WO1997008746A1

WO1997008746A1 - Recipient contenant des galettes de semiconducteur, structure contenant des galettes de semiconducteur et procede d'introduction et d'extraction de galettes de semiconducteur

Info

Publication number: WO1997008746A1
Application number: PCT/JP1996/002441
Authority: WO
Inventors: Akira Nakamura; Masahiko Fuyumuro
Original assignee: Achilles Corporation
Priority date: 1995-08-30
Filing date: 1996-08-30
Publication date: 1997-03-06
Also published as: EP0789393A4; DE69637489D1; KR970707579A; EP0789393B1; EP0789393A1; JPH09129719A; US6533123B1; DE69637489T2; ATE392009T1; KR100446842B1

Description

明細書半導体ウェハの収納容器、収納構造および収納 ·取出し方法

技術分野

本発明は、円板状の半導体ウェハの収納容器、収納構造および半導体ウェハの収納 ·取出し方法に関し、特に、運搬時における衝撃による半導体ウェハの破損防止、および摩擦による静電気の発生防止を施した収納容器、収納構造および収納 ·取出し方法に関する。

技術背景

半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という）は、一般にはシリコン単結晶インゴッ卜を薄い円板状に切り出したもので、その径は例えば 2 〜8インチ程度である。このウェハの表面に、多数の L S I等の回路を形成し、このウェハをチップに切断し、この後これらのチップをパッケ一ジングして L S I等の半導体装置を製造する。

ところで、上記インゴッ卜をウェハに切り出す工程と、上記ウェハに回路を形成する工程と、このウェハをチップに切断してパッケージングする工程とは異なる場所で行われることが多い。通常、ある工程が行われる場所から他の工程が行われる場所へのウェハの運搬には、収納容器が使用される。また、回路が形成されたウェハの表面の静電破壊は、歩留りの低下に結びつくことが多いため、前記収納容器へのウェハの収納には特別の配慮がなされる。 '

従来、内壁面に多数の溝が形成され、ウェハをこれらの清に挟持するウェハの収納容器が知られている。また、ポリエチレンフィルムを順次介在させた状態でウェハを、収納容器に積み重ねる収納構造も知られている。

しかし、内壁面に多数の溝を形成した収納容器による収納構造では、その運搬時における振動や不慮の落下による衝撃が、直接該収納容器を通してウェハに達し、ウェハが物理的に（力学的に）破損する。また、上記の各ウェハ間にポリエチレンフィル厶を介在させる収納構造では、運搬時における振動等により、ポリエチレンフィルムとウェハとが相互に微動することが多い。この微動により静電気が発生し、ポリエチレンフィル厶ゃウェハに電荷が蓄積され、その放電によりウェハに形成された回路が損傷する。

また、上記収納容器へのウェハの収納や、収納容器からのウェハの取出しを人手により行う場合、誤操作等によりウェハに損傷を与える危険が大きい。このため、上記ウェハの収納 ·取出しは、自動制御機構を用いることが好ましいが、従来の収納容器を用いた場合には、該自動制御機構が複雜となる。発明の目的

本発明の目的は、自動制御機構に適合した（すなわち、ロボッ卜対応の）、専用のウェハの収納容器を提供することである。

本発明の他の目的は、上記の種々の問題を解決するために提案されたものであり、運搬時の衝撃に対するウェハの物理的，電気的な損傷防止対策を施したウェハの収納構造を提供することである。

本発明のさらに他の目的は、収納容器内においてウェハとスぺーサシートとが、密着状態で（すなわち、タイ卜に）接触する結果、ウェハとスベーサシー卜とを収納容器から順に取り出そうとする際に両者が一体となってしまう、という不都合を防止できるウェハの収納構造を提供することである。

加えて、本発明のさらに他の目的は、自動制御機構に適合した、専用のウェハの収納容器への収納、収納容器からの取出しのための方法を提供することである。発明の概要

本発明のウェハの収納容器は、ウェハがスぺーサシー卜を介して多数枚重ねられて収納される筒部を持つ容器本体と、当該容器本体に被せられる蓋体とからなることを特徴とする。ここで、前記筒部は、ウェハの収納およびまたは取出しを容易にするために、ピックアップアームが入り込める、少なくとも 1 つのスリッ卜を有することができる。また、前記容器本体は、平面視が四角形状をなす基部に、前記筒部が立設してなり、前記蓋体は、平面視が前記容器本体の基部の平面視形状とほぼ同 —である四角形状をなし、前記蓋体と前記容器本体とは、相対的な回動により、両者の平面視形状が一致するように係合するようにもできる。収納容器内部で発生した静電気を速やかに外部に逃がすようにするため、または外部電場の収納容器内部への影響を防ぐために、収納容器の表面抵抗は 1 0 ^υ Ω ΖΕΙ以下とすることが好ましい。前記収納容器は、典型的には、導電性フィラーを添加した導電性プラスチックス、あるいはポリマーァロイ処理した導電性プラスチックスを素材として一体成形により製造することができる。なお、添加する導電性フィラーとしては、カーボンブラック、グラフアイトカーボン、炭素繊維、金属粉末、金属繊維、金属酸化物の粉末、金属コートした無機質微粉末、有機質微粉末および繊維が使用できる。本発明のウェハの収納構造は、容器本体内に、ウェハが、スぺーサシートを介して多数枚重ねられて収納されたことを特徴とする。ここで、ゥェハを衝撃から保護するために、前記多数枚重ねられて収納されたゥェハの上下端部に、端部クッション材を配置することができる。本発明のウェハの収納構造における容器本体として、前述した本発明のウェハの収納容器における容器本体を使用することが好ましい。

前記スぺ—サシートは、通常、紙、合成紙、合成樹脂フィルム、合成樹脂フォームシート等により形成される。スぺーサシートは、導電性を有していてもよいし、有していなくてもよい。前記スぺーサシー卜が導電性を有する場合、その表面抵抗は、 1 0 ⁶ 0 ロ以下とすることが好ましい。導電性を有するスぺーサシートとして、ポリピロール、ポリァ二リン等の導電性ポリマーを複合化した繊維、炭素繊維、金属被覆繊維等の導電性繊維を分散したポリオレフィン系合成紙、あるいは前記導電性フィラーや帯電防止剤を添加したポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレー卜等のフィルムやフォームシ一トを用いることができる。

上記スぺーサシートは、上記の合成紙等の単層構造としてもよいし、上記の合成紙等の積層構造としてもよいが、単層搆造としたスぺーサシー卜が、扱い易さ、物性等の点で好ましい。

また、ポリピロールを複合化した繊維を用いた合成紙が、導電性コントロールの容易性，耐久性等の点で好ましい。

スぺーサシー卜は、透気度（ j ！ s P 8 1 1 7 ) 力 1 8 0 0秒 Z 1 0 0 c c 以下、平滑性（J I S P 8 1 1 9 ) が 1 0秒以下、発塵性（日本 C I C 社方式）が 0 . 5 μ m以上の粒子 2 0 0個 1 0 0 m m X 1 0 0 m m以下であることが好ましい。本発明の収納容器では、上記収納構造にしたがってウェハを収納する場合、防塵の見地から、収納容器ごと真空包装されることがある。ゥェハは、その表面が極めて平滑であるため、スぺーサシートとウェハとは、両者間にエアーが実質上存在しない状態で密着して（すなわち、タイトに）接触することがある。

このため、ウェハの収納容器から、スぺーサシートとウェハとを順に取り出す際に、密着した状態のウェハとスぺーサシートと分離は、通常容易ではなく、人手によりウェハからスぺーサシートを一枚一枚剥がさなければならないといった煩わしさがある。特に、後述する自動制御によるウェハの収納 '取り出し方法においては、上記ウェハとスぺーサシー卜との密着した状態が、障害となることがある。

このような不都合を解消するために、本発明においては、スぺーサシー卜を、ウェハとの密着状態を元々生じさせない構造とすることができ、また、ウェハとの密着状態が生じたとしても、この密着状態を容易に解除する構造とすることができる。

すなわち、前記スぺーサシートを、その少なくとも一方の面に、複数の凹状部およびノまたは凸状部を有するように、または前記スぺーサシー卜が、スぺーサ周囲から内側に切り込まれたカツトラインを有するように形成することができる。なお、上記凹状部またはおよび凸状部の形成は、典型的にはエンボス加工により形成することができる。また、上記カツトラインは典型的には、カツタによるカットまたはカットラインに幅を持たせた打ち抜きにより形成することができる。

端部クッション材の素材として、軟質ポリウレタンフォーム、ポリエチレンフォーム、ポリプロピレンフォーム、ポリスチレンフォーム等用いることができる。また、塵の侵入を防止するために、独立気泡フォームとすることが好ましく、緩衝性の点で軟質ポリウレタンが好ましい。また、端部クッション材にも導電性を持たせることもでき、この表面抵抗は 1 0 ^{1 1} Ω /口以下とすることが好ましい。なお、端部クッシヨン材が導電性を有していない場合には、最上部のウェハと最下部のウェハとの間に、導電性を有するスぺーサシートを設けることが好ましい。本発明の収納構造では、端部クッション材は、前述のように交互に積み重ねられたスぺーサシー卜とウェハと上下端部に設けられ、これらを保持する。

端部クッション材として、その圧縮時応力（ 1 0 %) は、 0. 0 1 ~ 0. 6 k g/c m 程度となるものを採用することが好ましい。たとえば、ウレタンフォームでは 0. 0 1 〜0. 0 3 k g /c m ²、ポリェチレンフォームでは 0. 2〜0. 4 k gZc m 、ポリスチレンフォームでは 0. 2 ~ 0. 6 k gZc m 程度の応力を有するものを採用することが好ましい。

上記構成による本発明のウェハの収納構造において、ウェハとスぺーサシートとは交互に重ねられてウェハの収納容器内に収納されると共に、その上下端部には端部クッション材が設けられる。したがって、運搬時の振動等によりウェハの収納容器に与えられる衝撃は、端部クッシヨン材によって吸収され、ウェハは該衝撃から保護される。

また、スぺーサシートとして、導電性を持つものを使用した場合には、運搬時における振動でウェハとスぺーサシー卜との間に、またはウェハと端部クッション材との間に摩擦が生じても、静電気は発生しないか、仮に発生しても、収納容器内部に止まることはない。したがってウェハに形成された回路が静電気により損傷すると言った不都合は生じない。さらに、積み重ねたスぺーサシートとウェハとを、前記収納容器内で上下方向から保持することによって、収納容器内において各ウェハは、相互に位置ずれを起こすことなく安定的に保持される。したがって収納容器内面へのウェハの接触による破損や、ウェハ同士の摩擦による静電気の発生をさらに効率良く抑止できる。

また、本発明のウェハの収納 ·取出し方法は、 1 つまたは 2つのピックアップアームを用いて、少なくとも 1 つのスリツトを有する筒部を持つ容器本体（例えば、本発明におけるウェハの収納容器における容器本体）の該筒部内に、ウェハ、スぺーサシートを収納し、あるいは該筒部内からこれらを取り出す、ウェハの収納 ·取出し方法であって、自動制御機構に適用される。

1つのピックアツプアームを用いる場合には、ピックアップアームは、前記少なくとも 1 つのスリツ卜に入り込み、前記ウェハと前記スぺーサシートとを、交互に、前記筒部内に収納し、または前記筒部内から取り出す。

また、 2つのピックアップアームを用いる場合には、これらピックァップアームのうち一方は、前記スリッ卜に入り込む。また 2つのピックアップアームのうち他方は、前記一方のピックァップアームが入り込むスリツ卜と同一のスリット、または異なるスリットに入り込む。そして、 2つのピックアップアームで、前記ウェハと前記スぺーサシー卜とを、交互に、前記筒部内に収納し、または前記筒部内から取り出す。

本発明のウェハの収納 ·取出し方法では、スリットを有する筒部を持つ収納容器を使用するので、ウェハ等を容器本体（例えば、本発明におけるウェハの収納容器における容器本体）の筒部内に収納し、またはゥェハ等を該筒部内から取り出す際に、ピックァップアームの先端部を、筒部の内部にまで入り込ませることが可能となる。したがって、自動制御機構において、ウェハの収納の際にウェハ枚数が順次増え、あるいはウェハの取出しの際にウェハ枚数が順次減っても、上記ピックアツプア一ムの制御が極めて容易となる。図面の簡単な説明

図 1 は、本発明のウェハの収納容器の一例を一部破断して示す斜視図である。

図 2は、図 1 のウェハ収納容器を半断面として示す側面図である。図 3は、本発明の収納構造の一例を示す斜視図である。

図 4は、図 3におけるウェハ収納状態における収納容器の概略側断面図である。

図 5は、本発明の収納構造におけるウェハの保持状態を示す一部拡大断面図である。

図 6 ( A ) は、ウェハとの密着状態を元々生じさせない構造、またはウェハとの密着状態が生じたとしても、この密着状態を容易に解除する構造のスぺーサシートを例示する図であり、表面にエンボスが形成されたスぺーサシートを示している。

図 6 ( B ) は、ウェハとの密着状態を元々生じさせない構造、またはウェハとの密着状態が生じたとしても、この密着状態を容易に解除する構造のスぺーサシートを例示する図であり、周囲から内側に複数のカツ卜ラインが切り込まれたスぺーサシートを示す。

図 7は、本発明のウェハの収納 ·取出し方法が応用される搬送システムの概略構成を示す斜視図である。

図 8は、図 7の搬送システムによりウェハを容器に収納する前の状態を示す概略図である。図 9は、図 7の搬送システムによりウェハを容器に収納する途中の状態を示す概略図である。

図 1 0は、図 7の搬送システムによりウェハを容器に収納した後の状態を示す概略図である。好ましい実施例

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

図 1 は、ウェハの収納容器（以下、「ウェハ収納容器」と言う）の一例を一部破断して示す斜視図、図 2はそのウェハ収納容器を半断面として示す側面図である。これら各図において、ウェハ収納容器 1 は、円板状のウェハを多数枚重ねて収納できる有底円筒状の容器本体 2と、この容器本体 2に被せられる蓋体 3とで構成されている。

容器本体 2は、正方形状の基底部 2 a上に円筒部 2 bが突設されたもので、該円筒部 2 bにより形成される収納空間 2 e内に、多数のウェハが積み重ねられて収納される。円筒部 2 bの内径は、収納されるウェハ径に合わせて該径ょりも数ミリ程度大きく形成される。この円筒部 2 b には、その先端部から基端部に亙ってスリット 2 c 〗〜 2 c ₄が円周方向に 4等配した位置に形成されている。これらのスリット 2 _{C l} 〜2 c ₄ は、後述する収納 ·取出しシステムにおける搬送口ボッ卜のピックアツプアームが入り込める幅寸法を有している。スリットの位置は、基底部の一辺の中央部に設ければ、ピックアップアームのストロークが短くなつて好ましい。もちろん、システムによっては、基底部の対角線上に位置しても構わない。

また、円筒部 2 bの上端外周面には、部分ねじを構成する 4つの傾斜状段部 2 dが略等間隔で形成されており、これは、蓋体 3の円周溝 3 d の内側に形成した傾斜溝 3 eとねじれ位置で位置合せされて、容器本体 2または蓋体 3のわずかな回動により両者を係合状態とするものである。なお、容器本体 2の基底部 2 a上面（容器側内面）は、図 2に示すように、同心円状の複数の補強リブが突出する凹凸形状となっているが、これらの上端は同一面上に位置しており、ウェハを水平に载置できるようになっている。

一方、蓋体 3は、全体が正四角柱状をなし、円筒部 3 aと、この円筒部 3 aに外接する角筒部 3 bとにより構成されている。この円筒部 3 a は、容器本体 2の円筒部 2 bを覆い、下端部が容器本体 2の基底部 2 a の一部を残して覆っている。円筒部 3 aは、蓋体 3と容器本体 2との着脱の際の、案内手段等としての役割をなしている。

蓋体 3の天井面には、前記容器本体 2の円筒部 2 bの上端を受け入れる円周溝 3 dが形成してあると共に、容器本体 2の収納空間 2 eに対応する位置に、同心円状に複数のリブおよび凸部（以下、単にリブ 3 c ) が下方に突出状に形成されている。これらリブ 3 cは、蓋体 3を容器本体 2に装着した状態で、図 2に示すように、収納空間 2 eの上部に僅かに進入した状態で、ウェハの積み重ねの上部に接する。もっとも本発明を構成するにあたつては、上記ウェハの積み重ねの上部が蓋体 3の内面側によって下方に押し付けられるような構成が取られればよく、リブ 3 c を設けること、およびこれを収納空間 2 e内に進入させることは必須の要件ではない。

前記蓋体 3は、容器本体 2に対し、前述した円筒部 2 bの傾斜状段部 2 dと円周溝 3 d内の傾斜溝 3 eの係合によって、着脱自在に装着される。すなわち、蓋体 3は、容器本体 2に対するねじれ位置で、円筒部 2 b に被せられ、所定角度（ 1 5。 ~ 4 5 ° ) 回動されることによって、傾斜溝 3 eの傾斜角度だけ容器本体 2側に進行しつつ、徐々に締め付け固定されることとなる。なお、容器本体 2の下面は、蓋体 3の上部を受け入れられるよう、内側に窪んで形成され、これによつてウェハ収納容器 1 は、上下方向に多数積み重ねることができる。

なお、本実施例では、ウェハ収納容器 1 として、体積抵抗 2 0 0 Q · c m、表面抵抗 1 0 ⁰ Ω Ζ Ο以下の導電性ポリプロピレン樹脂を素材として用いた。

次に、前記ウェハ収納容器 1 内に、多数のウェハを収納する態様について説明する。図 3は容器本体 2内にウェハを収納した状態を示す斜視図、図 4はウェハ収納状態における容器本体 2の縦断面図、図 5はゥェハ収納容器 1 内におけるウェハの保持状態を示す図 2の一部拡大断面図である。

これら各図において、ウェハ 4は、容器本体 2の収納空間 2 e内に、多数積み重ねて収納され、各ウェハ 4間にはスぺーサシート（図 3では、単層の導電性シート） 5が介在される。

ウェハは、一般的には、径 2 インチ（約 5 0 m m ) 〜 8 インチ（約 2 0 0 m m ) および厚さ 3 5 0、 5 0 0、 7 5 0 μ ιη等、各種目的に応じた大きさのものがあるが、実施例においては、厚さ 3 5 0 μ ΓΠの 8ィンチサイズのものを採用した。実施例に示すウェハ収納容器 1 は、このウェハサイズに合わせて設計されたものであり、 2 5枚のウェハを収納できる。

スぺーサシート 5は、ウェハ 4を積み重ねた際に、ウェハ 4同士が直接接触しないようにして、ウェハ同士の擦れによる傷を防ぐと共に、ゥェハ 4との間での静電気の発生を抑制するように作用する。このためスぺーサシート 5は、表面抵抗が 1 0 ⁰ Ω ロ以下の軟質素材により形成することが好ましい。本実施例では、スぺーサシート 5として剛钦度 80 mm 以下のポリオレフィン系合成紙を素材とし、厚さ 230 μ m、径 200 mm に形成したものを用いた。

また、ウェハはクリーン状態を維持しなくてはならないため、スぺーサシート 5の発塵性は低くなければならない。本実施例では、当該発塵性（日本 C I C社方式）は、 0. 5 μ m以上の拉子 200個 Z 1 0 0 mm X 1 0 0 mm以下のものを用いた。

一方、端部クシヨン材 6 A, 6 Bは、容器本体 2の収納空間 2 eの最上部および最下部に配置される。すなわち、端部クッション材 6 A, 6 Bは、前述したウェハ 4とスぺーサシート 5とを交互に積み重ね、その両端部にこの積み重ねを挟みこむ形で配置される。この端部クッション材 6 A, 6 Bにより、積み重ねられたウェハ 4が容器本体 2の基底部 2 aおよび蓋体 3の天上面のリブ 3 cに直接接触することはない。端部クッション材 6 A, 6 Bは、適度な衝撃吸収力を有しており、ウェハ収納容器 1 に衝撃が与えられた場合でも、これを吸収し、ウェハ 4側には伝えないよう機能する。

本実施例では、この端部クッション材 6 A, 6 Bとして、表面抵抗 8 X 1 0 ^{1 1} Ω /口以下、帯電圧減衰時間（5 0 %) 1 . 4秒以下、密度 (J I S K 6 40 1 ) 2 7 k gZm ³、硬さ（J I S K 64 0 1 ) 6. 5 k g f 、反発弾性（J I S K 64 0 2 ) 40 %の諸特性を有する軟質ポリウレタンフォームシートを、径 2 0 0 mm、厚さ 1 5 mmに加工したものを用いた。なお、端部クッション材としての钦質ポリウレタンフォームシ一卜の反発^性は、 2 0〜 6 0 %程度が好ましく用いられる。

2 5枚のウェハ 4は、上述したようにスぺーサシート 5を介在して積み重ねられ、その上下端部に端部クッション材 6 A , 6 Bを配置した状態で、図 4に示すように、容器本体 2の収納空間 2 e内に収められる。図示はしないが、この状態で、容器本体 2には、蓋体 3が被せられ装着されて、ウェハ 4は運搬、保管可能に収納される。ウェハ 4と、スぺーサシート 5とを、端部クッション材 6 A , 6 Bとの積み重ねて、蓋体 3 を装着した場合、蓋体 3の天上面に形成したリブ 3 cは、端部クッション材 6 Aに押圧力を与える。

すなわち、蓋体 3が容器本体 2に対しねじれ位置に被せられると、この位置でリブ 3 cは、端部クッション材 6 Aに接触し、蓋体 3が回動されて、容器本体 2側の傾斜状段部 2 dが蓋体 3側の傾斜溝 3 eと深く係合する。蓋体 3の積層方向への進行につれて、リブ 3 cは、徐々に端部クッション材 6 A , 6 Bを下方に押し付けていく（図 5 の白抜き矢印参照）。蓋体 3が容器本体 2に完全に装着された状態で、各上下の端部クッシヨン材 6 A， 6 Bは、厚さが約 1 0 %収縮し、これにより生ずる応力が積層されたウェハ 4を挟みこむ力となり、ウェハ 4、スぺーサシー卜 5および端部クッション材 6 A , 6 Bは、ウェハ収納容器 1 内で安定的に保持される。

—なお、端部クッション材 6 Aは、蓋体 3の回動動作に伴い、リブ 3 c と摺動接触するので、端部クッシヨン材 6 Aが回転してしまわないように、その表面 Sを平滑にしておくことが好ましい。

なお、スぺーサシート 5として、図 6 ( A ) , ( B ) に示すようなゥェハ 4との密着状態を元々生じさせない構造、またはウェハとの密着状態が生じたとしても、この密着状態を容易に解除する構造のものを使用することができる。

図 6 ( A ) には、表面にエンボス 5 1が形成された前記構成のスぺーサシート 5が示されている。もちろん、このエンボス 5 1 は、前記構成のスぺーサシート 5に形成することに限定されず、導電性を有さないスぺーサシートに形成することもできる。また、エンボス 5 1 のパターンも、ウェハ 4との密着状態を元々生じさせないか、またはウェハとの密着状態が生じたとしても、この密着した状態を容易に解除することができれば、いかなるパターン（たとえば、図 6 ( A ) に示した散点状のパターン、あるいはシートの中心から周囲に延びる放射線状、縞状、格子状のパターン）であってもよい。

エンボス 5 1 のパターンやスぺーサシート 5の材質等にもよるが、ェンボス加工後のシートの見かけ厚さは、エンボス加工前のシート素材の厚さの、 1 . 1 〜 3倍程度であることが好ましい。なお、エンボスが形成されたスぺーサシー卜を使用する場合には、ウェハに対する当該スぺーサシー卜による緩衝効果を増大させることができる。

前記実施例の構成の合成紙からなるスぺーサシー卜 5を用いてウェハ 4をウェハ収納容器 1 に収納した後、容器 1 全体を真空包装し、さらにこの後、包装を解いて収納容器 1 からウェハ 4を取り出すテス卜を行つたが、ウェハ 4とスぺーサシート 5とは密着状態とはならず、ウェハの取り出し等において支障が生じることはなかった。また、カーボンブラック 3 0重量％を含む、厚さ約 5 0 μ mのポリエチレンシー卜に、加工後のシー卜の厚さが 1 2 0 μ πιとなるエンボスを施して作製したスぺーサシー卜を用いて上記と同様のテス卜を行ったが、ウェハ 4とこのスぺーサシー卜とが密着した状態となることはなかった。

図 6 ( Β ) には周囲から内側に複数のカツ卜ライン 5 2が切り込まれた前記構成のスぺーサシート 5が示されている。もちろん、このカツ卜ライン 5 2は、図 6 ( Α ) のエンボスの場合と同様、前記した構成のスベーサシー卜 5に形成することに限定されない。また、カットライン 5 2 のパターンも、ウェハ 4との密着状態を元々生じさせないか、またはゥェハとの密着状態が生じたとしても、この密着状態を容易に解除することができれば、いかなるパターン（たとえば、図 6 ( B ) に示した周囲から中心に向かうパターン、あるいは周囲から渦状に内側に向かうパターン）であってもよい。

スぺーサシート 5の材質等にもよるが、カツトライン 5 2の数は 2 ~ 3 6本とすることが好ましい。

次に、本発明のウェハの収納 ·取出し方法を、ウェハの搬送システムに応用した場合を例に説明する。図 7はウェハの収納 ·取出しシステムの概略構成を示す斜視図、図 8〜図 1 0は該システムによりウェハ収納容器にウェハを順次収納していく手順について示す概略図である。

図 7において、多数のウェハ 4は、コンベア 7上を搬送され、順次容器への収納工程に至る。また、ウェハ 4を収納するための容器本体 2も、別のコンベア 8により収納工程に至り、ウェハ 4が収納されるのを順次待ち受ける。搬送口ボッ卜 9は、収納工程において両コンベア 7， 8間に設置され、そのピックアップアーム 9 aの先端に真空吸着部 9 bを備える。コンベア 7上を搬送されてくるウェハ 4は、この真空吸着部 9 b によって真空吸着され、容器本体 2内に収納される。また、搬送ロボッ卜 1 0は、搬送ロボッ卜 9と同じ構成を有し、コンベア（図示せず）上を搬送されるスぺーサシー卜 5および端部クッション材 6 A , 6 Bを容器本体 2内に搬送し、収納する。

このように構成される収納 ·取出しシステムにおいて、コンベア 8上を搬送されてきた空の容器本体 2には、最初に、搬送ロボット 1 0または手作業によって端部クッション材 6 Bが収納される。スぺーサシート 5は、搬送ロボット 1 0の真空吸着部 1 0 bによリ吸着されて、上方より容器本体 2の収納空間 2 e内に収められるが、このとき、搬送ロボッ卜 1 0のピックァップアーム 1 0 aは、容器本体 2に形成されたスリッ卜（図 7では、符合 2 c ₁ で示すもの）によって、吸着したスぺーサシー卜 5を収納空間 2 e底部まで入り込ませることが可能となる。

搬送ロボット 1 0のピックアップアーム 1 O aは、収納空間の底部で、真空吸着部 1 O bの吸着状態を解除し、スぺーサシート 5を解放し、端部クッシヨン材 6 B上に載置した後、初期位置に戻る。

次に、搬送ロボット 9が稼働し、コンベア 7上のウェハ 4を吸着し（図 8の破線で示したピックアップアーム 9 a参照）、容器本体 2の上方に移動した後（図 8の実線で示したピックアップアーム 9 a参照）、ピックアップアーム 9 aの先端を収納空間 2 e内に下降させ、収納したスぺーサシート 5上の近接した位置（あるいはスぺーサシート 5に面接触させた位置）で、ウェハ 4の吸着を解除する（図 9参照）。この場合にも、容器本体 2のスリット 2 c 】とは異なるスリット（図 7では、符合 2 c 3 で示す）によって、搬送ロボット 9のピックアップアーム 9 aは下降することが可能となる。上記ピックアップアーム 9 aの収納空間 2 e内における下降制御は、真空吸着部 9 bに設けた距離センサ（光センサ等）により、スぺーサシート 5との距離を計測して、設定した位置でピックアップアーム 9 a先端を停止するよう制御することができる。また、ピックアップアーム 9 aの関節部にトルクセンサを設けて、ウェハ 4がスぺーサシー卜 5に接触した時のトルクを検出して、ピックァップアーム 9 aを停止制御することもできる。ウェハ 4を解除した搬送□ボット 9 は、収納空間 2 e内を上昇して（図 1 0参照）、初期位置に戻り、次のウェハ搬送のために待機する。次いで、容器本体 2内のウェハ 4上には、搬送ロボット 1 0によってスぺーサシート 5が同様の方法にょリ载置され、この後、順次スぺーサシート 5とウェハ 4は、交互に積層されていく。 2 5枚のウェハ 4が容器本体 2内に収納され、その上にスぺーサシート 5が置かれると、最後に搬送ロボット 1 0あるいは手作業によつて端部クッシヨン材 6 Aが収納され、収納作業が完了する。収納作業が完了した時点で、容器本体 2 は、コンベア 8で搬送され、次工程で蓋体 3が装着されてウェハの収納が完了する。

なお、蓋体 3の装着は、前記ウェハの収納工程と共に自動化させることもできるし、作業員による手作業とすることもできる。また、ウェハ 4とスぺーサシート 5を、同じロボッ卜によってそれぞれ移動することもできるし、これらを手作業によって収納していくこともできる。

—方、ウェハ収納容器内に収納されたウェハ 4を搬出する工程は、収納工程を逆に実行することによって達成される。

上記実施例では、ピックアップアーム 9 a , 1 0 aの制御は、積み重ねの最上のウェハ 4またはスぺ一サシート 5との距離を距離センサにより計測し、ピックアップアーム 9 a , 1 0 aの先端を積み重ねの最上のウェハ 4またはスぺーサシー卜 5の位置で停止させているが、次のような制御を行うこともできる。

すなわち、ウェハ 4またはスぺーサ 5の収納や取出しが行われるたびに、ウェハ 4またはスぺーサ 5の厚み分だけ下降または上昇する機構のテーブルに容器本体 2に载置しておく。これにより、積み重ねの最上のウェハ 4またはスぺーサシー卜 4の位置は常に一定高さに保持される。これにより、ピックアップアーム 9 a， 1 0 aは常に同じ高さで、ゥェハ 4やスぺーサシート 5の収納や取出しを行うことができる。前述した収納 '取出しシステムにおいては、容器本体 2、ウェハ 4等は、各コンベアおよび搬送ロボットによって正確に位置制御され、搬送されるので、ウェハ 4が容器本体 2への収納時に、円筒部 2 bに接触して、これが原因で破損するような事故が起こることはない。

産業上の利用可能性

収納容器の筒部に、スリットを形成し、自動制御機構のピックアップアームが入り込めるようにすることで、ウェハを容器の筒部内に容易に収納し、またはウェハを該筒部内から容易に取り出すことができる。この結果、従来、手作業によって、ウェハを収納容器に収納する場合に、当該ウェハを容器に接触させて破損させるといった事故がなくなると共に、作業効率を飛躍的に向上させることができる。

各ウェハ間に介在させるスぺーサシートを導電性とした場合には、運搬時における振動でウェハとスぺーサシー卜の間に摩擦が生じても、静電気は発生しない（または、静電気が発生したとしても容器内には止まらない）。したがって、ウェハに形成されたの回路が静電気による損傷を受けることがない。

スぺーサシートを、ウェハとの密着状態を元々生じさせない構造、またはウェハとの密着状態が生じたとしても、この密着状態を容易に解除する構造とした場合には、ウェハの容器からの取り出しに際して、ゥェハとスぺーサシートとが一体化したままとなることがなく、円滑なゥェハの取り出し作業を行うことができる。

また、積層されたウェハは、弾性部材に挟まれた状態で容器内に収納され、運搬時の落下、振動により容器に与えられる衝撃は、弾性部材によって吸収され、ウェハに伝達されることが阻止され、その物理的な破損が防止される。さらに、弾性部材、スぺーサシートおよびウェハからなる積層体を、前記容器内で上下方向から保持することによって、容器内において各ウェハは、相互に位置ずれを起こすことなく安定的に保持され、したがって容器内面へのウェハの接触による破損や、摩擦による静電気の発生をさらに抑止できる。

Claims

補正書の請求の範囲 [ 1 9 9 7年 1月 2 7日（2 7 . 0 1 . 9 7 ) 国際事務局受理：新しい請求の範囲 1 4一 1 6が加えられた；他の請求の範囲は変更なし。（ 3頁） ]

1 . 半導体ウェハがスぺーサシートを介して多数枚重ねられて収納される筒部を持つ容器本体と、当該容器本体に被せられる蓋体とからなることを特徴とする半導体ウェハの収納容器。

2 - 請求項 1 に記載の収納容器であって、前記筒部は、半導体ウェハの収納およびノまたは取出しのためのピックアップアームが入リ込める、少なくとも 1 つのスリットを有することを特徴とする半導体ウェハの収納容器。

0 3 . 請求項 1 または 2に記載の収納容器であって、

前記容器本体は、平面視が四角形状をなす基部に、前記筒部が立設してなり、

前記蓋体は、平面視が前記容器本体の基部の平面視形状とほぼ同一である四角形状をなし、

5 前記蓋体と前記容器本体とは、相対的な回動により、両者の平面視形状が一致するように係合することを特徴とする半導体ウェハの収納容器。

4 . 請求項 1 〜 3の何れかに記載の半導体ウェハの収納容器であって、表面抵抗が 1 0 。 Ω /ロ以下であることを特徴とする半導体ウェハの収納容器。

0 5 . 容器本体内に、半導体ウェハがスぺーサシートを介して多数枚重ねられて収納されたことを特徴とする半導体ウェハの収納構造。

6 . 請求項 5に記載の半導体ウェハの収納構造であって、

前記容器本体が、請求項 1 〜 4の何れかに記載の収納容器の容器本体である

5 ことを特徴とする半導体ウェハの収納構造。

铺正された用紙 (条約第 19

7 . 請求項 5または 6に記載の半導体ウェハの収納構造であって、端部クッション材が、前記多数枚重ねられて収納された半導体ウェハの上下端部に配置されたことを特徴とする半導体ウェハの収納構造。

8 . 請求項 5〜 Ίの何れかに記載の半導体ウェハの収納構造であって、前記スぺーサシートの表面抵抗が 1 0 ⁶ 以下であることを特徴とする半導体ウェハの収納構造。

9 . 請求項 5〜 8の何れかに記載の半導体ウェハの収納構造であって、前記スぺーサシートカ^ ポリピロールを複合化した繊維を用いた導電性の合成紙であることを特徴とする半導体ウェハの収納構造。

1 0 . 請求項 5〜 9の何れかに記載の半導体ウェハの収納構造であって、前記スぺーサシート力 <、少なくとも一方の面に、複数の凹状部およびノまたは凸状部を有することを特徴とする半導体ウェハの収納構造。

1 1 . 請求項 5 ~ 1 0の何れかに記載の半導体ウェハの収納構造であつて、

前記スぺーサシート力周囲から内側に切り込まれたカツトラインを有することを特徴とする半導体ウェハの収納搆造。

1 2 . 1 つのピックアップアームを用いて、少なくとも 1 つのスリツ卜を有する筒部を持つ容器本体の該筒部内に、半導体ウェハ、スぺーサシートを収納し、あるいは該筒部内からこれらを取り出す、半導体ウェハの収納 ·取出し方法であって、

前記ピックアップアームは、前記少なくとも 1 つのスリットに入り込み、前記半導体ウェハと前記スぺーサシートとを、交互に、前記筒部内に収納し、または前記筒部内から取り出すことを特徴とする半導体ゥェハの収納 ·取出し方法。

1 3 . 2つのピックアップアームを用いて、少なくとも 1 つのスリツ卜

補正された用紙 (条約第 19条) を有する筒部を持つ容器本体の該筒部内に、半導体ウェハ、スぺーサシー卜を収納し、あるいは該筒部内からこれらを取り出す、半導体ウェハの収納 ·取出し方法であつて、

前記ピックアップアームのうち一方は、前記スリットに入り込み、前記ピックアップアームのうち他方は、前記一方のピックアップアームが入リ込むスリツ卜と、同一のスリツ卜または異なるスリッ卜に入り込み、前記半導体ウェハと前記スぺーサシートとを、交互に、前記筒部内に収納し、または前記筒部内から取り出すことを特徴とする半導体ウェハの収納，取出し方法。

1 4 . (追加）請求項〜 4の何れかに記載の半導体ウェハの収納容器であって、

前記スぺーサシートの表面抵抗が 1 0 ⁶ Ω ロ以下であることを特徴とする半導体ウェハの収納容器。

1 5 . (追加）請求項 1 〜 5の何れかに記載の半導体ウェハの収納容器であって、

前記スぺーサシートカポリピロールを複合化した繊維を用いた導電性の合成紙であることを特徴とする半導体ウェハの収納容器。

1 6 . (追加）請求項 1 〜 6の何れかに記載の半導体ウェハの収納容器であって、

前記スぺーサシート力少なくとも一方の面に、複数の凹状部および /または凸状部を有することを特徴とする半導体ウェハの収納容器。

補正された用紙 (条約第 19条) 条約 1 9条に基づく説明書請求の範囲第 1 4項は、半導体ウェハの収納容器に使用されるスぺーサシートの表面抵抗が 1 0 ^σ Ω/1Ι]以下であることを明らかにした。

請求の範囲第 1 5項は、半導体ウェハの収納容器に使用されるスぺーサシートが、ポリピロールを複合化した繊維を用いてもよいことを明らかにした。

請求の範囲第 1 4項および第 1 5項は、ウェハとの間に静電気を発生させない効果を得るものである。

請求の範囲第 1 6項は、半導体ウエノ、の収納容器に使用されるスぺーサシートが、少なくとも一方の面に、複数の凹状部または凸状部を有することを明らかにした。

請求の範囲第 1 6項は、スぺーサシートとウェハとの密着状態を生じさせない効果を得るものである。