CN211088229U - 多片水平放置晶圆盒及隔离环 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种多片水平放置晶圆盒，包括相互扣接的底盒和顶盖、至少两块缓冲垫、两层隔离环；缓冲垫分别贴合于底盒、顶盖内侧面，两层隔离环放置于上下两层缓冲垫之间；所述隔离环包括较厚的外环和位于外环环内的较薄的若干呈同心圆状设置的内环，所述内环通过自内而外呈发散状的肋条相连接、并连接于外环内壁。本实用新型实现对非纯平薄片晶圆有效的保护，解决非纯平晶圆易碎的问题。

Description

多片水平放置晶圆盒及隔离环

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆的储存运输容器，尤其是涉及一种多片水平放置晶圆盒及隔离环。

背景技术

晶圆是制造半导体芯片的基本材料，市场现售的晶圆为圆形薄片状，如果将多块晶圆堆叠在一起包装后运输，极易造成晶圆的污染、划伤、破损，影响产品质量。多年来，制造商已经生产出了晶圆托运盒，以实现晶圆的安全存储和运输。

现有常规的晶圆运送用的晶圆盒，包括相互扣接的底盒和顶盖，晶圆放置于底盒内由呈圆周排布的挡片合围而成的容纳槽内，晶圆的顶面和底面垫设有隔离纸和缓冲垫。但是，现在半导体市场上已开始生产和使用边缘较厚、中部较薄的非纯平状薄片晶圆，此种晶圆相比标准纯平晶圆更易因外力而产生破碎或划伤等物理损坏，尤其是当非纯平晶圆在受到更小的径向力时就易造成损坏，例如，由于真空包装产生的压力及运输时产生的震动，会使缓冲垫中心区域发生凹陷，触碰到位于上下最外层的晶圆上的隔离纸，导致晶圆因受隔离纸的触碰而产生破碎，碎片发生后，与碎片相邻的晶圆表面也被随之损坏，另外底盒与顶盖的压力较分散，不能完全压紧晶圆外圈，晶圆受到震动则易发生水平移动，触碰到挡板，导致晶圆崩边，由此造成巨大损失。目前市场上的晶圆盒都无法对此非纯平状晶圆提供有效的保护。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种多片水平放置晶圆盒及隔离环，实现对非纯平薄片晶圆有效的保护，解决非纯平晶圆易碎的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种多片水平放置晶圆盒，包括相互扣接的底盒和顶盖、至少两块缓冲垫、两层隔离环；缓冲垫分别贴合于底盒、顶盖内侧面，两层隔离环放置于上下两层缓冲垫之间；所述隔离环包括较厚的外环和位于外环环内的较薄的若干呈同心圆状设置的内环，所述内环通过自内而外呈发散状的肋条相连接、并连接于外环内壁。

作为优选方式，所述隔离环的内环的底面与外环的底面或内环的顶面与外环的顶面相平齐，使隔离环整体形成“凹”型。

作为优选方式，所述隔离环的外环宽度与待包装晶圆的较厚的边缘的宽度相同。

作为优选方式，所述缓冲垫、隔离环的外径与待包装晶圆的外径一致。

作为优选方式，所述底盒的底面内侧设有若干呈周向间距设置的竖向的挡片，所述挡片合围而成圆形用于放置晶圆的容纳槽。

作为优选方式，所述顶盖的顶面内侧设有竖向的圆环挡板，所述圆环挡板可适配套设于所述挡片的外侧。

作为优选方式，所述底盒的容纳槽内设有向上凸起的下支撑平台，所述顶盖上圆环挡板内设有向下凸起的上支撑平台。

作为优选方式，所述底盒的底面和顶盖的顶面均设有横向加强筋。

作为优选方式，所述底盒和顶盖通过插销装置扣在一起。

本实用新型还提供一种多片水平放置晶圆盒用隔离环，包括较厚的外环和位于外环环内的较薄的若干呈同心圆状设置的内环，所述内环通过自内而外呈发散状的肋条相连接、并连接于外环内壁；所述隔离环的内环的底面与外环的底面或内环的顶面与外环的顶面相平齐，使隔离环整体形成“凹”型。

本实用新型涉及一种多片水平放置晶圆盒及隔离环，与现有设计相比，其优点在于：本实用新型在缓冲垫和晶圆堆之间增设“凹”型的隔离环，在晶圆的储存和运输中，缓冲垫受压，并将压力传导到两个隔离环的环形面上，隔离环较厚的外环压在非纯平的晶圆堆的较厚的外边缘，晶圆的中心凹部处于悬空状态，将所有晶圆夹紧，完成整个晶圆的保护动作。

隔离环的“凹”型设计作用为使缓冲垫与晶圆之间保持足够的距离和空间，肋条作用是使缓冲垫不发生凹陷，或缓冲垫发生小的凹陷时也不会触碰到晶圆，同时肋条也加强产品的强度。

附图说明

图1为本实用新型多片水平放置晶圆盒的分解示意图。

图2为本实用新型多片水平放置晶圆盒顶盖的示意图。

图3为本实用新型多片水平放置晶圆盒纵剖面示意图。

图4为本实用新型多片水平放置晶圆盒隔离环立体示意图。

图5为本实用新型多片水平放置晶圆盒隔离环纵剖面示意图。

图6为本实用新型多片水平放置晶圆盒晶圆堆叠示意图。

具体实施方式

下文结合说明书附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。

本实用新型定义朝向晶圆盒中心的方向为内，反方向为外。

本实用新型涉及一种用于储存和运输若干轴向对齐的通常为圆形的晶圆的晶圆盒，本实施例中，晶圆为非纯平状薄片晶圆，如图6所示，晶圆的边缘较厚、中部较薄，纵剖面为“凹”型。

如图1所示，本实用新型多片水平放置晶圆盒包括相互扣接的底盒10 和顶盖20、至少两块缓冲垫30、两层隔离环40。缓冲垫30分别贴合于底盒 10、顶盖20内侧面，两层隔离环40放置于上下两层缓冲垫30之间，若干堆叠的晶圆50放置于上下两层隔离环40之间，在相邻晶圆50之间、及最底面和最顶面的晶圆50的外侧均铺设有隔离纸60。其中，缓冲垫30、隔离环40的外径与晶圆50的外径一致。

如图4-5所示，所述隔离环40包括较厚的外环41和位于外环41环内的较薄的若干呈同心圆状设置的内环42，所述若干呈同心圆状的内环42通过自内而外呈发散状的肋条43相连接，形成“蜘蛛网”形状，所述肋条43 的远端连接于外环41内壁的顶部或底部，使内环42的底面与外环41的底面或内环42的顶面与外环41的顶面相平齐，使隔离环40整体形成“凹”型。隔离环40的外环41宽度与非纯平状薄片晶圆50的较厚的边缘的宽度相同。隔离环可采用一体成型制成。

如图1所示，所述底盒10的底面内侧设有若干呈周向间距设置的竖向的挡片11，挡片11合围而成圆形用于放置晶圆50的容纳槽，同时挡片11 也起到竖向加强筋的作用。容纳槽的内径与晶圆的外径相近或相同，以使晶圆更顺利地装入其内。容纳槽中心设有向上凸起的圆环形状的下支撑平台 12，下支撑平台12的周围设有放射状的横向加强筋。底盒10侧边的顶端设有插板13。底盒10的其中一组相对的侧边上设有导向槽14。

如图2所示，顶盖20的顶面内侧与容纳槽上下对应的位置设有竖向的圆环挡板21，所述圆环挡板21可适配套设于所述挡片11的外侧。在顶盖 20顶面内侧、圆环挡板21内设有横向加强筋和周向排布的四段向下凸起圆弧形的上支撑平台22。顶盖20侧边的底端面开设与所述插板13配合的插槽 23。顶盖20的与导向槽14相对的侧边上设有导向板24，导向板24与导向槽14配合，在顶盖20与底盒10的组装时起到导向作用。在顶盖20内侧的四角分别设有两个竖向的加强筋。

底盒10和顶盖20通过插销装置扣在一起。具体地，在底盒10的底面内侧四角、挡片11的外围设有四个竖向的插销15，插销15的顶端设有沿底盒轴心方向的卡勾151。在顶盖20的四角开设插孔25。顶盖20盖设于底盒 10上，使插销15插置于插孔25内，通过卡勾151固定。

如图3所示，下文结合晶圆盒的使用方式对本实用新型进行描述。

将缓冲垫30放置于底盒10的容纳槽内的下支撑平台顶面12，隔离环 40以凹口朝上的形式放置于所述缓冲垫30顶面，若干轴向对齐的非纯平的晶圆50以凹口朝上的形式放置于所述隔离环40顶面，另一个隔离环40以凹口向下的形式放置于晶圆50顶面，使非纯平的晶圆堆的较厚的外边缘与隔离环较厚的外环相对应，然后将至少一个缓冲垫30放置于所述隔离环40 顶面(缓冲垫0的数量根据晶圆盒内竖向剩余空间)，将顶盖20盖设在底盒10上方，圆环挡板21适配罩设于挡片11的外侧，顶盖20的上支撑台22 压至于位于最上方的缓冲垫30顶面，底盒10的插销15插置于顶盖20的插孔25内、底盒10的侧边插板13插置于顶盖20侧边的插槽23内、顶盖20 的导向板24与底盒10的导向槽14相配合，即完成晶圆盒的组装，此时缓冲垫30处于受压缩状态，将晶圆堆夹紧。

本实用新型涉及一种晶圆盒用隔离环，如图4-5所示，所述隔离环40 包括较厚的外环41和位于外环41环内的较薄的若干呈同心圆状设置的内环 42，所述若干呈同心圆状的内环42通过自内而外呈发散状的肋条43相连接，形成“蜘蛛网”形状，所述肋条43的远端连接于外环41内壁的顶部或底部，使内环42的底面与外环41的底面或内环42的顶面与外环41的顶面相平齐，使隔离环40整体形成“凹”型。隔离环40的外环41宽度与非纯平状薄片晶圆50的较厚的边缘的宽度相同。隔离环可采用一体成型制成。

Claims (10)

1.一种多片水平放置晶圆盒，其特征在于：包括相互扣接的底盒(10)和顶盖(20)、至少两块缓冲垫(30)、两层隔离环(40)；所述缓冲垫(30)分别贴合于底盒(10)、顶盖(20)内侧面，两层所述隔离环(40)放置于上下两层所述缓冲垫(30)之间；所述隔离环(40)包括较厚的外环(41)和位于所述外环(41)环内的较薄的若干呈同心圆状设置的内环(42)，所述内环(42)通过自内而外呈发散状的肋条(43)相连接、并连接于所述外环(41)的内壁。

2.根据权利要求1所述的一种多片水平放置晶圆盒，其特征在于：所述隔离环(40)的内环(42)的底面与外环(41)的底面或内环(42)的顶面与外环(41)的顶面相平齐，使所述隔离环(40)整体形成“凹”型。

3.根据权利要求1所述的一种多片水平放置晶圆盒，其特征在于：所述隔离环(40)的外环(41)宽度与待包装的晶圆(50)的较厚的边缘的宽度相同。

4.根据权利要求1所述的一种多片水平放置晶圆盒，其特征在于：所述缓冲垫(30)、隔离环(40)的外径与待包装的晶圆(50)的外径一致。

5.根据权利要求1所述的一种多片水平放置晶圆盒，其特征在于：所述底盒(10)的底面内侧设有若干呈周向间距设置的竖向的挡片(11)，所述挡片(11)合围而成用于放置晶圆(50)的容纳槽。

6.根据权利要求5所述的一种多片水平放置晶圆盒，其特征在于：所述顶盖(20)的顶面内侧设有竖向的圆环挡板(21)，所述圆环挡板(21)可适配套设于所述挡片(11)的外侧。

7.根据权利要求6所述的一种多片水平放置晶圆盒，其特征在于：所述底盒(10)的容纳槽内设有向上凸起的下支撑平台(12)，所述顶盖(20)上圆环挡板(21)内设有向下凸起的上支撑平台(22)。

8.根据权利要求1所述的一种多片水平放置晶圆盒，其特征在于：所述底盒(10)的底面和顶盖(20)的顶面均设有横向加强筋。

9.根据权利要求1所述的一种多片水平放置晶圆盒，其特征在于：所述底盒(10)和顶盖(20)通过插销装置扣在一起。

10.一种多片水平放置晶圆盒用隔离环，其特征在于：包括较厚的外环(41)和位于外环(41)环内的较薄的若干呈同心圆状设置的内环(42)，所述内环(42)通过自内而外呈发散状的肋条(43)相连接、并连接于外环(41)内壁；所述隔离环(40)的内环(42)的底面与外环(41)的底面或内环(42)的顶面与外环(41)的顶面相平齐，使隔离环(40)整体形成“凹”型。

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