JPS6048643B2 - ダイヤフラムバルブ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、複数のボートを有したダイヤフラムバルブ
装置に係わり、特に空圧シリンダの作動を制御するのに
使用されるグイヤフラムバルブ装−置に関する。

例えば、空圧シリンダなどの流体機器の作動を ［する
には、従来、スプール形の方向切換弁が使用されている
。

しかしながら、このスプール形の方ｊ向切換弁は構造が
複雑であつて、製造が複雑であり （つて、製造が容易
ではないとともに、その切換作動を迅速に行なえない不
具合がある。即ち、スプール形の方向切換弁は、そのス
プール形の弁体に１よつてボートの開閉を行なう構造上
、このボート１は徐々に開閉されることとなり、必然的
に迅速な切換作動を行なうことができない。また、この
種の方向切換弁においては、スプール形の弁体の作動を
確実に保障するために、潤滑油の供給を怠ることができ
ず、その保守の点においても手間がかかる不具合がある
。この発明はこのような事情に基づいてなされたもので
、その目的とするところは、構造が簡単であるとともに
、その切換作動を迅速に行なえ、且つその保守の容易な
ダイヤフラムバルブ装置を提供することにある。

以下添附図面を参照して、この発明の実施例を説明する
。

第１及び第２図は、例えば空圧シリンダの作動を制御す
るための３ボート形のグイヤフラムバルブ装置（以下、
単にバルブアセンブリと称す。）を示している。このバ
ルブアセンブリは円筒形状をなした２つのボディ部材１
，２，３からなつている。これらボディ部材１，２，３
には適当な箇所に同軸的にして延びる複数のボルト挿通
孔（図示しない）が形成されており、これらボルト挿通
孔にボルトを挿通することによつて、ボディ部材１，２
，３は相互に連結されている。これらボディ部材１，２
，３は第１及ひ第２のダイヤフラム弁４，５のハウジン
グを構成している。ボディ部材１，２，３内には第１及
び第２のグイヤフラム弁４，５の第１室４１，５１と、
ダイヤフラム４３，５３によつて第１室４１，５１とは
区画されたダイヤフラム弁４，５の第２室４２，５２と
、第１室４１，５１と連通され通常はダイヤフラム４３
，５３によつて閉塞状態にあるダイヤフラム弁４，５の
弁ボート４４，５４とが夫々形成されている。第１のダ
イヤフラム弁４の第１室４１はダクト６を介して入口ボ
ート７に連通させており、この入口ボート７は加圧空気
の供給源に接続されている。第１のダイヤフラム弁４の
弁ボート４４はダクト８を介したシリンダボート９に接
続されており、このシリンダボート９は空圧シリンダと
接続されている。また、弁ボート４４はグクト８から分
岐したダクト１０を介して第２のダイヤフラム弁５の第
１室５１と接続されている。第２のダイヤフラム弁５の
弁ボート５４はダクト１１を介して排出ボート１２に接
続されており、この排出ボート１２は空圧シリンダから
の戻り通路に接続されている。第１及び第２のダイヤフ
ラム弁４，５の第２室４２，５２はパイロットバルブ１
３と接続されており、このパイロットバルブ１３は３つ
の切換位置に切換作動される。

即ち、パイロットバルブ１３は第２室４２，５２が互い
に連通する第１位置と、第２室４２，５２間の連通は遮
断されるが、一方の第２室５２が排出部と接続される第
２位置と、第２室４２，５２相互の連通が遮断されると
ともに、両第２室４２，５２のいずれも排出部から区画
される第３位置に切換作動可能となつている。このパイ
ロットバルブ１３の詳細な構成及び作用は後述する。第
１及び第２のダイヤフラム弁４，５は、第１室４１と第
２室４２との間並びに第１室５１と第２室との間とを接
続するための接続手段を備えている。

この接続手段はダイヤフラム４３，５３の夫々に１個又
は１個以上の通路４６，５６を設けて構成してもよいが
、これに限らずボディ部材１，２，３内に形成されたダ
クトを介して、第１及ひ第２室４１，４２間及び５１，
５２間を接続するようにしてもよい。ダイヤフラム４３
，５３は、その中心部に肉厚が厚く且つ比較的硬い中央
部分４３ａ，５３ａとボディ部材１，２間及び２，３間
の衝合面部に形成された環状の溝内に嵌め込まれた円形
ビード４３ｂ，５３ｂとからなつている。

第１及ひ第２のダイヤフラム弁４，５の弁ボート４４，
５４は、ダイヤフラム４３，５３の中央部分４３ａ，５
３ａによつて閉じられ、また、ボディ部材１，２間及び
２，３間の気密性はダイヤフラム４３，５３の円形ビー
ド４３ｂ，５３ｂによつて確保されている。ダイヤフラ
ム４３，５３における中央部分４３ａ，５３ａと円形ビ
ード４３ｂ，５３ｂとの間の環状部分は柔軟性を有して
いる。ダイヤフラム４３，５３はその中央部分４３ａ，
５３ａをナイロン製のディスク形挿入物によつて補強し
たゴムからなつている。ダイヤフラム４３，５３の変形
例においては、第４図に示されるように、その中央部分
６３ａと円形ビード６３ｂとの間の環状部分６３ｃを断
面Ｕ字形に形成している。 フ上記通路４６，５６は、
図示されているようにダイヤフラム４３，５３に直接形
成されているが、これに限らす、ダイヤフラム４３，５
３内にステンレス製の管部材を挿入することて構成して
もよい。又、加圧流体が汚染されている場合には、通路
４６，５６にフィルタキャップを取付け、これによつて
通路４６，５６の詰まりを防止するようにしてもよい。
第５図及び第６図はパイロットバルブ１３を示している
。

このパイロットバルブ１３は弁ボディ２０を備えている
。この弁ボディ２０の外周面にはねじ部が形成されてい
るとともに、その内部には貫通孔２１が形成されている
。弁ボディ２０の貫通孔２１内にはスピンドル２２が摺
動自在に挿入されている。このスピンドル２２内にはそ
の一端部２４において開口した盲孔２３が形成されてい
る。又、スピンドル２２内には盲孔２３の閉塞端部に連
通する長尺な開口部２５が形成されている。盲孔２３の
閉塞端部よりもその他端側に位置するスピンドル２２の
部位はその断面積が減少されており、このスピンドル２
２の縮径部の端部にはポペット弁形の弁部材２６が設け
られている。この弁部材２６は、弁ボディ２０の対向す
る端面部に取付けられた環状シール２７に対して当接可
能となつている。スピンドル２２の一端部２４に取付け
られたサークリツプ２９と弁ボディ２０の他方の端面と
の間にはばね２８が架設されており、このばね２８によ
つて、スピンドル２２は弁部材２６が環状シール２７と
当接する方向に付勢されている。弁ボディ２０には径方
向の孔３０が形成されており、この孔３０は弁ボディ２
０の貫通孔２１の内周面に形成された内部溝３１に連通
されている。この内部溝３１は貫通孔２１の全周に亙り
、かつスピンドル２２のいかなる軸方向の作動位置にお
いても開口部２５と連通されている。第１図及び第２図
に示されるように、パイロットバルブ１３は、第１のダ
イヤフラム弁４の第２室４２の内端面に形成されたねじ
孔３２内に、弁部材２６が第２室４２に対して面するよ
うにしてねじ込まれている。

弁ボディ２０の孔３０はダクト３３を介して第２のダイ
ヤフラム弁５の第２室５２と連通されている。またスピ
ンドル２２の盲孔２３の開口端はボディ部材３の端面に
規定された別の室３４と連通されており、この室３４は
ダクト１００を介して大気に開放されている。パイロッ
トバルブ１３は種々のアクチュエータによつて作動され
るが、このアクチュエータはパイロツトバルブ１３にお
けるスピンドル２２の盲孔２３の開口端を閉塞するよう
に作動される必要がある。パイロットバルブの作動は空
圧、油圧、電動又は手動でもつてなされる。パイロット
バルブの作動が電気的になされる場合には、アクチュエ
ータはスピンドル２２を移動させるとともに、盲孔２３
の開口端を閉塞するためのアーマチュアと、このアーマ
チュアを作動させるソレノイドによつて構成される。パ
イロットバルブ１３が空圧でもつて作動されＪるこの実
施例の場合に於いては、第１図及び第２図に示されてい
る。

この場合、パイロットバルブ１３はダイヤフラム３５に
よつて作動される。このダイヤフラム３５はダイヤフラ
ム４３，５３と同様なものであり、これらグイヤフラム
４３，５３と異なる点は、通路４６，５６が形成されて
いないことである。ダイヤフラム３５は、ボディ部材３
の端面とボディ部材１，２，３にボルトで連結されるボ
ディ部材３６との間に配置されている。

ダイヤフラム３５は前述した室３４と制御室３７とを気
密に区画しており、この制御室３７はダクト３８を介し
て制御ボート３９に連通されている。この制御ボート３
９には、パイロットバルブ１３が第３ｂ図及ひ第３ｃ図
て示される２つの切換位置のみて切換作動されるように
加圧空気が供給されるか、又、更に、これら２つの切換
位置の他に第３ａ図に示される切換位置に切換可能で且
つスピンドル２２における盲孔２３の開口端の開口面積
をも制御できるように加圧空気が供給される。上述した
パイロットバルブ１３は、第３ｂ図及び第３ｃ図に示さ
れた少なくとも２つの切換位置に切換作動される切換弁
であれば、どのような切換弁てあつても置換えることが
てきる。

空圧シリンダ１５の作動室１４（第３ａ図乃至．第３ｃ
図参照。

）にそのシリンダボート９が接続されたグイヤフラムバ
ルブアセンブリの作用を以下に説明する。空圧シリンダ
１５のピストンを固定した位置に保持するためには、パ
イロットバルブ１３は第５・図に示された切換位置に切
換られている。

この切換位置においては、スピンドル２２の盲孔２３の
：開口端はダイヤフラム３５によつて閉じられた状態
にある（第３ａ図を参照）。すなわち、この場合、制御
室３７内には制御ボート３９及びダクト３８を介して加
圧空気が供給されており、この制御室３７内の圧力によ
りダイヤフラム３５が変形してスピンドル２２における
る盲孔２３の開口端と当接され、これにより盲孔２３の
開口端が閉じられている。また、この切換位置において
、パイロットバルブ１３は第２室４２，５２間の連通を
遮断しているとともに、第２室４２，５２と大気側との
連通をも遮断している。第１のダイヤフラム弁４におい
ては、そのダイヤフラム４３に通路４６が形成されてい
ることから、第１室４１と第２室４２の圧力は等しくな
り、また同様に第２のグイヤフラム弁５においても、そ
のダイヤフラム５３に通路５６が形成されていることか
ら、第１室５１と第２室５２の圧力は等しくなる。この
結果、第１及び第２のグイヤフラム弁４，５においては
、ダイヤフラム４３，５３によつて弁ボート４４，５４
が夫々閉じられることになる。このため、この状態にお
いては、このバルブアセンブリを介して空気が流れるこ
とはない。第３ｃ図に示されるように、空圧シリンダ１
５のピストンを左側に動かすには、パイロットバルブ１
３は第６図に示される切換位置に切換られる。すなわち
、制御室３７内に制御ボート３９及ひダクト３８を介し
てさらに加圧空気が供給されて、この制御室３７内の圧
力が高まると、ダイヤフラム３５が更に大きく変形する
ことで、スピンドル２２をばね２８の付勢力に抗して押
圧し、これによりスピンドル２２が図中右方向に移動さ
れてパイロットバルブ１３は第６図に示される切換位置
に切換えられる。従つて、こ切換位置においても、スピ
ンドル２２の盲孔２３の開口端はダイヤフラム３５によ
つて閉じられた状態にある。第３ｃ図に示されるように
、この切換位置においては、第２室４２，５２は相互に
連通した状態となる。第２室内の空気は、最初低圧側の
第２室５２にパイロットバルブ１３及びダクト３３を介
して流れ、これにより第２室４２の圧力は減少される。
この結果、第１室４１側及ひ第２室４２側の両方からダ
イヤフラム４３に作用する力は均等にならないので、ダ
イヤフラム４３は第１室４１内の入力圧によつて、図に
おいては上方に持上げられ、これにより、第１室４１と
弁ボート４４とが連通することになる。従つて、入口ボ
ート７から流入した空気は、第１室４１、弁ボート４４
及びダクト８を介して空圧シリンダ１５に流れる。また
、入口ボート７から第１室４１内に流入した空気は、ダ
イヤフラム４３の通路４６を通じて第２室４２に流れ、
さらに、この第２室４２からパイロットバルブ１３．及
びダクト３３を介して第２室５２内に流れる。またさら
に、この第２室５２に流入した空気はダイヤフラム５３
の通路５６を通じて第１室５１内に流れ、そしてこの第
１室５１からダクト１０，８を介して空圧シリンダ１５
に流れる。第２室５−２内の圧力が過度に上昇すること
で、第１のダイヤフラム弁４が閉作動してしまうのを防
止するには、ダイヤフラム５３の通路５６を介して流れ
る空気の流れ比をダイヤフラム４３の通路４６を介して
流れる空気の流れ比よりも大きくすればよい。このこと
は、ダイヤフラム４３側よりもダイヤフラム５３に通路
５６を多く設けたり、又は、この通路５６の径を大きく
することによつて得られらる。空圧シリンダ１５への空
気の流れを停止するには、パイロットバルブ１３を初期
の切換位−置に切換ることにより、第２室４２，５２間
の連通を遮断する。第２室４２，５２間の連通が遮断さ
れると直ちに、ダイヤフラム４３，５３の両側から作用
する圧力はそれらダイヤフラム４３，５３に形成された
通路４６，５６の働きによつて等しくなり、これにより
弁ボート４４はダイヤフラム４３によつて閉じられる。
空圧シリンダ１５のピストンを逆に右方向に動かすには
、制御室３７を制御ボート３９及びダクト３８を介して
大気に開放することにより、制御室３７内の圧力と室３
４内の圧力とを同等にする。

これにより、ダイヤフラム３５は第１図及び第２図に示
されるようにスピンドル２２の盲孔２３の開口端から離
れた状態となり、また、スピンドル２２ははね２ｄの付
勢力を受けて第５図に示 ：ーされる切換位置に切換え
られる。このようなパイロットバルブ１３の切換位置に
おいては、第２室４２，５２間の連通が遮断される一方
、第２室５２は大気側の開放される。（第３ｂ図参照。
）このため、第２室５２内の圧力が減少されることか
フら、ダイヤフラム５３は空圧シリンダ１５内の空圧に
よつて下方に移動される。従つて、第１室５１と弁ボー
ト５４とが連通されることにより、空圧シリンダ１５は
排出ボート１２と接続される。空圧シリンダ１５におけ
るピストンの移動は、パイロットバルブ１３におけるス
ピンドル２２の盲孔２３の開口を調整することにより制
御することができる。空圧シリンダ１５からの空気の流
れは、パイロットバルブ１３を初期の切換位置に切換る
と直ちに停止される。この状態においては、ダイヤフラ
ム５３の両側から作用する圧力が、このダイヤフラム５
３の通路５６の機能によつて等しくなるので、ダイヤフ
ラム５３は弁ボート５４を閉じる位置に復帰される。上
述したバルブアセンブリは２重の構造にすることもでき
、このような場合には複動形空圧シリンダの作動制御を
なすことができる。

２重構造のバルブアセンブリは、上述したバルブアセン
ブリを単に２個組合わせ、そして各バルブアセンブリ自
身にパイロットバルブの作動を制御するアクチュエータ
を設けるか、あるいは、共用のアクチュエータを設ける
ことにより、簡単に構成することができる。

また、このような２重構造のバルブアセンブリは第７図
乃至第１０図に示されるものであつてもよい。第７図乃
至第９図に示されるように、２組の第１及び第２ダイヤ
フラム弁４ａ，５ａ及び４ｂ，５ｂは、互いにボルトに
よつて連結された２個の矩形ブロック６０，６１間に構
成されている。一方の矩形ブロック６０内には、４つの
第１室４１ａ，５１ａ，４１ｂ，５２ｂ並びに弁ボート
４４ａ，５４ａが夫々形成されている。

また、他方の矩形ブロック６１内には４つの第２室４２
ａ，５２ａ，４２ｂ，５２ｂが夫々形成されている。グ
イヤフラム４３ａ，５３ａ，４３ｂ，５３ｂは前述した
実施例と同様のもの、又は第４図に示したものを個々に
設けてもよιル、あるいは第９図に示されるように１個
のダイヤフラムで構成；するようにしてもよい。一対の
第１のダイヤフラム弁４ａ，４ｂにおける第１室４１ａ
，４１ｂは、共用の入口ボート７に連通されているか、
又は、第１室４１ａ，４１ｂと弁ボート４３ａ，４３ｂ
とは前述したように′接続されている。

夫々一対の第１及び第２ダイヤフラム弁４ａ，４ｂ，５
ａ，５ｂの第２室４２ａ，５２ａ，４１ｂ，５２ｂにお
いては、互いに組をなすものが前述したようにしてパイ
ロットバルブ１３ａ，１３ｂと接続されている。上述し
た２重構造のバルブアセンブリの作動状態は、第１０ａ
図乃至第１０ｇに示されている。

第１０ａ図乃至第１０ｇに示されるように、２重構造の
バルブアセンブリは複動形の空圧シリンダ６２と接続さ
れている。第１及び第２のダイヤフラム弁４ａ，５ａは
空圧シリング６２の一方の作動室６３への空気の供給を
制御し、第１及び第２のグイヤフラム弁４ｂ，５ｂは空
圧シリング６２の他方の作動室６４への空気の供給を制
御するために接続されている。第１０ａ図は両パイロッ
ト フバルブ１３ａ，１３ｂが第３ａ図に示された切換
位置に切換られた状態を示している。この状態ではバル
ブアセンブリを介して流れる空気の移動はなく、空圧シ
リンダ６２のピストンは所定の位置に保持されている。
第１０ｃ図においては、一方のパイロットバルブ１３ａ
は第３ｂ図に示された切換位置に切換られており、また
他方のパイロットバルブ１３ｂは第３ｃ図に示された切
換位置に切換られている。この状態においては、空圧シ
リンダ６２の作動室６４に一方の第１ダイヤフラム 犀
弁４ｂを介して加圧空気が流れるとともに、また、空圧
シリンダ６２の作動室６３からは一方の第２ダイヤフラ
ム弁５ａを介して加圧空気が排出され、これにより空圧
シリンダ６２のピストンは第１０ｃ図中左側に動かされ
る。この状態は、第１０ｂ図に示される状態に続いて生
起される。第１０ｂ図の状態においては、パイロットバ
ルブ１３ｂは第３ｃ図に示された切換位置にあり、また
パイロットバルブ１３ａは第３ａ図（又は第１０ａ図）
に示される切換位置にまだあり、この場．合、空圧シリ
ンダ６２の作動室６３からの加圧空気の排出は阻止され
、これにより空圧シリンダ６２のピストンは弾力的に保
持されている。この後、パイロットバルブ１３ａにおけ
る大気側との接続（第１０ｃ図）は、空圧シリンダ６２
におけ−るピストンの図中左側への移動をなすために制
御される。第１０ｅ図において、パイロットバルブ１３
ａは第３ｃ図に示された切換位置にあり、パイロットバ
ルブ１３ｂは第３ｂ図に示された切換 （位置にある。
従つて、空圧シリンダ６２のピストｉンは第１０ｅ図に
示されるように図中右側に動か ［される。この場合、
空圧シリンダ６２の作動室６１３には第１のダイヤフラ
ム弁４ａを介して加圧空１気が供給され、空圧シリング
６２の作動室６４内からは第２のダイヤフラム弁５ｂを
介して空気が排出される。又、この状態は、第１０ｄ図
に示された状態に引継いで生起される。第１０ｅ図の状
態においては、空圧シリンダ６２のピストンは弾力的に
保持され、この後このピストンの移動が制御される。第
１０ｆ図においては、両パイロットバルブ１３ａ，１３
ｂは第３ｃ図に示された切換位置にあり、従つて、空圧
シリンダ６２の作動室６３，６４は加圧空気の供給源に
接続されている。第１０ｇ図においては、両パイロット
バルブ１３ａ，１３ｂは第３ｂ図に示される切換位置に
あり、この場合、空圧シリンダ６２の両作動室６３，６
４は排出側に接続されている。パイロットバルブ１３ａ
，１３ｂは、たとえば第１１図乃至第１４図に示される
ように、単一のアクチュエータによつて作動されるのが
好ましい。

第１１図及び第１２図においては、パイロットバルブ１
３ａ，１３ｂは本体６１内に配置されている。これらパ
イロットバルブ１３ａ，１３ｂは棒６５により手動でも
つて作動させることができるように、間隔を存して平行
に配置されている。棒６５は本体６１の上部に形成され
て凹み６６内において、ピン６７の周りを回動できるよ
うに取付けられている。棒６５が通常、パイロットバル
ブ１３ａ，１３ｂにおけるスピンドル２２の盲孔２３の
開口端を閉塞するように位置付けられている。従つて、
バルブアセンブリは第１口ａ図に示された状態にある。
バルブアセンブリは棒６５を時計方向に傾けることによ
つて、第１０ｃ図に示される状態に変えることができ、
また棒６５を反時計方向に傾けることによつて、第１０
ｅ図に示される状態に変えることができる。棒６５はフ
レキシブルに構成されるのが好ましく、これによつて棒
６５の両アームが同時に押し下けられることで、バルブ
アセンブリを第１０ｆ図に示される状態に置くことがて
きる。第１３図及び第１４図においては、本体６１の上
部にソレノイド（図示しない）を受入れるための円筒形
状をなした凹み６８が形成されている。

ソレノイドと協働するアーマチュアは同軸の２個のパイ
ロットバルブ１３ａ，１３ｂに対し、同軸的に配置され
ている。ソレノイドは、通常の状態に於いてパイロット
バルブ１３ａ，１３ｂにおけるスピンドル２２の開口端
を閉塞するように働いており、これによりバルブアセン
ブリは第１０ａ図で示される状態となる。アーマチュア
を左側又は右側に移動させるようにソレノイドが励磁さ
れると、バルブアセンブリは第１０ａ図又は第１０ｃ図
に示される状態となる。パイロットバルブ１３ａ，１３
ｂを作動させるために、このようなソレノイド形アクチ
ュエータを使用した構成においては、バルブアセンブリ
を第１０ｆ図に示される状態に切換ることはできない。
バルブアセンブリを第１０ｆ図に示される状態に切換る
ことはできない。バルブアセンブリを第１０ｆ図に示さ
れる状態に切換えるには、単一のアーマチュアを有する
ソレノイドアクチュエータの代わりに、一対のアーマチ
ュアを有するソレノイドアクチュエータを使用すればよ
い。この一対のアーマチュアを有するソレノイドアクチ
ュエータは、一対のアーマチュアを一緒に移動させるこ
とで、バルブアセンブリを第１０ａ図、第１０ｃ図、第
１０ｅ図の状態に置くことができ、また、一対のアーマ
チュアを互いに反対の方向に移動させることで、バルブ
アセンフリを第１０ｆ図、第１０ｇ図の状態に置くこと
ができる。また、このようなアクチュエータはバルブア
センブリを第１０ｂ図及び第１０ｄ図の状態に切換るこ
ともできる。第１１図乃至第１４図においては、各第２
室とパイロットバルブとを接続するダクトは図示されて
いない。

これらダクトは最も好適する位置に配置することができ
るが、この場合、第２室５２ａ，５２ｂは弁部材２６を
有するパイロットバルブ１３ａ，１３ｂと夫々接続され
る必要があるとともに、前述した孔３０（第１２図及び
第１４図には図示されていない）に対しても接続される
必要がある。上述した５個のボート形バルブアセンブリ
は共通の入口ボート７を備えているが、２個の入ロポ．
一トを設けてもよい。

この場合、これら入口ボートは第１のダイヤフラム弁の
第１室に夫々接続されて、例えば異なる圧力空気を供給
することができりる。このようなバルブアセンブリは当
然に６ボート形のものとならる。上述の各バルブアセン
ブリは第２のダイヤフラム弁の弁ボートに夫々接続され
た分離タイイプの排出ボートを備える代わりに、単一に
排出ボートを備えるようにすれば、このバルブアセンブ
リは４又は５ボートのバルブアセンブリとなる。３ボー
トのバルブアセンブリは、５ボートのバルブアセンブリ
の場合にのように、共用のダイヤフラムを備えることで
構成される。

上述した各バルブアセンブリは、合成樹脂材料によつて
製作することができるので、安価になるとともにその製
作が容易となる。

また、バルブアセンブリは空圧シリンダ内の加圧空気に
よつて作動されるため、その切換作動に要する応答時間
を短縮することができ、また圧力源の点からみても経済
的なものとなる。更に、バルブアセンブリは高精度に制
御でき、そして簡単なオン−オフ制御のような計側制御
についても使用することができる。３個又はそれ以上の
組合せからなるマルチタイプのバルブアセンブリは、よ
り複雑な空圧シリンダ装置の作動制御に使用することが
できる。

バルブアセンブリのボデ部材は、通常金属からなるが、
合成樹脂材料によつて形成することもできる。バルブア
センブリは、加圧空気の流れを制御することに関して記
載されているが、これに限らす、液圧流体の流れを制御
するのにも使用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の第１の実施例を示し、第２図中Ｉ
−Ｉ線に沿うバルブアセンブリの断面図、第２図は第１
図中Π−■線に沿う断面図、第３ａ図乃至第３ｃ図は夫
々単動形空圧シリンダに接続された第１図のバルブアセ
ンブリの模式図、第４図はダイヤフラムの変形例を示す
断面図、第５図及び第６図は夫々パイロットバルブの断
面図、第７図及び第８図は、この発明の第２の実施例に
係わるバルブアセンブリの矩形ブロックを夫々示す平面
図、第９図は第２実施例のバルブアセンブリの断面図、
第１０ａ乃至第１０ｇ図は複動形空圧シリンダに接続さ
れた第２実施例のバルブアセンブリを夫々示す模式図、
第１１図は第７図の矩形ブロックの上面図、第１２図は
第１１図中Ｘ■−ＸΠ線に沿う断面図、第１３図は第７
図の矩形ブロックを改良した矩形ブロックの上面図、第
１４図は第１３図中Ｘ■−Ｘ■線に沿う断面図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 第１及び第２のダイヤフラム弁を備え、これら第１
   及び第２のダイヤフラム弁の各々が、ダイヤフラムによ
   つて区画された第１及び第２室と、第１室と連通可能で
   あるが、通常の状態においてはダイヤフラムによつて閉
   塞される弁ポートと、第１室と第２室とを接続する接続
   手段と、その弁作動をなすための制御手段とからなるダ
   イヤフラムバルブアセンブリにおいて、第１のダイヤフ
   ラム弁の第１室は加圧流体源に接続された入口を有し、
   第１のダイヤフラム弁の弁ポートは加圧流体によつて作
   動制御される流体機器と接続される一方、第２のダイヤ
   フラム弁の第１室と接続され、また第２の弁の弁ポート
   は排出部と接続されるようになつており、第１及び第２
   のダイヤフラム弁の両第２室はそれぞれ制御手段に接続
   されており、この制御手段は、第１のダイヤフラム弁に
   於いてその弁ポートが開かれるようにダイヤフラムを弁
   ポートから離し、第２室の圧力を第１室内に対して減少
   させる第１位置と、又、第２のダイヤフラム弁に於いて
   その弁ポートが開かれるようにダイヤフラムを弁ポート
   から離し、第２室内の圧力を第１室内の圧力に対して減
   少させる第２位置との少なくとも２位置で切換え作動さ
   れることを特徴とするダイヤフラムバルブ装置。 ２ 制御手段が第１位置に切換えられたとき、第１及び
   第２のダイヤフラム弁の両第２室は互いに連通した状態
   となり、又、制御手段が第２位置に切換えられたとき、
   第１及び第２のダイヤフラム弁の両第２室は互いに分離
   した状態となるとともに、第２のダイヤフラム弁の第２
   室は排出部と接続されることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項に記載のダイヤフラムバルブ装置。 ３ 制御手段が第１位置に切換えられたとき、第１及び
   第２のダイヤフラム弁の両第２室は互いに連通した状態
   となり、又、制御手段が第２位置に切換えられたとき、
   第１及び第２のダイヤフラム弁の両第２室は互いに分離
   した状態となるとともに、第２のダイヤフラム弁の第２
   室は排出部と接続され、更に制御手段は第１及び第２の
   ダイヤフラム弁の両第２室が互いに分離されるばかりで
   はなく、排出部からも区画された第３位置に切換え作動
   されることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
   ダイヤフラムバルブ装置。 ４ 第１及び第２のダイヤフラム弁の両第１室は第１ボ
   ディ部材の互いに背向した端面によつて夫々規定されて
   いるとともに、第１及び第２のダイヤフラム弁の両第２
   室は第１ボディ部材の両端面に夫々対向する一対の第２
   ボディ部材によつて規定されており、第１及び第２のダ
   イヤフラム弁の２つのダイヤフラムは第１ボディ部材の
   一方の端面とこの端面と対向する第２ボディ部材の端面
   との間並びに第１ボディ部材の他方の端面とこの端面と
   対向する第２ボディ部材の端面との間に、これらボディ
   部材間相互のシールをなすように配置されていることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のダイヤフラム
   バルブ装置。 ５ 第１及び第２のダイヤフラム弁の両第１室は第１ボ
   ディ部材の１つの端面によつて夫々規定されているとと
   もに、第１及び第２のダイヤフラム弁の両第２室は第２
   ボディ部材の１つの端面によつて夫々規定されており、
   第１及び第２のダイヤフラム弁の２つのダイヤフラムは
   第１及び第２ボディ部材の対向する上記端面間に、これ
   らボディ部材間相互のシールをなすように配置されてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のダイ
   ヤフラムバルブ装置。 ６ 制御手段は、弁部材が着座及び離座される弁座を備
   え、一端側で第１のダイヤフラム弁の第２室と連通され
   るとともに、他端側で第２のダイヤフラム弁の第２室と
   連通される弁ボディの他端側で戻り路と連通するととも
   に、弁部材を作動さすアクチュエータによつて閉塞可能
   な通路部とからなることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項に記載のダイヤフラムバルブ装置。 ７ 制御手段は、弁部材から弁ボディの他端側に向かつ
   て延びるスピンドルと、このスピンドル内に軸方向に形
   成され、弁部材とは反対側のスピンドルの端部に軸方向
   に開口した排出側に連通されるとともに、第２のダイヤ
   フラム弁の第２室に径方向の開口を介して連通する通路
   と、スピンドルの上記端部に働きかけて上記通路と排出
   側との連通を遮断するアクチュエータからなることを特
   徴とする特許請求の範囲第６項に記載のダイヤフラムバ
   ルブ装置。