JP3496020B2 - 圧電弁 - Google Patents

圧電弁

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JP3496020B2
JP3496020B2 JP53235199A JP53235199A JP3496020B2 JP 3496020 B2 JP3496020 B2 JP 3496020B2 JP 53235199 A JP53235199 A JP 53235199A JP 53235199 A JP53235199 A JP 53235199A JP 3496020 B2 JP3496020 B2 JP 3496020B2
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真司 宮添
誠 石川
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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、圧電素子の撓曲作用下にダイヤフラムを変
位させ、流体の出入を制御し、また、流体の流量を制御
する圧電弁に関する。
背景技術 従来から、流体の出入あるいはその流量を制御するた
めに使用される圧電弁が、例えば、米国特許第5628411
号公報に開示されている。この圧電弁１は、図８に示す
ように、圧電素子２が設けられたダイヤフラム３を出力
ポート４のバルブシート５に接近離間可能に構成され
る。この場合、入力ポート７から圧力室６に導入される
圧縮空気の圧力をＰとすると、出力ポート４にかかる力
Fpは、 Fp＝π/4×D2×Ｐ （D:出力ポート４の開口部の直
径） である。一方、ダイヤフラム３を変位量x1だけ変位させ
て出力ポート４を閉塞させたときの該ダイヤフラム３の
復元力Fsは、 Fs＝k1×x1 （k1:ばね定数） である。そして、この圧電弁１では、Fp＝Fsとなるよう
に圧縮空気の圧力Ｐを設定することで閉塞状態を維持す
るようにしている。
一方、出力ポート４を開口する際には、圧電素子２に
駆動電力を印加することにより圧電素子２の撓曲量を変
化させ、ダイヤフラム３をバルブシート５から離間させ
る。この結果、圧縮空気が圧力室６から出力ポート４に
導出される。
しかしながら、上記の従来技術では、圧縮空気の圧力
Ｐが変動すると、図９に示すように、ダイヤフラム３に
かかる力Fpが変動し、復元力Fsが力Fpより大きくなる
と、ダイヤフラム３とバルブシート５とが離間して出力
ポート４から圧縮空気が導出される懸念がある。
本発明は前記の課題を解決すべくなされたものであっ
て、供給される流体の圧力変動によって圧力室から流体
が導出される懸念のない圧電弁を提供することを目的と
する。
発明の開示 前記の目的を達成するために、本発明に係る圧電弁
は、入力ポート（14a、14b）より流体が供給されるダイ
ヤフラム室（24a、24b）に配設され、弁体を構成するダ
イヤフラム（38）と、 前記ダイヤフラム（38）の一方の面に設けられ、該ダ
イヤフラム（38）を変位させる圧電素子（42）と、 前記圧電素子（42）に対向し、前記ダイヤフラム室
（24a、24b）を形成するハウジング（12）に設けられる
クッション部材（56、106）と、 前記ハウジング（12）内に開口する出力ポート（16）
に設けられ、前記ダイヤフラム（38）の他方の面が当接
可能な弁座（52）と、 を備え、前記圧電素子（42）に駆動電力が印加されない
状態において、前記ダイヤフラム（38）が弾性エネルギ
を蓄積することなく前記弁座（52）に当接し、前記出力
ポート（16）を閉塞状態とするように構成され、 前記クッション部材（56、106）には、前記圧電素子
（42）に対向する面に該クッション部材（56、106）と
該圧電素子（42）との張り付きを防止するための溝部
（58、110）が形成されることを特徴とする。
本発明によれば、圧電素子に対して駆動電力が印加さ
れていない状態において、供給される流体の圧力変化に
よってダイヤフラムが弁座から離間してしまうことがな
いため、圧力変化に起因する出力ポートからの流体の導
出が防止される。また、前記圧電素子が過剰に変形した
際、圧電素子が前記クッション部材に当接することで該
圧電素子自体の損傷が回避される。さらに、前記クッシ
ョン部材の前記圧電素子に対向する面に溝部が形成され
ているため、前記圧電素子が前記クッション部材に張り
付くことが好適に防止される。
この場合、前記ダイヤフラムと前記ハウジングとの間
に、該ダイヤフラムにより２分される前記ダイヤフラム
室を連通する間隙が形成され、前記ダイヤフラム室に導
入される流体が前記間隙を介して流通自在であると、前
記ダイヤフラムの一面側と他面側とに流体を導入するた
めの通路を別途設ける必要がなく、この圧電弁の構成を
簡単にすることができ、好適である。
また、前記弁座の前記ダイヤフラムに対する当接部位
が平滑に形成され、一方、前記ダイヤフラムが弾性を有
する金属板により形成され、前記弁座に対する前記ダイ
ヤフラムの当接部位が平滑に形成されると、ダイヤフラ
ムの強度を向上させることができるとともに、弁座にダ
イヤフラムが当接したときに、該弁座から流体が漏洩す
ることを阻止することが可能となり、一層好適である。
さらにまた、前記圧電素子と前記ハウジングとの間に
前記ダイヤフラムを前記弁座に向かって付勢する弾性部
材が設けられ、一方、前記圧電素子に前記弾性部材が着
座する着座部材が設けられると、弾性部材により前記圧
電素子と前記クッション部材との張り付きが防止される
とともに、前記ダイヤフラムを前記弁座に当接させる
際、前記弾性部材によって前記出力ポートを確実に閉塞
状態にすることができる。
図面の簡単な説明 図１は、本発明の第１の実施の形態に係る圧電弁とこ
の圧電弁が取り付けられるベースプレートの斜視図であ
る。
図２は、図１の圧電弁のカバー部材を取り外した状態
を示す正面図である。
図３は、図２の圧電弁のIII−III線断面図である。
図４は図１の圧電弁に使用されるクッション部材の斜
視図である。
図５は、図３の圧電弁の通路が開放された状態を示す
縦断面図である。
図６は、本発明の第２の実施の形態に係る圧電弁の縦
断面図である。
図７は、図６の圧電弁のクッション部材、コイルスプ
リングおよび着座部材の一部分解斜視図である。
図８は、従来技術に係る圧電弁の概略縦断面図であ
る。
図９は、従来技術に係る圧電弁における圧力流体の圧
力によりダイヤフラムにかかる力とダイヤフラムの復元
力との関係を示す図である。
図10は、第１の実施の形態に係る圧電弁における圧力
流体の圧力によりダイヤフラムにかかる力とダイヤフラ
ムの復元力との関係を示す図である。
図11は、第２の実施の形態に係る圧電弁における圧力
流体の圧力によりダイヤフラムにかかる力とダイヤフラ
ムの復元力との関係を示す図である。
発明を実施するための最良の形態 本発明に係る圧電弁について、好適な実施の形態を挙
げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
図１〜図３において、参照符号10は、本発明の第１の
実施の形態に係る圧電弁を示す。この圧電弁10はハウジ
ング12を備え、ハウジング12の外部には圧縮空気の入力
ポート14a、14bおよび出力ポート16が突出形成される。
入力ポート14a、14b、出力ポート16の外周にはそれぞれ
Ｏリング18が設けられる。ハウジング12には、この圧電
弁10を取り付ける際に用いられ、弾性的に撓曲自在なレ
バー部20a、20bが形成され、レバー部20a、20bの端部に
は係止爪22a、22bが形成される。
前記ハウジング12の内部には入力ポート14a、14bに連
通するダイヤフラム室24aが画成され、ダイヤフラム室2
4aはカバー部材26によって閉塞され、ハウジング12とカ
バー部材26によって、さらに、ダイヤフラム室24bが画
成される。ハウジング12のカバー部材26によって閉塞さ
れる開口部近傍にはシール部材28が設けられ、このシー
ル部材28によりダイヤフラム室24a、24bからの圧縮空気
の漏洩が阻止される。ダイヤフラム室24aを構成する壁
部には複数の支持部30が90゜ずつ偏位してダイヤフラム
室24a、24bの中央に向かって突出形成され、支持部30に
はガイド孔32が画成される。ガイド孔32にはカバー部材
26に形成された凸部34が係合してカバー部材26が位置決
めされる。それぞれの支持部30には段部36が形成され
る。段部36には凹部37が画成され、凹部37にはシール部
材39が係合する。
前記シール部材39は弁体を構成するダイヤフラム38を
圧接支持し、ダイヤフラム38はシール部材39とカバー部
材26とによって挟持される。なお、ダイヤフラム38のが
たつきもシール部材39によって防止される。ダイヤフラ
ム38は弾性を有するステンレスの如き金属により略円形
に形成され、ダイヤフラム38の一方の面には略円形の圧
電素子42が積層して固着される。ダイヤフラム38の他方
の面は平滑面43として形成される。ダイヤフラム38の周
縁部には複数の湾曲する凹部44が90゜ずつ離間して画成
され、該凹部44は支持部30に係合してダイヤフラム38を
位置決めする（図２参照）。ダイヤフラム38の周縁部と
ダイヤフラム室24a、24bを構成する壁部との間には間隙
45が形成され、この間隙45によってダイヤフラム室24a
と24bとは連通状態にある。圧電素子42の一面側が固着
され金属により形成されたダイヤフラム38には電線46が
接続され、圧電素子42の他面側には電線48が接続され、
それぞれの電線46、48はコネクタ50を介して図示しない
制御装置に接続される。このため、制御装置から入力さ
れる駆動信号は圧電素子42の一面側と他面側とに印加さ
れる。
前記ダイヤフラム室24aの中央にはダイヤフラム38が
当接可能に環状の弁座52が突出形成され、該弁座52には
出力ポート16に連通する通路54が形成される。弁座52は
ダイヤフラム38との当接部位が平滑に形成され、このた
め、ダイヤフラム38の平滑面43が弁座52に当接したとき
に、ダイヤフラム38と弁座52とが隙間なく密着し、ダイ
ヤフラム室24aから通路54への流体の漏洩が防止され
る。
一方、前記カバー部材26にはダイヤフラム室24b側
に、樹脂、ゴム等の弾性を有する材料で形成されたクッ
ション部材56が固着される。すなわち、該カバー部材26
の前記弁座52に対向する面に円形状の凹部57が形成さ
れ、この凹部57に前記クッション部材56が嵌着される。
クッション部材56は、図４に示すように、略円盤状に形
成されており、その両面には複数の溝部58が放射状に画
成される。
この圧電弁10は長尺なベースプレート60に取り付けら
れる（図１参照）。ベースプレート60の下部にはこのベ
ースプレート60を他の部材に取り付けるための断面略Ｔ
字状の取付溝62が形成される。また、ベースプレート60
の上面には断面略Ｌ字状の溝部64a、64bが画成され、溝
部64a、64bの壁部にはレバー部20a、20bの係止爪22a、2
2bが係合自在である。すなわち、レバー部20a、20bを互
いに接近するように撓曲させて係止爪22a、22bを前記溝
部64a、64bに挿通させ、レバー部20a、20bを開放すれ
ば、前記係止爪22a、22bが溝部64a、64bに係合して圧電
弁10は抜け止めされる。ベースプレート60にはその長手
方向に沿って圧力流体の供給通路66が画成され、供給通
路66は図示しない圧縮空気供給源に連通する。供給通路
66にはベースプレート60の上面に開口する供給孔68が連
通し、供給孔68には圧電弁10の一方の入力ポート14aが
着脱可能に装着される。また、ベースプレート60の上面
には他方の入力ポート14bが装着される孔部70と、出力
ポート16が装着される出力孔72とが画成される。出力孔
72はベースプレート60の側方に開口する出力ポート74に
連通する。
第１の実施の形態に係る圧電弁10は、基本的には以上
のように構成されるものであり、次にその動作について
説明する。
圧電素子42に制御装置（図示せず）からコネクタ50を
介して駆動信号が印加されていないとき、圧電素子42の
変形はなく、また、ダイヤフラム室24a、24b内の圧力が
通路54内の圧力と同じであるか、あるいはそれよりも高
い限り、ダイヤフラム38に弾性エネルギが蓄積されるこ
とがなく、ダイヤフラム38は平坦な状態を保持する。こ
のとき、ダイヤフラム38は弁座52に当接し、通路54を閉
塞している。
図示しない圧縮空気供給源が付勢され、ベースプレー
ト60の供給通路66に圧縮空気が供給されると、圧縮空気
は入力ポート14aを介してダイヤフラム室24a、24bに導
入される。すなわち、ダイヤフラム38の縁部とダイヤフ
ラム室24a、24bの壁部との間隙45を介してダイヤフラム
室24a24bとが連通しているからである。このとき、ダイ
ヤフラム室24a、24b内の圧力は圧縮空気により通路54内
より高くなるため、ダイヤフラム38には圧縮空気の圧力
が矢印Ａ方向にかかる（図３参照）。
通路54の直径をＤとすると、圧縮空気の圧力Ｐにより
ダイヤフラム38にかかる矢印Ａ方向の力Fpの大きさは、 Fp＝π/4×D2×Ｐ となる。一方、ダイヤフラム38は弾性を有しているが、
このダイヤフラム38は弁座52によって支持されているた
め、圧縮空気の圧力によって変形することがなく、平坦
な状態に保持され、弾性エネルギの蓄積がない。このた
め、ダイヤフラム38にかかる矢印Ｂ方向の復元力Fsの大
きさは、 Fs＝０ である。圧縮空気の圧力Ｐが変化したときの力Fp、復元
力Fsの変化を図10に示す。このように圧縮空気の圧力Ｐ
が変動したとしても、力Fpの大きさは常に復元力Fsより
大きいため、ダイヤフラム室24a、24b内の圧力が通路54
内の圧力と同じであるか、それよりも高い限り、ダイヤ
フラム38は弁座52に当接した状態を維持することができ
る。弁座52はダイヤフラム38との当接部位が平滑に形成
されており、また、ダイヤフラムの表面も平滑面43とし
て平滑に形成されているため、弁座52とダイヤフラム38
とは隙間なく密着し、圧縮空気がダイヤフラム室24a、2
4bから通路54に導出されることがない。
一方、圧電素子42にコネクタ50を介して制御装置（図
示せず）から駆動信号が印加されると、圧電素子42が撓
曲してダイヤフラム38を矢印Ｂ方向に変位させる力が発
生する。この力が圧縮空気によりダイヤフラム38にかか
る力Fpと通路54内の圧力によりダイヤフラム38にかかる
力との差より大きくなると、ダイヤフラム38が弁座52か
ら離間し、ダイヤフラム室24aと通路54とが連通する。
従って、圧縮空気が通路54から出力ポート16を介して出
力ポート74に導出される。
なお、圧電素子42にさらに駆動信号が印加され、圧電
素子42が過剰に撓曲すると、圧電素子42自体が衝撃的に
当接し、場合によっては破損する懸念がある。しかしな
がら、本実施の形態では、圧電素子42は、クッション部
材56に当接することにより衝撃が緩衝されるとともに、
この圧電素子42が過剰に撓曲することが阻止され、前記
のように圧電素子42が破損する懸念が払拭される。
また、このように圧電素子42とクッション部材56とが
当接すると、圧電素子42とクッション部材56とが張り付
き、圧電素子42が矢印Ａ方向に復帰できなくなる懸念が
あるが、クッション部材56に形成された溝部58から圧縮
空気が圧電素子42とクッション部材56との間に導入され
るため、圧電素子42とクッション部材56との張り付きが
阻止され、該圧電素子42の原位置の復帰に支障はない。
前記の本発明の第１の実施の形態に係る圧電弁10によ
れば、圧電素子42に駆動信号が印加されていない状態で
は、ダイヤフラム室24a、24b内に導入される圧縮空気の
圧力に変動が生じても、ダイヤフラム38が弁座52に常時
当接しているため、圧力変動に起因して圧縮空気がダイ
ヤフラム室24a、24bから通路54に導出される懸念が払拭
される。
また、圧電素子42は、駆動信号が印加されて撓曲した
とき、クッション部材56に当接することにより過剰に変
形することが阻止されるため、圧電素子42が損傷する懸
念がない。
さらに、ダイヤフラム室24aを構成する壁部とダイヤ
フラム38の縁部との間に間隙45が形成され、ダイヤフラ
ム室24aと24bとが連通するため、圧縮空気はダイヤフラ
ム38の一面側と他面側、すなわち、ダイヤフラム室24a
と24bとの間を流通自在である。従って、前記一面側と
他面側とに圧縮空気を導入するための通路を個別に設け
る必要がなく、この種の圧電弁10の構成を簡単にするこ
とができる。
さらにまた、弁座52はダイヤフラム38との当接部位が
平滑に形成され、一方、ダイヤフラム38の弁座52と当接
する面は平滑面43として形成されるため、ダイヤフラム
38が弁座52に当接したときにダイヤフラム38と弁座52と
が隙間なく密着し、ダイヤフラム室24aから通路54への
流体の導出が防止される。
次に、第２の実施の形態に係る圧電弁100について、
図６を参照して説明する。なお、第１の実施の形態と同
様の構成要素には同一の参照符号を付してその詳細な説
明を省略する。
この圧電弁100に設けられたカバー部材102の内壁部に
は凹部104が画成され、凹部104には、樹脂、ゴム等の弾
性を有する材料で略円盤状に形成されたクッション部材
106が嵌入される。クッション部材106の一方の面には、
図７に示すように、凸部108が形成され、凸部108には複
数の溝部110が放射状に画成される。また、クッション
部材106の中央には孔部112が画成される。
クッション部材106の縁部近傍には、図６および図７
に示すように、段差部107が形成され、この段差部107に
コイルスプリング（弾性部材）114の一端部が着座し、
コイルスプリング114の他端部は圧電素子42に固着され
た着座部材116に着座する。着座部材116は樹脂、ゴム等
の弾性を有する材料で略円盤状に形成され、その縁部が
クッション部材106に向かって湾曲している。このよう
に構成されることにより、圧電素子42はコイルスプリン
グ114によって常時矢印Ａ方向に付勢されるとともに、
圧電素子42がコイルスプリング114によって損傷する懸
念がない。
第２の実施の形態に係る圧電弁100は、基本的には以
上のように構成されるものであり、次にその動作につい
て説明する。
圧電素子42に制御装置（図示せず）から駆動信号が印
加されていないとき、圧電素子42の変形はなく、また、
ダイヤフラム室24a、24b内の圧力が通路54内の圧力と同
じであるか、あるいはそれよりも高い限り、ダイヤフラ
ム38に弾性エネルギが蓄積されることがなく、ダイヤフ
ラム38は平坦な状態を保持する。このとき、ダイヤフラ
ム38は弁座52に当接し、通路54を閉塞している。なお、
ダイヤフラム38はコイルスプリング114の弾発力により
弁座52に確実に当接し、ダイヤフラム室24aから通路54
に空気等が導出されることが防止される。
入力ポート14a、14bから圧縮空気が供給されると（図
２参照）、ダイヤフラム室24a、24bに圧縮空気が導入さ
れ、ダイヤフラム38には圧縮空気の圧力が矢印Ａ方向に
かかる。
ダイヤフラム38にかかる矢印Ａ方向の力Ｆの大きさ
は、圧縮空気の圧力Ｐによる力Fpとコイルスプリング11
4の弾発力ｆの和であるため、コイルスプリング114のば
ね定数をk2、コイルスプリング114がクッション部材106
と着座部材116との間に配設される際に該コイルスプリ
ング114が縮退する長さをx2とすると、 Ｆ＝Fp＋ｆ ＝π/4×D2×Ｐ＋k2×x2 となる。ここで、Fp＝π/4×D2×Ｐであり、また、ｆ＝
k2×x2である。一方、ダイヤフラム38は弾性を有してい
るが、このダイヤフラム38は弁座52によって支持されて
平坦な状態に保持され、弾性エネルギの蓄積がないた
め、ダイヤフラム38にかかる矢印Ｂ方向の復元力Fsの大
きさは、 Fs＝０ となる。圧縮空気の圧力Ｐが変化したときの力Ｆ、復元
力Fsの変化を図11に示す。このように圧縮空気の圧力Ｐ
が変動したとしても、力Ｆは常に復元力Fsより大きいた
め、ダイヤフラム38は弁座52に当接した状態を維持する
ことができる。また、ダイヤフラム室24a、24b内の圧力
Ｐが低く、通路54内の圧力と略同一であっても、ダイヤ
フラム38はコイルスプリング114の弾発力ｆにより矢印
Ａ方向に押圧されている。従って、ダイヤフラム室24
a、24bまたは通路54内に圧力変動があっても、ダイヤフ
ラム38は通路54を確実に閉塞することができる。
圧電素子42に制御装置（図示せず）から駆動信号が印
加されると、圧電素子42が撓曲してダイヤフラム38を矢
印Ｂ方向に変位させる力が発生する。この力が、圧縮空
気によりダイヤフラム38にかかる力Fpおよびコイルスプ
リング114の弾発力ｆの和と、通路54内の圧力によりダ
イヤフラム38にかかる力との差より大きくなると、ダイ
ヤフラム38が弁座52から離間し、ダイヤフラム室24aと
通路54とが連通する。従って、圧縮空気が通路54から出
力ポート16に導出される。
なお、圧電素子42にさらに駆動信号が印加され、圧電
素子42が過剰に撓曲すると、圧電素子42自体が衝撃的に
当接し、破損する懸念がある。しかしながら、圧電素子
42は、着座部材116を介してクッション部材106に当接す
ることにより衝撃が緩衝されるとともにこの圧電素子42
が過剰に撓曲することが阻止され、前記のように圧電素
子42が破損する懸念が払拭される。
また、着座部材116とクッション部材106とが当接する
と、着座部材116とクッション部材106とが張り付き、圧
電素子42が矢印Ａ方向に復帰できなくなる懸念がある。
しかしながら、圧電素子42はコイルスプリング114によ
って矢印Ａ方向に付勢され、また、クッション部材106
に形成された溝部110から圧縮空気が着座部材116とクッ
ション部材106との間に導入されるため、着座部材116と
クッション部材106との張り付きが阻止される。
第２の実施の形態に係る圧電弁100によれば、圧電素
子42をコイルスプリング114により弁座52に向かって付
勢することにより、圧電素子42が駆動されない場合にダ
イヤフラム38を確実に弁座52に当接させて通路54を閉塞
することができる。
産業上の利用可能性 本発明に係る圧電弁によれば、圧電素子に駆動電力が
印加されない状態において、ダイヤフラム室に導入され
る流体の圧力変動が生じても、ダイヤフラムが弁座に常
時当接しているため、流体が導出される懸念がない。ま
た、圧電素子が過剰に変形した場合であってもクッショ
ン部材に当接するため、圧電素子が損傷する懸念がな
い。従って、この圧電弁の信頼性が向上する。
さらに、流体がダイヤフラムの縁部とダイヤフラム室
の壁部との間隙を流通することにより、ダイヤフラムの
一面側と他面側とに流体を導入するための通路が不要と
なるために、この圧電弁の構成が簡素化され、圧電弁の
製造コストを低廉化することができる。
さらにまた、圧電素子を弾性部材により弁座に向かっ
て付勢することにより、圧電素子が駆動されない場合に
ダイヤフラムを確実に当接させることができ、圧力流体
の漏洩を阻止することが可能となり、圧電弁の信頼性が
一層向上する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−223580（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−224780（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−108482（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−261777（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−283273（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−79408（ＪＰ，Ａ) 国際公開96／017192（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 7/00 F16K 31/02

Claims (14)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】入力ポート（14a、14b）より流体が供給さ
    れるダイヤフラム室（24a、24b）に配設され、弁体を構
    成するダイヤフラム（38）と、 前記ダイヤフラム（38）の一方の面に設けられ、該ダイ
    ヤフラム（38）を変位させる圧電素子（42）と、 前記圧電素子（42）に対向し、前記ダイヤフラム室（24
    a、24b）を形成するハウジング（12）に設けられるクッ
    ション部材（56、106）と、 前記ハウジング（12）内に開口する出力ポート（16）に
    設けられ、前記ダイヤフラム（38）の他方の面が当接可
    能な弁座（52）と、 を備え、前記圧電素子（42）に駆動電力が印加されない
    状態において、前記ダイヤフラム（38）が弾性エネルギ
    を蓄積することなく前記弁座（52）に当接し、前記出力
    ポート（16）を閉塞状態とするように構成され、 前記クッション部材（56、106）には、前記圧電素子（4
    2）に対向する面に該クッション部材（56、106）と該圧
    電素子（42）との張り付きを防止するための溝部（58、
    110）が形成されることを特徴とする圧電弁（10、10
    0）。
  2. 【請求項２】請求項１記載の圧電弁（10、100）におい
    て、 前記ダイヤフラム（38）と前記ハウジング（12）との間
    には該ダイヤフラム（38）により２分される前記ダイヤ
    フラム室（24a、24b）を連通する間隙（45）が形成さ
    れ、前記ダイヤフラム室（24a、24b）に導入される流体
    は前記間隙（45）を介して流通自在であることを特徴と
    する圧電弁（10、100）。
  3. 【請求項３】請求項１記載の圧電弁（10、100）におい
    て、 前記弁座（52）の前記ダイヤフラム（38）に対する当接
    部位は平滑に形成され、一方、前記ダイヤフラム（38）
    は弾性を有する金属板により形成され、前記弁座（52）
    に対する前記ダイヤフラム（38）の当接部位が平滑に形
    成されることを特徴とする圧電弁（10、100）。
  4. 【請求項４】請求項３記載の圧電弁（10、100）におい
    て、 前記圧電素子（42）の前記金属板により形成されたダイ
    ヤフラム（38）に固定された面には該ダイヤフラム（3
    8）を介して駆動信号が印加されることを特徴とする圧
    電弁（10、100）。
  5. 【請求項５】請求項１記載の圧電弁（10、100）におい
    て、 前記ダイヤフラム（38）はステンレスを含む金属板によ
    り形成されることを特徴とする圧電弁（10、100）。
  6. 【請求項６】請求項１記載の圧電弁（10、100）におい
    て、 前記クッション部材（56、106）は前記ハウジング（1
    2）に形成された凹部（57、104）に嵌入されることを特
    徴とする圧電弁（10、100）。
  7. 【請求項７】請求項１記載の圧電弁（10、100）におい
    て、 前記クッション部材（56、106）は弾性を有する樹脂ま
    たはゴムにより形成されることを特徴とする圧電弁（1
    0、100）。
  8. 【請求項８】請求項１記載の圧電弁（100）において、 前記圧電素子（42）と前記ハウジング（12）との間には
    前記ダイヤフラム（38）を前記弁座（52）に向かって付
    勢する弾性部材（114）が設けられ、一方、前記圧電素
    子（42）には前記弾性部材（114）が着座する着座部材
    （116）が設けられることを特徴とする圧電弁（100）。
  9. 【請求項９】請求項８記載の圧電弁（100）において、 前記弾性部材（114）はコイルスプリングであることを
    特徴とする圧電弁（100）。
  10. 【請求項１０】請求項８記載の圧電弁（100）におい
    て、 前記着座部材（116）は弾性を有する樹脂製材料または
    ゴム製材料により形成されることを特徴とする圧電弁
    （100）。
  11. 【請求項１１】請求項１記載の圧電弁（10、100）にお
    いて、 前記ハウジング（12）には前記ダイヤフラム室（24a、2
    4b）に向かって突出して支持部（30）が設けられ、前記
    ダイヤフラム（38）は前記支持部（30）に保持されるこ
    とを特徴とする圧電弁（10、100）。
  12. 【請求項１２】請求項１記載の圧電弁（10、100）にお
    いて、 前記ハウジング（12）には前記圧電弁（10、100）を取
    り付けるためのレバー部（20a、20b）が弾性的且つ撓曲
    自在に設けられ、前記レバー部（20a、20b）には前記圧
    電弁（10、100）が取り付けられる機器に係合する係止
    爪（22a、22b）が形成されることを特徴とする圧電弁
    （10、100）。
  13. 【請求項１３】請求項１記載の圧電弁（10、100）にお
    いて、 前記ダイヤフラム（38）は、ハウジング（12）の凹部
    （37）に装着されたシール部材（39）によって支持され
    ることを特徴とする圧電弁（10、100）。
  14. 【請求項１４】請求項１記載の圧電弁（10、100）にお
    いて、 前記ハウジング（12）にはカバー部材（26）が連結さ
    れ、ダイヤフラム室（24a、24b）はハウジング（12）と
    前記カバー部材（26）との間に装着されるシール部材
    （28）によって気密に保持されることを特徴とする圧電
    弁（10、100）。
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