KR970707579A - 반도체 웨이퍼의 수납용기, 수납구조 및 수납·인출방법(Receiving container receiving structure and receiving·withdrawing method for semiconductor) - Google Patents

반도체 웨이퍼의 수납용기, 수납구조 및 수납·인출방법(Receiving container receiving structure and receiving·withdrawing method for semiconductor) Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼의 수납용기, 수납구조 및 수납·인출 방법으로, 자동제어 기구에 적합한(즉, 로봇대응의), 전용의 웨이퍼의 수납용기를 제공한다. 또한 충격에 의한 반도체 웨이퍼의 파손방지 및 마찰등에 의한 정전기의 발생방지를 시행한 상기 수납구조 및 수납·인출 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 반도체 웨이퍼의 수납용기는 반도체 웨이퍼가 스페이서 시트를 사이에 두고 다수매 포개여져 수납되는 통부를 가지는 용기 본체와, 해당 용기 본체에 덮여지는 덮개로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 또한 반도체 웨이퍼의 수납구조는 용기본체내에, 반도체 웨이퍼가 스페이서 시트를 통해 다수매 포개여져 수납된 것을 특징으로 한다.

Description

반도체 웨이퍼의 수납용기, 수납구조 및 수납·인출방법(Receiving container, receiving structure and receiving·withdrawing method for semiconductor)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 웨이퍼의 수납용기의 일례를 일부 파단(破斷)하여 나타내는 사시도, 제7도는 본 발명의 웨이퍼의 수납·인출 방법이 응용되는 반송시스템의 개략적인 구성을 나타내는 사시도, 제8도는 제7도의 반송시스템에 의해 웨이퍼를 용기에 수납하기 전의 상태를 나타내는 개략도.

Claims (13)

  1. 반도체 웨이퍼가 스페이서 시트를 사이에 두고 다수매 포개여져 수납되는 통부를 가지는 용기본체와 해당 용기본체에 덮여지는 덮개로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납용기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 통부는 반도체 웨이퍼의 수납 및 인출을 위한 픽업아암이 들어가는 적어도 1개의 슬릿을 가지는 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납용기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 용기 본체는 평면에서 보아 사각형상을 이루는 기초부에, 상기 통부가 세워져서 설치하게 되고, 상기 덮개는 평면에서 보아 상기 용기본체의 기초부의 평면에서 본 형상과 거의 동일한 사각형상을 이루고, 상기 덮개와 상기 용기 본체는 상대적인 회전에 의해, 양자의 평면에서 보아 형상이 일치하도록 결합하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납용기.
  4. 제1항 또는 제3항중 어느 한 항에 있어서, 표면저항이 106Ω/□ 이하인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납용기.
  5. 용기본체내에, 반도체 웨이퍼가 스페이서 시트를 사이에 두고 다수매 포개여져 수납된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납구조.
  6. 제5항에 있어서, 상기 용기본체가 제1항 내지 제4항 중 어느 한 하나에 기재된 수납용기의 용기본체인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납구조.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 말단부 쿠션재가 상기 다수매 포개여져 수납된 반도체 웨이퍼의 상하 말단부에 배치된 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납구조.
  8. 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스페이서 시트의 표면저항이 106Ω/□ 이하인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납구조.
  9. 제5항 내지 제8항중 어느 한 항에 있어서, 상기 스페이서 시트가 폴리프롤을 복합화한 섬유를 사용한 전도성의 합성지인 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납구조.
  10. 제5항 내지 제9항중 어느 한 항에 있어서, 상기 스페이서 시트가 적어도 한쪽의 면에, 복수의 오목형상부 또는 볼록형상부 또는 이들을 모두 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납구조.
  11. 제5항 내지 제10항중 어느 한 항에 있어서, 상기 스페이서 시트가 주위에서 내측에 잘려넣어진 커트라인을 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납구조.
  12. 하나의 픽업아암을 사용하고, 적어도 하나의 슬릿을 가지는 통부를 가지는 용기본체의 해당 통부내에, 반도체 웨이퍼, 스페이서 시트를 수납하고, 혹은 해당 통부내에서 이 들을 인출하는 반도체 웨이퍼의 수납·인출 방법에 있어서, 상기 픽업아암은 상기 적어도 하나의 슬릿으로 들어가고, 상기 반도체 웨이퍼와 상기 스페이서 시트를, 교대로, 상기 통부내에 수납하고, 또는 상기 통부내에서 인출한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납·인출 방법.
  13. 2개의 픽업아암을 사용하고, 적어도 하나의 슬릿을 가지는 통부를 가지는 용기본체의 해당 통부내에 반도체 웨이퍼, 스페이서 시트를 수납하고, 혹은 해당 통부내에서 이 들을 인출하는 반도체 웨이퍼의 수납·인출 방법에 있어서, 상기 픽업아암중 한쪽은 상기 슬릿에 들어가고, 상기 픽업아암중 다른쪽은 상기 한쪽의 픽업아암이 들어가는 슬릿과, 동일한 슬릿 또는 다른 슬릿에 들어가고, 상기 반도체 웨이퍼와 상기 스페이서 시트롤, 교대로, 상기 통부내에 수납하고, 또는 상기 통부내에서 인출하는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 수납·인출방법.
    ※ 참고사항：최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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