮空気が導入され、 ダイヤフラム 3 8には圧縮空気 の圧力が矢印 A方向にかかる。
ダイヤフラム 3 8にかかる矢印 A方向の力 Fの大きさは、 圧縮空気の圧力 Pに よる力 F pとコイルスプリング 1 1 4の弹発カ f の和であるため、 コイルスプリ ング 1 1 4のばね定数を k 2、 コイルスプリング 1 1 4がクッション部材 1 0 6 と着座部材 1 1 6との間に配設される際に該コイルスプリング 1 1 4が縮退する 長さを x 2とすると、
F = F p + f
= π / 4 X D2 X P + k 2 X x 2
となる。 ここで、 F P = Z 4 X D2 X Pであり、 また、 f = k2 X x2である。 一方、 ダイヤフラム 3 8は弾性を有しているが、 このダイヤフラム 3 8は弁座 5 2によって支持されて平坦な状態に保持され、 弾性エネルギの蓄積がないため、 ダイヤフラム 3 8にかかる矢印 B方向の復元力 F sの大きさは、
F s = 0
となる。 圧縮空気の圧力 Pが変化したときの力 F、 復元力 F sの変化を図 1 6に 示す。 このように圧縮空気の圧力 Pが変動したとしても、 力 Fは常に復元力 F s より大きいため、 ダイヤフラム 3 8は弁座 5 2に当接した状態を維持することが できる。 また、 ダイヤフラム室 2 4 a、 2 4 b内の圧力 Pが低く、 通路 5 4内の 圧力と略同一であっても、 ダイヤフラム 3 8はコイルスプリング 1 1 4の弾発力 f により矢印 A方向に押圧されている。 従って、 ダイヤフラム室 2 4 a、 2 4 b または通路 5 4内に圧力変動があっても、 ダイヤフラム 3 8は通路 5 4を確実に 閉塞することができる。
圧電素子 4 2に制御装置 （図示せず） 力 駆動信号が印加されると、 圧電素子 4 2が撓曲してダイヤフラム 3 8を矢印 B方向に変位させる力が発生する。 この 力が、 圧縮空気によりダイヤフラム 3 8にかかる力 F pおよびコイルスプリング 1 1 4の弾発力 f の和と、 通路 5 4内の圧力によりダイヤフラム 3 8にかかる力 との差より大きくなると、 ダイヤフラム 3 8が弁座 5 2から離間し、 ダイヤフラ ム室 2 4 aと通路 5 4とが連通する。 従って、 圧縮空気が通路 5 4から出力ポー ト 1 6に導出される。
なお、 圧電素子 4 2にさらに駆動信号が印加され、 圧電素子 4 2が過剰に撓曲 すると、 圧電素子 4 2自体が衝撃的に当接し、 破損する懸念がある。 しかしなが ら、 圧電素子 4 2は、 着座部材 1 1 6を介してクッション部材 1 0 6に当接する ことにより衝撃が緩衝されるとともにこの圧電素子 4 2が過剰に撓曲することが 阻止され、 前記のように圧電素子 4 2が破損する懸念が払拭される。
また、 着座部材 1 1 6とクッション部材 1 0 6とが当接すると、 着座部材 1 1 6とクッション部材 1 0 6とが張り付き、 圧電素子 4 2が矢印 A方向に復帰でき なくなる懸念がある。 しかしながら、 圧電素子 4 2はコイルスプリング 1 1 4に よって矢印 A方向に付勢され、 また、 クッション部材 1 0 6に形成された溝部 1 1 0から圧縮空気が着座部材 1 1 6とクッション部材 1 0 6との間に導入される ため、 着座部材 1 1 6とクッション部材 1 0 6との張り付きが阻止される。 第 2の実施の形態に係る圧電弁 1 0 0によれば、 圧電素子 4 2をコイルスプリ ング 1 1 4により弁座 5 2に向かって付勢することにより、 圧電素子 4 2力駆動 されない場合にダイヤフラム 3 8を確実に弁座 5 2に当接させて通路 5 4を閉塞 することができる。
次いで、 第 3の実施の形態に係る圧電弁 2 0 0について、 図 8および図 9を参 照して説明する。
この圧電弁 2 0 0を構成するハウジング 2 0 2は、 互いに対向して固着された 第 1弁ボディ 2 0 4、 第 2弁ボディ 2 0 6と、 第 1弁ボディ 2 0 4、 第 2弁ポデ ィ 2 0 6の下部に固着されるポートブロック 2 0 8とを備える。
第 1弁ボディ 2 0 4、 第 2弁ボディ 2 0 6にはそれぞれ凹部 2 1 0、 2 1 2力 画成され、 凹部 2 1 0と 2 1 2により互いに連通するダイヤフラム室 2 1 4 a、 2 1 4 bが形成される。 第 1弁ボディ 2 0 4と第 2弁ボディ 2 0 6との間には、 図 9に示すように、 ダイヤフラム室 2 1 4 a、 2 1 4 bを囲繞してガスケット 2 1 6が設けられ、 該ガスケット 2 1 6は第 1弁ボディ 2 0 4と第 2弁ボディ 2 0 6との間から圧力流体が漏洩することを防止する。 ダイヤフラム室 2 1 4 a、 2 1 4 bを構成する壁部には複数の支持部 2 1 8力 9 0 ° ずつ偏位してダイヤフラ ム室 2 1 4 a、 2 1 4 bの中央に向かって突出形成され、 ガスケット 2 1 6には 前記ダイヤフラム室 2 1 4 a、 2 1 4 bに臨むように挟持部 2 2 0が形成される (図 8参照） 。
支持部 2 1 8には第 1弁ボディ 2 0 4側に第 1ダイヤフラム 2 2 2が、 第 2弁 ボディ 2 0 6側に第 2ダイヤフラム 2 2 4が設けられ、 第 1ダイヤフラム 2 2 2 と第 2ダイヤフラム 2 2 4とは挟持部 2 2 0によって互いに所定間隔離間して支 持される。 第 1、 第 2ダイヤフラム 2 2 2、 2 2 4は弾性を有するステンレスの 如き金属により形成され、 その緣部とダイヤフラム室 2 1 4 a、 2 1 4 bを構成 する壁部との間には間隙 2 2 5が形成される。 第 1ダイヤフラム 2 2 2、 第 2ダ ィャフラム 2 2 4の両面には平面略円形の圧電素子 2 2 6 a〜 2 2 6 dが固着さ れる。 圧電素子 2 2 6 a、 2 2 6 bの一方の面が固着された第 1ダイヤフラム 2 2 2には電線 2 2 8 aが接続され、 圧電素子 2 2 6 a、 2 2 6 bの他方の面には 電線 2 2 8 bが接続され、 それぞれの電線 2 2 8 a , 2 2 8 bはコネクタ 2 3 0 を介して図示しない制御装置に接続される。 また、 圧電素子 2 2 6 c、 2 2 6 d の一方の面が固着された第 2ダイヤフラム 2 2 4には電線 2 2 8 cが接続され、 圧電素子 2 2 6 c , 2 2 6 dの他方の面には電線 2 2 8 dが接続され、 それぞれ の電線 2 2 8 c、 2 2 8 dはコネクタ 2 3 2を介して制御装置 （図示せず） に接 続される。 このため、 制御装置から入力される駆動信号は圧電素子 2 2 6 a〜 2 2 6 dの一方の面と他方の面とに印加される。 この場合、 第 1、 第 2ダイヤフラ ム 2 2 2、 2 2 4および圧電素子 2 2 6 a〜2 2 6 dは、 図 1 0に示すように、 1つのコネクタ 2 3 3に接続されてもよい。
凹部 2 1 0、 2 1 2 構成する底部には第 1ダイヤフラム 2 2 2、 第 2ダイヤ フラム 2 2 4の圧電素子 2 2 6 a、 2 2 6 dが当接可能な環状の第 1弁座 2 3 6 、 第 2弁座 2 3 8が形成され、 第 1弁座 2 3 6、 第 2弁座 2 3 8の中央には通路 2 4 0、 2 4 2が形成される。 通路 2 4 0、 2 4 2はそれぞれポートブロック 2 0 8に形成された第 1出力ポート 2 4 4、 第 2出力ポート 2 4 6に連通する。 ポートブロック 2 0 8には入力ポート 2 5 0が形成され、 入力ポート 2 5 0内 の通路はポートブロック 2 0 8内で分岐し （図示せず） 、 第 1弁ボディ 2 0 4、 第 2弁ボディ 2 0 6に画成されダイヤフラム室 2 1 4 a、 2 1 4 bに連通する通 路 2 5 4、 2 5 6に連通する （図 1 1参照） 。 また、 第 1弁ボディ 2 0 4、 第 2 弁ボディ 2 0 6にはダイヤフラム室 2 1 4 a , 2 1 4 bに連通する通路 2 5 3、 2 5 5が画成され、 ポートブロック 2 0 8が 1 8 0 ° 回動した状態で第 1弁ポデ ィ 2 0 4、 第 2弁ボディ 2 0 6に取り付けられたときに、 通路 2 5 3、 2 5 5は 入力ポート 2 5 0に連通する。 ポートブロック 2 0 8には第 1弁ボディ 2 0 4、 第 2弁ボディ 2 0 6に取り付けられる板状部 2 5 1が形成される。 該板状部 2 5 1の短尺な短縁部には、 図 1 2に示すように、 第 1弁ボディ 2 0 4、 第 2弁ポデ ィ 2 0 6から傾斜して突出するように取付部 2 5 2 a , 2 5 2 bが形成され、 取 付部 2 5 2 a、 2 5 2 bにはねじ 2 5 7 a、 2 5 7 bが挿通する孔部 2 5 8 a、 2 5 8 bが画成される。 この圧電弁 2 0 0は長尺なベースプレート 2 6 0に取り付けられ、 ねじ 2 5 7 a、 2 5 7 bがねじ孔 2 6 2 a、 2 6 2 bに締結されることにより圧電弁 2 0 0 かベースプレート 2 6 0に固定される。 ベ一スプレート 2 6 0にはその長手方向 に沿って圧力流体、 好ましくは圧縮空気用の供給通路 2 6 4が画成され、 該供給 通路 2 6 4は図示しない圧縮空気供給源に連通する。 供給通路 2 6 4にはベース プレート 2 6 0の上面に開口する供給孔 2 6 6が連通し、 供給孔 2 6 6には圧 ¾ 弁 2 0 0の入力ポート 2 5 0が装着される。 また、 ベースプレート 2 6 0の上面 には第 1出力ポート 2 4 4が装着される第 1出力孔 2 7 0と、 第 2出力ポート 2 4 6が装着される第 2出力孔 2 7 2とが画成され、 第 1出力孔 2 7 0、 第 2出力 孔 2 7 2は屈曲形成されてべ一スプレート 2 6 0の側方に開口する。
ベースプレート 2 6 0には複数の圧電弁 2 0 0が取り付けられるように、 供給 孔 2 6 6、 第 1、 第 2出力孔 2 7 0、 2 7 2が複数画成される。
第 3の実施の形態に係る圧電弁 2 0 0は、 基本的には以上のように構成される ものであり、 次にその動作について説明する。
圧電素子 2 2 6 a〜 2 2 6 dにコネクタ 2 3 0 , 2 3 2を介して制御装置 （図 示せず） から駆動信号が印加されていないとき、 圧電素子 2 2 6 a〜 2 2 6 dの 変形はない。 また、 ダイヤフラム室 2 1 4 a、 2 1 4 b内の圧力が通路 2 4 0、 2 4 2内の圧力と同じであるか、 あるいはそれよりも高い限り、 第 1、 第 2ダイ ャフラム 2 2 2、 2 2 4に弾性エネルギが蓄積されることがなく、 第 1、 第 2ダ ィャフラム 2 2 2、 2 2 4は平坦な状態を保持する。 このとき、 第 1、 第 2ダイ ャフラム 2 2 2、 2 2 4に固着された圧電素子 2 2 6 a、 2 2 6 dはそれぞれ第 1、 第 2弁座 2 3 6、 2 3 8に当接し、 通路 2 4 0、 2 4 2を閉塞している。 図示しない圧縮空気供給源が付勢され、 ベースプレート 2 6 0の供給通路 2 6 4に圧縮空気が供給されると、 圧縮空気は入力ポート 2 5 0を介してダイヤフラ ム室 2 1 4 a、 2 1 4 bに導入される。 このとき、 ダイヤフラム室 2 1 4 a、 2 1 4 b内の圧力は圧縮空気により通路 2 4 0、 2 4 2内より高くなるため、 第 1 、 第 2ダイヤフラム 2 2 2、 2 2 4には圧縮空気の圧力が第 1、 第 2弁座 2 3 6 、 2 3 8に向かう方向、 すなわち、 第 1ダイヤフラム 2 2 2には矢印 A ,方向に 、 第 2ダイヤフラム 2 2 4には矢印 A 2方向にかかる。
一方、 第 1、 第 2ダイヤフラム 2 2 2、 2 2 4は弾性を有しているが、 この第
1、 第 2ダイヤフラム 2 2 2、 2 2 4はそれぞれ第 1、 第 2弁座 2 3 6、 2 3 8 によって支持されているため、 圧縮空気の圧力によって変形することがなく、 平 坦な状態に保持され、 弾性エネルギの蓄積がない。
このため、 第 1、 第 2ダイヤフラム 2 2 2、 2 2 4に矢印 A A 2方向にか かる力 F pおよびその反対方向である矢印 Bい B 2方向にかかる復元力 F sの 大きさは、 第 1の実施の形態と同様に、 それぞれの第 1、 第 2ダイヤフラム 2 2
2、 2 2 4において、
Figure imgf000017_0001
F s = 0
であり、 図 1 5に示すように、 圧縮空気の圧力 Pが変動したとしても、 力 F pの 大きさは常に復元力 F sより大きいため、 ダイヤフラム室 2 1 4 a、 2 1 4 b内 の圧力が通路 2 4 0、 2 4 2内の圧力と同じであるか、 それよりも高い限り、 第 1、 第 2ダイヤフラム 2 2 2、 2 2 4は第 1、 第 2弁座 2 3 6、 2 3 8に当接し た状態を維持することができ、 通路 2 4 0、 2 4 2が閉蓋される。
第 1ダイヤフラム 2 2 2の圧電素子 2 2 6 a、 2 2 6 bに制御装置 （図示せず ) から駆動信号が印加されると、 圧電素子 2 2 6 a、 2 2 6 bが撓曲して第 1ダ ィャフラム 2 2 2を矢印 方向に変位させる力が発生する。 この力が圧縮空気 により第 1ダイヤフラム 2 2 2にかかる力 F pと通路 2 4 0内の圧力により第 1 ダイヤフラム 2 2 2にかかる力との差より大きくなると第 1ダイヤフラム 2 2 2 が第 1弁座 2 3 6から離間し、 ダイヤフラム室 2 1 4 aと通路 2 4 0とが連通す る。 従って、 圧縮空気が通路 2 4 0から第 1出力ポート 2 4 4を介して第 1出力 孔 2 7 0に導出される。
また、 第 2ダイヤフラム 2 2 4の圧電素子 2 2 6 c、 2 2 6 dに駆動信号が印 加されると、 前述と同様にして、 第 2ダイヤフラム 2 2 4を矢印 B 2方向に変位 させる力が発生し、 圧縮空気が通路 2 4 2から第 2出力孔 2 7 2に導出される。 さらに、 第 1ダイヤフラム 2 2 2の圧電素子 2 2 6 a、 2 2 6 bと第 2ダイヤ フラム 2 2 4の圧電素子 2 2 6 c , 2 2 6 dの両方に駆動信号を印加して第 1、 第 2ダイヤフラム 2 2 2、 2 2 4を矢印 B B 2方向に変位させ、 圧縮空気を 第 1、 第 2出力孔 2 7 0、 2 7 2の両方に同時に導出することもできる。
以上のように、 第 3の実施の形態に係る圧電弁 2 0 0によれば、 1つの圧電弁
2 0 0によって圧縮空気を第 1出力ポート 2 4 4と第 2出力ポ一ト 2 4 6のいず れか一方または両方に導出することができる。 産業上の利用可能性
本発明に係る圧電弁によれば、 以下のような効果ならびに利点が得られる。 圧電素子に駆動電力が印加されない状態において、 ダイヤフラム室に導入され る流体の圧力変動が生じても、 ダイヤフラムが弁座に常時当接しているため、 流 体が導出される懸念がない。 また、 圧電素子が過剰に変形した場合であってもク ッシヨン部材に当接するため、 圧電素子が損傷する懸念がない。 従って、 この圧 電弁の信頼性が向上する。
さらに、 流体がダイャフラムの縁部とダイヤフラム室の壁部との間隙を流通す ることにより、 ダイヤフラムの一面側と他面側とに流体を導入するための通路が 不要となるために、 この圧電弁の構成が簡素化され、 圧電弁の製造コストを低廉 化することができる。
さらにまた、 圧電素子を弾性部材により弁座に向かって付勢することにより、 圧電素子が駆動されない場合にダイヤフラムを確実に当接させることができ、 圧 力流体の漏洩を阻止することが可能となり、 圧電弁の信頼性が一層向上する。 また、 ダイヤフラムを複数設け、 それぞれのダイヤフラムを選択的に変位させ ることにより、 1つの圧電弁によって複数の出力ポートに導出される圧縮空気の 流量を制御することができ、 圧電弁を複数用意する必要がなく、 この圧電弁が使 用される機器の構成を簡単にすることができる。

Claims

請求の範囲
1. 入力ポート （14 a、 14b) より流体が供給されるダイヤフラム室 （24 a、 24 b) に配設され、 弁体を構成するダイヤフラム （38) と、
前記ダイヤフラム （38) の一方の面に設けられ、 該ダイヤフラム （38) を 変位させる圧電素子 （42) と、
前記圧電素子 （42) に対向し、 前記ダイヤフラム室 （24 a、 24b) を形 成するハウジング （12) に設けられるクッション部材 （56、 106) と、 前記ハウジング （12) 内に開口する出力ポート （16) に設けられ、 前記ダ ィャフラム （38) の他方の面が当接可能な弁座 （52) と、
を備え、 前記圧電素子 （42) に駆動電力が印加されない状態において、 前記 ダイヤフラム （38) が弾性エネルギを蓄積することなく前記弁座 （52) に当 接し、 前記出力ポート （16) を閉塞状態とするように構成されることを特徴と する圧電弁 （10、 100) 。
2. 請求項 1記載の圧電弁 （10、 100) において、
前記ダイヤフラム （38) と前記ハウジング （12) との間には該ダイヤフラ ム （38) により 2分される前記ダイヤフラム室 （24 a、 24 b) を連通する 間隙 （45) が形成され、 前記ダイヤフラム室 （24 a、 24b) に導入される 流体は前記間隙 （45) を介して流通自在であることを特徴とする圧電弁 （10 、 100) 。
3. 請求項 1項に記載の圧電弁 （10、 100) において、
前記弁座 （52) の前記ダイヤフラム （38) に対する当接部位は平滑に形成 され、 一方、 前記ダイヤフラム （38) は弾性を有する金属板により形成され、 前記弁座 （52) に対する前記ダイヤフラム （38) の当接部位が平滑に形成さ れることを特徴とする圧電弁 （10、 100) 。
4. 請求項 3記載の圧電弁 （10、 100) において、
前記圧電素子 （42) の前記金属板により形成されたダイヤフラム （38) に 固定された面には該ダイヤフラム （38) を介して駆動信号が印加されることを 特徴とする圧電弁 （10、 100) 。
5. 請求項 1記載の圧電弁 （10、 100) において、
前記ダイヤフラム （38) はステンレスの如き金属板により形成されることを 特徴とする圧電弁 （10、 100) 。
6. 請求項 1記載の圧電弁 （10、 100) において、
前記クッション部材 （56、 106) には前記圧電素子 （42) に対向する面 に該クッション部材 （56、 106) と該圧電素子 （42) との張り付きを防止 するための溝部 （58、 1 10) が形成されることを特徴とする圧電弁 （10、 100) 。
7. 請求項 1記載の圧電弁 （10、 100) において、
前記クッション部材 （56、 106) は前記ハウジング （12) に形成された 凹部 （57、 104) に嵌入することを特徴とする圧電弁 （10、 100) 。
8. 請求項 1記載の圧電弁 （10、 100) において、
前記クッション部材 （56、 106) は弾性を有する樹脂またはゴムにより形 成されることを特徴とする圧電弁 （10、 100) 。
9. 請求項 1記載の圧電弁 （100) において、
前記圧電素子 （42) と前記ハウジング （12) との間には前記ダイヤフラム (38) を前記弁座 （52) に向かって付勢する弾性部材 （114) が設けられ 、 一方、 前記圧電素子 （42) には前記弾性部材 （1 14) が着座する着座部材 (1 16) が設けられることを特徴とする圧電弁 （100) 。
10. 請求項 9記載の圧電弁 （100) において、
前記弾性部材 （1 14) はコイルスプリングであることを特徴とする圧電弁 （ 100) 。
1 1. 請求項 9記載の圧電弁 （100) において、
前記着座部材 （116) は弾性を有する樹脂、 ゴムの如き材料により形成され ることを特徴とする圧電弁 （100) 。
12. 請求項 1記載の圧電弁 （10、 100) において、
前記ハウジング （12) には前記ダイヤフラム室 （24a、 24b) に向かつ て突出して支持部 （30) が設けられ、 前記ダイヤフラム （38) は前記支持部 (30) に保持されることを特徴とする圧電弁 （10、 100) 。
13. 請求項 1記載の圧電弁 （10、 100) において、
前記ハウジング （12) には前記庄電弁 （10、 100) を取り付けるための レバ一部 （20 a、 20 b) が弾性的且つ撓曲自在に設けられ、 前記レバ一部 （ 20 a, 20 b) には前記圧電弁 （10、 100) が取り付けられる機器に係合 する係止爪 （22 a、 22 b) が形成されることを特徴とする圧電弁 （10、 1 00) 。
14. 入力ポート （250) より流体が供給されるダイヤフラム室 （214 a、 214b) に配設され、 弁体を構成する複数のダイヤフラム （222、 224) と、
それぞれの前記ダイヤフラム （222、 224) に設けられ、 該ダイヤフラム (222、 224) を変位させる圧電素子 （226 a〜226 d) と、 前記ダイヤフラム室 （214 a、 214b) を形成するハウジング （202) 内に開口する複数の出力ポート （244、 246) に設けられ、 それぞれの前記 ダイヤフラム （222、 224) が当接可能な弁座 （236、 238) と、 を備え、 前記圧電素子 （226 a〜226 d) に駆動電力が印加されない状態 において、 前記ダイヤフラム （222、 224) が弾性エネルギを蓄積すること なく前記弁座 （236、 238) に当接し、 前記出力ポート （244、 246) を閉塞状態とするように構成されるとともに、 前記複数のダイヤフラム （222 、 224) を選択的に、 または同時に変位させることにより前記複数の出力ポー ト （244、 246) に選択的に、 または同時に前記流体を導出することを特徴 とする圧電弁 （200) 。
15. 請求項 14記載の圧電弁 （200) において、
前記ダイヤフラム （222、 224) 、 前記出力ポート （244、 246) お よび前記弁座 （236、 238) はそれぞれ 2つずつ設けられ、 前記 2つの弁座
(236、 238) は互いに対向して配設され、 前記 2つの弁座 （236、 23 8) の間には前記 2つのダイヤフラム （222、 224) が互いに平行に配設さ れることを特徴とする圧電弁 （200) 。
16. 請求項 14記載の圧電弁 （200) において、
前記ダイヤフラム （222、 224) と前記ハウジング （202) との間には 該ダイヤフラム （222、 224) により 2分される前記ダイヤフラム室 （21 4 a、 214b) を連通する間隙 （225) が形成され、 前記ダイヤフラム室 （ 214 a, 214b) に導入される流体は前記間隙 （225) を介して流迎自在 であることを特徴とする圧電弁 （200) 。
17. 請求項 14記載の圧電弁 （200) において、
前記ダイヤフラム （222、 224) は弾性を有する金属板により形成される ことを特徴とする圧電弁 （200) 。
18. 請求項 17記載の圧電弁 （200) において、
前記圧電素子 （226 a〜226 d) の前記金属板により形成されたダイヤフ ラム （222、 224) に固定された面には該ダイヤフラム （222、 224) を介して駆動信号が印加されることを特徴とする圧電弁 （200) 。
19. 請求項 14記載の圧電弁 （200) において、
前記ダイヤフラム （222、 224) はステンレスの如き金属板により形成さ れることを特徴とする圧電弁 （200) 。
補正書の請求の範囲
[1 999年 5月 1 1 日 （1 1. 05. 99 ) 国際事務局受理：新しい請求の範囲 20及び 1が加えられた；他の請求の範囲は変更なし。 （ 1頁） ] れることを特徴とする圧電弁 (200) 。
16. 請求項 14記載の圧電弁 （200) において、
前記ダイヤフラム （222, 224) と前記ハウジング （202) との間には 該ダイヤフラム （222、 224) により 2分される前記ダイヤフラム室 （21 4a、 214b) を連通する間隙 (225) が形成され、 前記ダイヤフラム室 （
214a, 214 ) に導入される流体は前記間隙 （225) を介して流通自在 であることを特徴とする圧電弁 （200) 。
17. 請求項 14記載の圧電弁 (200) において、
前記ダイヤフラム （222、 224) は弾性を有する金属板により形成される ことを特徴とする圧電弁 （200) 。
18. 請求項 17記載の圧電弁 (200) において、
前記圧電素子 （226 a〜226 d) の前記金属板により形成されたダイヤフ ラム （222, 224) に固定された面には該ダイヤフラム （222. 224) を介して駆動信号が印加されることを特徴とする圧電弁 （200) 。
19. 請求項 14記載の圧電弁 （200) において、
前記ダイヤフラム （222、 224) はステンレスの如き金厲板により形成さ れることを特徴とする圧電弁 （200) 。
20. (追加） 請求項 1記載の圧電弁 （10、 100) において、
前記ダイヤフラム （38) は， ハウジング （12) の凹部 （37) に装着され たシール部材 （39) によって支持されることを特徴とする圧電弁 （10、 10 0) .
21. (追加） 請求項 1記載の圧電弁 （10、 100) において、
前紀ハウジング （12) にはカバー部材 （26) が連結され、 ダイヤフラム室
(24a, 24b) はハウジング （12) と前記カバー部 （26) との間に装着 されるシール部材 （28) によって気密に保持されることを特徴とする圧電弁 （ 10、 100) 。
補正された用抵 (条約第 19条)
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