JP7030374B1 - 流体制御機器 - Google Patents
流体制御機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7030374B1 JP7030374B1 JP2021558595A JP2021558595A JP7030374B1 JP 7030374 B1 JP7030374 B1 JP 7030374B1 JP 2021558595 A JP2021558595 A JP 2021558595A JP 2021558595 A JP2021558595 A JP 2021558595A JP 7030374 B1 JP7030374 B1 JP 7030374B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- fluid control
- circuit board
- control device
- bonnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 95
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 8
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017709 Ni Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003267 Ni-Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003262 Ni‐Co Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
- F16K37/0025—Electrical or magnetic means
- F16K37/0041—Electrical or magnetic means for measuring valve parameters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/02—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit
- F16K11/022—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising a deformable member
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
- F16K11/02—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit
- F16K11/04—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with all movable sealing faces moving as one unit comprising only lift valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
- F16K27/0236—Diaphragm cut-off apparatus
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
- F16K27/0263—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves multiple way valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
- F16K37/0025—Electrical or magnetic means
- F16K37/0033—Electrical or magnetic means using a permanent magnet, e.g. in combination with a reed relays
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
- Valve Housings (AREA)
Abstract
Description
しかし、そのような薄膜の微細化は流体制御機器に今まで以上の高頻度な開閉動作を要求しており、その負荷により流体の漏出等を引き起こしやすくなる場合がある。そのため、流体制御機器における流体の漏出を容易に検知できる技術への要求が高まっている。
本実施形態に係る流体制御機器Vは、流体制御機器Vの内部動作を検出するセンサを内蔵し、他の端末等と有線による通信を実行するエア作動式のダイレクトダイヤフラムバルブである。
なお、ここにいう他の端末には、サーバ等の所謂コンピュータのほか、他の流体制御機器や流量制御装置などの機器や装置が含まれる。
バルブボディ1は図1および図2に示されるように、流路が形成されたブロック状の部材である。バルブボディ1は、yz平面視において、両側が階段状になっており、流路方向(y方向)の長さが段階的に狭くなっている。バルブボディ1は、底面1bで開口する流体の第1流路111a、第2流路112a、第3流路113aを画定している。第1流路111aは、流体制御機器Vが配設される流路の上流側に配置され、第3流路113aは、流体制御機器Vが配設される流路の下流側に配置される。すなわち、第1流路111aが流入路、第3流路113aが流出路となっており、底面1bにおける第1流路111aの開口が流入口、第3流路113aの開口が流出口の例である。また、第1流路111aの開口および第3流路113aの開口を結ぶ仮想直線が、流体制御機器Vが配設される流路の方向と同等となっている。
図1、図2に示すように、ケーシング3は、全体として円筒状であり、図示しないアクチュエータを内蔵している。アクチュエータは、例えば、圧縮エアで駆動させるピストン等とすることができるが、その他、手動、圧電アクチュエータ、ソレノイドアクチュエータ等種々のアクチュエータを採用することができる。アクチュエータを内蔵しているケーシング3は、アクチュエータの一部を構成してもよいし、アクチュエータと別体であってもよい。ケーシング3は、センサボンネット44を介してバルブボディ1上に固定される。
ボンネット部4は、カバー部5内に収容され、ステム31が挿通されるとともに、磁気センサM2を保持する部材である。
ボンネット部4は、主として、シート41、ダイヤフラム42、ダイヤフラム押え43、およびセンサボンネット44を備える。
なお、磁気センサM2は、センサの例であり、別の種類のセンサであってもよい。
図1、図2および図5に示すように、カバー部5は、主として、第1カバー51、および第2カバー52を有する。第1カバー51および第2カバー52は、互いに連結して、ボンネット部4を覆うとともに、回路基板60を保持する保持手段を構成する。
ここで、図7に示す関連技術の流体制御装置においては、流体制御機器V1に内蔵されるセンサの回路基板が、センサボンネットを覆うカバーの外側に配設されている。この流体制御機器V1は、本発明に係る流体制御機器Vと比べて外径が大きく、幅も大きい。したがって、この流体制御機器V1を複数並設する場合には、流体制御装置が大きくなる。
これに対し、本発明に係る流体制御機器Vは、回路基板60がカバー部5の内側に収容されており、回路基板60が流体制御機器Vの幅方向に突出することがないため、流体制御機器Vを幅方向に複数並設して流体制御装置を構成する場合にも、装置を小型にすることができる。
回路基板60は、少なくとも、磁性体M1および発光素子と電気的に接続され、磁気センサM2により検出された情報を、ケーブル61を介して外部に出力する。なお、回路基板60は、これに代えて、又は加えて、無線通信機能を実現する回路を備え、磁気センサM2からの検出信号を無線通信により外部に送信してもよい。
中央部には、ケーブル61が接続されている。中央部、第1端部および第2端部とは、1枚のフレキシブル基板により一体的に形成されている。
また、中央部と第2端部とが可撓性を有する腕により接続されている構成によれば、当該腕をセンサボンネット44の外周に沿って湾曲させることで、第2端部を発光部収容部516にスムースに組み付けることができる。
3 ケーシング
4 ボンネット部
41 シート
42 ダイヤフラム
43 ダイヤフラム押え
44 センサボンネット
5 カバー部
51 第1カバー
52 第2カバー
60 回路基板
61 ケーブル
Claims (7)
- 流体の流路中に配置され、内部動作に関するデータを取得可能な流体制御機器であって、
前記流体制御機器内の動作を検出するための一又は複数のセンサが取り付けられた円筒状のセンサボンネットと、
前記センサボンネットと連結されるバルブボディと、
前記バルブボディの内部において、前記センサボンネットの下方に保持されるダイヤフラムと、
前記センサボンネットの外周を覆う箱状のカバー部と、
前記センサに電気的に接続される回路基板と、
を備え、
前記バルブボディの長手方向は、前記流路中に配置されている状態において前記流路方向に沿っており、
前記カバー部の、前記バルブボディの長手方向に沿う側壁の内側には、互いに対向する位置に篏合部が対をなして形成され、
前記センサボンネットは前記対をなす前記篏合部に当接し、
前記回路基板は、前記カバー部の内側において、前記回路基板の厚さ方向と前記バルブボディの長手方向とが同方向に配設され、
前記回路基板は、前記カバー部の側壁に沿って収容され、
前記カバー部および前記回路基板は、前記バルブボディの幅方向内側に配設されている、
流体制御機器。
- 前記回路基板は、前記カバー部の内側において、前記センサボンネットの上流側又は下流側に配設される、
請求項1記載の流体制御機器。
- 前記バルブボディには、
前記流体が流入する流入口と、
前記流体が流出する流出口と、
前記流路中に前記流体制御機器を固定する固定部と、
が同一直線上に形成されている、
請求項1又は2記載の流体制御機器。
- 前記カバー部の上部には、前記カバー部の内側と外側とを連通する溝が形成されていて、
前記回路基板に接続されるケーブルは、前記溝に挿通され前記カバー部の上面から鉛直方向に導出される、
請求項1乃至3のいずれかに記載の流体制御機器。
- 前記ダイヤフラムの開閉に応じて明滅する発光部と、
前記センサボンネットの内部を摺動し、摺動に応じて前記ダイヤフラムを開閉するステムと、
をさらに備え、
前記発光部は、前記回路基板に接続されるとともに、前記ステムを挟んで前記回路基板に対して対向する位置に配設され、
前記回路基板は、中央部と、前記発光部が接続されている第2端部と、を少なくとも有し、前記中央部と前記第2端部とは可撓性を有する腕により互いに接続され、
前記カバー部の側壁には、前記発光部を収容する発光部収容部と前記中央部を収容する基板収容部とが前記センサボンネットを挟んで互いに対向して形成されていて、
前記中央部にはケーブルが接続され、前記ケーブルは前記基板収容部の上方に形成される溝を介して鉛直方向上方に導出され、
前記発光部は、前記第2端部において、光束が上方に向かって伸び出るように配置されている、
請求項1乃至4のいずれかに記載の流体制御機器。
- 前記センサボンネットの外周面は円筒面の一部が平面に切り欠かれた形状をしており、前記センサが連結されるセンサ取付部は、前記平面に配設されている、
請求項1乃至5のいずれかに記載の流体制御機器。
- 前記回路基板は、中央部と、前記センサが接続されている第1端部と、を少なくとも有し、前記中央部と前記第1端部とが可撓性を有する腕により互いに接続されている、
請求項1乃至6のいずれかに記載の流体制御機器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020197935 | 2020-11-30 | ||
JP2020197935 | 2020-11-30 | ||
PCT/JP2021/035950 WO2022113514A1 (ja) | 2020-11-30 | 2021-09-29 | 流体制御機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7030374B1 true JP7030374B1 (ja) | 2022-03-08 |
JPWO2022113514A1 JPWO2022113514A1 (ja) | 2022-06-02 |
Family
ID=81212845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021558595A Active JP7030374B1 (ja) | 2020-11-30 | 2021-09-29 | 流体制御機器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230332714A1 (ja) |
JP (1) | JP7030374B1 (ja) |
KR (1) | KR20230029983A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001235099A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-31 | Ckd Corp | プロセスガス供給ユニットの載せ替えシステム |
JP2005149075A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
WO2018168872A1 (ja) * | 2017-03-17 | 2018-09-20 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
JP2020085064A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | クロダニューマティクス株式会社 | 電磁弁 |
JP2020183799A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-12 | 株式会社フジキン | 流体制御機器の動作分析システム、流体制御機器の動作分析方法、及びコンピュータプログラム |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9995322B2 (en) | 2014-10-07 | 2018-06-12 | Fujikura Rubber Ltd. | Multistage piston actuator |
JP7189631B2 (ja) | 2018-07-09 | 2022-12-14 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
-
2021
- 2021-09-29 KR KR1020237003682A patent/KR20230029983A/ko active IP Right Grant
- 2021-09-29 JP JP2021558595A patent/JP7030374B1/ja active Active
- 2021-09-29 US US18/245,788 patent/US20230332714A1/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001235099A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-31 | Ckd Corp | プロセスガス供給ユニットの載せ替えシステム |
JP2005149075A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Fujikin Inc | 流体制御装置 |
WO2018168872A1 (ja) * | 2017-03-17 | 2018-09-20 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
JP2020085064A (ja) * | 2018-11-20 | 2020-06-04 | クロダニューマティクス株式会社 | 電磁弁 |
JP2020183799A (ja) * | 2019-05-09 | 2020-11-12 | 株式会社フジキン | 流体制御機器の動作分析システム、流体制御機器の動作分析方法、及びコンピュータプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20230029983A (ko) | 2023-03-03 |
JPWO2022113514A1 (ja) | 2022-06-02 |
US20230332714A1 (en) | 2023-10-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6089538A (en) | Solenoid valve having hard tube fluid channels in valve seat and flexible sealing diaphragm | |
WO2018021277A1 (ja) | オリフィス内蔵弁および圧力式流量制御装置 | |
TWI711810B (zh) | 流體控制機器 | |
US11306830B2 (en) | Valve device | |
WO2015098239A1 (ja) | 弁装置 | |
KR102395620B1 (ko) | 유체 제어 기기 | |
JP7202597B2 (ja) | アクチュエータおよびこれを用いたバルブ装置 | |
JP7030374B1 (ja) | 流体制御機器 | |
WO2022113514A1 (ja) | 流体制御機器 | |
JP6101713B2 (ja) | 改良されたアクチュエータ構造を備えたダイヤフラム密閉バルブ | |
US11506295B2 (en) | Valve device, fluid control device, fluid control method, semiconductor manufacturing apparatus, and semiconductor manufacturing method | |
US11187346B2 (en) | Valve device, its control device, control methods using the same, fluid control device and semiconductor manufacturing apparatus | |
CN111836985A (zh) | 阀装置以及流体控制装置 | |
WO2020217665A1 (ja) | 流路形成ブロック及び流路形成ブロックを備えた流体制御装置 | |
JP2023030627A (ja) | アクチュエータ構造および流体制御機器 | |
KR102625999B1 (ko) | 유체 제어 장치 | |
TWI820791B (zh) | 閥裝置 | |
JP2018071667A (ja) | バルブ | |
JP2022028215A (ja) | 流体制御装置 | |
JP6371891B2 (ja) | パイロット式電磁弁 | |
KR20230012754A (ko) | 다이어프램 밸브 | |
TW202326014A (zh) | 隔膜閥及流量控制裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210929 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20210929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211102 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211216 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220125 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7030374 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |